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      半導(dǎo)體裝置的制造方法

      文檔序號:11407712閱讀:197來源:國知局
      半導(dǎo)體裝置的制造方法
      半導(dǎo)體裝置相關(guān)申請的交叉引用本申請要求2012年5月4日向韓國知識產(chǎn)權(quán)局提交的申請?zhí)枮?0-2012-0047465的韓國專利申請的優(yōu)先權(quán),其全部內(nèi)容通過引用合并于此。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明總體而言涉及一種半導(dǎo)體集成電路,更具體而言涉及一種改變半導(dǎo)體裝置中的時鐘頻率的機制。

      背景技術(shù):
      一般地,半導(dǎo)體裝置通過將命令與時鐘的邊沿同步來執(zhí)行讀取操作或?qū)懭氩僮?。例如,半?dǎo)體裝置將命令與時鐘的上升沿同步,并且將命令提供給內(nèi)部電路。應(yīng)當(dāng)在時鐘的上升沿到達(dá)之前提供命令預(yù)定的時間,以保證半導(dǎo)體裝置處于備用狀態(tài),以在時鐘的上升沿處精確地識別并且接收命令。此外,命令的電平即使在時鐘的上升沿之后也應(yīng)當(dāng)保持預(yù)定的時間,以保證半導(dǎo)體裝置準(zhǔn)確地執(zhí)行由命令指示的模式。在用于同步的時鐘的邊沿到達(dá)之前應(yīng)當(dāng)提供命令的預(yù)定時間被稱作為建立時間,并且應(yīng)當(dāng)保持命令的電平的預(yù)定時間被稱作為保持時間。圖1是現(xiàn)有的半導(dǎo)體裝置的命令鎖存器單元的框圖。半導(dǎo)體裝置的命令鎖存器單元包括鎖存器部10,所述鎖存器部10接收命令CMDB并與時鐘CLK同步地輸出內(nèi)部命令I(lǐng)CMD。命令CMDB可以是多個命令,諸如芯片選擇信號CS、激活信號ACT、行地址選通信號RAS、列地址選通信號CAS以及寫入使能信號WE。因此,半導(dǎo)體裝置的命令鎖存器單元可以由多個鎖存器部來組成以鎖存各個命令。圖2a和圖2b是現(xiàn)有的半導(dǎo)體裝置的命令鎖存器單元的時序圖。一般地,通過將諸如芯片選擇信號CS、激活信號ACT、行地址選通信號RAS、列地址選通信號CAS、寫入使能信號WE等的多個命令CMDB組合來執(zhí)行半導(dǎo)體裝置的讀取或?qū)懭氩僮?。因而,如果如圖2a所示那樣,命令CMDB的脈沖寬度的時鐘CLK的一個周期(1*tCK)相同,則內(nèi)部命令I(lǐng)CMD具有與命令CMDB的脈沖寬度相同的建立/保持時間,并且半導(dǎo)體裝置可以準(zhǔn)確地執(zhí)行由命令CMDB指示的模式。然而,如果如圖2b所示那樣,命令CMDB的脈沖寬度比時鐘CLK的一個周期(1*tCK)大,則內(nèi)部命令I(lǐng)CMD具有與命令CMDB的脈沖寬度不同的建立/保持時間,并且半導(dǎo)體裝置不能精確地識別由命令CMDB指示的模式。在內(nèi)部命令I(lǐng)CMD的脈沖寬度改變的情況下,半導(dǎo)體裝置不能根據(jù)輸入信號執(zhí)行操作模式。

      技術(shù)實現(xiàn)要素:
      在本發(fā)明的一個實施例中,一種半導(dǎo)體裝置包括:時鐘頻率改變模塊,所述時鐘頻率改變模塊被配置成通過響應(yīng)于將多個內(nèi)部時鐘的輸出使能的設(shè)定命令和模式寄存器組信號,將外部時鐘的頻率分頻,來輸出具有不同頻率的多個內(nèi)部時鐘,并且產(chǎn)生標(biāo)志信號以表示輸出的完成;以及命令發(fā)生模塊,所述命令發(fā)生模塊被配置成接收命令,并且響應(yīng)于標(biāo)志信號和模式寄存器組信號來產(chǎn)生設(shè)定命令。