專利名稱：圖案評(píng)價(jià)方法,圖案評(píng)價(jià)裝置和計(jì)算機(jī)讀取的記錄媒體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及圖案的一般評(píng)價(jià)方法，圖案評(píng)價(jià)裝置和可以計(jì)算機(jī)讀取的記錄媒體。
背景技術(shù)：
我們舉出評(píng)價(jià)半導(dǎo)體的微細(xì)圖案的方法作為具體例子，說明根據(jù)已有技術(shù)的圖案評(píng)價(jià)方法。
圖案評(píng)價(jià)對(duì)于半導(dǎo)體制造工序也是重要的，這點(diǎn)對(duì)于由刻蝕工序和腐蝕工序等形成的微細(xì)圖案特別顯著。至今，一般采用用電子槍的CDSEM(Critical Dimension Scanning Electron Microscope(臨界尺寸掃描電子顯微鏡))測(cè)量圖象尺寸(例如，直線圖案時(shí)的線寬等，孔圖案時(shí)的孔徑等)的評(píng)價(jià)方法。在CDSEM中，讀取來自從試料取得的圖案SEM圖象的二次電子分布，通過邊界檢測(cè)算法從這個(gè)分布檢測(cè)圖案的邊界，用檢測(cè)出的邊界座標(biāo)用適合于各測(cè)量目的的CD測(cè)量算法計(jì)算圖案尺寸。例如，當(dāng)求直線圖案的線寬時(shí)，通過直線近似法或閾值法等從電子束掃描方向的SEM圖象的線象素檢測(cè)直線的左右邊界。對(duì)于檢測(cè)出的這些左右邊界，在由測(cè)定指定的范圍內(nèi)求邊界對(duì)，計(jì)算這些對(duì)之間的距離(邊界點(diǎn)的X座標(biāo)之差)的平均，作為這個(gè)直線圖案的線寬。又，當(dāng)圖案的寬度不恒定時(shí)，例如計(jì)算最大或最小的邊界對(duì)間距離作為最大線寬或最小線寬，輸出這個(gè)結(jié)果作為測(cè)量值。

發(fā)明內(nèi)容
但是，在上述的已有方法中，存在著如果不使要測(cè)量的圖象的方向(以下稱為CD方向)與電子束掃描方向一致則不能進(jìn)行測(cè)量這樣的問題。因此，為了解除這種問題，例如，采用使電子束掃描方向與CD方向重合后進(jìn)行測(cè)量，用仿射變換等的圖象處理旋轉(zhuǎn)圖象，使CD方向與電子束掃描方向重合后進(jìn)行測(cè)量等的方法進(jìn)行處理。但是，在這些處理中需要花費(fèi)額外的時(shí)間，為此對(duì)于縮短測(cè)量時(shí)間是不利的。進(jìn)一步，當(dāng)在測(cè)量前預(yù)先對(duì)CD方向沒有充分了解時(shí)，因?yàn)樾枰獙㈦娮邮鴴呙璺较蚧驁D象旋轉(zhuǎn)角度分配在某個(gè)范圍內(nèi)，所以需要更長的處理時(shí)間。
同樣，當(dāng)測(cè)量對(duì)象是孔圖案時(shí)，在已有方法中測(cè)量SEM圖象的X軸方向和Y軸方向的最大值作為圖案的孔徑。但是，在這種方法中，例如當(dāng)圖案的最大徑對(duì)于X軸或Y軸傾斜時(shí)，要得到這個(gè)最大徑是困難的。又，考慮到孔圖案形狀的歪斜，也用從邊界點(diǎn)圍繞的面積和最小二乘圓算出近似直徑的方法，但是只從這些平均的測(cè)量值不可能把握復(fù)雜的圖案形狀。
本發(fā)明就是鑒于上述問題提出的，本發(fā)明的目的是提供不僅能夠克服上述已有技術(shù)問題，而且進(jìn)一步具有許多附加價(jià)值的圖案評(píng)價(jià)裝置，圖案評(píng)價(jià)方法和可以計(jì)算機(jī)讀取的記錄媒體。
本發(fā)明的目的就是用以下裝置解決上述課題。
即，如果根據(jù)本發(fā)明的第1實(shí)施樣態(tài)，則提供備有接受供給的作為評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案的圖象數(shù)據(jù)，處理上述圖象數(shù)據(jù)，檢測(cè)在上述圖象中的上述圖案的邊界點(diǎn)座標(biāo)的邊界點(diǎn)檢測(cè)過程，在上述邊界點(diǎn)中組合邊界點(diǎn)對(duì)的結(jié)對(duì)過程，算出構(gòu)成上述邊界點(diǎn)對(duì)的上述邊界點(diǎn)之間的距離，和連接上述邊界點(diǎn)之間的直線與任意軸線之間的角度的計(jì)算過程，制作上述邊界點(diǎn)對(duì)的上述距離和上述角度的分布圖的距離角度分布圖制作過程，提取上述分布圖的特征點(diǎn)的特征點(diǎn)提取過程，和根據(jù)提取的上述特征點(diǎn)解析上述圖案的解析過程的圖案評(píng)價(jià)方法。
如果根據(jù)本發(fā)明的第1實(shí)施樣態(tài)，則因?yàn)橹谱魃鲜鲞吔琰c(diǎn)的上述距離和上述角度的分布圖，根據(jù)這個(gè)分布圖提取上述特征點(diǎn)，所以能夠同時(shí)并且高速地進(jìn)行種種圖案測(cè)量。在圖案測(cè)量中，例如包含下列項(xiàng)目。
1)在直線圖案中直線寬度的最大值，最小值和平均值，以及在孔圖案中探查孔徑的最大值，最小值和近似圓徑2)圖案傾斜角度(孔圖案時(shí)，定義為最大探查孔徑的角度)3)圖案的粗糙度4)在傾斜的圖案上的上述測(cè)量值及其傾斜角度5)影射在任意方向上的圖案中的上述測(cè)量值6)當(dāng)同時(shí)影射多個(gè)圖案時(shí)上述測(cè)量值的平均值上述結(jié)對(duì)過程既可以在全部檢測(cè)出的邊界點(diǎn)中組合上述邊界點(diǎn)對(duì)，也可以在一部分檢測(cè)出的邊界點(diǎn)中組合上述邊界點(diǎn)對(duì)。
又，上述結(jié)對(duì)過程也可以是當(dāng)上述圖案為直線圖案時(shí)，在屬于位在上述圖象一側(cè)的圖案邊界的邊界點(diǎn)，和屬于位在上述圖象另一側(cè)的圖案邊界的邊界點(diǎn)之間進(jìn)行結(jié)對(duì)，當(dāng)上述圖案為封閉曲線圖案時(shí)，選擇上述圖案的任意分割線，用這條分割線將上述圖案分割成二部分，在屬于位在上述圖象一側(cè)的上述圖案邊界的邊界點(diǎn)和屬于位在上述圖象另一側(cè)的圖案邊界的邊界點(diǎn)之間進(jìn)行結(jié)對(duì)的過程。這時(shí)，除了能夠用單一的算法對(duì)種種評(píng)價(jià)對(duì)象進(jìn)行評(píng)價(jià)外，還能夠用必需的最小限度的邊界點(diǎn)對(duì)制作上述分布圖。結(jié)果，可以用更高的速度進(jìn)行圖象評(píng)價(jià)。
在上述封閉曲線圖案中，典型地包含孔圖案，又，在上述分割線中至少包含通過上述封閉曲線圖案的重心與上述軸線垂直的線和上述封閉曲線的主軸中的任何一個(gè)。
上述特征點(diǎn)提取過程最好通過對(duì)上述分布圖進(jìn)行圖象處理提取上述特征點(diǎn)。
因此，除了能夠高速地提取上述特征點(diǎn)外，也能夠減少由損害取得邊界點(diǎn)等引起的測(cè)量誤差的影響。上述圖象處理至少包含二值化處理，中位數(shù)處理，噪聲過濾中的一個(gè)。
又，我們希望上述圖案評(píng)價(jià)方法進(jìn)一步備有將與存儲(chǔ)上述圖象數(shù)據(jù)的第1存儲(chǔ)區(qū)域和與其不同的第2存儲(chǔ)區(qū)域?qū)?yīng)的存儲(chǔ)地址附加在上述分布圖的數(shù)據(jù)上的存儲(chǔ)控制過程。
因此，能夠高速地制作上述分布圖。又，在上述特征點(diǎn)提取過程中，能夠用已有的圖象處理算法高速地提取上述分布圖的特征點(diǎn)。
上述存儲(chǔ)控制過程最好根據(jù)上述距離和上述角度，向每個(gè)上述邊界點(diǎn)對(duì)，按比例分配假想的子圖象元素，將上述分布圖的數(shù)據(jù)作為多位的圖象數(shù)據(jù)附加上述存儲(chǔ)地址。
因此，能夠提高圖象測(cè)量的精度。
又，上述特征點(diǎn)提取過程最好包含在上述分布圖的數(shù)據(jù)或上述分布圖的上述特征點(diǎn)近旁的數(shù)據(jù)上附加表示濃淡的灰度等級(jí)值的過程。
這樣，通過在上述分布圖全體或上述分布圖的特征點(diǎn)近旁區(qū)域上設(shè)置濃淡差，能夠容易地取得與圖案的粗糙度對(duì)應(yīng)的信息。
又，我們希望上述存儲(chǔ)控制過程包含根據(jù)上述邊界點(diǎn)對(duì)的位置信息在上述分布圖上附加可以進(jìn)行到上述圖象數(shù)據(jù)的逆變換的復(fù)原用信息的過程。
因此，能夠?qū)⒃谏鲜龇植紙D上進(jìn)行了圖象處理的結(jié)果作為實(shí)平面上的圖案輸出。作為上述復(fù)原用信息，例如是構(gòu)成各邊界點(diǎn)對(duì)的各邊界座標(biāo)的中點(diǎn)的座標(biāo)。
當(dāng)上述圖案至少包含1個(gè)形成理想形狀的理想圖案時(shí)，上述特征點(diǎn)提取過程提取作為從上述理想圖案得到的上述分布圖的特征點(diǎn)的理想特征點(diǎn)，和從作為上述評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案得到的上述分布圖的特征點(diǎn)，并進(jìn)一步包含輸出從作為上述評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案得到的特征點(diǎn)與上述理想特征點(diǎn)的差異的過程是適宜的。
因此，因?yàn)槟軌蛲ㄟ^將從上述理想圖案得到的上述分布圖作為基準(zhǔn)，比較作為評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案，所以能夠進(jìn)行在上述評(píng)價(jià)對(duì)象圖案的形狀中的規(guī)格檢查。
