本發(fā)明涉及集成電路技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種MES數(shù)據(jù)的驗(yàn)證方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體制造生產(chǎn)根據(jù)不同的工藝需求需要相應(yīng)的工藝流程來實(shí)現(xiàn)，而每條工藝流程長達(dá)上千個(gè)步驟，每個(gè)步驟都綁定諸多信息，包括設(shè)備，程式，工藝數(shù)據(jù)規(guī)格，污染標(biāo)志等，為了得到工藝上更好的良率，工程數(shù)據(jù)需要不斷更新，而每次修改之前與修改之后的數(shù)據(jù)校驗(yàn)非常復(fù)雜繁瑣，人為校驗(yàn)每個(gè)步驟信息所需的工作量是非常耗時(shí)又不能確保準(zhǔn)確率的方式，導(dǎo)致工作效率不高，準(zhǔn)確率很難到達(dá)100％。

為了提高作業(yè)效率，保證準(zhǔn)確性，我們首先將MES(Manufacturing Execution System)數(shù)據(jù)的相關(guān)規(guī)則與聯(lián)動(dòng)性預(yù)設(shè)在校驗(yàn)系統(tǒng)中，將需要更新的原始MES數(shù)據(jù)導(dǎo)入該系統(tǒng)進(jìn)行檢測，輸出錯(cuò)誤信息，保證原始數(shù)據(jù)準(zhǔn)確無誤才能進(jìn)行改版更新，更改完畢，再將改版后的信息導(dǎo)入系統(tǒng)校驗(yàn)是符合所有的規(guī)則，兩次系統(tǒng)化的校驗(yàn)，確保MES數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了克服以上問題，本發(fā)明旨在提供一種MES數(shù)據(jù)的驗(yàn)證方法及系統(tǒng)，從而有效地檢驗(yàn)所有信息的相關(guān)規(guī)則與聯(lián)動(dòng)性。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了MES數(shù)據(jù)的驗(yàn)證方法，其包括：

步驟01：提交改版申請，并提交MES原始數(shù)據(jù)；

步驟02：對MES原始數(shù)據(jù)進(jìn)行校驗(yàn)，檢測MES原始數(shù)據(jù)是否正確；若錯(cuò)誤，則對錯(cuò)誤的MES原始數(shù)據(jù)重新執(zhí)行步驟01進(jìn)行校驗(yàn)；若正確，則執(zhí)行步驟03；

步驟03：對MES原始數(shù)據(jù)進(jìn)行改版更新得到改版后的MES數(shù)據(jù)；

步驟04：對改版后的MES數(shù)據(jù)進(jìn)行校驗(yàn)，檢測改版后的MES數(shù)據(jù)是否正確；若否，則對改版后的MES數(shù)據(jù)重新執(zhí)行步驟03；若正確，則執(zhí)行步驟05；

步驟05：對正確的改版后的MES數(shù)據(jù)進(jìn)行激活更新。

優(yōu)選地，所述步驟02中，檢測MES原始數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性包括：檢測站點(diǎn)信息、設(shè)備信息、程式信息和返工信息是否為當(dāng)前最新數(shù)據(jù)。

優(yōu)選地，所述步驟04中，檢測改版后的MES數(shù)據(jù)是否正確包括：檢測改版后的MES數(shù)據(jù)是否符合所設(shè)定的規(guī)則，若不符合，則對不符合所設(shè)定的規(guī)則的改版后的MES數(shù)據(jù)重新執(zhí)行步驟03。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明還提供了一種執(zhí)行上述MES數(shù)據(jù)的驗(yàn)證方法的系統(tǒng)，包括輸入模塊、檢測模塊、改版模塊和激活模塊；其中，

提交模塊，提交改版申請，并將MES原始數(shù)據(jù)提交到系統(tǒng)中；

檢測模塊，對MES原始數(shù)據(jù)進(jìn)行校驗(yàn)，檢測MES原始數(shù)據(jù)是否正確；若錯(cuò)誤，則將錯(cuò)誤的MES原始數(shù)據(jù)重新發(fā)送到提交模塊中；若正確，則發(fā)送正確的MES原始數(shù)據(jù)給改版模塊；

改版模塊，對正確的MES原始數(shù)據(jù)進(jìn)行改版更新得到改版后的MES數(shù)據(jù)；然后，檢測模塊對改版后的MES數(shù)據(jù)進(jìn)行校驗(yàn)，檢測改版后的MES數(shù)據(jù)是否正確；若否，則改版模塊將錯(cuò)誤的改版后的MES數(shù)據(jù)重新改版；若正確，則改版模塊將正確的改版后的MES數(shù)據(jù)發(fā)送給激活模塊；

激活模塊，對正確的改版后的MES數(shù)據(jù)進(jìn)行激活更新。

優(yōu)選地，所述檢測模塊檢測MES原始數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性包括：檢測站點(diǎn)信息、設(shè)備信息、程式信息和返工信息是否為當(dāng)前最新數(shù)據(jù)。

