專(zhuān)利名稱(chēng)：工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的查詢(xún)系統(tǒng)與方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于 一 種應(yīng)用于數(shù)據(jù)庫(kù)的查詢(xún)系統(tǒng)與方法，尤指 一 種工程數(shù)據(jù) 分析數(shù)據(jù)庫(kù)的查詢(xún)系統(tǒng)與方法。
背景技術(shù)：
隨著計(jì)算機(jī)整合制造及信息技術(shù)的發(fā)展，在晶圓制造過(guò)程中，所有可能造成產(chǎn)品質(zhì)量變異來(lái)源的數(shù)據(jù)，均可通過(guò)工廣營(yíng)運(yùn)管制系統(tǒng)(Manufacturing Execution System, MES)及自動(dòng)化的協(xié)助加以收集。部分?jǐn)?shù)據(jù)并可直接藉助 于MES的統(tǒng)計(jì)制程管制(SPC)模塊，進(jìn)行線上的實(shí)時(shí)監(jiān)控與管制。但由于SPC 只對(duì)特殊原因所造成的變異有幫助，對(duì)于共同原因所造成的變異并無(wú)幫助， 也無(wú)法滿(mǎn)足晶圓廠對(duì)不斷提高產(chǎn)品質(zhì)量與良率的需求。因此，晶圓廠為強(qiáng)化 竟?fàn)幜?，極需要一套結(jié)合統(tǒng)計(jì)方法與數(shù)據(jù)攫取技術(shù)等分析功能的線外工程數(shù) 據(jù)分析系統(tǒng)(Engineering Data Analysis , EDA)。在過(guò)去8吋晶圓時(shí)代，工程分析軟件都是安裝在工程師的個(gè)人計(jì)算機(jī)上， 工程師可用PC進(jìn)行分析，較為麻煩的是碰到軟件必須更新版本時(shí)，信息人 員就得全力動(dòng)員到每位工程師的座位上進(jìn)行安裝，每月數(shù)次的例行更新，往 往就讓信息人員忙碌不已，不但影響工程分析軟件的開(kāi)發(fā)進(jìn)度，也影響到工 程師的工作效率。而進(jìn)入12吋晶圓時(shí)代后，不但數(shù)據(jù)分析量暴增數(shù)百倍， 個(gè)人計(jì)算機(jī)有限的運(yùn)算能力變得難以負(fù)荷，分析軟件也需要隨時(shí)因應(yīng)制程技 術(shù)的提升而不斷更新版本，各類(lèi)工程師需求趨于復(fù)雜，原有信息架構(gòu)已經(jīng)不 敷使用。為滿(mǎn)足晶圓廠對(duì)不斷提高產(chǎn)品質(zhì)量與良率的需求，許多晶圓廠紛紛 投入許多資源來(lái)發(fā)展解決方案。已知技術(shù)中，EDA系統(tǒng)主要是利用統(tǒng)計(jì)方法及數(shù)據(jù)攫取等技術(shù)，分析造 成良率及質(zhì)量異常的原因，以協(xié)助工程人員做出必要的決策，例如停機(jī)、停 線、調(diào)整制程參數(shù)以及對(duì)異常產(chǎn)品的后續(xù)處理等。然而在數(shù)據(jù)進(jìn)行分析、找 出生產(chǎn)過(guò)程中導(dǎo)致低良率的原因，并將此分析結(jié)果提供給晶圓廠以做為制程 上改善的同時(shí)。這些繁復(fù)的分析步驟是必須的，但往往會(huì)耗費(fèi)相當(dāng)多的時(shí)間 進(jìn)行處理。另一方面，面對(duì)龐大的數(shù)據(jù)庫(kù)，分析」搡作者如何在龐大的數(shù)據(jù)中 找到適合的參數(shù)或數(shù)據(jù)，也是另一項(xiàng)極具困難度的工作，費(fèi)時(shí)又費(fèi)力。因此，如何研發(fā)一種工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的查詢(xún)系統(tǒng)與方法，使操作者 可以最簡(jiǎn)便快速的效率獲取所需的工程數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，這的確是目前此一相 關(guān)領(lǐng)域所需積極發(fā)展研究的目標(biāo)。本發(fā)明發(fā)明人等，爰精心研究，并以其從 事該項(xiàng)研究領(lǐng)域的多年經(jīng)驗(yàn)，遂提出本發(fā)明 一種工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的查詢(xún) 系統(tǒng)與方法，通過(guò)智能型辨識(shí)模塊的導(dǎo)入，將工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)的數(shù)據(jù) 先依部門(mén)作初步的分類(lèi)后，再將數(shù)據(jù)依照該部門(mén)點(diǎn)選的頻率來(lái)排序?？晒?jié)省 工程師很多時(shí)間。其中系統(tǒng)會(huì)每天重新排序。藉此，使操作者可立即熟悉系 統(tǒng)，同時(shí)于操作者登入系統(tǒng)時(shí)也可依照該登錄者所屬部門(mén)而分類(lèi)，提供操作 者最適切的實(shí)時(shí)參數(shù)及相關(guān)數(shù)據(jù)，避免時(shí)間與人力的浪費(fèi)，可有效解決已知 的問(wèn)題，實(shí)為一不可多得的發(fā)明。