又，當(dāng)上述圖案是多個(gè)圖案時(shí)，最好上述距離角度分布圖制作過程是制作將上述每個(gè)圖案的上述分布圖合成起來的第1合成分布圖的過程，上述特征點(diǎn)提取過程是從上述第1合成分布圖的一部分區(qū)域提取上述每個(gè)圖案的上述特征點(diǎn)和表示上述圖案之間的相對(duì)位置關(guān)系的上述特征點(diǎn)的過程。
因此，即便是由多個(gè)圖案構(gòu)成的確復(fù)雜的圖案，也能夠高速地一個(gè)一個(gè)地評(píng)價(jià)作為構(gòu)成要素的各圖案，和評(píng)價(jià)作為構(gòu)成要素的圖案之間的位置關(guān)系。
又，當(dāng)上述圖象數(shù)據(jù)包含多個(gè)圖案的圖象數(shù)據(jù)時(shí)，上述結(jié)對(duì)過程最好包含在各圖案中設(shè)定禁止對(duì)應(yīng)的圖案邊界之間以外的結(jié)對(duì)的禁止規(guī)則的過程。
因此，即便當(dāng)同時(shí)測(cè)量多個(gè)圖案時(shí)，也能夠只取出測(cè)量所需的信息。因?yàn)槟軌驅(qū)碜圆恍枰倪吔琰c(diǎn)的信息作為噪聲除去，所以能夠通過單純的處理正確并且高速地提取上述分布圖的特征點(diǎn)。又，即便當(dāng)在評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案所在的區(qū)域中存在著評(píng)價(jià)對(duì)象以外的圖案時(shí)，也能夠通過從上述分布圖除去不需要的圖案，只得到作為評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案的測(cè)量值。結(jié)果，不需要在測(cè)量前嚴(yán)格地指定測(cè)量區(qū)域。
又，當(dāng)上述圖象數(shù)據(jù)包含多個(gè)圖案的圖象數(shù)據(jù)時(shí)，與此相反，上述結(jié)對(duì)過程也可以在各圖案中進(jìn)行對(duì)應(yīng)的圖案邊界之間以外的結(jié)對(duì)。
因此，當(dāng)同時(shí)測(cè)量多個(gè)圖案時(shí)，能夠在上述分布圖的形態(tài)中將評(píng)價(jià)對(duì)象外的圖案信息，或橫跨在各各構(gòu)成圖案之間的信息分別開來作為數(shù)據(jù)存儲(chǔ)起來。因此，可以進(jìn)行更多種類的測(cè)量。
又，上述距離角度分布圖制作過程對(duì)每個(gè)圖案制作上述分布圖，在得到的上述分布圖中進(jìn)行圖象計(jì)算處理，制作第2合成分布圖，上述特征點(diǎn)提取過程是從上述第2合成分布圖提取上述特征點(diǎn)使上述分布圖合成的上述圖案的形狀的不同定量化的過程是適宜的。
因?yàn)樵谏鲜龇植紙D中進(jìn)行圖象計(jì)算處理，所以能夠容易地比較來自上述第2合成分布圖的上述圖案的形狀。在對(duì)上述形狀的不同進(jìn)行的定量化中，例如包含在取得由計(jì)算處理產(chǎn)生的圖案之間的平均形狀后，對(duì)各圖案從這個(gè)平均形狀的分散進(jìn)行的數(shù)值化。
又，代替它，也可以是上述距離角度分布圖制作過程對(duì)每個(gè)圖案制作上述分布圖，上述特征點(diǎn)提取過程從對(duì)每個(gè)圖案得到的上述分布圖提取上述特征點(diǎn)，對(duì)得到的上述特征點(diǎn)進(jìn)行計(jì)算處理，對(duì)這些特征點(diǎn)的不同進(jìn)行定量化的過程。
又，當(dāng)上述圖案包含封閉曲線圖案時(shí)，我們希望上述特征點(diǎn)提取過程設(shè)置上述分布圖的特征曲線，根據(jù)這條特征曲線提取上述特征點(diǎn)。
這樣，通過在分布圖中追加特征曲線，從由包含一部分或全部封閉曲線的圖案得到的上述分布圖，能夠高速并正確地提取上述特征點(diǎn)。在根據(jù)上述特征曲線提取的上述特征點(diǎn)中，例如包含從上述境界曲線的極值和上述境界區(qū)域上濃淡差的擴(kuò)大導(dǎo)出的粗糙值。
又，最好上述結(jié)對(duì)過程是選擇上述圖案的任意分割線和上述封閉曲線圖案內(nèi)的任意點(diǎn)，以上述任意點(diǎn)為中心使上述分割線旋轉(zhuǎn)任意角度，對(duì)于每個(gè)上述任意角度用上述分割線將上述圖案分割成二部分，在屬于位在上述圖象的上述一側(cè)的上述第1圖案邊界的邊界點(diǎn)和屬于位在上述圖象的上述另一側(cè)的第2圖案邊界的邊界點(diǎn)之間對(duì)于每個(gè)上述任意角度進(jìn)行結(jié)對(duì)的過程，上述距離角度分布圖制作過程對(duì)于每個(gè)上述任意角度制作上述分布圖。
因?yàn)閷?duì)于每個(gè)上述任意角度制作上述分布圖，所以通過比較對(duì)照制成的多個(gè)分布圖，能夠容易地取得關(guān)于上述圖案的輪廓形狀中的異常，特別是凹部的信息。
進(jìn)一步，最好當(dāng)上述圖案包含多個(gè)封閉曲線圖案時(shí)，上述距離角度分布圖制作過程對(duì)每個(gè)封閉曲線圖案制作上述分布圖，上述特征點(diǎn)提取過程對(duì)每個(gè)得到的各封閉曲線圖案的上述分布圖設(shè)置上述特征曲線，根據(jù)這條特征曲線對(duì)每個(gè)上述封閉曲線圖案提取上述特征點(diǎn)，對(duì)得到的多個(gè)上述特征點(diǎn)進(jìn)行計(jì)算處理，使上述多個(gè)封閉曲線圖案之間的不同定量化。
因此，能夠高速地取得關(guān)于上述封閉曲線圖案的平均形狀和上述封閉曲線圖案之間的類似度的信息。
又，我們希望當(dāng)上述圖案包含直線圖案時(shí)，上述特征點(diǎn)提取過程，當(dāng)取上述距離為x，取上述角度為y，取上述直線圖案的寬度為D時(shí)，在上述分布圖上設(shè)置由函數(shù)x＝D/cosy
表示的至少1條近似曲線，根據(jù)這條近似曲線提取上述特征點(diǎn)。
因此，從包含一部分或全部直線的圖案得到的上述分布圖能夠高速并正確地提取上述特征點(diǎn)。
進(jìn)一步，我們希望當(dāng)上述圖象數(shù)據(jù)是時(shí)間上變化的一系列圖象數(shù)據(jù)時(shí)，在上述圖案評(píng)價(jià)方法中，對(duì)構(gòu)成上述一系列圖象數(shù)據(jù)的圖象數(shù)據(jù)逐次實(shí)施上述結(jié)對(duì)過程，上述計(jì)算過程，上述距離角度分布圖制作過程和上述特征點(diǎn)提取過程，并且上述圖案評(píng)價(jià)方法進(jìn)一步備有實(shí)時(shí)輸出提取的上述特征點(diǎn)的變化的輸出過程。
因此，能夠取得關(guān)于時(shí)間上變動(dòng)的圖案的形狀信息。作為時(shí)間上變動(dòng)的圖案，例如是在SEM裝置中連續(xù)的列調(diào)整和在電子束曝光裝置中由CP孔徑產(chǎn)生的電子束形狀的連續(xù)的調(diào)整等引起的動(dòng)畫圖案。
又，如果根據(jù)本發(fā)明的第2實(shí)施樣態(tài)，則提供備有接受供給的作為評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案的圖象數(shù)據(jù)，處理上述圖象數(shù)據(jù)，檢測(cè)在上述圖象中的上述圖案的邊界點(diǎn)座標(biāo)的邊界點(diǎn)檢測(cè)裝置，在上述邊界點(diǎn)中組合邊界點(diǎn)對(duì)的結(jié)對(duì)裝置，算出構(gòu)成上述邊界點(diǎn)對(duì)的邊界點(diǎn)之間的距離，和連接上述邊界點(diǎn)之間的直線與任意軸線之間的角度的計(jì)算裝置，制作上述邊界點(diǎn)對(duì)的上述距離和上述角度的分布圖的距離角度分布圖制作裝置，提取上述分布圖的特征點(diǎn)的特征點(diǎn)提取裝置，和根據(jù)提取的上述特征點(diǎn)解析上述圖案的解析裝置的圖案評(píng)價(jià)裝置。
如果根據(jù)本發(fā)明的第2實(shí)施樣態(tài)，則因?yàn)閭溆兄谱魃鲜鲞吔琰c(diǎn)的上述距離和上述角度的分布圖的距離角度分布圖制作裝置，通過處理這個(gè)分布圖提取上述特征點(diǎn)的特征點(diǎn)提取裝置，所以可以提供能夠同時(shí)并高速地進(jìn)行種種圖案測(cè)量的圖案評(píng)價(jià)裝置。
在上述圖案評(píng)價(jià)裝置的一個(gè)實(shí)施樣態(tài)中，上述結(jié)對(duì)裝置當(dāng)上述圖案為直線圖案時(shí)，在屬于位在上述圖象一側(cè)的圖案邊界的邊界點(diǎn)，和屬于位在上述圖象另一側(cè)的圖案邊界的邊界點(diǎn)之間進(jìn)行結(jié)對(duì)，當(dāng)上述圖案為封閉曲線圖案時(shí)，選擇上述圖案的任意分割線，用這條分割線將上述圖案分割成二部分，在屬于位在上述圖象一側(cè)的上述圖案邊界的邊界點(diǎn)和屬于位在上述圖象另一側(cè)的圖案邊界的邊界點(diǎn)之間進(jìn)行結(jié)對(duì)。
又，上述圖案評(píng)價(jià)裝置進(jìn)一步備有包含存儲(chǔ)上述圖象數(shù)據(jù)的第1存儲(chǔ)區(qū)域和存儲(chǔ)上述分布圖的數(shù)據(jù)的第2存儲(chǔ)區(qū)域的存儲(chǔ)裝置是適宜的。
我們希望上述圖案評(píng)價(jià)裝置進(jìn)一步備有根據(jù)上述距離和上述角度，向每個(gè)上述邊界點(diǎn)對(duì)，按比例分配假想的子圖象元素，將上述分布圖的數(shù)據(jù)作為多位的圖象數(shù)據(jù)在上述分布圖的數(shù)據(jù)上附加存儲(chǔ)地址的存儲(chǔ)控制過程。
