專利名稱:應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造工藝，特別涉及一種應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
單一產(chǎn)品的傳統(tǒng)半導(dǎo)體制造流程通常為一個(gè)高度重復(fù)使用一定制造機(jī)臺(tái)的流程。在完成制造之前，每一個(gè)產(chǎn)品制造流程需要使用多次相同的機(jī)臺(tái)資源。傳統(tǒng)的半導(dǎo)體制造工廠通常包含必要的制造機(jī)臺(tái)，用以處理半導(dǎo)體晶片，諸如光刻(photolithography)、化學(xué)機(jī)械研磨(chemical-mechanical polishing)或化學(xué)氣相沉積(chemical vapor deposition)。在制造過程中，半導(dǎo)體晶片會(huì)通過一系列的各式各樣的機(jī)臺(tái)，用以完成制造步驟。例如，一個(gè)集成電路產(chǎn)品的制造，通常要通過接近600道步驟。
晶片通常會(huì)儲(chǔ)存在一個(gè)載具(carrier)中，例如卡匣(cassette)，而每一個(gè)載具至多可置入25片晶片。之后，卡匣會(huì)被載入至載具中，諸如標(biāo)準(zhǔn)機(jī)器接口(standard mechanical interfaces，SMIFs)或12寸前開式標(biāo)準(zhǔn)片盒(frontopening unified pods，F(xiàn)OUPs)，以利于在廠房中運(yùn)輸。在一個(gè)300mm晶片廠中，自動(dòng)化原料管理系統(tǒng)(automated material handling system，AMHS)會(huì)依據(jù)從制造執(zhí)行系統(tǒng)(manufacturing execution system，MES)發(fā)出的指令，從一個(gè)地點(diǎn)運(yùn)送載具到另一個(gè)地點(diǎn)。晶片載具通常會(huì)被自動(dòng)化設(shè)備輸入到原料管理系統(tǒng)中。自動(dòng)化設(shè)備配合原料管理系統(tǒng)，由機(jī)臺(tái)的負(fù)載端口(loadport)取出晶片，并且會(huì)加上避免儲(chǔ)存在相鄰儲(chǔ)存器的晶片批次在運(yùn)輸時(shí)發(fā)生碰撞(collision)的措施。
一個(gè)制造執(zhí)行系統(tǒng)連接自動(dòng)化原料管理系統(tǒng)并且根據(jù)一系列的標(biāo)準(zhǔn)程序步驟發(fā)送命令給原料管理系統(tǒng)，讓原料管理系統(tǒng)據(jù)以執(zhí)行特定運(yùn)輸作業(yè)，例如將晶片載具從一個(gè)地點(diǎn)移至另一地點(diǎn)等，或回復(fù)信息，例如一個(gè)特定地點(diǎn)的儲(chǔ)存信息等。通常各種自動(dòng)化原料管理系統(tǒng)設(shè)置在不同的制造廠房中。傳統(tǒng)上，一部制造執(zhí)行系統(tǒng)控制單一個(gè)自動(dòng)化原料管理系統(tǒng)，要控制不同的自動(dòng)化原料管理系統(tǒng)需要更多的制造執(zhí)行系統(tǒng)，這樣增加成本，因此需要一個(gè)應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的方法及系統(tǒng)，來減少成本，增加運(yùn)輸系統(tǒng)的性能。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供一種應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的方法，使用一部計(jì)算機(jī)來執(zhí)行該方法。實(shí)施例的運(yùn)輸系統(tǒng)整合方法包括下列步驟接收一個(gè)請(qǐng)求，該請(qǐng)求包括關(guān)于一個(gè)制造對(duì)象的請(qǐng)求信息；依據(jù)關(guān)于哪一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器管理該制造對(duì)象的信息，在多個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器中決定出一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器。產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于接收到的請(qǐng)求的指令。發(fā)出產(chǎn)生的指令至決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器。
本發(fā)明上述的應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的方法，其中所述制造對(duì)象是制造機(jī)臺(tái)或存儲(chǔ)器，該請(qǐng)求可包括關(guān)于晶片載具從第一地點(diǎn)移至該制造對(duì)象，或從該制造對(duì)象移至第二地點(diǎn)的請(qǐng)求信息?？砂l(fā)出產(chǎn)生的指令至決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器，以驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)于決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器的運(yùn)輸系統(tǒng)，將晶片載具從第一地點(diǎn)移至制造對(duì)象，或從制造對(duì)象移至第二地點(diǎn)。
本發(fā)明上述的應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的方法，其中所述制造對(duì)象是制造機(jī)臺(tái)或存儲(chǔ)器，該請(qǐng)求可包括關(guān)于該制造對(duì)象的數(shù)據(jù)查詢的請(qǐng)求信息，以及可發(fā)出產(chǎn)生的指令至決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器以取得對(duì)應(yīng)于該制造對(duì)象的數(shù)據(jù)。
實(shí)施例的運(yùn)輸系統(tǒng)整合方法還可以包括下列步驟。借由檢測(cè)請(qǐng)求中的內(nèi)容來決定出請(qǐng)求類型。判斷決定的請(qǐng)求類型是否為決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器所允許。當(dāng)決定的請(qǐng)求類型被允許時(shí)，發(fā)出產(chǎn)生的指令至決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器。
