專利名稱：靜電電容型觸摸屏面板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種靜電電容型觸摸屏面板及其制造方法。
背景技術(shù)：
近年來，諸如液晶顯示器、電致發(fā)光顯示器和等離子體顯示面板之類的顯示設(shè)備由于具有快速響應(yīng)速度、低功耗和杰出的色彩再現(xiàn)率而引起廣泛關(guān)注。顯示設(shè)備已經(jīng)用于各種電子產(chǎn)品，諸如電視、計(jì)算機(jī)的監(jiān)視器、筆記本電腦、移動(dòng)電話、電冰箱的顯示單元、個(gè)人數(shù)字助理和自動(dòng)取款機(jī)等。通常，顯示設(shè)備與諸如鍵盤、鼠標(biāo)和數(shù)字轉(zhuǎn)換器之類的各種輸 入設(shè)備進(jìn)行接口連接。然而，當(dāng)使用諸如鍵盤、鼠標(biāo)等獨(dú)立的輸入設(shè)備時(shí)，需要用戶知道怎樣使用獨(dú)立的輸入設(shè)備，并且由于獨(dú)立的輸入設(shè)備占據(jù)空間，所以使用顯示設(shè)備是不方便的，難以增強(qiáng)產(chǎn)品的完整性。因此，對(duì)可以減少錯(cuò)誤操作的便利和簡單的輸入設(shè)備的需求逐漸地增加。依照這種需求，提出一種用戶可以通過用手指或筆直接與屏幕接觸來輸入信息的觸摸屏面板。因?yàn)橛|摸屏面板具有簡單的配置而不出現(xiàn)或幾乎不出現(xiàn)任何錯(cuò)誤操作，可以在沒有獨(dú)立輸入設(shè)備的情況下執(zhí)行輸入動(dòng)作，并且具有用戶可以通過在屏幕上顯示的內(nèi)容迅速且容易地進(jìn)行操縱的便利性，所以觸摸屏面板被應(yīng)用于各種顯示設(shè)備。觸摸屏面板依照觸摸部分的檢測方法被分類為電阻型、電容型、電磁型等。電阻型觸摸屏面板在向形成在上板或下板上的金屬電極施加DC電壓的狀態(tài)下通過基于電阻的電壓梯度來確定觸摸位置。當(dāng)用戶觸摸在上板或下板上形成的導(dǎo)電膜時(shí)，電容型觸摸屏面板利用導(dǎo)電膜形成等電位并且依照在上板或下板中產(chǎn)生的電容差異來感測觸摸位置。電磁型觸摸屏面板通過讀取當(dāng)電磁筆觸摸導(dǎo)電膜時(shí)感生的LC值來檢測觸摸部分。以下，將參照?qǐng)DI和2描述依照相關(guān)技術(shù)的靜電電容型觸摸屏面板。圖I是示出依照相關(guān)技術(shù)的靜電電容型觸摸屏面板的平面圖，并圖2是沿著圖I的觸摸屏面板的線1-1’、線11-11’和線III-III’獲取的剖面圖。參照?qǐng)DI和2，相關(guān)技術(shù)的靜電電容型觸摸屏面板包括電極形成部分A、布線線路部分B和焊盤部分C。電極形成部分A形成在基板10上并且包括在第一方向(例如，X軸方向)上平行布置的多個(gè)第一電極序列Tx和被配置成在垂直于第一電極序列Tx的方向(例如，Y軸方向)上相交的多個(gè)第二電極序列Rx。第一電極序列Tx和第二電極序列Rx彼此交叉并通過絕緣層40保持電絕緣狀態(tài)。第一電極序列Tx中的每個(gè)包括多個(gè)第一電極圖案50，并且相鄰的第一電極圖案50通過連接圖案30彼此連接。連接圖案30連接到通過絕緣層40暴露的相鄰第一電極圖案50。第二電極序列Rx中的每個(gè)包括一體形成的多個(gè)第二電極圖案52。
布線部分B在電極形成部分A的外部形成，并且包括分別連接到多個(gè)第一電極序列Tx的多個(gè)第一布線線路22以及分別連接到多個(gè)第二電極序列Rx的多個(gè)第二布線線路24。焊盤部分C包括分別通過多個(gè)第一布線線路22連接到多個(gè)第一電極序列Tx的多個(gè)第一焊盤26以及分別通過多個(gè)第二布線線路24連接到多個(gè)第二電極22的多個(gè)第二焊盤28。以下，將參照?qǐng)D3A到6B描述用于制造相關(guān)技術(shù)的靜電電容型觸摸屏面板的方法。圖3A和3B是示出圖I的觸摸屏面板的第一掩模工藝的剖面圖。圖4A和4B是示出圖I的觸摸屏面板的第二掩模工藝的剖面圖。圖5A和5B是示出圖I的觸 摸屏面板的第三掩模工藝的剖面圖。圖6A和6B是示出圖I的觸摸屏面板的第四掩模工藝的剖面圖。參照?qǐng)D3A和3B，通過諸如濺射方法之類的沉積工藝在包括電極形成部分A、布線線路部分B和焊盤部分C的整個(gè)基板10上沉積第一導(dǎo)電層。作為第一導(dǎo)電層，通常使用諸如銅之類的金屬。在上面形成有第一導(dǎo)電層的整個(gè)基板10上涂覆光致抗蝕劑之后，通過使用第一掩模執(zhí)行光刻工藝來在布線線路部分B和焊盤部分C中形成用于暴露第一導(dǎo)電層的第一光致抗蝕劑圖案。在通過濕蝕刻去除由第一光致抗蝕劑圖案暴露的第一導(dǎo)電層之后，在布線線路部分B上形成第一和第二布線線路的下層22a和24a，并且在焊盤部分C上形成第一和第二焊盤的下層26a和28a。參照?qǐng)D4A和4B，通過諸如濺射方法之類的沉積工藝在包括第一和第二布線線路的下層22a和24a以及第一和第二焊盤部分的下層26a和28a的基板10的整個(gè)表面上沉積第二導(dǎo)電層。作為第二導(dǎo)電層，通常使用氧化銦錫(ITO)層。