一種加熱異常檢測方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于微電子加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種加熱異常檢測方法。
【背景技術(shù)】
[0002]等離子體反應(yīng)腔室的溫度參數(shù)是影響刻蝕、沉積等工藝結(jié)果的重要參數(shù)之一。為了實(shí)現(xiàn)溫度的均勻性，通常需要多個(gè)溫控裝置對反應(yīng)腔室的不同區(qū)域進(jìn)行溫控。
[0003]圖1為典型的反應(yīng)腔室的腔體橫向截面示意圖。請參閱圖1，反應(yīng)腔室10為矩形腔室，為實(shí)現(xiàn)對反應(yīng)腔室10的不同區(qū)域進(jìn)行溫控，在反應(yīng)腔室10的四個(gè)拐角A?D位置處分別設(shè)置有溫控裝置11，每個(gè)溫控裝置11包括加熱器111、熱電偶112、過溫開關(guān)113和溫控器(圖中未示出)等。其中，加熱器111用于加熱反應(yīng)腔室10，熱電偶112用于檢測當(dāng)前反應(yīng)腔室10的溫度，并將該溫度發(fā)送至溫控器，溫控器用于根據(jù)熱電偶112檢測的溫度輸出控制信號，以控制繼電器來控制是否向加熱器111供電；過溫開關(guān)113用于在反應(yīng)腔室10溫度過高時(shí)斷開，以切斷加熱器111與電源連接，以對反應(yīng)腔室10進(jìn)行保護(hù)。
[0004]在對反應(yīng)腔室10進(jìn)行加熱時(shí)，需要四個(gè)溫控裝置11同時(shí)工作，并且，在四個(gè)溫控裝置11加熱過程中實(shí)時(shí)檢測是否發(fā)生異常，若是，則發(fā)出報(bào)警提示，以告知操作人員進(jìn)行維護(hù)。然而，在實(shí)際應(yīng)用中，雖然在發(fā)生異常時(shí)會發(fā)出報(bào)警提示，但是由于其不能判斷并輸出發(fā)生該異常的原因，例如，熱電偶斷連、熱電偶混接和加熱器故障等，因而需要操作人員耗費(fèi)較長的時(shí)間進(jìn)行檢查，因而造成維護(hù)周期較長，從而造成產(chǎn)率和經(jīng)濟(jì)效益低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種加熱異常檢測方法，可以縮短維護(hù)周期，從而可以提高產(chǎn)率和經(jīng)濟(jì)效益。
[0006]為解決上述問題之一，本發(fā)明提供了一種加熱異常檢測方法，應(yīng)用于多個(gè)溫控裝置，每個(gè)溫控裝置包括測溫器和加熱器，該檢測方法包括以下步驟:
[0007]步驟SI，預(yù)設(shè)各個(gè)溫控裝置的溫度為初始溫度；
[0008]步驟S2，使一個(gè)溫控裝置加熱預(yù)設(shè)時(shí)間，之后檢測各個(gè)溫控裝置的溫度，之后判斷當(dāng)前溫控裝置的溫度是否上升至與該預(yù)設(shè)時(shí)間對應(yīng)的預(yù)設(shè)溫度，所述預(yù)設(shè)溫度大于各個(gè)所述溫控裝置的初始溫度，若是，進(jìn)入步驟S4 ;若否，進(jìn)入步驟S3 ;
[0009]步驟S3，根據(jù)檢測的各個(gè)溫控裝置的溫度，若當(dāng)前溫控裝置的溫度為斷連溫度，其他溫控裝置的溫度保持不變，則輸出當(dāng)前溫控裝置的測溫器斷連；和/或，若當(dāng)前溫控裝置的溫度保持不變，另一個(gè)溫控裝置的溫度上升為當(dāng)前測溫裝置的預(yù)設(shè)溫度，則輸出該另一個(gè)溫控裝置的測溫器與當(dāng)前溫控裝置的測溫器混接；和/或，若當(dāng)前溫控裝置的溫度不為斷連溫度，且每個(gè)溫控裝置的溫度均保持不變，則輸出當(dāng)前溫控裝置的加熱器故障；
[0010]步驟S4，當(dāng)前溫控裝置檢測結(jié)束。
[0011 ] 其中，每個(gè)所述溫控裝置的初始溫度預(yù)設(shè)為其加熱最低溫度。
[0012]其中，在所述步驟S2中還包括，若當(dāng)前溫控裝置的檢測溫度上升至與該預(yù)設(shè)時(shí)間對應(yīng)的預(yù)設(shè)溫度，則使當(dāng)前溫控裝置的溫度恢復(fù)至其初始溫度。
[0013]其中，在所述步驟S4之后，還包括步驟S5，根據(jù)輸出的測溫器斷連、測溫器混接或加熱器故障的信息，對當(dāng)前溫控裝置進(jìn)行維護(hù)；并且，在步驟S5之后，針對至少兩個(gè)未檢測的溫控裝置，執(zhí)行步驟S2?S5 ;針對最后一個(gè)未檢測的溫控裝置，執(zhí)行步驟S2?S4，并且，在步驟S3中，若當(dāng)前溫控裝置的溫度為斷連溫度，則輸出該當(dāng)前溫控裝置的測溫器斷連；和/或，若當(dāng)前溫控裝置的溫度不為斷連溫度，且保持不變，則輸出當(dāng)前溫控裝置的加熱器故障。
