專利名稱：組裝及操作電子器件制造系統(tǒng)的方法和設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一般而言，本發(fā)明關(guān)于電子器件的制造方法及系統(tǒng)，尤其關(guān)于組裝及操作 這種系統(tǒng)的方法與設(shè)備。
背景技術(shù)：
電子器件制造系統(tǒng)(諸如工藝工具及治理工具等等)可以是子系統(tǒng)或組件 的復(fù)雜組合，且每個組件本身可以是復(fù)雜系統(tǒng)。通常，電子器件制造系統(tǒng)的組 裝可能非常耗時。此外，在投入使用之前，必須單獨測試組裝系統(tǒng)及眾多子系 統(tǒng)，以決定每個系統(tǒng)是否符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。該認(rèn)證過程增加了交付電子器件制造 系統(tǒng)所需的時間量。
此外，這種系統(tǒng)所生產(chǎn)的產(chǎn)品價格昂貴。當(dāng)系統(tǒng)由于該系統(tǒng)或支撐子系統(tǒng) 的組件的維護要求而停止使用時，制造商可能會由于當(dāng)該系統(tǒng)停止使用時不能 制造產(chǎn)品，而不得不蒙受嚴(yán)重的經(jīng)濟損失。對于等待運送新系統(tǒng)的制造商，情 況同樣如此。
因此人們期望有各種用于簡化及縮短電子器件制造系統(tǒng)的構(gòu)建/測試時間 并保持這種系統(tǒng)正常操作(盡管需要使組件或子系統(tǒng)停止使用)的方法與設(shè)備
發(fā)明內(nèi)容
一方面，提供一種用于操作一個或多個電子器件制造系統(tǒng)的方法，包含以 下歩驟l)使用工藝工具執(zhí)行一系列電子器件制造工藝步驟，其中該工藝工具 產(chǎn)生廢物作為副產(chǎn)品；2)使用治理工具治理該廢物；3)從第一治理資源供給向 該治理工具提供治理資源；4)將治理資源供給從該第一治理資源供給變更為第 二治理資源供給，其中變更該治理資源供給包括i)從該第一治理資源供給中 斷該治理資源的流動；及ii)從該第二治理資源供給開始該治理資源的流動； 及5)當(dāng)變更該治理資源供給時及在變更之后，繼續(xù)使用該工藝工具執(zhí)行該系列 工藝步驟。
另一方面，提供用于組裝電子器件制造系統(tǒng)的方法，包含以下步驟1) 儲備一個或多個經(jīng)預(yù)先認(rèn)證、模塊化的電子器件制造系統(tǒng)組件；2)辨別該電子 器件制造系統(tǒng)的性能要求；3)選擇一個或多個儲備組件以滿足所述性能要求； 4)從包括一個或多個所述儲備組件的組件構(gòu)造所述電子器件制造系統(tǒng)；及5) 認(rèn)證所構(gòu)造的電子器件制造系統(tǒng)。
再一方面，提供電子器件制造系統(tǒng)，包含l)工藝工具；2)治理工具；3) 第一治理資源供給，含有治理資源；及4)第二治理資源供給，含有該治理資源， 其中該第二治理資源供給用于在從該第一治理資源供給的該治理資源的流動 中斷之后，使該治理資源流至該治理工具。
根據(jù)本發(fā)明的這些及其它方面還可提供眾多其它方面。從下面的詳細(xì)描 述、所附的權(quán)利要求書及附圖，本發(fā)明的其它特征及方面將變得更加完全顯而 易見。


圖1是本發(fā)明的電子器件制造系統(tǒng)的第一實施例的示意圖。
圖2是描述設(shè)計及構(gòu)造圖1的電子器件制造系統(tǒng)的方法的流程圖。
圖3是本發(fā)明的電子器件制造系統(tǒng)的第二實施例的示意圖。
圖4是描述操作圖3的電子器件制造系統(tǒng)的方法的流程圖。
圖5是本發(fā)明的電子器件制造系統(tǒng)的第三實施例的示意圖。
圖6是描述操作圖5的電子器件制造系統(tǒng)的方法的流程圖。
圖7是本發(fā)明的電子器件制造系統(tǒng)的第四實施例的示意圖。
圖8是描述操作圖7的電子器件制造系統(tǒng)的方法的流程圖。
具體實施例方式
