專利名稱：整合無線射頻識別的庫位監(jiān)控系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明有關一種庫位監(jiān)控系統(tǒng)，特別是有關一種整合無線射頻識別(RFID)技術 的庫位監(jiān)控系統(tǒng)。
背景技術：
關于使用RFID技術在晶片庫存或運送的先前技術已有美國發(fā)明專利 US6330971與美國早期公開申請案US20060043197以及中國臺灣發(fā)明專利TW 1267029所揭露。其中，美國發(fā)明專利US6330971揭露一種使用RFID技術以追蹤 晶片的系統(tǒng)，如圖1A所示，此系統(tǒng)IO包含承載晶片的多個載具11、 RFID讀取機 12，貼附在載具11的RFID標簽14以及控制器13，其中RFID讀取機12通過其上 的多個天線15以讀取貼附在各載具11上的RFID標簽14，同時RFID讀取機12并 將讀取到的標簽信息通過RS232接口傳送至控制器13以提供目前載具11及其承載 晶片所在位置。
此外，美國早期公開申請案US2006004319揭露一種使用RFID的載具以進行晶 片運輸的系統(tǒng)，如圖1B所示，此系統(tǒng)100包含運輸裝置110、承載晶片的載具111、 處理機臺115、RFID讀取機116以及機臺控制器117，當載具111通過運輸裝置110 輸送至處理機臺115時，則安裝于處理機臺115的RFID讀取機116讀取載具本體 112的RFID標簽114，以將RFID標簽114記載的載具識別碼送至機臺控制器117， 以提供處理機臺115進行此載具111內晶片片的加工處理。
此外，中國臺灣發(fā)明專利TW 1267029揭露一種使用RFID的載具以進行晶片運 輸的系統(tǒng)，如圖1C所示，此運輸系統(tǒng)1000包含晶片盒1010、 RFID標簽1020、運 輸裝置1030、處理機臺1040、 RFID讀取機1050、主機1060及觸發(fā)器1070，當一 晶片盒1010的RFID標簽1020出現在處理機臺1040附近時，由于RFID感應器直 接接收到RFID標簽1020而自動啟動運輸裝置1030，可能錯誤將晶片盒1010通過 機械手臂傳送至載卸部而誤傷操作員，但通過操作員直接操作觸發(fā)器1070以對主 機1060下達命令而控制RFID感應器何時感應，避免RFID感應器不當地感應RFID標簽而使機械手臂意外被啟動而危害操作員安全。
上述先前技術的內容主要是利用RFID以進行晶片輸送或追蹤，但是并沒有將 RFID技術與庫位監(jiān)控的信息系統(tǒng)有效整合在一起，以提供操作員(operator)可實 時監(jiān)控以晶片為主(wafer based)的庫位監(jiān)控，因此提供一種整合RFID技術至庫位 監(jiān)控的信息系統(tǒng)，使得操作員可在線上實時掌握半導體貨物的庫位管理及半導體測 試的調度規(guī)劃，實為業(yè)界急需解決的課題。

發(fā)明內容
為了提供一種可實時監(jiān)控以晶片為主(wafer based)的載具或半導體對象的庫 位監(jiān)控，以解決上述先前技術不盡理想之處，本發(fā)明提供一具有整合RFID技術的 庫位監(jiān)控系統(tǒng)，包含有多個載具(carriers)、 一庫位監(jiān)控主機用以監(jiān)控各載具或對 象的庫位、多個RFID標簽(tags)與多個RFID讀取機(RFID readers)。其中，載具 放置在廠商的預設空間(predetermined space)內，而各載具用以承載至少一個半 導體對象。RFID標簽(tags)分別設置于各載具(carrier)或對象，而各RFID標簽 具有一標簽信息(tag information) 。 RFID讀取機配置于廠商的預設空間內，通過 射頻方式自該RFID標簽讀出或寫入標簽信息。