專利名稱：信息存取方法和系統(tǒng)、內(nèi)部知識樹更新方法、信息抽取系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種半導體制造技術(shù)，特別是有關(guān)于一種概念式信息擷取及信息組態(tài)的系統(tǒng)和方法。
背景技術(shù)：
半導體集成電路(Integrated Circuit，以下皆簡稱為IC)工業(yè)正經(jīng)歷快速的成長。IC材料和設(shè)計在技術(shù)上的進步造就了不同IC時代，而每個IC時代具有比前一時代更小和更復雜的電路。然而，這些進步會增加IC在制造和處理上的復雜度，因此在實作上需要進一步發(fā)展相關(guān)的IC制造和處理的技術(shù)。例如，制造IC時使用了某個制程步驟在基底上制作一個或多個元件(例如電路元件)，則當此元件的幾何結(jié)構(gòu)縮小時，IC上的主動元件密度(activedevice density，即單位IC面積上的元件數(shù)量)以及和功能密度(functional density，即單位IC面積上的相互連接元件數(shù)量)則會受限于此制程步驟。
另外，隨著IC工業(yè)逐漸成熟，制造IC所需的各種工作可能交由單一公司內(nèi)的不同部門，或者由專精于特定制造領(lǐng)域的不同公司來執(zhí)行。當公司和它的客戶不僅僅在地理位置上分開，甚至是在不同時區(qū)，有效溝通會變的更加困難，這也增加了制造IC的復雜度。舉例來說，第一家公司(如IC設(shè)計公司)設(shè)計一個新IC，第二家公司(如IC晶圓代工廠)提供處理設(shè)備用來實作此設(shè)計，以及第三家公司組裝和測試制造完成的IC。第四家公司則控管整個IC制造過程，包括協(xié)調(diào)設(shè)計、處理、組裝和測試運作。
復雜半導體元件的制造過程需要使用到許多制造步驟，所以統(tǒng)合這些制造過程可能要花費好幾個月的時間。在半導體制造系統(tǒng)內(nèi)，具有大量有關(guān)于高階半導體制造的數(shù)據(jù)。特定數(shù)據(jù)可以經(jīng)由連接到數(shù)據(jù)庫的搜索引擎所取得，亦即，提供有關(guān)數(shù)據(jù)的特定關(guān)鍵詞，則搜索引擎可以提供與此特定關(guān)鍵詞相關(guān)的信息。
目前已有許多大眾化的數(shù)據(jù)庫搜索引擎，也同樣可以使用于制造環(huán)境。大部分的搜索引擎是依賴關(guān)鍵詞或輸入數(shù)據(jù)間的比對來擷取數(shù)據(jù)。然而，在高階半導體制造環(huán)境中存在著許多未知原因的問題，并且需要廣泛測試以便于發(fā)現(xiàn)和解決這些問題。這些問題可能是因為制程整合或粒子污染所造成。傳統(tǒng)關(guān)鍵詞搜索或數(shù)據(jù)比對的方式通常無法從數(shù)據(jù)庫中，發(fā)現(xiàn)與這些問題最相關(guān)的信息。
因此，在技術(shù)上需要一種能夠解決以上問題的系統(tǒng)和方法。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明提出一種計算機系統(tǒng)和處理方法，用以儲存和存取信息。上述系統(tǒng)包括內(nèi)部智能型代理器(smart agent)、連接到該第一內(nèi)部智能型代理器的內(nèi)部知識樹、以及外部數(shù)據(jù)源。該內(nèi)部智能型代理器，在存取該外部數(shù)據(jù)源以提供信息之前，詢問該內(nèi)部知識樹。
本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的本發(fā)明提供一種信息儲存及存取系統(tǒng)，所述信息儲存及存取系統(tǒng)包括第一內(nèi)部智能型代理器；內(nèi)部知識樹，連接到該第一內(nèi)部智能型代理器；以及外部數(shù)據(jù)源，包括至少一個外部數(shù)據(jù)庫和外部知識樹，在存取該外部數(shù)據(jù)源以提供信息之前，該第一內(nèi)部智能型代理器詢問該內(nèi)部知識樹。
本發(fā)明所述的信息儲存及存取系統(tǒng)，更包括第二內(nèi)部智能型代理器，耦接到該第一內(nèi)部智能型代理器，用以從該外部數(shù)據(jù)源詢問信息，該第一內(nèi)部智能型代理器用以從該內(nèi)部知識樹詢問信息。
本發(fā)明所述的信息儲存及存取系統(tǒng)，更包括內(nèi)部使用者輸入輸出元件，連接到該第一內(nèi)部智能型代理器，用以使得使用者寄送和接收信息。
本發(fā)明所述的信息儲存及存取系統(tǒng)，更包括一個授權(quán)外部使用者輸入輸出元件，連接到該第一內(nèi)部智能型代理器，用以使得一外部使用者寄送和接收信息。
本發(fā)明所述的信息儲存及存取系統(tǒng)，上述第一內(nèi)部智能型代理器和內(nèi)部知識樹安裝于半導體制造系統(tǒng)。
本發(fā)明另提供一種信息儲存及存取方法，執(zhí)行于一計算機系統(tǒng)中，所述信息儲存及存取方法包括提供第一內(nèi)部智能型代理器；維護連接到該第一內(nèi)部智能型代理器的一內(nèi)部知識樹；以及提供外部數(shù)據(jù)源，包括至少一個外部數(shù)據(jù)庫和外部知識樹，在存取該外部數(shù)據(jù)源以提供信息之前，該第一內(nèi)部智能型代理器詢問該內(nèi)部知識樹。
本發(fā)明所述的信息儲存及存取方法，更包括提供第二內(nèi)部智能型代理器，耦接到該第一內(nèi)部智能型代理器，用以從該外部數(shù)據(jù)源詢問信息，該第一內(nèi)部智能型代理器用以從該內(nèi)部知識樹詢問信息。
本發(fā)明還提供一種內(nèi)部知識樹的更新方法，執(zhí)行于計算機系統(tǒng)中，所述內(nèi)部知識樹的更新方法包括由外部數(shù)據(jù)源，接收一數(shù)據(jù)片段；決定是否該數(shù)據(jù)片段和該內(nèi)部知識樹相關(guān)；以相關(guān)的該數(shù)據(jù)片段，更新該內(nèi)部知識樹；以及提供該內(nèi)部知識樹的更新通知給使用者。
本發(fā)明所述的內(nèi)部知識樹的更新方法，更包括允許該使用者決定是否以該數(shù)據(jù)片段，更新該內(nèi)部知識樹。
本發(fā)明進而提供一種信息抽取系統(tǒng)，用以提供在半導體制造環(huán)境中，不同信息組之間的關(guān)系，所述信息抽取系統(tǒng)包括第一群組指令，用以建立帶有多個實體的虛擬無塵室；第二群組指令，用以建立代理器組；第三群組指令，用以建立矩陣，該矩陣和上述虛擬無塵室的多個內(nèi)部和外部實體相互混和，且由該代理器組作為接口；以及一個或多個存儲器，用以儲存該第一、第二或第三群組指令。


圖1是顯示本發(fā)明實施例中，抽取信息和提供不同信息組間關(guān)系的系統(tǒng)概要圖；圖2是顯示本發(fā)明實施例中，虛擬集成電路(IC)制造系統(tǒng)的概要圖；圖3是顯示本發(fā)明中，另一個實施例的虛擬IC制造系統(tǒng)的概要圖；圖4是顯示本發(fā)明實施例中，多個中介和圖2虛擬制造系統(tǒng)內(nèi)的矩陣的概要圖；圖5是顯示本發(fā)明中，圖4的實施例的概要圖；圖6A至圖6C是顯示本發(fā)明實施例中，由圖4的矩陣，用以儲存和擷取信息的流程圖；圖7是顯示本發(fā)明實施例中，使用者可與信息儲存及擷取系統(tǒng)互動的界面的屏幕顯示；圖8是顯示本發(fā)明實施例中，用以接收信息的系統(tǒng)概要圖；圖9是顯示本發(fā)明實施例中，用以更新知識樹的系統(tǒng)概要圖。
具體實施例方式
在此必須說明的是，于下揭露內(nèi)容中所提出的不同實施例或范例，是用以說明本發(fā)明所揭示的不同技術(shù)特征，其所描述的特定范例或排列是用以簡化本發(fā)明，然非用以限定本發(fā)明。此外，在不同實施例或范例中可能重復使用相同的參考數(shù)字與符號，此等重復使用的參考數(shù)字與符號是用以說明本發(fā)明所揭示的內(nèi)容，而非用以表示不同實施例或范例間的關(guān)系。