[0014]其中，在所述步驟S4之后，重復(fù)執(zhí)行步驟SI?S4，以對下一個(gè)未檢測的溫控裝置進(jìn)行檢測，直至實(shí)現(xiàn)對每個(gè)溫控裝置進(jìn)行檢測。
[0015]其中，在進(jìn)行步驟S3的同時(shí)開始對下一個(gè)溫控裝置進(jìn)行檢測。
[0016]其中，每個(gè)所述溫控裝置的預(yù)設(shè)時(shí)間設(shè)置為:在該預(yù)設(shè)時(shí)間下加熱至的預(yù)設(shè)溫度大于環(huán)境溫度10°C以上。
[0017]其中，在所述步驟S2中還包括，若當(dāng)前溫控裝置的檢測溫度未上升至與該預(yù)設(shè)時(shí)間對應(yīng)的預(yù)設(shè)溫度，則發(fā)出報(bào)警信號。
[0018]其中，采用自動檢測方式或者手動檢測方式進(jìn)行檢測。
[0019]其中，所述測溫器包括熱電偶。
[0020]本發(fā)明具有以下有益效果:
[0021]本發(fā)明提供的加熱異常檢測方法，其步驟SI中，預(yù)設(shè)各個(gè)溫控裝置的溫度為初始溫度，之后通過步驟S2，可以判斷出當(dāng)前溫控裝置是否異常，若是，則進(jìn)入步驟S4，當(dāng)前溫控裝置檢測結(jié)束，若否，則進(jìn)入步驟S3，通過步驟S3，可以判斷并輸出發(fā)生異常的原因，該原因包括測溫器斷連和/或測溫器混接和/或加熱器故障。因此，本發(fā)明提供的加熱異常檢測方法可以判斷并輸出異常發(fā)生的原因，這與現(xiàn)有技術(shù)相比，可以便于操作人員根據(jù)該原因進(jìn)行維護(hù)，從而可以縮短維護(hù)周期，進(jìn)而可以提高產(chǎn)率和經(jīng)濟(jì)效益。
【附圖說明】
[0022]圖1為典型的反應(yīng)腔室的腔體橫向截面示意圖；
[0023]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的加熱異常的檢測方法的流程圖；
[0024]圖3為對溫控裝置A進(jìn)行檢測的過程示意圖；
[0025]圖4為對溫控裝置B進(jìn)行檢測的過程示意圖；
[0026]圖5為對溫控裝置C進(jìn)行檢測的過程示意圖；以及
[0027]圖6為對溫控裝置D進(jìn)行檢測的過程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0028]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖來對本發(fā)明提供的加熱異常檢測方法進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0029]為便于理解本發(fā)明，本發(fā)明中每個(gè)溫控裝置包括測溫器和加熱器，“溫控裝置的溫度”是指溫控裝置中加熱器加熱的溫度；“檢測溫控裝置的溫度”是指各個(gè)溫控裝置利用其測溫器檢測其的溫度。另外，本發(fā)明提供的加熱異常檢測方法是基于各個(gè)溫控裝置的加熱器未發(fā)生混接的前提下進(jìn)行的。
[0030]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的加熱異常的檢測方法的流程圖。請參閱圖2，本實(shí)施例提供的加熱異常檢測方法，應(yīng)用于多個(gè)溫控裝置，該檢測方法包括以下步驟:
[0031]步驟SI，預(yù)設(shè)各個(gè)溫控裝置的溫度為初始溫度，也就是說，初始化各個(gè)溫控裝置的溫度。
[0032]步驟S2，使一個(gè)溫控裝置(即為當(dāng)前溫控裝置)加熱預(yù)設(shè)時(shí)間，之后檢測各個(gè)溫控裝置的溫度，之后判斷當(dāng)前溫控裝置的溫度是否上升至與該預(yù)設(shè)時(shí)間對應(yīng)的預(yù)設(shè)溫度，換言之，預(yù)設(shè)溫度為當(dāng)前溫控裝置加熱預(yù)設(shè)時(shí)間之后的溫度，并且，預(yù)設(shè)溫度大于各個(gè)溫控裝置的初始溫度，若是，此時(shí)，當(dāng)前溫控裝置正常，則進(jìn)入步驟S4 ;若否，此時(shí)，當(dāng)前溫控裝置發(fā)生異常，則進(jìn)入步驟S3。
[0033]步驟S3，根據(jù)檢測的各個(gè)溫控裝置的溫度，若當(dāng)前溫控裝置的溫度為斷連溫度，其他溫控裝置的溫度保持不變，則輸出該當(dāng)前溫控裝置的測溫器斷連。所謂斷連溫度是指溫控裝置的測溫器斷連時(shí)的溫度，例如，測溫器為熱電偶，根據(jù)熱電偶的特性，其斷連溫度為其量程的最大溫度(即為其極值溫度)。和/或，若當(dāng)前溫控裝置的溫度保持不變，另一個(gè)溫控裝置的溫度上升為當(dāng)前測溫裝置的預(yù)設(shè)溫度，則輸出該另一個(gè)溫控裝置的測溫器與當(dāng)前溫控