半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)的用戶界面的顯示方法
【專利摘要】半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)的用戶界面的顯示方法包括選擇一檢測(cè)功能；將該檢測(cè)功能所需的多個(gè)臨界條件，根據(jù)其屬性，分類為不同的篩選群組；以及于該用戶界面顯示該些篩選群組并以圖像方式表示各篩選群組之間的關(guān)系。
【專利說(shuō)明】半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)的用戶界面的顯示方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明有關(guān)于一種半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)的一用戶界面，更明確地說(shuō)，有關(guān)于在該用戶界面上以群組化的方式來(lái)顯示該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)于檢測(cè)時(shí)所需的檢測(cè)臨界條件的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)中，用戶界面的顯示方法繁多。以自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)為例，其用戶需要設(shè)定判斷晶粒有瑕疵的臨界條件或參數(shù)，而各種晶粒瑕疵皆有相同或不同的臨界條件或參數(shù)。因此用戶在使用自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)前，需要將各種晶粒瑕疵所需要的臨界條件皆設(shè)定完成，如此才能通過(guò)該自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)來(lái)對(duì)待測(cè)晶粒進(jìn)行檢測(cè)。
[0003]請(qǐng)參考圖1。圖1說(shuō)明先前技術(shù)的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)的用戶界面。在先前技術(shù)中，其用戶界面將所有檢測(cè)功能所需設(shè)定的所有臨界條件全部顯示出來(lái)。于圖1中，“問(wèn)號(hào)“表示該設(shè)定值仍未設(shè)定，待使用者設(shè)定。如此用戶并不會(huì)知道各個(gè)檢測(cè)功能各自需要哪些檢測(cè)條件，也不知道各個(gè)臨界條件之間是否有關(guān)連性，而且也無(wú)法判斷該自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)所采用的算法與這些臨界條件的關(guān)系。因此，用戶需事先了解這些檢測(cè)功能判斷瑕疵的法貝U，或者該算法進(jìn)行的流程，才能知道要如何設(shè)定這些臨界條件。如此一來(lái)，將會(huì)花費(fèi)使用者相當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)間，才能完成臨界條件的設(shè)定。
[0004]另一種自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)的用戶界面是一次僅顯示一個(gè)檢測(cè)功能的一個(gè)臨界條件。在用戶設(shè)定該臨界條件后，該用戶界面才會(huì)跳出該檢測(cè)功能所需的下一個(gè)臨界條件。如此一來(lái)，使用者便需要逐次設(shè)定單一檢測(cè)功能的多個(gè)臨界條件。在這種情況下，倘若使用者要設(shè)定多個(gè)檢測(cè)功能的所有臨界條件，亦會(huì)花費(fèi)使用者相當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)間，造成使用者不便。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明提供一種于一半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)的一用戶界面的顯示方法。其中，此半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)例如為自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)。該顯示方法包括選擇一檢測(cè)功能；將該檢測(cè)功能所需的多個(gè)臨界條件，根據(jù)該多個(gè)臨界條件于該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)所使用的一算法中所使用的順序或該多個(gè)臨界條件的屬性，分類為一初步篩選群組與一進(jìn)階篩選群組；以及于該用戶界面顯示該初步篩選群組與該進(jìn)階篩選群組并以一圖像告知一用戶該初步篩選群組、該進(jìn)階篩選群組與該檢測(cè)功能是有關(guān)的；其中當(dāng)一待測(cè)晶粒未通過(guò)該初步篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒未通過(guò)該初步篩選群組所包括的一臨界條件；當(dāng)該待測(cè)晶粒未通過(guò)該進(jìn)階篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒未通過(guò)該進(jìn)階篩選群組所包括的一臨界條件；當(dāng)該待測(cè)晶粒通過(guò)該初步篩選群組時(shí)，該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)判斷該待測(cè)晶粒通過(guò)該檢測(cè)功能；當(dāng)該待測(cè)晶粒未通過(guò)該初步篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒有瑕疵而該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)需繼續(xù)以該進(jìn)階篩選群組對(duì)該待測(cè)晶粒進(jìn)行檢測(cè)以判斷該待測(cè)晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)；當(dāng)該待測(cè)晶粒通過(guò)該進(jìn)階篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒的瑕疵是在可接受范圍內(nèi)。