庫位監(jiān)控主機用以監(jiān)控各載具或半 導體對象的庫位，包含 一數據庫(legacy database),儲存與該庫位監(jiān)控系統(tǒng)有 關的數據；一RFID中介軟件，用以處理RFID讀取機與RFID標簽之間運作；一 web 接口 ，用以處理通過企業(yè)間(B2B)網絡聯機(internet)的操作員下達指令與輸出對 應的結果； 一輸出入接口，用以處理通過企業(yè)內部網絡聯機(intranet)的操作員下 達指令與輸出對應的結果；以及一庫位控制器，處理數據庫與RFID中介軟件、web 接口、輸出入接口之間數據的存取，以執(zhí)行庫位監(jiān)控的作業(yè)，據此，半導體廠的操 作員可線上(on-line)管理以晶片為主(wafer based)的載具或半導體對象的庫位 監(jiān)控。
因此，本發(fā)明的主要目的是提供一種整合RFID技術的庫位監(jiān)控系統(tǒng)，通過RFID 技術以提供操作員或系統(tǒng)線上實時監(jiān)控半導體對象的庫位信息。
此外，本發(fā)明的次要目的是提供一種整合RFID技術的庫位監(jiān)控系統(tǒng)，可進一 步通過RFID標簽的編碼作為搜尋索引，以提供上下游廠商從內部網絡實時掌控半 導體對象目前所在位置、狀態(tài)、與測試結果。
此外，本發(fā)明的再一目的是提供一種整合RFID技術的庫位監(jiān)控系統(tǒng)，可進一 步通過RFID標簽的編碼作為搜尋索引，以提供操作員從內部網絡可實時存取半導體貨物。
此外，本發(fā)明的又一目的是提供一種整合RFID技術的庫位監(jiān)控系統(tǒng)，可進一 步提供操作員從內部網絡以實時掌控目前半導體對象的測試狀況及產線的調度管 理。
此外，本發(fā)明的再一目的是提供一種整合RFID技術的庫位監(jiān)控系統(tǒng)，可進一 步提供進出貨或建物空間內的出入口門禁管制區(qū)的操作員從內部網絡以實時掌控 半導體貨物的進出狀況。


圖1A至圖1C是先前技術的一種使用RFID的晶片系統(tǒng)的示意圖。 圖2為本發(fā)明的第一較佳實施例的一種整合RFID的庫位監(jiān)控系統(tǒng)的示意圖。 圖3為根據圖2提出的另一種整合RFID的庫位監(jiān)控系統(tǒng)的第二較佳實施例的 示意圖。
具體實施例方式
由于本發(fā)明揭露一種整合RFID技術的庫位監(jiān)控系統(tǒng)，以提供操作員可實時監(jiān) 控以晶片為主(wafer based)的載具或半導體對象的庫位管理與產線控管，其中所 利用的半導體測試及無線射頻識別的技術原理，已為相關技術領域具有通常知識者 所能明了，故以下文中的說明，不再作完整描述。同時，以下文中所對照的附圖， 是表達與本發(fā)明特征有關的結構示意，并未亦不需要依據實際尺寸完整繪制。
首先請參考圖2，示出本發(fā)明所提出的第一較佳實施例，為一種整合無線射頻 識別(RFID)技術的庫位監(jiān)控系統(tǒng)20，用于半導體廠21，此庫位監(jiān)控系統(tǒng)20包括有 多個載具22、 一庫位監(jiān)控主機26、多個RFID標簽24與多個RFID讀取機23。其 中載具22放置在半導體廠21的預設空間(是指特定的廠房或作業(yè)區(qū))，用以承載至 少一個半導體對象220，此半導體對象220可以是晶片、探針卡或是掩膜，而承載 半導體對象220的載具22可以是晶舟盒、晶片傳送匣(FOUP)、晶片運輸盒(FOSB)、 手推車、或探針卡盒(Probe Card Box)。此外，在此半導體廠21內配置多個RFID 讀取機23，且在各載具與對象不同方位設置多個RFID標簽24，以確保每一 RFID 標簽24所記載的標簽信息可在此預設空間的射頻范圍內被RFID讀取機23所讀取 或寫入，此標簽信息包括標簽識別碼(tag ID)、載具或晶片批號(carrier or Lot ID)、客戶編號(customer ID)、晶片型號(wafer part ID)、晶片編號(wafer ID)、晶片數量(wafer Q' ty)、良好晶粒數量(Good Die Q' ty)及探針卡編號(probe card ID)等，此外上述RFID標簽24可以是被動式(passive)或主動式(active)。據此， 上述庫位監(jiān)控主機26可提供操作員實時監(jiān)控載具或半導體對象的庫位信息。