又，上述存儲(chǔ)控制過程最好根據(jù)上述邊界點(diǎn)對(duì)的位置信息在上述分布圖上附加可以進(jìn)行到上述圖象數(shù)據(jù)的逆變換的復(fù)原用信息。
又，上述特征點(diǎn)提取過程在上述分布圖的數(shù)據(jù)或上述分布圖的上述特征點(diǎn)近旁的數(shù)據(jù)上附加并輸出表示濃淡的灰度等級(jí)值是適宜的。
又，如果根據(jù)本發(fā)明的第3實(shí)施樣態(tài)，則提供記錄在計(jì)算機(jī)中實(shí)施備有接受供給的作為評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案的圖象數(shù)據(jù)，處理上述圖象數(shù)據(jù)，從上述圖象檢測(cè)上述圖案的邊界點(diǎn)座標(biāo)的邊界點(diǎn)檢測(cè)程序，在上述邊界點(diǎn)中組合邊界點(diǎn)對(duì)的結(jié)對(duì)程序，算出構(gòu)成上述邊界點(diǎn)對(duì)的上述邊界點(diǎn)之間的距離，和連接上述邊界點(diǎn)之間的直線與任意軸線之間的角度的計(jì)算程序，制作上述邊界點(diǎn)對(duì)的上述距離和上述角度的分布圖的距離角度分布圖制作程序，提取上述分布圖的特征點(diǎn)的特征點(diǎn)提取程序，和根據(jù)提取的上述特征點(diǎn)解析上述圖案的解析程序的圖案評(píng)價(jià)方法的程序的可以計(jì)算機(jī)讀取的記錄媒體。
如果根據(jù)本發(fā)明的第3實(shí)施樣態(tài)，則因?yàn)橛涗浽谟?jì)算機(jī)中實(shí)施備有制作上述邊界點(diǎn)的上述距離和上述角度的分布圖的距離角度分布圖制作程序，通過處理這個(gè)分布圖提取上述特征點(diǎn)的特征點(diǎn)提取程序的上述圖案評(píng)價(jià)方法的程序，所以可以提供能夠用廣泛使用的計(jì)算機(jī)同時(shí)并高速地進(jìn)行種種圖案測(cè)量的記錄媒體。
在存儲(chǔ)在上述記錄媒體中的上述程序的上述圖案評(píng)價(jià)方法中，上述結(jié)對(duì)程序既可以是在全部檢測(cè)出的邊界點(diǎn)中組合上述邊界點(diǎn)對(duì)的程序，也可以是在一部分檢測(cè)出的邊界點(diǎn)中組合上述邊界點(diǎn)對(duì)的程序。
又，上述結(jié)對(duì)程序也可以當(dāng)上述圖案為直線圖案時(shí)，在屬于位在上述圖象一側(cè)的圖案邊界的邊界點(diǎn)，和屬于位在上述圖象另一側(cè)的圖案邊界的邊界點(diǎn)之間進(jìn)行結(jié)對(duì)，當(dāng)上述圖案為封閉曲線圖案時(shí)，選擇上述圖案的任意分割線，用這條分割線將上述圖案分割成二部分，在屬于位在上述圖象一側(cè)的上述圖案邊界的邊界點(diǎn)和屬于位在上述圖象另一側(cè)的圖案邊界的邊界點(diǎn)之間進(jìn)行結(jié)對(duì)。
又，上述圖案評(píng)價(jià)方法最好進(jìn)一步備有將與存儲(chǔ)上述圖象數(shù)據(jù)的第1存儲(chǔ)區(qū)域和與其不同的第2存儲(chǔ)區(qū)域?qū)?yīng)的存儲(chǔ)地址附加在上述分布圖的數(shù)據(jù)上的存儲(chǔ)控制程序。
又，我們希望在上述記錄媒體中記錄的程序中的上述圖案評(píng)價(jià)方法進(jìn)一步備有根據(jù)上述距離和上述角度，向每個(gè)上述邊界點(diǎn)對(duì)，按比例分配假想的子圖象元素，將上述分布圖的數(shù)據(jù)作為多位的圖象數(shù)據(jù)，將存儲(chǔ)地址附加到上述分布圖的數(shù)據(jù)上的存儲(chǔ)控制程序。
又，最好上述存儲(chǔ)控制程序根據(jù)上述邊界點(diǎn)對(duì)的位置信息在上述分布圖上附加可以進(jìn)行到上述圖象數(shù)據(jù)的逆變換的復(fù)原用信息。
又，上述特征點(diǎn)提取程序在上述分布圖的數(shù)據(jù)或上述分布圖的上述特征點(diǎn)近旁的數(shù)據(jù)上附加并輸出表示濃淡的灰度等級(jí)值是適宜的。
如以上詳細(xì)述說的那樣，本發(fā)明能產(chǎn)生下列效果。
即，如果根據(jù)本發(fā)明，則可以提供除了能夠同時(shí)并高速·高精度地實(shí)施種種圖案評(píng)價(jià)外，還能夠給予高附加價(jià)值的圖案評(píng)價(jià)方法和圖案評(píng)價(jià)裝置。
又，如果根據(jù)本發(fā)明，則可以提供能夠用廣泛使用的計(jì)算機(jī)實(shí)施產(chǎn)生上述效果的圖案評(píng)價(jià)方法的記錄媒體。


圖1是表示與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)裝置的一個(gè)實(shí)施形態(tài)的方框圖。
圖2是表示與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的第1實(shí)施形態(tài)的概略程序的方框圖。
圖3是表示用圖2所示的圖案評(píng)價(jià)方法從直線圖案得到的檢測(cè)出的邊界點(diǎn)的模式圖。
圖4表示用圖2所示的圖案評(píng)價(jià)方法從圖3所示的直線圖案得到的DAD圖的一個(gè)例子。
圖5表示由于加工誤差在測(cè)量區(qū)域中產(chǎn)生線寬不同的直線圖案的SEM圖象的一個(gè)例子。
圖6表示對(duì)于圖5所示的直線圖案用圖2所示的程序制作的DAD圖的一個(gè)例子。
圖7是表示對(duì)于基準(zhǔn)軸傾斜在SEM圖象上取得的直線圖案的一個(gè)例子的圖。
圖8是表示對(duì)于圖7所示的傾斜圖案制作的DAD圖的一個(gè)例子的圖。
圖9表示在測(cè)量區(qū)域內(nèi)混合存在線寬相互不同的多個(gè)直線圖案的例子。
圖10是根據(jù)與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的第4實(shí)施形態(tài)設(shè)定禁止規(guī)則從圖9所示的多個(gè)直線圖案取得的DAD圖的一個(gè)例子。
圖11是表示真圓形狀的孔圖案的一個(gè)例子的圖。
圖12是根據(jù)與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的第5實(shí)施形態(tài)從圖11所示的孔圖案取得的DAD圖的一個(gè)例子。
圖13是表示橢圓圖案的一個(gè)例子的圖。
圖14是從圖13所示的橢圓圖案得到的DAD圖的一個(gè)例子。
圖15是表示在半導(dǎo)體刻蝕工序中伴隨著由于加工誤差引起的歪斜和粗糙度形成的孔圖案的一個(gè)例子的圖。
圖16是從圖15所示的孔圖案得到的DAD圖的一個(gè)例子。
圖17是在DAD圖上顯示與孔圖案的直徑有關(guān)的規(guī)格的圖。
圖18是表示折成彎曲型的直線圖案的SEM圖象的一個(gè)例子的圖。
圖19是從圖18所示的折成彎曲型的直線圖案得到的DAD圖。
圖20是表示從圖19所示的DAD圖解析直線圖案信息的方法的圖。
圖21是表示位于用圖20所示的解析方法導(dǎo)出的圖16的直線圖案的周邊上的其它直線圖案的測(cè)量信息的圖。
圖22是表示輪廓成為凹曲線的圖案的一個(gè)例子的SEM圖象的圖。
圖23是關(guān)于圖22所示的圖案，分割線相對(duì)圖22的X軸取0度方向制作的DAD圖。
圖24是關(guān)于圖22所示的圖案，分割線相對(duì)圖22的X軸取90度方向制作的DAD圖。
圖25是從2個(gè)孔圖案得到的SEM圖象的一個(gè)例子。
圖26是圖25所示的2個(gè)孔圖案的DAD圖。
圖27是表示對(duì)于圖26(a)，(b)的DAD圖分別進(jìn)行加法處理的結(jié)果和進(jìn)行減法處理的結(jié)果的圖。
圖28是說明與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的第13實(shí)施形態(tài)的DAD圖。
圖29是說明與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的第14實(shí)施形態(tài)的方框圖。
具體實(shí)施例方式
下面，我們一面參照附圖一面說明本發(fā)明的幾個(gè)實(shí)施形態(tài)。我們?cè)谙旅娴膶?shí)施形態(tài)中說明評(píng)價(jià)半導(dǎo)體的微細(xì)圖案的情形，但是本發(fā)明不限定這個(gè)情形，作為圖案評(píng)價(jià)的新方法能夠適用于種種工業(yè)領(lǐng)域。
(A)圖案評(píng)價(jià)裝置的一個(gè)實(shí)施形態(tài)圖1是表示與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)裝置的一個(gè)實(shí)施形態(tài)的方框圖。圖1所示的圖案評(píng)價(jià)裝置2備有工作臺(tái)12，圖象處理裝置14，存儲(chǔ)器16和輸出裝置18。
存儲(chǔ)器16存儲(chǔ)本發(fā)明的圖案評(píng)價(jià)方法的算法寫入的工藝制法文件。工作臺(tái)12從存儲(chǔ)器16讀出工藝制法文件，按照這個(gè)工藝制法文件對(duì)整個(gè)裝置進(jìn)行控制，并且從后面所述距離角度分布圖(以下稱為DAD圖)提取與測(cè)量目的相應(yīng)的特征點(diǎn)等的信息。輸出裝置18用顯示器等顯示從圖象處理裝置通過工作臺(tái)12供給的DAD圖和由工作臺(tái)12提取的上述特征點(diǎn)。此外，在本實(shí)施形態(tài)中由輸出裝置18顯示DAD圖等，但是沒有必要特別地顯示DAD圖等，也可以停止在只將這些信息存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器16中。