[0006]本發(fā)明另提供一種于一半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)的一用戶界面的顯示方法。該顯示方法包括選擇一檢測(cè)功能；將該檢測(cè)功能所需的多個(gè)臨界條件，根據(jù)該多個(gè)臨界條件于該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)所使用的一算法中所使用的順序或該多個(gè)臨界條件的屬性，分類為一初步篩選群組、一第一進(jìn)階篩選群組與一第二進(jìn)階篩選群組；以及于該用戶界面顯示該初步篩選群組、該第一進(jìn)階篩選群組與該第二進(jìn)階篩選群組并顯示一圖像以告知一用戶該初步篩選群組、該第一進(jìn)階篩選群組、該第二進(jìn)階篩選群組與該檢測(cè)功能是有關(guān)的；其中當(dāng)一待測(cè)晶粒未通過(guò)該初步篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒未通過(guò)該初步篩選群組所包括的一臨界條件；當(dāng)該待測(cè)晶粒未通過(guò)該第一進(jìn)階篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒未通過(guò)該第一進(jìn)階篩選群組所包括的一臨界條件；當(dāng)該待測(cè)晶粒未通過(guò)該第二進(jìn)階篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒未通過(guò)該第二進(jìn)階篩選群組所包括的一臨界條件；當(dāng)一待測(cè)晶粒通過(guò)該初步篩選群組時(shí)，該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)判斷該待測(cè)晶粒通過(guò)該檢測(cè)功能；當(dāng)該待測(cè)晶粒未通過(guò)該初步篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒有瑕疵而該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)需繼續(xù)以該第一進(jìn)階篩選群組與該第二進(jìn)階篩選群組對(duì)該待測(cè)晶粒進(jìn)行檢測(cè)以判斷該待測(cè)晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。
[0007]于上述的用戶界面的顯示方法中，其中當(dāng)該待測(cè)晶粒通過(guò)該第一進(jìn)階篩選群組且通過(guò)該第二進(jìn)階篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒的瑕疵是在可接受范圍內(nèi)。
[0008]于上述的用戶界面的顯示方法中，其中當(dāng)該待測(cè)晶粒通過(guò)該第一進(jìn)階篩選群組或通過(guò)該第二進(jìn)階篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒的瑕疵是在可接受范圍內(nèi)。
[0009]本發(fā)明另提供一種于一半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)的一用戶界面的顯示方法。該顯示方法包括選擇一檢測(cè)功能；將該檢測(cè)功能所需的多個(gè)臨界條件，根據(jù)該多個(gè)臨界條件的屬性，分類為一第一篩選群組與一第二篩選群組；以及于該用戶界面顯示該第一篩選群組與該第二篩選群組并顯示一圖像以告知一用戶該第一篩選群組、該第二篩選群組與該檢測(cè)功能是有關(guān)的；其中該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)根據(jù)一待測(cè)晶粒與該第一篩選群組與該第二篩選群組的關(guān)系，判斷該待測(cè)晶粒是否通過(guò)該檢測(cè)功能。
[0010]于上述的用戶界面的顯示方法中，其中該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)根據(jù)該待測(cè)晶粒與該第一篩選群組及該第二篩選群組的關(guān)系，判斷該待測(cè)晶粒是否通過(guò)該檢測(cè)功能包括當(dāng)該待測(cè)晶粒未通過(guò)該第一篩選群組或該第二篩選群組時(shí)，該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)判斷該待測(cè)晶粒有瑕疵而該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)需繼續(xù)對(duì)該待測(cè)晶粒進(jìn)行檢測(cè)以判斷該待測(cè)晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。
