專利名稱：半導(dǎo)體制造的數(shù)據(jù)追蹤方法與系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造的數(shù)據(jù)追蹤方法與系統(tǒng)，特別是涉及一種半 導(dǎo)體制造中利用數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的子母分批追蹤的方法與系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體的晶片制造主要包括產(chǎn)生新批的分批作業(yè)(Split Lot)、將母/ 子批或同產(chǎn)品合并的并批作業(yè)(Merge Lot)、判定重工流程的重工作業(yè) (Rework Lot)等操作。
在分批作業(yè)處理中，子母分批追蹤方法(Split Lot Tracking)是半導(dǎo) 體廠內(nèi)生產(chǎn)控制與工藝分析過程中相當(dāng)基本且重要的工作。現(xiàn)行技術(shù)是建立 一個(gè)批量歷史數(shù)據(jù)表格(Lot History Table),并且利用晶片處理當(dāng)時(shí)的 批號(hào)(Lot — ID)與站點(diǎn)(Ope—No)當(dāng)作主鍵(Primary Key)。在每一筆數(shù) 據(jù)中，批號(hào)(Lot —ID)中存放的是實(shí)際分批后的子批號(hào)。部分工藝處理系統(tǒng) 的數(shù)據(jù)庫設(shè)計(jì)會(huì)利用反正規(guī)化的技術(shù)再加上前一站的批號(hào)來執(zhí)行追蹤處理， 但因?yàn)槊恳徽军c(diǎn)會(huì)產(chǎn)生近千筆數(shù)據(jù)，故無法在單一筆數(shù)據(jù)中記錄所有分批的批號(hào)。
如圖3所示，批量歷史數(shù)據(jù)表格100顯示目前晶片處理的批號(hào)與站點(diǎn)， 其定義了 一批量關(guān)鍵號(hào)(Lot—Key—No )與一前 一 批量關(guān)鍵號(hào) (PRE—Lot—Key—No )。該前一批量關(guān)4建號(hào)為一反向指標(biāo)(Backward Pointer )， 用以指向該批量關(guān)鍵號(hào)，當(dāng)要查詢某一子批量時(shí)，則必須根據(jù)該前一批量關(guān) 鍵號(hào)指向的該批量關(guān)鍵號(hào)，往前一批量歷史數(shù)據(jù)表格搜尋。
另外，如圖4所示，包括一主要(Master )批量表格210與一從屬(Slave ) 批量表格220,其是顯示目前晶片處理的批號(hào)與站點(diǎn)，且在從屬批量表格220 中定義了一批號(hào)(Lot-ID)與一終端批號(hào)(TERMINALLOT-ID)。該批號(hào)指向 該終端批號(hào)，用以表示目前批量(對(duì)應(yīng)該批號(hào)的批量)的子批量(對(duì)應(yīng)該終 端批號(hào)的批量)。同樣地，當(dāng)要查詢某一子批量時(shí)，則必須根據(jù)該批號(hào)與該 終端批號(hào)，往前一批量歷史數(shù)據(jù)表格搜尋。
因此，每當(dāng)在查詢凄史凈居庫中的完整分殺匕記錄時(shí)，必須用遞歸(Recursive ) 的方式重復(fù)讀取前一站的批號(hào)， 一直查詢到源頭數(shù)據(jù)為止，使得當(dāng)要查詢其 中一筆分批記錄時(shí)，可能需要查詢近千次才可取得所欲數(shù)據(jù)。上述查詢方式 既復(fù)雜且緩慢，影響線上控制與分析效率甚巨。
因此，本發(fā)明提出了一種半導(dǎo)體制造中利用數(shù)據(jù)倉儲(chǔ)的子母分批追蹤的 方法，可快速且詳細(xì)地查詢到所需的生產(chǎn)數(shù)據(jù)。

發(fā)明內(nèi)容
基于上述目的，本發(fā)明實(shí)施例披露了一種數(shù)據(jù)追蹤方法。讀取一晶片批 量的分批歷史數(shù)據(jù)，并且判斷是否讀取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端。若未 讀取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端，則決定該晶片批量在執(zhí)行一分批處理時(shí) 所需的一最大分批次數(shù)。根據(jù)該最大分批次數(shù)與目前分批次數(shù)決定目前站點(diǎn) 所需建立的虛擬子批數(shù)，并且根據(jù)該所需建立的虛擬子批數(shù)建立一目前站點(diǎn) 的至少一虛擬子批。復(fù)制該虛擬子批的源頭批量的工藝數(shù)據(jù)，以及當(dāng)建立完 該站點(diǎn)的該虛擬子批后，繼續(xù)建立下一站點(diǎn)的虛擬子批。