在上面形成有第二導(dǎo)電層的整個(gè)基板上涂覆光致抗蝕劑之后，通過使用第二掩模執(zhí)行光刻工藝來形成用于暴露第二導(dǎo)電層的第二光致抗蝕劑圖案。在通過濕蝕刻去除由第二光致抗蝕劑圖案暴露的第一導(dǎo)電層之后，在基板10的電極形成部分A上形成在第一方向(X軸方向)上平行布置并且以預(yù)定間隔彼此分隔的多個(gè)連接圖案30，分別在布線線路部分B上形成第一和第二布線線路的上層22b和24b，并且分別在焊盤部分C上形成第一和第二焊盤的上層26b和28b。參照?qǐng)D5A和5B，在基板10 (其中通過圖案化絕緣層形成多個(gè)連接圖案30、第一和第二布線線路的上層22b和24b以及第一和第二焊盤部分的上層26b和28b、第一絕緣圖案40)上形成絕緣層以便通過使用第三掩模執(zhí)行光刻工藝和蝕刻工藝來暴露在電極形成部分A中形成的每個(gè)連接圖案30的兩端之后，通過圖案化絕緣層在布線線路部分B和焊盤部分C中形成第二絕緣圖案42以便暴露在焊盤部分C中形成的第一和第二焊盤部分的上層26b和28b。絕緣層包括硅氮化物、硅氧化物或有機(jī)樹脂。參照?qǐng)D6A和6B，在通過諸如濺射方法之類的沉積工藝形成有第一和第二絕緣圖案40和42的基板的整個(gè)表面上形成第三導(dǎo)電層。作為第三導(dǎo)電層，可以使用ΙΤ0。在上面形成有第三導(dǎo)電層的整個(gè)基板上涂覆光致抗蝕劑之后，通過使用第四掩模執(zhí)行光刻工藝和蝕刻工藝在基板10的電極形成部分A中形成在第一方向(例如，X軸方向)上平行形成的第一電極圖案50和在與第一方向交叉的第二方向(例如，Y軸方向)上平行形成的多個(gè)第二電極圖案，并且在基板10的焊盤部分C中形成第一和第二焊盤的最上層26c和28c。第一電極圖案50中的每個(gè)被形成為覆蓋暴露到第一絕緣圖案40外部的連接圖案30的端部。由此，相鄰的第一電極圖案50通過連接圖案30彼此連接，從而形成在第一方向上縱向延伸的第一電極線Tx。同時(shí)，第二電極圖案52相一體地形成以便在第二方向上縱向延伸，從而形成第二電極線Rx。然而，在依照相關(guān)技術(shù)的靜電電容型觸摸屏面板中，例如以相對(duì)較低的溫度(大約150°C )執(zhí)行制造工藝。因此，第一電極圖案50和第二電極圖案52需要保持足夠厚以便滿足被觸摸的第一電極圖案50和第二電極圖案52的表面電阻條件。依照這種方式，如果第一電極圖案50和第二電極圖案52的厚度增加，那么為了形成第一電極圖案50和第二電極圖案52，用于形成ITO層的濺射時(shí)間增加并且蝕刻時(shí)間也增加。因此，降低了工藝產(chǎn)量。特別地，如果ITO層的厚度太大，那么在蝕刻時(shí)會(huì)留下殘留膜，從而使得圖案形成不可能實(shí)現(xiàn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)方面是提供一種觸摸屏面板及其制造方法，其可以減少用于形成用作觸摸電極的電極的透明導(dǎo)電層的濺射時(shí)間和蝕刻時(shí)間并且能夠在不留下任何殘留膜的情況下實(shí)現(xiàn)圖案化。本發(fā)明的附加特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)將在以下描述中得以闡明，并且根據(jù)所述描述而在一定程度上更加清楚，或者可以通過實(shí)踐本發(fā)明來獲悉。將通過在所描寫的說明書及其權(quán)利要求書以及附圖中具體指出的結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)和獲得本發(fā)明的目的及其它優(yōu)點(diǎn)。為了實(shí)現(xiàn)這些及其它優(yōu)點(diǎn)，依照本發(fā)明的意圖，如所體現(xiàn)和廣義描述的，一種觸摸屏面板包括基板；在所述基板上在第一方向上布置的多個(gè)第一電極序列；在第二方向上布置并與所述第一電極序列交叉的多個(gè)第二電極序列；和在所述第一電極序列和第二電極序列的交叉處形成的絕緣層，用于電絕緣所述第一電極序列和第二電極序列，其中，所述第一電極序列中的每個(gè)包括多個(gè)第一電極圖案和用于連接相鄰第一電極圖案的第二連接圖案，所述第二電極序列中的每個(gè)包括多個(gè)第二電極圖案和用于連接相鄰第二電極圖案的第一連接圖案，并且所述第一電極圖案中的每個(gè)包括在所述基板上形成的下層和在所述下層上形成的上層，并且所述第二連接圖案連接相鄰的第一電極圖案上層。優(yōu)選地，在所述觸摸屏面板中，所述第二電極圖案中的每個(gè)包括在所述基板上形成的下層和在所述第二電極圖案的下層上形成的上層，并且所述第一連接圖案連接相鄰的第二電極圖案下層。優(yōu)選地，在所述觸摸屏面板中，所述第一電極圖案上層與所述第二連接圖案一體地形成，并且所述第二電極圖案下層與所述第一連接圖案一體地形成。優(yōu)選地，在所述觸摸屏面板中，所述第二連接圖案和所述第一連接圖案被形成為彼此交叉，并且在所述第二連接圖案和所述第一連接圖案之間插入有絕緣層，在所述絕緣層下形成所述第一連接圖案，并且在所述絕緣層上形成所述第二連接圖案。