專利名稱：在線測(cè)定和控制鋁蝕刻液中各種酸濃度的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及酸混合液中各種酸濃度的測(cè)定和控制方法，尤其是一種在線準(zhǔn)確測(cè)定和控制鋁蝕刻液中各種酸濃度的方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體或TFT-LCD產(chǎn)業(yè)的鋁膜(鋁或鋁合金薄膜)蝕刻工序中，經(jīng)常會(huì)應(yīng)用鋁蝕刻液以形成特定的金屬薄膜圖案，其原理是先用濺射法等成膜方法在玻璃等基板上形成薄金屬鋁膜，然后以抗蝕劑等為掩膜，光罩顯影圖案，并用鋁蝕刻液蝕刻鋁金屬膜，再剝離光刻膠，從而在基板上形成特定金屬薄膜圖案。
鋁(Al)具有電阻低、密度小、價(jià)格便宜的優(yōu)點(diǎn)，但其熔點(diǎn)低，對(duì)各種酸等化學(xué)品的防腐蝕能力低，常常使線路變形，導(dǎo)致薄膜線路短路。通常加入鑰(Mo)等熔點(diǎn)高、抗腐蝕強(qiáng)的金屬，組成合金層。但多層合金在蝕刻工藝中，蝕刻速率和蝕刻角(taper)很難控制,需要針對(duì)具體的合金材料采取相應(yīng)的優(yōu)化配方及準(zhǔn)確的濃度控制。目前，普遍應(yīng)用并廣泛認(rèn)可的鋁蝕刻液是“磷酸-硝酸-醋酸”的三酸體系。
這種三酸體系的混酸溶液用于對(duì)基板進(jìn)行蝕刻處理時(shí)，一方面，硝酸和磷酸會(huì)隨著蝕刻反應(yīng)的進(jìn)行而不斷消耗，另一方面，硝酸和醋酸還會(huì)隨著蝕刻槽的排氣而蒸發(fā)，因此，混酸溶液當(dāng)中硝酸、磷酸和醋酸的濃度均會(huì)不斷變化，蝕刻速度也隨之變化。所以，很難利用蝕刻控制鋁金屬膜的高精細(xì)尺寸的精度，另外也很難控制鋁金屬膜的刻蝕形狀(taper 角)，產(chǎn)品的質(zhì)量不穩(wěn)定，成品良率降低。
早些時(shí)候，人們根據(jù)經(jīng)驗(yàn)以處理的基板張數(shù)為指標(biāo)，對(duì)鋁蝕刻液進(jìn)行全部更換。顯然，這種方法不能對(duì)酸濃度進(jìn)行有效控制，不適合更高分辨率、更細(xì)線寬的應(yīng)用環(huán)境。后來(lái)， 人們采取在線補(bǔ)加的方法，盡量保證混酸溶液當(dāng)中三種酸的濃度各自維持在一定的范圍之內(nèi)，從而滿足蝕刻處理的工藝要求。這種方法的應(yīng)用前提是，必須對(duì)鋁蝕刻液中各種酸的濃度進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)定。
特開2004-319568號(hào)公報(bào)中提到，利用紫外線吸光光度法測(cè)定硝酸的濃度。但是該方法檢測(cè)成本高，需要離線測(cè)定；而且，蝕刻反應(yīng)產(chǎn)生的NOx成分在硝酸濃度測(cè)定的波長(zhǎng)區(qū)域具有吸光度，鑰金屬層在蝕刻中被蝕刻而溶解，在硝酸濃度測(cè)定的波長(zhǎng)區(qū)域也具有吸光度，兩者均妨礙測(cè)定，使得硝酸濃度的測(cè)量結(jié)果有一定的偏差。CN 101170063A中提出一種蝕刻液管理裝置，通過(guò)電導(dǎo)率計(jì)測(cè)定稀釋后的蝕刻液的電導(dǎo)率而得到與蝕刻液中硝酸濃度相關(guān)的電導(dǎo)率，然后反饋給補(bǔ)充液供給機(jī)構(gòu)；通過(guò)吸光光度計(jì)測(cè)定取樣機(jī)構(gòu)取樣的蝕刻液的吸光度，得到與蝕刻液中磷酸濃度相關(guān)的吸光度值，或者通過(guò)測(cè)定取樣的密度得到與所述蝕刻液磷酸濃度相關(guān)的密度值，進(jìn)而補(bǔ)充磷酸。該發(fā)明提出的檢測(cè)方法雖然能夠反映蝕刻液需要補(bǔ)充液的量，但是檢測(cè)和計(jì)算方法都比較繁瑣，不僅檢測(cè)成本高，還很難直接反映蝕刻液的濃度和補(bǔ)給量。