專利名稱：面向ic裝備控制軟件的gui平臺(tái)化實(shí)現(xiàn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于組態(tài)監(jiān)控與通信技術(shù)，具體地說(shuō)是一種面向IC裝備控制軟件的⑶I平臺(tái)化實(shí)現(xiàn)方法。
背景技術(shù)：
目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體廠商對(duì)利用ICGntegrate circuit，集成電路)裝備加工晶圓工藝的投資已朝向晶圓直徑為12英寸發(fā)展，其晶圓生產(chǎn)工序日漸復(fù)雜，而很多生產(chǎn)設(shè)備可能來(lái)至不同的設(shè)備制造廠商，這就給上層人機(jī)⑶1(圖形用戶界面，Graphical User Interface)交互和生產(chǎn)管理帶來(lái)困難。特別是人機(jī)GUI界面的交互，對(duì)于不同設(shè)備商和用戶，每次都要重新開(kāi)發(fā)新的應(yīng)用程序。這對(duì)于加快產(chǎn)品化生產(chǎn)造成了阻礙，無(wú)法滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中生產(chǎn)線快速投入使用的需要。
國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備制造商所使用的軟件主要是直接購(gòu)買國(guó)外產(chǎn)品或購(gòu)買軟件授權(quán)以進(jìn)行簡(jiǎn)單的二次開(kāi)發(fā)，而且軟件的使用具有相當(dāng)?shù)木窒扌?，不能與其他廠商設(shè)備通用，運(yùn)行成本極高。目前國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)上沒(méi)有出現(xiàn)通用的產(chǎn)品軟件，普遍面臨設(shè)備和控制系統(tǒng)GUI人機(jī)界面的改造及新系統(tǒng)的⑶I開(kāi)發(fā)問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中半導(dǎo)體設(shè)備存在的產(chǎn)品軟件通用性差等不足之處，本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種通用強(qiáng)、組態(tài)靈活的面向IC裝備控制軟件的GUI平臺(tái)化實(shí)現(xiàn)方法。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是本發(fā)明一種面向IC裝備控制軟件的⑶I平臺(tái)化實(shí)現(xiàn)方法包括以下步驟根據(jù)不同廠商的IC設(shè)備特點(diǎn)開(kāi)發(fā)相應(yīng)的IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊和繪制GUI平臺(tái)界面；利用上述IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊將IC裝備的監(jiān)控主機(jī)與控制器進(jìn)行連接，形成通訊網(wǎng)絡(luò)；IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊通過(guò)上述通訊網(wǎng)絡(luò)讀寫控制器中的數(shù)據(jù)，并將數(shù)據(jù)映射到⑶I平臺(tái)的通用數(shù)據(jù)層；⑶I平臺(tái)界面利用通用數(shù)據(jù)層進(jìn)行數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)顯示、控制和異常處理，實(shí)現(xiàn)IC裝備控制軟件的GUI平臺(tái)化。所述IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊將IC裝備的監(jiān)控主機(jī)與控制器進(jìn)行連接包括以下步驟判斷IC裝備的監(jiān)控主機(jī)與控制器是否已建立連接；如果沒(méi)有建立連接，則對(duì)IC裝備的監(jiān)控主機(jī)與控制器進(jìn)行連接操作，同時(shí)判斷連接時(shí)間是否超時(shí)；如果沒(méi)有超時(shí)，即在規(guī)定時(shí)間內(nèi)監(jiān)控主機(jī)與控制器連接完成，則啟動(dòng)接收數(shù)據(jù)線程，注冊(cè)回調(diào)函數(shù)，建立命令輸出通道，IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊向控制器發(fā)送操作請(qǐng)求命令；判斷IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊向控制器發(fā)送操作請(qǐng)求命令是否超時(shí)；