本發(fā)明上述的應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的方法，其中請(qǐng)求類型可為載具移動(dòng)請(qǐng)求，其包括關(guān)于晶片載具從第一地點(diǎn)移至制造對(duì)象，或從制造對(duì)象移至第二地點(diǎn)的請(qǐng)求信息，或者，請(qǐng)求類型可為信息查詢請(qǐng)求，其包括關(guān)于制造對(duì)象的數(shù)據(jù)查詢的請(qǐng)求信息。
本發(fā)明上述的應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的方法，其中當(dāng)決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器失效時(shí)，載具移動(dòng)請(qǐng)求可不被允許，以及當(dāng)決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器失效時(shí)，數(shù)據(jù)查詢請(qǐng)求可不被允許。
實(shí)施例的運(yùn)輸系統(tǒng)整合方法還可以包括下列步驟借由詢問(query)決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器來判斷決定的請(qǐng)求類型是否為決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器所允許。當(dāng)回復(fù)的準(zhǔn)許狀態(tài)指出決定的請(qǐng)求類型是不被允許時(shí)，或若在超時(shí)之后還未收到任何的回復(fù)準(zhǔn)許狀態(tài)時(shí)，判斷決定的請(qǐng)求類型不被允許。
實(shí)施例的運(yùn)輸系統(tǒng)整合方法還可以包括下列步驟從決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器接收指出決定的請(qǐng)求類型被允許或不被允許的通知信息。儲(chǔ)存所接收的通知信息于儲(chǔ)存裝置。借由取得儲(chǔ)存的通知信息來判斷決定的請(qǐng)求類型是否為決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器所允許。
指令可使用對(duì)應(yīng)于決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器的特定格式來產(chǎn)生。實(shí)施例的運(yùn)輸系統(tǒng)整合方法還可以包括下列步驟接收對(duì)應(yīng)于發(fā)出的指令的答復(fù)信息。將答復(fù)信息轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)于請(qǐng)求者的特定格式?；貜?fù)所轉(zhuǎn)換的答復(fù)信息至請(qǐng)求者。
本發(fā)明也提供一種應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的系統(tǒng)。實(shí)施例的運(yùn)輸系統(tǒng)整合系統(tǒng)包括多個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器以及一個(gè)制造執(zhí)行系統(tǒng)(manufacturingexecution system，MES)。制造執(zhí)行系統(tǒng)耦接于運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器，接收一個(gè)請(qǐng)求，該請(qǐng)求包括關(guān)于一個(gè)制造對(duì)象的請(qǐng)求信息，制造執(zhí)行系統(tǒng)依據(jù)關(guān)于哪一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器管理該制造對(duì)象的信息，在多個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器中決定一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器，產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于接收到的請(qǐng)求的指令，以及發(fā)出產(chǎn)生的指令至決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器。制造對(duì)象可為制造機(jī)臺(tái)(fabrication tool)或存儲(chǔ)器(stocker)。請(qǐng)求可包括關(guān)于晶片載具從第一地點(diǎn)移至該制造對(duì)象，或從該制造對(duì)象移至第二地點(diǎn)的請(qǐng)求信息。制造執(zhí)行系統(tǒng)可發(fā)出產(chǎn)生的指令，以驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)于決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器的運(yùn)輸系統(tǒng)將晶片載具從第一地點(diǎn)移至該制造對(duì)象，或從該制造對(duì)象移至第二地點(diǎn)。請(qǐng)求可包括關(guān)于該制造對(duì)象的數(shù)據(jù)查詢的請(qǐng)求信息，以及制造執(zhí)行系統(tǒng)可發(fā)出產(chǎn)生的指令，以取得對(duì)應(yīng)于該制造對(duì)象的數(shù)據(jù)。
制造執(zhí)行系統(tǒng)借由檢測(cè)請(qǐng)求中的內(nèi)容，還可以決定出請(qǐng)求的請(qǐng)求類型，判斷決定的請(qǐng)求類型是否為決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器所允許，以及當(dāng)決定的請(qǐng)求類型被允許時(shí)，發(fā)出產(chǎn)生的指令至決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器。
制造執(zhí)行系統(tǒng)借由詢問決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器，還可以判斷決定的請(qǐng)求類型是否為決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器所允許，以及當(dāng)回復(fù)的準(zhǔn)許狀態(tài)指出決定的請(qǐng)求類型是不被允許時(shí)，或若在超時(shí)后還未收到任何回復(fù)的準(zhǔn)許狀態(tài)時(shí)，判斷決定的請(qǐng)求類型不被允許。
