]本發(fā)明的第五方式，在上述第一方式中，運(yùn)算處理部為利用傅里葉變換或者小波變換進(jìn)行頻率解析的運(yùn)算處理部。
[0028]本發(fā)明的第六方式，在上述第一方式中，設(shè)定為計算流體通路內(nèi)流通的混合氣體內(nèi)的有機(jī)金屬材料氣體濃度的運(yùn)算處理部。
[0029]本發(fā)明的第七方式:在上述第一方式中，設(shè)定為具備一個光入射部和兩個光檢測部的檢測部。
[0030]本發(fā)明的第八方式，在上述第一方式中，將光源部設(shè)定為發(fā)出三種波長的紫外光的混成光的光源部。
[0031]本發(fā)明的第九方式，在上述第一方式中，上述運(yùn)算處理部設(shè)定為利用傅里葉變換分別對三種波長的混成光的檢測信號進(jìn)行頻率解析的運(yùn)算處理部。
[0032]本發(fā)明的第十方式按照如下方式形成:在上述第七方式中，在檢測器主體的一側(cè)面配置有一個光入射部，并且在與上述一側(cè)面相對的另一側(cè)面配置有兩個光檢測部。
[0033]本發(fā)明的第十一方式按照如下方式形成:在上述第二方式中，在檢測器主體的一側(cè)面配置有一個光入射部，并且在與上述一側(cè)面相對的另一側(cè)面配置有三個光檢測部。
[0034]本發(fā)明的第十二方式按照如下方式形成:在上述第七方式中，在檢測器主體的一側(cè)面配置有一個光入射部和一個光檢測部，并且在與上述一側(cè)面相對的另一側(cè)面配置有兩個光檢測部。
[0035]本發(fā)明的第十三方式，在上述第一方式中，將光源部設(shè)定為發(fā)出利用波束組合器將波長不同的紫外光加以混成而得到的混成光的光源部。
[0036]本發(fā)明的第十四方式，以如下內(nèi)容作為本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu):來自光源部的具有相位差的三種波長不同的紫外光的混成光，從設(shè)置于具有流體通路的檢測器主體的一個光入射部入射至流體通路內(nèi)，利用設(shè)置于檢測器主體的至少兩個光檢測部檢測出流體通路內(nèi)通過的各紫外光，并且利用傅里葉變換等分別對各光檢測部檢測出的混成光的檢測信號進(jìn)行頻率解析，針對該光檢測部檢測出的各檢測信號，計算與三個頻率域的吸光度對應(yīng)的強(qiáng)度變化量，然后，根據(jù)該各檢測信號的三種頻率域的至少合計6個上述計算出的上述強(qiáng)度變化量，計算流體通路內(nèi)流通的混合氣體內(nèi)的有機(jī)金屬材料氣體濃度。
[0037]本發(fā)明的第十五方式按照如下方式形成:在上述第十四方式中，將光檢測部設(shè)為3個，通過合計9個計算出的與吸光度對應(yīng)的強(qiáng)度變化量，計算流體通路內(nèi)流通的混合氣體內(nèi)的有機(jī)金屬材料氣體濃度。
[0038]本發(fā)明的第十六方式按照如下方式形成:在上述第十四方式中，通過I個光檢測部檢測出從光入射部入射的混成光，并且將來自該光檢測部的反射光入射至其他的光檢測部。
[0039]本發(fā)明的第十七方式按照如下方式形成:在上述第十四方式中，使從光入射部入射的混成光分散并入射至兩個光檢測部。
[0040]發(fā)明效果
[0041]本發(fā)明以如下方式構(gòu)成濃度計:
[0042]發(fā)出具有相位差的至少兩種波長的混成光的光源部；
[0043]具備將來自光源部的混成光入射至檢測器主體的流體通路內(nèi)的光入射部和對流體通路內(nèi)通過的混成光進(jìn)行受光的至少兩個光檢測部的檢測部；
[0044]對來自各光檢測部的混成光的檢測信號分別進(jìn)行頻率解析，并且計算與上述各檢測信號的至少兩個頻率域的吸光度對應(yīng)的強(qiáng)度變化量，根據(jù)該各檢測信號的至少兩個頻率域的上述強(qiáng)度變化量計算流體通路內(nèi)的流體濃度的運(yùn)算處理部；以及
[0045]記錄和/或顯示在運(yùn)算處理部的流體濃度的計算值的記錄顯示部。
