氣場指示片的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實用新型設(shè)及一種氣場指示片，特別是指一種在化學濕制程環(huán)境下能呈現(xiàn)氣場 方向的氣場指示片。
【背景技術(shù)】
[0002] 現(xiàn)有的基板制程中，基板需要進行多道不同的化學濕制程，故基板會于能夠提供 化學濕制程的各槽室之間移動。多個槽室整合于一機臺，各槽室之間具有一隔板。
[0003] 但化學濕制程特別要求槽室的內(nèi)部處于一特定氣壓下，而相鄰的二槽室的內(nèi)部氣 壓可能不同，其一槽室的內(nèi)部氣壓有可能大于另一槽室的內(nèi)部氣壓。
[0004] 依據(jù)流體的特性，氣壓大的流體會流向氣壓較小的位置，因此若如上述內(nèi)部氣壓 較高的槽室會產(chǎn)生一流向內(nèi)部氣壓較小的槽室的氣流，該氣流會夾帶有至少一種化學物 質(zhì)，該化學物質(zhì)會污染位于內(nèi)部氣壓較小的槽室的內(nèi)部的基板。
[0005] 因此如何判別氣場的流向，W避免基板被化學物質(zhì)污染，其成為各廠商所研究的 項目?，F(xiàn)有的作法于各槽室的頂端裝設(shè)一傳感器，W判斷氣場的流向。然而，傳感器因受測 環(huán)境的不同，如氣壓、風速、濕度、化學性質(zhì)的變化，而需要更多辨識偵測的參數(shù)，因此導致 設(shè)傳感器結(jié)構(gòu)的復雜化，W及裝置維修成本的提高。 【實用新型內(nèi)容】
[0006] 有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種氣場指示片。
[0007] 為了達到上述的目的，本實用新型的目的在于提供一種氣場指示片，其設(shè)于一開 口或一視窗，該開口或該視窗位于一隔板，該隔板位于一化學濕制程機臺的二槽室之間，該 氣場指示片包含有：
[0008] -固定部；W及
[0009] 一指示部，其具有多數(shù)個條狀片，各條狀片具有一自由端與一固定端，該固定端連 接該固定部的一側(cè)；
[0010] 其中，當二槽室之間產(chǎn)生氣流時，該指示部產(chǎn)生一指示偏角。
[0011] 作為優(yōu)選方案，其中該化學濕制程機臺為一純水噴灑機臺、一清洗制程機臺、一隔 離制程機臺、一蝕刻制程機臺、一顯影制程機臺、一剝膜制程機臺或一吹干制程機臺。
[0012] 作為優(yōu)選方案，其中二條狀片之間具有一第一間距。
[0013] 作為優(yōu)選方案，其中該條狀片具有一第一側(cè)邊與一第二側(cè)邊，該第一側(cè)邊、該第二 側(cè)邊與該條狀片的自由端呈一垂直狀。
[0014] 作為優(yōu)選方案，其中該條狀片具有一第一側(cè)邊與一第二側(cè)邊，該條狀片的自由端 呈一尖端狀。
[0015] 作為優(yōu)選方案，其中該條狀片具有一第一側(cè)邊與一第二側(cè)邊，該第一側(cè)邊與該第 二側(cè)邊呈一漸縮狀，該條狀片呈一針狀。
[0016] 作為優(yōu)選方案，其中該氣場指示片為一抗腐蝕材質(zhì)，該抗腐蝕材質(zhì)為聚四氣己締、 氣橡膠、聚己締醇、聚醋、己締-四氣化己締共聚物或聚丙締。
[0017] 作為優(yōu)選方案，其中該氣場指示片的表面涂設(shè)有一斥水性涂料層。
[0018] 作為優(yōu)選方案，其中該固定部設(shè)于該開口，該指示部延伸至該開口中。
[0019] 作為優(yōu)選方案，其中該固定部設(shè)于該視窗，該指示部延伸至該視窗中。
[0020] 作為優(yōu)選方案，其中該機臺具有一槽室，該槽室相鄰于該指示部的位置處設(shè)有至 少一個傳感器。
[0021] 本實用新型的氣場指示片裝設(shè)于二槽室之間，當二槽室內(nèi)部產(chǎn)生有一壓差時，一 氣場會由氣壓較高的槽室流向氣壓較小的槽室，通過氣場指示片所產(chǎn)生的指示偏角，W得 知氣流的流向，再經(jīng)由適當?shù)臍饬髡{(diào)整，W避免制程中基板受到化學物質(zhì)的污染；本實用新 型的氣場指示片的結(jié)構(gòu)較為簡易，故具有降低成本的優(yōu)勢。
【附圖說明】
[0022] 圖1為本實用新型的一種氣場指示片的第一實施例的立體示意圖；
[0023] 圖2為多個提供化學濕制程的機臺的俯視剖面示意圖；