制造執(zhí)行系統(tǒng)還可以從決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器接收指出決定的請(qǐng)求類型被允許或不被允許的通知信息，儲(chǔ)存接收的通知信息在儲(chǔ)存裝置，以及借由取得儲(chǔ)存的通知信息，來判斷決定的請(qǐng)求類型是否為決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器所允許。
指令可使用對(duì)應(yīng)于決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器的特定格式來產(chǎn)生。制造執(zhí)行系統(tǒng)還可以接收對(duì)應(yīng)于發(fā)出的指令的答復(fù)信息，將答復(fù)信息轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)于請(qǐng)求者的特定格式，以及回復(fù)所轉(zhuǎn)換的答復(fù)信息至請(qǐng)求者。
利用本發(fā)明的方法及系統(tǒng)，可以減少成本并且增加運(yùn)輸系統(tǒng)的性能。
圖1為本發(fā)明實(shí)施例的運(yùn)輸系統(tǒng)的整合系統(tǒng)示意圖；圖2為依據(jù)本發(fā)明范例的制造執(zhí)行系統(tǒng)或運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器的硬件環(huán)境示意圖；圖3為范例的映射記錄示意圖；圖4及圖5為依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的運(yùn)輸系統(tǒng)整合方法的方法流程圖；圖6表示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的運(yùn)輸系統(tǒng)整合方法的儲(chǔ)存媒體示意圖。
其中，附圖標(biāo)記說明如下10～運(yùn)輸系統(tǒng)的整合系統(tǒng)；11～制造執(zhí)行系統(tǒng)；13、14、15～運(yùn)輸系統(tǒng)；131、141、151～運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器； 21～處理單元；22～存儲(chǔ)器； 23～儲(chǔ)存裝置； 24～輸入裝置；25～輸出裝置； 26～通訊裝置； 27～總線；31、32、...、38、39～記錄；S41、S43、S45、S47～方法步驟；S511、S521、S531、S541、S543、S545、S547、S551～方法步驟；60～儲(chǔ)存媒體； 620～運(yùn)輸系統(tǒng)整合計(jì)算機(jī)程序；621～接收請(qǐng)求邏輯； 622～決定所接收的請(qǐng)求的請(qǐng)求類型邏輯；623～依據(jù)接收的請(qǐng)求中所包括的信息在多個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器決定出一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器邏輯；624～判斷所決定的請(qǐng)求類型是否為決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器所允許邏輯；625～產(chǎn)生與發(fā)出指令至決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器邏輯；626～接收對(duì)應(yīng)于發(fā)出的指令的答復(fù)信息邏輯；
627～回復(fù)錯(cuò)誤信息或回復(fù)所接收的答復(fù)信息邏輯。
具體實(shí)施方式圖1為本發(fā)明實(shí)施例的運(yùn)輸系統(tǒng)(transport system，TS)的整合系統(tǒng)10示意圖，包括一個(gè)制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)11與運(yùn)輸系統(tǒng)13、14及15。制造執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)程序步驟來指示運(yùn)輸系統(tǒng)13、14及15執(zhí)行多種運(yùn)輸動(dòng)作以及回復(fù)關(guān)于一個(gè)或多個(gè)特定位置的存儲(chǔ)信息(stock information)。
制造執(zhí)行系統(tǒng)11可視為一個(gè)包含方法與軟件工具的整合的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，用以完成制造任務(wù)。例如，制造執(zhí)行系統(tǒng)11的基本功能可包括收集一個(gè)或多個(gè)位置的存儲(chǔ)數(shù)據(jù)(stock data)，例如制造機(jī)臺(tái)、存儲(chǔ)器等等，實(shí)時(shí)地組織與儲(chǔ)存存儲(chǔ)數(shù)據(jù)于一個(gè)集中化的數(shù)據(jù)庫中，進(jìn)行工作順序管理、制造機(jī)臺(tái)管理、流程管理以及運(yùn)輸管理。實(shí)施例的制造執(zhí)行系統(tǒng)(未顯示)包括Promis(馬賽諸塞州的Brooks自動(dòng)化公司)、Workstream(加利福尼亞州的應(yīng)用材料公司)、Poseidon(紐約的IBM公司)、SiView(紐約的IBM公司)以及Mirl-MES(臺(tái)灣的機(jī)械工業(yè)研究實(shí)驗(yàn)室)。每一個(gè)制造執(zhí)行系統(tǒng)可有不同的應(yīng)用領(lǐng)域。例如，Mirl-MES可用的應(yīng)用范圍為封裝(packaging)、液晶顯示器(liquid crystaldisplays，LCDs)、以及印刷電路板(printed circuit boards，PCBs)；而Promis、Workstream、SiView以及Poseidon可用于集成電路制造(IC fabrication)以及薄膜晶體管液晶顯示器(thin film transistor LCD，TFT-LCD)的應(yīng)用。制造機(jī)臺(tái)通常會(huì)在一個(gè)指定批次的晶片上，執(zhí)行單一一道晶片制造作業(yè)。例如，一部制造機(jī)臺(tái)可能用以執(zhí)行分層(layering)、圖案化(patterning)、摻雜(doping)、離子注入(implanting)或熱處理(heat treatment)作業(yè)。存儲(chǔ)器(stockers)提供要儲(chǔ)存晶片批次的儲(chǔ)存空間以等待處理或檢查。