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的主要目的為提供一種工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的查詢(xún)方法，通過(guò)智 能型辨識(shí)模塊的導(dǎo)入，將工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)的數(shù)據(jù)先依部門(mén)作初步的分 類(lèi)后，再將數(shù)據(jù)依照該部門(mén)點(diǎn)選的頻率來(lái)排序?？墒共僮髡呖梢宰詈?jiǎn)便快速 的效率獲取所需的工程數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。為達(dá)上述目的，本發(fā)明的一較廣義實(shí)施樣態(tài)為提供一種工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的查詢(xún)方法，包含下列步驟a)提供工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)，其內(nèi)具有多筆 數(shù)據(jù)；b)將該工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的多筆數(shù)據(jù)，依所屬部門(mén)分類(lèi)為多個(gè)部門(mén) 所屬數(shù)據(jù)區(qū)；c)分別將該多個(gè)部門(mén)所屬數(shù)據(jù)區(qū)，依一選用次數(shù)排序?yàn)槎鄠€(gè)部 門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)；d)當(dāng)操作者登錄時(shí)，依該操作者所屬的部門(mén)，自該多個(gè)部門(mén) 登錄數(shù)據(jù)區(qū)中擇一選用對(duì)應(yīng)者；e)記錄該操作者操作選用該多個(gè)部門(mén)登錄數(shù) 據(jù)區(qū)的次數(shù)，并累計(jì)更新該多個(gè)部門(mén)所屬數(shù)據(jù)區(qū)的該選用次數(shù)；以及f)于固 定周期，重復(fù)步驟c)。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)想，其中該工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造產(chǎn) 業(yè)的工程數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)(Engineering Data Analysis, EDA)。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)想，其中該步驟b)及該步驟c)是通過(guò)智能型查詢(xún)組件 (Intelligence Query Component)完成。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)想，其中該多筆數(shù)據(jù)均具有產(chǎn)品型號(hào)、批次、晶圓片號(hào)、
制程參數(shù)、制程機(jī)臺(tái)、制程規(guī)格或制造步驟等字段。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)想，其中各字段均具有其所屬的多個(gè)工程參數(shù)。 根據(jù)本發(fā)明構(gòu)想，其中該搡作者登錄時(shí)，該部門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)的數(shù)據(jù)于操作者所選的字段，依該選用次數(shù)，由多至少排序其所屬的多個(gè)工程參數(shù)。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)想的查詢(xún)方法，還包含步驟g)于該固定周期，分別針對(duì)該多個(gè)部門(mén)所屬數(shù)據(jù)區(qū)，依該選用次數(shù)，由多至少排序該多個(gè)工程參數(shù)。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)想，其中該選用次數(shù)為各該工程參數(shù)所屬的選用次數(shù)。 根據(jù)本發(fā)明構(gòu)想，其中該步驟g)還包含步驟gl)根據(jù)排序的該多個(gè)工程參數(shù)，產(chǎn)生柏拉圖分析統(tǒng)計(jì)表。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)想，其中該步驟d)還包含步驟dl)于操作者登錄后，顯示該柏拉圖分析統(tǒng)計(jì)表，用以提供該操作者參考。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)想，其中該步驟d)還包含步驟d2)顯示該操作者于前次登 錄時(shí)，使用該部門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)的記錄。