一種探針卡的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種探針卡，應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]微電子技術(shù)是隨著集成電路，尤其是超大型規(guī)模集成電路而發(fā)展起來的一門新的技術(shù)。微電子技術(shù)包括系統(tǒng)電路設(shè)計、器件物理、工藝技術(shù)、材料制備、自動測試以及封裝、組裝等一系列專門的技術(shù)，微電子技術(shù)是微電子學(xué)中的各項工藝技術(shù)的總和。微電子技術(shù)中，半導(dǎo)體硅片在完成所有制程工藝后，需要針對硅片上的各種測試結(jié)構(gòu)進行電性測試，gp晶片允收測試(WAT測試，Wafer Acceptance Test)。通過對WAT數(shù)據(jù)的分析，可以發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體制程工藝中的問題，幫助制程工藝進行調(diào)整。通常，在晶圓制程完成后，對晶圓進行晶片允收測試。通過探針卡上的探針與晶圓芯片上的焊墊或凸塊直接接觸，引出芯片訊號，再配合周邊測試儀器與軟件控制達到自動化量測的目的。探針卡通常需要固定在探針臺上，探針卡的取放工作顯得非常重要?，F(xiàn)有技術(shù)的探針臺向下凹陷，形成與探針卡相對應(yīng)的圓槽，即探針卡放置區(qū)域。為了方便取放探針卡，在圓槽邊緣上設(shè)置有凹槽，同時，在圓槽底部設(shè)置有凸起的固定點，用于固定探針卡。由于凹槽的深度與探針卡的厚度相同，同時探針卡表面沒有把手或其他著力點，使得探針卡的取放非常不方便，還容易將置于探針卡及探針臺之間的防漏電紙連帶取出，需要花費大量時間和精力重新放置，也可能造成防漏電紙被撕壞，導(dǎo)致更多的顆粒污染。而且，在將探針卡通過固定點固定時，只能通過凹槽調(diào)節(jié)位置，非常不便。采用現(xiàn)有技術(shù)，在取放探針卡時需要花費大量的時間和精力，工作效率低。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的是提供一種能夠進行快速、便捷取放的探針卡。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案予以實現(xiàn):一種探針卡，包括PCB基板和取放桿，所述PCB基板上設(shè)置有連接孔，所述連接孔與取放桿連接。
[0005]優(yōu)選的，所述取放桿與連接孔采用可拆卸式連接或固定連接。
[0006]優(yōu)選的，所述連接孔的數(shù)量為2個，分別位于PCB基板中心的兩側(cè)。
[0007]優(yōu)選的，所述取放桿采用截面為T形的柱體。
[0008]進一步的，所述柱體包括連接在一起的下圓柱和上圓柱，所述下圓柱直徑與連接孔直徑相互固定配合。
[0009]進一步的，所述下圓柱直徑為3?5mm，高度為10?12mm，所述上圓柱直徑為13?15mm,高度為5?7mm0
[0010]優(yōu)選的，所述PCB基板上設(shè)置有PCB線路和探針，所述探針和PCB線路連接且分別位于PCB基板的兩個面上，所述PCB基板上設(shè)置有固定孔，所述固定孔與探針臺上的固定件相對應(yīng)。
[0011]進一步的，所述固定孔和連接孔與PCB線路彼此獨立。
[0012]進一步的，所述固定孔的數(shù)量為2個，分別位于PCB基板中心的兩側(cè)。
[0013]優(yōu)選的，所述取放桿采用有機玻璃材料。
[0014]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的探針卡在PCB基板的連接孔上連接取放桿，通過取放桿連接整個探針卡，在取放探針卡時，只需要通過取放桿進行施力，即可帶動整個探針卡進行移動，也可以通過取放桿調(diào)整探針卡的位置。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，節(jié)省了取放探針卡的時間和精力，具有快速、便捷取放的效果，提高了工作效率。
【附圖說明】
[0015]圖1是本實用新型一實施例中探針臺的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖2是本實用新型一實施例中柱體的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖3是本實用新型一實施例中柱體的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖中所示:10、PCB基板；20、取放桿；21、上圓柱；22、下圓柱；30、固定孔。
【具體實施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖對本實用新型作詳細(xì)描述:
[0020]如圖1所示，本實用新型的探針卡，包括PCB基板10、PCB線路、探針和取放桿20，所述PCB基板10上設(shè)置有PCB線路和探針，所述探針和PCB線路連接且分別位于PCB基板10的兩個面上，所述PCB基板10上設(shè)置有固定孔30和連接孔，所述固定孔30與探針臺上的固定件相對應(yīng)，所述連接孔與取放桿20連接。所述固定孔30的數(shù)量為2個，分別位于PCB基板10中心的兩側(cè)。所述連接孔的數(shù)量為2個，分別位于PCB基板10中心的兩側(cè)。在測試時，探針卡固定放置在探針臺上，PCB線路面朝上，與周邊測試儀器連接，探針面朝下，與晶圓上的集成電路接觸連接，共同構(gòu)成晶片允收測試的電路。