[0011]于上述的用戶界面的顯示方法中，其中該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)根據(jù)該待測(cè)晶粒與該第一篩選群組及該第二篩選群組的關(guān)系，判斷該待測(cè)晶粒是否通過(guò)該檢測(cè)功能包括當(dāng)該待測(cè)晶粒未通過(guò)該第一篩選群組且未通過(guò)該第二篩選群組時(shí)，該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)判斷該待測(cè)晶粒有瑕疵而該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)需繼續(xù)對(duì)該待測(cè)晶粒進(jìn)行檢測(cè)以判斷該待測(cè)晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。
[0012]本發(fā)明另提供一種于一半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)的一用戶界面的顯示方法。該顯示方法包括選擇一第一檢測(cè)功能；將該第一檢測(cè)功能所需的多個(gè)臨界條件，分類為一篩選群組；以及于該用戶界面顯示該篩選群組，并顯示一圖像以告知一用戶該第一檢測(cè)功能、該篩選群組與一第二檢測(cè)功能有關(guān)；其中當(dāng)一待測(cè)晶粒未通過(guò)該篩選群組時(shí)，該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)判斷該待測(cè)晶粒有瑕疵而該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)需繼續(xù)對(duì)該待測(cè)晶粒進(jìn)行檢測(cè)以判斷該待測(cè)晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。
[0013]于上述的用戶界面的顯示方法中，其中該圖像為直線、箭頭、字體、顏色、外框、背景，或符號(hào)。[0014]于本發(fā)明所提供的顯示方法中，在用戶設(shè)定半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)所需要的參數(shù)/臨界條件時(shí)，可以按照各參數(shù)/臨界條件的屬性分類，再按照參數(shù)/臨界條件的分類，顯示在用戶界面上，同時(shí)以圖像方式顯示出各參數(shù)/臨界條件的關(guān)聯(lián)性，而讓使用者能更迅速地完成各參數(shù)/臨界條件的設(shè)定，提供給使用者更大的便利性。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1說(shuō)明先前技術(shù)的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)的用戶界面。
[0016]圖2說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)的用戶界面的顯示方法的流程圖。
[0017]圖3說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的顯示方法所顯示的用戶界面的一第一實(shí)施例。
[0018]圖4說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的顯示方法所顯示的用戶界面的一第二實(shí)施例。
[0019]圖5說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的顯示方法所顯示的用戶界面的一第三實(shí)施例。
【具體實(shí)施方式】
[0020]為讓本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)更能明顯易懂，下文將以實(shí)施例并配合附圖，作詳細(xì)說(shuō)明如下。需注意的是，所附圖式中的各組件僅是示意，并未按照各組件的實(shí)際比例進(jìn)行繪示。
[0021]本發(fā)明系提出半 導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)的用戶界面的顯示方法，可適用于各種半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)中，以下為了便于說(shuō)明，將以自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)為例。請(qǐng)參考圖2。圖2說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)的用戶界面的顯示方法200的流程圖。步驟說(shuō)明如下:
[0022]步驟201:選擇一檢測(cè)功能；
[0023]步驟202:將該檢測(cè)功能所需要的參數(shù)分類成不同的篩選群組；
[0024]步驟203:在用戶界面上顯示各篩選群組并以圖像方式表現(xiàn)各篩選群組之間的關(guān)系。
[0025]由于自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)有眾多檢測(cè)功能，如電極瑕疵檢測(cè)、電極無(wú)針痕檢測(cè)、斷線檢測(cè)、連接點(diǎn)檢測(cè)、金線瑕疵檢測(cè)...等，本發(fā)明針對(duì)各檢測(cè)功能所需的參數(shù)/臨界條件，分類成不同的篩選群組。不同于先前技術(shù)將自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)的所有臨界條件全部顯示在用戶界面上，本發(fā)明在步驟201中，在用戶界面上僅顯示與所選的檢測(cè)功能相關(guān)的參數(shù)/臨界條件。如此一來(lái)，當(dāng)用戶選擇一個(gè)檢測(cè)功能之后，便不會(huì)看到與所選檢測(cè)功能無(wú)關(guān)的參數(shù)/臨界條件，而能夠較清楚地知道該設(shè)定哪些參數(shù)/臨界條件。較佳地，在使用者未選擇一檢測(cè)功能前，所有的檢測(cè)功能相關(guān)參數(shù)/臨界條件是以較淡的顏色或是被折收起來(lái)的方式來(lái)顯示在用戶界面上，并且無(wú)法輸入數(shù)值。當(dāng)用戶選擇/開啟一檢測(cè)功能后，該所選擇的檢測(cè)功能的相關(guān)參數(shù)/臨界條件才會(huì)浮顯或是展開出來(lái)，并且可以輸入或設(shè)定數(shù)值。