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)想，其中該步驟d)還包含步驟dO)驗(yàn)證該操作者的登入消 息，并確認(rèn)該操作者所屬部門(mén)。本發(fā)明的再一目的為提供一種工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的查詢(xún)系統(tǒng)，通過(guò)智 能型辨識(shí)模塊的導(dǎo)入，將工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)的數(shù)據(jù)先依部門(mén)作初步的分 類(lèi)后，再將數(shù)據(jù)依照該部門(mén)點(diǎn)選的頻率來(lái)排序?？墒共僮髡呖梢宰詈?jiǎn)便快速 的效率獲取所需的工程數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。為達(dá)上述目的，本發(fā)明的一較廣義實(shí)施樣態(tài)為提供一種工程數(shù)據(jù)分析數(shù) 據(jù)庫(kù)的查詢(xún)系統(tǒng)，包含工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)，其內(nèi)具有多筆數(shù)據(jù)，而該多 筆數(shù)據(jù)分別具有工程參數(shù)；智能型查詢(xún)組件(Intelligence Query Component),連接該工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)，用以將該多筆數(shù)據(jù)依所屬部門(mén)分 類(lèi)為多個(gè)部門(mén)所屬數(shù)據(jù)區(qū)，同時(shí)再分別將該多個(gè)部門(mén)所屬數(shù)據(jù)區(qū)，依一選用 次數(shù)排序成為多個(gè)部門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)，其中該選用次數(shù)系因應(yīng)操作者選用而累 計(jì)；以及操作者接口，連接該智能型查詢(xún)組件，用以于操作者登錄時(shí)，通過(guò) 該智能型查詢(xún)組件，依該操作者所屬的部門(mén)，自該多個(gè)部門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)中擇 一選用開(kāi)啟對(duì)應(yīng)者。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)想，其中該工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造產(chǎn) 業(yè)的工程數(shù)據(jù)。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)想，其中該多筆數(shù)據(jù)可具有產(chǎn)品型號(hào)、批次、晶圓片號(hào)、
制程參數(shù)、制程機(jī)臺(tái)、制程規(guī)格或制造步驟等字段；而該工程參數(shù)包含于該等字段之一。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)想，其中該操作者登錄時(shí)，該部門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)的數(shù)據(jù)于操作者所選的字段，依該選用次數(shù)，由多至少排序。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)想，其中該選用次數(shù)為各該工程參數(shù)所屬的選用次數(shù)。 根據(jù)本發(fā)明構(gòu)想，其中該操作者接口還于該操作者登錄時(shí)，提供柏拉圖分析統(tǒng)計(jì)表。根據(jù)本發(fā)明構(gòu)想，其中該柏拉圖分析統(tǒng)計(jì)表，為固定周期間，該使用者 所屬部門(mén)的各該工程參數(shù)的該選用次數(shù)統(tǒng)計(jì)。


圖1揭示本發(fā)明較佳實(shí)施例的一種工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的查詢(xún)系統(tǒng)。圖2揭示本發(fā)明工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的查詢(xún)系統(tǒng)的另一示意圖。圖3揭示本發(fā)明較佳實(shí)施例的一種工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的查詢(xún)方法。[主要元件標(biāo)號(hào)說(shuō)明]11:工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù) 12:智能型查詢(xún)組件13:操作者接口 21:操作者22:欄框 23:柏拉圖分析統(tǒng)計(jì)表S31 — S36:方法步驟具體實(shí)施方式
