專利名稱：具有配方分配管理數(shù)據(jù)庫的半導(dǎo)體晶圓制造執(zhí)行系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造系統(tǒng)，且特別涉及一種包括制造執(zhí)行系統(tǒng)的半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)。
在強烈的競爭之下，半導(dǎo)體制造設(shè)備被迫在考量節(jié)省成本的因素之下，必須確保處理工具的排程(scheduling)和使用更加有效率。為了增加設(shè)備的生產(chǎn)力(productivity)，許多現(xiàn)代化的半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)都包括一個中央制造執(zhí)行系統(tǒng)(manufacturing execution system，MES)。一個典型的制造執(zhí)行系統(tǒng)可以執(zhí)行下列功能工作進行中(work in process，WIP)追蹤、資源配置和狀態(tài)、動作排程、品管數(shù)據(jù)(quality data)收集和處理控制。制造執(zhí)行系統(tǒng)也可以被當(dāng)成一個用來收集數(shù)據(jù)和分配數(shù)據(jù)的中央存放處(central depository)。舉例來說，制造執(zhí)行系統(tǒng)可以實時地和動態(tài)地收集、組合和表示(express)原料(rawmaterials)、成品(finished products)、半成品(semi-finished products)、機器、時間和成本的數(shù)據(jù)，并且追蹤和控制每一個生產(chǎn)處理。
一個典型的制造執(zhí)行系統(tǒng)可以包括一個單一的數(shù)據(jù)庫，用來儲存用來自動監(jiān)視和控制處理工具的信息。舉例來說，在一個包括制造執(zhí)行系統(tǒng)的半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)中，該制造執(zhí)行系統(tǒng)的單一數(shù)據(jù)庫，可以是一個包括“基本”記錄(或數(shù)據(jù)列)(basic records)的“基本”數(shù)據(jù)庫(basic database)，每一個基本記錄包括一個處理工具用來自動執(zhí)行一個處理所需的信息。制造執(zhí)行系統(tǒng)可以將從處理工具所接收的操作數(shù)據(jù)，與每一基本數(shù)據(jù)列互相比較，并且只有在操作數(shù)據(jù)與一基本數(shù)據(jù)列互相吻合時，才會執(zhí)行處理的工作。
在上述的半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)中，當(dāng)即使操作數(shù)據(jù)與基本數(shù)據(jù)庫中的一基本數(shù)據(jù)列互相吻合時，制造執(zhí)行系統(tǒng)有可能會拒絕執(zhí)行處理的工作，在這種情況下就有可能產(chǎn)生一種問題。舉例來說，當(dāng)工具(tool)的性能降低，或是在晶圓處理中發(fā)現(xiàn)缺陷(defect)時，制造執(zhí)行系統(tǒng)可能會拒絕執(zhí)行處理。因為工具的性能降低，在這種情形下，這種問題通常都可以通過將與操作數(shù)據(jù)互相吻合的基本數(shù)據(jù)列刪除，并且事后再回存(restore)該數(shù)據(jù)列，以維護基本數(shù)據(jù)庫的完整的方法來解決。然而，刪除和回存基本數(shù)據(jù)列會耗用大量的時間。
因此，在公知技術(shù)中，存在一種需求，以消除在制造執(zhí)行系統(tǒng)系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫中，手動的刪除和事后回存數(shù)據(jù)列的動作，以使得處理可以在一個處理工具中自動地被執(zhí)行。