運(yùn)輸系統(tǒng)13、14及15依照制造執(zhí)行系統(tǒng)11的指令，將包括晶片批次的晶片載具從一個(gè)位置移動(dòng)到另一個(gè)位置。其通常使用自動(dòng)化設(shè)備將晶片載具放入運(yùn)輸系統(tǒng)13、14及15內(nèi)。自動(dòng)設(shè)備和/或移出設(shè)備用于當(dāng)做出發(fā)點(diǎn)的制造機(jī)臺(tái)或存儲(chǔ)器的負(fù)載端口(loadports)中，并配合運(yùn)輸系統(tǒng)13、14及15來移出晶片載具，其并且允許集合多個(gè)鄰近位置的晶片載具來避免晶片載具碰撞(collison)的情況。運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器131、141及151分別內(nèi)存于運(yùn)輸系統(tǒng)13、14及15中，可為執(zhí)行方法與軟件工具的整合性計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，用以完成晶片載具移動(dòng)與反饋存儲(chǔ)信息。運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器131、141及151在優(yōu)選的情況下提供符合各種特定標(biāo)準(zhǔn)的傳輸通訊協(xié)議、信息格式及功能的軟件服務(wù)。
圖2為依據(jù)本發(fā)明范例的制造執(zhí)行系統(tǒng)或運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器的硬件環(huán)境示意圖，包括處理單元21、存儲(chǔ)器22、儲(chǔ)存裝置23、輸入裝置24、輸出裝置25及通訊裝置26。根據(jù)范紐曼架構(gòu)(Von Neumann architecture)，處理單元21由總線27連接起存儲(chǔ)器22、儲(chǔ)存裝置23、輸入裝置24、輸出裝置25及通訊裝置26。其或許存在一個(gè)或多個(gè)處理單元21，以致使計(jì)算機(jī)的處理器包含單一中央處理單元(central processing unit，CPU)、微處理單位(MPU)或者是關(guān)聯(lián)于并行運(yùn)算環(huán)境(parallel processing environment)的多個(gè)處理單元。存儲(chǔ)器22在優(yōu)選情況下為動(dòng)態(tài)存取存儲(chǔ)器(RAM)，但也可為只讀存儲(chǔ)器(ROM)或快閃只讀存儲(chǔ)器(flash ROM)。存儲(chǔ)器22在優(yōu)選情況下儲(chǔ)存可由處理單元21執(zhí)行的運(yùn)輸系統(tǒng)整合功能的程序模塊。一般而言，程序模塊包含例程(routines)、程序(program)、對(duì)象(object)、組件(component)等，用以執(zhí)行特定功能或應(yīng)用特定抽象數(shù)據(jù)類型(abstract data type)。除此之外，熟悉該技術(shù)的人也可將本發(fā)明實(shí)施于其它計(jì)算機(jī)系統(tǒng)構(gòu)造(configuration)上，例如，手持式設(shè)備(hand-held devices)、多處理器系統(tǒng)、基于微處理器或可編程的消費(fèi)類電子產(chǎn)品(microprocessor-based or programmable consumer electronics)、網(wǎng)絡(luò)計(jì)算機(jī)、迷你計(jì)算機(jī)、大型主機(jī)以及類似的設(shè)備。本發(fā)明也可以實(shí)施于分布式運(yùn)算環(huán)境，其運(yùn)算工作被連結(jié)于通訊網(wǎng)絡(luò)的遠(yuǎn)程處理設(shè)備所執(zhí)行。在分布式環(huán)境中，程序模塊可同時(shí)存在于本地以及遠(yuǎn)程記憶儲(chǔ)存裝置中，而遠(yuǎn)程訪問架構(gòu)包含分布式組件對(duì)象模型(DCOM)、通用對(duì)象請(qǐng)求代理體系結(jié)構(gòu)(CORBA)、網(wǎng)頁組件(Web objects)、網(wǎng)絡(luò)服務(wù)(Web Services)或其它類似結(jié)構(gòu)。儲(chǔ)存裝置23可為硬盤裝置、磁性裝置、光盤裝置、可攜式儲(chǔ)存裝置或非易失性存儲(chǔ)器裝置(nonvolatile memory drive)。這些裝置及其相關(guān)的計(jì)算機(jī)可讀取媒體(computer-readable media)提供計(jì)算機(jī)可讀取指令、數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)、或程序模塊的非易失性儲(chǔ)存空間(nonvolatile storage)。通訊裝置26可為以太網(wǎng)絡(luò)(Ethernet)接口裝置或一個(gè)兼容于802.x或GPRS的無線通訊裝置。熟悉該技術(shù)的人都了解可將制造執(zhí)行系統(tǒng)11，運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器131、141及151中的任意兩者以上整合至單一一部計(jì)算機(jī)中。
儲(chǔ)存裝置23儲(chǔ)存多筆映射記錄(mapping records)。每一筆映射記錄儲(chǔ)存關(guān)于哪一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器管理特定制造對(duì)象的信息，制造對(duì)象為例如晶片載具、制造機(jī)臺(tái)、存儲(chǔ)器等。每一筆映射記錄在優(yōu)選的情況下包括兩個(gè)字段關(guān)聯(lián)于一個(gè)實(shí)體制造對(duì)象的制造對(duì)象識(shí)別碼，以及關(guān)聯(lián)于一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器識(shí)別碼。熟悉該技術(shù)的人可在映射記錄中實(shí)施更多或不盡相同的字段。可使用數(shù)據(jù)庫管理系統(tǒng)中的單一或多個(gè)數(shù)據(jù)表、數(shù)據(jù)對(duì)象管理系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)對(duì)象，或文件管理系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)文件來應(yīng)用映射記錄。對(duì)應(yīng)于一個(gè)既定的制造對(duì)象識(shí)別碼的一個(gè)管理的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器識(shí)別碼的取得，可經(jīng)由使用各式各樣查詢功能來有效地檢索映射記錄以取得運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器識(shí)別碼，例如使用ANSI SQL查詢、數(shù)據(jù)對(duì)象查詢方法或文件操作指令。圖3為實(shí)施例的映射記錄示意圖，其包括九個(gè)記錄31至39。每一筆映射記錄儲(chǔ)存關(guān)于一個(gè)特定存儲(chǔ)器(以制造對(duì)象識(shí)別碼作為表示)被哪一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器(以運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器識(shí)別碼來表示)所管理。