本發(fā)明實(shí)施例還披露了 一種數(shù)據(jù)追蹤系統(tǒng)，包括一批數(shù)計(jì)算單元與一虛 擬子批建立單元。該批數(shù)計(jì)算單元讀取一晶片批量的分批歷史數(shù)據(jù)，并且判 斷是否讀取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端。若未讀取到該晶片批量的分批數(shù) 據(jù)尾端，則決定該晶片批量在執(zhí)行一分批處理時(shí)所需的一最大分批次數(shù)。該 虛擬子批建立單元根據(jù)該所需建立的虛擬子批數(shù)建立一目前站點(diǎn)的至少一 虛擬子批，并且復(fù)制該虛擬子批的源頭批量的工藝數(shù)據(jù)。


圖1顯示本發(fā)明實(shí)施例的數(shù)據(jù)追蹤方法的步驟流程圖。 圖2顯示本發(fā)明實(shí)施例的數(shù)據(jù)追蹤系統(tǒng)的步驟流程圖。 圖3顯示批量歷史數(shù)據(jù)表格100。
圖4顯示主要(Master )批量表格210與一從屬(Slave )批量表格220。 圖5顯示本發(fā)明實(shí)施例的虛擬批量歷史數(shù)據(jù)表樹Virtual Reality ( VR )
Lot History Table) 320。以及
圖6顯示本發(fā)明實(shí)施例的三角形410中的批量歷史數(shù)據(jù)和三角形420中
的批量歷史數(shù)據(jù)。
附圖符號(hào)說明
500 -數(shù)據(jù)追蹤系統(tǒng) 510-批數(shù)計(jì)算單元 520 -虛擬子批建立單元
具體實(shí)施例方式
為了使本發(fā)明的目的、特征、及優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施 例，并結(jié)合附1~圖6，做詳細(xì)的說明。本發(fā)明說明書提供不同的實(shí)施 例來說明本發(fā)明不同實(shí)施方式的技術(shù)特征。其中，實(shí)施例中的各組件的配置 是為說明之用，并非用以限制本發(fā)明。且實(shí)施例中附圖標(biāo)號(hào)的部分重復(fù)，是 為了簡(jiǎn)化說明，并非意指不同實(shí)施例之間的關(guān)聯(lián)性。
本發(fā)明實(shí)施例披露了 一種半導(dǎo)體制造的數(shù)據(jù)追蹤方法與系統(tǒng)。
參考圖5,在本發(fā)明實(shí)施中，除了原本的批量歷史數(shù)據(jù)表格(Lot History Table)310,另外設(shè)計(jì)了 一個(gè)虛擬批量歷史數(shù)據(jù)表格(Virtual Reality ( VR ) Lot History Table) 320。以下先說明每一表格中的參數(shù)
分批歷史數(shù)據(jù)(Split—History)包括分批后批號(hào)(Cur—Lot_ID)、分 批前批號(hào)(Prev—Lot —ID)與分批時(shí)間(Claim—Time)等參數(shù)。
批量歷史數(shù)據(jù)表格310是存放每一批晶片在每一工藝站執(zhí)行的歷史數(shù)據(jù) (Lot —History ),其定義了批號(hào)(Lot —ID)、站點(diǎn)(0pe_No )、該站完成 時(shí)間(Move—Out—Time )與當(dāng)時(shí)批量(Move_0ut_Waf er—Cnt )等參數(shù)，并且 包括其它相關(guān)生產(chǎn)歷史數(shù)據(jù)(例如執(zhí)行機(jī)臺(tái)、批量、員工代號(hào)、生產(chǎn)參數(shù)... 等等)。
虛擬批量歷史數(shù)據(jù)表格320定義了批號(hào)(Lot — ID)、站點(diǎn)(Ope—No)、 對(duì)應(yīng)執(zhí)4亍站點(diǎn)該站完成時(shí)間(Move—Out-Time)、對(duì)應(yīng)IM亍站點(diǎn)當(dāng)時(shí)的原始 批號(hào)(0rg—Lot — ID )、對(duì)應(yīng)執(zhí)行站點(diǎn)當(dāng)時(shí)的批號(hào)的批量(Move—Out-Wafer-Cnt) 等參數(shù)，并且包括其它相關(guān)生產(chǎn)歷史數(shù)據(jù)(如執(zhí)行機(jī)臺(tái)、批量、員工代號(hào)、 生產(chǎn)參數(shù)…等等)。
虛擬批量歷史數(shù)據(jù)表格320內(nèi)的數(shù)據(jù)會(huì)在每次執(zhí)行分批作業(yè)時(shí)，復(fù)制此 一子批在分批當(dāng)站之前所有站點(diǎn)的詳細(xì)作業(yè)數(shù)據(jù)，并附上原始的批號(hào) (Org—LoUlD),而事實(shí)上該子批并未在之前的站點(diǎn)執(zhí)行過。