優(yōu)選地，所述觸摸屏面板還包括分別連接到所述多個(gè)第一電極序列的多個(gè)第一布線線路；和分別連接到所述多個(gè)第二電極序列的多個(gè)第二布線線路，所述第一布線線路中的每個(gè)包括在所述基板上形成的下層和在所述第一布線線路的下層上形成并且連接到所述第一電極圖案的下層的上層，并且所述第二布線線路中的每個(gè)包括在所述基板上形成的下層和在所述第二布線線路的下層上形成并且連接到所述第一電極圖案的下層的上層。優(yōu)選地，所述觸摸屏面板還包括分別連接到所述多個(gè)第一布線線路的多個(gè)第一焊盤；和分別連接到所述多個(gè)第二布線線路的多個(gè)第二焊盤，其中所述第一焊盤中的每個(gè)包括在所述基板上形成并且連接到所述第一布線線路的下層的第一層，在所述第一層上形成并且連接到所述第一布線線路的上層的第二層，以及在所述第二層上形成的第三層，并且所述第二焊盤中的每個(gè)包括在所述基板上形成并且連接到所述第二布線線路的下層的第一層，在所述第一層上形成并且連接到所述第二布線線路的上層的第二層，以及在所述第二焊盤的第二層上形成的第三層。優(yōu)選地，在所述觸摸屏面板中，所述第一電極序列和第二電極序列、所述第一布線線路的上層和第二布線線路的上層、所述第一焊盤的第二層和第二焊盤的第二層以及所述第一焊盤的第三層和第二焊盤的第三層由透明的導(dǎo)電材料形成，并且所述第一布線線路的下層和第二布線線路的下層以及所述第一焊盤的第一層和第二焊盤的第一層由從Al、AINd、Mo、MoTi、Cu、CuOx和Cr中選擇的任何金屬制成。優(yōu)選地，在所述觸摸屏面板中，所述第一電極圖案的上層的厚度大于所述第一電極圖案的下層的厚度，并且所述第二電極圖案上層的厚度大于所述第二電極圖案的下層的 厚度。為了實(shí)現(xiàn)這些及其它優(yōu)點(diǎn)，依照本發(fā)明的意圖，如所體現(xiàn)和廣義描述的，一種用于制造觸摸屏面板的方法包括準(zhǔn)備基板，所述基板包括電極形成區(qū)域和位于所述電極形成區(qū)域外部的布線線路形成區(qū)域；在所述布線線路形成區(qū)域中形成第一導(dǎo)電圖案組，所述第一導(dǎo)電圖案組包括第一布線線路的下層和第二布線線路的下層；在形成有所述第一導(dǎo)電圖案組的基板的電極形成區(qū)域中形成第二導(dǎo)電圖案組，所述第二導(dǎo)電圖案組包括第一電極圖案組的下層、第二電極圖案組的下層和用于連接相鄰的第二電極圖案下層的第一連接圖案；在所述電極形成區(qū)域的第一連接圖案的頂部形成第一絕緣圖案并且在所述第一布線線路的下層和所述第二布線線路的下層中形成第二絕緣圖案；以及在所述第一電極圖案下層上形成第一電極圖案上層，在所述第一絕緣圖案上形成第二連接圖案，并且在所述第二電極圖案下層上形成第二電極圖案上層。優(yōu)選地，在所述方法中，形成所述第一導(dǎo)電圖案組包括在所述基板的整個(gè)表面上沉積第一導(dǎo)電層；形成第一光致抗蝕劑圖案以暴露整個(gè)電極形成區(qū)域的第一導(dǎo)電層和一部分布線線路形成區(qū)域的第一導(dǎo)電層；以及通過濕蝕刻所暴露的第一導(dǎo)電層并且去除所述第一光致抗蝕劑圖案在所述布線線路形成區(qū)域中形成所述第一布線線路的下層和所述第二布線線路的下層，并且形成所述第二導(dǎo)電圖案組包括在形成有所述第一導(dǎo)電圖案組的基板的整個(gè)表面上沉積第二導(dǎo)電層；形成第二光致抗蝕劑圖案以暴露所述基板的一部分電極形成區(qū)域的第二導(dǎo)電層和一部分布線線路形成區(qū)域的第二導(dǎo)電層；以及通過濕蝕刻由所述第二光致抗蝕劑圖案暴露的第二導(dǎo)電層并且去除所述第二光致抗蝕劑圖案，在所述電極形成區(qū)域中形成在第一方向上布置的多個(gè)第一初級(jí)電極序列以及在與所述第一方向交叉的第二方向上布置的多個(gè)第二初級(jí)電極序列，并且在所述布線線路形成區(qū)域中形成上層以覆蓋所述第一布線線路的下層和第二布線線路的下層。優(yōu)選地，在所述方法中，所述第一初級(jí)電極序列中的每個(gè)包括以預(yù)定間隔彼此分隔的多個(gè)第一電極圖案下層，所述第二初級(jí)電極序列中的每個(gè)包括多個(gè)第二電極圖案下層和用于連接相鄰的第二電極圖案下層的第一連接圖案，并且所述第二電極圖案下層與所述第一連接圖案一體地形成。
優(yōu)選地，在所述方法中，形成所述第一絕緣圖案和第二絕緣圖案包括在形成有所述第二導(dǎo)電圖案組的基板上形成絕緣層；形成第三光致抗蝕劑圖案以暴露所述基板的一部分電極形成區(qū)域的絕緣層；以及通過干蝕刻由所述第三光致抗蝕劑圖案暴露的絕緣層并且去除所述第三光致抗蝕劑圖案來形成在所述電極形成區(qū)域的第一連接圖案上的第一絕緣圖案以及在所述布線線路形成區(qū)域的第一布線線路和第二布線線路上的第二絕緣圖案。