圖4為依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的運(yùn)輸系統(tǒng)整合方法的方法流程圖，由制造執(zhí)行系統(tǒng)11來執(zhí)行。在步驟S41，接收包括關(guān)于一個(gè)制造對(duì)象的請(qǐng)求信息。制造對(duì)象可為一個(gè)制造機(jī)臺(tái)或一個(gè)存儲(chǔ)器。所接收到的請(qǐng)求可包括關(guān)于將晶片載具從第一地點(diǎn)移至該制造對(duì)象，或從該制造對(duì)象移至第二地點(diǎn)的請(qǐng)求信息，或者關(guān)于該制造對(duì)象的數(shù)據(jù)查詢請(qǐng)求。在步驟S43，依據(jù)關(guān)于哪一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器管理該制造對(duì)象的信息，在諸如131、141及151的多個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器中決定出一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器。如步驟S45，產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于接收到的請(qǐng)求的指令。在步驟S47，發(fā)出產(chǎn)生的指令至決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器。該步驟可發(fā)出產(chǎn)生的指令至決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器，以驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)于決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器的運(yùn)輸系統(tǒng)，將晶片載具從第一地點(diǎn)移至制造對(duì)象，或從制造對(duì)象移至第二地點(diǎn)。此外，該步驟可發(fā)出產(chǎn)生的指令至決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器，以取得對(duì)應(yīng)于該制造對(duì)象的數(shù)據(jù)。
圖5為依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的運(yùn)輸系統(tǒng)整合方法的方法流程圖，由制造執(zhí)行系統(tǒng)11來執(zhí)行。在步驟S511，接收一個(gè)請(qǐng)求。該請(qǐng)求的接收，可由制造執(zhí)行系統(tǒng)11中的一個(gè)特定應(yīng)用程序，例如制造規(guī)劃(manufacturingscheduling)、后勤(logistic)數(shù)據(jù)管理等，或從遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)(未顯示)中的客戶應(yīng)用程序接收。在步驟S521，決定出所接收的請(qǐng)求的請(qǐng)求類型。制造執(zhí)行系統(tǒng)支持兩種類型的請(qǐng)求載具移動(dòng)及數(shù)據(jù)查詢，用來與運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器131、141及151來進(jìn)行互動(dòng)。載具移動(dòng)請(qǐng)求用以驅(qū)動(dòng)運(yùn)輸系統(tǒng)13、14及15借由自動(dòng)化設(shè)備從第一地點(diǎn)移動(dòng)晶片載具到另一個(gè)地點(diǎn)，第一地點(diǎn)例如制造機(jī)臺(tái)、存儲(chǔ)器等。數(shù)據(jù)查詢請(qǐng)求用以檢索數(shù)據(jù)，例如制造機(jī)臺(tái)或存儲(chǔ)器等不同地點(diǎn)的運(yùn)輸系統(tǒng)狀態(tài)、存貨明細(xì)(inventory details)或作業(yè)狀態(tài)。載具移動(dòng)請(qǐng)求通常牽涉到自動(dòng)化設(shè)備的運(yùn)動(dòng)，例如在空中(over-head)運(yùn)輸軌道的運(yùn)動(dòng)、從制造機(jī)臺(tái)或存儲(chǔ)器等的負(fù)載端口移動(dòng)晶片載具，但是數(shù)據(jù)查詢請(qǐng)求則不牽涉到自動(dòng)化設(shè)備的運(yùn)動(dòng)。數(shù)據(jù)查詢請(qǐng)求通常用以檢索儲(chǔ)存于相應(yīng)的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器中的數(shù)據(jù)。在步驟S531，依據(jù)儲(chǔ)存于映射記錄中的信息對(duì)比所接收到的請(qǐng)求信息，在多個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器中決定出一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器。接收到的請(qǐng)求中所提供的信息可借由該請(qǐng)求所使用的參數(shù)來取得。參考圖3，例如，當(dāng)接收到的請(qǐng)求中所包括的信息是關(guān)于從存儲(chǔ)器“41111“至一部制造機(jī)臺(tái)之間的移動(dòng)時(shí)，則決定出的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器為“TS14”。在另一個(gè)例子中，當(dāng)接收到的請(qǐng)求中所包括的信息是關(guān)于存儲(chǔ)器“51345”的存貨數(shù)據(jù)查詢時(shí)，則決定出的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器為“TS15”。