[0026]在步驟202中，本發(fā)明會(huì)根據(jù)所選檢測(cè)功能的判斷規(guī)則、算法，或者參數(shù)/臨界條件的屬性，將所需的參數(shù)/臨界條件分類。舉例來(lái)說(shuō)，若步驟201中所選擇的檢測(cè)功能為N電極瑕疵，則所需的臨界條件包括有:灰階值上限、灰階值下限、比較周圍像素距離、灰階差量上限、忽略瑕疵面積、細(xì)小瑕疵濾除次數(shù)、邊界向延伸大小、最大單一瑕疵面積、瑕疵占整體百分比、最大瑕疵總面積、寬度上限、高度上限、最大瑕疵數(shù)量…等。而本發(fā)明可將這些臨界條件分類為灰階范圍、鄰近差異、面積設(shè)定、面積判定，以及幾何判定。更明確地說(shuō)，“N電極瑕疵”檢測(cè)功能包括:“灰階范圍”篩選群組、“鄰近差異”篩選群組、“面積設(shè)定”篩選群組、“面積判定”篩選群組，以及“幾何判定”篩選群組?！盎译A范圍”篩選群組包括:灰階值上限、灰階值下限；“鄰近差界”篩選群組包括:比較周圍像素距離、灰階差量上限面積設(shè)定”篩選群組包括:忽略瑕疵面積、細(xì)小瑕疵濾除次數(shù)、邊界向內(nèi)延伸大小；“面積判定”篩選群組包括:最大單一瑕疵面積、瑕疵占整體百分比、最大瑕疵總面積；“幾何判定”篩選群組包括:寬度上限、高度上限、最大瑕疵數(shù)量。被歸類在同一個(gè)篩選群組內(nèi)的臨界條件，皆具有類似的屬性。舉例來(lái)說(shuō)，灰階值上限與灰階值下限的屬性接近，因此被歸類在同一個(gè)“灰階范圍”篩選群組；比較周圍像素距離與灰階差值上限的屬性接近，因此被歸類在同一個(gè)“鄰近差異”篩選群組。而這些篩選群組，又可根據(jù)自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)所使用的算法，分類為初步篩選群組與進(jìn)階篩選群組。舉例來(lái)說(shuō)，“灰階范圍”篩選群組、“鄰近差異”篩選群組可被歸類為初步篩選群組；而“面積設(shè)定”篩選群組、“面積判定”篩選群組、“幾何判定”篩選群組可被歸類為進(jìn)階篩選群組。初步篩選群組表示當(dāng)待測(cè)晶粒未通過(guò)初步篩選群組的臨界條件時(shí)，則自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)判斷該待測(cè)晶粒有瑕疵，而自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)需繼續(xù)以該進(jìn)階篩選群組對(duì)該待測(cè)晶粒進(jìn)行檢測(cè)以判斷該待測(cè)晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)；當(dāng)該待測(cè)晶粒通過(guò)該進(jìn)階篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒的瑕疵是在可接受范圍內(nèi)；當(dāng)待測(cè)晶粒已通過(guò)初步篩選群組所有的臨界條件時(shí)，該自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)判斷該待測(cè)晶粒的瑕疵是在可接受范圍內(nèi)而不再繼續(xù)以進(jìn)階篩選群組的臨界條件對(duì)該待測(cè)晶粒進(jìn)行后續(xù)檢測(cè)。舉例來(lái)說(shuō)，若使用者選擇“N電極瑕疵”檢測(cè)功能時(shí)，自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)會(huì)先判斷該待測(cè)晶粒的影像是否落在灰階值上限與灰階值下限之間。若待測(cè)晶粒的影像的灰階值落在灰階值上限與灰階值下限的范圍，則表示待測(cè)晶粒通過(guò)“灰階范圍”篩選群組，因此自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)會(huì)判斷該待測(cè)晶粒沒(méi)有N電極瑕疵。若待測(cè)晶粒的影像的灰階值超出灰階值上限與灰階值下限之間，則表示待測(cè)晶粒未通過(guò)“灰階范圍”初步篩選群組，而自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)判斷該待測(cè)晶粒有瑕疵，而自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)需繼續(xù)判斷該待測(cè)晶粒是否有通過(guò)“面積設(shè)定”、“面積判定”、“幾何判定”等進(jìn)階篩選群組以判斷該待測(cè)晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。若待測(cè)晶粒皆通過(guò)或部分通過(guò)上述篩選群組的臨界條件(端看用戶設(shè)定)，自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)才會(huì)判斷該待測(cè)晶粒沒(méi)有N電極瑕疵。