再參考圖6,三角形410中的批量歷史數(shù)據(jù)表示某一批晶片從第一站 第七站(Stepl St印7),在經(jīng)過分批作業(yè)后所得的實(shí)際生產(chǎn)歷史數(shù)據(jù) (Lot—History)。三角形420中的批量歷史數(shù)據(jù)表示對(duì)應(yīng)實(shí)際生產(chǎn)數(shù)據(jù)所 產(chǎn)生的虛擬生產(chǎn)數(shù)據(jù)(VR—Lot-History),其中每一虛擬子批數(shù)據(jù)附加一源 頭批量代號(hào)，表示站實(shí)際執(zhí)行時(shí)的批號(hào)。舉例來說，在第一站時(shí)，實(shí)際作業(yè) 時(shí)是以批量A操作，故其子批批量A. 1及A. 2為虛擬子批，且虛擬子批的批 量數(shù)據(jù)與批量A相同。并附加一源頭批量代號(hào)A,即表示該站實(shí)際執(zhí)行時(shí)是 以批量A操作，批量A. 1及A. 2并未操作該站。另外，在第3站時(shí)，批量A 已分批產(chǎn)生批量A. 1，故其子批批量A. 2為虛擬子批，且批量A. 2的批量數(shù) 據(jù)與批量A. l相同。批量A. 2附加一源頭批量代號(hào)A. 1,即表示該站實(shí)際執(zhí) 行時(shí)是以批量A. l操作。以此類推，即可在查詢時(shí)，快速地找到每一子/母 批完整的歷史數(shù)據(jù)。
此外，如前文所述，除了分批處理外，晶片批量亦在分批后執(zhí)行并批處 理，而其虛擬子批的產(chǎn)生與上述流程相同。
圖1顯示本發(fā)明實(shí)施例的數(shù)據(jù)追蹤方法的步驟流程圖。
首先，讀取某一晶片批量的分批歷史數(shù)據(jù)(Split—History)(步驟S1 )， 然后判斷是否讀取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端(End of File, EOF)(步 驟S2)。若是，表示該晶片批量并未執(zhí)行分批處理，則結(jié)束本流程。若否， 則決定該晶片批量在執(zhí)行一分批處理時(shí)所需的最大分批次數(shù)(步驟S3 )。舉 例來說，如圖6所示，該晶片批量在七個(gè)站點(diǎn)執(zhí)行了七道工藝，其最大分批 次數(shù)為2,故虛擬晶片子批最多只需建立至A. 2即可。
接下來，根據(jù)該最大分批次數(shù)與目前分批次數(shù)決定目前站點(diǎn)所需建立的 虛擬子批數(shù)(步驟S4)。舉例來說，如圖6所示，在第四站中，批量A已具 有一子批A. 1，故其只需再建立一虛擬子批。接著，根據(jù)該所需建立的虛擬 子批數(shù)建立目前站點(diǎn)的虛擬子批(步驟S5 ),并且復(fù)制該虛擬子批的一源頭 批量的工藝數(shù)據(jù)(步驟S6)。舉例來說，如圖6所示，在第四站中，若晶片 批量A原本有25片晶片，子批A. 1經(jīng)由分批取得15片晶片，則虛擬子批A. 2 亦為15片晶片且具有與子批A. 1相同的工藝信息。當(dāng)建立完該站點(diǎn)的虛擬 子批后，回到步驟S1繼續(xù)建立下一站點(diǎn)的虛擬子批。
圖2顯示本發(fā)明實(shí)施例的數(shù)據(jù)追蹤系統(tǒng)的步驟流程圖。
本發(fā)明實(shí)施例的數(shù)據(jù)追蹤系統(tǒng)500具有一批數(shù)計(jì)算單元510與一虛擬子
批建立單元520。
批數(shù)計(jì)算單元510讀取某一晶片批量的分批歷史數(shù)據(jù)，然后判斷是否讀 取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端。若是，表示該晶片批量并未執(zhí)行分批處理， 則結(jié)束本流程。若否，則決定該晶片批量在執(zhí)行一分批處理時(shí)所需的最大分 批次數(shù)。接下來，根據(jù)該最大分批次數(shù)與目前分批次數(shù)決定目前站點(diǎn)所需建
立的虛擬子批數(shù)。虛擬子批建立單元520根據(jù)該所需建立的虛擬子批數(shù)建立 目前站點(diǎn)的虛擬子批，并且復(fù)制該虛擬子批的一源頭批量的工藝數(shù)據(jù)。
本發(fā)明實(shí)施例的數(shù)據(jù)追蹤方法建立對(duì)應(yīng)實(shí)際晶片批量的虛擬子批量，并 且每一子批量復(fù)制其源頭批量的工藝相關(guān)信息，以詳細(xì)追蹤并控制所有子母 批的生產(chǎn)數(shù)據(jù)，并且可節(jié)省大量的查詢時(shí)間。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng) 域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的前提下可作各種的更動(dòng)與潤(rùn) 飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以本發(fā)明的權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種數(shù)據(jù)追蹤方法，包括下列步驟讀取一晶片批量的分批歷史數(shù)據(jù)；判斷是否讀取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端；若否，根據(jù)該所需建立的虛擬子批數(shù)建立一目前站點(diǎn)的至少一虛擬子批；復(fù)制該虛擬子批的源頭批量的工藝數(shù)據(jù)；以及當(dāng)建立完該站點(diǎn)的該虛擬子批后，繼續(xù)建立下一站點(diǎn)的虛擬子批。