在步驟S541，判斷決定的請(qǐng)求類型是否為決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器所允許，若是，流程進(jìn)行至步驟S543，若否，則進(jìn)行至步驟S551。當(dāng)運(yùn)輸系統(tǒng)中的對(duì)應(yīng)的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器或自動(dòng)化設(shè)備受損，或進(jìn)行系統(tǒng)更新時(shí)，則晶片載具移動(dòng)的請(qǐng)求可能不被允許。當(dāng)對(duì)應(yīng)的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器不正常的關(guān)機(jī)或進(jìn)行系統(tǒng)更新時(shí)，數(shù)據(jù)查詢請(qǐng)求可能不被允許。有兩種方法可用以檢查準(zhǔn)許狀態(tài)。在一種方法中，制造執(zhí)行系統(tǒng)11經(jīng)由執(zhí)行儲(chǔ)存于其中的軟件服務(wù)，可查詢(query)決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器來取得決定的請(qǐng)求類型的準(zhǔn)許狀態(tài)。當(dāng)回復(fù)的準(zhǔn)許狀態(tài)指出決定的請(qǐng)求類型是不被允許時(shí)，或若在超時(shí)后還未收到任何的回復(fù)準(zhǔn)許狀態(tài)時(shí)，則判斷決定的請(qǐng)求類型不被允許。在另一種方法中，對(duì)應(yīng)的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器可實(shí)時(shí)地通知請(qǐng)求類型的準(zhǔn)許狀態(tài)，來指出特定的請(qǐng)求類型是被允許或不被允許，并且制造執(zhí)行系統(tǒng)11立即地儲(chǔ)存通知信息于儲(chǔ)存裝置23中，作為后續(xù)確認(rèn)之用。因此，決定的請(qǐng)求類型的準(zhǔn)許狀態(tài)可借由查詢相應(yīng)的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器，或從儲(chǔ)存裝置23中取得事先儲(chǔ)存的通知信息來完成。
在步驟S543，產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于接收的請(qǐng)求的至少一個(gè)指令，并且發(fā)出產(chǎn)生的指令至決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器。產(chǎn)生的指令可驅(qū)動(dòng)決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器，將特定晶片載具從一個(gè)地點(diǎn)移至另一個(gè)地點(diǎn)，或回復(fù)特定地點(diǎn)的存貨數(shù)據(jù)。須注意的是，當(dāng)產(chǎn)生多于兩個(gè)的指令，并需要與決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器進(jìn)行互動(dòng)時(shí)，可使用對(duì)應(yīng)于服務(wù)器中所提供的軟件服務(wù)的特定格式，例如指令名稱、參數(shù)安排、參數(shù)數(shù)據(jù)類型、指令執(zhí)行通訊協(xié)議等，來產(chǎn)生指令。在步驟S454，接收對(duì)應(yīng)于所發(fā)出的指令的答復(fù)信息。例如，接到對(duì)應(yīng)于所發(fā)出的是成功或失敗的移動(dòng)狀態(tài)的載具移動(dòng)指令，或接收到對(duì)應(yīng)于所發(fā)出的數(shù)據(jù)查詢指令的回復(fù)數(shù)據(jù)。在步驟S547，回復(fù)所接收的答復(fù)信息至請(qǐng)求者。需注意的是，答復(fù)信息可轉(zhuǎn)換為對(duì)應(yīng)于請(qǐng)求者的特定格式，請(qǐng)求者可為制造執(zhí)行系統(tǒng)11中的特定應(yīng)用程序或遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)(未顯示)中的客戶應(yīng)用程序。在步驟S551，向請(qǐng)求者回復(fù)指出該請(qǐng)求是不被決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器所允許的錯(cuò)誤信息。
圖6表示依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的運(yùn)輸系統(tǒng)整合方法的儲(chǔ)存媒體示意圖，由制造執(zhí)行系統(tǒng)11加載并執(zhí)行其中所含有的程序。該儲(chǔ)存媒體60內(nèi)含有至少一個(gè)使用于計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中的運(yùn)輸系統(tǒng)整合計(jì)算機(jī)程序620，該計(jì)算機(jī)可讀取程序邏輯包含接收請(qǐng)求邏輯621，決定所接收的請(qǐng)求的請(qǐng)求類型邏輯622，依據(jù)接收的請(qǐng)求中所包括的信息在多個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器決定出一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器邏輯623，判斷所決定的請(qǐng)求類型是否為決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器所允許邏輯624，產(chǎn)生與發(fā)出指令至決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器邏輯625，接收對(duì)應(yīng)于發(fā)出的指令的答復(fù)信息邏輯626，回復(fù)錯(cuò)誤信息或回復(fù)所接收的答復(fù)信息邏輯627。
雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實(shí)施例公開如上，然而其并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉該項(xiàng)技術(shù)的人，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可做出變動(dòng)與修改飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所附的權(quán)利要求