[0027]在步驟203中，本發(fā)明會(huì)將于步驟202中所分類的篩選群組，顯示于用戶界面上，并以圖像的方式表示各篩選群組之間的關(guān)系。舉例來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可將屬于初步篩選群組的“灰階范圍”篩選群組，以及“鄰近差`異”篩選群組顯示在用戶界面的同一區(qū)塊，而將屬于進(jìn)階篩選群組的“面積設(shè)定”篩選群組、“面積判定”篩選群組、以及“幾何判定”篩選群組顯示在用戶界面的另一區(qū)塊。另外，本發(fā)明可再以圖像來(lái)表示各篩選群組之間的關(guān)聯(lián)性。舉例來(lái)說(shuō)，表達(dá)關(guān)聯(lián)性的圖像可為直線、箭頭、字體、顏色、外框、背景、符號(hào)…等。如此一來(lái)，用戶在選擇檢測(cè)功能之后，便能對(duì)于所要設(shè)定的臨界條件與彼此間的關(guān)系一目了然，而能加速使用者設(shè)定這些臨界條件的速度。
[0028]請(qǐng)參考圖3。圖3說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的顯示方法所顯示的用戶界面的一第一實(shí)施例。圖3同樣舉“N電極瑕疵”檢測(cè)功能為例。于圖3中，以左至右來(lái)表示算法進(jìn)行的順序，而在虛線方框內(nèi)的篩選群組表示為同時(shí)進(jìn)行。于圖3中，“問(wèn)號(hào)”表示該設(shè)定值仍未設(shè)定，待使用者設(shè)定。也就是說(shuō)，自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)會(huì)先進(jìn)行“灰階范圍”篩選群組以及“鄰近差異”篩選群組的判斷，然后進(jìn)行“面積設(shè)定”篩選群組的判斷，最后同時(shí)進(jìn)行“面積判定”篩選群組與“幾何判定”篩選群組的判斷。當(dāng)自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行初步篩選群組的判斷時(shí)，用戶可以設(shè)定自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)判斷晶粒瑕疵的條件。舉例來(lái)說(shuō)，使用者可以設(shè)定當(dāng)待測(cè)晶粒只要不通過(guò)“灰階范圍”篩選群組或“鄰近差界”篩選群組，自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)便判斷晶粒有N電極瑕疵，而自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)需繼續(xù)以該進(jìn)階篩選群組對(duì)該待測(cè)晶粒進(jìn)行檢測(cè)以判斷該待測(cè)晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)?；蛘撸褂谜呖梢栽O(shè)定當(dāng)待測(cè)晶粒不通過(guò)“灰階范圍”篩選群組且不通過(guò)“鄰近差異”篩選群組，自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)才判斷晶粒有N電極瑕疵，而自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)需繼續(xù)以該進(jìn)階篩選群組對(duì)該待測(cè)晶粒進(jìn)行檢測(cè)以判斷該待測(cè)晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。而在此一階段待測(cè)晶粒所需通過(guò)的進(jìn)階篩選群組系為“面積設(shè)定”篩選群組。若待測(cè)晶粒通過(guò)面積設(shè)定篩選群組，自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)判斷該待測(cè)晶粒的瑕疵是在可接受范圍內(nèi)，而不再以“面積判定”篩選群組與“幾何判定”篩選群組，對(duì)該待測(cè)晶粒進(jìn)行后續(xù)的檢測(cè)。若待測(cè)晶粒未通過(guò)“面積設(shè)定”篩選群組，自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)判斷該待測(cè)晶粒的瑕疵有可能是超出可接受范圍內(nèi)，而需繼續(xù)以“面積判定”篩選群組與“幾何判定”篩選群組，對(duì)該待測(cè)晶粒進(jìn)行后續(xù)的檢測(cè)。若待測(cè)晶粒未通過(guò)“面積判定”篩選群組與/或“幾何判定”篩選群組，自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)判斷該待測(cè)晶粒的瑕疵是超出可接受范圍內(nèi)，表示該待測(cè)晶粒未通過(guò)N電極瑕疵檢測(cè)功能。若待測(cè)晶粒通過(guò)“面積判定”篩選群組與/或“幾何判定”篩選群組，自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)判斷該待測(cè)晶粒的瑕疵是落在可接受范圍內(nèi)，表示該待測(cè)晶粒通過(guò)N電極瑕疵檢測(cè)功能。對(duì)于進(jìn)階篩選群組，如“面積判定”篩選群組以及“幾何判定”篩選群組，使用者亦可進(jìn)行如上述的設(shè)定。
[0029]另外，在圖3中，多個(gè)初步篩選群組對(duì)應(yīng)到一進(jìn)階篩選群組，然本領(lǐng)域具有通常知識(shí)者應(yīng)可明白用戶界面也可需要設(shè)計(jì)成一個(gè)初步篩選群組對(duì)應(yīng)到多個(gè)進(jìn)階篩選群組。在圖3中，本發(fā)明以“直線”做為圖像說(shuō)明，以此方式來(lái)表示各篩選群組之間的關(guān)聯(lián)性。更明確地說(shuō)，“灰階范圍”篩選群組以及“鄰近差異”篩選群組的設(shè)定會(huì)影響“面積設(shè)定”篩選群組；而“面積設(shè)定”篩選群組又會(huì)更進(jìn)一步影響“面積判定”篩選群組與“幾何判定”篩選群組。如此，使用者便可清楚了解在設(shè)定某一篩選群組，會(huì)影響哪些篩選群組的設(shè)定，而進(jìn)而可以更方便使用者設(shè)定各篩選群組的臨界條件。另外，表達(dá)關(guān)聯(lián)性的圖像若是以“字體?‘顏色?‘外框” “背景”來(lái)呈現(xiàn)，則可以將有關(guān)聯(lián)的篩選群組，以相同的“字體” “顏色” “外框” “背景”來(lái)呈現(xiàn)。舉例來(lái)說(shuō)，“灰階范圍”、“鄰近差異”、“面積設(shè)定”篩選群組可以使用相同的字體，而“面積設(shè)定”、“面積判定”、“幾何判定”可以使用相同的顏色。也就是說(shuō)，“面積設(shè)定”篩選群組與“灰階范圍”、“鄰近差界”篩選群組具有相同的字體，而且與“面積判定”、“幾何判定”篩選群組具有相同的顏色。如此便 可以告知使用者這些篩選群組之間的關(guān)聯(lián)性。