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問(wèn)題，提供在線測(cè)定和控制鋁蝕刻液中各種酸濃度的方法，以便在蝕刻過(guò)程中快速、經(jīng)濟(jì)、準(zhǔn)確地測(cè)定鋁蝕刻液中各酸濃度，及時(shí)補(bǔ)充和調(diào)節(jié)所消耗的各種酸量，進(jìn)而準(zhǔn)確控制蝕刻速度及相關(guān)的蝕刻參數(shù)，保證蝕刻機(jī)臺(tái)獲得高精度的蝕刻圖案。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案是一種在線測(cè)定和控制鋁蝕刻液中各種酸濃度的方法，所述鋁蝕刻液包含硝酸、磷酸和醋酸，鋁蝕刻液盛裝在供應(yīng)槽內(nèi)，經(jīng)過(guò)連接管線進(jìn)入蝕刻機(jī)臺(tái)，其特點(diǎn)是設(shè)置硝酸調(diào)節(jié)槽、 磷酸調(diào)節(jié)槽和醋酸調(diào)節(jié)槽，分別盛放比所述鋁蝕刻液當(dāng)中濃度高的相應(yīng)酸液，在線引取鋁蝕刻液樣品進(jìn)入自動(dòng)滴定儀，所述自動(dòng)滴定儀配有緩沖溶劑和堿性滴定劑供給機(jī)構(gòu)，對(duì)引取的鋁蝕刻液樣品當(dāng)中的硝酸、磷酸和醋酸的含量進(jìn)行測(cè)定，測(cè)定結(jié)果輸入電腦主機(jī)，進(jìn)而控制所述醋酸調(diào)節(jié)槽、硝酸調(diào)節(jié)槽和磷酸調(diào)節(jié)槽的出料量，使這三種調(diào)節(jié)槽內(nèi)貯存的高濃度酸液按需向所述供應(yīng)槽內(nèi)補(bǔ)充，維持所述供應(yīng)槽內(nèi)鋁蝕刻液中三種酸的濃度在蝕刻工序所要求的范圍之內(nèi)。
上述方案中，所述自動(dòng)滴定儀是在相應(yīng)的緩沖溶劑和堿性滴定劑的條件下，根據(jù)鋁蝕刻液樣品中各酸的電離度不同、各酸與堿性滴定劑反應(yīng)速率不同的原理，利用動(dòng)態(tài)PH 滴定模式，通過(guò)pH電極信號(hào)的變化，找到各酸的滴定終點(diǎn)，然后依據(jù)堿性滴定劑的標(biāo)定結(jié)果以及堿性滴定劑的消耗量，計(jì)算出鋁蝕刻液樣品中硝酸、磷酸和醋酸的含量。
其中，所述緩沖溶劑為氯化鈉飽和溶液、甲醇、乙醇或異丙醇；所述堿性滴定劑為氫氧化鈉、四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨或四丁基氫氧化銨。優(yōu)選地， 對(duì)鋁蝕刻液樣品中硝酸含量進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，采用乙醇作為緩沖溶液，采用四甲基氫氧化銨作為堿性滴定劑；對(duì)鋁蝕刻液樣品中磷酸和醋酸的含量進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，采用氯化鈉飽和溶液作為緩沖溶液，采用氫氧化鈉溶液作為堿性滴定劑。
本發(fā)明的技術(shù)效果是1、通過(guò)對(duì)配制樣品的檢測(cè)對(duì)比，本發(fā)明檢測(cè)方法的相對(duì)誤差不超過(guò)6%，相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差不超過(guò)3%，其準(zhǔn)確度和精密度均可接受，完全可以作為在線測(cè)定鋁蝕刻液中各酸濃度的方法;2、通過(guò)選取在線樣品作為實(shí)例，證明本發(fā)明檢測(cè)結(jié)果重現(xiàn)性非常高，且，本發(fā)明可以隨時(shí)取樣，檢測(cè)速度快，可以及時(shí)反饋各酸的在線數(shù)據(jù)，根據(jù)反饋數(shù)據(jù)可以向供應(yīng)槽及時(shí)補(bǔ)加高濃度的酸，控制供應(yīng)槽內(nèi)鋁蝕刻液的各種酸濃度，使蝕刻機(jī)臺(tái)的蝕刻效果達(dá)到最佳。