如果沒(méi)有超時(shí)，則發(fā)送成功，接收應(yīng)答數(shù)據(jù)包，一次操作請(qǐng)求結(jié)束；如果發(fā)送操作請(qǐng)求命令超時(shí)，則向IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)軟件返回錯(cuò)誤碼，一次操作請(qǐng)求結(jié)束；如果監(jiān)控主機(jī)與控制器已連接或連接時(shí)間超時(shí)，則結(jié)束本次監(jiān)控主機(jī)與控制器的連接。所述注冊(cè)回調(diào)函數(shù)包括以下步驟IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊接收回調(diào)數(shù)據(jù)；根據(jù)回調(diào)數(shù)據(jù)類型進(jìn)行數(shù)據(jù)包編碼；將編碼后的數(shù)據(jù)包向GUI平臺(tái)界面進(jìn)行數(shù)據(jù)事件發(fā)布，結(jié)束本次回調(diào)。⑶I平臺(tái)界面利用通用數(shù)據(jù)層進(jìn)行數(shù)據(jù)控制包括以下步驟當(dāng)有用戶控制操作請(qǐng)求時(shí)，則根據(jù)操作類型分別送入相應(yīng)的輸出通道；通過(guò)IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊將用戶控制操作請(qǐng)求寫入控制器。⑶I平臺(tái)界面利用通用數(shù)據(jù)層進(jìn)行數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)顯示包括以下步驟注冊(cè)事件接收回調(diào)接口 ；判斷是否響應(yīng)事件，如果響應(yīng)事件，則對(duì)接收到的數(shù)據(jù)包進(jìn)行解碼操作，得到解碼后的數(shù)據(jù)段；根據(jù)回調(diào)類型將數(shù)據(jù)段發(fā)布到IC圖元控件；判斷數(shù)據(jù)段名與IC圖元控件接口的用戶配置名是否相同；如果相同，則刷新該IC圖元控件接口的用戶配置名的對(duì)應(yīng)值，結(jié)束本次實(shí)時(shí)顯示；如果數(shù)據(jù)段名與IC圖元控件接口的用戶配置名不相同，則返回判斷數(shù)據(jù)段名與 IC圖元控件接口的用戶配置名是否相同步驟；如果不響應(yīng)事件，則返回判斷是否響應(yīng)事件步驟。所述⑶I平臺(tái)界面通過(guò)以下過(guò)程建立利用圖形軟件繪制IC裝備⑶I平臺(tái)界面；在⑶I平臺(tái)界面中配置IC圖元控件接口 ；在IC圖元控件接口中配置IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊的變量名稱；保存配置工程，完成⑶I平臺(tái)界面的建立。本發(fā)明具有以下有益效果及優(yōu)點(diǎn)1.本發(fā)明采用標(biāo)準(zhǔn)的分布式網(wǎng)絡(luò)接口協(xié)議，為半導(dǎo)體設(shè)備等所制定的集束型控制系統(tǒng)提供了標(biāo)準(zhǔn)化的軟件接口和GUI人機(jī)界面實(shí)現(xiàn)方法，有利于不同IC裝備控制系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)化；通過(guò)對(duì)操作系統(tǒng)底層接口的封裝，實(shí)現(xiàn)了跨平臺(tái)機(jī)制，提高了晶圓制造設(shè)備的集群監(jiān)控能力，從而有效的解決了人機(jī)交互通訊及控制問(wèn)題，提高了半導(dǎo)體廠商加工和設(shè)備管理的自動(dòng)化水平。2.本發(fā)明通過(guò)對(duì)控制設(shè)備的數(shù)據(jù)收集、設(shè)備控制和異常處理功能及⑶I人機(jī)界面圖元機(jī)制的封裝，可滿足用戶對(duì)相應(yīng)控制系統(tǒng)的人機(jī)界面的靈活組態(tài)和配置，使整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程能在短時(shí)間內(nèi)快速組態(tài)，保證生產(chǎn)提前啟動(dòng)的需要。3.本發(fā)明通過(guò)回調(diào)和事件的請(qǐng)求應(yīng)答處理機(jī)制，完善了⑶I界面與控制器的的通訊，有效的解決了設(shè)備異常報(bào)警和實(shí)時(shí)監(jiān)控等問(wèn)題，有效的保證了工藝生產(chǎn)的要求。


圖1為設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊端連接控制器流程圖；圖2為注冊(cè)回調(diào)和命令發(fā)送流程圖；圖3為IC圖元控件模型結(jié)構(gòu)圖；圖4為IC圖元控件刷新流程圖；圖5為⑶I圖形化組態(tài)模塊結(jié)構(gòu)圖；圖6為用戶自定義EventArg消息格式；圖7為實(shí)施例界面圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。本發(fā)明面向IC裝備控制軟件的⑶I平臺(tái)化實(shí)現(xiàn)方法包括以下步驟1)根據(jù)不同廠商的IC設(shè)備特點(diǎn)開(kāi)發(fā)相應(yīng)的IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊。本實(shí)施例以DeviceNet PLC控制器為例，該控制器集成IC裝備全部所需控制數(shù)據(jù)，為了讀寫該控制器的數(shù)據(jù)，完成生產(chǎn)需要，根據(jù)DeviceNet協(xié)議開(kāi)發(fā)該控制器的IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊。首先建立DeviceNet客戶對(duì)象，然后構(gòu)建DeviceNet協(xié)議請(qǐng)求數(shù)據(jù)包，向控制器發(fā)送讀操作請(qǐng)求命令，控制器根據(jù)請(qǐng)求返回應(yīng)答數(shù)據(jù)，IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊根據(jù)DeviceNet協(xié)議解析應(yīng)答數(shù)據(jù)包，得到控制器實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)。當(dāng)有寫操作請(qǐng)求時(shí)，根據(jù)構(gòu)建的DeviceNet客戶對(duì)象向要寫操作的數(shù)據(jù)變量發(fā)送寫操作命令，完成寫操作請(qǐng)求。2)繪制⑶I平臺(tái)界面根據(jù)不同廠商的IC裝備特點(diǎn)通過(guò)IC圖元控件或者用戶自定義方式繪制相應(yīng)的監(jiān)控畫面圖。該過(guò)程可以由用戶根據(jù)具體的工藝流程決定，但是IC圖元控件的開(kāi)發(fā)一定要遵守本發(fā)明規(guī)范。繪制好的GUI平臺(tái)界面需要進(jìn)行人為配置才能實(shí)施監(jiān)控，具體介紹見(jiàn)圖5 所示介紹。3)利用上述IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊將IC裝備的監(jiān)控主機(jī)與控制器進(jìn)行連接，形成通訊網(wǎng)絡(luò)；4) IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊通過(guò)上述通訊網(wǎng)絡(luò)讀寫控制器中的數(shù)據(jù)，并將數(shù)據(jù)映射到⑶I 平臺(tái)的通用數(shù)據(jù)層；當(dāng)IC驅(qū)動(dòng)模塊與控制器連接成功后，可定時(shí)讀取控制器的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，并根據(jù)用戶操作請(qǐng)求下發(fā)操作命令，這些數(shù)據(jù)都可以映射到GUI平臺(tái)的通用數(shù)據(jù)層，該通用數(shù)據(jù)層是用于數(shù)據(jù)緩沖的一個(gè)數(shù)據(jù)緩沖池。為GUI平臺(tái)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)顯示提供數(shù)據(jù)源。5)⑶I平臺(tái)界面利用通用數(shù)據(jù)層進(jìn)行數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)顯示、控制和異常處理，實(shí)現(xiàn)IC 裝備控制軟件的GUI平臺(tái)化。如圖1所示，為IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊端連接控制器流程圖。所述IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊將 IC裝備的監(jiān)控主機(jī)與控制器進(jìn)行連接包括以下步驟判斷IC裝備的監(jiān)控主機(jī)與控制器是否已建立連接；如果沒(méi)有建立連接，則對(duì)IC裝備的監(jiān)控主機(jī)與控制器進(jìn)行連接操作，同時(shí)判斷連接時(shí)間是否超時(shí)(本實(shí)施例中連接間隔計(jì)時(shí)器T5的規(guī)定時(shí)間為5秒)；
如果沒(méi)有超時(shí)，即在規(guī)定時(shí)間內(nèi)監(jiān)控主機(jī)與控制器連接完成，則啟動(dòng)接收數(shù)據(jù)線程，注冊(cè)回調(diào)函數(shù)，建立命令輸出通道，IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊向控制器發(fā)送操作請(qǐng)求命令；判斷IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊向控制器發(fā)送操作請(qǐng)求命令是否超時(shí)(本實(shí)施例中選擇計(jì)時(shí)器T3的規(guī)定時(shí)間為3秒)；如果沒(méi)有超時(shí)，則發(fā)送成功，接收應(yīng)答數(shù)據(jù)包，一次操作請(qǐng)求結(jié)束；如果發(fā)送操作請(qǐng)求命令超時(shí)，則向IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊返回錯(cuò)誤碼，一次操作請(qǐng)求結(jié)束；如果監(jiān)控主機(jī)與控制器已連接或連接時(shí)間超時(shí)，則結(jié)束本次監(jiān)控主機(jī)與控制器的連接。如圖2所示，為注冊(cè)回調(diào)和命令發(fā)送流程圖。所述注冊(cè)回調(diào)函數(shù)包括以下步驟IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊接收回調(diào)數(shù)據(jù)；根據(jù)回調(diào)數(shù)據(jù)類型進(jìn)行數(shù)據(jù)包編碼，本實(shí)施例中對(duì)回調(diào)數(shù)據(jù)進(jìn)行EventArg消息格式的數(shù)據(jù)編碼；將編碼后的數(shù)據(jù)包向GUI平臺(tái)界面進(jìn)行數(shù)據(jù)事件發(fā)布，結(jié)束本次回調(diào)。