如上所述，電子器件制造系統(tǒng)可為復(fù)雜組件。通常，系統(tǒng)可包含具有工藝 室的工藝工具及治理工具，該工藝工具執(zhí)行工藝步驟，諸如沉積、外延生長、 蝕刻、清潔等等。治理工具可由子系統(tǒng)或組件的組合組成，各子系統(tǒng)或組件可 設(shè)計為執(zhí)行不同治理功能。在本文中，術(shù)語"子系統(tǒng)"及"組件"可互換使用?？?用于從中構(gòu)造治理工具的子系統(tǒng)包含，但不限于，熱反應(yīng)器、燃燒箱、催化單 元、等離子體單元、過濾器、水洗滌器、吸收及吸附單元、酸性氣體洗滌器等 等。
為顧客構(gòu)造系統(tǒng)的方法可包含決定該顧客所需系統(tǒng)的性質(zhì)、辨別構(gòu)造該系 統(tǒng)所需的子系統(tǒng)、構(gòu)造這些子系統(tǒng)，然后從這些子系統(tǒng)構(gòu)造該系統(tǒng)。這可能是 一個非常耗時的過程，尤其是考慮到電子器件制造系統(tǒng)及子系統(tǒng)在投入使用的 前必須進行的嚴(yán)格認(rèn)證。當(dāng)然，還可以預(yù)構(gòu)建系統(tǒng)，以便可將系統(tǒng)快速運送給 顧客，但可用系統(tǒng)的多樣性再加上系統(tǒng)的高成本可令這種實施非常昂貴。
顧客開始使用系統(tǒng)之后，組成該系統(tǒng)的子系統(tǒng)可能最終需要日常維護、修 理故障或由于某些其它原因從該系統(tǒng)移除。在子系統(tǒng)上執(zhí)行維護及/或修理故 障的公知方法，是使整個系統(tǒng)停止使用，以便可以采用安全、無污染的方式對 子系統(tǒng)進行維護或檢查。一旦已診斷且解決問題或已在該子系統(tǒng)上執(zhí)行預(yù)防性 維護，該系統(tǒng)即可重新投入使用。然而，當(dāng)系統(tǒng)停止使用時，顧客不能使用該 系統(tǒng)制造產(chǎn)品。因此人們期望當(dāng)子系統(tǒng)脫機時能夠繼續(xù)操作系統(tǒng)。
本發(fā)明提供可縮短從辨別顧客的需要到向該顧客運送適當(dāng)系統(tǒng)之間的時 間的方法與設(shè)備。本發(fā)明還可使顧客能夠從該系統(tǒng)移除子系統(tǒng)及修復(fù)或替換該 子系統(tǒng)，而無須關(guān)閉系統(tǒng)及中斷生產(chǎn)。
在本發(fā)明的某些具體實施例中，電子器件制造系統(tǒng)的制造商可辨別頻繁并 入系統(tǒng)的若干子系統(tǒng)，然后構(gòu)建、預(yù)認(rèn)證及儲備適當(dāng)數(shù)量的系統(tǒng)。當(dāng)顧客下訂 單且已經(jīng)辨別該顧客的需要時，制造商然后可在更短時間內(nèi)構(gòu)造系統(tǒng)，因為在 該系統(tǒng)中可能需要的一個或多個子系統(tǒng)己儲備及預(yù)認(rèn)證，從而允許制造商只需 將子系統(tǒng)連接至系統(tǒng)框架。在本發(fā)明的這些及其它實施例中，子系統(tǒng)可以是模 塊化的，例如，使用標(biāo)準(zhǔn)連接器在標(biāo)準(zhǔn)位置中構(gòu)造，以便子系統(tǒng)可以各種配置 輕松及快速裝配在一起。在本發(fā)明的某些具體實施例中，可構(gòu)造系統(tǒng)，以便可從該系統(tǒng)切斷一個或 多個子系統(tǒng)，而無須關(guān)閉該系統(tǒng)。舉例來說，系統(tǒng)可通常被提供資源，諸如水。 在某些這些實施例中，將水從水源運輸至該系統(tǒng)的管道可包含閥及連接器。閥 及連接器可使操作者能夠從該系統(tǒng)切斷水源，且可防止水從水源流出或從系統(tǒng) 回流。在這些實施例中，該系統(tǒng)可具有替代水源，或設(shè)計為可無需水源操作一 段時間，以足以連接新水源。
圖1是本發(fā)明的電子器件制造系統(tǒng)100的示意圖。系統(tǒng)100可包含工藝工
具102。工藝工具102可包含一個或多個工藝室104。實際上，工藝工具102 可通常包含多達六個或更多的工藝室104。工藝室104可執(zhí)行通常由工藝室104 執(zhí)行的任何功能，包含，舉例來說，沉積、外延生長、蝕刻、清潔等等。每個 工藝室104可產(chǎn)生廢物，廢物可由真空泵106通過導(dǎo)管108從該工藝室抽出。 抽出工藝室104的廢物可通過導(dǎo)管110被抽運并進入治理工具112，且更具體 地，進入治理工具112的治理模塊114。以下將更詳細(xì)討論可由工藝室104產(chǎn) 生的廢物的性質(zhì)。