比較模塊將從一個制造機器(manufacturing machine)所接收的操作數(shù)據(jù)(operation data)，先與每一基本數(shù)據(jù)列，再與每一配方分配管理數(shù)據(jù)列互相比較，以決定操作數(shù)據(jù)是否與至少一基本數(shù)據(jù)列和配方分配管理數(shù)據(jù)列互相吻合。當(dāng)操作數(shù)據(jù)與至少一配方分配管理數(shù)據(jù)列互相吻合時，輸出模塊會輸出一個限制訊號(limiting signal)給制造機器。該限制訊號是用來限制該制造機器，執(zhí)行一個相對應(yīng)于該操作數(shù)據(jù)的處理。
如果操作數(shù)據(jù)并未與至少一基本數(shù)據(jù)列和配方分配管理數(shù)據(jù)列互相吻合，輸出模塊也可以先輸出一個第一警告訊號給制造機器，再輸出一個第二警告訊號給使用者界面。
半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)也可能包括一些方法，用來將新的配方分配管理數(shù)據(jù)列加到配方分配管理數(shù)據(jù)庫，在配方分配管理數(shù)據(jù)庫中編輯配方分配管理數(shù)據(jù)列，以及/或者將配方分配管理數(shù)據(jù)列從配方分配管理數(shù)據(jù)庫中刪除。
圖1是一個包括一個半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)的半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)的實施例，其中制造執(zhí)行系統(tǒng)包括一個基本數(shù)據(jù)庫和一個配方分配管理(RDM)數(shù)據(jù)庫；圖2是圖1中基本數(shù)據(jù)庫的實施例；圖3是圖1中配方分配管理數(shù)據(jù)庫的實施例；圖4是可以被包含在圖1中的制造執(zhí)行系統(tǒng)的制造執(zhí)行系統(tǒng)方法的實施例；圖5是將一個新的配方分配管理數(shù)據(jù)列，加到圖1中的配方分配管理數(shù)據(jù)庫方法的實施例；圖6是圖1中的配方分配管理數(shù)據(jù)庫中，編輯一個現(xiàn)存的配方分配管理數(shù)據(jù)列方法的實施例；圖7是將一個配方分配管理數(shù)據(jù)列，從圖1中的配方分配管理數(shù)據(jù)庫中刪除方法的實施例。
圖中標記分別為10 半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)11 使用者12 制造機器14 單元控制器16 使用者界面20 接收模塊22 比較模塊
24 輸入模塊26 編輯模塊28 刪除模塊30 輸出模塊32 存儲模塊34 基本數(shù)據(jù)庫36 配方分配管理數(shù)據(jù)庫37 基本數(shù)據(jù)列38 配方分配管理數(shù)據(jù)列以下將參考搭配附圖，詳細說明本發(fā)明的較佳實施例。并且盡可能的使用相同或是類似的在附圖中的標記，對相同或是類似的組件詳加說明。值得注意的是，附圖是簡化的形式，并不符合實際大小。
雖然以下的說明只針對特定的實施例，當(dāng)知這些實施例只是用來當(dāng)做說明的范例，本發(fā)明的范圍并不以此為限。雖然以實施例為例，下述的詳細說明的目的，是涵蓋所有對實施例的修改、選擇和等量的解釋定義，本發(fā)明的內(nèi)容在不脫離本發(fā)明之精神與范圍內(nèi)，當(dāng)以權(quán)利要求所界定者為準。舉例來說，對熟知此技術(shù)者而言當(dāng)知，任何包括可以識別被拒絕執(zhí)行處理裝置的制造執(zhí)行系統(tǒng)，都可以受益于容易的建立、編輯和刪除數(shù)據(jù)列的一個第二數(shù)據(jù)庫，該第二數(shù)據(jù)庫可以優(yōu)先于(override)識別被拒絕執(zhí)行處理的標準裝置。
此外，當(dāng)知在此所說明的處理步驟和結(jié)構(gòu)，并未涵蓋一個完整的半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)的完整處理流程。本發(fā)明可以與各種在公知技術(shù)中，常用的半導(dǎo)體制造技術(shù)搭配使用，而且本說明中只有包括使本發(fā)明更易讓人了解的實用處理步驟。
請參考圖1，圖1中所繪示的一個半導(dǎo)體晶圓制造系統(tǒng)10的實施例，包括一個接收模塊20、一個存儲模塊32、一個比較模塊22、一個輸入模塊24、一個編輯模塊26、一個刪除模塊28和一個輸出模塊30。制造執(zhí)行系統(tǒng)10連接到一個制造機器12、一個單元控制器14和一個使用者界面16。