編碼后的數(shù)據(jù)再次通過(guò)事件向上層IC圖元控件進(jìn)行發(fā)布，用來(lái)刷新數(shù)據(jù)。⑶I平臺(tái)界面利用通用數(shù)據(jù)層進(jìn)行數(shù)據(jù)控制包括以下步驟當(dāng)有用戶控制操作請(qǐng)求時(shí)，則根據(jù)操作類型分別送入相應(yīng)的輸出通道；通過(guò)IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊將用戶控制操作請(qǐng)求寫入控制器。如圖3，為IC圖元控件模型結(jié)構(gòu)圖IC圖元控件由用戶自行開(kāi)發(fā)，按照規(guī)定的接口描述即可。有type接口，表述控件的類型；用戶事件接口 herEvent，用來(lái)表述控件的用戶操作命令；變量名VarName接口，用來(lái)給用戶留出自行配置變量的空間；變量列表VarList 接口，是留給主程序進(jìn)行一致性的刷新調(diào)用接口。如圖4所示，為IC圖元控件刷新流程圖。GUI平臺(tái)界面利用通用數(shù)據(jù)層進(jìn)行數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)顯示包括以下步驟注冊(cè)事件接收回調(diào)接口 ；當(dāng)IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊接收到控制器的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)后，通過(guò)上述注冊(cè)的事件接收回調(diào)接口進(jìn)行實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)事件發(fā)布。而且僅當(dāng)數(shù)據(jù)發(fā)生變化時(shí)，才做事件發(fā)布；判斷是否響應(yīng)事件，如果響應(yīng)事件，則對(duì)接收到的數(shù)據(jù)包進(jìn)行解碼操作，得到解碼后的數(shù)據(jù)段，本實(shí)施例采用EventArg對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行解析；解析后得到EventArg消息隊(duì)列，然后根據(jù)消息格式得到回調(diào)類型；根據(jù)回調(diào)類型將數(shù)據(jù)段發(fā)布到IC圖元控件；判斷數(shù)據(jù)段名與IC圖元控件接口的用戶配置名是否相同；如果相同，則刷新該IC圖元控件接口的用戶配置名的對(duì)應(yīng)值，結(jié)束本次實(shí)時(shí)顯示；如果數(shù)據(jù)段名與IC圖元控件接口的用戶配置名不相同，則返回判斷數(shù)據(jù)段名與 IC圖元控件接口的用戶配置名是否相同步驟；如果不響應(yīng)事件，則返回判斷是否響應(yīng)事件步驟。如圖5所示，為⑶I圖形化組態(tài)模塊結(jié)構(gòu)圖。所述⑶I平臺(tái)界面通過(guò)以下過(guò)程建立
利用圖形軟件繪制IC裝備GUI平臺(tái)界面(包括用戶自繪界面和用戶自行開(kāi)發(fā)的 IC圖元控件)；本實(shí)施例以Visual Stdio. Net 2005圖形編輯軟件為例開(kāi)發(fā)IC圖元控件和繪制 GUI平臺(tái)界面及對(duì)其進(jìn)行變量配置。首先，建立用戶控件工程，用戶可按照IC圖元控件接口自行開(kāi)發(fā)圖元界面。然后將開(kāi)發(fā)好的圖元控件拖放到GUI平臺(tái)界面中，用戶可自行決定該圖元控件在GUI平臺(tái)界面各個(gè)視圖中的位置和相關(guān)的屬性配置等。在⑶I平臺(tái)界面中配置IC圖元控件接口 ；當(dāng)用戶擺放好控件完成GUI平臺(tái)界面的繪制后，需要對(duì)圖元控件接口進(jìn)行變量配置。在Visual Stdio. Net 2005⑶I平臺(tái)界面中點(diǎn)擊該IC圖元控件，然后在其屬性欄目里選擇IC圖元控件接口進(jìn)行配置。在IC圖元控件接口中配置IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊的變量名稱；當(dāng)用戶在Visual Stdio. Net 2005⑶I平臺(tái)界面中選擇了 IC圖元控件時(shí)，其接口屬性會(huì)出現(xiàn)在屬性欄目里，用戶可在此處將IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊中的變量名稱關(guān)聯(lián)到相應(yīng)的 VarName接口上，完成圖元與控制器變量參數(shù)的對(duì)應(yīng)和關(guān)聯(lián)。保存配置工程，完成⑶I平臺(tái)界面的建立。用戶完成相關(guān)的配置工作后，可將該⑶I平臺(tái)界面的工程保存為一個(gè)監(jiān)控實(shí)施例。編譯運(yùn)行該實(shí)施例，即可進(jìn)行監(jiān)控。本實(shí)施例中，⑶I平臺(tái)界面主要分為主菜單、副菜單、主視圖和頂視圖。