[0021]本實用新型的探針卡在PCB基板10的連接孔上連接取放桿20，通過取放桿20連接整個探針卡，在取放探針卡時，只需要通過取放桿20進行施力，即可帶動整個探針卡進行移動，也可以通過取放桿20調(diào)整探針卡的位置。本實用新型在現(xiàn)有探針卡的基礎(chǔ)上增加一個簡單的部件，不需要現(xiàn)有探針卡作出較大的變動，即可通過取放桿20實現(xiàn)探針卡快速、便捷的取放，而且，取放桿20結(jié)構(gòu)小巧，價格便宜，占用空間小，移動方便。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，節(jié)省了取放探針卡的時間和精力，具有快速、便捷取放的效果，提高了工作效率。
[0022]較佳的，所述取放桿20與連接孔采用可拆卸式連接或固定連接，例如可以采用螺紋連接或者膠粘等方式連接。在使用時，將取放桿20和連接孔固定連接在一起，進行探針卡的取放操作。使用完后，將取放桿20和連接孔拆開，分開放置在各自的位置，便于移動和存儲，節(jié)省空間。
[0023]采用取放桿20與連接孔固定連接，使取放桿20與探針卡連接為一個整體，牢固可
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[0024]參照圖2和圖3所示，較佳的，所述取放桿20采用截面為Τ形的柱體。所述柱體包括連接在一起的下圓柱22和上圓柱21，所述下圓柱22直徑與連接孔直徑相互固定配合。進一步的，所述下圓柱直徑為3?5mm，高度為10?12mm，所述上圓柱直徑為13?15mm，高度為5?7mm。
[0025]采用上述技術(shù)，通過下圓柱22與連接孔固定配合，使取放桿20與PCB基板10連接在一起，通過上圓柱21進行施力，便于取放探針卡的操作。上圓柱21的直徑大于下圓柱22的直徑，使取放探針卡的操作更加平穩(wěn)。
[0026]較佳的，所述固定孔30和連接孔與PCB線路彼此獨立。
[0027]采用上述技術(shù)，固定孔30和連接孔與PCB線路彼此獨立，避免了固定孔30和連接孔以及取放桿20對PCB線路的干擾影響，保證了整個晶片允收測試電路的穩(wěn)定正常。
[0028]較佳的，所述取放桿20采用塑料材料。進一步的，所述取放桿20采用有機玻璃材料。
[0029]采用上述技術(shù)，有機玻璃(PMMA，Polymethyl methacrylate)具有較好的透明性，化學(xué)穩(wěn)定性，力學(xué)性能和耐候性，易染色，易加工，外觀優(yōu)美等優(yōu)點。取放桿20采用有機玻璃材料，價格低廉，性質(zhì)穩(wěn)定，且不會對銅卡和媽卡造成任何污染。
[0030]參照圖1所示，下面將詳細(xì)說明本實用新型的工作過程:
[0031]開始時，通過探針卡上的取放桿20，將待安裝的探針卡移動到探針臺位置，將探針卡上的固定孔30對準(zhǔn)探針臺上的固定件放下，使探針卡固定放置在探針臺上。
[0032]如果探針卡上的固定孔30沒有完全對準(zhǔn)探針臺的固定件，可以通過探針卡上的取放桿20，調(diào)整探針卡的位置，直到探針卡固定在探針臺上。探針卡放置過程完成。
[0033]同樣的，通過探針卡上的取放桿20，將探針卡從探針臺上取下，更換為新的探針卡，探針卡的取換過程完成。
[0034]在探針卡固定放置好后，移動探針臺，使探針卡的下表面的探針與待測試晶圓接觸連接，上表面的PCB線路與周邊測試儀器連接，即可實現(xiàn)對待測試晶圓的晶片允收測試。
【主權(quán)項】
1.一種探針卡，其特征在于，包括PCB基板和取放桿，所述PCB基板上設(shè)置有連接孔，所述連接孔與取放桿連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述取放桿與連接孔采用可拆卸式連接或固定連接。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述連接孔的數(shù)量為2個，分別位于PCB基板中心的兩側(cè)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述取放桿采用截面為T形的柱體。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針卡，其特征在于，所述柱體包括連接在一起的下圓柱和上圓柱，所述下圓柱直徑與連接孔直徑相互固定配合。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的探針卡，其特征在于，所述下圓柱直徑為3?5mm，高度為10?12mm，所述上圓柱直徑為13?15mm，高度為5?7mm。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述PCB基板上設(shè)置有PCB線路和探針，所述探針和PCB線路連接且分別位于PCB基板的兩個面上，所述PCB基板上設(shè)置有固定孔，所述固定孔與探針臺上的固定件相對應(yīng)。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的探針卡，其特征在于，所述固定孔和連接孔與PCB線路彼此獨立。9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的探針卡，其特征在于，所述固定孔的數(shù)量為2個，分別位于PCB基板中心的兩側(cè)。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述取放桿采用有機玻璃材料。
【專利摘要】本實用新型公開了一種探針卡，包括PCB基板和取放桿，所述PCB基板上設(shè)置有連接孔，所述連接孔與取放桿連接。本實用新型的探針卡在PCB基板的連接孔上連接取放桿，通過取放桿連接整個探針卡，在取放探針卡時，只需要通過取放桿進行施力，即可帶動整個探針卡進行移動，也可以通過取放桿調(diào)整探針卡的位置。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，節(jié)省了取放探針卡的時間和精力，具有快速、便捷取放的效果，提高了工作效率。
【IPC分類】G01R1/067
【公開號】CN204989257
【申請?zhí)枴緾N201520793943
【發(fā)明人】謝翠萍, 莫保章, 王靚
【申請人】上海華力微電子有限公司
【公開日】2016年1月20日
【申請日】2015年10月14日