專利名稱：一種恒液面氣體蒸發(fā)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域，具體地說就是提供了一種氣體載流法中使用的氣體蒸發(fā)器，即一種恒液面氣體蒸發(fā)器。
使用化學(xué)氣相沉積工藝制備新材料時，經(jīng)常需要將高沸點(diǎn)腐蝕性液體原料轉(zhuǎn)變成氣體狀態(tài)使用。常用的方法是氣體載流法，即將載流氣體(氫氣或其它惰性氣體)通入液體原料中，載流氣體把液體原料的蒸汽帶走，形成混合氣體。使用這種方法時，由于隨著液體蒸氣被載流氣體的不斷帶出，容器中的液體減少而液面不斷下降，造成形成的混合氣體的濃度發(fā)生變化，造成沉積質(zhì)量不均一，另外當(dāng)液體消耗盡時，整個工藝將中止。因此，需要在工藝過程中始終保持恒定的液面，常用的保持恒液面的方法為電磁液面控制裝置，但這種裝置復(fù)雜且不適用于有毒、腐蝕性液體。
本實(shí)用新型的目的在于，提供一種能使液面保持恒定以保證整個工藝的順利完成，并且整個裝置又很簡單易于實(shí)現(xiàn)的蒸發(fā)器，即一種恒液面氣體蒸發(fā)器。
本實(shí)用新型為一帶有載流氣體進(jìn)入管道和混合氣體出口的容器，其特征在于容器中另有一液體補(bǔ)充管道，補(bǔ)充管道下面有一浮球式閥門自動控制蒸發(fā)器中液面保持在恒定高度，整個裝置由耐腐蝕材料，如玻璃、陶瓷等制成，球閥與液體補(bǔ)充管道的接觸面部分可用磨口來實(shí)現(xiàn)密封。
以下結(jié)合附圖詳述一實(shí)施例。
附

圖1為一種恒液面氣體蒸發(fā)器示意圖。
圖中1、混合氣體出口；2、液體補(bǔ)充管道；3、載流氣體進(jìn)入管道；4、玻璃磨口封閉面；5、密封桿；6、浮漂；7、化學(xué)腐蝕性高沸點(diǎn)液體。
實(shí)施例如附圖1所示為一種全玻璃制做的恒液面氣體蒸發(fā)器。液體補(bǔ)充管道2為上細(xì)下粗結(jié)構(gòu)，球閥則由浮漂6與密封桿5兩部分組成，密封桿5直徑小于液體補(bǔ)充管道2粗口大于細(xì)口，密封桿頂端有磨口封閉面4。使用時，浮漂6在液體7中受到向上的浮力，使液體補(bǔ)充管道2與密封桿5的磨口封閉面4接觸，阻止了液體向容器中的流入，隨著載流氣體由氣體進(jìn)入管道3的不斷進(jìn)入，由氣體出口1的不斷排出，液面將下降，浮漂6所受到的浮力減小，磨口封密面4分離，液體由管道2向容器中補(bǔ)充，當(dāng)液面恢復(fù)到原來的位置時，因浮漂6受到的浮力增大使磨口密封面4又重新接觸阻止了液體的繼續(xù)補(bǔ)充，而且其液面始終基本保持不變。這樣不僅混合氣體的濃度能夠基本保持不變，而且實(shí)現(xiàn)了自動加料，保證了工藝的連續(xù)性。同時，由于幾個裝置全部由玻璃制成，不僅裝置簡單易做，而且不怕腐蝕，解決了使用腐蝕性液體的問題。本裝置已在化學(xué)氣相沉積方法制備SlC纖維工藝中得到使用，使用的液體原料為CH3SlCl3和CH3SlHCl2，使用的載流氣體為高純氫氣或氬氣。使用這種裝置解決了混合氣體濃度變化和SlC纖維的連續(xù)化問題。
總之，本實(shí)用新型是一種簡便，實(shí)用的恒液面氣體蒸發(fā)器，特別適用于實(shí)驗(yàn)室、科研工作等場合，可以廣泛地應(yīng)用于化工、半導(dǎo)體材料等領(lǐng)域，涉及制備高沸點(diǎn)，有毒有害腐蝕性液體的氣體情況。
權(quán)利要求1.一種帶有載流氣體進(jìn)入管道和混合氣體出口的恒液面氣體蒸發(fā)器，其特征在于(1)蒸發(fā)器中另設(shè)有一液體補(bǔ)充管道；(2)液體補(bǔ)充管道下面設(shè)有一浮球式閥門，自動控制蒸發(fā)器中液面保持恒定；(3)整個裝置由耐腐蝕材料制成。
2.按權(quán)利要求1所述蒸發(fā)器，其特征在于，球閥與液體補(bǔ)充管道的接觸面部分可以用磨口實(shí)現(xiàn)密封。
3.按權(quán)利要求1、2所述蒸發(fā)器，其特征在于，所用耐腐蝕材料可以為玻璃或陶瓷等。
專利摘要本實(shí)用新型涉及化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域，具體地說就是提供了一種氣體載流法中使用的氣體蒸發(fā)器，即一種恒液面氣體蒸發(fā)器。本實(shí)用新型的特征在于，整個裝置由耐腐蝕材料制成，用球閥實(shí)現(xiàn)液面的恒定。本實(shí)用新型是一種簡便、實(shí)用的恒液面氣體蒸發(fā)器，特別適用于實(shí)驗(yàn)室、科研工作等場合，可以廣泛地應(yīng)用于化工、半導(dǎo)體材料等領(lǐng)域，涉及制備高沸點(diǎn)，有毒有害腐蝕性液體的氣體情況。
文檔編號G05D9/02GK2111958SQ9221010
公開日1992年8月5日 申請日期1992年1月18日 優(yōu)先權(quán)日1992年1月18日
發(fā)明者石南林 申請人:中國科學(xué)院金屬研究所