體現(xiàn)本發(fā)明特征與優(yōu)點(diǎn)的一些典型實(shí)施例將在后段的說(shuō)明中詳細(xì)敘述。 應(yīng)理解的是本發(fā)明能夠在不同的態(tài)樣上具有各種的變化，其皆不脫離本發(fā)明 的范圍，且其中的說(shuō)明及圖示在本質(zhì)上是當(dāng)作說(shuō)明之用，而非用以限制本發(fā) 明。請(qǐng)參閱圖1,揭示本發(fā)明較佳實(shí)施例的一種工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的查詢(xún) 系統(tǒng)，包含工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)ll,其內(nèi)具有多筆數(shù)據(jù)，而該多筆數(shù)據(jù)分 別具有工程參數(shù)；智能型查詢(xún)組件(Intelligence Query Component) 12,連接該工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)11，用以將該多筆數(shù)據(jù)依所屬部門(mén)分類(lèi)為多個(gè)部門(mén) 所屬數(shù)據(jù)區(qū)，同時(shí)再分別將該多個(gè)部門(mén)所屬數(shù)據(jù)區(qū)，依一選用次數(shù)排序成為 多個(gè)部門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)，其中該選用次數(shù)是因應(yīng)操作者選用而累計(jì)；以及操作
者接口 13,連接該智能型查詢(xún)組件12,用以于搡作者登錄時(shí)，通過(guò)該智能型 查詢(xún)組件，依該操作者所屬的部門(mén)，自該多個(gè)部門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)中擇一選用開(kāi) 啟對(duì)應(yīng)者。在本發(fā)明實(shí)施例中，該工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)11為應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造產(chǎn)業(yè)的工程凄t據(jù)分才斤系統(tǒng)(Engineering Data Analysis ， EDA)。在該 數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)的工程數(shù)據(jù)均取自生產(chǎn)制程中的制造管制系統(tǒng)，所以各筆數(shù)據(jù)可包 含產(chǎn)品型號(hào)、批次、晶圓片號(hào)、制程參數(shù)、制程機(jī)臺(tái)、制程規(guī)格或制造步驟 等字段；而該工程參數(shù)則可為各個(gè)字段中所定義的分類(lèi)參數(shù)。操作者依據(jù)數(shù) 據(jù)庫(kù)的數(shù)據(jù)可分析出各個(gè)工程參數(shù)與良率的相關(guān)性，進(jìn)而提供制程改進(jìn)或質(zhì) 量監(jiān)控管制之用。請(qǐng)?jiān)賲⒖紙D2,揭示本發(fā)明工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的查詢(xún)系統(tǒng)的另一示意 圖。在實(shí)際應(yīng)用時(shí)，當(dāng)操作者21登錄時(shí)，該部門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)的數(shù)據(jù)于操作者 所選的字段，將該工程參數(shù)，依該選用次數(shù)，由多至少排序至欄框22供操作 者參考。當(dāng)然，該操作者接口 13亦可因應(yīng)操作者的請(qǐng)求，于該操作者21登 錄時(shí)，提供柏拉圖分析統(tǒng)計(jì)表23,其中該柏拉圖分析統(tǒng)計(jì)表23,為固定周期 間，該使用者21所屬部門(mén)的各該工程參數(shù)的該選用次數(shù)統(tǒng)計(jì)表。由于該查詢(xún)系統(tǒng)通過(guò)智能型查詢(xún)組件的使用，可將數(shù)據(jù)依部門(mén)作初步的 分類(lèi)后，再將數(shù)據(jù)依照該部門(mén)點(diǎn)選的頻率來(lái)排序。因此，當(dāng)?shù)卿浾叩侨胂到y(tǒng) 后，系統(tǒng)會(huì)依照該登錄者所屬部門(mén)而分類(lèi)，并讓該登錄者在選擇字段的拖拉 選單中，可看到其所屬部門(mén)在兩個(gè)月內(nèi)點(diǎn)選次數(shù)由高到低的參數(shù)，并可看到 該登錄者在上一次登錄期間所使用到的參數(shù)，如此將可節(jié)省工程師很多時(shí)間。 其中系統(tǒng)會(huì)每天重新排序。通過(guò)這樣的方式，也可以讓公司新人更快上手， 并了解哪些參數(shù)是同部門(mén)同事所常使用到的，節(jié)省很多摸索時(shí)間。對(duì)應(yīng)前述的實(shí)施態(tài)樣，本發(fā)明還提供一種工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的查詢(xún)方 法。請(qǐng)參閱圖3，揭示本發(fā)明較佳實(shí)施例的一種工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的查詢(xún) 方法。