圖I是在線檢測(cè)和控制鋁蝕刻液中各種酸濃度的裝置系統(tǒng)示意圖。
圖2是在線檢測(cè)鋁蝕刻液中各種酸濃度的步驟流程圖。
圖3是標(biāo)定氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)溶液的pH滴定圖。
圖4是標(biāo)定四甲基氫氧化銨標(biāo)準(zhǔn)溶液的pH滴定圖。
圖5是無(wú)水乙醇法測(cè)定三酸混合樣品的pH滴定圖。
圖6是飽和氯化鈉法測(cè)定三酸混合樣品的pH滴定圖。
圖7是無(wú)水乙醇法測(cè)定樣品I中硝酸含量的pH滴定圖。
圖8是飽和氯化鈉法測(cè)定樣品I中磷酸和醋酸含量的pH滴定圖。4
圖9是無(wú)水乙醇法測(cè)定樣品2中硝酸含量的pH滴定圖。
圖10是飽和氯化鈉法測(cè)定樣品2中磷酸和醋酸含量的pH滴定圖。
圖11是無(wú)水乙醇法測(cè)定樣品3中硝酸含量的pH滴定圖。
圖12是飽和氯化鈉法測(cè)定樣品3中磷酸和醋酸含量的pH滴定圖。
圖13是無(wú)水乙醇法測(cè)定鋁蝕刻液回收廢液中硝酸含量的pH滴定圖。
圖14是飽和氯化鈉法測(cè)定鋁蝕刻液回收廢液中磷酸和醋酸含量的pH滴定圖。
具體實(shí)施方式
如圖1所示，本發(fā)明在線檢測(cè)和控制鋁蝕刻液中各種酸濃度的裝置系統(tǒng)主要包括蝕刻機(jī)臺(tái)、供應(yīng)槽、自動(dòng)滴定儀、電腦主機(jī)和高濃度酸調(diào)節(jié)槽，供應(yīng)槽內(nèi)盛裝鋁蝕刻液， 鋁蝕刻液經(jīng)連接管線進(jìn)入蝕刻機(jī)臺(tái)，并且經(jīng)取樣機(jī)構(gòu)進(jìn)入自動(dòng)滴定儀，乙醇、四甲基氫氧化銨、飽和氯化鈉溶液、氫氧化鈉溶液四種物質(zhì)(此為優(yōu)選方案，僅為示例，對(duì)本發(fā)明的保護(hù)范圍不構(gòu)成任何限制！)通過(guò)各自的控制閥按需進(jìn)入自動(dòng)滴定儀，自動(dòng)滴定儀對(duì)鋁蝕刻液中的醋酸、硝酸和磷酸的濃度進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)結(jié)果輸入電腦主機(jī)，進(jìn)而控制醋酸調(diào)節(jié)槽、硝酸調(diào)節(jié)槽和磷酸調(diào)節(jié)槽下方各自的控制閥，使得這三種調(diào)節(jié)槽內(nèi)貯存的高濃度酸按需向供應(yīng)槽進(jìn)行補(bǔ)充，從而保證供應(yīng)槽內(nèi)鋁蝕刻液中三種酸的濃度維持在標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)，滿足蝕刻機(jī)臺(tái)的蝕刻工藝要求。此外，蝕刻機(jī)臺(tái)和供應(yīng)槽經(jīng)各自的排放控制閥與廢液槽相連，進(jìn)入廢液槽內(nèi)的廢液以及自動(dòng)滴定儀產(chǎn)生的分析廢液，輸送至另外單元進(jìn)行回收再利用。
對(duì)三種酸濃度的檢測(cè)是本發(fā)明的關(guān)鍵，系利用酸堿滴定原理，在不同的緩沖溶劑和滴定劑條件下，根據(jù)鋁蝕刻液中各酸的電離度不同、各酸與標(biāo)準(zhǔn)滴定劑反應(yīng)速率不同的原理，利用動(dòng)態(tài)PH滴定模式，通過(guò)pH電極信號(hào)的變化，找到各酸的滴定終點(diǎn)，然后依據(jù)消耗的標(biāo)準(zhǔn)滴定劑的體積，計(jì)算出鋁蝕刻液中磷酸、硝酸、醋酸的含量。測(cè)定硝酸含量時(shí)，緩沖溶液為無(wú)水乙醇，采用四甲基氫氧化銨(TMAH)作為滴定劑；測(cè)定磷酸和醋酸含量時(shí)，緩沖溶液為氯化鈉飽和溶液，采用氫氧化鈉溶液作為滴定劑。