治理工具112可由一個或多個治理模塊114、 116、 118組成。盡管，治理 工具112被示出具有三個治理模塊，但應(yīng)了解可使用更少或更多模塊。
治理模塊114、 116、 118可為相同或不同的治理設(shè)備或子系統(tǒng)，諸如熱反 應(yīng)器、燃燒箱、催化單元、等離子體單元、過濾器、水洗滌器、吸收及吸附單 元、冷卻室、酸性氣體洗滌器等等，或目前可用或?qū)砜赡茏兊每捎玫娜魏纹?它適當(dāng)?shù)闹卫碓O(shè)備?？蛇x擇這些治理模塊，然后以任何適當(dāng)順序?qū)⑵溥B接，以 治理由一個或多個工藝室104產(chǎn)生的廢物。由一個或多個工藝室14產(chǎn)生的廢 物可包含金屬、酸、可燃性或爆炸性氣體、溫室氣體，及其它有毒、危險，或 其它的不希望出現(xiàn)的化合物。電子器件制造系統(tǒng)廢物治理技術(shù)領(lǐng)域中的普通技 術(shù)人員將能夠選擇治理模塊的適當(dāng)組合及順序，以有效治理可能從一個或多個 工藝室104排出的廢物。
治理模塊114、 116、 118可由導(dǎo)管120、 122彼此連接。治理模塊118可 由導(dǎo)管124連接至另一個治理系統(tǒng)(未示出)、至廠房排氣系統(tǒng)(未示出)或 至大氣。
電子器件制造系統(tǒng)100還可包含治理資源連接系統(tǒng)126，該治理資源連接 系統(tǒng)126可包含連接板128及治理資源導(dǎo)管130、 132、 134。治理資源板128
8可包含治理資源連接器136，可將連接至治理資源供給(未示出)的導(dǎo)管(未
示出)連接至該連接器。盡管治理資源板128示出具有三個連接器，分別與三 個導(dǎo)管130、 132、 134連通，但應(yīng)了解治理資源板128可具有更少或更多連接
器。舉例來說，典型治理系統(tǒng)可要求如下治理資源，諸如燃油或粉末、水、
一種或多種試劑、清潔干燥空氣及惰性氣體等等。對于每個單獨的治理模塊，
諸如治理模塊114、 116、 118，情況也可如此。依據(jù)特定治理模塊的性質(zhì)，可 能需要上述一個或多個治理資源。
治理資源板128可有若干不同配置。舉例來說，在治理資源板128位于治 理系統(tǒng)112外部的一側(cè)上，治理資源板128可具有單一治理資源連接器，以用 于可由治理系統(tǒng)112使用的每種類型的治理資源?；蛘撸瑢τ谠撏獠總?cè)上的每 個治理資源，治理資源板128具有三個治理資源連接器，例如，對于可由治理 系統(tǒng)112使用的每個治理資源的每個治理模塊，均有治理資源連接器。在治理 系統(tǒng)112內(nèi)部，該治理資源板128可針對每個導(dǎo)管130、 132、 134、針對連接 至治理資源板128外部的每個治理資源均具有連接器(未示出)。因此，舉例 來說，如果特定治理系統(tǒng)112連接至三個治理資源，則在治理資源板128外部 可存在三個治理資源連接器136，且在治理資源板128內(nèi)側(cè)可存在三乘三，即 九個連接器(未示出)。應(yīng)了解，可存在比由治理系統(tǒng)112使用的三個更多或 更少治理資源，正如可存在比在治理系統(tǒng)112中包含的三個治理模塊更多或更 少的治理模塊。
在操作中，工藝工具102可在工藝室104內(nèi)執(zhí)行電子器件制造步驟。在制 造步驟期間及之后，可由真空泵106從工藝室104抽空廢物，并將其引入治理 系統(tǒng)112。在治理系統(tǒng)112內(nèi)，可在治理模塊114、 116、 118中處理該廢物， 以使該廢物可被接受最終釋放至大氣。舉例來說，治理模塊114、 116、 118可 用于從廢物中移除微粒物質(zhì)，中和酸性氣體，氧化危險、有害或不希望出現(xiàn)的 化合物，及移除水溶化學(xué)藥品，以便進一步以液體的形式進行處理等等。可使 用其它適當(dāng)處理。在治理工具112中處理之后，廢物可穿過導(dǎo)管124，如上所 述。廢物在治理模塊114、 116、 118中的治理期間，治理模塊可通過連接板 128及導(dǎo)管130、 132、 134從治理資源供給(未示出)接收治理資源。治理模 塊114、 116、 118可使用這些治理資源，以治理廢物。