書所界定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的方法，包括使用計(jì)算機(jī)執(zhí)行的下列步驟接收請(qǐng)求，所述請(qǐng)求包括關(guān)于制造對(duì)象的請(qǐng)求信息；依據(jù)關(guān)于哪一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器管理所述制造對(duì)象的信息，在多個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器中決定一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器；產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于所述接收到的請(qǐng)求的指令；以及發(fā)出所述產(chǎn)生的指令至所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器。
2.如權(quán)利要求
1所述的應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的方法，其中所述制造對(duì)象是制造機(jī)臺(tái)或存儲(chǔ)器，所述請(qǐng)求包括關(guān)于晶片載具從第一地點(diǎn)移至所述制造對(duì)象，或從所述制造對(duì)象移至第二地點(diǎn)的請(qǐng)求信息，以及所述產(chǎn)生的指令被發(fā)出至所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器，用以驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)于所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器的運(yùn)輸系統(tǒng)將所述晶片載具從所述第一地點(diǎn)移至所述制造對(duì)象或從所述制造對(duì)象移至所述第二地點(diǎn)。
3.如權(quán)利要求
1所述的應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的方法，其中所述制造對(duì)象是制造機(jī)臺(tái)或存儲(chǔ)器，所述請(qǐng)求包括關(guān)于所述制造對(duì)象的數(shù)據(jù)查詢的請(qǐng)求信息，以及所述產(chǎn)生的指令是被發(fā)出至所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器以取得對(duì)應(yīng)于所述制造對(duì)象的數(shù)據(jù)。
4.如權(quán)利要求
1所述的應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的方法，還包括借由檢測(cè)所述請(qǐng)求中的內(nèi)容來決定出所述請(qǐng)求的請(qǐng)求類型；判斷所述決定的請(qǐng)求類型是否為所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器所允許；以及當(dāng)所述決定的請(qǐng)求類型被允許時(shí)，發(fā)出所述產(chǎn)生的指令至所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器。
5.如權(quán)利要求
4所述的應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的方法，其中所述請(qǐng)求類型為載具移動(dòng)請(qǐng)求，其包括關(guān)于晶片載具從第一地點(diǎn)移至所述制造對(duì)象，或從所述制造對(duì)象移至第二地點(diǎn)的請(qǐng)求信息，或所述請(qǐng)求類型為信息查詢請(qǐng)求，其包括關(guān)于所述制造對(duì)象的數(shù)據(jù)查詢的請(qǐng)求信息。
6.如權(quán)利要求
5所述的應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的方法，其中當(dāng)所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器失效時(shí)，所述載具移動(dòng)請(qǐng)求不被允許，以及當(dāng)所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器失效時(shí)，所述數(shù)據(jù)查詢請(qǐng)求不被允許。
7.如權(quán)利要求
5所述的應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的方法，還包括借由詢問所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器來判斷所述決定的請(qǐng)求類型是否為所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器所允許；以及當(dāng)回復(fù)的準(zhǔn)許狀態(tài)指出所述決定的請(qǐng)求類型是不被允許時(shí)，或若在超時(shí)之后還未收到任何的回復(fù)準(zhǔn)許狀態(tài)時(shí)，判斷所述決定的請(qǐng)求類型不被允許。
8.如權(quán)利要求
5所述的應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的方法，還包括從所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器接收指出所述決定的請(qǐng)求類型被允許或不被允許的通知信息；儲(chǔ)存所述接收的通知信息在儲(chǔ)存裝置；以及借由取得所述儲(chǔ)存的通知信息來判斷所述決定的請(qǐng)求類型是否為所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器所允許。
9.一種應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的系統(tǒng)，包括多個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器；以及制造執(zhí)行系統(tǒng)，耦接于所述運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器，用于接收請(qǐng)求，所述請(qǐng)求包括關(guān)于制造對(duì)象的請(qǐng)求信息，依據(jù)關(guān)于哪一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器管理所述制造對(duì)象的信息，在所述多個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器中決定一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器，產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于所述接收到的請(qǐng)求的指令，以及發(fā)出所述產(chǎn)生的指令至所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器。