如圖3與圖2所示，該方法的步驟至少包含a)提供工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù) 庫(kù)ll,其內(nèi)具有多筆數(shù)據(jù)，如步驟S31所示，其中該工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)11 即為應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造產(chǎn)業(yè)的工程數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)(Engineering Data Analysis , EDA); b)將該工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)11的多筆數(shù)據(jù)，依所屬部門(mén) 分類(lèi)為多個(gè)部門(mén)所屬數(shù)據(jù)區(qū)，如步驟S32所示；c)分別將該多個(gè)部門(mén)所屬數(shù) 據(jù)區(qū)，依一選用次數(shù)排序?yàn)槎鄠€(gè)部門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)，如步驟S33所示；d)當(dāng)搡 作者21登錄時(shí)，依該操作者21所屬的部門(mén)，自該多個(gè)部門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)中擇
一選用對(duì)應(yīng)者，如步驟S34所示；e)記錄該操作者操作選用該多個(gè)部門(mén)登錄 數(shù)據(jù)區(qū)的次數(shù)，并累計(jì)更新該多個(gè)部門(mén)所屬數(shù)據(jù)區(qū)的該選用次數(shù)，如步驟S35 所示；以及f)于固定周期，重復(fù)步驟c),如步驟S36所示。在實(shí)際應(yīng)用時(shí)，其中該步驟b)至該步驟f )主要通過(guò)智能型查詢(xún)組件 (Intelligence Query Component) 12完成。同樣的，在該數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)的工程數(shù) 據(jù)均取自生產(chǎn)制程中的制造管制系統(tǒng)，所以各筆數(shù)據(jù)可包含產(chǎn)品型號(hào)、批次、 晶圓片號(hào)、制程參數(shù)、制程機(jī)臺(tái)、制程規(guī)格或制造步驟等字段；而該工程參 數(shù)則可為各個(gè)字段中所定義的分類(lèi)參數(shù)。操作者依據(jù)數(shù)據(jù)庫(kù)的數(shù)據(jù)可分析出 各個(gè)工程參數(shù)與良率的相關(guān)性，進(jìn)而提供制程改進(jìn)或質(zhì)量監(jiān)控管制之用。事 實(shí)上，在晶圓生產(chǎn)的工廠中，工程師們每周于工程數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)EDA數(shù)據(jù)庫(kù) 查詢(xún)選擇參數(shù)次數(shù)均為8000次。若以抓取分析CD量測(cè)數(shù)據(jù)為例，該CD量 測(cè)數(shù)據(jù)共計(jì)有IO項(xiàng)QC工程參數(shù)。在實(shí)際抽樣調(diào)查5位工程師后可發(fā)現(xiàn)，以 已知技術(shù)接口進(jìn)行搜尋所需的時(shí)間，平均每次操作共需53.2秒。然而引用 本發(fā)明系統(tǒng)與方法所進(jìn)行搜尋所需的時(shí)間則為7. 5秒。所以引用本發(fā)明技術(shù)， 平均每次查詢(xún)差異為45. 7秒。就直接效益而言，每年約可節(jié)省(或縮短)工程 師問(wèn)題處理時(shí)間=(52*8000*45. 7)/(60*60*8*22)=30人/月。另一方面，各部 門(mén)的查詢(xún)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)定期(一般產(chǎn)品周期為二個(gè)月)可以更一進(jìn)輸出，以提供R&D 或其它單位作為改善制程參考用。再者，就間接效益而言，處理時(shí)間的縮短，將更可以高利用率的手段，快速解決制程問(wèn)題。如此，自然可提高產(chǎn)品良率， 并快速將產(chǎn)品導(dǎo)入市場(chǎng)。綜上所述，本發(fā)明提供一種工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的查詢(xún)系統(tǒng)，通過(guò)智能 型辨識(shí)模塊的導(dǎo)入，將工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)內(nèi)的數(shù)據(jù)先依部門(mén)作初步的分類(lèi) 后，再將數(shù)據(jù)依照該部門(mén)點(diǎn)選的頻率來(lái)排序。可使操作者可以最簡(jiǎn)便快速的 效率獲取所需的工程數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，大量的減少操作者對(duì)工程問(wèn)題的處理時(shí) 間。另一方面，處理時(shí)間的縮短，將有利制程問(wèn)題的解決，自然也可降低生 產(chǎn)成本、提高產(chǎn)品生產(chǎn)良率，此為已知技術(shù)無(wú)法達(dá)成。本發(fā)明技術(shù)具有實(shí)用 性、新穎性與創(chuàng)造性，爰依法提出申請(qǐng)。縱使本發(fā)明已由上述的實(shí)施例詳細(xì)敘述而可由本領(lǐng)域技術(shù)人員任施匠思 而為諸般修飾，然皆不脫如所附權(quán)利要求范圍所欲保護(hù)者。