圖2是描述設(shè)計及構(gòu)造圖1的電子器件制造系統(tǒng)的方法200的流程圖。方法200開始于步驟202。在歩驟204中，電子器件制造系統(tǒng)制造商可選擇頻繁 并入治理系統(tǒng)的一個或多個治理子系統(tǒng)、構(gòu)造一個或多個每一個都被選定的治 理子系統(tǒng)、認(rèn)證每個構(gòu)造的治理子系統(tǒng)，及將該已認(rèn)證的治理子系統(tǒng)放置在儲 備中。在替代實施例中，電子器件制造系統(tǒng)構(gòu)造者可能不構(gòu)建治理子系統(tǒng)，則 可采購及儲備一個或多個預(yù)認(rèn)證的治理子系統(tǒng)。在步驟206中，制造商或構(gòu)造 者可確定顧客對治理系統(tǒng)的要求。在步驟208中，制造商或構(gòu)造者可選擇適當(dāng) 的治理子系統(tǒng)。在步驟210中，制造商或構(gòu)造者可使用至少一個儲備的、預(yù)認(rèn) 證的治理子系統(tǒng)來組裝選定的治理子系統(tǒng)，然后認(rèn)證所構(gòu)造的治理系統(tǒng)。在步 驟212中，可將該治理系統(tǒng)運送至顧客。方法200結(jié)束于步驟214。所認(rèn)證治 理子系統(tǒng)的儲備可允許制造商在更短時間內(nèi)運送治理系統(tǒng)。
圖3是本發(fā)明的電子器件制造系統(tǒng)300的第二實施例的示意圖。系統(tǒng)300 可包含工藝工具302，可通過導(dǎo)管304將其連接至真空泵306。真空泵306又 可通過導(dǎo)管308連接至治理工具310。治理工具310可通過導(dǎo)管314、閥組件 316和導(dǎo)管318與治理資源供給312流體連接。閥組件316可包含兩個關(guān)斷閥 320、 322，它們可由連接器324連接。這個閥設(shè)計可使操作者能夠防止流體從 治理資源供給312通過導(dǎo)管314的流動，也可防止流體通過導(dǎo)管318從治理工 具310的任何回流。連接器324可使操作者能夠從系統(tǒng)300切斷治理資源供給 312?？墒褂萌魏芜m當(dāng)閥組件。
系統(tǒng)300還可包含備用治理資源供給326，可與治理資源供給312含有相 同的治理資源。備用治理資源供給326可通過導(dǎo)管328、閥組件330和導(dǎo)管332 與治理工具310流體連接。閥組件330，類似于閥組件316，可包含兩個關(guān)斷 閥334、 336，可通過連接器338將它們連接。治理工具310可通過導(dǎo)管340 連接至進一步處理(未示出)、廠房排氣系統(tǒng)(未示出)或直接至大氣。
在操作中，工藝工具302可通過導(dǎo)管304、通過真空泵306、通過導(dǎo)管308 排出廢物并流入治理工具310，該治理工具310可用于治理廢物。治理工具310 可從治理資源供給312接收治理資源。治理資源可從治理資源供給312通過導(dǎo) 管314、閥組件316、導(dǎo)管318，流入治理工具310。然后經(jīng)治理的廢物可從治 理工具310通過導(dǎo)管340流入廠房排氣系統(tǒng)(未示出)、以進一步處理(未示 出)，或直接至大氣。備用治理資源供給326可含有與治理資源供給312相同 的治理資源。如果來自治理資源供給312的治理資源不再能用于治理工具310，治理工具310可從備用治理資源供給326接收治理資源。來自備用治理資源供 給326的治理資源可通過導(dǎo)管328、閥組件330及導(dǎo)管332，流入治理工具310。 以下將參考圖4更詳細(xì)地描述閥組件316及330的功能。
圖4是描述操作圖3的電子器件制造系統(tǒng)300的方法400的流程圖。在某 些實施例中，方法400可提供一種用于使用備用治理資源供給326替換治理資 源供給312的方法，而不需要中斷工藝工具302的操作。在某些實施例中，系 統(tǒng)300可包含備用治理資源供給326，備用治理資源供給326可作為治理資源 供給312的備用治理資源供給僅僅可用于系統(tǒng)300。
