專利名稱：用于管理批次整合的系統(tǒng)、用于管理批次整合的方法
技術領域：
本發(fā)明是有關于制程控制，特別是有關于用以在制造環(huán)境中將被分割的批次重新整合的系統(tǒng)與方法。
背景技術：
在接單制造(produce-to-order)的制造業(yè)中(例如半導體制造業(yè))，客戶下訂單的產(chǎn)品在開始制造時，多以完整的晶圓批次進行制造處理。一般而言，其中每個晶圓批次至多可以包含25片晶圓。而在進行制造處理的過程中，原本包含于同一批次中的晶圓，常常會被分離到不同的批次中進行處理，使得某一客戶訂單的產(chǎn)品，分散在各個批次中，而造成許多管理上及處理上的問題。例如，完整的批次A，在制造處理的過程中，被分割為5個部分A1～A5，上述A1～A5分別在不同的晶圓批次中。在這種情況下，當A1～A5以濕蝕刻處理時，是分別進行濕蝕刻處理，使得A1～A5的每一個，受到蝕刻的程度可能因為每次蝕刻反應的條件不同而有不同。而上述的制程不一致性，可能會導致產(chǎn)品品質不一的問題。當A1～A5進行測試時(例如晶圓驗收測試，wafer acceptancetest，WAT)，測試的結果是分別產(chǎn)生并傳送給客戶?？蛻粼诮邮盏紸1～A5個部分測試結果后，必須自行將其整合，才能夠得到完整的測試結果。再者，當A1～A5被制造完成，運送給客戶時，也是一部分一部分分別運送。使得客戶在確認收貨及后續(xù)管理上造成困難。
因此，需要可以在制造環(huán)境中將被分割的批次重新整合的系統(tǒng)與方法。

發(fā)明內容
為達成上述目的，本發(fā)明提供制程控制的系統(tǒng)與方法，特別是用以在制造環(huán)境中將被分割的批次重新整合的系統(tǒng)與方法。
本發(fā)明提供一種用于管理批次整合的系統(tǒng)，其包括界面、儲存裝置、及處理器。該界面是用以接收一批次整合設定數(shù)據(jù)。該儲存裝置是用以儲存第一批次制造信息和該批次整合設定數(shù)據(jù)。該處理器是用以依據(jù)該批次整合設定數(shù)據(jù)與該第一批次制造信息，產(chǎn)生第二批次制造信息。
本發(fā)明所述的用于管理批次整合的系統(tǒng)，其中該批次整合設定數(shù)據(jù)包含用以辨識客戶、產(chǎn)品、及批次的識別信息，其中該批次整合設定數(shù)據(jù)包含一整合設定，其包含與該批次對應的一整合步驟及/或整合階段。
本發(fā)明所述的用于管理批次整合的系統(tǒng)，其中該第一及第二批次制造信息包含在制品信息，其包含與該批次對應的在制品的識別信息、產(chǎn)品信息、與一產(chǎn)品及/或批次對應的制程階段信息、一制程時程表、一批次派工設定數(shù)據(jù)。
本發(fā)明所述的用于管理批次整合的系統(tǒng)，進一步包含一制造執(zhí)行系統(tǒng)，其是依據(jù)該第二批次制造信息，控制多個批次的處理程序。
本發(fā)明并提供一種計算機執(zhí)行的用于管理批次整合的方法。該方法首先接收一批次整合設定數(shù)據(jù)。并提供第一批次制造信息。依據(jù)該批次整合設定數(shù)據(jù)與該第一批次制造信息，產(chǎn)生第二批次制造信息。
本發(fā)明所述的計算機執(zhí)行的用于管理批次整合的方法，其中該批次整合設定數(shù)據(jù)包含用以辨識客戶、產(chǎn)品、及批次的識別信息，其中該批次整合設定數(shù)據(jù)包含一整合設定，其包含與該識別信息對應的一整合點設定、以及整合步驟及/或整合階段的設定。
本發(fā)明所述的計算機執(zhí)行的用于管理批次整合的方法，其中該第一及第二批次制造信息包含在制品信息，其包含與該批次對應的在制品的識別信息，該第一和第二批次制造信息包含產(chǎn)品信息，其包含與一產(chǎn)品及/或批次對應的制程階段信息，且該第一及第二批次制造信息分別包含一制程時程表、一批次派工設定數(shù)據(jù)。
本發(fā)明所述的計算機執(zhí)行的用于管理批次整合的方法，進一步依據(jù)該第二批次制造信息，控制多個批次的處理程序。
本發(fā)明所述的用于管理批次整合的系統(tǒng)、用于管理批次整合的方法，依據(jù)更新過的該制造數(shù)據(jù)的制程時程表和派工設定數(shù)據(jù)，使得制造程序中的產(chǎn)品物流被調整，使得能夠依據(jù)使用者的設定，將原本屬于同一批次，而在制程中被分割開來的批次重新整合為同一批次。


圖1顯示依據(jù)本發(fā)明實施例的具有批次整合管理的制造系統(tǒng)的示意圖；圖2顯示依據(jù)本發(fā)明實施例的用于管理批次整合的方法的流程圖。
具體實施例方式