在本發(fā)明的另一個實施例中,一種半導(dǎo)體裝置包括:時鐘頻率改變模塊,所述時鐘頻率改變模塊被配置成通過響應(yīng)于允許進入用于改變時鐘頻率的模式的頻率改變信號和設(shè)定為允許產(chǎn)生多個內(nèi)部時鐘的無操作命令,而將外部時鐘分頻,來產(chǎn)生具有不同頻率的多個內(nèi)部時鐘,并且響應(yīng)于無操作命令而產(chǎn)生頻率改變結(jié)束信號以表示完成所述用于改變時鐘頻率的模式;以及命令發(fā)生模塊,所述命令發(fā)生模塊被配置成接收命令,并響應(yīng)于頻率改變信號和頻率改變結(jié)束信號而產(chǎn)生無操作命令。附圖說明結(jié)合附圖來描述本發(fā)明的特點、方面以及實施例,其中:圖1是現(xiàn)有的半導(dǎo)體裝置的命令鎖存器單元的框圖;圖2a是當(dāng)命令CMDB的脈沖寬度與根據(jù)圖1的時鐘CLK的一個周期(1*tCK)相同時的時序圖;圖2b是當(dāng)命令CMDB的脈沖寬度比根據(jù)圖1的時鐘CLK的一個周期(1*tCK)大時的時序圖;圖3是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的半導(dǎo)體裝置的示意性框圖;圖4是圖3中所示的同步脈沖發(fā)生單元的詳細(xì)電路圖;圖5是圖3中所示的命令移位器的詳細(xì)電路圖;圖6是圖3中所示的時鐘發(fā)生單元的詳細(xì)電路圖;圖7是圖3中所示的感測單元的詳細(xì)電路圖;以及圖8是根據(jù)本發(fā)明的實施例的半導(dǎo)體裝置的操作時序圖。具體實施方式在下文中,將經(jīng)由各種實施例參照附圖來描述根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體裝置。圖3是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的半導(dǎo)體裝置的示意性框圖。參見圖3,根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的半導(dǎo)體裝置包括時鐘頻率改變模塊700和命令發(fā)生模塊800。命令發(fā)生模塊800包括同步脈沖發(fā)生單元100和命令輸出單元600。時鐘頻率改變模塊700包括命令移位器200、時鐘發(fā)生單元300、感測單元400以及放大單元500。根據(jù)本發(fā)明的實施例的半導(dǎo)體裝置響應(yīng)于復(fù)位信號RST#、命令CMD#、頻率改變信號FRE2N以及自我刷新信號SREF來改變外部時鐘CLK和CLK#的頻率。半導(dǎo)體裝置的各種操作模式被預(yù)先設(shè)定,并且被儲存在模式寄存器中,其中,這些模式寄存器的組被稱作為模式寄存器組(MRS)。頻率改變信號FRE2N是從MRS信號中預(yù)設(shè)的操作模式信號。半導(dǎo)體裝置響應(yīng)于MRS信號而改變外部時鐘CLK和CLK#,并且產(chǎn)生具有不同頻率的多個內(nèi)部時鐘ICLK1N和ICLK2N。因此,頻率改變信號FRE2N是如下的一種信號:允許半導(dǎo)體裝置進入改變外部時鐘CLK和CLK#以產(chǎn)生具有不同頻率的多個內(nèi)部時鐘ICLK1N和ICLK2N的模式。同步脈沖發(fā)生單元100被配置成響應(yīng)于內(nèi)部命令I(lǐng)CMD、復(fù)位信號RST#、頻率改變信號FRE2N以及頻率改變結(jié)束信號SETEND2N來產(chǎn)生無操作命令TER2N。同步脈沖發(fā)生單元100在頻率改變信號FRE2N和復(fù)位信號RST#被激活時產(chǎn)生無操作命令TER2N,并且在頻率改變結(jié)束信號SETEND2N被激活時中斷無操作命令TER2N的輸出。無操作命令TER2N是如下的一種信號:設(shè)定根據(jù)本發(fā)明的實施例的半導(dǎo)體裝置的組件,以使能它們改變外部時鐘CLK和CLK#并產(chǎn)生具有不同頻率的多個內(nèi)部時鐘ICLK1N和ICLK2N。命令輸出單元600被配置成鎖存命令CMD#并且產(chǎn)生內(nèi)部命令I(lǐng)CMD。輸入到命令輸出單元600的命令CMD#可以是包括芯片選擇信號CS、激活信號ACT、行地址選通信號RAS、列地址選通信號CAS以及寫入使能信號WE的多個命令。相似地,從命令輸出單元600輸出的內(nèi)部命令I(lǐng)CMD可以是包括內(nèi)部芯片選擇信號ICS、內(nèi)部激活信號IACT、內(nèi)部行地址選通信號IRAS、內(nèi)部列地址選通信號ICAS以及內(nèi)部寫入使能信號IWE的多個內(nèi)部命令。