增加光阻預烤爐內獨立溫控區(qū)域數(shù)量的結構的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種增加光阻預烤爐內獨立溫控區(qū)域數(shù)量的結構，特別是指一種運用在液晶顯示裝置(LCD)制程上的光阻預烤爐裝置，憑借增加獨立控溫的區(qū)域以增加玻璃基板的均溫性及可控制性，能有效均勻的除去玻璃基板的光阻溶劑。其主要由腔體、熱板、加熱器、溫度感應器及支撐底板所組成，該腔體底部為一熱板；加熱器設置于支撐底板上，并可對熱板進行分區(qū)溫控，而光阻預烤爐內設有溫度感應器，可以偵測熱板各區(qū)域的溫度，再憑借溫度感應器來調整加熱器的溫度，使熱板的各區(qū)域溫度達到相同，使位于熱板上烘烤加熱的玻璃基板達到均勻受熱，達到除去玻璃基板的光阻溶劑及固化光阻，以利于后續(xù)的處理作業(yè)。
【專利說明】増加光阻預烤爐內獨立溫控區(qū)域數(shù)量的結構

【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種增加光阻預烤爐內獨立溫控區(qū)域數(shù)量的結構，使熱板表面的溫度均勻一致。

【背景技術】
[0002]按，玻璃基板是液晶顯示裝置(TFT-LCD)的主要制程原料，就是俗稱的母玻璃或素玻璃，是一種高精密透明的電子零件，玻璃在液晶顯示裝置(TFT-LCD)產業(yè)中扮演的角色好比是半導體產業(yè)中的晶圓，因此液晶顯示裝置(TFT-LCD)產業(yè)對玻璃基板表面精密度的要求近乎完美。
[0003]其次，液晶顯示裝置(TFT-LCD)的制程是分別利用兩塊無堿玻璃基板，于無堿玻璃基板表面構裝彩色濾色片與IC電路，并將玻璃基板表面經(jīng)過干式蝕刻，將紅、藍、綠三原色與黑色以微細的結構建置于玻璃表面，成為彩色濾色片，IC驅動電路則利用半導體制程，再將CMOS電路建置于玻璃表面，玻璃基板的功能是做為彩色濾色片與IC驅動電路的承載材料，而液晶顯示裝置(TFT-LCD)制程需要真空蒸鍍與蝕刻，所以玻璃基板，必須要能忍受強酸強堿的腐蝕、高溫的制程環(huán)境，并且必須具備非常精密的表面平整度與平面起伏度。
[0004]因此，玻璃基板在制造過程中的每個流程都非常精細，其中，當涂抹光阻液后，需經(jīng)過烘烤將感光劑及光阻液等化學物質揮發(fā)，此時，請配合參閱圖1所示，該基板I進行烘烤時，是將基板I放在熱板11上，再憑借熱板11的熱度使玻璃基板I表面的化學物質揮發(fā)，在此過程中，其溫度高達約攝氏70?150°C，且熱板11的熱源來自于底部的加熱器12，而該加熱器12則以I?15個區(qū)域設置在熱板11下方，使熱板11中央、環(huán)邊或端邊能盡量保持均衡的溫度，然而，盡管熱板11已經(jīng)設置I?15個區(qū)域來控制溫度，卻還是無法在烘烤過程中保持均溫，加上每一相鄰區(qū)域的溫度會互相干擾，使得烘烤效果不佳，而影響液晶顯示裝置(TFT-1XD)的生產品質。
[0005]發(fā)明人是專門從事相關加熱機器的改良、制造及開發(fā)工作，深知傳統(tǒng)光阻預烤裝置使用上的無法達到均勻加熱的缺失，使玻璃基板品質無法提升，于是乃極力苦思解決的道，并憑借本身的專業(yè)及多年來的工作經(jīng)驗，終于在歷經(jīng)數(shù)次的修正、試驗與改進后，首創(chuàng)出本實用新型。
實用新型內容
[0006]本實用新型涉及一種增加光阻預烤爐內獨立溫控區(qū)域數(shù)量的結構，特別是指一種運用在液晶顯示裝置(LCD)制程上的光阻預烤爐裝置，能使加熱區(qū)域的熱板達到均溫，可有效均勻的除去玻璃基板的光阻溶劑及固化光阻。
[0007]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術方案是:
[0008]一種增加光阻預烤爐內獨立溫控區(qū)域數(shù)量的結構，其主要由腔體、熱板、加熱器及溫度感應器所組成，該腔體底部為支撐底板，并利用上蓋板蓋合腔體形成一封閉的加熱空間，在支撐底板向上依序設置加熱器及熱板，而能憑借加熱器對熱板進行加熱，其特征在于:該熱板劃分為復數(shù)個小分區(qū)，且小分區(qū)是配合加熱器的數(shù)量投影于熱板而成，并分成有16至60個區(qū)域，位于小分區(qū)下方的加熱器是獨立對每一小分區(qū)進行加熱。
[0009]由于本實用新型主要由腔體、熱板、加熱器、溫度感應器及支撐底板所組成，該腔體底部為支撐底板，并利用上蓋板蓋合腔體形成一封閉的加熱空間，位于腔體一側設有入口，供置入玻璃基板，而于任一側邊開設有排風口，以便于空氣流通；位于支撐底板上方設置加熱器，其是利用電熱絲產生熱源，并于加熱器上方設置一熱板，而能對熱板進行分區(qū)加熱；該熱板為具導熱性的金屬板，可將加熱器的熱傳導至玻璃基板，至于溫度感應器則設于熱板上或加熱器內，用以偵測熱板各區(qū)域的溫度，憑借各區(qū)域的溫度感應器來調整各區(qū)加熱器的溫度，使熱板的各區(qū)域溫度可達到設定范圍內。
[0010]當腔體內進行加熱作業(yè)時，腔體為一封閉空間，腔體周圍或上方設有排氣口，使空氣可排出腔體的外；而位于腔體內的熱板，受加熱器的加溫，以去除玻璃基板表面的光阻溶劑及固化光阻。當烘烤一段時間后，該熱板每一區(qū)域的溫度會產生差異，通常熱板中央的溫度會高于四周端邊處，使玻璃基板受熱不均。而為控制熱板整體達到均溫，因此將加熱器分成數(shù)區(qū)域，可分區(qū)進行加熱，并憑借溫度感應器偵測熱板在中央或端邊的各分區(qū)溫度，使熱板對玻璃基板能持續(xù)的均勻加熱，有效提升生產合格率，及降低不合格率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是現(xiàn)有玻璃基板供烤的不意圖；
[0012]圖2是本實用新型的立體分解圖；
[0013]圖3是本實用新型的另一實施例的示意圖；
[0014]圖4是本實用新型加熱器投影于熱板的小分區(qū)示意圖；
[0015]圖5是本實用新型光阻預烤玻璃基板的剖面示意圖；
[0016]圖6是本實用新型小分區(qū)的分布示意圖。
[0017]附圖標記說明:〔現(xiàn)有技術〕1-基板；11-熱板；12-加熱器；〔本實用新型〕2-腔體；20-上蓋板；201支撐底板；202排風口；203入口；21-加熱器;22_熱板；221~小分區(qū)；23-溫度感應器；3_玻璃基板。