2. 如權(quán)利要求1所述的數(shù)據(jù)追蹤方法，其還包括若未讀取到該晶片批量 的分批數(shù)據(jù)尾端，則決定該晶片批量在執(zhí)行一分批處理時(shí)所需的一最大分批 次數(shù)。
3. 如權(quán)利要求2所述的數(shù)據(jù)追蹤方法，其還包括根據(jù)該最大分批次數(shù)與 目前分批次數(shù)決定目前站點(diǎn)所需建立的虛擬子批數(shù)。
4. 一種凄t據(jù)追蹤系統(tǒng)，包括一批數(shù)計(jì)算單元，其讀取一晶片批量的分批歷史數(shù)據(jù)，并且判斷是否讀 取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端；以及一虛擬子批建立單元，若未讀取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端，其根據(jù) 該所需建立的虛擬子批數(shù)建立一目前站點(diǎn)的至少一虛擬子批，并且復(fù)制該虛 擬子批的源頭批量的工藝數(shù)據(jù)。
5. 如權(quán)利要求4所述的數(shù)據(jù)追蹤系統(tǒng)，其中，若未讀取到該晶片批量的 分批數(shù)據(jù)尾端，該批數(shù)計(jì)算單元還決定該晶片批量在執(zhí)行一分批處理時(shí)所需 的一最大分批次數(shù)。
6. 如權(quán)利要求5所述的數(shù)據(jù)追蹤系統(tǒng)，其中該批數(shù)計(jì)算單元還根據(jù)該最 大分批次數(shù)與目前分批次數(shù)決定目前站點(diǎn)所需建立的虛擬子批數(shù)。
7. —種儲(chǔ)存媒體，用以儲(chǔ)存一計(jì)算機(jī)程序，上述計(jì)算機(jī)程序包括多個(gè)程 序代碼，其用以加載至一計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中并且使得上述計(jì)算機(jī)系統(tǒng)執(zhí)行一種數(shù) 據(jù)追蹤方法，包括下列步驟讀取一晶片批量的分批歷史數(shù)據(jù)； 判斷是否讀取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端；若否，根據(jù)該所需建立的虛擬子批數(shù)建立一目前站點(diǎn)的至少一虛擬子 批；復(fù)制該虛擬子批的源頭批量的工藝數(shù)據(jù)；以及 當(dāng)建立完該站點(diǎn)的該虛擬子批后，繼續(xù)建立下一站點(diǎn)的虛擬子批。
8. 如權(quán)利要求7所述的儲(chǔ)存媒體，其還包括若未讀取到該晶片批量的分 批數(shù)據(jù)尾端，則決定該晶片批量在執(zhí)行一分批處理時(shí)所需的 一最大分批次數(shù)。
9. 如權(quán)利要求8所述的儲(chǔ)存媒體，其還包括根據(jù)該最大分批次數(shù)與目前 分批次數(shù)決定目前站點(diǎn)所需建立的虛擬子批數(shù)。
全文摘要
一種數(shù)據(jù)追蹤方法。讀取一晶片批量的分批歷史數(shù)據(jù)，并且判斷是否讀取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端。若未讀取到該晶片批量的分批數(shù)據(jù)尾端，則決定該晶片批量在執(zhí)行一分批處理時(shí)所需的一最大分批次數(shù)。根據(jù)該最大分批次數(shù)與目前分批次數(shù)決定目前站點(diǎn)所需建立的虛擬子批數(shù)，并且根據(jù)該所需建立的虛擬子批數(shù)建立一目前站點(diǎn)的至少一虛擬子批。復(fù)制該虛擬子批的源頭批量的工藝數(shù)據(jù)，以及當(dāng)建立完該站點(diǎn)的該虛擬子批后，繼續(xù)建立下一站點(diǎn)的虛擬子批。
文檔編號(hào)G06Q10/00GK101118617SQ20061010840
公開日2008年2月6日 申請(qǐng)日期2006年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月2日
發(fā)明者何煜文, 劉姿秀 申請(qǐng)人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司