一種變面積電容傳感器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種變面積電容傳感器,屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]電容式傳感器具有靈敏度高、精度高等優(yōu)點(diǎn)。相對與其他傳感器來說,電容式傳感器的溫度穩(wěn)定性好,其結(jié)構(gòu)簡單,易于制造,易于保證高的精度,能在高溫、低溫、強(qiáng)輻射及強(qiáng)磁場等各種惡劣環(huán)境條件下工作,適應(yīng)性強(qiáng)。
[0003]在電容式傳感器的設(shè)計(jì)中,受到結(jié)構(gòu)尺寸的限制影響,其自身電容量都很小(幾皮法至十幾皮法),屬于小功率高阻抗原件,因此對寄生電容干擾非常敏感,并且寄生電容與傳感器的電容相并聯(lián),影響傳感器靈敏度等硬性參數(shù),而它的變化則為虛假信號(hào),影響儀器的精度。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]目的:為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足,本實(shí)用新型提供一種變面積電容傳感器。
[0005]技術(shù)方案:為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為:
[0006]一種變面積電容傳感器,包括殼體、測量膜片、上支柱、下支柱、可動(dòng)電極、固定電極,所述殼體內(nèi)套接有上支柱、下支柱、可動(dòng)電極、固定電極,所述殼體底部開設(shè)有測量口,所述測量口頂面設(shè)置有測量膜片,所述可動(dòng)電極底部與下支柱相連接,所述固定電極頂部與上支柱相連接,下支柱末端與測量膜片相接觸,所述上支柱末端與殼體相固定;所述可動(dòng)電極與固定電極呈梳齒狀排列。
[0007]所述可動(dòng)電極、固定電極均設(shè)置為同心多層圓筒結(jié)構(gòu)。
[0008]還包括擋塊、支撐彈簧,所述下支柱兩側(cè)設(shè)置為兩個(gè)擋塊,所述擋塊與可動(dòng)電極之間設(shè)置有支撐彈簧。
[0009]還包括絕緣支架,所述上支柱通過絕緣支架套接在殼體上。
[0010]作為優(yōu)選方案,所述測量膜片采用加鍍金層金屬。
[0011 ] 作為優(yōu)選方案,所述殼體采用不銹鋼材質(zhì)。
[0012]有益效果:本實(shí)用新型提供的一種變面積電容傳感器,通過測量線路與傳感器安裝在同一殼體內(nèi),整體小巧緊湊。本設(shè)計(jì)具有靈敏度高,分辨力高的特性,性能優(yōu)良,使用方便。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0014]圖2為可動(dòng)電極、固定電極的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0015]圖3為可動(dòng)電極、固定電極的剖面示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作更進(jìn)一步的說明。
[0017]如圖1所示,一種變面積電容傳感器,包括殼體1、測量膜片2、上支柱3、下支柱4、可動(dòng)電極5、固定電極6,所述殼體I內(nèi)套接有上支柱3、下支柱4、可動(dòng)電極5、固定電極6,所述殼體I底部開設(shè)有測量口,所述測量口頂面設(shè)置有測量膜片2,所述可動(dòng)電極5底部與下支柱4相連接,所述固定電極6頂部與上支柱3相連接,下支柱4末端與測量膜片2相接觸,所述上支柱3末端與殼體I相固定;如圖2所示,所述可動(dòng)電極5與固定電極6呈梳齒狀排列,兩電極交錯(cuò)重疊部分的面積決定了電容量的大小。
[0018]如圖3所示,所述可動(dòng)電極5、固定電極6均設(shè)置為同心多層圓筒結(jié)構(gòu)。
[0019]還包括擋塊7、支撐彈簧8,所述下支柱4兩側(cè)設(shè)置為兩個(gè)擋塊7,所述擋塊7與可動(dòng)電極5之間設(shè)置有支撐彈簧8。
[0020]還包括絕緣支架9,所述上支柱3通過絕緣支架9套接在殼體I上,上支柱3可引至測量線路,測量線路與傳感器安裝在同一殼體I內(nèi),整體小巧緊湊。本設(shè)計(jì)可使用軟線懸掛在被測介質(zhì)中,也可以螺紋或法蘭安裝在容器壁上,使用方便。
[0021]作為優(yōu)選方案,所述測量膜片2采用加鍍金層金屬。
[0022]作為優(yōu)選方案,所述殼體I采用不銹鋼材質(zhì)。
[0023]以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式,應(yīng)當(dāng)指出:對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和潤飾,這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種變面積電容傳感器,包括殼體、測量膜片,其特征在于:還包括上支柱、下支柱、可動(dòng)電極、固定電極,所述殼體內(nèi)套接有上支柱、下支柱、可動(dòng)電極、固定電極,所述殼體底部開設(shè)有測量口,所述測量口頂面設(shè)置有測量膜片,所述可動(dòng)電極底部與下支柱相連接,所述固定電極頂部與上支柱相連接,下支柱末端與測量膜片相接觸,所述上支柱末端與殼體相固定;所述可動(dòng)電極與固定電極呈梳齒狀排列。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種變面積電容傳感器,其特征在于:所述可動(dòng)電極、固定電極均設(shè)置為同心多層圓筒結(jié)構(gòu)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種變面積電容傳感器,其特征在于:還包括擋塊、支撐彈簧,所述下支柱兩側(cè)設(shè)置為兩個(gè)擋塊,所述擋塊與可動(dòng)電極之間設(shè)置有支撐彈簧。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種變面積電容傳感器,其特征在于:還包括絕緣支架,所述上支柱通過絕緣支架套接在殼體上。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種變面積電容傳感器,其特征在于:所述測量膜片采用加鍍金層金屬。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種變面積電容傳感器,其特征在于:所述殼體采用不銹鋼材質(zhì)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種變面積電容傳感器,包括殼體、測量膜片、上支柱、下支柱、可動(dòng)電極、固定電極,所述殼體內(nèi)套接有上支柱、下支柱、可動(dòng)電極、固定電極,所述殼體底部開設(shè)有測量口,所述測量口頂面設(shè)置有測量膜片,所述可動(dòng)電極底部與下支柱相連接,所述固定電極頂部與上支柱相連接,下支柱末端與測量膜片相接觸,所述上支柱末端與殼體相固定;所述可動(dòng)電極與固定電極呈梳齒狀排列。本實(shí)用新型提供的一種變面積電容傳感器,本設(shè)計(jì)具有靈敏度高,分辨力高的特性,性能優(yōu)良,使用方便。
【IPC分類】G01D5/24
【公開號(hào)】CN204694273
【申請?zhí)枴緾N201520263928
【發(fā)明人】劉文生
【申請人】劉文生
【公開日】2015年10月7日
【申請日】2015年4月28日