在上述實施例中，庫位監(jiān)控主機26的特點是包含一數據庫260、 一RFID中介 軟件261、 一web接口 262、 一庫位控制器263，以及一輸出入接口 264。其中上述 的數據庫260儲存與載具或半導體對象有關的編號、數量、狀況及位置等庫位數據， 例如載具或晶片批號、客戶編號、晶片型號、晶片編號、晶片數量、良好晶粒數 量及探針卡編號、載具或對象存放位置、晶片處理加工信息、晶片測試結果以及探 針卡使用記錄等相關庫位數據；RFID中介軟件261用以處理RFID讀取機23與RFID 標簽24之間運作，此外RFID中介軟件261并通過一數據傳輸協(xié)議與驅動程序230， 如從RS232、 Ethernet、 USB或WLAN等各種有線或無線傳輸方式擇其一 以進行庫位 監(jiān)控主機26與RFID讀取機23之間的數據傳輸，同時處理RFID讀取機23與RFID 標簽24之間數據讀取與寫入；web接口 262提供操作員通過企業(yè)間網絡(B2B internet)以下達指令與輸出對應的結果，例如操作員通過企業(yè)間網絡以搜尋特 定客戶所屬半導體對象220的庫位信息或工藝加工信息；輸出入接口 264可外接多 個輸出及輸入裝置，提供操作員下達指令與輸出對應結果的接口；庫位控制器263 處理數據庫260、 RFID中介軟件261、 web接口 262、輸出入接口 264之間的數據 傳輸，以執(zhí)行庫位監(jiān)控的作業(yè)。
在上述實施例中，RFID中介軟件261可進一步提供一索引鍵(未圖標)給 上述的庫位控制器263，以使庫位控制器263根據索引鍵以進行數據庫260的存取， 例如操作員可以載具批號及晶片編號為主索引鍵(primary index key)及次索引鍵 (secondary index key),進行線上數據庫260的搜尋以找出此晶片目前的位置信 息，而此索引鍵系由RFID中介軟件261自標簽信息所擷取的，也就是索引鍵可由 標簽識別碼、載具或晶片批號、客戶編號、晶片型號、晶片編號及探針卡編號等組 合而成。此外，可在鄰近RFID讀取機23進一步設置警示裝置25，如設置在半導 體廠內21的出入門禁處，以提供操作員實時性安全監(jiān)控與追蹤半導體對象220與 載具22的最新狀態(tài)。
請參考圖3，系本發(fā)明提出的第二較佳實施例，為另一種整合無線射頻識別 (RFID)技術的庫位監(jiān)控系統(tǒng)30。用于半導體廠31，此庫位監(jiān)控系統(tǒng)30包括有多 個載具32、 一庫位監(jiān)控主機36、多個RFID標簽34、多個RFID讀取機33與測試 機臺區(qū)37。其中載具32系放置在半導體廠31的預設空間(系指特定的廠房或作業(yè)區(qū))，用以承載至少一個半導體對象320，此半導體對象320可以是晶片、探針卡 或是掩膜，而承載半導體對象320的載具32可以是晶舟盒、晶片傳送匣(FOUP)、 晶片運輸盒(FOSB)、手推車、或探針卡盒(Probe Card Box)。此外，在此半導體 廠31內配置多個RFID讀取機33，且在各載具或半導體對象不同方位設置多個RFID 標簽34,以確保每一 RFID標簽34所記載的標簽信息可在此預設空間的射頻范圍 內被RFID讀取機33所讀取或寫入，此標簽信息包括標簽識別碼(tagID)、載具或 晶片批號(carrier or Lot ID)、客戶編號(customer ID)、晶片型號(wafer part ID)、 晶片編號(wafer ID)、晶片數量(waferQ' ty)、良好晶粒數量(Good Die Q' ty) 及探針卡編號(probe card ID)等，此外上述RFID標簽34可以是被動式(passive) 或主動式(active)。此外，上述的庫位監(jiān)控主機36進一步連接至測試機臺區(qū)37， 而此測試機臺區(qū)37包括多個測試機臺38、一線上測試系統(tǒng)39及一測試數據庫40， 線上測試系統(tǒng)39用以提供各測試機臺38所需的測試參數及監(jiān)控晶片/探針卡的使 用狀況，測試數據庫40用以存放晶片工藝的測試參數或加工信息，以及晶片測試 結果，使得線上測試系統(tǒng)39可實時提供操作員目前測試設備的運作狀況，同時整 合庫位監(jiān)控主機36通過RFID所產生晶片與探針卡的實時庫位信息，可進而產出一 可用資源報告366，以使得操作員可預先安排晶片測試的調度，同時完成自動測試 架機(Setup)作業(yè)。