模塊20、22、24、26、28、30和32的功能可以在一個計算機裝置中實現(xiàn)。該計算機裝置可以是一個典型的包括一個儲存裝置、一個界面、一個輸入裝置和一個中央處理單元(central processing unit，CPU)的計算機裝置。該儲存裝置可以是一個例如像是硬式磁盤驅(qū)動器(HDD)、只讀光盤(CD-ROM)、動態(tài)隨機存取內(nèi)存(DRAM)或是可電抹除可編程只讀存儲器(Electrically Erasable Programmable Read OnlyMemory，EEPROM)的計算機可讀取數(shù)據(jù)儲存裝置。該界面則是用來建立單元控制器14和使用者界面16之間的訊號通訊。較偏好的界面是使用一個局域網(wǎng)絡(luò)(local area network，LAN)，然而，熟知此技術(shù)者而言當(dāng)知，也可以使用其它的通訊方法，并且使用其它通訊方法的界面也是包含在本發(fā)明的范圍之內(nèi)。
單元控制器14較偏好使用國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料(SemiconductorEquipment and Materials International，SEMI)(美國加州圣荷西)E5所描述的訊息傳輸協(xié)議(message transfer protocol)，與制造機器12建立起訊號通訊。并且使用SEMI設(shè)備通訊標準II(SECS II)，與制造機器12互相溝通。SEMI設(shè)備通訊標準(SECS)指定與半導(dǎo)體制造設(shè)備控制有關(guān)的一組訊息(messages)，以及該些訊息各自的語法(syntax)和語義(semantics)。對熟知此技術(shù)者而言，當(dāng)知還有其它的通訊標準存在，而且使用其它通訊標準的半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)，也是包含在本發(fā)明的范圍之內(nèi)。
輸入裝置可以是一個鼠標或是鍵盤，以使得使用者11可以通過輸入裝置，輸入訊息和控制該些模塊。中央處理器(CPU)可以是在公知技術(shù)中的任何中央處理器，例如像是算術(shù)邏輯單元(arithmetic andlogic unit，ALU)，緩存器和控制器，以用來執(zhí)行各種數(shù)據(jù)處理，和控制在計算機裝置中的每一裝置的動作程序。
在本實施例中，模塊20、22、24、26、28、30和32是儲存在儲存裝置中的軟件模塊。在模塊20、22、24、26、28、30和/或32被加載之后，中央處理器通過在計算機裝置中的該些裝置，執(zhí)行模塊20、22、24、26、28、30和/或32的功能。然而，熟知此技術(shù)者當(dāng)知本發(fā)明在此所揭露的軟件模塊，也可以在硬件中實現(xiàn)，例如像是在特定用途集成電路(application-specific integrated circuit，ASIC)或是其它類似的硬件組件中實現(xiàn)，而不會偏離本發(fā)明的精神與范圍。
存儲模塊32儲存一個基本數(shù)據(jù)庫34和一個配方分配管理數(shù)據(jù)庫36。一個基本數(shù)據(jù)庫34的實施例包括如圖2中所繪示的復(fù)數(shù)個基本數(shù)據(jù)列37。一個配方分配管理數(shù)據(jù)庫36的實施例包括如圖3中所繪示的復(fù)數(shù)個配方分配管理數(shù)據(jù)列38。每一該些基本數(shù)據(jù)列37包括一個批次識別碼(lot ID)、一個配方識別碼(recipe ID)和一個工作室識別碼(chamber ID)，而且可以被用在制造機器12(圖1)的自動執(zhí)行上。在本實施例中，一個配方分配管理數(shù)據(jù)列可以包括一個產(chǎn)品識別碼(product ID)、一個布線名稱(route name)、一個操作號碼(operationNo.)、一個工具識別碼(tool ID)和一個配方識別碼(recipe ID)。配方分配管理數(shù)據(jù)列指定被某些工具所限定的處理名稱。因此，相對應(yīng)于基本數(shù)據(jù)列是用來指定一個可以被處理的特定工具(given tool)，配方分配管理數(shù)據(jù)列是用來指定不能被處理的工具。每一該些配方分配管理數(shù)據(jù)列38包括一個代碼(code)(也就是一個配方識別碼)時，用來與從制造機器12所收到的操作數(shù)據(jù)互相比較。