圖象處理裝置14包含CPU22，圖象處理部分24，圖象存儲(chǔ)器控制部分26和圖象存儲(chǔ)器28。
圖象處理部分24接受從圖中未畫出CDSEM供給的SEM圖象數(shù)據(jù)進(jìn)行后面所述的圖象處理。圖象存儲(chǔ)器28具有多個(gè)存儲(chǔ)區(qū)域，通過圖象存儲(chǔ)器控制部分26的控制，將SEM圖象數(shù)據(jù)和DAD圖的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在不同的存儲(chǔ)區(qū)域中。
在本實(shí)施形態(tài)中圖象處理部分24由邊界點(diǎn)檢測(cè)裝置，結(jié)對(duì)裝置，計(jì)算裝置和距離角度分布圖制作裝置構(gòu)成，工作臺(tái)12由特征點(diǎn)提取裝置和解析裝置構(gòu)成。
我們一面參照附圖一面作為與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的實(shí)施形態(tài)，說明圖1所示的圖案評(píng)價(jià)裝置2的工作。
(B)圖案評(píng)價(jià)方法的實(shí)施形態(tài)下面，我們說明與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的幾個(gè)實(shí)施形態(tài)。在從第1到第4和第9實(shí)施形態(tài)中我們舉出直線圖案這個(gè)具體例子作為評(píng)價(jià)對(duì)象進(jìn)行說明，又，在從第5到第8，第11，第12和第13實(shí)施形態(tài)中我們?nèi)〕隹讏D案作為評(píng)價(jià)對(duì)象進(jìn)行說明。
(1)第1實(shí)施形態(tài)首先，我們參照?qǐng)D2到圖4說明與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的第1實(shí)施形態(tài)。
圖2是說明本實(shí)施形態(tài)的概略程序的程序操作圖，圖3是表示通過圖象處理直線圖案的SEM圖象得到的邊界點(diǎn)對(duì)的模式圖，進(jìn)一步，圖4表示本實(shí)施形態(tài)中特征的DAD圖的一個(gè)例子。
如圖2所示，首先，從圖中未畫出的SEM裝置取得作為評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案的圖象數(shù)據(jù)(步驟S1)。
其次，圖象處理部分24從取得的圖象數(shù)據(jù)認(rèn)識(shí)邊界，用已知的方法檢測(cè)出構(gòu)成邊界的邊界點(diǎn)座標(biāo)(步驟S2)。在圖3的模式圖中，顯示出用某種算法檢測(cè)出邊界的理想形狀的直線圖案LP1。如上所述，在已有的計(jì)算方法中，沿圖3的X軸方向找尋邊界對(duì)，求這些邊界對(duì)之間的距離的平均。在本實(shí)施形態(tài)中，圖象處理部分24取構(gòu)成直線右側(cè)邊界的點(diǎn)和構(gòu)成直線左側(cè)邊界的點(diǎn)的全部組合(步驟S3)，算出在各組合中右側(cè)邊界與左側(cè)邊界之間的距離，和連接這些邊界之間的直線對(duì)于X軸的角度(步驟S4)，顯示出距離角度分布圖(即，DAD圖)(步驟S5)。圖4表示圖3所示的直線圖案的DAD圖。圖4中，X軸表示邊界點(diǎn)之間的距離，又，Y軸表示將邊界點(diǎn)結(jié)對(duì)起來的直線對(duì)于X軸方向的角度。用圖象元素?cái)?shù)表示邊界點(diǎn)之間的距離。這一點(diǎn)在下面所示的實(shí)施形態(tài)中是共同的。但是，在通常的測(cè)量中，在這個(gè)圖象元素?cái)?shù)值上乘以校準(zhǔn)常數(shù)，變換到長度單位進(jìn)行輸出。因?yàn)閳D4是圖3所示的理想直線圖案的DAD圖，所以圖4的曲線，數(shù)學(xué)上令線寬為D時(shí)，成為x＝D/cosy這樣的函數(shù)。這個(gè)函數(shù)的極值EV1的座標(biāo)為(D，0)。如果根據(jù)本實(shí)施形態(tài)，如果作為理想的直線圖案它的中心線與Y軸平行那樣地取得SEM圖象，則能夠從DAD圖的X軸的切片容易地求得這個(gè)直線圖案的線寬。
在本實(shí)施形態(tài)中上述極值是適合于測(cè)量目的的特征點(diǎn)，通過工作臺(tái)12從DAD圖制作上述近似曲線提取這個(gè)值(步驟S6)。
最后，根據(jù)提取的特征點(diǎn)對(duì)評(píng)價(jià)圖案進(jìn)行解析(步驟S7)。如果根據(jù)本實(shí)施形態(tài)，則對(duì)具有線寬D的理想的直線圖案進(jìn)行解析。
(2)第2實(shí)施形態(tài)其次，我們說明與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的第2實(shí)施形態(tài)。
例如，即便在設(shè)計(jì)上具有恒定線寬，實(shí)際上在經(jīng)過加工的半導(dǎo)體的直線圖案中，如圖5所示的直線圖案LP2那樣，由于加工誤差在測(cè)量區(qū)域中存在不同的線寬。本實(shí)施形態(tài)的特征是對(duì)于具有這種線寬零散的圖案也能夠適當(dāng)?shù)靥崛√卣鼽c(diǎn)。
圖6表示對(duì)于圖5的直線圖案LP2用圖2所示的程序制作DAD圖的一個(gè)例子。圖6所示的DAD圖顯示出具有面積的分布。如從圖6可見，直線圖案LP2的最小寬度和最大寬度能夠分別從圖中X軸上的分布點(diǎn)中為最小值的點(diǎn)EV2和為最大值的點(diǎn)EV3的座標(biāo)求得。DAD圖上的這些特征點(diǎn)的提取既可以從x＝D/cosy這種函數(shù)的近似曲線求得，也可以在DAD圖上用各種圖象處理提取。這時(shí)，可以將DAD圖存儲(chǔ)在圖象存儲(chǔ)器28內(nèi)并進(jìn)行高速的計(jì)算處理或圖象處理。
(3)第3實(shí)施形態(tài)其次，我們說明與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的第3實(shí)施形態(tài)。
圖7表示在加工工序中傾斜地形成的或在SEM圖象取得過程中對(duì)于X軸或Y軸等的基準(zhǔn)軸傾斜取得的直線圖案LP3。圖8是對(duì)于這種傾斜圖案制作的DAD圖的一個(gè)例子。能夠從DAD圖內(nèi)的最小點(diǎn)EV4的座標(biāo)求得直線圖案LP3的線寬和旋轉(zhuǎn)角度。在本實(shí)施形態(tài)的情形中，可以看到LP3的旋轉(zhuǎn)角約為46度。
這樣，如果根據(jù)本實(shí)施形態(tài)，則即便在由于制造直線的能力等的原因不能制造出具有恒定角度的直線的情形中，也能夠通過不進(jìn)行調(diào)整等的前期處理，原封不動(dòng)地進(jìn)行測(cè)量，測(cè)定真的線寬和旋轉(zhuǎn)角度。
(4)第4實(shí)施形態(tài)其次，我們說明與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的第4實(shí)施形態(tài)。
本實(shí)施形態(tài)的特征是能夠同時(shí)并高速地測(cè)量多個(gè)直線圖案。圖9表示在測(cè)量區(qū)域內(nèi)混有線寬相互不同的多個(gè)直線圖案LP4～LP6，并且在整個(gè)測(cè)量區(qū)域內(nèi)檢測(cè)這些邊界點(diǎn)的情形。在這種情形中，當(dāng)形成所有的邊界點(diǎn)對(duì)時(shí)，在DAD圖上混合地存在著直線和空間的信息。因此，在本實(shí)施形態(tài)中，提供設(shè)定禁止形成直線右側(cè)邊界點(diǎn)或直線左側(cè)邊界點(diǎn)的對(duì)的禁止規(guī)則，提供給圖象處理部分24。作為禁止規(guī)則，也可以進(jìn)一步禁止形成跨直線的對(duì)。在實(shí)際測(cè)量前預(yù)先實(shí)施形成這些邊界點(diǎn)對(duì)的禁止規(guī)則處理，在測(cè)量時(shí)能夠選擇禁止條件，并能夠與各種測(cè)量目的相應(yīng)。圖10表示設(shè)定上述禁止規(guī)則時(shí)的DAD圖。如圖10所示，即便對(duì)于多條直線，也與測(cè)量一條直線的情形相同，能夠同時(shí)取得各直線圖案的最大值，最小值和最小線寬。
(5)第5實(shí)施形態(tài)其次，我們說明與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的第5實(shí)施形態(tài)。
本實(shí)施形態(tài)是評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案是孔圖案時(shí)的評(píng)價(jià)方法。在孔圖案情形中，因?yàn)榕c直線圖案不同，不能區(qū)別邊界點(diǎn)是右側(cè)還是左側(cè)，所以對(duì)所有的邊界點(diǎn)對(duì)制作DAD圖。但是，在本實(shí)施形態(tài)中為了節(jié)省計(jì)算時(shí)間，如圖11所示，使得到的邊界點(diǎn)被通過它們的圖案重心的垂直線VL1分割成2組。在下面的說明中，將這條垂直線稱為邊界分割線。在本實(shí)施形態(tài)中，從圖案重心的X成分導(dǎo)出邊界分割線，但是也可以用其它適當(dāng)?shù)牧?，例如與圖案主軸一致的直線定義邊界分割線。通過這樣做，不僅使計(jì)算時(shí)間縮短一半，而且如后面所述，也能夠檢測(cè)圖案的凹部分的信息。圖11所示的孔圖案HP1是直徑為D的真圓，這時(shí)作成的DAD圖如圖12所示。能夠從X座標(biāo)的最大值D求得孔圖案HP1的直徑Dc。