[0030]請(qǐng)參考圖4。圖4說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的顯示方法所顯示的用戶界面的一第二實(shí)施例。圖4改舉“N電極無(wú)針痕”檢測(cè)功能為例。于圖4中，“問(wèn)號(hào)”表示該設(shè)定值仍未設(shè)定，待使用者設(shè)定。由于不同的檢測(cè)功能可能需要的臨界條件不一樣，又或者不同算法對(duì)于使用臨界條件的順序也不一樣，因此最后通過(guò)本發(fā)明的顯示方法200所顯示在用戶界面上的篩選群組，實(shí)際上會(huì)與圖3有所出入。舉例來(lái)說(shuō)，如圖4所示，“N電極無(wú)針痕”檢測(cè)功能所需要的臨界條件包括:灰階值上限、灰階值下限、區(qū)域最小 面積、最小針痕面積。本發(fā)明可將這些臨界條件分類為N針痕條件、N面積設(shè)定、N無(wú)針痕判定。更明確地說(shuō)，“N電極無(wú)針痕”檢測(cè)功能包括:“N針痕條件”篩選群組、“N面積設(shè)定”篩選群組，以及“N無(wú)針痕判定”篩選群組?！癗針痕條件”篩選群組包括:灰階值上限、灰階值下限；“N面積設(shè)定”篩選群組包括:區(qū)域最小面積；“N無(wú)針痕判定”篩選群組包括:最小針痕面積。根據(jù)自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)所使用的算法，可將“N針痕條件”篩選群組分類為初步篩選群組，而“N面積設(shè)定”篩選群組以及“N無(wú)針痕判定”篩選群組則可被分類為進(jìn)階篩選群組。由此可知，若使用者選擇“N電極無(wú)針痕”檢測(cè)功能，通過(guò)本發(fā)明的顯示方法，用戶便可知道在進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)功能時(shí)，所需設(shè)定的各臨界條件以及各臨界條件之間的關(guān)系，是與“N電極瑕疵”檢測(cè)功能不同的。換句話說(shuō)，本發(fā)明通過(guò)圖像化的方式，顯示各項(xiàng)檢測(cè)功能所需的臨界條件與關(guān)聯(lián)性，而能讓用戶通過(guò)用戶界面，在不了解算法的情況下，便可以知道如何設(shè)定臨界條件，而能夠加速設(shè)定的速度。
[0031]請(qǐng)參考圖5。圖5說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明的顯示方法所顯示的用戶界面的一第三實(shí)施例。圖5改舉多個(gè)檢測(cè)功能為例。于圖5中，“問(wèn)號(hào)”表示該設(shè)定值仍未設(shè)定，待使用者設(shè)定；“x”表示使用者不需設(shè)定。由于不同的檢測(cè)功能有時(shí)會(huì)有相同的臨界條件，因此通過(guò)本發(fā)明的顯示方法200，可以將多檢測(cè)功能與相同對(duì)應(yīng)的檢測(cè)條件之間的關(guān)聯(lián)性顯示出來(lái)。舉例來(lái)說(shuō)，如圖5所示，“斷線”、“連接點(diǎn)”、“金線瑕疵”檢測(cè)功能同樣需要的臨界條件包括灰階值上限、灰階值下限。本發(fā)明可將這些臨界條件歸類為金線條件。更明確地說(shuō)，“金線條件”篩選群組是“斷線” “連接點(diǎn)” “金線瑕疵”檢測(cè)功能同樣需要的篩選群組。如此以本發(fā)明的顯示方法，顯示出“斷線”、“連接點(diǎn)”、“金線瑕疵”檢測(cè)功能與“金線條件”篩選群組的關(guān)聯(lián)性，讓使用者知道“金線條件”篩選群組只要設(shè)定一次，便可對(duì)應(yīng)到“斷線”、“連接點(diǎn)”、“金線瑕疵”檢測(cè)功能，而不需要針對(duì)各檢測(cè)功能，再次設(shè)定同樣的“金線條件”篩選群組。另外，于圖5中，用戶僅選擇“斷線”檢測(cè)功能，因此僅需設(shè)定與斷線檢測(cè)功能有關(guān)的“金線條件”、“斷線設(shè)定”、“斷線判定”篩選群組，而在第5圖中與斷線檢測(cè)功能無(wú)關(guān)的篩選群組，使用者便不須設(shè)定，因此在圖5中，其他無(wú)關(guān)斷線檢測(cè)功能的篩選群組，在設(shè)定值字段中以“χ”來(lái)告知使用者不需設(shè)定。如此也不會(huì)造成使用者誤設(shè)其他無(wú)關(guān)的參數(shù)。除了以上述方式來(lái)告知使用者不需設(shè)定無(wú)關(guān)參數(shù)之外，本發(fā)明亦可在用戶界面上將該些無(wú)關(guān)參數(shù)限制為不讓使用者輸入。舉例來(lái)說(shuō)，將無(wú)關(guān)參數(shù)的文字跟輸入字段的顏色變淡，或者直接將無(wú)關(guān)參數(shù)的字段折收起來(lái)，如此以限制不讓使用者輸入。