比較模塊22根據(jù)配方分配管理數(shù)據(jù)列38，決定是否應(yīng)該限制該操作數(shù)據(jù)。當(dāng)一個批次列表(lot list)已經(jīng)從特定的閑置工具(idle tool)中被選出后，原先的制造執(zhí)行系統(tǒng)會提供一個制造執(zhí)行系統(tǒng)批次列表(基本數(shù)據(jù)列37)，然后再將該制造執(zhí)行系統(tǒng)批次列表，供應(yīng)給比較模塊22。接下來，比較模塊22將配方分配管理數(shù)據(jù)列的產(chǎn)品名稱/布線-動作/工具識別碼/配方名稱，與制造執(zhí)行系統(tǒng)批次列表互相比較(這也就是比較模塊22的主要功能)。如果有數(shù)據(jù)相符合，接下來比較模塊22會標示(mark)(或是過濾篩選(filter))該數(shù)據(jù)，然后再將該數(shù)據(jù)送給輸出模塊30。當(dāng)操作數(shù)據(jù)并沒有被限制時，比較模塊22會將操作數(shù)據(jù)與基本數(shù)據(jù)列37比較，以決定是否要產(chǎn)生警告訊號。
接收模塊20經(jīng)由界面輸入數(shù)據(jù)，輸出模塊30經(jīng)由界面輸出數(shù)據(jù)。因此，接收模塊20可以經(jīng)由單元控制器14，接收來自制造機器12的一個操作數(shù)據(jù)。當(dāng)該操作數(shù)據(jù)被限制時，輸出模塊30經(jīng)由單元控制器14，輸出一個限制訊號給制造機器12。如上所述，該限制訊號是用來限制制造機器12執(zhí)行一個相對應(yīng)于該操作數(shù)據(jù)的處理。
當(dāng)操作數(shù)據(jù)并未與任一該些基本數(shù)據(jù)列相吻合時，輸出模塊30也可以經(jīng)由單元控制器14，輸出一個警告訊號給制造機器12。此外，輸出模塊30也可以輸出限制訊號或是警告訊號給使用者界面16，以警告使用者11。
使用者11可以使用輸入模塊24，輸入一個新的配方分配管理數(shù)據(jù)列38，以更新配方分配管理數(shù)據(jù)庫36，使用編輯模塊26，編輯一個現(xiàn)存的配方分配管理數(shù)據(jù)列38，以及使用刪除模塊28，刪除一個現(xiàn)存的配方分配管理數(shù)據(jù)列38。在本實施例中，使用者11使用輸入裝置16來輸入、編輯和刪除數(shù)據(jù)。
參考圖4，以下將詳細說明包括復(fù)數(shù)個步驟的一個半導(dǎo)體制造執(zhí)行方法的實施例。在步驟42中，經(jīng)由單元控制器14(圖1)，接收來自制造機器12(圖1)的一個操作數(shù)據(jù)。制造機器12將操作數(shù)據(jù)輸出給單元控制器14，單元控制器14接收并且將該操作數(shù)據(jù)傳送給半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)10(圖1)。制造機器12和單元控制器14之間，較偏好使用SEMI設(shè)備通訊標準(SECS)來互相通訊。單元控制器14和制造執(zhí)行系統(tǒng)10之間，較偏好使用網(wǎng)絡(luò)(network)來互相通訊。然而，熟知此技術(shù)者而言當(dāng)知，其它的通訊標準也可以被應(yīng)用在制造執(zhí)行系統(tǒng)10中，而且還是包括在本發(fā)明的范圍之內(nèi)。
在步驟44中，比較模塊22會將操作數(shù)據(jù)與配方分配管理數(shù)據(jù)列38互相比較。如果操作數(shù)據(jù)與至少一配方分配管理數(shù)據(jù)列38相吻合(也就是該操作數(shù)據(jù)被限制)，就會執(zhí)行步驟46。如果操作數(shù)據(jù)并未與至少一配方分配管理數(shù)據(jù)列38相吻合(也就是該操作數(shù)據(jù)并未被限制)，就會執(zhí)行步驟48。舉例來說，如果配方分配管理數(shù)據(jù)列38包括當(dāng)成一個限制條件的配方識別碼001，而且操作數(shù)據(jù)也包括配方識別碼001，則數(shù)據(jù)吻合，步驟46會被執(zhí)行。