其中頂視圖是所有GUI界面的公共部分，主視圖是用戶GUI界面的容器，可以包含多個(gè)不同功能的 GUI界面，而主菜單就是主視圖界面的導(dǎo)航按鈕，副菜單是與該導(dǎo)航按鈕關(guān)聯(lián)的GUI界面的副導(dǎo)航按鈕。通過(guò)這種主從方式，實(shí)現(xiàn)GUI畫面的切換。實(shí)例部分界面圖如圖7所示，其中，1為加工處理腔室IC圖元控件，2為真空機(jī)械手IC圖元控件，3為真空傳輸處理腔室IC圖元控件，4為機(jī)械手側(cè)視圖IC圖元控件，5為大氣機(jī)械手所在搬運(yùn)腔室IC圖元控件，6為晶圓存取槽IC圖元控件，7為晶圓校準(zhǔn)槽IC圖元控件如圖6所示，為用戶自定義EventArg消息格式。采用標(biāo)準(zhǔn)的事件類，其中每個(gè)事件消息都包括消息事件頭EVENT ID共4個(gè)字節(jié)，頁(yè)標(biāo)識(shí)PAGE ID共4個(gè)字節(jié)與消息主體 變量名VALUE NAME,變量值VALUE，時(shí)間戳TIMESTAMP和值類型TYPE，均為字符串。消息主體可以是單個(gè)變量，也可以是多個(gè)變量的組合體。如定義EventArg VarList [η], η = 100，則消息為100個(gè)變量的組合體，每個(gè)變量都有消息格式所述的數(shù)據(jù)段。
權(quán)利要求
1.一種面向IC裝備控制軟件的GUI平臺(tái)化實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于包括以下步驟 根據(jù)不同廠商的IC設(shè)備特點(diǎn)開(kāi)發(fā)相應(yīng)的IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊和繪制GUI平臺(tái)界面；利用上述IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊將IC裝備的監(jiān)控主機(jī)與控制器進(jìn)行連接，形成通訊網(wǎng)絡(luò)； IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊通過(guò)上述通訊網(wǎng)絡(luò)讀寫控制器中的數(shù)據(jù)，并將數(shù)據(jù)映射到GUI平臺(tái)的通用數(shù)據(jù)層；GUI平臺(tái)界面利用通用數(shù)據(jù)層進(jìn)行數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)顯示、控制和異常處理，實(shí)現(xiàn)IC裝備控制軟件的GUI平臺(tái)化。
2.按權(quán)利要求1所述的面向IC裝備控制軟件的GUI平臺(tái)化實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于所述IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊將IC裝備的監(jiān)控主機(jī)與控制器進(jìn)行連接包括以下步驟判斷IC裝備的監(jiān)控主機(jī)與控制器是否已建立連接；如果沒(méi)有建立連接，則對(duì)IC裝備的監(jiān)控主機(jī)與控制器進(jìn)行連接操作，同時(shí)判斷連接時(shí)間是否超時(shí)；如果沒(méi)有超時(shí)，即在規(guī)定時(shí)間內(nèi)監(jiān)控主機(jī)與控制器連接完成，則啟動(dòng)接收數(shù)據(jù)線程，注冊(cè)回調(diào)函數(shù)，建立命令輸出通道，IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊向控制器發(fā)送操作請(qǐng)求命令； 判斷IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊向控制器發(fā)送操作請(qǐng)求命令是否超時(shí)； 如果沒(méi)有超時(shí)，則發(fā)送成功，接收應(yīng)答數(shù)據(jù)包，一次操作請(qǐng)求結(jié)束。
3.按權(quán)利要求2所述的面向IC裝備控制軟件的GUI平臺(tái)化實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于如果發(fā)送操作請(qǐng)求命令超時(shí)，則向IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)軟件返回錯(cuò)誤碼，一次操作請(qǐng)求結(jié)束。
4.按權(quán)利要求2所述的面向IC裝備控制軟件的GUI平臺(tái)化實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于如果監(jiān)控主機(jī)與控制器已連接或連接時(shí)間超時(shí)，則結(jié)束本次監(jiān)控主機(jī)與控制器的連接。
5.按權(quán)利要求2所述的面向IC裝備控制軟件的GUI平臺(tái)化實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于所述注冊(cè)回調(diào)函數(shù)包括以下步驟IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊接收回調(diào)數(shù)據(jù)； 根據(jù)回調(diào)數(shù)據(jù)類型進(jìn)行數(shù)據(jù)包編碼；將編碼后的數(shù)據(jù)包向GUI平臺(tái)界面進(jìn)行數(shù)據(jù)事件發(fā)布，結(jié)束本次回調(diào)。