為了讓本發(fā)明的目的、特征、及優(yōu)點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附圖示圖1及圖2，做詳細的說明。本發(fā)明說明書提供不同的實施例來說明本發(fā)明不同實施方式的技術特征。其中，實施例中的各元件的配置是為說明之用，并非用以限制本發(fā)明。且實施例中圖式標號的部分重復，是為了簡化說明，并非意指不同實施例之間的關聯(lián)性。
圖1顯示依據(jù)本發(fā)明實施例的具有批次整合管理的制造系統(tǒng)的示意圖。制造系統(tǒng)10包含一批次整合管理子系統(tǒng)11及一制造子系統(tǒng)15。批次整合管理子系統(tǒng)11包括界面111、處理器113、以及儲存裝置115。其中，界面111接收由使用者14透過網(wǎng)絡12傳來的批次整合設定數(shù)據(jù)。其中，該批次整合設定數(shù)據(jù)包含用以辨識客戶、產(chǎn)品、及批次的識別信息，以及整合設定數(shù)據(jù)。該整合設定數(shù)據(jù)包含與一特定批次對應的一整合步驟及/或整合階段。儲存裝置115用以儲存使用者提供的該批次整合設定數(shù)據(jù)。處理器113用以依據(jù)該批次整合設定數(shù)據(jù)與一第一批次制造信息，產(chǎn)生一第二批次制造信息。其中，該第一批次制造信息可以從制造子系統(tǒng)15中的制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)151取得，而處理器113所產(chǎn)生的該第二批次制造信息則傳回給制造執(zhí)行系統(tǒng)151。該第一及第二批次制造信息分別包含在制品信息、產(chǎn)品信息、制程時程表、及批次派工設定數(shù)據(jù)。其中，該在制品信息包含與一特定批次對應的在制品的識別信息。其中，該產(chǎn)品信息包含與一產(chǎn)品及/或批次對應的制程階段信息。該第一及第二批次制造信息可以儲存于制造子系統(tǒng)15中的儲存裝置153中，且該第一及第二批次制造信息是用以作為制造裝置155運作的依據(jù)。當制造子系統(tǒng)15接收到該第二批次制造信息時，依據(jù)該第二批次制造信息更新該第一批次制造信息。而制造裝置155是依據(jù)更新過的批次制造信息(亦即，第二批次制造信息)來執(zhí)行制造程序。
圖2顯示依據(jù)本發(fā)明實施例的用于管理批次整合的方法的流程圖。圖2所示的方法是可以實施于圖1所示的系統(tǒng)。
依據(jù)本發(fā)明實施例，該方法首先接收一批次整合設定數(shù)據(jù)，如步驟S21所示。在步驟S21中，首先輸入使用者識別數(shù)據(jù)和認證數(shù)據(jù)，如步驟S211所示。其中，該使用者識別數(shù)據(jù)和認證數(shù)據(jù)是由使用者14提供，并透過網(wǎng)絡12傳送到界面111，再轉送到處理器113。繼之，依據(jù)一對應的識別設定，執(zhí)行一認證程序，如步驟S212所示。繼之，依據(jù)該使用者輸入的識別數(shù)據(jù)，從一數(shù)據(jù)庫(圖未顯示)中搜尋相對應的產(chǎn)品數(shù)據(jù)及/或批次數(shù)據(jù)，并呈現(xiàn)在界面111上，如步驟S213所示。繼之，由使用者輸入一產(chǎn)品及/或批次識別號碼，以確認選取的一產(chǎn)品及批次，如步驟S214所示。繼之，設定一批次整合設定數(shù)據(jù)，如步驟S215所示，其設定對應于一特定批次的整合執(zhí)行點。上述使用者的識別數(shù)據(jù)、產(chǎn)品數(shù)據(jù)、批次數(shù)據(jù)、以及上述整合設定數(shù)據(jù)，總和稱之為批次整合設定數(shù)據(jù)。
在步驟S216中，提供對應于使用者選定的批次的目前制造數(shù)據(jù)。該制造數(shù)據(jù)包含在制品信息、產(chǎn)品信息、制程時程表、及批次派工設定數(shù)據(jù)。其中，該在制品信息包含與一特定批次對應的在制品的識別信息。其中，該產(chǎn)品信息包含與一產(chǎn)品及/或批次對應的制程階段信息。
在步驟S217中，將該批次整合設定數(shù)據(jù)與該目前的制造數(shù)據(jù)進行整合，以產(chǎn)生一更新的制造數(shù)據(jù)。更新的制造數(shù)據(jù)包含和該目前的制造數(shù)據(jù)相對應的在制品信息、產(chǎn)品信息、制程時程表、及批次派工設定數(shù)據(jù)。尤其是，依據(jù)更新過的該制造數(shù)據(jù)的制程時程表和派工設定數(shù)據(jù)，使得制造程序中的產(chǎn)品物流被調整，使得能夠依據(jù)使用者的設定，將原本屬于同一批次，而在制程中被分割開來的批次重新整合為同一批次。