參照圖1，其表示本發(fā)明第一實施例的系統(tǒng)，其用以儲存或抽取信息并且提供不同信息組間的關(guān)系。系統(tǒng)100包括一個虛擬IC制造系統(tǒng)102(“虛擬無塵室102”)。系統(tǒng)100也包括代理器組(team of agents)104。代理器組104包括了多個實體，用于傳輸指令和由多個數(shù)據(jù)庫(未圖標)接收數(shù)據(jù)。代理器組104可以包括個別或多個帶有軟件程序的硬設(shè)備，用以通過網(wǎng)絡(luò)到另外的計算機實體。代理器組104可借由使用者而來的指令組，由數(shù)據(jù)庫收集信息。代理器組104中的代理器可互相交換由特定數(shù)據(jù)庫抽取的信息，或可匯集擷取的信息到該使用者的本地數(shù)據(jù)庫。代理器組104可儲存或擷取相關(guān)于方法或系統(tǒng)的信息。該方法或系統(tǒng)可共用于客戶，晶圓制造廠，組裝設(shè)備，子承包商或其它實體間。
代理器組104可經(jīng)由虛擬無塵室102，接收指令或擷取信息。例如，使用者可借由計算機設(shè)備或虛擬無塵室102，及相關(guān)的代理器組104互動，且以指令組詢問多個數(shù)據(jù)庫(未圖標)。代理器組104可接收該指令，或搜尋該多個數(shù)據(jù)庫內(nèi)的相關(guān)信息。代理器組104可以建造，或使用使用者數(shù)據(jù)庫或矩陣106。該矩陣106可以為知識樹。上述矩陣106可以包括多個檢索，或關(guān)系數(shù)據(jù)庫，或可以在矩陣106內(nèi)分類的概念。該關(guān)系數(shù)據(jù)庫可以包括多個信息或信息的樹構(gòu)造。該樹構(gòu)造可以連結(jié)到上述概念。該概念可以由上述樹構(gòu)造的叢集(cluster)產(chǎn)生。該概念的產(chǎn)生方式可以為由現(xiàn)有技術(shù)的統(tǒng)計方法，或以人工方式分類數(shù)據(jù)而成為概念，或包括自動分類接著人工分類的混合方式。概念可以更由上述代理器或使用者分派，且叢集的樹構(gòu)造可以經(jīng)由該代理器組104，由信息和數(shù)據(jù)的修正，而自動產(chǎn)生。規(guī)則可以提供給矩陣106，該矩陣106可以定義信息或信息群組間關(guān)系。
矩陣106可以包括多個相互連接的數(shù)據(jù)庫，計算器設(shè)備，軟件程序，和到程序代理器的接口。上述矩陣106的索引可以由使用者定義，或由該矩陣106的概念關(guān)系數(shù)據(jù)庫發(fā)展的相關(guān)自動產(chǎn)生。上述指針和概念關(guān)系數(shù)據(jù)庫可以由該代理器組104的動作動態(tài)和自動修正。上述代理器組104的信息可以由代理器組104以序列方式，平行方式，或和矩陣106合作方式提供。
參照圖2，虛擬IC制造系統(tǒng)200(虛擬無塵室)為可用以實現(xiàn)圖1的系統(tǒng)100的應(yīng)用實施例。虛擬無塵室200包括多個實體，由一個或多個內(nèi)部實體202，及可由通訊網(wǎng)路212連接的一個或多個外部實體216代表。通訊網(wǎng)路212可為單獨網(wǎng)絡(luò)或可為多個不同網(wǎng)絡(luò)，例如內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)和因特網(wǎng)，且可包括有線和無線通訊信道兩者。
每個內(nèi)部實體202，或外部實體216可包括一個或多個計算器設(shè)備，例如個人計算機，個人數(shù)字助理(personal digitalassistant)，傳呼器(pager)，蜂巢電話(cellular phone)，以及類似元件。例如，該內(nèi)部實體202被放大，用以顯示中央處理器(central processing unit，CPU)222，存儲器單位224，輸入/輸出(input/output，I/O)元件226，和外部接口228。該外部接口可為，例如，調(diào)制解調(diào)器，無線收發(fā)機(transceiver)，或一個或多個網(wǎng)絡(luò)適配卡(network interface card，NIC)。上述元件222至228由總線系統(tǒng)230互相連接。這里要了解的是該內(nèi)部實體202可以由許多不同方法配置，且每個上述列出的元件實際上可以代表許多元件。例如，該中央處理器222可實際上代表多個處理器(multi-processor)，或分配(distributed)的處理器系統(tǒng)；該存儲器單位224可包括不同數(shù)據(jù)儲存元件，該輸入/輸出元件226可包括監(jiān)控器(monitor)，鍵盤，及其類似元件。
該內(nèi)部實體202可經(jīng)由有線或無線連結(jié)240，或經(jīng)由該中間網(wǎng)絡(luò)242，或服務(wù)器214，而連接到通訊網(wǎng)路矩陣212。中間網(wǎng)絡(luò)242可以為完整網(wǎng)絡(luò)或局域網(wǎng)絡(luò)(local area network)的子網(wǎng)絡(luò)(subnet)，公司范圍的內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)，或因特網(wǎng)。在本發(fā)明實施例中，該中間網(wǎng)絡(luò)242可包括服務(wù)器214。該內(nèi)部實體202可由地址或地址組合，例如相關(guān)于該外部接口228的媒體控制存取(mediaaccess control，MAC)地址，和因特網(wǎng)協(xié)議(internet protocol，IP)地址，在一個或上述網(wǎng)絡(luò)212及242兩者中辨識。因為該內(nèi)部實體202可連接到中間網(wǎng)絡(luò)242，在某些時候，某些元件可和其它內(nèi)部實體一起共用。因此，這里可以預期到該內(nèi)部實體202配置的大幅靈活度。更有甚者，在某些構(gòu)成中，該服務(wù)器214可提供支持至多個內(nèi)部實體202(未圖標)。在某些實現(xiàn)中，一個或多個服務(wù)器和計算機的組合可由單數(shù)實體表示。
在本發(fā)明實施例中，上述內(nèi)部實體202代表直接負責制造最終產(chǎn)品的某些實體，例如一組掩膜板，一個晶圓，或獨自測試的IC元件。另一方面，該內(nèi)部實體202的例子包括工程師，客戶服務(wù)人員，自動系統(tǒng)程序，設(shè)計或制造設(shè)備，或晶圓廠相關(guān)設(shè)備。該晶圓廠相關(guān)設(shè)備可以為加工材料，送貨，組裝或測試。該外部實體216的例子包括客戶，設(shè)計提供者，和其它非直接相關(guān)或于該無塵室之下的設(shè)備。另外，更多的無塵室和虛擬無塵室可包括上述內(nèi)部或外部實體。每個實體可以和其它實體互動，并且可提供服務(wù)到其它實體，或由該其它實體接收服務(wù)。
上述實體202，216可集中于單一位置或可為分散，且某些實體可合并至其它實體。另外，每個實體202，216可與系統(tǒng)辨識信息結(jié)合，根據(jù)相關(guān)于每個識別數(shù)據(jù)的職權(quán)等級，控制允許該系統(tǒng)內(nèi)信息的存取。
為了IC制造和服務(wù)提供的目的，虛擬無塵室200使上述實體202，216中的互動置于致能狀態(tài)。在本發(fā)明實施例中，IC制造可包括一個或多個下列步驟接收或改變客戶的IC訂單價格，運送，或數(shù)量；接收或改變IC設(shè)計；接收或改變程序流程；接收或改變電路設(shè)計；接收或改變掩膜板改變；接收或改變測試變量；接收或改變組裝變量；以及接收或改變該IC的運送。
由信息代理器接收或改變信息；以及接收或改變概念關(guān)系數(shù)據(jù)庫或矩陣內(nèi)的信息。