優(yōu)選地，在所述方法中，形成所述第三導(dǎo)電圖案組包括在形成有所述第一絕緣圖案和第二絕緣圖案的基板的整個(gè)表面上沉積第三導(dǎo)電層；形成第四光致抗蝕劑圖案以暴露所述基板的電極形成區(qū)域的一部分第三導(dǎo)電層；通過濕蝕刻去除由所述第四光致抗蝕劑圖案暴露的第三導(dǎo)電層并且去除所述第四光致抗蝕劑圖案來分別在所述第一電極圖案下層和第二電極圖案下層上形成第一電極圖案上層和第二電極圖案上層，并且在所述第一絕緣圖案上形成第二連接圖案。優(yōu)選地，在所述方法中，所述第二連接圖案連接相鄰的第一電極圖案，并且所述第一電極圖案上層與所述第二連接圖案一體地形成。優(yōu)選地，在所述方法中，所述第一電極序列和第二電極序列以及所述第一布線線路的上層和第二布線線路的上層由透明的導(dǎo)電材料形成，并且所述第一布線線路的下層和第二布線線路的下層由從Al、AINd、Mo、MoTi、Cu、CuOx和Cr中選擇的任何金屬形成。優(yōu)選地，在所述方法中，所述第一電極圖案的上層的厚度大于所述第一電極圖案的下層的厚度，并且所述第二電極圖案的上層的厚度大于所述第二電極圖案的下層的厚度。


附圖示出了本發(fā)明的實(shí)施方式并且與說明書一起用來解釋本發(fā)明的原理，所述附圖用來提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解并且并入并構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分。在附圖中圖I是示出依照相關(guān)技術(shù)的靜電電容型觸摸屏面板的平面圖；圖2是沿圖I的觸摸屏面板的線I-I’、線11-11’和線III-III’獲取的剖面圖；圖3A和3B是示出圖I的觸摸屏面板的第一掩模工藝的剖面圖；圖4A和4B是示出圖I的觸摸屏面板的第二掩模工藝的剖面圖；圖5A和5B是示出圖I的觸摸屏面板的第三掩模工藝的剖面圖；圖6A和6B是示出圖I的觸摸屏面板的第四掩模工藝的剖面圖；圖7是依照本發(fā)明示例性實(shí)施方式的觸摸屏面板的平面圖；圖8是沿依照?qǐng)D7所示的本發(fā)明示例性實(shí)施方式的觸摸屏面板的線I-Ι’、線
11-11’、線III-III’和線IV-IV’獲取的剖面圖；圖9A和9B是示出依照?qǐng)D7所示的本發(fā)明示例性實(shí)施方式的觸摸屏面板的第一掩模工藝的剖面圖；圖IOA和IOB是示出依照?qǐng)D7所示的本發(fā)明示例性實(shí)施方式的觸摸屏面板的第二掩模工藝的剖面圖；圖IlA和IlB是示出依照?qǐng)D7所示的本發(fā)明示例性實(shí)施方式的觸摸屏面板的第三掩模工藝的剖面圖；和圖12A和12B是示出依照?qǐng)D7所示的本發(fā)明示例性實(shí)施方式的觸摸屏面板的第四掩模工藝的剖面圖。
具體實(shí)施例方式以下參照附圖更充分地描述本發(fā)明，附圖中示出了本發(fā)明的多個(gè)示例性實(shí)施方式。在整個(gè)說明書中使用相似的附圖標(biāo)記指代相似的元件。首先，將參照?qǐng)D7和8描述依照本發(fā)明示例性實(shí)施方式的觸摸屏面板。圖7是依照本發(fā)明示例性實(shí)施方式的觸摸屏面板的平面圖。圖8是沿依照?qǐng)D7所示的本發(fā)明示例性實(shí)施方式的觸摸屏面板的線1-1’、線11-11’、線III-III’和線IV-IV’獲取的剖面圖。參照?qǐng)D7和8，依照本發(fā)明示例性實(shí)施方式的靜電電容型觸摸屏面板包括電極形成部分A、布線線路部分B和焊盤部分C。電極形成部分A包括在第一方向(例如，X軸方向)上平行布置的多個(gè)第一電極 序列Tx和在第二方向(例如，Y軸方向)上布置并與第一電極序列Tx交叉的多個(gè)第二電極序列Rx。優(yōu)選地，在第一電極序列和第二電極序列的交叉處形成用于電絕緣第一電極序列和第二電極序列的絕緣層。第一電極序列Tx中的每個(gè)包括具有三角形、四邊形、菱形、多邊形、圓形、橢圓形等形狀的第一電極圖案131和用于連接相鄰的第一電極圖案131的第二連接圖案134。第一電極圖案131包括在基板100上形成的下層131a和在下層131a上形成的上層131b。第一電極圖案上層131b的厚度t2大于第一電極圖案下層131a的厚度tl。第二連接圖案134連接相鄰的第一電極圖案上層131b。第一電極圖案上層131b與第二連接圖案134 —體地形成。第二電極序列Rx中的每個(gè)包括與第一電極圖案131類似的具有三角形、四邊形、菱形、多邊形等形狀的第二電極圖案132和用于連接相鄰的第二電極圖案132的第一連接圖案133。第二電極圖案132包括在基板100上形成的下層132a和在下層132a上形成的上層132b。第二電極圖案上層132b的厚度t2大于第二電極圖案下層132a的厚度tl。第一連接圖案133連接相鄰的第一電極圖案下層132a。第二電極圖案下層132a與第一連接圖案133 —體地形成。第一電極序列Tx的第二連接圖案134和第二電極序列Rx的第一連接圖案133被形成為彼此交叉，且在第二連接圖案134和第一連接圖案133之間插入有第一絕緣圖案141，并且第一連接圖案133形成在第一絕緣圖案141下，第二連接圖案134形成在第一絕緣圖案141上。布線線路部分B在電極形成部分A外部形成，并且包括分別連接到多個(gè)第一電極序列Tx的多個(gè)第一布線線路122和分別連接到多個(gè)第二電極序列Rx的多個(gè)第二布線線路124。第一布線線路122包括在基板100上形成的下層122a和在下層122a上形成(并且優(yōu)選地連接到第一電極圖案的下層)的上層122b。第二布線線路124包括在基板100上形成的下層124a和在下層124a上形成(并且優(yōu)選地連接到第一電極圖案的下層)的上層124b。