在上述實施例中，庫位監(jiān)控主機36包含一數據庫360、 一 RFID中介軟件361、 一web接口 362、 一庫位控制器363，以及一輸出入接口 364。其中上述的數據庫 360系儲存與載具或半導體對象有關的編號、數量、狀況及位置等庫位數據，例如 載具或晶片批號、客戶編號、晶片型號、晶片編號、晶片數量、良好晶粒數量及探 針卡編號、載具或對象存放位置、晶片處理加工信息、晶片測試結果以及探針卡使 用記錄等相關數據。RFID中介軟件361用以處理RFID讀取機33與RFID標簽34 之間運作，此外RFID中介軟件361并通過一數據傳輸協(xié)議與驅動程序330，如從 RS232、 Ethernet、 USB或WL認等各種有線或無線傳輸方式擇其一 以進行庫位監(jiān)控 主機36與RFID讀取機33之間的數據傳輸，同時處理RFID讀取機33與RFID標簽 34之間數據讀取與寫入。web接口 362提供操作員通過企業(yè)間網絡(B2B internet) 以下達指令與輸出對應的結果，例如操作員通過企業(yè)間網絡以搜尋特定客戶所屬 半導體對象320的庫位信息或工藝加工信息；輸出入接口 364可外接多個輸出及輸 入裝置，提供操作員下達指令與輸出對應查詢結果的接口。庫位控制器363處理數 據庫360、 RFID中介軟件361、 web接口 362、輸出入接口 364之間的數據傳輸，以執(zhí)行庫位監(jiān)控的作業(yè)。
在上述實施例中，RFID中介軟件361可進一步提供一索引鍵(未圖標)給上述 的庫位控制器363，以使庫位控制器363根據索引鍵以進行數據庫360的存取，例 如操作員可以載具批號及晶片編號為主索引鍵(primary index key)及次索引鍵 (secondary index key)，進行線上數據庫360的搜尋以找出此晶片目前的庫位信 息，而此索引鍵是由RFID中介軟件361自標簽信息所擷取的，也就是索引鍵可由 標簽識別碼、載具或晶片批號、客戶編號、晶片型號、晶片編號及探針卡編號等組 合而成。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例，并非用以限定本發(fā)明的權利范圍；同時以 上的描述，對于熟知本技術領域的專門人士應可明了及實施，因此其它未脫離本發(fā) 明所揭示的精神下所完成的等效改變或修飾，均應包含在申請專利范圍中。
權利要求
1.一種整合無線射頻識別的庫位監(jiān)控系統(tǒng)，用于半導體廠，包括有多個載具，放置在該半導體廠對應的預設空間，該各載具用以承載至少一個半導體對象；一庫位監(jiān)控主機，用以監(jiān)控該載具或半導體對象對象的庫位；以及多個無線射頻識別標簽與多個無線射頻識別讀取機；其特征在于該多個無線射頻識別標簽，是分別設置于該各載具或半導體對象對象，而該各無線射頻識別標簽具有一標簽信息；該多個無線射頻識別讀取機，配置于該半導體廠內，通過射頻方式自該無線射頻識別標簽讀出或寫入該標簽信息；該庫位監(jiān)控主機包含一數據庫，儲存與該載具或半導體對象有關的庫位信息；一無線射頻識別中介軟件，用以處理這些無線射頻識別讀取機與無線射頻識別標簽之間運作；一web接口，用以處理通過企業(yè)間網絡聯機的操作員下達指令與輸出對應的結果；一輸出入接口，用以處理通過企業(yè)內部網絡聯機的操作員下達指令與輸出對應的結果；以及一庫位控制器，處理該數據庫與該無線射頻識別中介軟件、web接口、輸出入接口之間數據的存取，以執(zhí)行庫位監(jiān)控的作業(yè)。
2. 根據權利要求1所述的整合無線射頻識別的庫位監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于該半 導體對象可為掩膜、晶片或探針卡(probe card),而該庫位信息包含有該載具或半 導體對象位于收貨站、出貨站、測試機、氮氣柜、滑軌車或手推車或載具車、或建 物空間內的位置信息。