由虛擬無塵室200提供的一個或多個服務(wù)可允許相互合作，和信息存取，例如在設(shè)計，工程和后勤(logistics)的領(lǐng)域。例如，在上述設(shè)計領(lǐng)域中，在外部實體216的上述客戶，經(jīng)由虛擬無塵室200，可以給予到信息和工具的管道。該信息和工具相關(guān)于該客戶的產(chǎn)品設(shè)計。上述信息和工具，可使得在外部實體216的該客戶，執(zhí)行成品加強分析(yield enhancement analysis)，檢視布局(layout)信息，和獲得類似信息。在工程領(lǐng)域，外部實體216的工程師可和其它工程師合作(其它工程師可在外部實體216，在內(nèi)部實體202，或其它位置)，使用關(guān)于先導成品生產(chǎn)(pilot yieldrun)，危機分析，品質(zhì)，或可靠度的信息。外部實體216的上述工程師，可與外部實體216互動，以提供詢問到該程序代理器，和到圖1中系統(tǒng)100的矩陣106。該后勤領(lǐng)域可提供在外部實體216的客戶制造狀態(tài)，測試結(jié)果，訂單處理，或出貨日期。這里可以了解的是這些領(lǐng)域為舉例說明，而且經(jīng)由虛擬無塵室200，可提供所想要的更多或更少信息。
另一個由虛擬無塵室200提供的服務(wù)，可整合設(shè)備間的系統(tǒng)，例如內(nèi)部實體216和內(nèi)部實體202間。此種整合使得設(shè)備協(xié)調(diào)他們的動作。例如，整合內(nèi)部實體216和內(nèi)部實體202，可使得由外部實體216而來的設(shè)計信息，以更有效率的納入內(nèi)部實體202的制造過程。為了評價及整合設(shè)計，上述整合也可允許內(nèi)部實體202的制造過程的數(shù)據(jù)，響應(yīng)給外部實體216。
參照圖3，虛擬無塵室300顯示圖2中上述虛擬無塵室200的更詳細的實施例。然而要了解的是，圖3所提及和描述的細節(jié)只為實施例而提供，其它實施例也可用于此。虛擬無塵室300包括多個實體302，304，306，308，310和312，且由通訊網(wǎng)路314連接。如同所顯示的，實體302代表服務(wù)系統(tǒng)，實體304代表客戶，實體306代表工程師，實體308代表用于IC設(shè)計和測試的設(shè)計實驗室設(shè)備，實體310代表無塵室設(shè)備，以及實體312代表無塵室設(shè)備310的內(nèi)部，或于另外設(shè)備的程序(例如，自動制造程序)。每個實體可與其它實體互動，且可提供服務(wù)到其它實體，或由上述其它實體接收服務(wù)。
服務(wù)系統(tǒng)302提供介于客戶304，和上述IC制造操作程序的接口。例如，服務(wù)系統(tǒng)302可以包括服務(wù)系統(tǒng)人員316，用于處理和追蹤訂單的后勤系統(tǒng)318，和使得客戶直接存取各方面訂單的客戶接口320。
后勤系統(tǒng)318可以包括正在進行(Work in Progress以下皆稱為WIP)存貨系統(tǒng)324，產(chǎn)品數(shù)據(jù)管理(Product DataManagement，PDM)系統(tǒng)326，貨批管理系統(tǒng)(Lots ControlSystem，LCS)328，和制造執(zhí)行系統(tǒng)(Manufacturing ExecutionSystem，MES)330。WIP存貨系統(tǒng)324可使用數(shù)據(jù)庫(未圖標)追蹤工作批。產(chǎn)品數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)326可管理產(chǎn)品數(shù)據(jù)，和維護產(chǎn)品數(shù)據(jù)庫(未圖標)。上述產(chǎn)品數(shù)據(jù)庫可包括產(chǎn)品種類(例如，零件，零件編號，和相關(guān)信息)，和相關(guān)于產(chǎn)品的每個種類的程序階段的組合。貨批管理系統(tǒng)328可轉(zhuǎn)換程序階段到其相對應(yīng)的程序步驟。
制造執(zhí)行系統(tǒng)330可為表示上述方法或工具的整合計算機系統(tǒng)。制造執(zhí)行系統(tǒng)330可用以完成制造。在本發(fā)明實施例中，制造執(zhí)行系統(tǒng)330可包括實時收集數(shù)據(jù)，管理或儲存上述數(shù)據(jù)于集中數(shù)據(jù)庫，工作訂單管理，工作站管理，程序管理，存貨追蹤，和文件控管。制造執(zhí)行系統(tǒng)330連接到其它于服務(wù)系統(tǒng)302內(nèi)部，及服務(wù)系統(tǒng)302外部兩者的系統(tǒng)。制造執(zhí)行系統(tǒng)330的實施例包括Promis(Massachusetts的Books Automations Inc.)，Workstream(California的Applied Materials，Inc.)，Moseidon(New York的IBM Corporation)，和Mirl-MES(Taiwan 的 Mechanical Industry Research Laboratories)。每個產(chǎn)品皆常用于半導體制造工業(yè)中的一個或多個特定應(yīng)用。例如，Mirl-MES常用于牽涉到封包，液態(tài)晶體顯示器(Liquid CrystalDisplay，LCD)，和印刷電路板(Printed Circuit Board，PCB)的相關(guān)應(yīng)用。而Promis，Workstream，Poseidon常用于IC晶圓制造(fabrication)和薄膜晶體管(Thin Film Trahsistor，TFT)應(yīng)用。制造執(zhí)行系統(tǒng)330可包括，針對每個產(chǎn)品的程序步驟順序的信息。制造執(zhí)行系統(tǒng)330可經(jīng)由虛擬無塵室102(見圖1)相互連結(jié)到代理器組104和矩陣106，其中數(shù)據(jù)或信息可連續(xù)地經(jīng)由代理器組104，輸入至矩陣106。
客戶接口320可包括線上系統(tǒng)332，或訂單管理系統(tǒng)334。線上系統(tǒng)332可作為接口，用以和客戶304，服務(wù)系統(tǒng)302內(nèi)的其它系統(tǒng)，支持數(shù)據(jù)庫(未圖標)，和其它實體306至312溝通。訂單管理系統(tǒng)334可管理客戶訂單，和可相關(guān)于支持數(shù)據(jù)庫(未圖標)，用以維持客戶信息或相關(guān)訂單信息。
服務(wù)系統(tǒng)302的一部分，如同客戶接口320，可與計算機系統(tǒng)322結(jié)合，或可有自己的計算機系統(tǒng)。在某些實施例中，計算機系統(tǒng)322可包括多個計算機，其中某些可作為服務(wù)器，以提供服務(wù)給客戶304或其它實體。服務(wù)系統(tǒng)302也可提供如同作為識別驗證和存取控制的服務(wù)，兩者都用于避免非授權(quán)使用者存取數(shù)據(jù)，和確定授權(quán)使用者可存取他們自己的數(shù)據(jù)。
透過計算機系統(tǒng)336，且經(jīng)由虛擬無塵室300，客戶304可獲得關(guān)于他的IC的制造信息。在本實施例中，經(jīng)由服務(wù)系統(tǒng)302提供的客戶接口320，客戶304可存取虛擬無塵室300的多個實體302，306至312。然而，在某些狀況下會偏好將客戶304置于致能狀態(tài)中以存取其它實體，而不經(jīng)由客戶接口320。例如，客戶304可直接存取無塵室設(shè)備310，以獲得制造相關(guān)信息。