反應(yīng)原理方程式為(1)tmah+hno3 — no3>tma++h2o(2)HN03+H3P04+20r — N03>H2P04>2H20(3)H2PO;+ CH3COOH +20F — CH3C00>HP04>2H20 采用的儀器自動(dòng)滴定儀，型號(hào)808 Titrado (Metrohm)(瑞士萬(wàn)通)；水相復(fù)合pH electrode (瑞士萬(wàn)通)；非水相復(fù)合pH electrode (瑞士萬(wàn)通)；電子天平，型號(hào)AB204-S (瑞士梅特勒一托利多)。
采用的試劑鄰苯二甲酸氫鉀(工作基準(zhǔn)試劑，德國(guó)MERCK)；32%氫氧化鈉溶液(杭州電化集團(tuán)有限公司)；四甲基氫氧化銨標(biāo)準(zhǔn)溶液(杭州格林達(dá)化學(xué)有限公司)；無(wú)水乙醇AR ；高純水(電阻率18. 2ΜΩ. cm)；氯化鈉AR。
檢測(cè)步驟如圖2所示，包括溶液的配置，溶液的標(biāo)定和樣品的測(cè)量。其中，溶液的配置包括(1.1)氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的配制稱取32. 75g的32%氫氧化鈉溶液，注入聚乙烯容器中，用無(wú)二氧化碳的水稀釋至IOOOml，搖勻，備用。
(1. 2)四甲基氫氧化銨標(biāo)準(zhǔn)溶液的配制直接取2. 38%電子級(jí)四甲基氫氧化銨溶液備用。
(1. 3)氯化鈉飽和溶液的配制稱取360g分析純氯化鈉，加入已盛有IOOOml水的燒杯中，在80°C水浴下攪拌2h,立即趁熱分裝60ml飽和食鹽水至150ml燒杯中，冷卻至 20°C，備用。
(1. 4)鋁蝕刻液樣品溶液的配置分別稱取一定量的硝酸、磷酸、冰醋酸和高純水， 配成混合溶液，計(jì)算三種酸的配置含量。
溶液的標(biāo)定包括(2.1)氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的標(biāo)定稱取于105 110°C電烘箱中干燥至恒重的工作基準(zhǔn)試劑“鄰苯二甲酸氫鉀”0. 3432g， 加60ml無(wú)二氧化碳的水溶解，將待測(cè)樣品置于滴定臺(tái)上，設(shè)置滴定參數(shù)，用已配好的氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液滴定。pH=8所對(duì)應(yīng)的點(diǎn)即為滴定終點(diǎn)(End Point,簡(jiǎn)稱EP，下同)，消耗的體積為V=6. 4137ml，根據(jù)曲線(圖3)及有關(guān)數(shù)據(jù)，利用公式^mX 1000/(204. 22XV)， 計(jì)算得到氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的濃度為CNara=0. 2620mol/L。
(2. 2)四甲基氫氧化銨標(biāo)準(zhǔn)溶液的標(biāo)定稱取于105 110°C電烘箱中干燥至恒重的工作基準(zhǔn)試劑“鄰苯二甲酸氫鉀”0. 3 002g, 加入60ml無(wú)二氧化碳的水溶解，將待測(cè)樣品置于滴定臺(tái)上，設(shè)置滴定參數(shù)，用已配好的四甲基氫氧化銨標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液滴定，此時(shí)，PH=S所對(duì)應(yīng)的點(diǎn)即為滴定終點(diǎn)，消耗的體積為 V=5. 6326ml，根據(jù)曲線(圖4)及有關(guān)數(shù)據(jù)，利用公式CTMAH=mX 1000/(204. 22XV)，計(jì)算得到四甲基氫氧化銨標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液的濃度為=Ctmah=O. 2610mol/L。