[0046]其結(jié)果，首先，利用至少兩個光檢測部檢測出具有相位差的至少兩種波長的混成光的入射時和吸光后的強(qiáng)度變化量，并且對與由各個檢測部檢測出的混成光的強(qiáng)度變化量對應(yīng)的檢測值進(jìn)行頻率解析，求出與至少兩個頻率域的吸光度對應(yīng)的計算值，基于該至少6個計算出的吸光度計算流體濃度。
[0047]其結(jié)果，與以往使用衍射光柵或狹縫等的分散型光學(xué)系統(tǒng)比較，能夠?qū)崿F(xiàn)光學(xué)系統(tǒng)的構(gòu)造大幅度單純且簡單化，也能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的大幅小型化。
[0048]此外，通過將光源部設(shè)為使用LED或激光二極管的光源部，與以往的紅外光源的情況比較，消耗電力顯著減少，并且光源壽命大幅延長，在實用上變得非常有利，并且能夠簡單且容易地得到不同波長的紫外光。
[0049]進(jìn)一步地，使用波長不同的至少兩種具有相位差的紫外光，并且使用至少兩個光檢測部來進(jìn)行吸光度的測定，所以能夠獲得高測量精度和測量的再現(xiàn)性，并且光源的所謂波動現(xiàn)象幾乎沒有發(fā)生，可進(jìn)行穩(wěn)定的濃度測量。
[0050]此外，因為檢測部是由具有流體通路的檢測部主體;配置于其側(cè)面的光入射部和光檢測部構(gòu)成，所以實現(xiàn)了檢測部的大幅小型化，能夠簡單地進(jìn)行向配管路徑的安裝及從配管路徑的卸下。
【附圖說明】
[0051]圖1為本發(fā)明的實施方式涉及的原料流體濃度計的構(gòu)成的概要圖。
[0052]圖2為光源部的構(gòu)成的概要圖。
[0053]圖3為表示檢測部的構(gòu)成的縱截面概要圖。
[0054]圖4為表示有機(jī)金屬材料氣體的紫外光吸光(透過)特性的一個示例的圖。
[0055]圖5(a)?(c)為運(yùn)算處理部的檢測值處理的說明圖。(d)為計算出的吸光度矩陣α、β、γ的說明圖。
[0056]圖6為表示本發(fā)明涉及的氣體濃度計的適用示例的圖。
[0057]圖7為表示以往的在線型氣體濃度計的適用示例的圖。
[0058]圖8為以往的在線型濃度計的構(gòu)成的概要圖。
[0059]圖9為以往的紫外吸收型氣體濃度計的構(gòu)成的概要圖。
[0060]符號說明[0061 ]I光源部
[0062]la LED光源
[0063]Iai ?la3 LED光源
[0064]Ia4光束組合器
[0065]Ib反射鏡
[0066]2檢測部
[0067]3運(yùn)算處理部
[0068]3a流體通路
[0069]3b接頭部
[0070]4記錄.顯示部[0071 ]5 光纖
[0072]6檢測器主體
[0073]6a流體通路
[0074]6b泄漏檢查用孔
[0075]6c光入射部安裝孔
[0076]6d光檢測部安裝孔
[0077]7入口塊體(入口基座)
[0078]8出口塊體(出口基座)
[0079]9光入射部
[0080]9a藍(lán)寶石制透光窗
[0081]9b凸緣(法蘭)收納孔
[0082]9c保持固定體
[0083]9d第一固定凸緣
[0084]9e第二固定凸緣
[0085]10光檢測部
[0086]1a?1b光檢測部
[0087]11墊片型密封件
[0088]12光電二極管
[0089]13罐內(nèi)壓力控制器
[0090]14質(zhì)量流量控制器
[0091]15氣體產(chǎn)生裝置
[0092]GD氣體濃度計
[0093]Φ相位差
[0094]λ??λ3 波長
[0095]S光檢測部的檢測光強(qiáng)度曲線
[0096]El?Ε3相對于有機(jī)原材料的紫外光的透光度曲線
[0097]ki?h波長λ??λ3的紫外光的光強(qiáng)度變化特性
[0098]α，β，γ吸光度矩陣
【具體實施方式】
[0099]以下，基于【附圖說明】本發(fā)明的實施方式。
[0100]圖1為本發(fā)明的實施方式涉及的原料流體的濃度計的構(gòu)成概要圖。
[0101]本