當制程數(shù)據(jù)完成更新，則一制造裝置依據(jù)該更新的制程數(shù)據(jù)，執(zhí)行產(chǎn)品制造程序，如步驟S218所示。
雖然本發(fā)明已通過較佳實施例說明如上，但該較佳實施例并非用以限定本發(fā)明。本領域的技術人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內，應有能力對該較佳實施例做出各種更改和補充，因此本發(fā)明的保護范圍以權利要求書的范圍為準。
附圖中符號的簡單說明如下制造系統(tǒng)10
批次整合管理子系統(tǒng)11制造子系統(tǒng)15界面111處理器113儲存裝置115使用者14網(wǎng)絡12制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)151制造裝置155儲存裝置15權利要求
1.一種用于管理批次整合的系統(tǒng)，其特征在于，該用于管理批次整合的系統(tǒng)包括一界面，其是用以接收一批次整合設定數(shù)據(jù)；一儲存裝置，其是用以儲存第一批次制造信息和該批次整合設定數(shù)據(jù)；以及一處理器，其是用以依據(jù)該批次整合設定數(shù)據(jù)與該第一批次制造信息，產(chǎn)生第二批次制造信息。
2.根據(jù)權利要求1所述的用于管理批次整合的系統(tǒng)，其特征在于，該批次整合設定數(shù)據(jù)包含用以辨識客戶、產(chǎn)品、及批次的識別信息，其中該批次整合設定數(shù)據(jù)包含一整合設定，其包含與該批次對應的一整合步驟及/或整合階段。
3.根據(jù)權利要求1所述的用于管理批次整合的系統(tǒng)，其特征在于，該第一及第二批次制造信息包含在制品信息，其包含與該批次對應的在制品的識別信息、產(chǎn)品信息、與一產(chǎn)品及/或批次對應的制程階段信息、一制程時程表、一批次派工設定數(shù)據(jù)。
4.根據(jù)權利要求1所述的用于管理批次整合的系統(tǒng)，其特征在于，進一步包含一制造執(zhí)行系統(tǒng)，其是依據(jù)該第二批次制造信息，控制多個批次的處理程序。
5.一種計算機執(zhí)行的用于管理批次整合的方法，其特征在于，該計算機執(zhí)行的用于管理批次整合的方法包括接收一批次整合設定數(shù)據(jù)；提供第一批次制造信息；以及依據(jù)該批次整合設定數(shù)據(jù)與該第一批次制造信息，產(chǎn)生第二批次制造信息。
6.根據(jù)權利要求5所述的計算機執(zhí)行的用于管理批次整合的方法，其特征在于，該批次整合設定數(shù)據(jù)包含用以辨識客戶、產(chǎn)品、及批次的識別信息，其中該批次整合設定數(shù)據(jù)包含一整合設定，其包含與該識別信息對應的一整合點設定、以及整合步驟及/或整合階段的設定。
7.根據(jù)權利要求5所述的計算機執(zhí)行的用于管理批次整合的方法，其特征在于，該第一及第二批次制造信息包含在制品信息，其包含與該批次對應的在制品的識別信息，該第一和第二批次制造信息包含產(chǎn)品信息，其包含與一產(chǎn)品及/或批次對應的制程階段信息，且該第一及第二批次制造信息分別包含一制程時程表、一批次派工設定數(shù)據(jù)。
8.根據(jù)權利要求5所述的計算機執(zhí)行的用于管理批次整合的方法，其特征在于，進一步依據(jù)該第二批次制造信息，控制多個批次的處理程序。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用于管理批次整合的系統(tǒng)、用于管理批次整合的方法，其包括一界面、一儲存裝置、及一處理器。該界面是用以接收一批次整合設定數(shù)據(jù)。該儲存裝置是用以儲存第一批次制造信息和該批次整合設定數(shù)據(jù)。該處理器是用以依據(jù)該批次整合設定數(shù)據(jù)與該第一批次制造信息，產(chǎn)生第二批次制造信息。本發(fā)明所述的用于管理批次整合的系統(tǒng)、用于管理批次整合的方法，依據(jù)更新過的該制造數(shù)據(jù)的制程時程表和派工設定數(shù)據(jù)，使得制造程序中的產(chǎn)品物流被調整，使得能夠依據(jù)使用者的設定，將原本屬于同一批次，而在制程中被分割開來的批次重新整合為同一批次。
文檔編號G06F17/00GK1804746SQ200510130509
公開日2006年7月19日 申請日期2005年12月13日 優(yōu)先權日2004年12月23日
發(fā)明者黃啟仁, 林水典 申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司