6.按權(quán)利要求2所述的面向IC裝備控制軟件的GUI平臺(tái)化實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于GUI 平臺(tái)界面利用通用數(shù)據(jù)層進(jìn)行數(shù)據(jù)控制包括以下步驟當(dāng)有用戶控制操作請(qǐng)求時(shí)，則根據(jù)操作類型分別送入相應(yīng)的輸出通道； 通過(guò)IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊將用戶控制操作請(qǐng)求寫入控制器。
7.按權(quán)利要求1所述的面向IC裝備控制軟件的GUI平臺(tái)化實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于GUI 平臺(tái)界面利用通用數(shù)據(jù)層進(jìn)行數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)顯示包括以下步驟注冊(cè)事件接收回調(diào)接口；判斷是否響應(yīng)事件，如果響應(yīng)事件，則對(duì)接收到的數(shù)據(jù)包進(jìn)行解碼操作，得到解碼后的數(shù)據(jù)段；根據(jù)回調(diào)類型將數(shù)據(jù)段發(fā)布到IC圖元控件；判斷數(shù)據(jù)段名與IC圖元控件接口的用戶配置名是否相同；如果相同，則刷新該IC圖元控件接口的用戶配置名的對(duì)應(yīng)值，結(jié)束本次實(shí)時(shí)顯示。
8.按權(quán)利要求7所述的面向IC裝備控制軟件的GUI平臺(tái)化實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于如果數(shù)據(jù)段名與IC圖元控件接口的用戶配置名不相同，則返回判斷數(shù)據(jù)段名與IC圖元控件接口的用戶配置名是否相同步驟。
9.按權(quán)利要求7所述的面向IC裝備控制軟件的GUI平臺(tái)化實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于如果不響應(yīng)事件，則返回判斷是否響應(yīng)事件步驟。
10.按權(quán)利要求1所述的面向IC裝備控制軟件的GUI平臺(tái)化實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于所述⑶I平臺(tái)界面通過(guò)以下過(guò)程建立利用圖形軟件繪制IC裝備GUI平臺(tái)界面； 在⑶I平臺(tái)界面中配置IC圖元控件接口 ； 在IC圖元控件接口中配置IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊的變量名稱； 保存配置工程，完成⑶I平臺(tái)界面的建立。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種面向IC裝備控制軟件的GUI平臺(tái)化實(shí)現(xiàn)方法，包括以下步驟根據(jù)不同廠商的IC設(shè)備特點(diǎn)開(kāi)發(fā)相應(yīng)的IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊和繪制GUI平臺(tái)界面；利用上述IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊將IC裝備的監(jiān)控主機(jī)與控制器進(jìn)行連接，形成通訊網(wǎng)絡(luò)；IC設(shè)備驅(qū)動(dòng)模塊通過(guò)上述通訊網(wǎng)絡(luò)讀寫控制器中的數(shù)據(jù)，并將數(shù)據(jù)映射到GUI平臺(tái)的通用數(shù)據(jù)層；GUI平臺(tái)界面利用通用數(shù)據(jù)層進(jìn)行數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)顯示、控制和異常處理，實(shí)現(xiàn)IC裝備控制軟件的GUI平臺(tái)化。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了跨平臺(tái)機(jī)制，提高了晶圓制造設(shè)備的集群監(jiān)控能力，可滿足用戶對(duì)相應(yīng)控制系統(tǒng)的人機(jī)界面的靈活組態(tài)和配置，使整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程能在短時(shí)間內(nèi)快速組態(tài)，保證生產(chǎn)提前啟動(dòng)的需要。
文檔編號(hào)G06F9/44GK102455910SQ20111005282
公開(kāi)日2012年5月16日 申請(qǐng)日期2011年3月4日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月15日
發(fā)明者于海斌, 劉明哲, 張吉龍, 徐皚冬, 李正, 王鍇, 金妮 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所