方法400從步驟402開始。在步驟404中，操作工藝工具302以執(zhí)行在電 子器件制造中的一系列步驟。在步驟406中，治理資源從治理資源供給312 流動至治理工具310，且備用治理資源326作為供給312的備用治理資源供給 保持閑置。由治理工具310使用治理資源來治理來自工藝工具302的廢物。
在歩驟408中，治理資源的來源從治理資源供給312變?yōu)閭溆弥卫碣Y源供 給326。在工藝工具302及治理工具310的操作期間，有時治理資源供給312 會遇到問題，或者為了進行預(yù)防性維護或因為某些其它原因，必須停止使用。 如果需要使治理資源供給312停止使用，則操作者或控制器可從治理工具310 切斷治理資源供給312，且操作者或控制器可連接備用治理資源供給326，以 便使治理工具310不經(jīng)歷治理資源中斷。
切斷治理資源供給的歩驟408可包含以下步驟。參照圖3，閥320、 322 可轉(zhuǎn)至關(guān)閉位置，以防止任何治理資源進一步從導(dǎo)管314流動，并防止治理資 源或該治理工具310內(nèi)的其它物質(zhì)通過導(dǎo)管318的任何回流。同時，或在幾乎 相同時刻，可通過打開的閥334、 336將備用治理資源供給326連接至治理工 具310。閥320、 322已經(jīng)關(guān)閉之后，可切斷連接器324且可移除治理資源供 給312以便維修及/或修理故障。可使用任何其它適當(dāng)方法切斷治理資源供給 312并連接備用治理資源供給326。
在步驟410中，工藝工具302的操作在切斷治理資源供給312及連接替代 治理資源供給326的步驟期間不中斷。在步驟412中，方法400結(jié)束。
圖5是本發(fā)明的電子器件制造系統(tǒng)500的第三實施例的示意圖。系統(tǒng)500 可包含工藝工具502、 502a。可分別通過導(dǎo)管506、 506a將工藝工具502、 502a 分別連接至治理工具504、 504a。治理資源供給508、 508a可分別為至治理工具504、 504a的主要治理資源供給。在某些實施例中，治理資源供給508可通 過主導(dǎo)管510將治理資源提供至治理工具504。類似地，治理資源供給508a 可通過主導(dǎo)管510a將相同治理資源提供至治理工具504a。
副導(dǎo)管512可將治理資源供給508連接至治理工具504a。同樣，副導(dǎo)管 512a可將治理資源供給508a連接至治理工具504。
每個主導(dǎo)管510、 510a及副導(dǎo)管512、 512a可分別含有閥組件514、 514a 及516、 516a。已對照圖3詳細(xì)討論了這些閥組件，及其在閥組件水平上的操 作，且閥組件水平的說明將同樣適用于在圖5中描述的閥組件。
盡管已在圖5中僅描述具有兩個平行工藝工具/治理工具/治理資源供應(yīng)管 線的系統(tǒng)500，但應(yīng)了解可使用三個或更多平行工藝工具/治理工具/治理資源 供應(yīng)管線。
當(dāng)然，對于某些治理資源，運輸治理資源至該處的治理工具的每個導(dǎo)管必 須為回流導(dǎo)管。本文中為了清晰起見，未在任何附圖中顯示回流導(dǎo)管。
在操作中，系統(tǒng)500的工藝工具502、 502a可產(chǎn)生廢物，廢物可分別通過 導(dǎo)管506、 506a分別至治理工具504、 504a，在這里廢物可被治理。治理工具 504、 504a又可分別從治理資源供給508、 508a接收治理資源。治理資源供給 508、 508a可設(shè)計為具有充分容量，以便當(dāng)這些治理資源供給中的一個停止操 作時，可選擇剩余可操作的治理資源供給以將治理資源提供至治理工具504、 504a。這可在替換或修復(fù)該停止操作的治理資源供給時，允許工藝工具502、 502a繼續(xù)操作。