10.如權(quán)利要求
9所述的應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的系統(tǒng)，其中所述制造對(duì)象是制造機(jī)臺(tái)或存儲(chǔ)器，所述請(qǐng)求包括關(guān)于晶片載具從第一地點(diǎn)移至所述制造對(duì)象，或從所述制造對(duì)象移至第二地點(diǎn)的請(qǐng)求信息，以及所述產(chǎn)生的指令被發(fā)出至所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器，用以驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)于所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器的運(yùn)輸系統(tǒng)將所述晶片載具從所述第一地點(diǎn)移至所述制造對(duì)象，或從所述制造對(duì)象移至所述第二地點(diǎn)。
11.如權(quán)利要求
9所述的應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的系統(tǒng)，其中所述制造對(duì)象是制造機(jī)臺(tái)或存儲(chǔ)器，所述請(qǐng)求包括關(guān)于所述制造對(duì)象的數(shù)據(jù)查詢的請(qǐng)求信息，以及所述產(chǎn)生的指令是被發(fā)出至所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器以取得對(duì)應(yīng)于所述制造對(duì)象的數(shù)據(jù)。
12.如權(quán)利要求
9所述的應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的系統(tǒng)，其中所述制造執(zhí)行系統(tǒng)借由檢測(cè)所述請(qǐng)求中的內(nèi)容來決定出所述請(qǐng)求的請(qǐng)求類型，判斷所述決定的請(qǐng)求類型是否為所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器所允許，以及當(dāng)所述決定的請(qǐng)求類型被允許時(shí)，發(fā)出所述產(chǎn)生的指令至所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器。
13.如權(quán)利要求
12所述的應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的系統(tǒng)，其中所述請(qǐng)求類型為載具移動(dòng)請(qǐng)求，其包括關(guān)于晶片載具從第一地點(diǎn)移至所述制造對(duì)象，或從所述制造對(duì)象移至第二地點(diǎn)的請(qǐng)求信息，或所述請(qǐng)求類型為信息查詢請(qǐng)求，其包括關(guān)于所述制造對(duì)象的數(shù)據(jù)查詢的請(qǐng)求信息。
14.如權(quán)利要求
13所述的應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的系統(tǒng)，其中當(dāng)所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器失效，或?qū)?yīng)于決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器的運(yùn)輸系統(tǒng)失效時(shí)，所述載具移動(dòng)請(qǐng)求不被允許，以及當(dāng)所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器失效時(shí)，所述數(shù)據(jù)查詢請(qǐng)求不被允許。
15.如權(quán)利要求
13所述的應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的系統(tǒng)，其中所述制造執(zhí)行系統(tǒng)借由詢問所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器來判斷所述決定的請(qǐng)求類型是否為所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器所允許，以及當(dāng)回復(fù)的準(zhǔn)許狀態(tài)指出所述決定的請(qǐng)求類型是不被允許時(shí)，或若在超時(shí)后還未收到任何回復(fù)的準(zhǔn)許狀態(tài)時(shí)，判斷所述決定的請(qǐng)求類型不被允許。
16.如權(quán)利要求
13所述的應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的系統(tǒng)，其中所述制造執(zhí)行系統(tǒng)從所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器接收指出所述決定的請(qǐng)求類型被允許或不被允許的通知信息，儲(chǔ)存所述接收的通知信息于儲(chǔ)存裝置，以及借由取得所述儲(chǔ)存的通知信息來判斷所述決定的請(qǐng)求類型是否為所述決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器所允許。
專利摘要
本發(fā)明公開一種應(yīng)用于運(yùn)輸系統(tǒng)整合的方法及系統(tǒng)。其中該方法包括使用計(jì)算機(jī)執(zhí)行下列步驟接收包括關(guān)于一個(gè)制造對(duì)象的請(qǐng)求信息；依據(jù)關(guān)于哪一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)管理該制造對(duì)象的信息，在多個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器中決定出一個(gè)運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器；產(chǎn)生對(duì)應(yīng)于所接收到的請(qǐng)求的指令；以及發(fā)出所產(chǎn)生的指令到所決定的運(yùn)輸系統(tǒng)服務(wù)器。利用本發(fā)明可以減少成本并且增加運(yùn)輸系統(tǒng)的性能。
文檔編號(hào)H01L21/00GK1991641SQ200610092856
公開日2007年7月4日 申請(qǐng)日期2006年6月16日
發(fā)明者陳賢智 申請(qǐng)人:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司導(dǎo)出引文BiBTeX, EndNote, RefMan