樣品的測(cè)量包括對(duì)鋁蝕刻液樣品當(dāng)中三種酸濃度的測(cè)定。
(3.1)硝酸含量的測(cè)定稱量1. 5g左右的樣品,將待測(cè)樣品置于150ml燒杯中，再移取60ml無(wú)水乙醇于上述燒杯中，用表面皿蓋住燒杯口，迅速送至萬(wàn)通自動(dòng)滴定儀作業(yè)臺(tái)面，用已標(biāo)定的四甲基氫氧化銨標(biāo)準(zhǔn)溶液進(jìn)行滴定。觀察滴定曲線(圖5)和具體數(shù)據(jù)，有一個(gè)滴定終點(diǎn)，即pH值為2. 5 左右的End Point點(diǎn)為EPl點(diǎn)，該點(diǎn)即為蝕刻液中硝酸電離出來(lái)的H+發(fā)生反應(yīng)后所對(duì)應(yīng)的滴定終點(diǎn)，對(duì)應(yīng)體積為V11,停止滴定，準(zhǔn)確記錄樣品質(zhì)量、消耗的四甲基氫氧化銨標(biāo)準(zhǔn)溶液體積數(shù)，根據(jù)下式計(jì)算樣品中的硝酸含量HNO3% =xioo ……(式 I)M1 χ1000式中In1 —測(cè)定硝酸時(shí)蝕刻液樣品的質(zhì)量，g ；Vn—測(cè)定硝酸時(shí)EP1拐點(diǎn)所對(duì)應(yīng)的體積，ml ；
CTMAH—四甲基氫氧化銨標(biāo)準(zhǔn)溶液的摩爾濃度，mol/L ；
Mn一 硝酸的摩爾質(zhì)量，g/mol [HN03=63. 01]。(3. 2)磷酸和醋酸含量的測(cè)定
在預(yù)先裝有60ml飽和氯化鈉溶液的燒杯中，移取0. 5g左右的樣品，稱量。用已標(biāo)定的 氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液進(jìn)行滴定，取pH值為1. 0左右的End Point點(diǎn)作為EP1點(diǎn)，所對(duì)應(yīng) 的體積為V21 ;取pH值為6. 5左右的EP點(diǎn)作為EP2點(diǎn)，所對(duì)應(yīng)的體積為V22，準(zhǔn)確記錄樣品 質(zhì)量、樣品消耗氫氧化鈉體積數(shù)V21、V22。EP1點(diǎn)即為鋁蝕刻液中硝酸的H+和磷酸的第一個(gè) H+發(fā)生反應(yīng)后所對(duì)應(yīng)的滴定終點(diǎn)；EP2點(diǎn)即為鋁蝕刻液中硝酸的H+，磷酸H+和醋酸的H+發(fā) 生反應(yīng)后所對(duì)應(yīng)的滴定終點(diǎn)。根據(jù)滴定曲線(圖6)和數(shù)據(jù)，通過(guò)(式2)、(式3)分別計(jì)算出待測(cè)樣品中磷酸、醋酸 的百分含量
權(quán)利要求
1.在線測(cè)定和控制鋁蝕刻液中各種酸濃度的方法，所述鋁蝕刻液包含硝酸、磷酸和醋酸，鋁蝕刻液盛裝在供應(yīng)槽內(nèi)，經(jīng)過(guò)連接管線進(jìn)入蝕刻機(jī)臺(tái)，其特征在于設(shè)置硝酸調(diào)節(jié)槽、磷酸調(diào)節(jié)槽和醋酸調(diào)節(jié)槽，分別盛放比所述鋁蝕刻液當(dāng)中濃度高的相應(yīng)酸液，在線引取鋁蝕刻液樣品進(jìn)入自動(dòng)滴定儀，所述自動(dòng)滴定儀配有緩沖溶劑和堿性滴定劑供給機(jī)構(gòu)，對(duì)引取的鋁蝕刻液樣品當(dāng)中的硝酸、磷酸和醋酸的含量進(jìn)行測(cè)定，測(cè)定結(jié)果輸入電腦主機(jī)，進(jìn)而控制所述醋酸調(diào)節(jié)槽、硝酸調(diào)節(jié)槽和磷酸調(diào)節(jié)槽的出料量，使這三種調(diào)節(jié)槽內