工程師306可在上述IC制造程序中，與其它虛擬無塵室300內(nèi)使用計算機系統(tǒng)338實體相互合作。虛擬無塵室300實體使得工程師306，和其它工程師，或IC設(shè)計和測試的設(shè)計/實驗室設(shè)備308相互合作，以監(jiān)管在無塵室設(shè)備310的制造程序，和獲得關(guān)于測試制造(test run)成品(yield)等等的信息。在某些實施例中，工程師306可經(jīng)由虛擬無塵室300，直接和客戶304溝通，提出設(shè)計問題和其它關(guān)切。
經(jīng)由虛擬無塵室300，設(shè)計/實驗室設(shè)備308提供可由其它實體存取的IC設(shè)計或測試服務(wù)。設(shè)計/實驗室設(shè)備308可包括計算機系統(tǒng)340，或許多IC設(shè)計和測試工具342。IC設(shè)計和測試工具342可以包括軟件或硬件兩者。
無塵室設(shè)備310使致能上述IC的制造。上述制造過程的許多方面的控制，以及在該制造程序中的數(shù)據(jù)收集，可以經(jīng)由虛擬無塵室300存取。無塵室設(shè)備310可包括計算機系統(tǒng)344和許多制造硬件和軟件工具和設(shè)備346。例如，無塵室設(shè)備310可包括離子注入(ion implantation)工具，化學蒸汽沉淀(chemical vapordeposition)工具，熱氧化(thermal oxidation)工具，噴濺(sputtering)工具，各種光學影像(optical imaging)系統(tǒng)，和用以控制各種工具和儀器的軟件。
當使用者和虛擬無塵室300互動時，他們是經(jīng)由與虛擬無塵室300耦接的計算機系統(tǒng)互動。使用者可以包括客戶，設(shè)計者，工程師，管理者，或想要和上述揭露系統(tǒng)互動，以由其獲得信息的其它人?！笆褂谜摺币辉~不只用于描述上述由系統(tǒng)請求信息的人員，也可用于圖形化描述的上述計算機系統(tǒng)或I/O元件。上述客戶經(jīng)由該計算機系統(tǒng)或I/O元件和該系統(tǒng)互動。
程序312可代表發(fā)生于虛擬無塵室300內(nèi)的任意程序或操作。例如，程序312可為經(jīng)由服務(wù)系統(tǒng)302，由客戶304接收或填入IC訂單的訂單程序。無塵室設(shè)備310內(nèi)執(zhí)行的制造程序，由工程師306執(zhí)行，使用設(shè)計/實驗室設(shè)備308的設(shè)計程序，或幫助各種實體302至312間的溝通協(xié)議。
上述虛擬無塵室300的實體302至312，和他們描述的相互連結(jié)，只為圖示目的。例如，可以看到更多或更少實體可存在于虛擬無塵室300。該實體可以為內(nèi)部或外部兩者，且某些實體可整合入其它實體或分散。例如，服務(wù)系統(tǒng)302可分散于多個實體306至312。程序312可包括制造儀器，或其它耦接到通訊網(wǎng)路314的非儀器相關(guān)制造步驟。程序312步驟之間的時間可以參照等候時間。該等候時間可以包括儲存于數(shù)據(jù)庫的多個值。該相關(guān)于程序312步驟的等候時間可經(jīng)由通訊網(wǎng)路314存取，并且可由客戶304的計算機系統(tǒng)336和/或工程師306的計算機系統(tǒng)338分別分析。
參照圖4，于其它實施例中，顯示了為了抽取信息或提供不同信息組間關(guān)系的制造系統(tǒng)400。系統(tǒng)400的通訊網(wǎng)路314可耦接到多個內(nèi)部實體(未圖標)或外部實體(未圖標)，用以匯集相關(guān)信息的概念數(shù)據(jù)庫。該信息根據(jù)使用者或代理器組的詢問而提供。系統(tǒng)400的實體包括至少一組輸入/輸出401(I/O)，代理器402到N(代理器402～N)和矩陣410。矩陣410可包括索引412～X內(nèi)，帶有多個概念樹構(gòu)造的多個索引412到X(索引412～X)。
I/O 401可包括至少一組內(nèi)部或外部實體，用以和代理器402～N或矩陣410互動。I/O 401可包括多個電子元件或其它軟件程序，用以和代理器402～N或矩陣410互動。I/O 401可提供搜索信息給代理器402～N。
代理器402～N可每個包括多個軟件程序，用以抽取信息。代理器402～N可以包括根據(jù)關(guān)鍵詞的搜索引擎，統(tǒng)計樣式，或其它變量。代理器402～N可經(jīng)由通訊網(wǎng)路314或任何內(nèi)部或外部實體(例如，虛擬無塵室102，200或300的實體)互動。代理器402～N可以合作方式，并列(parallel)方式或各自方式操作信息。代理器402～N可更耦接到矩陣410。代理器402～N可位于系統(tǒng)400內(nèi)的許多位置，且由任何接口，端點，PDA，或無線元件可提供指令。代理器402～N可由使用者，客戶，工程師，或可存取虛擬無塵室102，200，和300的其它實體產(chǎn)生。代理器402～N可操作指令或信息，包括關(guān)鍵詞，數(shù)據(jù)庫詢問，自動化工作，程序工作，或事件序列。代理器402～N可包括階級信息，其中單獨或多個代理器402～N可包括相對于其它代理器402～N的更高優(yōu)先級。代理器402～N間的溝通經(jīng)由虛擬無塵室102，200，和300，經(jīng)由通訊網(wǎng)路314，經(jīng)由矩陣410，或直接由代理器間發(fā)生。
矩陣410可包括多個索引412～X。多個概念樹構(gòu)造可存在于每個索引412～X。代理器402～N可以單獨或叢集(cluster)方式，和任何412～X互動。該互動方式可為序列，并列，或合作方式。矩陣410的索引412～X內(nèi)的樹構(gòu)造可包括多個數(shù)據(jù)領(lǐng)域。該數(shù)據(jù)領(lǐng)域相關(guān)于代理器402～N提供的信息。402～N提供的信息或數(shù)據(jù)可包括半導體元件電性數(shù)據(jù)，制程數(shù)據(jù)，制造流程數(shù)據(jù)，或任何虛擬無塵室102，200，和300內(nèi)可用的可錄制信息。
矩陣410可由概念關(guān)系提供群組，其中概念可包括指定概念，關(guān)鍵詞，或可輸入相關(guān)統(tǒng)計關(guān)聯(lián)信息叢集。概念可于矩陣410內(nèi)以規(guī)則發(fā)展。該規(guī)則可由代理器402～N指派到索引412～X，或任何矩陣410內(nèi)樹構(gòu)造的元件。信息或數(shù)據(jù)可由代理器402～N加入矩陣410。
矩陣410可根據(jù)多個質(zhì)詢進化，或可根據(jù)上述概念的擴張，或經(jīng)由系統(tǒng)400發(fā)展的知識，在接下來的質(zhì)詢允許數(shù)據(jù)或信息存取。上述信息可根據(jù)可由代理器402～N或由可由統(tǒng)計相關(guān)和上述指定規(guī)則隨意結(jié)合決定的矩陣410，指定的概念動態(tài)群組。例如，應(yīng)用規(guī)則可相關(guān)于特定程序如同金屬氧化化學蒸汽沉淀(metal oxide chemical vapor deposition，MOCVD)，(atomiclayer deposition，ALD)，(physical vapor deposition，PVD)，(chemical vapor deposition，CVD)，(chemical mechanicalpolishing或chemical mechanical planarization，此后全部稱為CMP)，或其它制程，其中概念可訂定以代表薄膜厚度，記量組成，制程周期時間，產(chǎn)品成品，粒子數(shù)量，或?qū)嵤├心┒顺绦螂娮釉匦蚤g相關(guān)。其它規(guī)則可應(yīng)用于許多不同制程，方法和實現(xiàn)。規(guī)則可由上述根據(jù)統(tǒng)計相關(guān)的樹構(gòu)造統(tǒng)計凝集而產(chǎn)生。指定規(guī)則可更幫助建立矩陣410內(nèi)的概念產(chǎn)生。