優(yōu)選地，所述檢測模塊檢測改版后的MES數(shù)據(jù)是否正確包括：檢測改版后的MES數(shù)據(jù)是否符合所設(shè)定的規(guī)則，若不符合，則將不符合所設(shè)定的規(guī)則的改版后的MES數(shù)據(jù)重新發(fā)送給改版模塊。

優(yōu)選地，所述系統(tǒng)還包括存儲(chǔ)模塊，用于存儲(chǔ)所述MES原始數(shù)據(jù)。

本發(fā)明有效地檢驗(yàn)了所有信息的相關(guān)規(guī)則與聯(lián)動(dòng)性，提高了數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性，同時(shí)也減少了人為校驗(yàn)所帶來的誤操作風(fēng)險(xiǎn)。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的MES數(shù)據(jù)的驗(yàn)證方法的流程示意圖

圖2為本發(fā)明的一個(gè)較佳實(shí)施例的MES數(shù)據(jù)的驗(yàn)證系統(tǒng)的方塊圖

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。

以下結(jié)合附圖1-2和具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式、使用非精準(zhǔn)的比例，且僅用以方便、清晰地達(dá)到輔助說明本實(shí)施例的目的。

請參閱圖1，本實(shí)施例的MES數(shù)據(jù)的驗(yàn)證方法，包括：

步驟01：提交改版申請，并提交MES原始數(shù)據(jù)；

步驟02：對MES原始數(shù)據(jù)進(jìn)行校驗(yàn)，檢測MES原始數(shù)據(jù)是否正確；若錯(cuò)誤，則對錯(cuò)誤的MES原始數(shù)據(jù)重新執(zhí)行步驟01進(jìn)行校驗(yàn)；若正確，則執(zhí)行步驟03；

具體的，本步驟02中，檢測MES原始數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性包括：檢測站點(diǎn)信息、設(shè)備信息、程式信息和返工信息是否為當(dāng)前最新數(shù)據(jù)。

步驟03：對MES原始數(shù)據(jù)進(jìn)行改版更新得到改版后的MES數(shù)據(jù)；

步驟04：對改版后的MES數(shù)據(jù)進(jìn)行校驗(yàn)，檢測改版后的MES數(shù)據(jù)是否正確；若否，則對改版后的MES數(shù)據(jù)重新執(zhí)行步驟03；若正確，則執(zhí)行步驟05；

具體的，本步驟04中，檢測改版后的MES數(shù)據(jù)是否正確包括：檢測改版后的MES數(shù)據(jù)是否符合所設(shè)定的規(guī)則，若不符合，則對不符合所設(shè)定的規(guī)則的改版后的MES數(shù)據(jù)重新執(zhí)行步驟03。

步驟05：對正確的改版后的MES數(shù)據(jù)進(jìn)行激活更新。

此外，請參閱圖2，本實(shí)施例的執(zhí)行上述MES數(shù)據(jù)的驗(yàn)證方法的系統(tǒng)，包括輸入模塊、檢測模塊、改版模塊和激活模塊；還可以包括存儲(chǔ)模塊；其中，

提交模塊，提交改版申請，并將MES原始數(shù)據(jù)提交到系統(tǒng)中；這里，提交到存儲(chǔ)模塊中。

存儲(chǔ)模塊，用于存儲(chǔ)MES原始數(shù)據(jù)；

檢測模塊，對MES原始數(shù)據(jù)進(jìn)行校驗(yàn)，檢測MES原始數(shù)據(jù)是否正確；若錯(cuò)誤，則將錯(cuò)誤的MES原始數(shù)據(jù)重新發(fā)送到提交模塊中；若正確，則發(fā)送正確的MES原始數(shù)據(jù)給改版模塊；這里，檢測模塊檢測MES原始數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性可以包括：檢測站點(diǎn)信息、設(shè)備信息、程式信息和返工信息是否為當(dāng)前最新數(shù)據(jù)。

改版模塊，對正確的MES原始數(shù)據(jù)進(jìn)行改版更新得到改版后的MES數(shù)據(jù)；然后，檢測模塊對改版后的MES數(shù)據(jù)進(jìn)行校驗(yàn)，檢測改版后的MES數(shù)據(jù)是否正確；若否，則改版模塊將錯(cuò)誤的改版后的MES數(shù)據(jù)重新改版；若正確，則改版模塊將正確的改版后的MES數(shù)據(jù)發(fā)送給激活模塊；這里，檢測模塊檢測改版后的MES數(shù)據(jù)是否正確可以包括：檢測改版后的MES數(shù)據(jù)是否符合所設(shè)定的規(guī)則，若不符合，則改版模塊對不符合所設(shè)定的規(guī)則的改版后的MES數(shù)據(jù)重新改版。

激活模塊，對正確的改版后的MES數(shù)據(jù)進(jìn)行激活更新。

雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭示如上，然實(shí)施例僅為了便于說明而舉例而已，并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下可作若干的更動(dòng)與潤飾，本發(fā)明所主張的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求書為準(zhǔn)。