然而，本發(fā)明并不限于此，第一和第二布線線路122和124可以在沒有第一和第二布線線路上層122b和124b的情況下只通過第一和第二布線線路下層122a和124a形成。焊盤部分C包括分別通過多個(gè)第一布線線路122連接到多個(gè)第一電極序列Tx的多個(gè)第一焊盤126以及分別通過多個(gè)第二布線線路124連接到多個(gè)第二電極序列Rx的多個(gè)第二焊盤128。第一焊盤126包括在基板100上形成(并且優(yōu)選地連接到第一布線線路的下層)的下層126a、在下層126a上形成(并且優(yōu)選地連接到第一布線線路的上層)的上層126b以及在通過第二絕緣圖案143暴露的上層126b上形成的最上層126c。第二焊盤128包括在基板100上形成(并且優(yōu)選地連接到第二布線線路的下層)的下層128a、在下層128a上形成(并且優(yōu)選地連接到第二布線線路的上層)的上層128b以及在通過第二絕緣圖案143暴露的上層128b上形成的最上層128c。然而，本發(fā)明并不限于此，第一布線線路122可以在沒有第一和第二焊盤上層126b和128b以及最上層126c和128c的情況下只通過第一和第二焊盤下層126a和128a形成。同時(shí)，在依照本發(fā)明示例性實(shí)施方式的觸摸屏面板中，第一和第二電極序列Tx和Rx、第一和第二布線線路上層122b和124b以及第一和第二焊盤上層126b和128b由透明的導(dǎo)電材料比如ITO(氧化銦錫)、IZO(氧化銦鋅)和GZO(摻雜有鎵的氧化鋅)等制成，并且第一和第二布線線路下層122a和124a以及第一和第二焊盤下層126a和128a由金屬材料比如 Al、AlNcU Mo、MoTi、Cu、CuOx 和 Cr 等形成。 以下，將參照?qǐng)D9A到12B描述依照本發(fā)明示例性實(shí)施方式用于制造靜電電容型觸摸屏面板的方法。圖9A和9B是示出依照?qǐng)D7所示的本發(fā)明示例性實(shí)施方式的觸摸屏面板的第一掩模工藝的剖面圖。圖IOA和IOB是示出依照?qǐng)D7所示的本發(fā)明示例性實(shí)施方式的觸摸屏面板的第二掩模工藝的剖面圖。圖IlA和IlB是示出依照?qǐng)D7所示的本發(fā)明示例性實(shí)施方式的觸摸屏面板的第三掩模工藝的剖面圖。圖12A和12B是示出依照?qǐng)D7所示的本發(fā)明示例性實(shí)施方式的觸摸屏面板的第四掩模工藝的剖面圖。參照?qǐng)D9A和9B，首先準(zhǔn)備包括電極形成部分A和位于電極形成部分A外部的布線線路部分B的基板100。通過使用第一掩模的光刻工藝來在基板100上形成包括第一布線線路的下層122a、第二布線線路的下層124a (以及優(yōu)選地，還包括第一焊盤的下層126a和第二焊盤的下層128a)的第一導(dǎo)電圖案組。更具體地，通過諸如濺射方法之類的沉積工藝在包括電極形成部分A、布線線路部分B和焊盤部分C的基板100的整個(gè)表面上沉積第一導(dǎo)電層。作為用于形成第一導(dǎo)電層的材料，使用 Al、AlNcU Mo、MoTi、Cu、CuOx 或 Cr 等。在形成有第一導(dǎo)電層的基板100的整個(gè)表面上涂覆光致抗蝕劑之后，通過使用第一掩模執(zhí)行光刻工藝來在電極形成部分A的整個(gè)區(qū)域中以及在布線線路部分B和焊盤部分C的一些區(qū)域中形成用于暴露第一導(dǎo)電層的第一光致抗蝕劑圖案。在通過濕蝕刻去除由第一光致抗蝕劑圖案暴露的第一導(dǎo)電層之后，在布線線路部分B中形成第一和第二布線線路的下層122a和124a，并且在焊盤部分C中形成第一和第二焊盤的下層126a和128a。參照?qǐng)DIOA和10B，通過使用第二掩模的光刻工藝在形成有第一導(dǎo)電圖案組的基板100上形成包括第一電極圖案下層131a、第二電極圖案下層132a和第一連接圖案133的第二導(dǎo)電圖案組。更具體地，通過諸如濺射方法之類的沉積工藝在形成有包括第一和第二布線線路的下層122a和124a以及第一和第二焊盤部分的下層126a和128a的第一導(dǎo)電圖案組的基板的整個(gè)表面上，沉積第二導(dǎo)電層。作為第二導(dǎo)電層，使用透明的金屬導(dǎo)電材料，例如ITO (氧化銦錫)、IZO (氧化銦鋅)和GZO (摻雜有鎵的氧化鋅)等。在形成有第二導(dǎo)電層的基板100上涂覆光致抗蝕劑之后，通過使用第二掩模執(zhí)行光刻工藝來形成用于暴露一部分第二導(dǎo)電層的第二光致抗蝕劑圖案。在通過濕蝕刻去除由第二光致抗蝕劑圖案暴露的第二導(dǎo)電層之后，在基板100的電極形成部分A中形成在第一方向(例如，X軸方向)上平行布置的第一初級(jí)電極序列Tx’和在與第一方向交叉的第二方向(例如Y軸方向)上平行布置的第二初級(jí)電極序列Rx’，并且在布線線路部分B中形成上層122b和124b以便覆蓋第一和第二布線線路的下層122a和124a，并且在焊盤部分C中形成上層126b和128b以便覆蓋第一和第二焊盤的下層126a和128a。這里，第一初級(jí)電極序列Tx’中的每個(gè)包括以預(yù)定間隔彼此分隔的多個(gè)第一電極圖案下層131a，并且第二初級(jí)電極序列Rx’中的每個(gè)包括多個(gè)第二電極圖案下層132a和用于連接相鄰的第二電極圖案下層132a的第一連接圖案133。