權(quán)利要求
1.一種工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的查詢(xún)方法，包含下列步驟a)提供工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)，其內(nèi)具有多筆數(shù)據(jù)；b)將該工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的多筆數(shù)據(jù)，依所屬部門(mén)分類(lèi)為多個(gè)部門(mén)所屬數(shù)據(jù)區(qū)；c)分別將該多個(gè)部門(mén)所屬數(shù)據(jù)區(qū)，依選用次數(shù)排序?yàn)槎鄠€(gè)部門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)；d)當(dāng)操作者登錄時(shí)，依該操作者所屬的部門(mén)，自該多個(gè)部門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)中擇一選用對(duì)應(yīng)者；e)記錄該操作者操作選用該多個(gè)部門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)的次數(shù)，并累計(jì)更新該多個(gè)部門(mén)所屬數(shù)據(jù)區(qū)的該選用次數(shù)；以及f)于固定周期，重復(fù)步驟c)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的查詢(xún)方法，其中該工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)應(yīng)用于 半導(dǎo)體晶圓制造產(chǎn)業(yè)的工程數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的查詢(xún)方法，其中該步驟b)及該步驟c)是通過(guò) 智能型查詢(xún)組件完成。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的查詢(xún)方法，其中該多筆數(shù)據(jù)均具有產(chǎn)品型號(hào)、 批次、晶圓片號(hào)、制程參數(shù)、制程機(jī)臺(tái)、制程規(guī)格或制造步驟等字段。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的查詢(xún)方法，其中各字段均具有其所屬的多個(gè)工 程參數(shù)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的查詢(xún)方法，其中該操作者登錄時(shí)，該部門(mén)登錄 數(shù)據(jù)區(qū)的數(shù)據(jù)于操作者所選的字段，依該選用次數(shù)，由多至少排序其所屬的 多個(gè)工程參數(shù)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的查詢(xún)方法，還包含步驟g)于該固定周期，分 別針對(duì)該多個(gè)部門(mén)所屬數(shù)據(jù)區(qū)，依該選用次數(shù)，由多至少排序該多個(gè)工程參數(shù)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的查詢(xún)方法，其中該選用次數(shù)為各該工程參數(shù)所 屬的選用次數(shù)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的查詢(xún)方法，其中該步驟g)還包含步驟gl)根據(jù) 排序的該多個(gè)工程參數(shù)，產(chǎn)生柏拉圖分析統(tǒng)計(jì)表。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的查詢(xún)方法，其中該步驟d)還包含步驟dl)于 搡作者登錄后，顯示該柏拉圖分析統(tǒng)計(jì)表，用以提供該操作者參考。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的查詢(xún)方法，其中該步驟d)還包含步驟d2)顯 示該操作者于前次登錄時(shí)，使用該部門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)的記錄。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的查詢(xún)方法，其中該步驟d)還包含步驟dO)驗(yàn) 證該操作者的登入消息，并確認(rèn)該操作者所屬部門(mén)。