在步驟46中，輸出模塊30輸出一個第一限制訊號給制造機器12，以限制其執(zhí)行相對應(yīng)于該操作數(shù)據(jù)的處理。輸出模塊30接下來會使用網(wǎng)絡(luò)，輸出一個第二限制訊號給使用者界面16，以使得使用者11可以采取行動，以更正錯誤。在一個修正的實施例中，該第一和第二限制訊號可以相同。輸出模塊30對每一個制造機器，將第二限制訊號，輸出給一個事先指定的使用者界面16，以使得使用者11可以在使用者界面16上，看到警告訊息。
在步驟48中，比較模塊22決定該操作數(shù)據(jù)是否與任一該些基本數(shù)據(jù)列37相吻合。如果操作數(shù)據(jù)與任一該些基本數(shù)據(jù)列37相吻合，就會執(zhí)行編號52的結(jié)束步驟，而且會正常地執(zhí)行處理。當(dāng)操作數(shù)據(jù)并未與任一該些基本數(shù)據(jù)列37相吻合，就會執(zhí)行步驟50。
在步驟50中，輸出模塊30輸出一個第一警告訊號給制造機器12，以及一個第二警告訊號給使用者界面16。該警告訊號可以經(jīng)由單元控制器14傳送給制造機器12，或是經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)傳送給使用者界面16。因此，使用者11就會被通知，以采取行動更正錯誤。舉例來說，制造機器12的動作有可能被暫停(hold)或是限制。在一個修正的實施例中，該第一和第二警告訊號可以相同。
接下來使用圖5到圖7，來說明配方分配管理數(shù)據(jù)列38(圖3)，是如何的被加到配方分配管理數(shù)據(jù)庫36(圖1和圖3)，如何在配方分配管理數(shù)據(jù)庫36(圖1和圖3)中編輯，和如何從配方分配管理數(shù)據(jù)庫36(圖1和圖3)中刪除。圖5繪示一個將一個新的配方分配管理數(shù)據(jù)列38，加到配方分配管理數(shù)據(jù)庫36的方法。在步驟54中，使用者經(jīng)由使用者界面16(圖1)和輸入模塊24(圖1)，輸入一個新的配方分配管理數(shù)據(jù)列38。在步驟56中，該新的配方分配管理數(shù)據(jù)列38，被加到配方分配管理數(shù)據(jù)庫36中。
圖6繪示一個在配方分配管理數(shù)據(jù)庫36中，編輯一個配方分配管理數(shù)據(jù)列38的方法。在步驟60中，使用者經(jīng)由使用者界面16(圖1)和輸入模塊24(圖1)，輸入一個代碼(例如像是一個配方碼，或是配方識別碼)。在步驟62中，比較模塊22(圖1)決定該配方碼，是否與在配方分配管理數(shù)據(jù)庫36中的任一該些配方分配管理數(shù)據(jù)列38相吻合。如果該配方碼與任一該些配方分配管理數(shù)據(jù)列38的配方碼相吻合，就會執(zhí)行步驟64。在步驟64中，使用者11編輯具有相同配方碼的配方分配管理數(shù)據(jù)列38。使用者經(jīng)由使用者界面16(圖1)和編輯模塊26(圖1)，編輯該配方分配管理數(shù)據(jù)列38。在步驟66中，該編輯過的配方分配管理數(shù)據(jù)列38，會被更新到配方分配管理數(shù)據(jù)庫36。
圖7繪示一個從配方分配管理數(shù)據(jù)庫36中，刪除一個配方分配管理數(shù)據(jù)列38的方法。在步驟60中，使用者經(jīng)由使用者界面16(圖1)和輸入模塊24(圖1)，輸入一個代碼(例如像是一個配方碼，或是配方識別碼)。在步驟62中，比較模塊22決定該配方碼，是否與在配方分配管理數(shù)據(jù)庫36中的任一該些配方分配管理數(shù)據(jù)列38相吻合。如果該配方碼與任一該些配方分配管理數(shù)據(jù)列38的配方碼相吻合，就會執(zhí)行步驟70。在步驟70中，具有相同配方碼的配方分配管理數(shù)據(jù)列38，就會被從配方分配管理數(shù)據(jù)庫36中刪除。