[0032]另外，于本發(fā)明所述的初步篩選群組、進(jìn)階篩選群組，僅為表達(dá)先后順序的概念，而非用來(lái)限定初步篩選群組一定是在算法中首先執(zhí)行的步驟。舉例來(lái)說(shuō)，于圖3中，“灰階范圍”、“鄰近差異”篩選群組相對(duì)于“面積設(shè)定”篩選群組系為初步篩選群組，而“面積設(shè)定”篩選群組相對(duì)于“灰階范圍”、“鄰近差異”篩選群組系為進(jìn)階篩選群組；“面積設(shè)定”篩選群組相對(duì)于“面積判定”篩選群組“幾何判定”篩選群組系為初步篩選群組，而“面積判定”、“幾何判定”篩選群組相對(duì)于“面積設(shè)定”篩選群組系為進(jìn)階篩選群組。換句話說(shuō)，在一第二篩選群組先前執(zhí)行的一第一篩選群組可視為該第二篩選群組的初步篩選群組，而在該第二篩選群組之后執(zhí)行的一第三篩選群組可視為該第二篩選群組的進(jìn)階篩選群組。
[0033]綜上所述，本發(fā)明所提供的顯示方法，在用戶設(shè)定自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)或其他種類的半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)所需要的參數(shù)/臨界條件時(shí)，可以按照各參數(shù)/臨界條件的屬性分類，再按照參數(shù)/臨界條件的分類，顯示在用戶界面上，同時(shí)以圖像方式顯示出各參數(shù)/臨界條件的關(guān)聯(lián)性，而讓使用者能更迅速地完成各參數(shù)/臨界條件的設(shè)定，提供給使用者更大的便利性。
[0034]以上所述，僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，非局限本發(fā)明專利的專利保護(hù)范圍，故凡運(yùn)用本發(fā)明說(shuō)明書及圖式內(nèi)容所為的等效變化與修飾，均同理包括于本發(fā)明的權(quán)利要求保護(hù)范圍，合予陳明。
【權(quán)利要求】
1.一種于一半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)的一用戶界面的顯示方法，其特征在于，該顯示方法包括: 選擇一檢測(cè)功能； 將該檢測(cè)功能所需的多個(gè)臨界條件，根據(jù)該多個(gè)臨界條件于該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)所使用的一算法中所使用的順序或該多個(gè)臨界條件的屬性，分類為一初步篩選群組與一進(jìn)階篩選群組；以及 于該用戶界面顯示該初步篩選群組與該進(jìn)階篩選群組并以一圖像告知一用戶該初步篩選群組、該進(jìn)階篩選群組與該檢測(cè)功能是有關(guān)的； 其中當(dāng)一待測(cè)晶粒未通過(guò)該初步篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒未通過(guò)該初步篩選群組所包括的一臨界條件；當(dāng)該待測(cè)晶粒未通過(guò)該進(jìn)階篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒未通過(guò)該進(jìn)階篩選群組所包括的一臨界條件；當(dāng)該待測(cè)晶粒通過(guò)該初步篩選群組時(shí)，該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)判斷該待測(cè)晶粒通過(guò)該檢測(cè)功能；當(dāng)該待測(cè)晶粒未通過(guò)該初步篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒有瑕疵而該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)需繼續(xù)以該進(jìn)階篩選群組對(duì)該待測(cè)晶粒進(jìn)行檢測(cè)以判斷該待測(cè)晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)；當(dāng)該待測(cè)晶粒通過(guò)該進(jìn)階篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒的瑕疵是在可接受范圍內(nèi)。
2.一種于一半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)的一用戶界面的顯示方法，其特征在于，該顯示方法包括: 選擇一檢測(cè)功能； 將該檢測(cè)功能所需的多個(gè)臨界條件，根據(jù)該多個(gè)臨界條件于該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)所使用的一算法中所使用的順序或該多個(gè)臨界條件的屬性，分類為一初步篩選群組、一第一進(jìn)階篩選群組與一第二進(jìn)階篩選群組；以及 于該用戶界面顯示該初步篩選群組、該第一進(jìn)階篩選群組與該第二進(jìn)階篩選群組并顯示一圖像以告知一用戶該初步篩選群組、該第一進(jìn)階篩選群組、該第二進(jìn)階篩選群組與該檢測(cè)功能是有關(guān)的； 其中當(dāng)一待測(cè)晶粒未通過(guò)該初步篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒未通過(guò)該初步篩選群組所包括的一臨界條件；當(dāng)該待測(cè)晶粒未通過(guò)該第一進(jìn)階篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒未通過(guò)該第一進(jìn)階篩選群組所包括的一臨界條件；當(dāng)該待測(cè)晶粒未通過(guò)該第二進(jìn)階篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒未通過(guò)該第二進(jìn)階篩選群組所包括的一臨界條件；當(dāng)一待測(cè)晶粒通過(guò)該初步篩選群組時(shí)，該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)判斷該待測(cè)晶粒通過(guò)該檢測(cè)功能；當(dāng)該待測(cè)晶粒未通過(guò)該初步篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒有瑕疵而該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)需繼續(xù)以該第一進(jìn)階篩選群組與該第二進(jìn)階篩選群組對(duì)該待測(cè)晶粒進(jìn)行檢測(cè)以判斷該待測(cè)晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。