3. 根據權利要求1所述的整合無線射頻識別的庫位監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于該標 簽信息包括標簽識別碼、載具或晶片批號、客戶編號、晶片型號、晶片編號、晶片 數量、良好晶粒數量及探針卡編號。
4. 根據權利要求1所述的整合無線射頻識別的庫位監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于該無線射頻識別中介軟件進一步包含一數據傳輸協(xié)議與驅動程序，用以進行該庫位監(jiān)控 主機與無線射頻識別讀取機之間的數據傳輸，而該數據傳輸協(xié)議是一選自于由RS232、 Ethernet、 USB及WLAN等傳輸方式所構成的群組。
5. 根據權利要求1所述的整合無線射頻識別的庫位監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于該無 線射頻識別標簽可以是被動式或主動式，而該輸出入接口可外接多個輸出及輸入裝 置。
6. 根據權利要求1所述的整合無線射頻識別的庫位監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于該無 線射頻識別中介軟件可進一步提供一索引鍵給該庫位控制器，而該索引鍵可選自由 該標簽識別碼、載具或晶片批號、客戶編號、晶片型號、晶片編號及探針卡編號所 組成的群組，而該庫位控制器根據該索引鍵以進行該數據庫的存取。
7. 根據權利要求1所述的整合無線射頻識別的庫位監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于該無 線射頻識別讀取機進一步包含一警示裝置，以提供操作員實時性監(jiān)控。
8. 根據權利要求1所述的整合無線射頻識別的庫位監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于該庫 位監(jiān)控主機進一步連接至一測試機臺區(qū)，使得操作員可預先安排晶片測試的調度與 自動測試架機作業(yè)。
9. 根據權利要求1所述的整合無線射頻識別的庫位監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于該載 具是一選自于由晶舟盒、晶片傳送匣、晶片運輸盒、手推車、及探針卡盒所構成的 群組。
10. 根據權利要求1所述的整合無線射頻識別的庫位監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于該 預設空間是該無線射頻識別標簽被任一鄰近無線射頻識別讀取機可讀取到射頻信 號的范圍內，而該載具或對象可配置有至少一個以上的無線射頻識別標簽。
全文摘要
一種整合無線射頻識別(RFID)技術的在庫位監(jiān)控系統(tǒng)，用于半導體廠，包括有多個載具，各載具承載至少一個半導體對象；一庫位監(jiān)控主機；以及多個RFID標簽與RFID讀取機。多個RFID標簽分別設置于各載具與半導體對象上，各RFID標簽具有標簽信息；RFID讀取機可自RFID標簽讀出或寫入標簽信息。庫位監(jiān)控主機包含一數據庫儲存與庫位監(jiān)控系統(tǒng)有關的數據；一RFID中介軟件，處理RFID讀取機與RFID標簽之間運作；一web接口，處理通過企業(yè)間網絡聯機的操作員下達指令與輸出對應的結果；一輸出入接口，處理通過企業(yè)內部網絡聯機的操作員下達指令與輸出對應的結果；以及一庫位控制器，處理數據庫與RFID中介軟件、web接口、輸出入接口之間數據的存取，以執(zhí)行庫位監(jiān)控的作業(yè)。
文檔編號G05B19/418GK101551659SQ20081009095
公開日2009年10月7日 申請日期2008年3月31日 優(yōu)先權日2008年3月31日
發(fā)明者易繼銘, 江文祥, 紀釋棣, 范盛強, 范賜忠, 黃睿清 申請人:南茂科技股份有限公司