在某些實施例中，在正常操作期間，副導(dǎo)管512、 512a可未被選擇且保持 關(guān)閉，以便沒有治理資源流過該副導(dǎo)管。在治理資源供給508、 508a中的一個 變得不可用的情況下，可選擇將仍然可用的治理資源供給連接至治理工具的副 導(dǎo)管，其中治理工具的主治理資源供給已變得不可用。在選擇時，副導(dǎo)管中的 閥組件打開以允許治理資源流過該副導(dǎo)管。舉例來說，如果治理資源供給508a 將變得不可用，可選擇副導(dǎo)管512并將閥組件516置于開啟狀態(tài)。這些動作將 允許治理資源從治理資源供給508通過導(dǎo)管512流動至治理工具504a。
如果必須從系統(tǒng)500移除治理資源供給中的一個，則可將治理資源供給輸 出的主導(dǎo)管及副導(dǎo)管的閥組件置于關(guān)閉狀態(tài)，并可切斷閥組件的連接器部分。 對于閥組件的操作說明，參見圖3。舉例來說，如果必須從系統(tǒng)500移除治理資源供給508，則可將閥組件514及閥組件516置于關(guān)閉狀態(tài)。然后，可切斷 閥組件以便可從系統(tǒng)500移除治理資源供給508。當(dāng)然，在移除治理資源供給 508之前，可將閥組件516a置于開啟狀態(tài)，以便治理資源供給508a可通過導(dǎo) 管512a將治理資源提供至治理工具504。
圖6是描述操作圖5的電子器件制造系統(tǒng)的方法600的流程圖。方法600 利用系統(tǒng)500的配置，其中可在資源供給508、 508a中構(gòu)建額外容量，以便當(dāng) 資源供給中的一個不可用時，另一個資源供給可用于向系統(tǒng)500中的其它治理 工具提供備用資源功能。如上所述，系統(tǒng)500可包含兩個以上平行管線。
方法600開始于步驟602。在步驟604中，操作具有專用治理工具504、 504a的工藝工具502、 502a以執(zhí)行電子器件制造中的歩驟。在步驟606中， 為每個治理工具提供來自治理資源供給的治理資源，該治理資源供給為治理工 具的主要供給。舉例來說，在圖5中，治理工具504主要由治理資源供給508 提供，且治理工具504a主要由治理資源供給508a提供。這可通過將閥514、 514a配置于開啟位置，且將閥516、 516a配置于關(guān)閉位置來完成。
在步驟608中，從第一治理資源供給主要供給的治理工具切斷第一治理資 源供給。同時，或在幾乎相同時刻，將第二治理資源供給連接至這兩個治理工 具。在治理資源供給中構(gòu)建的超容量允許這些供給中的一個給兩個治理工具供 給至少有限時間。在步驟610中，在切斷治理資源供給及連接其它治理資源供 給的步驟期間及之后，工藝工具502、 502a均操作。方法600結(jié)束于步驟612。
圖7是本發(fā)明的電子器件制造系統(tǒng)700的第四實施例的示意圖。系統(tǒng)700 可包含工藝工具702、 702a，可通過導(dǎo)管706、 706a將其連接至治理工具704、 704a。在某些實施例中，對于任何特定治理資源，每個治理工具可具有針對該 治理資源的主要治理資源供給。在圖7中，舉例來說，治理工具704可通過導(dǎo) 管710、閥組件712及閥714從治理資源供給708接收治理資源。同樣，治理 工具704a可通過導(dǎo)管710a、閥組件712a及閥714a從治理資源供給708a接收 治理資源。資源供給708b可配置為備用治理資源供給，且可分別通過導(dǎo)管716 及716a連接至治理工具704及704a。
在操作中，工藝工具及702、 702a可產(chǎn)生廢物，廢物通過導(dǎo)管706、 706a 并流入治理工具704、 704a，在這里廢物可被治理。治理工具704、 704a可使 用分別由主要治理資源供給708、 708a提供的治理資源。在正常操作情況下，治理資源供給708b可能不與任何治理工具流體連接，且可被視為后備治理資