(nèi)貯存的高濃度酸液按需向所述供應(yīng)槽內(nèi)補(bǔ)充，維持所述供應(yīng)槽內(nèi)鋁蝕刻液中三種酸的濃度在蝕刻工序所要求的范圍之內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的在線測(cè)定和控制鋁蝕刻液中各種酸濃度的方法，其特征在于所述自動(dòng)滴定儀是在相應(yīng)的緩沖溶劑和堿性滴定劑的條件下，根據(jù)鋁蝕刻液樣品中各酸的電離度不同、各酸與堿性滴定劑反應(yīng)速率不同的原理，利用動(dòng)態(tài)PH滴定模式，通過(guò)pH電極信號(hào)的變化，找到各酸的滴定終點(diǎn)，然后依據(jù)堿性滴定劑的標(biāo)定結(jié)果以及堿性滴定劑的消耗量，計(jì)算出鋁蝕刻液樣品中硝酸、磷酸和醋酸的含量。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的在線測(cè)定和控制鋁蝕刻液中各種酸濃度的方法，其特征在于所述緩沖溶劑為氯化鈉飽和溶液、甲醇、乙醇或異丙醇。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的在線測(cè)定和控制鋁蝕刻液中各種酸濃度的方法，其特征在于所述堿性滴定劑為氫氧化鈉、四甲基氫氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨或四丁基氫氧化銨。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的在線測(cè)定和控制鋁蝕刻液中各種酸濃度的方法，其特征在于對(duì)鋁蝕刻液樣品中硝酸含量進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，采用乙醇作為緩沖溶液，采用四甲基氫氧化銨作為堿性滴定劑。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的在線測(cè)定和控制鋁蝕刻液中各種酸濃度的方法，其特征在于對(duì)鋁蝕刻液樣品中磷酸和醋酸的含量進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，采用氯化鈉飽和溶液作為緩沖溶液，采用氫氧化鈉溶液作為堿性滴定劑。
全文摘要
本發(fā)明提供一種在線測(cè)定和控制鋁蝕刻液中各種酸濃度的方法，通過(guò)在線取樣進(jìn)入自動(dòng)滴定儀，利用動(dòng)態(tài)pH滴定模式，通過(guò)pH電極信號(hào)的變化，找到各酸的滴定終點(diǎn)，然后依據(jù)滴定劑的標(biāo)定結(jié)果和消耗量，計(jì)算樣品中硝酸、磷酸和醋酸的含量，測(cè)定結(jié)果輸入電腦主機(jī)，進(jìn)而控制醋酸、硝酸和磷酸向供應(yīng)槽的補(bǔ)充量，維持槽內(nèi)鋁蝕刻液中三種酸的濃度在規(guī)定范圍之內(nèi)。這種檢測(cè)方法的相對(duì)誤差低于6%，相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差低于3%，且可以隨時(shí)取樣，檢測(cè)速度快，能及時(shí)反饋各酸的在線數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)鋁蝕刻液中各酸濃度的有效控制，使蝕刻機(jī)臺(tái)的蝕刻效果達(dá)到最佳。
文檔編號(hào)G05D21/02GK102981523SQ20121045589
公開日2013年3月20日 申請(qǐng)日期2012年11月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月14日
發(fā)明者陳玉英, 徐雅玲, 黃源, 尹云艦 申請(qǐng)人:杭州格林達(dá)化學(xué)有限公司