【具體實施方式】
[0018]首先，請參閱圖2所示，是本實用新型的立體分解圖，其主要由腔體2、熱板22及加熱器21所組成，該腔體2底部為支撐底板201，并利用上蓋板20蓋合腔體2形成一封閉的加熱空間，位于腔體一側設有入口 203，供置入玻璃基板3，而于任一側邊開設有排風口202，以便于空氣流通；位于支撐底板201上方設置加熱器21，其是利用電熱絲來產生熱源，并于加熱器21上方設置一熱板22，而能對熱板22進行分區(qū)加熱；該熱板22為具導熱性的金屬板，可將加熱器21的熱傳導至玻璃基板3，至于溫度感應器23則設于熱板22內或加熱器21內(請參閱圖3所示)。
[0019]其次，請繼續(xù)參閱圖4所示，該腔體2下方的熱板22劃分為復數(shù)個小分區(qū)221，且小分區(qū)221是配合加熱器21的數(shù)量投影于熱板22而成(請回顧圖3所示)，然后將獨立的加熱器21依照小分區(qū)221的范圍設置于熱板22下方，為腔體2提供加熱的熱源，且使每一小分區(qū)221具有獨立的溫度控制。由于熱板22具有復數(shù)個的加熱器21，故當熱板22內的溫度感應器23偵測到某一小分區(qū)221溫度過低或過高時，即可控制該小分區(qū)221的加熱器21，促使熱板22提供穩(wěn)定且固定的溫度。
[0020]烘烤時，請仍然參閱圖3并配合圖5所示，其是先將玻璃基板3由入口 203置入腔體2內，然后將入口 203封閉，使腔體2形成一封閉空間，僅保留側邊的排風口 202，此時玻璃基板3放置于腔體2內的熱板22上方；接著啟動加熱器21，即可對玻璃基板3進行烘烤加熱；當加熱一段時間后，溫度感應器23偵測到熱板22部份小分區(qū)221溫度過低或過高時(請回顧圖4所示)，此時會針對該溫度偏離的小分區(qū)221，調整其小分區(qū)221下方對應的加熱器21的加熱溫度，使熱板22的每一小分區(qū)221都能達到加熱器21的設定溫度；而當溫度感應器23偵測到熱板22部份區(qū)域溫度偏離時，此時會針對該溫度偏離的小分區(qū)221，調整其下方的加熱器21的加熱溫度，使熱板22的每一小分區(qū)221達到溫度一致。
[0021]另外，本實用新型熱板22的小分區(qū)221控制的范圍為16至60個小分區(qū)221，請再參閱圖6所示，能憑借更細密的小分區(qū)221，來針對熱板11表面進行溫度的控制及調整，且使每一小分區(qū)221具有獨立的溫度控制，促使熱板22的每一小分區(qū)221上的溫度都能達到均勻受熱，有效提升玻璃基板3的品質(請回顧圖5所示)，并降低不合格率的發(fā)生，并提升液晶顯不裝置(LCD)的廣品解析度。
[0022]綜上所述，本實用新型是將熱板分成復數(shù)個小分區(qū)(16至60個)，再憑借溫度感應器所偵測的溫度來調整每一小分區(qū)的溫度，使熱板的各區(qū)域都能達到均溫，而能令熱板的整體表面都可達到均勻加熱，使位于熱板上的玻璃基板的烘烤溫度相當一致，不會過高或過低，以達到最佳的效能。
【權利要求】
1.一種增加光阻預烤爐內獨立溫控區(qū)域數(shù)量的結構，其主要由腔體、熱板、加熱器及溫度感應器所組成，該腔體底部為支撐底板，并利用上蓋板蓋合腔體形成一封閉的加熱空間，在支撐底板向上依序設置加熱器及熱板，而能憑借加熱器對熱板進行加熱，其特征在于:該熱板劃分為復數(shù)個小分區(qū)，且小分區(qū)是配合加熱器的數(shù)量投影于熱板而成，并分成有16至60個區(qū)域，位于小分區(qū)下方的加熱器是獨立對每一小分區(qū)進行加熱。
【文檔編號】G05D23/19GK204256552SQ201420638109
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2014年10月29日 優(yōu)先權日:2014年10月29日
【發(fā)明者】李東明 申請人:李東明