3.如權(quán)利要求2所述的顯示方法，其特征在于，該顯示方法當(dāng)該待測(cè)晶粒通過(guò)該第一進(jìn)階篩選群組且通過(guò)該第二進(jìn)階篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒的瑕疵是在可接受范圍內(nèi)。
4.如權(quán)利要求2所述的顯示方法，其特征在于，當(dāng)所述待測(cè)晶粒通過(guò)該第一進(jìn)階篩選群組或通過(guò)該第二進(jìn)階篩選群組時(shí)，表示該待測(cè)晶粒的瑕疵是在可接受范圍內(nèi)。
5.一種于一半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)的一用戶界面的顯示方法，其特征在于，該顯示方法包括: 選擇一檢測(cè)功能；將該檢測(cè)功能所需的多個(gè)臨界條件，根據(jù)該多個(gè)臨界條件的屬性，分類為一第一篩選群組與一第二篩選群組；以及 于該用戶界面顯示該第一篩選群組與該第二篩選群組并顯示一圖像以告知一用戶該第一篩選群組、該第二篩選群組與該檢測(cè)功能是有關(guān)的； 其中該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)根據(jù)一待測(cè)晶粒與該第一篩選群組與該第二篩選群組的關(guān)系，判斷該待測(cè)晶粒是否通過(guò)該檢測(cè)功能。
6.如權(quán)利要求5所述的顯示方法，其特征在于，該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)根據(jù)該待測(cè)晶粒與該第一篩選群組及該第二篩選群組的關(guān)系，判斷該待測(cè)晶粒是否通過(guò)該檢測(cè)功能包括: 當(dāng)該待測(cè)晶粒未通過(guò)該第一篩選群組或該第二篩選群組時(shí)，該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)判斷該待測(cè)晶粒有瑕疵而該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)需繼續(xù)對(duì)該待測(cè)晶粒進(jìn)行檢測(cè)以判斷該待測(cè)晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。
7.如權(quán)利要求5所述的顯示方法，其特征在于，該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)根據(jù)該待測(cè)晶粒與該第一篩選群組及該第二篩選群組的關(guān)系，判斷該待測(cè)晶粒是否通過(guò)該檢測(cè)功能包括: 當(dāng)該待測(cè)晶粒未通過(guò)該第一篩選群組且未通過(guò)該第二篩選群組時(shí)，該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)判斷該待測(cè)晶粒有瑕疵而該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)需繼續(xù)對(duì)該待測(cè)晶粒進(jìn)行檢測(cè)以判斷該待測(cè)晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。
8.一種于一半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)的一用戶界面的顯示方法，其特征在于，該顯示方法包括: 選擇一第一檢測(cè)功能；` 將該第一檢測(cè)功能所需的多個(gè)臨界條件，分類為一篩選群組；以及 于該用戶界面顯示該篩選群組，并顯示一圖像以告知一用戶該第一檢測(cè)功能、該篩選群組與一第二檢測(cè)功能有關(guān)； 其中當(dāng)一待測(cè)晶粒未通過(guò)該篩選群組時(shí)，該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)判斷該待測(cè)晶粒有瑕疵而該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)需繼續(xù)對(duì)該待測(cè)晶粒進(jìn)行檢測(cè)以判斷該待測(cè)晶粒的瑕疵是否在可接受范圍內(nèi)。
9.如權(quán)利要求1、2、5、8中任一項(xiàng)所述的顯示方法，其特征在于，該圖像為直線、箭頭、字體、顏色、外框、背景，或符號(hào)。
10.如權(quán)利要求1、2、5、8中任一項(xiàng)所述的顯示方法，其特征在于，該半導(dǎo)體檢測(cè)系統(tǒng)為一自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)。
【文檔編號(hào)】G06F3/0481GK103513854SQ201210209915
【公開日】2014年1月15日 申請(qǐng)日期:2012年6月19日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月19日
【發(fā)明者】周明澔, 楊上毅, 吳佳興 申請(qǐng)人:旺矽科技股份有限公司