源供給。"未處于流體連接"意指，舉例來說，閥組件712b、 712c可能處于關(guān) 閉狀態(tài)中，或某些閥714及714a可能經(jīng)配置以防止流體從治理資源供給708b 流動。然而，如果一個或多個主要治理資源供給708、 708a變得不可操作或以 其它方式停止使用，則可將治理資源供給708b連接至其主要治理資源供給已 變得不可用的一個或多個治理工具。選擇并從一個治理資源供給切換至另一個 治理資源供給可通過一系列閥諸如閥組件712、 712a、 712b及712c，結(jié)合三 向閥714及714a來完成。因此，舉例來說，如果治理資源供給708變得不可 用，可操作這些閥來切斷治理資源供給708與治理工具704的流體連通，并將 治理資源供給708b置于與治理工具704流體連通的位置。這可通過將閥組件 712置于關(guān)閉狀態(tài)、通過將閥組件712b置于開啟狀態(tài)，且通過將三向閥714 置于允許治理資源流過導(dǎo)管716流入治理工具704的狀態(tài)來完成。當(dāng)從系統(tǒng) 700切斷治理資源供給708時，可修復(fù)或維護治理資源供給708。
圖8是描述操作圖7的電子器件制造系統(tǒng)的方法800的流程圖。方法800 利用備用治理資源供給708b，連接至一個以上的治理工具704、 704b。備用治 理工具708b在正常操作期間閑置，且可用于充當(dāng)連接至任何治理工具704、 704b的備用治理資源供給。盡管系統(tǒng)700僅示出了兩個平行工藝工具/治理工 具/治理資源供應(yīng)管線，但應(yīng)了解可使用三個或更多平行工藝管線。
方法800從步驟802開始。在步驟804中，操作具有專用治理工具704、 704a的兩個工藝工具702、 702a以執(zhí)行電子器件制造工藝中的步驟。在步驟 806中，每個治理工具704、 704a分別從主要治理資源供給接收治理資源。在 步驟808中，提供備用治理資源供給，以便在主要治理資源供給可能變得不可 用時使用，但備用治理資源供給在需要作為備用資源供給前保持閑置。在步驟 810中，治理資源的提供從主要治理資源供給708、 708a中的一個變更為備用 治理資源供給708b。在歩驟812中，操作工藝工具以執(zhí)行在步驟810期間及 之后的電子器件制造工藝步驟，在步驟810中主要治理資源供給被切斷，且將 備用治理資源供給連接至治理工具。方法800結(jié)束于步驟814。
上述說明僅公開本發(fā)明的示意性實施例。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員易于明了 落入本發(fā)明范疇內(nèi)的對以上所公開的設(shè)備及方法的修改。舉例來說，已針對治 理系統(tǒng)組件說明本發(fā)明，但本發(fā)明可使用其它電子器件制造系統(tǒng)及子系統(tǒng)實踐，包含但不限于，鼓風(fēng)機、彔、冷卻器、工藝化學(xué)藥品運送系統(tǒng)、整個治理 系統(tǒng)、冷卻塔、低溫泵等等。這些系統(tǒng)及子系統(tǒng)可具有用于備用的額外容量， 可加倍以具有專用備用，或充當(dāng)一組類似組件的備用。
于是，盡管結(jié)合示意性實施例公開了本發(fā)明，但應(yīng)了解在如由所附的權(quán)利 要求書限定的本發(fā)明的精神及范圍內(nèi)，可有其它實施例。
權(quán)利要求
1.一種用于操作一個或多個電子器件制造系統(tǒng)的方法，包括使用工藝工具執(zhí)行一系列電子器件制造工藝步驟，其中該工藝工具產(chǎn)生廢物作為副產(chǎn)品；使用治理工具治理該廢物；從第一治理資源供給向該治理工具提供治理資源；將治理資源供給從該第一治理資源供給變更為第二治理資源供給，其中變更該治理資源供給包括從該第一治理資源供給中斷該治理資源的流動；及從該第二治理資源供給開始該治理資源的流動；及當(dāng)變更該治理資源供給時及在變更該治理資源供給之后，繼續(xù)使用該工藝工具執(zhí)行該系列工藝步驟。
2. 如權(quán)利要求l所述的方法，其中該治理資源為燃油、功率、氧化劑、清 潔干燥空氣、水、冷卻媒介、惰性氣體、環(huán)境空氣及酸中和劑的至少一種。
3. 如權(quán)利要求l所述的方法，其中在變更該治理資源供給之前，該第一治理資源供給用作該治理工具的主要 治理資源供給；及該第二治理資源供給處于閑置狀態(tài)，且可用作僅針對該治理 工具的備用治理資源供給；及在變更該治理資源供給之后，該第一治理資源供給處于閑置狀態(tài)；及該第 二治理資源用作該治理工具的補充治理資源供給。