[0024] 圖3為本實用新型的氣場指示片設(shè)于一開口的示意圖；
[0025] 圖4為本實用新型的氣場指示片設(shè)于一視窗的示意圖；
[0026] 圖5為本實用新型的氣場指示片的第二實施例的立體示意圖；
[0027] 圖6為本實用新型的氣場指示片的第二實施例具有一指示偏角的立體示意圖； [002引圖7為本實用新型的氣場指示片的第S實施例的立體示意圖；
[0029] 圖8為本實用新型的氣場指示片的第四實施例的立體示意圖；
[0030] 圖9為本實用新型的氣場指示片的第五實施例的立體示意圖。
[0031] 【主要組件符號說明】
[003引 10-固定部；10A-固定部；10B-固定部；10C-固定部；10D-固定部；11-固定孔； 11A-固定孔；11B-固定孔；11C-固定孔；11D-固定孔；12-指示部；12A-指示部；12B-指 示部；12C-指示部；12D-指示部；120-自由端；120B-自由端；120C-自由端；120D-自由 端；121-第一側(cè)邊；121B-第一側(cè)邊；121C-第一側(cè)邊；121D-第一側(cè)邊；122-第二側(cè)邊； 122B-第二側(cè)邊；122C-第二側(cè)邊；122D-第二側(cè)邊；123-條狀片；123B-條狀片；123C-條狀 片；123D-條狀片；13A-指示偏角；
[0033] 20-機臺；200-第一槽室；201-第二槽室；202-第S槽室；203-第四槽室；204-隔 板；204A-隔板；205-第四測量位置；206-第S測量位置；207-第二測量位置；208-第一測 量位置；209-抽風機；210-抽風機；211-增壓機；
[0034] 30-開口；30A-開口；31A-視窗。
【具體實施方式】
[0035] W下通過特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通 常知識者可由本說明書所揭示的內(nèi)容，輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點與功效。
[0036] 請參考圖1，本實用新型的一種氣場指示片的第一實施例。氣場指示片設(shè)于一化學 濕制程機臺的二槽室之間，該化學濕制程機臺為一純水噴灑機臺、一清洗制程機臺、一隔離 制程機臺、一蝕刻制程機臺、一顯影制程機臺、一剝膜制程機臺或一吹干制程機臺，該氣場 指示片包含有一固定部10與一指示部12。該氣場指示片為一抗腐蝕材質(zhì)，該抗腐蝕材質(zhì)具 有耐水性、彈性、耐化學性與可提性。
[0037] 固定部10的兩端分別具有一固定孔11。指示部12位于固定部10的一側(cè)，指示部 12為多數(shù)個條狀片，各條狀片123具有一自由端120與一固定端，該固定端連接固定部10。 各條狀片123之間具有一第一間距，第一間距為0. 01mm。第一間距用于配合不同濕度、氣體 化性W及氣體濃度環(huán)境下的室內(nèi)氣場而改變。故當本實用新型的氣場指示片位于較潮濕的 環(huán)境時，第一間距可予W增大，減緩指示部12因受潮而發(fā)生黏結(jié)的情況。前述的說明用于 說明本實用新型的實施例，而非限制本實用新型。
[003引各條狀片123的兩側(cè)分別具有一第一側(cè)邊121與一第二側(cè)邊122,第一側(cè)邊121平 行于第二側(cè)邊122。各條狀片123的自由端120與第一側(cè)邊121及第二側(cè)邊122呈一垂直 狀。上述條狀片123平行與垂直的設(shè)計減少沾附氣場指示片的液體形成水滴，進而減緩指 示部12因受潮而發(fā)生黏結(jié)的情況。
[0039] 本實用新型的氣場指示片包含一抗腐蝕材質(zhì)，該抗腐蝕材質(zhì)具有耐水性、彈 性、耐化學性與可提性。該抗腐蝕材質(zhì)為聚四氣己締（Teflon,鐵氣龍）、氣橡膠、聚 己締醇（Polyvin}d Alchol, P. V. A)、聚醋（Polyurethane, PU)、全氣燒氧基樹脂 (Perfluoroa化〇巧 Mkae，PFA)、聚四氣己締（Pol}ftetrafluo;roethene，町E)、己締-四 氣化己締共聚物巧th}dene Tetrafluoroeth5dene，ET陽）或聚丙締（Polypropylene, PP)。 當氣場指示片所使用的抗腐蝕材質(zhì)為聚丙締時，則于該氣場指示片的表面設(shè)有一斥水性涂 料層