第二電極圖案下層132a與第一連接圖案133 —體地形成。參照?qǐng)DIlA和11B，通過使用第三掩模的光刻工藝來在上面形成有第二導(dǎo)電圖案組的基板100上形成第一絕緣圖案141和第二絕緣圖案143。·更具體地，在上面形成有包括第一和第二初級(jí)電極序列Tx’和Rx’、第一和第二布線線路的上層122b和124b以及第一和第二焊盤的上層126b和128b的第二導(dǎo)電圖案組的基板100的整個(gè)表面上形成絕緣層。盡管絕緣層優(yōu)選由諸如硅氮化物(SiNx)、硅氧化物之類的無機(jī)絕緣材料制成，不過也可以使用諸如光丙烯(photo acryl)之類的有機(jī)絕緣材料或由無機(jī)絕緣材料和有機(jī)絕緣材料的組合形成的混合材料。接下來，通過使用第三掩模執(zhí)行光刻工藝來形成用于暴露絕緣層的第三光致抗蝕劑圖案。在通過干蝕刻去除由第三光致抗蝕劑圖案暴露的絕緣層之后，通過去除殘余的第三光致抗蝕劑圖案來形成第一絕緣圖案141和第二絕緣圖案143。第一絕緣圖案141在電極形成部分A中形成，并且被形成為覆蓋第二初級(jí)電極序列Rx’的第一連接圖案133。第二絕緣圖案143在布線線路部分B和焊盤部分C中形成，并且被形成為暴露第一和第二焊盤上層126b和128b。盡管絕緣層優(yōu)選由硅氮化物(SiNx)、硅氧化物(SiOx)等制成，不過絕緣層也可以由諸如光丙烯之類的有機(jī)絕緣材料或由無機(jī)絕緣材料和有機(jī)絕緣材料的組合形成的混合材料制成。參照?qǐng)D12A和12B，在基板100上形成包括第一和第二電極圖案上層131b和132b、第二連接圖案134以及第一和第二焊盤的最上層126c和128c的第三導(dǎo)電圖案組。更具體地，通過諸如濺射方法之類的沉積工藝在上面形成有第一和第二絕緣圖案141a和143的基板100的整個(gè)表面上沉積第三導(dǎo)電層。作為第三導(dǎo)電層，主要使用透明的導(dǎo)電材料，比如ΙΤ0, IZO和GZO等。在上面形成有第三導(dǎo)電層的整個(gè)基板10上涂覆光致抗蝕劑之后，通過使用第四掩模執(zhí)行光刻工藝來形成用于暴露第三導(dǎo)電層的第四光致抗蝕劑圖案。在通過濕蝕刻去除由第二光致抗蝕劑圖案暴露的第二導(dǎo)電層之后，分別在第一和第二電極圖案下層131a和132a上形成第一和第二電極圖案上層131b和132b，并且分別在通過第二絕緣圖案143暴露的第一和第二焊盤的上層126b和128b上形成第一和第二焊盤的最上層126c和128c。在只由下層131a以及下層132a和第一連接圖案133組成的第一初級(jí)電極序列Tx’以及第二初級(jí)電極序列Rx’中形成上層131b和132b，并且在第一絕緣圖案141上形成第二連接圖案134，由此完成第一電極線(或稱“第一電極序列”)Tx和第二電極線(或稱“第二電極序列”)Rx。在第四掩模工藝中，第一電極圖案的上層131b的厚度t2大于第一電極圖案的下層131a的厚度tl，并且第二電極圖案的上層132b的厚度t2大于第二電極圖案的下層132a的厚度tl。最后，第一電極序列Tx中的每個(gè)包括多個(gè)第一電極圖案131 (每個(gè)第一電極圖案131具有下層131a和上層131b的雙層結(jié)構(gòu))和用于連接相鄰的第一電極圖案的上層131b的第二連接圖案134，并且在第一絕緣圖案141上形成第二連接圖案134。此外，第二連接圖案134與第一電極圖案上層131b —體地形成。此外，第二電極序列Rx中的每個(gè)包括多個(gè)第二電極圖案132(每個(gè)第二電極圖案132具有下層132a和上層132b的雙層結(jié)構(gòu))和用于連接相鄰的第二電極圖案的下層132a的第一連接圖案133，并且在第一絕緣圖案141下形成第一連接圖案133。此外，第一連接圖案133與第二電極圖案下層132a —體地形成。 第一電極序列Tx的第二連接圖案134和第二電極序列Rx的第一連接圖案133由于在其間插入有第一絕緣圖案141的情況下彼此交叉，因此保持電絕緣狀態(tài)。在用于形成第一連接圖案133和第二電極序列Rx的第二電極圖案下層132a的第二掩模工藝中形成第一電極序列Tx的第一電極圖案下層131a,并且在用于形成第二電極序列Rx的第二電極圖案上層132b的第四掩模工藝中形成第一電極序列Tx的第二連接圖案134和第一電極圖案上層131。即，它們?cè)趦蓚€(gè)獨(dú)立的工藝中形成。對(duì)于依照本發(fā)明示例性實(shí)施方式的靜電電容型觸摸屏面板，在第二掩模工藝中形成均具有厚度tl的第一電極圖案下層131a、第二電極圖案下層132a和第一連接圖案133，并且在第四掩模工藝中形成均具有厚度t2的第一電極圖案上層131b、第二電極圖案上層132b和第二連接圖案134。即，在兩個(gè)獨(dú)立的掩模工藝中形成第一電極序列Tx和第二電極序列Rx ο通過比較依照相關(guān)技術(shù)的觸摸屏面板和依照本發(fā)明示例性實(shí)施方式的觸摸屏面板，具有與本發(fā)明相同厚度tl+t2的相關(guān)技術(shù)的第一電極圖案和第二電極圖案在第四掩模工藝中一次形成。而與此相對(duì)照，在本發(fā)明中在第二掩模工藝中以厚度tl形成第一電極圖案下層131a和第二電極圖案下層132a，并且在第四掩模工藝中以厚度t2形成第一電極圖案上層131b和第二電極圖案上層132b。