矩陣410包括開放可存取接口，其中數(shù)據(jù)或信息可于矩陣410的索引412～X內(nèi)被加入或更改。索引412～X可包括可由代理器402～N，實體202和216(如圖2)定義的多個概念種類。矩陣410可由觀察，認知，或由上述代理器402～N或虛擬無塵室200的實體202和216，提供數(shù)據(jù)或信息的新種類辨別，制造索引412～X。
在操作上，使用者(無顯示)可經(jīng)由上述代理器402～N(例如，代理器404)之一執(zhí)行質(zhì)詢。例如，如果上述使用者對“鍺(germanium)當作基底”的主題感興趣，代理器404將先存取矩陣410已決定是否矩陣410包括相關(guān)上述主題的索引，上述主題“鍺當作基底”的數(shù)據(jù)可經(jīng)由代理器404，響應(yīng)給上述使用者。如果矩陣410沒有包括相關(guān)上述主題的索引，代理器404可詢問一或更多外部主題N(例如，“鍺當作基底”)。未來的使用者然后可直接由矩陣410，而不需存取外部數(shù)據(jù)庫，存取新主題N上的信息。
參照圖5，于另外的實施例中，顯示為矩陣410(見圖4)的代理器402～N的上述主要元件的圖500。圖500顯示上述群組或概念502～506的形成。概念502～506可包括統(tǒng)計數(shù)據(jù)，關(guān)鍵詞，或其它信息。概念502～506可由代理器402～N，實體202和216(圖2)，或矩陣410分派。概念502～506可由上述共同數(shù)據(jù)或信息的凝集產(chǎn)生，其中的樹構(gòu)造508～512可包括多個概念或統(tǒng)計相關(guān)信息。樹構(gòu)造508～512決定概念502～506的結(jié)論，或可于矩陣410內(nèi)發(fā)展概念502～506。概念502～506可更相互相關(guān)，且可更與上述多個索引412～X相關(guān)。概念502～506可由實體202或216檢視。概念502～506可根據(jù)上述舊信息或上述添加新信息，和由代理器402～N而來的數(shù)據(jù)，修正自動改變，或可由授權(quán)內(nèi)部和外部使用者(例如，上述實體202或216的使用者)人工改變。
現(xiàn)在參考圖6A至圖6C的流程圖，在另外的實施例中，顯示為方法600可于圖1的系統(tǒng)100內(nèi)執(zhí)行。方法600由矩陣410或代理器402～N(圖4)提供信息傳遞，也以矩陣410或代理器402～N，更新和同步虛擬無塵室200(見圖2)的實體202，216。
方法600由步驟602起始，其中矩陣410，索引412～X，概念502～506，和樹構(gòu)造508～512可于虛擬無塵室102，200，或300內(nèi)建立。
步驟604可提供由矩陣410而來的關(guān)聯(lián)，或例外規(guī)則的上述分派，其中上述規(guī)則可由虛擬無塵室102，200，或300的實體202和216分派。上述規(guī)則可包括相關(guān)于制程，電性參數(shù)，或任何可由矩陣410同化的其它信息概念的指派。上述基本規(guī)則的制造可允許匯集多個由步驟606的數(shù)據(jù)或信息構(gòu)成的基礎(chǔ)樹構(gòu)造。該基礎(chǔ)樹構(gòu)造可包括多個基礎(chǔ)概念或總體特性。
在步驟608中，代理器402～N可產(chǎn)生與矩陣410或?qū)嶓w202和216接口。代理器402～N可為可收集或傳輸信息的硬件或軟件程序，且可由使用者或?qū)嶓w202和216接收指令。代理器402～N可提供矩陣410數(shù)據(jù)或信息，其中上述樹構(gòu)造根據(jù)上述提供的數(shù)據(jù)或信息，在寬度上進化。數(shù)據(jù)或信息可由代理器402～N不斷更新到矩陣410，其中數(shù)據(jù)或信息可由各種來源提供。該來源可包括在虛擬無塵室102，200，和300內(nèi)的數(shù)據(jù)庫，如同位于半導體制造系統(tǒng)或客戶數(shù)據(jù)庫內(nèi)外部的多個數(shù)據(jù)系統(tǒng)?；蛘?，來源可包括因特網(wǎng)內(nèi)的數(shù)據(jù)庫或搜索引擎，如同信息服務(wù)提供者(information service providers，以下皆稱為ISP)或加值數(shù)據(jù)庫(value added database，以下皆稱為VAD)，如同LEXIS-NEXIS(http//www.lexis.com)，GOOGLE(http//www.google.com)，或任何其它因特網(wǎng)或內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)為基礎(chǔ)的搜索引擎數(shù)據(jù)庫，網(wǎng)站，或網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器。步驟610的代理器402～N可經(jīng)由矩陣410投射，以提供概念樹或構(gòu)造間的比較分析。代理器402～N可于虛擬無塵室102，200，和300的多個數(shù)據(jù)庫或搜索引擎內(nèi)，比較數(shù)據(jù)或信息構(gòu)造。
在任何時刻，實體202和216可在步驟612，以合作式地，并列式地，或串行式地提供詢問至代理器402～N。詢問可更由代理器402～N提供，其中上述規(guī)則可以進化或觸發(fā)例外規(guī)則。該規(guī)則和和矩陣410耦接。該例外規(guī)則由步驟614中的實體202和216設(shè)定。上述例外規(guī)則可以包括提供數(shù)據(jù)或信息的特定組。該數(shù)據(jù)或信息可以缺席于特定時間。而該特定時間可以相關(guān)于特定概念502～506。另外，例外規(guī)則可相關(guān)于概念502～506。上述概念502～506提供統(tǒng)計上的重要概念，其于矩陣410內(nèi)決定。
在步驟614，代理器402～N可提供統(tǒng)計相關(guān)矩陣410數(shù)據(jù)或信息，經(jīng)由虛擬無塵室102，200和300，到實體202或216。統(tǒng)計相關(guān)矩陣410數(shù)據(jù)可以包括重要概念502～506。該重要概念502～506經(jīng)由樹構(gòu)造508～512和概念502～506的結(jié)合，由矩陣410決定。
在步驟616，實體202和216的詢問經(jīng)由代理器402～N，可以決定這里可以沒有相對應(yīng)的同源數(shù)據(jù)或信息。該同源數(shù)據(jù)或信息由矩陣410制造。矩陣410內(nèi)的同源信息的存在可以導致通知的發(fā)出。該通知發(fā)出給上述信息的使用者或?qū)嶓w202和216。然而，如果相對應(yīng)同源的數(shù)據(jù)或信息缺席，則上述詢問的程序可由矩陣410或代理器402～N繼續(xù)。
在步驟618，上述詢問經(jīng)由到矩陣410的代理器402～N，可寄出到其它代理器402～N。該其它代理器402～N耦接于其它ISP。
在步驟620，上述詢問可以經(jīng)由ISP，VAD，或虛擬無塵室102，200和300的實體202和216投射，以比較矩陣410的樹構(gòu)造508～512。數(shù)據(jù)或信息可由上述ISP和VAD收集，以整合入矩陣410的概念502～506的樹構(gòu)造508～512。當矩陣410擴張，新的索引412～X可以由矩陣410產(chǎn)生或互相關(guān)聯(lián)。該索引可以經(jīng)由統(tǒng)計重要性測試，或已知方法產(chǎn)生。
在步驟622，代理器402～N可由矩陣410提供數(shù)據(jù)或信息，或矩陣410的樹構(gòu)造508～512內(nèi)比較的幫忙詢問，關(guān)于由ISP，VAD，或虛擬無塵室102，200，300的實體202和216的上述數(shù)據(jù)或信息。