(6)第6實(shí)施形態(tài)其次，我們說明與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的第6實(shí)施形態(tài)。
本實(shí)施形態(tài)的特征是當(dāng)評(píng)價(jià)對(duì)象圖案是橢圓圖案時(shí)能夠確實(shí)地提取特征點(diǎn)。
圖13表示橢圓圖案的一個(gè)例子。又，圖14表示從這種橢圓圖案HP2得到的DAD圖的一個(gè)例子。圖14中的特征點(diǎn)EV9和EV10分別表示橢圓的長軸和短軸的距離和角度。一般地，將這些值分別看作孔圖案的最大和最小的探查孔徑。在本實(shí)施形態(tài)中對(duì)存儲(chǔ)在圖象存儲(chǔ)器28中的DAD圖由圖象處理部分24平滑處理后再進(jìn)行二值化處理，通過中位值(Median)處理除去DAD圖上的孤立點(diǎn)，最后求得EV9和EV10。如果根據(jù)本實(shí)施形態(tài)，即便當(dāng)通過這樣的圖象處理由于邊界檢測(cè)誤差發(fā)生疑似邊界點(diǎn)時(shí)，也能夠消除它的影響進(jìn)行正確的測(cè)量。
(7)第7實(shí)施形態(tài)其次，我們說明與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的第7實(shí)施形態(tài)。
圖15表示在半導(dǎo)體制造中由刻蝕工序形成的孔圖案的一個(gè)例子。在圖15所示的孔圖案HP3中，由于種種加工誤差的影響發(fā)生歪斜和沿周圍的粗糙度。圖16表示對(duì)于圖15所示的孔圖案HP3制作的DAD圖的一個(gè)例子。圖16中，圖案歪斜和粗糙部分的信息都集中在分布右側(cè)的境界線(以后稱為右側(cè)境界線)上。能夠通過用傅氏分解等的通常方法進(jìn)行解析求得這個(gè)右側(cè)的境界線。進(jìn)一步，通過用與Y軸平行的直線近似右側(cè)境界線，能夠取得某種近似圓。又，在DAD圖中的各分布點(diǎn)上，附加了強(qiáng)度值。所以，代替用上述境界線作為特征曲線的方法，既可以用由近似分布極大值的點(diǎn)連成的曲線，也可以用由近似強(qiáng)度在某個(gè)恒定值以上的點(diǎn)連成的曲線。這一點(diǎn)在后面所述的第8，9，13和14實(shí)施形態(tài)中也是相同的。
(8)第8實(shí)施形態(tài)其次，我們說明與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的第8實(shí)施形態(tài)。
本實(shí)施形態(tài)的特征是用DAD圖進(jìn)行評(píng)價(jià)對(duì)象圖案的規(guī)格檢查。例如，當(dāng)測(cè)量對(duì)象是孔圖案，在這個(gè)孔圖案中存在LSL(Lower SpecLimit(Spec下限))或USL(Upper Spec Limit(Spec上限))或它們兩者時(shí)，這些規(guī)格在DAD圖上例如如圖17所示，由帶狀區(qū)域SB1表示。因此，通過計(jì)算右側(cè)境界線和這個(gè)帶狀區(qū)域SB1的包含關(guān)系能夠瞬時(shí)地進(jìn)行規(guī)格檢查。此外，在本實(shí)施形態(tài)中，因?yàn)椴捎藐P(guān)于真圓的規(guī)格形成帶狀區(qū)域，但是通過從實(shí)際制品決定它，也能夠瞬時(shí)地進(jìn)行更復(fù)雜的規(guī)格檢查。
(9)第9實(shí)施形態(tài)其次，我們說明與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的第9實(shí)施形態(tài)。
本實(shí)施形態(tài)的特征是能夠正確地測(cè)量折成彎曲型的直線圖案。圖18表示這種彎曲型的直線圖案的具體例子。圖18所示的直線圖案LP7，LP8例如是由半導(dǎo)體制造工序形成的圖案，特別需要測(cè)量中間彎曲部分(如果它是中間彎曲的話)的尺寸。圖19是這個(gè)圖案LP7，LP8的DAD圖，中間彎曲部分的尺寸能夠從DAD圖的左側(cè)境界線的最小值測(cè)定。在本實(shí)施形態(tài)中計(jì)算出中間彎曲部分的距離為68個(gè)圖象元素。又，將圖19的DAD圖看作是由圖20所示的4個(gè)曲線部分A，B，C，D構(gòu)成的，通過用x＝D/cosy這樣的函數(shù)分別近似這些曲線，例如如圖21所示，也能夠測(cè)量位于圖18的直線LP7，LP8的周邊的其它直線圖案LP9～LP12的各種尺寸。例如，從圖20的近似曲線B，C能夠測(cè)定直線圖案LP10，LP11的中間彎曲部分以外的線寬。進(jìn)一步，從圖20的近似曲線D，也能夠測(cè)量由于直線圖案LP12具有中間彎曲部分作為全體占有的線寬。
(10)第10實(shí)施形態(tài)其次，我們說明與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的第10實(shí)施形態(tài)。
本實(shí)施形態(tài)的特征是當(dāng)孔圖案在周邊部分具有凹部時(shí)，取得這個(gè)凹部的信息。
圖22是表示輪廓成為凹曲線的圖案的一個(gè)例子的SEM圖象的圖。圖23表示關(guān)于這種孔圖案HP4，用于檢測(cè)邊界點(diǎn)的分割線相對(duì)圖22的X軸取0度方向制作的DAD圖，又，圖24表示分割線相對(duì)圖22的X軸取90度方向制作的DAD圖。
通過對(duì)比圖23和圖24可以看到，即便是同一個(gè)圖案，由于存在圖案凹部分的輪廓上的邊界點(diǎn)，與分割線傾斜相對(duì)應(yīng)DAD圖發(fā)生變化。在本實(shí)施形態(tài)中，以0度和90度這樣粗大的步子旋轉(zhuǎn)分割線，但是將步子細(xì)分成例如每10度，進(jìn)一步每1度一步，根據(jù)由這些分割線得到的分布圖，可以測(cè)量在圖案周邊在任意方向存在的凹部分的信息，又，這時(shí)，更好的是將分割線的角度取作Z軸在3維空間中表示分布圖，此后通過提取特征點(diǎn)測(cè)量圖案的凹部分的信息。
(11)第11實(shí)施形態(tài)其次，我們說明與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的第11實(shí)施形態(tài)。
本實(shí)施形態(tài)的特征是對(duì)從2個(gè)SEM圖象分別得到的2個(gè)DAD圖進(jìn)行計(jì)算處理。
圖25表示從2個(gè)孔圖案分別得到的SEM圖象的一個(gè)例子。在本實(shí)施形態(tài)中，這2個(gè)孔圖案HP5，HP6既可以存在于同一個(gè)圖象內(nèi)的各個(gè)地方，也可以存在于各個(gè)SEM圖象中。
圖26(a)和(b)分別表示這些圖案HP5，HP6的DAD圖。此外，將這些DAD圖獨(dú)立地存儲(chǔ)在圖1所示的圖案評(píng)價(jià)裝置2的圖象存儲(chǔ)器28中的各個(gè)不同的存儲(chǔ)區(qū)域內(nèi)。其次，用圖象處理部分24進(jìn)行這些DAD圖的圖象計(jì)算處理。圖27(a)和(b)表示對(duì)圖26(a)和(b)的DAD圖分別進(jìn)行加法處理的結(jié)果和進(jìn)行減法處理的結(jié)果。如果根據(jù)本實(shí)施形態(tài)，則根據(jù)圖27所示的計(jì)算結(jié)果，能夠?qū)?個(gè)孔圖案HP5，HP6的不同進(jìn)行定量化。在圖25中，2個(gè)孔圖案HP5，HP6是相互分離的，并且，表示處于長軸方向相互正交的位置，但是如上所述，這不僅是通過這樣地配置顯示分別取得的SEM圖象的結(jié)果，實(shí)際上也是例如在孔圖案HP5內(nèi)包含孔圖案HP6的情形。如圖27所示，通過對(duì)從這些SEM圖象得到的DAD圖進(jìn)行計(jì)算處理，也能夠明確知道它們的位置關(guān)系。此外，在本實(shí)施形態(tài)中，通過單純的圖象計(jì)算處理能夠求得圖案的不同點(diǎn)，但是除了對(duì)各個(gè)DAD圖進(jìn)行二值化外，也可以由工作臺(tái)12進(jìn)行例如兩者的AND或OR那樣的邏輯計(jì)算。又，當(dāng)取得DAD圖之間的差別時(shí)，作為計(jì)算結(jié)果的正負(fù)也表示例如顏色不同等，也可以在輸出裝置18中顯示出來。
(12)第12實(shí)施形態(tài)其次，我們說明與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的第12實(shí)施形態(tài)。
除了上述通常的DAD圖制作程序外，在形成邊界點(diǎn)對(duì)的程序中，求表示各邊界點(diǎn)對(duì)的實(shí)平面上的位置關(guān)系的信息，例如結(jié)成對(duì)的各邊界點(diǎn)的中點(diǎn)座標(biāo)，合并邊界點(diǎn)對(duì)的距離和角度的信息作為數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在圖象存儲(chǔ)器28(請(qǐng)參照?qǐng)D1)中。因此，通過用這個(gè)追加的位置信息，使由DAD圖上的點(diǎn)表示的邊界點(diǎn)對(duì)回到實(shí)平面，可以容易地恢復(fù)原來的圖案形狀。