相應(yīng)地，除了已經(jīng)在第二掩模工藝中形成的第一電極圖案下層131a和第二電極圖案下層132a的厚度tl之外，將只針對(duì)厚度t2執(zhí)行沉積工藝和圖案化工藝。因此，在第四掩模工藝中可以把沉積時(shí)間和圖案化時(shí)間減少了對(duì)于厚度tl所花費(fèi)的那些沉積時(shí)間和圖案化時(shí)間。從而，當(dāng)使用與相關(guān)技術(shù)相同數(shù)目的掩模的工藝時(shí)，依照本發(fā)明示例性實(shí)施方式的靜電電容型觸摸屏面板可以在不留下任何殘留膜的情況下獲得減少工藝時(shí)間并且形成電極圖案的效果。依照本發(fā)明實(shí)施方式的觸摸屏面板可以被應(yīng)用于諸如液晶顯示器LCD、場致發(fā)射顯示器FED、等離子體顯示面板TOP、電致發(fā)光設(shè)備EL、電泳顯示器等顯示設(shè)備。在這些情況下，觸摸屏面板的基板也可以用作顯示設(shè)備的基板。盡管已經(jīng)參照多個(gè)說明性例子描述了示例性實(shí)施方式，不過應(yīng)當(dāng)理解，所屬領(lǐng)域技術(shù)人員可以設(shè)計(jì)落入本發(fā)明原理范圍內(nèi)的許多其它修改和改變。更特別地，在本發(fā)明說明書、附圖和所附權(quán)利要求書范圍內(nèi)，在主題組合方案的組成部分和/或布置中的各種變化和改變也是可以的。除組成部分和/或布置的變化和修改之外，替代使用對(duì)所屬領(lǐng)域技術(shù)人員來說也是顯而易見的。
權(quán)利要求
1.一種觸摸屏面板，包括 基板； 在所述基板上在第一方向上布置的多個(gè)第一電極序列； 在第二方向上布置并與所述第一電極序列交叉的多個(gè)第二電極序列；和在所述第一電極序列和第二電極序列的交叉處形成的絕緣層，用于電絕緣所述第一電極序列和第二電極序列， 其中，所述第一電極序列中的每個(gè)包括多個(gè)第一電極圖案和用于連接相鄰第一電極圖案的第二連接圖案， 所述第二電極序列中的每個(gè)包括多個(gè)第二電極圖案和用于連接相鄰第二電極圖案的第一連接圖案，并且 所述第一電極圖案中的每個(gè)包括在所述基板上形成的下層和在所述下層上形成的上層，并且所述第二連接圖案連接相鄰的第一電極圖案上層。
2.如權(quán)利要求I所述的觸摸屏面板，其中所述第二電極圖案中的每個(gè)包括在所述基板上形成的下層和在所述第二電極圖案的下層上形成的上層，并且所述第一連接圖案連接相鄰的第二電極圖案下層。
3.如權(quán)利要求2所述的觸摸屏面板，其中所述第一電極圖案上層與所述第二連接圖案一體地形成，并且所述第二電極圖案下層與所述第一連接圖案一體地形成。
4.如權(quán)利要求2所述的觸摸屏面板，其中所述第二連接圖案和所述第一連接圖案被形成為彼此交叉，并且在所述第二連接圖案和所述第一連接圖案之間插入有絕緣層，在所述絕緣層下形成所述第一連接圖案，并且在所述絕緣層上形成所述第二連接圖案。
5.如權(quán)利要求2所述的觸摸屏面板，還包括 分別連接到所述多個(gè)第一電極序列的多個(gè)第一布線線路；和 分別連接到所述多個(gè)第二電極序列的多個(gè)第二布線線路， 所述第一布線線路中的每個(gè)包括在所述基板上形成的下層和在所述第一布線線路的下層上形成并且連接到所述第一電極圖案的下層的上層，并且 所述第二布線線路中的每個(gè)包括在所述基板上形成的下層和在所述第二布線線路的下層上形成并且連接到所述第一電極圖案的下層的上層。
6.如權(quán)利要求5所述的觸摸屏面板，還包括 分別連接到所述多個(gè)第一布線線路的多個(gè)第一焊盤；和 分別連接到所述多個(gè)第二布線線路的多個(gè)第二焊盤， 其中所述第一焊盤中的每個(gè)包括在所述基板上形成并且連接到所述第一布線線路的下層的第一層，在所述第一層上形成并且連接到所述第一布線線路的上層的第二層，以及在所述第二層上形成的第三層，并且 所述第二焊盤中的每個(gè)包括在所述基板上形成并且連接到所述第二布線線路的下層的第一層，在所述第一層上形成并且連接到所述第二布線線路的上層的第二層，以及在所述第二焊盤的第二層上形成的第三層。
7.如權(quán)利要求6所述的觸摸屏面板，其中所述第一電極序列和第二電極序列、所述第一布線線路的上層和第二布線線路的上層、所述第一焊盤的第二層和第二焊盤的第二層以及所述第一焊盤的第三層和第二焊盤的第三層由透明的導(dǎo)電材料形成，并且所述第一布線線路的下層和第二布線線路的下層以及所述第一焊盤的第一層和第二焊盤的第一層由從Al、AlNd, Mo、MoTi、Cu、CuOx和Cr中選擇的任何金屬制成。
8.如權(quán)利要求2所述的觸摸屏面板，其中所述第一電極圖案的上層的厚度大于所述第一電極圖案的下層的厚度，并且 所述第二電極圖案上層的厚度大于所述第二電極圖案的下層的厚度。