相對應(yīng)于概念502～506或矩陣410的樹構(gòu)造508～512的其它數(shù)據(jù)或信息在步驟624接收，上述詢問數(shù)據(jù)或信息可經(jīng)由代理器402～N寄送，已在步驟626中結(jié)合矩陣410的樹構(gòu)造508～512。在上述相關(guān)數(shù)據(jù)或信息的注入矩陣410之后，代理器402～N可存取矩陣410，其中同源數(shù)據(jù)或信息可經(jīng)由概念502～506或樹構(gòu)造508～512而匯集。
上述如同于矩陣410匯集的數(shù)據(jù)，用步驟628，可回饋到代理器402～N，其中上述匯集數(shù)據(jù)或信息可由使用者和步驟630中的虛擬無塵室102，200，300的實體202和216接收。
如同圖6C顯示，在其它實施例中，上述方法600可更包括，同步代理器402～N，矩陣410，和虛擬無塵室102，200或300的實體202和216的步驟。圖6C的方法600可包括，和圖6A相同的步驟602到步驟610。步驟632到步驟646顯示用以同步系統(tǒng)100的實施例的方法。同步可包括給其它實體，關(guān)于動作的初始或完成的通知，以及，給系統(tǒng)100的改變通知。
同步化方法600可于步驟602初始，其中矩陣410，索引412～X，概念502～506，或樹構(gòu)造508～512可建立在虛擬無塵室102，200，或300之內(nèi)。
步驟604可提供為了上述針對矩陣410的相關(guān)規(guī)則的分派，其中上述規(guī)則可由虛擬無塵室102，200，或300的實體202或216分派。該規(guī)則可包括相關(guān)于制程，電性參數(shù)，或矩陣410內(nèi)類似的其它信息的概念分派。
上述基礎(chǔ)規(guī)則的產(chǎn)生，于步驟606中，可允許包括數(shù)據(jù)或信息的多個基礎(chǔ)樹構(gòu)造508～512。該基礎(chǔ)樹構(gòu)造508～512可包括多個基礎(chǔ)概念，和整體特性。
在步驟608中，代理器402～N可被產(chǎn)生。該代理器402～N可界面于矩陣410，和實體202和216間。代理器402～N可包括可由或傳輸信息的硬件和軟件程序，或可由實體202或216接收指令。當樹構(gòu)造508～512根據(jù)上述提供的數(shù)據(jù)或信息，在廣度上演進，代理器402～N可以提供帶有上述信息和數(shù)據(jù)的矩陣410。數(shù)據(jù)或信息可以從許多來源，由代理器402～N提供到矩陣410。該來源可以包括虛擬無塵室102，200，或300內(nèi)的數(shù)據(jù)庫。這些數(shù)據(jù)庫位于半導體制造系統(tǒng)的許多內(nèi)部信息系統(tǒng)，或外部信息形式。該外部信息形式可以為客戶的數(shù)據(jù)庫?；蛘撸瑏碓纯砂〝?shù)據(jù)庫，搜索引擎，網(wǎng)站，或網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器。這些來源可由上述因特網(wǎng)存取，例如，信息服務(wù)提供者ISP，VAD，和其它因特網(wǎng)或內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)為基礎(chǔ)的搜索引擎或數(shù)據(jù)庫。
步驟610的代理器402～N可經(jīng)由矩陣410投射，以提供概念樹數(shù)據(jù)或構(gòu)造間的比較分析。代理器402～N可比較數(shù)據(jù)或信息關(guān)于虛擬無塵室102，200，和300的多個數(shù)據(jù)庫或搜索引擎內(nèi)。
在步驟632中，上述VAD，ISP，或?qū)嶓w202和216可提供更新信息或經(jīng)由代理器402～N，以新的或更新的信息和矩陣410同步。
在步驟634中，上述VAD，ISP，或?qū)嶓w202和216經(jīng)由代理器402～N，可提供任何改變的通知或到矩陣410的插入。
由VAD，ISP或?qū)嶓w202和216而來的通知，可沿續(xù)傳送，或和步驟636的代理器402～N同步。
在步驟638中，矩陣410可以與代理器402～N同步。這個同步可以對于改變通知，或矩陣410內(nèi)的改變通知。該矩陣410內(nèi)的改變通知可以由該信息，數(shù)據(jù)，和同源數(shù)據(jù)或信息產(chǎn)生。
在步驟640中，允許代理器402～N和矩陣410互動，用以同步由VAD，ISP，或虛擬無塵室102，200，或300中實體202和216接收的信息，或由使用者或其它虛擬無塵室102，200，或300中的實體202和216詢問信息。
數(shù)據(jù)或信息可在步驟642中，由代理器402～N或矩陣410驗證，其中包括上述接收者的驗證通知的傳送。
在步驟644中，驗證可由矩陣410提供到代理器402～N。
在步驟646中，初始詢問到代理器402～N的使用者和實體202和216，可經(jīng)由代理器402～N，將驗證和通知同步。在實施例中，矩陣410的更新在由代理器402～N來的全新或更新信息接收時，由矩陣410或代理器402～N自動提供。
在另外實施例中，矩陣410的更新可由使用者，或?qū)嶓w202和216人工提供，其中從代理器402～N而來的新增或更新信息可被接收。在上述新增或更新信息提供到矩陣410之前，使用者或?qū)嶓w202和216可接受，或拒絕上述全新或更新信息。
現(xiàn)在參照圖7，700顯示內(nèi)部實體202和外部實體216可與圖1的系統(tǒng)100互動的界面實施例。這里了解的是許多界面可表示為圖1中的系統(tǒng)100。
如同顯示的，700包括加載按鍵702，儲存按鍵704，詢問按鍵706，移除按鍵708，檢查按鍵710，寄送按鍵712，新增按鍵714，復制按鍵716，和替換按鍵718。該線上界面700也可包括提供該客戶工作請求配置和出掩膜板的樣版720。該樣版720可在該設(shè)計過程，由工作請求的規(guī)格更新，以確定該工作請求為正確的。另外，該工作請求系統(tǒng)規(guī)格可在該工作請求的配置完成之后，應(yīng)用于該樣版720。該樣版720可更代表瀏覽器屏幕，多個選擇屏幕，和經(jīng)由系統(tǒng)100的代理器402～N和矩陣410可操作的實時工作請求追蹤或選擇屏幕。
702，704提供給上述使用者，代理器402～N，或任何其它有該加載數(shù)據(jù)或信息的選項，和經(jīng)由虛擬無塵室300，從系統(tǒng)100抽取信息的實體202和216。詢問按鍵706可以寄送多個指令到代理器402～N，初始上述詢問。該移除按鍵708將該使用者，或?qū)嶓w202和216置于致能狀態(tài)，用以移除由系統(tǒng)100來的信息。該檢查按鍵710將上述使用者或?qū)嶓w202和216置于致能狀態(tài)，用以執(zhí)行驗證方法，代理器402～N和矩陣410的狀態(tài)。寄送按鍵712將上述使用者或?qū)嶓w202和216置于致能狀態(tài)，經(jīng)由虛擬無塵室102，200或300，用以寄送數(shù)據(jù)或信息，到其它實體202和216。
該新增按鍵714可用以寄送和接收電子郵件通知到代理器組104。該復制按鍵716可將上述使用者或?qū)嶓w202和216置于致能狀態(tài)，用以復制數(shù)據(jù)或信息由通訊網(wǎng)路314(例如，詢問指令，詢問結(jié)果，概念信息，等等)內(nèi)的多個數(shù)據(jù)庫。該替換按鍵718可將該選取的元件置于致能狀態(tài)，以由另外的元件替換。
這里要了解該按鍵和功能只為顯示，且許多其它按鍵和功能可被提供。例如，由點選鼠標按鍵(未圖標)或由使用鍵盤(未圖標)，內(nèi)容導向(content sensitive)選單可被選取。據(jù)上所述，該線上界面700可如同所想要的，延伸其功能及加強上述使用者或?qū)嶓w202和216的支持而加以改變。