(13)第13實(shí)施形態(tài)其次，我們說明與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的第13實(shí)施形態(tài)。
本實(shí)施形態(tài)的特征是將從2個(gè)圖案分別得到的DAD圖合成起來，根據(jù)合成的DAD圖提取各圖案的相對(duì)的特征點(diǎn)。
我們?cè)俅螌D25所示的2個(gè)孔圖案HP5，HP6作為例子來說明這一點(diǎn)。此外，如上所述，這些孔圖案既可以在同一個(gè)圖象內(nèi)的各個(gè)地方，也可以在各個(gè)不同的圖象內(nèi)。
孔圖案HP5，HP6的各個(gè)DAD圖如圖26所示，但是在本實(shí)施形態(tài)中，如圖28所示，首先，從這些DAD圖檢測(cè)各圖案的特征，例如各DAD圖的境界線SB5，SB6。其次，從這個(gè)結(jié)果求平均的境界線SBav.，從這個(gè)平均境界線SBav.得到的測(cè)量信息成為各個(gè)孔圖案HP5，HP6的某種平均的信息。又，通過以平均境界線SBav.為基準(zhǔn)，算出各圖案的境界線SB5，SB6的分散，能夠使在各個(gè)孔圖案HP5，HP6的形狀面上的偏差定量化。
(14)第14實(shí)施形態(tài)其次，我們說明與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法的第14實(shí)施形態(tài)。
本實(shí)施形態(tài)的特征是取得伴隨著一系列時(shí)間變化的SEM圖象的圖象數(shù)據(jù)，逐次制作DAD圖，對(duì)圖案的特征點(diǎn)中的變化進(jìn)行監(jiān)視。
圖29是說明本實(shí)施形態(tài)的圖案評(píng)價(jià)方法的方框圖。在圖29中，除了圖1所示的圖案評(píng)價(jià)裝置10以外，還顯示了電子束裝置70。電子束裝置70備有CDSEM 80，掃描變換器90和列電壓控制部分100。CDSEM 80包含向試料發(fā)射電子束的電子槍部分82，和通過控制這個(gè)電子束的軌道使電子束照射試料的電子光學(xué)系統(tǒng)84。電壓控制裝置100與圖案評(píng)價(jià)裝置10的工作臺(tái)12和CDSEM 80的電子光學(xué)系統(tǒng)84連接。
這里，例如當(dāng)將孔圖案用于CDSEM 80的電子光學(xué)系統(tǒng)84的列調(diào)整時(shí)，使路徑(日文スティグ)等的各種參數(shù)變動(dòng)和在通過掃描變換器90從檢測(cè)器86得到的SEM圖象中孔的形狀隨著電子束的象差而變化。用上述圖案評(píng)價(jià)方法，通過DAD圖能夠?qū)崟r(shí)地追蹤這個(gè)孔圖案形狀的時(shí)間變化。依靠圖案評(píng)價(jià)裝置10的工作臺(tái)12通過電壓控制裝置100將這個(gè)追蹤結(jié)果反饋到電子光學(xué)系統(tǒng)84的各種參數(shù)上，能夠容易地實(shí)施電子束的列調(diào)整。
例如，在試料表面形成的圖案是真圓時(shí)，最好使在DAD圖中的境界線成為直線(請(qǐng)參照?qǐng)D12)那樣地進(jìn)行列調(diào)整。以上的程序不限于CDSEM裝置，也能夠適用于例如在電子束曝光裝置中作為特征投影，即例如監(jiān)視圓形電子束的情形。
(C)記錄媒體也可以將上述圖案評(píng)價(jià)方法的一系列程序和電子束裝置的控制方法的一系列程序，作為在計(jì)算機(jī)中實(shí)施的程序存儲(chǔ)在軟磁盤和CD-ROM等的存儲(chǔ)媒體中，在計(jì)算機(jī)上實(shí)施讀入。因此，能夠用廣泛使用的計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)與本發(fā)明有關(guān)的圖案評(píng)價(jià)方法。記錄媒體不限定于磁盤和光盤等可以攜帶的記錄媒體，也可以是硬盤裝置和存儲(chǔ)器等固定型的記錄媒體。又，也可以通過因特網(wǎng)等通信電路(包含無線電通信)頒布編入上述圖案評(píng)價(jià)方法的一系列程序的程序。進(jìn)一步，也可以使編入上述圖案評(píng)價(jià)方法的一系列程序的程序代碼化，并加上調(diào)制，在壓縮狀態(tài)中，通過因特網(wǎng)等的有線電路和無線電路或存儲(chǔ)在記錄媒體中進(jìn)行頒布。
權(quán)利要求
1.圖案評(píng)價(jià)方法，它備有接受供給的作為評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案的圖象數(shù)據(jù)，處理上述圖象數(shù)據(jù)，檢測(cè)在上述圖象中的上述圖案的邊界點(diǎn)座標(biāo)的邊界點(diǎn)檢測(cè)過程，在上述邊界點(diǎn)中組合邊界點(diǎn)對(duì)的結(jié)對(duì)過程，算出構(gòu)成上述邊界點(diǎn)對(duì)的上述邊界點(diǎn)之間的距離，和連接上述邊界點(diǎn)之間的直線與任意軸線之間的角度的計(jì)算過程，制作上述邊界點(diǎn)對(duì)的上述距離和上述角度的分布圖的距離角度分布圖制作過程，提取上述分布圖的特征點(diǎn)的特征點(diǎn)提取過程，和根據(jù)提取的上述特征點(diǎn)解析上述圖案的解析過程。
2.權(quán)利要求項(xiàng)1記載的圖案評(píng)價(jià)方法，它的特征是上述結(jié)對(duì)過程當(dāng)上述圖案為直線圖案時(shí)，在屬于位在上述圖象一側(cè)的圖案邊界的邊界點(diǎn)，和屬于位在上述圖象另一側(cè)的圖案邊界的邊界點(diǎn)之間進(jìn)行結(jié)對(duì)，當(dāng)上述圖案為封閉曲線圖案時(shí)，選擇上述圖案的任意分割線，用這條分割線將上述圖案分割成二部分，在屬于位在上述圖象一側(cè)的上述圖案邊界的邊界點(diǎn)和屬于位在上述圖象另一側(cè)的圖案邊界的邊界點(diǎn)之間進(jìn)行結(jié)對(duì)。
3.權(quán)利要求項(xiàng)1記載的圖案評(píng)價(jià)方法，它的特征是上述特征點(diǎn)提取過程通過對(duì)上述分布圖進(jìn)行圖象處理提取上述特征點(diǎn)。
4.權(quán)利要求項(xiàng)1記載的圖案評(píng)價(jià)方法，它的特征是它進(jìn)一步備有將與存儲(chǔ)上述圖象數(shù)據(jù)的第1存儲(chǔ)區(qū)域和與其不同的第2存儲(chǔ)區(qū)域?qū)?yīng)的存儲(chǔ)地址附加在上述分布圖的數(shù)據(jù)上的存儲(chǔ)控制過程。
5.權(quán)利要求項(xiàng)4記載的圖案評(píng)價(jià)方法，它的特征是上述存儲(chǔ)控制過程根據(jù)上述距離和上述角度，向每個(gè)上述邊界點(diǎn)對(duì)按比例分配假想的子圖象元素，將上述分布圖的數(shù)據(jù)作為多位的圖象數(shù)據(jù)附加上述存儲(chǔ)地址。
6.權(quán)利要求項(xiàng)1記載的圖案評(píng)價(jià)方法，它的特征是上述特征點(diǎn)提取過程包含在上述分布圖的數(shù)據(jù)或上述分布圖的上述特征點(diǎn)近旁的數(shù)據(jù)上附加表示濃淡的灰度等級(jí)值的過程。
7.權(quán)利要求項(xiàng)4記載的圖案評(píng)價(jià)方法，它的特征是上述存儲(chǔ)控制過程包含根據(jù)上述邊界點(diǎn)對(duì)的位置信息在上述分布圖上附加可以進(jìn)行到上述圖象數(shù)據(jù)的逆變換的復(fù)原用信息的過程。
8.權(quán)利要求項(xiàng)1記載的圖案評(píng)價(jià)方法，它的特征是上述圖案至少包含1個(gè)形成理想形狀的理想圖案，上述特征點(diǎn)提取過程提取作為從上述理想圖案得到的上述分布圖的特征點(diǎn)的理想特征點(diǎn)，和從作為上述評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案得到的上述分布圖的特征點(diǎn)，并進(jìn)一步包含輸出從作為上述評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案得到的特征點(diǎn)與上述理想特征點(diǎn)的差異的過程。
9.權(quán)利要求項(xiàng)1記載的圖案評(píng)價(jià)方法，它的特征是上述圖案是多個(gè)圖案，上述距離角度分布圖制作過程是制作將上述每個(gè)圖案的上述分布圖合成起來第1合成分布圖的過程，上述特征點(diǎn)提取過程是從上述第1合成分布圖的一部分區(qū)域提取上述每個(gè)圖案的上述特征點(diǎn)和表示上述圖案之間的相對(duì)位置關(guān)系的上述特征點(diǎn)的過程。
10.權(quán)利要求項(xiàng)1記載的圖案評(píng)價(jià)方法，它的特征是上述圖象數(shù)據(jù)包含多個(gè)圖案的圖象數(shù)據(jù)，上述結(jié)對(duì)過程包含在各圖案中設(shè)定禁止對(duì)應(yīng)的圖案邊界之間以外的結(jié)對(duì)的禁止規(guī)則的過程。
11.權(quán)利要求項(xiàng)1記載的圖案評(píng)價(jià)方法，它的特征是上述圖象數(shù)據(jù)包含多個(gè)圖案的圖象數(shù)據(jù)，上述結(jié)對(duì)過程在各圖案中進(jìn)行對(duì)應(yīng)的圖案邊界之間以外的結(jié)對(duì)。