9.一種用于制造觸摸屏面板的方法，所述方法包括 準(zhǔn)備基板，所述基板包括電極形成區(qū)域和位于所述電極形成區(qū)域外部的布線線路形成區(qū)域； 在所述布線線路形成區(qū)域中形成第一導(dǎo)電圖案組，所述第一導(dǎo)電圖案組包括第一布線線路的下層和第二布線線路的下層； 在形成有所述第一導(dǎo)電圖案組的基板的電極形成區(qū)域中形成第二導(dǎo)電圖案組，所述第二導(dǎo)電圖案組包括第一電極圖案組的下層、第二電極圖案組的下層和用于連接相鄰的第二電極圖案下層的第一連接圖案； 在所述電極形成區(qū)域的第一連接圖案上形成第一絕緣圖案并且在所述第一布線線路的下層和所述第二布線線路的下層中形成第二絕緣圖案；以及 在所述第一電極圖案下層上形成第一電極圖案上層，在所述第一絕緣圖案上形成第二連接圖案，并且在所述第二電極圖案下層上形成第二電極圖案上層。
10.如權(quán)利要求9所述的方法，其中形成所述第一導(dǎo)電圖案組包括 在所述基板的整個(gè)表面上沉積第一導(dǎo)電層； 形成第一光致抗蝕劑圖案以暴露整個(gè)電極形成區(qū)域的第一導(dǎo)電層和一部分布線線路形成區(qū)域的第一導(dǎo)電層；以及 通過濕蝕刻所暴露的第一導(dǎo)電層并且去除所述第一光致抗蝕劑圖案在所述布線線路形成區(qū)域中形成所述第一布線線路的下層和所述第二布線線路的下層，并且形成所述第二導(dǎo)電圖案組包括 在形成有所述第一導(dǎo)電圖案組的基板的整個(gè)表面上沉積第二導(dǎo)電層； 形成第二光致抗蝕劑圖案以暴露所述基板的一部分電極形成區(qū)域的第二導(dǎo)電層和一部分布線線路形成區(qū)域的第二導(dǎo)電層；以及 通過濕蝕刻由所述第二光致抗蝕劑圖案暴露的第二導(dǎo)電層并且去除所述第二光致抗蝕劑圖案，在所述電極形成區(qū)域中形成在第一方向上布置的多個(gè)第一初級(jí)電極序列以及在與所述第一方向交叉的第二方向上布置的多個(gè)第二初級(jí)電極序列，并且在所述布線線路形成區(qū)域中形成上層以覆蓋所述第一布線線路的下層和第二布線線路的下層。
11.如權(quán)利要求10所述的方法，其中所述第一初級(jí)電極序列中的每個(gè)包括以預(yù)定間隔彼此分隔的多個(gè)第一電極圖案下層， 所述第二初級(jí)電極序列中的每個(gè)包括多個(gè)第二電極圖案下層和用于連接相鄰的第二電極圖案下層的第一連接圖案，并且 所述第二電極圖案下層與所述第一連接圖案一體地形成。
12.如權(quán)利要求10所述的方法，其中形成所述第一絕緣圖案和第二絕緣圖案包括 在形成有所述第二導(dǎo)電圖案組的基板上形成絕緣層； 形成第三光致抗蝕劑圖案以暴露所述基板的一部分電極形成區(qū)域的絕緣層；以及通過干蝕刻由所述第三光致抗蝕劑圖案暴露的絕緣層并且去除所述第三光致抗蝕劑圖案來形成在所述電極形成區(qū)域的第一連接圖案上的第一絕緣圖案以及在所述布線線路形成區(qū)域的第一布線線路和第二布線線路上的第二絕緣圖案。
13.如權(quán)利要求12所述的方法，其中形成所述第三導(dǎo)電圖案組包括 在形成有所述第一絕緣圖案和第二絕緣圖案的基板的整個(gè)表面上沉積第三導(dǎo)電層； 形成第四光致抗蝕劑圖案以暴露所述基板的電極形成區(qū)域的一部分第三導(dǎo)電層； 通過濕蝕刻去除由所述第四光致抗蝕劑圖案暴露的第三導(dǎo)電層并且去除所述第四光致抗蝕劑圖案來分別在所述第一電極圖案下層和第二電極圖案下層上形成第一電極圖案上層和第二電極圖案上層，并且在所述第一絕緣圖案上形成第二連接圖案。
14.如權(quán)利要求13所述的方法，其中所述第二連接圖案連接相鄰的第一電極圖案，并且所述第一電極圖案上層與所述第二連接圖案一體地形成。
15.如權(quán)利要求10所述的方法，其中所述第一電極序列和第二電極序列以及所述第一布線線路的上層和第二布線線路的上層由透明的導(dǎo)電材料形成，并且 所述第一布線線路的下層和第二布線線路的下層由從Al、AINd、Mo、MoTi、Cu、CuOx和Cr中選擇的任何金屬形成。
16.如權(quán)利要求13所述的方法，其中所述第一電極圖案的上層的厚度大于所述第一電極圖案的下層的厚度，并且 所述第二電極圖案的上層的厚度大于所述第二電極圖案的下層的厚度。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種觸摸屏面板及其制造方法。所述觸摸屏面板包括基板；在所述基板上在第一方向上布置的多個(gè)第一電極序列；在第二方向上布置并與所述第一電極序列交叉的多個(gè)第二電極序列；和在所述第一電極序列和第二電極序列的交叉處形成的絕緣層，用于電絕緣所述第一電極序列和第二電極序列，其中，所述第一電極序列中的每個(gè)包括多個(gè)第一電極圖案和用于連接相鄰第一電極圖案的第二連接圖案，所述第二電極序列中的每個(gè)包括多個(gè)第二電極圖案和用于連接相鄰第二電極圖案的第一連接圖案，并且所述第一電極圖案中的每個(gè)包括在所述基板上形成的下層和在所述下層上形成的上層，并且所述第二連接圖案連接相鄰的第一電極圖案上層。
文檔編號(hào)G06F3/044GK102955631SQ201110461230
公開日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2011年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月23日
發(fā)明者梁宗安, 樸商爀 申請(qǐng)人:樂金顯示有限公司