4. 如權(quán)利要求l所述的方法，其中在變更該治理資源供給之前，該第一治理資源供給用作針對第一治理工具 的主要治理資源供給；及該第二治理資源供給用作針對第二治理工具的主要治 理資源供給；及在變更該治理資源供給之后，該第一治理資源供給處于閑置狀態(tài)；及該第 二治理資源供給用作該第二治理工具的主要治理資源供給，且作為該第一治理工具的補充治理資源供給。
5. 如權(quán)利要求l所述的方法，其中在變更該治理資源供給之前，該第二治理資源供給處于閑置狀態(tài)；及該第二治理資源供給可用于充當(dāng)兩個或兩個以上治理工具的補充治理資源供給；及 在變更該治理資源供給之后，該第一治理資源供給處于閑置狀態(tài)；及該第 二治理資源供給用作一個或多個所述治理工具的補充供給。
6. 如權(quán)利要求3、 4或5所述的方法，其中控制器操作閥系統(tǒng)以中斷該治理 資源從該第一治理資源供給的流動，且其中該控制器操作閥系統(tǒng)以開始該治理 資源從該第二治理資源供給的該流動。
7. —種用于組裝電子器件制造系統(tǒng)的方法，其包括 儲備一個或多個預(yù)認(rèn)證、模塊化、電子器件制造系統(tǒng)組件； 辨別該電子器件制造系統(tǒng)的性能要求； 選擇一個或多個儲備組件以滿足所述性能要求；從包括一個或多個所述儲備組件的組件構(gòu)造該電子器件制造系統(tǒng)；及 認(rèn)證所構(gòu)造的電子器件制造系統(tǒng)。
8. 如權(quán)利要求7所述的方法，其中所述儲備組件還包括治理工具的組件。
9. 如權(quán)利要求7所述的方法，還包括構(gòu)造模塊化、電子器件制造系統(tǒng)組件 的步驟。
10. 如權(quán)利要求7所述的方法，還包括預(yù)認(rèn)證模塊化電子器件制造系統(tǒng)組 件的步驟。
11. 一種電子器件制造系統(tǒng)，其包括 工藝工具；治理工具；第一治理資源供給，含有治理資源；及 第二治理資源供給，含有該治理資源，其中，該第二治理資源供給用于在該治理資源從該第一治理資源供給的流 動中斷之后，使治理資源流至該治理工具。
12. 如權(quán)利要求ll所述的電子器件制造系統(tǒng)，還包括 第一閥組件；及第二閥組件，其中該第一閥組件用于控制該治理資源從該第一治理資源供給至該治理工具的流動，且該第二閥組件用于控制該治理資源從該第二治理資源供給至該 治理工具的流動。
13. 如權(quán)利要求ll所述的電子器件制造系統(tǒng)，其中該第二治理資源供給僅 連接至治理工具。
14. 如權(quán)利要求ll所述的電子器件制造系統(tǒng)，其中該第二治理資源供給是針對不同治理工具的主要治理資源供給。
15. 如權(quán)利要求11所述的電子器件制造系統(tǒng)，其中該第二治理資源供給 連接至一個以上的治理工具，且不充當(dāng)任何治理工具的主要治理資源。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用于操作一個或多個電子器件制造系統(tǒng)的方法，其包含以下步驟1)使用工藝工具執(zhí)行一系列電子器件制造工藝步驟，其中該工藝工具產(chǎn)生廢物作為執(zhí)行該系列工藝步驟的副產(chǎn)品；2)使用治理工具治理該廢物；3)從第一治理資源供給向該治理工具提供治理資源；4)將治理資源供給從該第一治理資源供給變更為第二治理資源供給，其中變更該治理資源供給包括i)從該第一治理資源供給中斷該治理資源的流動；及ii)從該第二治理資源供給開始該治理資源的流動；及5)當(dāng)變更該治理資源供給時及在變更之后，繼續(xù)使用該工藝工具執(zhí)行該系列工藝步驟。
文檔編號G06F19/00GK101681398SQ200880017492
公開日2010年3月24日 申請日期2008年5月24日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月25日
發(fā)明者丹尼爾·O·克拉克, 尤塞夫·A·羅德杰, 杰伊·J·榮格, 羅伯特·M·韋爾穆倫, 羅格·M·約翰遜, 菲爾·錢德勒, 詹姆斯·L·史密斯 申請人:應(yīng)用材料股份有限公司