13. —種工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的查詢(xún)系統(tǒng)，包含工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)，其內(nèi)具有多筆數(shù)據(jù)，而該多筆數(shù)據(jù)分別具有工程 參數(shù)；智能型查詢(xún)組件，連接該工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)，用以將該多筆數(shù)據(jù)依所 屬部門(mén)分類(lèi)為多個(gè)部門(mén)所屬數(shù)據(jù)區(qū)，同時(shí)再分別將該多個(gè)部門(mén)所屬數(shù)據(jù)區(qū)， 依一選用次數(shù)排序成為多個(gè)部門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)，其中該選用次數(shù)是因應(yīng)操作者 選用而累計(jì)；以及操作者接口，連接該智能型查詢(xún)組件，用以于操作者登錄時(shí)，通過(guò)該智 能型查詢(xún)組件，依該操作者所屬的部門(mén)，自該多個(gè)部門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)中擇一選 用開(kāi)啟對(duì)應(yīng)者。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的查詢(xún)系統(tǒng)，其中該工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)應(yīng)用 于半導(dǎo)體晶圓制造產(chǎn)業(yè)的工程數(shù)據(jù)。
15. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的查詢(xún)系統(tǒng)，其中該多筆數(shù)據(jù)可具有產(chǎn)品型號(hào)、 批次、晶圓片號(hào)、制程參數(shù)、制程機(jī)臺(tái)、制程規(guī)格或制造步驟等字段；而該 工程參數(shù)包含于該等字段之一。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的查詢(xún)系統(tǒng)，其中該操作者登錄時(shí)，該部門(mén)登 錄數(shù)據(jù)區(qū)的數(shù)據(jù)于操作者所選的字段，依該選用次數(shù)，由多至少排序。
17. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的查詢(xún)系統(tǒng)，其中該選用次數(shù)為各該工程參數(shù) 所屬的選用次數(shù)。
18. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的查詢(xún)系統(tǒng)，其中該操作者接口還于該操作者 登錄時(shí)，提供柏拉圖分析統(tǒng)計(jì)表。
19. 根據(jù)權(quán)利要求18所述的查詢(xún)系統(tǒng)，其中該柏拉圖分析統(tǒng)計(jì)表，為固 定周期間，該使用者所屬部門(mén)的各該工程參數(shù)的該選用次數(shù)統(tǒng)計(jì)。
全文摘要
本發(fā)明是揭露提供一種工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的查詢(xún)系統(tǒng)與方法。其中該方法的步驟包含a)提供工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)，其內(nèi)具有多筆數(shù)據(jù)；b)將該工程數(shù)據(jù)分析數(shù)據(jù)庫(kù)的多筆數(shù)據(jù)，依所屬部門(mén)分類(lèi)為多個(gè)部門(mén)所屬數(shù)據(jù)區(qū)；c)分別將該多個(gè)部門(mén)所屬數(shù)據(jù)區(qū)，依選用次數(shù)排序?yàn)槎鄠€(gè)部門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)；d)當(dāng)操作者登錄時(shí)，依該操作者所屬的部門(mén)，自該多個(gè)部門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)中擇一選用對(duì)應(yīng)者；e)記錄該操作者操作選用該多個(gè)部門(mén)登錄數(shù)據(jù)區(qū)的次數(shù)，并累計(jì)更新該多個(gè)部門(mén)所屬數(shù)據(jù)區(qū)的該選用次數(shù)；以及f)于固定周期，重復(fù)步驟c)。
文檔編號(hào)G06F17/30GK101118618SQ20061010842
公開(kāi)日2008年2月6日 申請(qǐng)日期2006年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2006年8月2日
發(fā)明者樂(lè)慶莉, 何煜文 申請(qǐng)人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司