參考圖8，在某些實施例中，顯示的是系統(tǒng)800。系統(tǒng)800包括使用者802，第一智能型代理器804，知識樹806，第二智能型代理器808，外部數(shù)據(jù)庫810，和外部知識樹812。顯示的虛線820分割內(nèi)部部分(802，804，806，和808)和外部部分(810和812)。如同顯示，使用者802為數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)800內(nèi)部，而在另外的實施例中，使用者802則為外部。圖8和圖9中，該使用者一詞不只作為上述由系統(tǒng)請求信息的人員，也當作計算機系統(tǒng)或元件，或由上述系統(tǒng)，經(jīng)由其詢問，響應(yīng)和其它信息可寄送或接收的元件。
在操作中，使用者802可能對學習一種信息，或存取數(shù)據(jù)，例如牽涉要用哪種摻雜物在硅上感興趣。使用者802寄送詢問到第一智能型代理器804，如箭頭822。第一智能型代理器804和知識樹806比較上述詢問，如果數(shù)據(jù)存在的話，用以決定是否上述數(shù)據(jù)或信息可由知識樹806存取，如同箭頭824所示。如果上述數(shù)據(jù)或信息存在，知識樹806將寄送該請求的數(shù)據(jù)和信息，到第一智能型代理器804，如同箭頭826所示。
如果第一智能型代理器804有接收到足夠的數(shù)據(jù)，上述程序?qū)Y(jié)束，且第一智能型代理器804寄送上述結(jié)果到使用者802，如圖箭頭840所示。另外，數(shù)據(jù)或信息可由知識樹806直接寄送到使用者802，如同箭頭842所示。
如果第一智能型代理器804沒有接收到足夠的數(shù)據(jù)，第一智能型代理器804將寄送詢問到第二智能型代理器808，如同箭頭828所示。第二智能型代理器808接著可以由外部數(shù)據(jù)庫810，或外部知識樹812，請求上述數(shù)據(jù)或信息，如同箭頭830和箭頭832所示。合適的外部數(shù)據(jù)庫和外部知識樹包括LEXIS-NEXIS(http//www.lexis.com)，GOOGLE(http//www.google.com)，YAHOO(http//www.yahoo.com)，United States Patent andTrademark Office databases(http//www.uspto.gov)，academic and professional journals，European Patent Officedatabases(http//ep.espacenet.com/)，World IntellectualProperty Organization databases(http//www.wipo.org/)，或其它私人或公眾網(wǎng)站，網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器，或數(shù)據(jù)庫。
外部數(shù)據(jù)庫810寄送上述結(jié)果到第二智能型代理器808，如箭頭834所示。外部知識樹812寄送該結(jié)果到第二智能型代理器808，如箭頭836所示。第二智能型代理器808匯集上述由外部數(shù)據(jù)庫810和外部知識樹812而來的結(jié)果，且提供上述結(jié)果到第一智能型代理器804，如箭頭838所示。第一智能型代理器804將結(jié)果交給使用者802，如箭頭840所示。如顯示，第二智能型代理器804和第二智能型代理器808為系統(tǒng)800的兩個不同部分。在其它實施例中，上述第一智能型代理器804和第二智能型代理器808的功能，可由單獨中介執(zhí)行。
參照圖9，在另外的實施例中，顯示用以更新知識樹的系統(tǒng)900。系統(tǒng)900包括使用者902，第一智能型代理器904，知識樹906，第二智能型代理器908，外部數(shù)據(jù)庫910，和外部知識樹912。虛線920分割內(nèi)部部分和外部部分。如同顯示，使用者902為系統(tǒng)900內(nèi)部。而在另外的實施例中，使用者902為系統(tǒng)900外部。
在操作上，外部數(shù)據(jù)庫910或外部知識樹912以新的數(shù)據(jù)或信息更新。如同箭頭924和箭頭922顯示，該更新送到第二智能型代理器908。箭頭928寄送相關(guān)更新(例如，對使用者902有興趣的)到第一智能型代理器904，如箭頭926。第一智能型代理器904提供上述更新到知識樹906，如箭頭928，所以知識樹內(nèi)的主題可改變或根據(jù)該更新改變。上述新增或改變的主題，寄回第一智能型代理器904，如箭頭930顯示，且然后寄到使用者902，如箭頭932所示。
如同顯示的，根據(jù)外部更新，知識樹906自動由第一智能型代理器904更新。在另外的例子中，使用者902由第一智能型代理器904接收所提議的改變到知識樹906，且使用者902可接受或拒絕上述所提議的改變。以這種方法，使用者902可濾掉錯誤信息。
因此，本發(fā)明實施例加入用以儲存和存取信息的系統(tǒng)。在實施例中，上述系統(tǒng)可包括第一內(nèi)部智能型代理器，連接到該內(nèi)部智能型代理器的內(nèi)部知識樹，和包括至少一個外部數(shù)據(jù)庫和外部知識樹的外部數(shù)據(jù)源。上述系統(tǒng)也可包括內(nèi)部智能型代理器。該內(nèi)部智能型代理器，在存取上述外部數(shù)據(jù)源以提供信息之前，可以詢問上述內(nèi)部知識樹。
在一個實施例中，用以儲存和存取信息的揭露系統(tǒng)，包括內(nèi)部智能型代理器，和連接到上述內(nèi)部智能型代理器的內(nèi)部知識樹。一個外部數(shù)據(jù)源由群組做選擇。該群組包括外部數(shù)據(jù)庫，和外部知識樹。在存取該外部數(shù)據(jù)源以提供信息之前，該內(nèi)部智能型代理器詢問該內(nèi)部知識樹。上述系統(tǒng)也可包括連接到該內(nèi)部智能型代理器的使用者。該系統(tǒng)也可包括授權(quán)的外部使用者。該外部使用者連接到該內(nèi)部智能型代理器。上述系統(tǒng)更可以安裝于半導體制造系統(tǒng)內(nèi)。
在另一個實施例中，本揭露提供存取請求信息，包括詢問內(nèi)部知識樹，用以請求信息的方法。上述方法也可詢問外部知識源，作為該請求信息沒被上述內(nèi)部數(shù)據(jù)樹接收的提醒。該方法也可包括，用該外部知識來源接收的信息，更新上述內(nèi)部知識樹。上述方法也可包括，匯集由該內(nèi)部知識樹接收的上述請求信息，和上述外部數(shù)據(jù)源，到一組信息。該方法更包括提供上述組信息給使用者，其中該使用者可以包括內(nèi)部使用者。不然，該使用者也可以包括外部使用者。
在一個實施例中，本發(fā)明揭露提供更新內(nèi)部知識樹的方法。該方法包括由外部來源接收數(shù)據(jù)片段。如果該數(shù)據(jù)片段和該內(nèi)部數(shù)據(jù)樹相關(guān)，且使用該數(shù)據(jù)片段更新該內(nèi)部數(shù)據(jù)樹，上述方法也可以提供給上述決定。該方法可更包括提供更新該知識樹的通知給使用者。在實施例中，該方法也包括允許該使用者決定是否用該數(shù)據(jù)片段更新該知識樹。
在另外一個實施例中，本揭露包括為了抽取信息，和提供半導體制造環(huán)境中，不同信息組之間的關(guān)系的系統(tǒng)。該系統(tǒng)可包括第一群組指令，用以建立帶有多個實體的虛擬無塵室，第二群組指令，用以建立代理器組，以及第三群組指令，用以建立矩陣。該系統(tǒng)可提供給矩陣和上述虛擬無塵室的多個內(nèi)部和外部實體相互混和，且由該代理器組作為接口，及一個或多個存儲器來儲存該第一，第二，或第三群組指令。該系統(tǒng)可更包括一個或多個處理器，用以連接該一個或多個存儲器，以及執(zhí)行該第一，第二，或第三群組指令。
另外一個方法實施例，用以儲存和存取信息。這個實施例可包括方法，其包括提供第一內(nèi)部智能型代理器。該方法也可提供用以維持內(nèi)部知識樹，連接到該第一內(nèi)部智能型代理器。該方法也可提供外部數(shù)據(jù)源，包括至少一個外部數(shù)據(jù)庫和外部知識樹。在存取該外部數(shù)據(jù)源以提供信息之前，該方法可更提供內(nèi)部智能型代理器，用以使致能詢問該內(nèi)部知識樹。