因此，上述的半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)可以提供一種簡單的方法，用來處理制造機器拒絕執(zhí)行的處理。因此并不需要將基本數(shù)據(jù)列從基本數(shù)據(jù)庫中刪除，再事后將其回存到基本數(shù)據(jù)庫。熟知此技術(shù)者當(dāng)知本較佳實施例所描述的方法，可運用各種方式加以修正，以達到相同或是類似的結(jié)果。任何使用一個個別的數(shù)據(jù)庫，來解決上述問題的半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)，都是包括在本發(fā)明的范圍之內(nèi)。雖然上述的實施例是以范例的方式提出，但是本發(fā)明并不受限于這些范例。本發(fā)明所公開的實施例的各種變更和修正，對熟知此技術(shù)者而言，當(dāng)被考慮為仍然包括在上述的說明之內(nèi)，而不會與本發(fā)明的意義相左。舉例來說，在本發(fā)明的另一實施例中，在操作數(shù)據(jù)與配方分配管理數(shù)據(jù)庫36的配方分配管理數(shù)據(jù)列38互相比較之前，或是比較的同時，操作數(shù)據(jù)也可以與基本數(shù)據(jù)庫34的基本數(shù)據(jù)列37互相比較。然而，像這樣的變更和修正，也是包括在本發(fā)明下述申請專利范圍的范圍之內(nèi)。
雖然本發(fā)明已以較佳實施例公開如上，但其并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉該技術(shù)的人員，在不脫離本發(fā)明之精神與范圍內(nèi)，所作的少許變動與潤飾，均屬于本發(fā)明的保護范圍。
權(quán)利要求
1.一種半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)，包括一存儲模塊，用來儲存一基本數(shù)據(jù)庫和一配方分配管理(RDM)數(shù)據(jù)庫，其中該基本數(shù)據(jù)庫包括復(fù)數(shù)個基本數(shù)據(jù)列，該配方分配管理數(shù)據(jù)庫包括復(fù)數(shù)個配方分配管理數(shù)據(jù)列；一比較模塊，用來將來自一制造機器的一操作數(shù)據(jù)，與該些配方分配管理數(shù)據(jù)列和該些基本數(shù)據(jù)列互相比較，以決定該操作數(shù)據(jù)是否與該些配方分配管理數(shù)據(jù)列和該些基本數(shù)據(jù)列的至少一數(shù)據(jù)列相吻合；一輸出模塊，其中如果該操作數(shù)據(jù)與該些配方分配管理數(shù)據(jù)列的至少一數(shù)據(jù)列相吻合時，該輸出模塊輸出一第一限制訊號。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于該比較模塊將該操作數(shù)據(jù)與該些配方分配管理數(shù)據(jù)列比較，以決定該操作數(shù)據(jù)是否被限制，而且當(dāng)該操作數(shù)據(jù)并未被限制時，將該操作數(shù)據(jù)與該些基本數(shù)據(jù)列互相比較。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于如果該操作數(shù)據(jù)與該些配方分配管理數(shù)據(jù)列的至少一數(shù)據(jù)列相吻合時，該輸出模塊輸出至少一第一限制訊號給該制造機器，以及輸出一第二限制訊號給一使用者接口；如果該操作數(shù)據(jù)并未與該些基本數(shù)據(jù)列和該些配方分配管理數(shù)據(jù)列的至少一數(shù)據(jù)列相吻合時，該輸出模塊輸出一警告訊號。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于該半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)更加包括一接收單元，接收來自該操作機器的該操作數(shù)據(jù)；如果該操作數(shù)據(jù)并未與該些基本數(shù)據(jù)列和該些配方分配管理數(shù)據(jù)列的至少一數(shù)據(jù)列相吻合時，該輸出模塊輸出至少一第一警告訊號給該制造機器，以及輸出一第二警告訊號給該使用者接口。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于該制造執(zhí)行系統(tǒng)連接到一單元控制器，其中該接收單元經(jīng)由該單元控制器，接收來自該制造機器的該操作數(shù)據(jù)；該輸出模塊經(jīng)由該單元控制器，輸出該第一限制訊號給該制造機器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于該制造執(zhí)行系統(tǒng)連接到一使用者界面，如果該操作數(shù)據(jù)并未與該些配方分配管理數(shù)據(jù)列的至少一數(shù)據(jù)列相吻合時，該輸出模塊更加輸出一第二限制訊號，如果該操作數(shù)據(jù)并未與該些基本數(shù)據(jù)列和該些配方分配管理數(shù)據(jù)列的至少一數(shù)據(jù)列相吻合時，該輸出模塊輸出一第二警告訊號給該使用者接口。