12.權(quán)利要求項(xiàng)1記載的圖案評(píng)價(jià)方法，它的特征是上述圖案是多個(gè)圖案，上述距離角度分布圖制作過程對(duì)每個(gè)圖案制作上述分布圖，在得到的上述分布圖中進(jìn)行圖象計(jì)算處理，制作第2合成分布圖，上述特征點(diǎn)提取過程是從上述第2合成分布圖提取上述特征點(diǎn)使上述分布圖合成的上述圖案的形狀的不同定量化的過程。
13.權(quán)利要求項(xiàng)1記載的圖案評(píng)價(jià)方法，它的特征是上述圖案是多個(gè)圖案，上述距離角度分布圖制作過程對(duì)每個(gè)圖案制作上述分布圖，上述特征點(diǎn)提取過程是從每個(gè)圖案得到的上述分布圖提取上述特征點(diǎn)，在得到的上述特征點(diǎn)中進(jìn)行計(jì)算處理，使這些特征點(diǎn)的不同定量化的過程。
14.權(quán)利要求項(xiàng)1記載的圖案評(píng)價(jià)方法，它的特征是上述圖案包含封閉曲線圖案，上述特征點(diǎn)提取過程設(shè)置上述分布圖的特征曲線，根據(jù)這條特征曲線提取上述特征點(diǎn)。
15.權(quán)利要求項(xiàng)1記載的圖案評(píng)價(jià)方法，它的特征是上述圖案是封閉曲線圖案，上述結(jié)對(duì)過程是選擇上述圖案的任意分割線和上述封閉曲線圖案內(nèi)的任意點(diǎn)，以上述任意點(diǎn)為中心使上述分割線旋轉(zhuǎn)任意角度，對(duì)于上述任意角度用上述分割線將上述圖案分割成二部分，在屬于位在上述圖象的上述一側(cè)的上述第1圖案邊界的邊界點(diǎn)和屬于位在上述圖象的上述另一側(cè)的第2圖案邊界的邊界點(diǎn)之間對(duì)于每個(gè)上述任意角度進(jìn)行結(jié)對(duì)的過程，上述距離角度分布圖制作過程對(duì)于每個(gè)上述任意角度制作上述分布圖。
16.權(quán)利要求項(xiàng)13或14記載的圖案評(píng)價(jià)方法，它的特征是上述圖案包含多個(gè)封閉曲線圖案，上述距離角度分布圖制作過程對(duì)于每個(gè)封閉曲線圖案制作上述分布圖，上述特征點(diǎn)提取過程是對(duì)每個(gè)得到的各封閉曲線圖案的上述分布圖設(shè)置上述特征曲線，根據(jù)這條特征曲線對(duì)每個(gè)上述封閉曲線圖案提取上述特征點(diǎn)，對(duì)得到的多個(gè)上述特征點(diǎn)進(jìn)行計(jì)算處理，使上述多條封閉曲線圖案之間的不同定量化。
17.權(quán)利要求項(xiàng)1記載的圖案評(píng)價(jià)方法，它的特征是上述圖案包含直線圖案，上述特征點(diǎn)提取過程，當(dāng)取上述距離為x，取上述角度為y，取上述直線圖案的寬度為D時(shí)，在上述分布圖上設(shè)置由函數(shù)x＝D/cosy表示的至少1條近似曲線，根據(jù)這條近似曲線提取上述特征點(diǎn)。
18.權(quán)利要求項(xiàng)1記載的圖案評(píng)價(jià)方法，它的特征是上述圖象數(shù)據(jù)是時(shí)間上變化的一系列圖象數(shù)據(jù)，對(duì)構(gòu)成上述一系列圖象數(shù)據(jù)的圖象數(shù)據(jù)逐次實(shí)施上述結(jié)對(duì)過程，上述計(jì)算過程，上述距離角度分布圖制作過程和上述特征點(diǎn)提取過程，并進(jìn)一步備有實(shí)時(shí)輸出提取的上述特征點(diǎn)的變化的輸出過程。
19.圖案評(píng)價(jià)裝置，它備有接受供給的作為評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案的圖象數(shù)據(jù)，處理上述圖象數(shù)據(jù)，從上述圖象檢測(cè)上述圖案的邊界點(diǎn)座標(biāo)的邊界點(diǎn)檢測(cè)裝置，在上述邊界點(diǎn)中組合邊界點(diǎn)對(duì)的結(jié)對(duì)裝置，算出構(gòu)成上述邊界點(diǎn)對(duì)的上述邊界點(diǎn)之間的距離，和連接上述邊界點(diǎn)之間的直線與任意軸線之間的角度的計(jì)算裝置，制作上述邊界點(diǎn)對(duì)的上述距離和上述角度的分布圖的距離角度分布圖制作裝置，提取上述分布圖的特征點(diǎn)的特征點(diǎn)提取裝置，和根據(jù)提取的上述特征點(diǎn)解析上述圖案的解析裝置。
20.權(quán)利要求項(xiàng)19記載的圖案評(píng)價(jià)裝置，它的特征是上述結(jié)對(duì)裝置當(dāng)上述圖案為直線圖案時(shí)，在屬于位在上述圖象一側(cè)的圖案邊界的邊界點(diǎn)，和屬于位在上述圖象另一側(cè)的圖案邊界的邊界點(diǎn)之間進(jìn)行結(jié)對(duì)，當(dāng)上述圖案為封閉曲線圖案時(shí)，選擇上述圖案的任意分割線，用這條分割線將上述圖案分割成二部分，在屬于位在上述圖象一側(cè)的上述圖案邊界的邊界點(diǎn)和屬于位在上述圖象另一側(cè)的圖案邊界的邊界點(diǎn)之間進(jìn)行結(jié)對(duì)。
21.權(quán)利要求項(xiàng)19記載的圖案評(píng)價(jià)裝置，它的特征是它進(jìn)一步備有包含存儲(chǔ)上述圖象數(shù)據(jù)的第1存儲(chǔ)區(qū)域和存儲(chǔ)上述分布圖的數(shù)據(jù)的第2存儲(chǔ)區(qū)域的存儲(chǔ)裝置。
22.權(quán)利要求項(xiàng)19記載的圖案評(píng)價(jià)裝置，它的特征是上述圖案至少包含1個(gè)形成理想形狀的理想圖案，上述特征點(diǎn)提取裝置提取作為從上述理想圖案得到的上述分布圖的特征點(diǎn)的理想特征點(diǎn)，和從作為上述評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案得到的上述分布圖的特征點(diǎn)，并進(jìn)一步包含輸出從作為上述評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案得到的特征點(diǎn)與上述理想特征點(diǎn)的差異的裝置。
23.權(quán)利要求項(xiàng)19記載的圖案評(píng)價(jià)裝置，它的特征是上述圖案是多個(gè)圖案，上述距離角度分布圖制作裝置是制作將上述每個(gè)圖案的上述分布圖合成起來的第1合成分布圖的裝置，上述特征點(diǎn)提取裝置是從上述第1合成分布圖的一部分區(qū)域提取上述每個(gè)圖案的上述特征點(diǎn)和表示上述圖案之間的相對(duì)位置關(guān)系的上述特征點(diǎn)的裝置。
24.權(quán)利要求項(xiàng)19記載的圖案評(píng)價(jià)裝置，它的特征是上述圖象數(shù)據(jù)包含多個(gè)圖案的圖象數(shù)據(jù)，上述結(jié)對(duì)裝置包含在各圖案中設(shè)定禁止對(duì)應(yīng)的圖案邊界之間以外的結(jié)對(duì)的禁止規(guī)則的設(shè)定裝置。
25.權(quán)利要求項(xiàng)19記載的圖案評(píng)價(jià)裝置，它的特征是上述圖象數(shù)據(jù)包含多個(gè)圖案的圖象數(shù)據(jù)，上述結(jié)對(duì)裝置在各圖案中進(jìn)行對(duì)應(yīng)的圖案邊界之間以外的結(jié)對(duì)。
26.權(quán)利要求項(xiàng)19記載的圖案評(píng)價(jià)裝置，它的特征是上述圖案是多個(gè)圖案，上述距離角度分布圖制作裝置對(duì)每個(gè)圖案制作上述分布圖，在得到的上述分布圖中進(jìn)行圖象計(jì)算處理，制作第2合成分布圖，上述特征點(diǎn)提取裝置是從上述第2合成分布圖提取上述特征點(diǎn)使上述分布圖合成的上述圖案的形狀的不同定量化的裝置。
27.權(quán)利要求項(xiàng)19記載的圖案評(píng)價(jià)裝置，它的特征是上述圖案是多個(gè)圖案，上述距離角度分布圖制作裝置對(duì)每個(gè)圖案制作上述分布圖，上述特征點(diǎn)提取裝置是從每個(gè)圖案得到的上述分布圖提取上述特征點(diǎn)，在得到的上述特征點(diǎn)中進(jìn)行計(jì)算處理，使這些特征點(diǎn)的不同定量化的裝置。
28.權(quán)利要求項(xiàng)19記載的圖案評(píng)價(jià)裝置，它的特征是上述圖案包含封閉曲線圖案，上述特征點(diǎn)提取裝置設(shè)置上述分布圖的特征曲線，根據(jù)這條特征曲線提取上述特征點(diǎn)。
29.權(quán)利要求項(xiàng)20記載的圖案評(píng)價(jià)裝置，它的特征是上述圖案是封閉曲線圖案，上述結(jié)對(duì)裝置選擇上述圖案的任意分割線和上述封閉曲線圖案內(nèi)的任意點(diǎn)，以上述任意點(diǎn)為中心使上述分割線旋轉(zhuǎn)任意角度，對(duì)于每個(gè)上述任意角度用上述分割線將上述圖案分割成二部分，在屬于位在上述圖象的上述一側(cè)的上述第1圖案邊界的邊界點(diǎn)和屬于位在上述圖象的上述另一側(cè)的第2圖案邊界的邊界點(diǎn)之間對(duì)于每個(gè)上述任意角度進(jìn)行結(jié)對(duì)的裝置，上述距離角度分布圖制作裝置對(duì)于每個(gè)上述任意角度制作上述分布圖。
30.權(quán)利要求項(xiàng)27或28記載的圖案評(píng)價(jià)裝置，它的特征是上述圖案包含多個(gè)封閉曲線圖案，上述距離角度分布圖制作裝置對(duì)每個(gè)封閉曲線圖案制作上述分布圖，上述特征點(diǎn)提取裝置對(duì)每個(gè)得到的各封閉曲線圖案的上述分布圖設(shè)置上述特征曲線，根據(jù)這條特征曲線對(duì)每個(gè)上述封閉曲線圖案提取上述特征點(diǎn)，對(duì)得到的多個(gè)上述特征點(diǎn)進(jìn)行計(jì)算處理，使上述多個(gè)封閉曲線圖案之間的不同定量化。