因此,命令輸出單元600可以包括多個觸發(fā)器以鎖存多個命令CMD#,并且輸出多個內(nèi)部命令I(lǐng)CMD。當(dāng)半導(dǎo)體裝置響應(yīng)于無操作命令TER2N而完成用于改變第一參考時鐘PCK的頻率的模式時,頻率改變結(jié)束信號SETEND2N被激活。第一參考時鐘PCK是與外部時鐘CLK和CLK#相比具有相同的周期而不同的幅值的一種信號,并且是通過在放大單元500中將外部時鐘CLK與互補的外部時鐘CLK#進行比較而產(chǎn)生的。當(dāng)頻率改變結(jié)束信號SETEND2N被激活時,同步脈沖發(fā)生單元100中斷無操作命令TER2N的輸出,而不改變由無操作命令TER2N確定的半導(dǎo)體裝置的設(shè)定。命令移位器200被配置成接收第一參考時鐘PCK,并且響應(yīng)于通過延遲第一參考時鐘PCK產(chǎn)生的信號來順序延遲無操作命令TER2N。結(jié)果,命令移位器200通過將無操作命令TER2N延遲來產(chǎn)生第一控制信號TERSYNC和第二控制信號TERSET。第一控制信號TERSYNC被輸入到時鐘發(fā)生單元300中,由此將時鐘發(fā)生單元300復(fù)位并且產(chǎn)生具有與第一參考時鐘PCK相同頻率的第一內(nèi)部時鐘ICLK1N和具有與第一參考時鐘PCK不同頻率的第二內(nèi)部時鐘ICLK2N。感測單元400被配置成響應(yīng)于頻率改變信號FRE2N、自我刷新信號SREF、復(fù)位信號RST#以及第二控制信號TERSET而產(chǎn)生頻率改變結(jié)束信號SETEND2N。頻率改變結(jié)束信號SETEND2N是如下的一種信號:響應(yīng)于將無操作命令TER2N延遲而產(chǎn)生的第二控制信號TERSET,通知已經(jīng)將第二內(nèi)部時鐘ICLK2N的頻率改變成與外部時鐘CLK和CLK#或第一參考時鐘PCK的頻率不同。頻率改變結(jié)束信號SETEND2N是如下的一種標(biāo)志信號,表示產(chǎn)生具有與外部時鐘CLK和CLK#不同頻率的多個內(nèi)部時鐘ICLK1N和ICLK2N已經(jīng)完成。圖4是圖3所示的同步脈沖發(fā)生單元100的詳細(xì)電路圖。以下將參照圖3和圖4來描述同步脈沖發(fā)生單元100的操作。同步脈沖發(fā)生單元100包括同步脈沖控制部110和同步脈沖操作部120。同步脈沖控制部110包括:第一與非門ND1,所述第一與非門ND1將頻率改變信號FRE2N與復(fù)位信號RST#“與非”;和第一或非門NR1,所述第一或非門NR1將第一與非門ND1的輸出信號與頻率改變結(jié)束信號SETEND2N“或非”,且輸出使能信號EN。同步脈沖操作部120包括:第二與非門ND2,所述第二與非門ND2將內(nèi)部芯片選擇信號ICS、內(nèi)部激活信號IACT以及內(nèi)部行地址選通信號IRAS“與非”;第三與非門ND3,所述第三與非門ND3將內(nèi)部列地址選通信號ICAS、內(nèi)部寫入使能信號IWE以及使能信號EN“與非”;以及第二或非門NR2,所述第二或非門NR2將第二與非門ND2的輸出信號和第三與非門ND3的輸出信號“或非”。為了輸出與外部時鐘CLK和CLK#或者第一參考時鐘PCK的頻率的1/2相對應(yīng)的第二內(nèi)部時鐘ICLK2N的頻率,將頻率改變信號FRE2N激活(轉(zhuǎn)變成高電平)。在半導(dǎo)體裝置加電之后,復(fù)位信號RST#釋放(轉(zhuǎn)變成高電平)。當(dāng)?shù)诙?nèi)部時鐘ICLK2N的頻率與外部時鐘CLK和CLK#或者第一參考時鐘PCK的頻率的1/2相對應(yīng)時,頻率改變結(jié)束信號SETEND2N被激活(轉(zhuǎn)變成高電平)。相應(yīng)地,同步脈沖控制部110被配置成當(dāng)?shù)诙?nèi)部時鐘ICLK2N的頻率不與外部時鐘CLK和CLK#或第一參考時鐘PCK的頻率的1/2相對應(yīng)時,輸出激活的使能信號EN,而當(dāng)?shù)诙?nèi)部時鐘ICLK2N的頻率與外部時鐘CLK和CLK#或第一參考時鐘PCK的頻率的1/2相對應(yīng)時,輸出去激活的使能信號EN。