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于更加包括一輸入模塊，允許一使用者輸入一新的配方分配管理數(shù)據(jù)列到該配方分配管理數(shù)據(jù)庫。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于更加包括一編輯模塊，允許一使用者編輯該些配方分配管理數(shù)據(jù)列的一數(shù)據(jù)列。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)，其特征在于更加包括一刪除模塊，允許一使用者刪除該些配方分配管理數(shù)據(jù)列的一數(shù)據(jù)列。
10.一種半導(dǎo)體制造執(zhí)行方法，包括接收來自一制造機器的一操作數(shù)據(jù)；將該操作數(shù)據(jù)與復(fù)數(shù)個配方分配管理數(shù)據(jù)列比較，以決定該操作數(shù)據(jù)是否與任一該些配方分配管理數(shù)據(jù)列相吻合；如果該操作數(shù)據(jù)并未與任一該些配方分配管理數(shù)據(jù)列相吻合，將該操作數(shù)據(jù)與復(fù)數(shù)個基本數(shù)據(jù)列比較，以決定該操作數(shù)據(jù)是否與任一該些基本數(shù)據(jù)列相吻合；根據(jù)該操作數(shù)據(jù)與該些配方分配管理數(shù)據(jù)列和該些基本數(shù)據(jù)列比較的一結(jié)果，輸出一訊號。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的方法，其特征在于輸出一訊號的該步驟包括如果該操作數(shù)據(jù)與任一該些配方分配管理數(shù)據(jù)列相吻合，輸出一第一限制訊號給該制造機器；如果該操作數(shù)據(jù)并未與任一該些配方分配管理數(shù)據(jù)列和任一該些基本數(shù)據(jù)列相吻合，輸出一第一警告訊號給該制造機器。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于更加包括如果該操作數(shù)據(jù)與任一該些配方分配管理數(shù)據(jù)列相吻合，輸出一第二限制訊號給一使用者接口；如果該操作數(shù)據(jù)并未與任一該些配方分配管理數(shù)據(jù)列和任一該些基本數(shù)據(jù)列相吻合，輸出一第二警告訊號給該使用者界面。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于該接收包括經(jīng)由一單元控制器，接收來自該制造機器的該操作數(shù)據(jù)；輸出該第一限制訊號包括經(jīng)由該單元控制器，輸出該第一限制訊號給該制造機器；輸出該第一警告訊號包括經(jīng)由該單元控制器，輸出該第一警告訊號給該制造機器。
14.一種方法，包括接收一新的配方分配管理數(shù)據(jù)列，其中該新的配方分配管理數(shù)據(jù)列包括一產(chǎn)品識別碼、一布線名稱、一操作號碼、一工具識別碼和一配方識別碼；將該新的配方分配管理數(shù)據(jù)列，加到一配方分配管理數(shù)據(jù)庫。
15.一種方法，包括接收一數(shù)據(jù)列碼；編輯具有一相對應(yīng)數(shù)據(jù)列碼的一配方分配管理數(shù)據(jù)庫的一配方分配管理數(shù)據(jù)列，其中該配方分配管理數(shù)據(jù)列包括一產(chǎn)品識別碼、一布線名稱、一操作號碼、一工具識別碼和一配方識別碼；在該配方分配管理數(shù)據(jù)庫中，更新該編輯過的配方分配管理數(shù)據(jù)列。
16.一種方法，包括接收一數(shù)據(jù)列碼；刪除具有一相對應(yīng)數(shù)據(jù)列碼的一配方分配管理數(shù)據(jù)庫的一配方分配管理數(shù)據(jù)列，其中該配方分配管理數(shù)據(jù)列包括一產(chǎn)品識別碼、一布線名稱、一操作號碼、一工具識別碼和一配方識別碼。