另外一個實施例，用以更新內(nèi)部知識樹的方法，可包括，由外部來源接收數(shù)據(jù)，然后決定是否該數(shù)據(jù)和該內(nèi)部知識樹相關(guān)，且然后用該相關(guān)數(shù)據(jù)更新該內(nèi)部知識樹的步驟。該方法可更包括提供該內(nèi)部知識樹的上述更新的通知給使用者。
本揭露也提供一種系統(tǒng)，用以抽取信息指令，和提供半導體制造環(huán)境內(nèi)，不同信息組間關(guān)系。該系統(tǒng)可包括第一群組指令，用以建立帶有多個實體的虛擬無塵室。該實體也可包括第二群組指令，用以建立代理器組，以及第三群組指令，用以建立矩陣。該矩陣和上述虛擬無塵室的多個內(nèi)部和外部實體相互混和，且由該代理器組作為接口，及一個或多個存儲器來儲存該第一，第二，或第三群組指令。
以上所示提供許多不同實施例及實現(xiàn)不同本發(fā)明特點的實施例。這里描述了特定實施例的元件和過程以幫助了解本發(fā)明。這些只是實施例，并非用以限定本發(fā)明。
以上所述僅為本發(fā)明較佳實施例，然其并非用以限定本發(fā)明的范圍，任何熟悉本項技術(shù)的人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可在此基礎(chǔ)上做進一步的改進和變化，因此本發(fā)明的保護范圍當以本申請的權(quán)利要求書所界定的范圍為準。
附圖中符號的簡單說明如下100系統(tǒng)102虛擬無塵室104代理器組106矩陣200虛擬無塵室202內(nèi)部實體212通訊網(wǎng)路214服務(wù)器216外部實體222中央處理器224存儲器單位226輸入/輸出元件228外部接口230總線系統(tǒng)240有線或無線連結(jié)242中間網(wǎng)絡(luò)300虛擬無塵室302服務(wù)系統(tǒng)304客戶
306工程師308設(shè)計/實驗室設(shè)備310無塵室設(shè)備312程序314網(wǎng)絡(luò)316服務(wù)系統(tǒng)人員318后勤系統(tǒng)320客戶接口322計算機系統(tǒng)324WIP存貨系統(tǒng)326產(chǎn)品數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)328貨批管理系統(tǒng)330制造執(zhí)行系統(tǒng)332線上系統(tǒng)334訂單管理系統(tǒng)336計算機系統(tǒng)338計算機系統(tǒng)340計算機系統(tǒng)342IC設(shè)計和測試工具344計算機系統(tǒng)346工具和設(shè)備400系統(tǒng)401I/O402～N代理器410矩陣412～X索引502～506概念
508～512樹構(gòu)造600方法602～646步驟700線上界面702加載按鍵704儲存按鍵706詢問按鍵708移除按鍵710檢查按鍵712寄送按鍵714新增按鍵716復制按鍵718替換按鍵720樣版800系統(tǒng)802使用者804智能型代理器一806知識樹808智能型代理器二810外部數(shù)據(jù)庫812外部知識樹820虛線822～842箭頭900系統(tǒng)902使用者904智能型代理器一906知識樹
908智能型代理器二910外部數(shù)據(jù)庫912外部知識樹920虛線922～932箭頭
權(quán)利要求
1.一種信息儲存及存取系統(tǒng)，所述信息儲存及存取系統(tǒng)包括第一內(nèi)部智能型代理器；內(nèi)部知識樹，連接到該第一內(nèi)部智能型代理器；以及外部數(shù)據(jù)源，包括至少一個外部數(shù)據(jù)庫和外部知識樹，在存取該外部數(shù)據(jù)源以提供信息之前，該第一內(nèi)部智能型代理器詢問該內(nèi)部知識樹。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信息儲存及存取系統(tǒng)，其特征在于更包括第二內(nèi)部智能型代理器，耦接到該第一內(nèi)部智能型代理器，用以從該外部數(shù)據(jù)源詢問信息，該第一內(nèi)部智能型代理器用以從該內(nèi)部知識樹詢問信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信息儲存及存取系統(tǒng)，其特征在于更包括內(nèi)部使用者輸入輸出元件，連接到該第一內(nèi)部智能型代理器，用以使得使用者寄送和接收信息。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信息儲存及存取系統(tǒng)，其特征在于更包括一個授權(quán)外部使用者輸入輸出元件，連接到該第一內(nèi)部智能型代理器，用以使得一外部使用者寄送和接收信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的信息儲存及存取系統(tǒng)，其特征在于上述第一內(nèi)部智能型代理器和內(nèi)部知識樹安裝于半導體制造系統(tǒng)。
6.一種信息儲存及存取方法，執(zhí)行于一計算機系統(tǒng)中，所述信息儲存及存取方法包括提供第一內(nèi)部智能型代理器；維護連接到該第一內(nèi)部智能型代理器的一內(nèi)部知識樹；以及提供外部數(shù)據(jù)源，包括至少一個外部數(shù)據(jù)庫和外部知識樹，在存取該外部數(shù)據(jù)源以提供信息之前，該第一內(nèi)部智能型代理器詢問該內(nèi)部知識樹。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的信息儲存及存取方法，其特征在于更包括提供第二內(nèi)部智能型代理器，耦接到該第一內(nèi)部智能型代理器，用以從該外部數(shù)據(jù)源詢問信息，該第一內(nèi)部智能型代理器用以從該內(nèi)部知識樹詢問信息。
8.一種內(nèi)部知識樹的更新方法，執(zhí)行于計算機系統(tǒng)中，所述內(nèi)部知識樹的更新方法包括由外部數(shù)據(jù)源，接收一數(shù)據(jù)片段；決定是否該數(shù)據(jù)片段和該內(nèi)部知識樹相關(guān)；以相關(guān)的該數(shù)據(jù)片段，更新該內(nèi)部知識樹；以及提供該內(nèi)部知識樹的更新通知給使用者。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的內(nèi)部知識樹的更新方法，其特征在于更包括允許該使用者決定是否以該數(shù)據(jù)片段，更新該內(nèi)部知識樹。
10.一種信息抽取系統(tǒng)，用以提供在半導體制造環(huán)境中，不同信息組之間的關(guān)系，所述信息抽取系統(tǒng)包括第一群組指令，用以建立帶有多個實體的虛擬無塵室；第二群組指令，用以建立代理器組；第三群組指令，用以建立矩陣，該矩陣和上述虛擬無塵室的多個內(nèi)部和外部實體相互混和，且由該代理器組作為接口；以及一個或多個存儲器，用以儲存該第一、第二或第三群組指令。
全文摘要
本發(fā)明提供一種信息存取方法和系統(tǒng)、內(nèi)部知識樹更新方法、信息抽取系統(tǒng)，具體涉及一種計算機系統(tǒng)和處理方法，用以儲存和存取信息。所述系統(tǒng)包括內(nèi)部智能型代理器、連接到第一內(nèi)部智能型代理器的內(nèi)部知識樹、以及外部數(shù)據(jù)源。該內(nèi)部智能型代理器，在存取該外部數(shù)據(jù)源以提供信息之前，詢問該內(nèi)部知識樹。
文檔編號G06N5/02GK1716525SQ20051007252
公開日2006年1月4日 申請日期2005年5月20日 優(yōu)先權(quán)日2004年5月18日
發(fā)明者劉貞維, 杜維武, 陳君儀, 李月青 申請人:臺灣積體電路制造股份有限公司