31.權(quán)利要求項(xiàng)19記載的圖案評(píng)價(jià)方法，它的特征是上述圖案包含直線圖案，上述特征點(diǎn)提取裝置，當(dāng)取上述距離為x，取上述角度為y，取上述直線圖案的寬度為D時(shí)，在上述分布圖上設(shè)置由函數(shù)x＝D/cosy表示的至少1條近似曲線，根據(jù)這條近似曲線提取上述特征點(diǎn)。
32.權(quán)利要求項(xiàng)19記載的圖案評(píng)價(jià)裝置，它的特征是上述圖象數(shù)據(jù)是時(shí)間上變化的一系列圖象數(shù)據(jù)，對(duì)構(gòu)成上述一系列圖象數(shù)據(jù)的圖象數(shù)據(jù)逐次實(shí)施上述結(jié)對(duì)裝置，上述計(jì)算裝置，上述距離角度分布圖制作裝置和上述特征點(diǎn)提取裝置，并進(jìn)一步備有實(shí)時(shí)輸出提取的上述特征點(diǎn)的變化的輸出裝置。
33.可以計(jì)算機(jī)讀取的記錄媒體，它記錄在計(jì)算器中實(shí)施備有接受供給的作為評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案的圖象數(shù)據(jù)，處理上述圖象數(shù)據(jù)，從上述圖象檢測(cè)上述圖案的邊界點(diǎn)座標(biāo)的邊界點(diǎn)檢測(cè)程序，在上述邊界點(diǎn)中組合邊界點(diǎn)對(duì)的結(jié)對(duì)程序，算出構(gòu)成上述邊界點(diǎn)對(duì)的邊界點(diǎn)之間的距離，和連接上述邊界點(diǎn)之間的直線與任意軸線之間的角度的計(jì)算程序，制作上述邊界點(diǎn)對(duì)的上述距離和上述角度的分布圖的距離角度分布圖制作程序，提取上述分布圖的特征點(diǎn)的特征點(diǎn)提取程序，和根據(jù)提取的上述特征點(diǎn)解析上述圖案的解析程序的圖案評(píng)價(jià)方法的程序。
34.權(quán)利要求項(xiàng)33記載的記錄媒體，它的特征是上述結(jié)對(duì)程序當(dāng)上述圖案為直線圖案時(shí)，在屬于位在上述圖象一側(cè)的圖案邊界的邊界點(diǎn)，和屬于位在上述圖象另一側(cè)的圖案邊界的邊界點(diǎn)之間進(jìn)行結(jié)對(duì)，當(dāng)上述圖案為封閉曲線圖案時(shí)，選擇上述圖案的任意分割線，用這條分割線將上述圖案分割成二部分，在屬于位在上述圖象一側(cè)的上述圖案邊界的邊界點(diǎn)和屬于位在上述圖象另一側(cè)的圖案邊界的邊界點(diǎn)之間進(jìn)行結(jié)對(duì)。
35.權(quán)利要求項(xiàng)33記載的記錄媒體，它的特征是上述圖案評(píng)價(jià)方法進(jìn)一步備有將與存儲(chǔ)上述圖象數(shù)據(jù)的第1存儲(chǔ)區(qū)域和與其不同的第2存儲(chǔ)區(qū)域?qū)?yīng)的存儲(chǔ)地址附加到上述分布圖的數(shù)據(jù)上的存儲(chǔ)控制程序。
36.權(quán)利要求項(xiàng)33記載的記錄媒體，它的特征是在上述圖案中至少包含1個(gè)形成理想形狀的理想圖案，上述特征點(diǎn)提取程序提取作為從上述理想圖案得到的上述分布圖的特征點(diǎn)的理想特征點(diǎn)，和從作為上述評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案得到的上述分布圖的特征點(diǎn)，上述圖案評(píng)價(jià)方法進(jìn)一步包含輸出從作為上述評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案得到的特征點(diǎn)與上述理想特征點(diǎn)的差異的程序。
37.權(quán)利要求項(xiàng)33記載的記錄媒體，它的特征是在上述圖案中包含多個(gè)圖案，上述距離角度分布圖制作程序是制作將上述每個(gè)圖案的上述分布圖合成起來的第1合成分布圖的程序，上述特征點(diǎn)提取程序是從上述第1合成分布圖的一部分區(qū)域提取上述每個(gè)圖案的上述特征點(diǎn)和表示上述圖案之間的相對(duì)位置關(guān)系的上述特征點(diǎn)的程序。
38.權(quán)利要求項(xiàng)33記載的記錄媒體，它的特征是上述圖象數(shù)據(jù)包含多個(gè)圖案的圖象數(shù)據(jù)，上述結(jié)對(duì)程序包含在各圖案中設(shè)定禁止對(duì)應(yīng)的圖案邊界之間以外的結(jié)對(duì)的禁止規(guī)則的設(shè)定程序。
39.權(quán)利要求項(xiàng)33記載的記錄媒體，它的特征是上述圖象數(shù)據(jù)包含多個(gè)圖案的圖象數(shù)據(jù)，上述結(jié)對(duì)程序在各圖案中進(jìn)行對(duì)應(yīng)的圖案邊界之間以外的結(jié)對(duì)。
40.權(quán)利要求項(xiàng)33記載的記錄媒體，它的特征是在上述圖案中包含多個(gè)圖案，上述距離角度分布圖制作程序?qū)γ總€(gè)圖案制作上述分布圖，在得到的上述分布圖中進(jìn)行圖象計(jì)算處理，制作第2合成分布圖，上述特征點(diǎn)提取程序是從上述第2合成分布圖提取上述特征點(diǎn)使上述分布圖合成的上述圖案的形狀的不同定量化的程序。
41.權(quán)利要求項(xiàng)33記載的記錄媒體，它的特征是在上述圖案中包含多個(gè)圖案，上述距離角度分布圖制作程序?qū)γ總€(gè)圖案制作上述分布圖，上述特征點(diǎn)提取程序是從每個(gè)圖案得到的上述分布圖提取上述特征點(diǎn)，在得到的上述特征點(diǎn)中進(jìn)行計(jì)算處理，使這些特征點(diǎn)的不同定量化的程序。
42.權(quán)利要求項(xiàng)33記載的記錄媒體，它的特征是在上述圖案中包含封閉曲線圖案，上述特征點(diǎn)提取程序設(shè)置上述分布圖的特征曲線，根據(jù)這條特征曲線提取上述特征點(diǎn)。
43.權(quán)利要求項(xiàng)33記載的記錄媒體，它的特征是上述結(jié)對(duì)程序是當(dāng)上述圖案是封閉曲線圖案時(shí)，選擇上述圖案的任意分割線和上述封閉曲線圖案內(nèi)的任意點(diǎn)，以上述任意點(diǎn)為中心使上述分割線旋轉(zhuǎn)任意角度，對(duì)于每個(gè)上述任意角度用上述分割線將上述圖案分割成二部分，在屬于位在上述圖象的上述一側(cè)的上述第1圖案邊界的邊界點(diǎn)和屬于位在上述圖象的上述另一側(cè)的第2圖案邊界的邊界點(diǎn)之間對(duì)于每個(gè)上述任意角度進(jìn)行結(jié)對(duì)的程序，上述距離角度分布圖制作程序?qū)τ诿總€(gè)上述任意角度制作上述分布圖。
44.權(quán)利要求項(xiàng)33記載的記錄媒體，它的特征是在上述圖案中包含多個(gè)封閉曲線圖案，上述距離角度分布圖制作程序?qū)γ總€(gè)封閉曲線圖案制作上述分布圖，上述特征點(diǎn)提取程序?qū)γ總€(gè)得到的各封閉曲線圖案的上述分布圖設(shè)置上述特征曲線，根據(jù)這條特征曲線對(duì)每個(gè)上述封閉曲線圖案提取上述特征點(diǎn)，對(duì)得到的多個(gè)上述特征點(diǎn)進(jìn)行計(jì)算處理，使上述多個(gè)封閉曲線圖案之間的不同定量化。
45.權(quán)利要求項(xiàng)33記載的記錄媒體，它的特征是在上述圖案中包含直線圖案，上述特征點(diǎn)提取程序，當(dāng)取上述距離為x，取上述角度為y，取上述直線圖案的寬度為D時(shí)，在上述分布圖上設(shè)置由函數(shù)x＝D/cosy表示的至少1條近似曲線，根據(jù)這條近似曲線提取上述特征點(diǎn)。
46.權(quán)利要求項(xiàng)33記載的記錄媒體，它的特征是上述圖象數(shù)據(jù)是時(shí)間上變化的一系列圖象數(shù)據(jù)，對(duì)構(gòu)成上述一系列圖象數(shù)據(jù)的圖象數(shù)據(jù)逐次實(shí)施上述結(jié)對(duì)程序，上述計(jì)算程序，上述距離角度分布圖制作程序和上述特征點(diǎn)提取程序，上述圖案評(píng)價(jià)方法進(jìn)一步備有實(shí)時(shí)輸出提取的上述特征點(diǎn)的變化的輸出程序。
全文摘要
本發(fā)明提供高速、高精度并具有高附加價(jià)值的圖案評(píng)價(jià)方法,圖案評(píng)價(jià)裝置和記錄媒體。如果根據(jù)本發(fā)明,則取得作為評(píng)價(jià)對(duì)象的圖案的圖象數(shù)據(jù),處理這個(gè)圖象數(shù)據(jù),檢測(cè)圖案的邊界點(diǎn)的座標(biāo),將左右的邊界點(diǎn)組合成邊界點(diǎn)對(duì),算出各邊界點(diǎn)對(duì)中的邊界點(diǎn)之間的距離,和連接各邊界點(diǎn)之間的直線與X軸所成的角度,制作表示這些距離和角度的分布的距離角度分布圖,與評(píng)價(jià)目的相對(duì)應(yīng)地提取這個(gè)距離角度分布圖的特征點(diǎn)。
文檔編號(hào)G06K9/48GK1378179SQ02108220
公開日2002年11月6日 申請(qǐng)日期2002年3月27日 優(yōu)先權(quán)日2001年3月27日
發(fā)明者三井正 申請(qǐng)人:株式會(huì)社東芝