17.一種制造系統(tǒng)，包括一制造機器；一制造執(zhí)行系統(tǒng)，包括一比較模塊、具有復(fù)數(shù)個第一數(shù)據(jù)列的基本數(shù)據(jù)庫和一具有復(fù)數(shù)個第二數(shù)據(jù)列的第二數(shù)據(jù)庫，其中該第二數(shù)據(jù)庫可以很容易地被修正；一第一界面，連接在該制造機器和該制造執(zhí)行系統(tǒng)之間，其中該制造執(zhí)行系統(tǒng)，由該第一界面接收來自該制造機器的一操作數(shù)據(jù)，并且將復(fù)數(shù)個第一訊號，經(jīng)由該第一界面，提供給該制造機器；一第二界面，連接到該制造執(zhí)行系統(tǒng)，其中該制造執(zhí)行系統(tǒng)，經(jīng)由該第二界面，提供復(fù)數(shù)個第二訊號給一使用者；其中，該比較模塊將該操作數(shù)據(jù)，與該些第二數(shù)據(jù)列比較，如果該操作數(shù)據(jù)與該些第二數(shù)據(jù)列的至少一數(shù)據(jù)列相符合，該制造執(zhí)行系統(tǒng)會產(chǎn)生至少一限制訊號。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的制造系統(tǒng)，其特征在于該至少一限制訊號包括一第一限制訊號和一第二限制訊號，該些第一訊號包括該第一限制訊號，該些第二訊號包括該第二限制訊號。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的制造系統(tǒng)，其特征在于該些第一數(shù)據(jù)列是復(fù)數(shù)個基本數(shù)據(jù)列，而且該比較模塊將該操作數(shù)據(jù)與該些基本數(shù)據(jù)列互相比較，如果該操作數(shù)據(jù)并未與該些第二數(shù)據(jù)列的至少一數(shù)據(jù)列相符合，并且該操作數(shù)據(jù)并未與該些基本數(shù)據(jù)列的至少一數(shù)據(jù)列相符合，該制造執(zhí)行系統(tǒng)就會產(chǎn)生至少一警告訊號。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的制造系統(tǒng)，其特征在于該至少一警告訊號包括一第一警告訊號和一第二警告訊號，該些第一訊號包括該第一警告訊號，該些第二訊號包括該第二警告訊號。
21.根據(jù)權(quán)利要求17所述的制造系統(tǒng)，其特征在于該制造執(zhí)行系統(tǒng)更加包括一輸入模塊，允許一使用者輸入一新的第二數(shù)據(jù)列到該第二數(shù)據(jù)庫。
22.根據(jù)權(quán)利要求17所述的制造系統(tǒng)，其特征在于該制造執(zhí)行系統(tǒng)更加包括一編輯模塊，允許一使用者編輯該些第二數(shù)據(jù)列的一數(shù)據(jù)列。
23.根據(jù)權(quán)利要求17所述的制造系統(tǒng)，其特征在于該制造執(zhí)行系統(tǒng)更加包括一刪除模塊，允許一使用者刪除該些第二數(shù)據(jù)列的一數(shù)據(jù)列。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)，包括一個存儲模塊、一個比較模塊和一個輸出模塊。存儲模塊儲存一個基本數(shù)據(jù)庫和一個配方分配管理數(shù)據(jù)庫。基本數(shù)據(jù)庫包括復(fù)數(shù)個基本數(shù)據(jù)列，配方分配管理數(shù)據(jù)庫包括復(fù)數(shù)個配方分配管理數(shù)據(jù)列。比較模塊將從一個制造機器所接收的操作數(shù)據(jù)先與每一配方分配管理數(shù)據(jù)列比較，再與每一基本數(shù)據(jù)列互相比較，以決定操作數(shù)據(jù)是否與至少一配方分配管理數(shù)據(jù)列和基本數(shù)據(jù)列互相吻合。
文檔編號G05B19/418GK1455437SQ0312240
公開日2003年11月12日 申請日期2003年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2002年4月30日
發(fā)明者蘇遠志, 游振忠, 林誌煌, 尤竹山 申請人:旺宏電子股份有限公司