同步脈沖操作部120被配置成對內(nèi)部芯片選擇信號ICS、內(nèi)部激活信號IACT、內(nèi)部行地址選通信號IRAS、內(nèi)部列地址選通信號ICAS、內(nèi)部寫入使能信號IWE以及使能信號EN執(zhí)行邏輯操作,并且產(chǎn)生無操作命令TER2N。根據(jù)本發(fā)明的實施例的無操作命令TER2N是如下的一種的信號:將器件使能以接收外部時鐘CLK和CLK#并且產(chǎn)生具有不同頻率的多個內(nèi)部時鐘ICLK1N和ICLK2N,同時防止在處理中輸入任何不需要的命令。這保證內(nèi)部時鐘ICLK1N和ICLK2N保持它們的頻率預(yù)設(shè)值。內(nèi)部芯片選擇信號ICS、內(nèi)部激活信號IACT、內(nèi)部行地址選通信號IRAS、內(nèi)部列地址選通信號ICAS以及內(nèi)部寫入使能信號IWE是命令輸入單元600利用芯片選擇信號CS、激活信號ACT、行地址選通信號RAS、列地址選通信號CAS以及寫入使能信號WE,響應(yīng)于第二內(nèi)部時鐘ICLK2N而產(chǎn)生的。同步脈沖操作部120在內(nèi)部芯片選擇信號ICS、內(nèi)部激活信號IACT、內(nèi)部行地址選通信號IRAS、內(nèi)部列地址選通信號ICAS、內(nèi)部寫入使能信號IWE以及使能信號EN以高電平輸入時,產(chǎn)生被激活的無操作命令TER2N。無操作命令TER2N具有與內(nèi)部芯片選擇信號ICS、內(nèi)部激活信號IACT、內(nèi)部行地址選通信號IRAS、內(nèi)部列地址選通信號ICAS以及內(nèi)部寫入使能信號IWE的脈沖寬度相對應(yīng)的激活時段。如果使能信號EN被去激活(轉(zhuǎn)變成低電平),則即使當(dāng)內(nèi)部芯片選擇信號ICS、內(nèi)部激活信號ICAT、內(nèi)部行地址選通信號IRAS、內(nèi)部列地址選通信號ICAS以及內(nèi)部寫入使能信號IWE以高電平輸入時,同步脈沖操作部120也不輸出激活的無操作命令TER2N。圖5是圖3中所示的命令移位器200的詳細(xì)電路圖。以下將參照圖3至圖5來描述命令移位器200的操作。命令移位器200包括參考時鐘延遲部210和控制信號發(fā)生部220。參考時鐘延遲部210被配置成將第一參考時鐘PCK延遲并且產(chǎn)生多個延遲的時鐘。參考時鐘延遲部210包括:第一反相器IV1,所述第一反相器IV1將頻率改變信號FRE2N反相,并且輸出所得的信號;第三或非門NR3,所述第三或非門NR3將第一反相器IV1的輸出信號和頻率改變結(jié)束信號SETEND2N“或非”;第四與非門ND4,所述第四與非門ND4將第三或非門NR3的輸出信號與第一參考時鐘PCK“與非”;第二反相器IV2,所述第二反相器IV2將第四與非門ND4的輸出信號反相;第三反相器IV3,所述第三反相器IV3將第二反相器IV2的輸出信號反相;第四反相器IV4,所述第四反相器IV4將第三反相器IV3的輸出信號反相;第五反相器IV5,所述第五反相器IV5將第四反相器IV4的輸出信號反相;第六反相器IV6,所述第六反相器IV6將第五反相器IV5的輸出信號反相;第七反相器IV7,所述第七反相器IV7將第六反相器IV6的輸出信號反相;第八反相器IV8,所述第八反相器IV8將第七反相器IV7的輸出信號反相;第九反相器IV9,所述第九反相器IV9將第八反相器IV8的輸出信號反相;第十反相器IV10,所述第十反相器IV10將第九反相器IV9的輸出信號反相;第十一反相器IV11,所述第十一反相器IV11將第十反相器IV10的輸出信號反相;第十二反相器IV12,所述第十二反相器IV12將第十一反相器IV11的輸出信號反相;第十三反相器IV13,所述第十三反相器IV13將第十二反相器IV12的輸出信號反相;以及第十四反相器IV14,所述第十四反相器IV14將第十三反相器IV13的輸出信號反相。第一反相器IV1將頻率改變信號FRE2N反相并且輸出所得的信號。當(dāng)頻率改變信號FRE...
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