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      觸摸屏以及觸摸面板裝置的制作方法

      文檔序號(hào):11333615閱讀:224來(lái)源:國(guó)知局
      觸摸屏以及觸摸面板裝置的制造方法

      本發(fā)明涉及具有觸感產(chǎn)生功能的觸摸屏以及具備該觸摸屏的觸摸面板裝置。



      背景技術(shù):

      以往,檢測(cè)由手指等指示體進(jìn)行的觸摸并確定其觸摸位置的坐標(biāo)的觸摸面板作為優(yōu)良的接口部件之一得到關(guān)注。在該觸摸面板中,提出了電阻膜方式、靜電電容方式等各種方式并被產(chǎn)品化。

      作為這樣的靜電電容方式的觸摸面板的一種,例如已知在專利文獻(xiàn)1中所公開(kāi)的投影型靜電電容(projectedcapacitive)方式的觸摸面板。關(guān)于這樣的觸摸面板,具有堅(jiān)固性優(yōu)良、在佩戴手套時(shí)也能夠檢測(cè)觸摸、以及無(wú)可動(dòng)部且壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn),所以提出了各種技術(shù)。

      專利文獻(xiàn)1公開(kāi)的觸摸面板在觸摸屏中具備檢測(cè)用行布線(行檢測(cè)電極)以及檢測(cè)用列布線(列檢測(cè)電極),根據(jù)由在各檢測(cè)電極與指示體之間形成的靜電電容構(gòu)成的觸摸電容的檢測(cè)結(jié)果,計(jì)算并輸出表示觸摸屏上的指示體的觸摸位置的觸摸坐標(biāo)。另外,各檢測(cè)電極由按照鋸齒形狀重復(fù)的鋸齒形圖案的微細(xì)的金屬布線形成。作為這樣的檢測(cè)電極,也盛行使用采用ito(indiumtinoxide,氧化銦錫)等透明導(dǎo)電膜的檢測(cè)電極。

      另外,實(shí)際上在操作者利用手指對(duì)觸摸屏進(jìn)行觸摸輸入時(shí),例如在設(shè)想使指尖移動(dòng)到與按鈕形狀的顯示對(duì)象相應(yīng)的位置而進(jìn)行觸摸輸入時(shí),從作為操作面的觸摸屏表面得到的觸感是一樣的,所以是難以得到除視覺(jué)信息以外的跟蹤信息的狀況,操作者需要注視操作面。另外,關(guān)于是否受理了觸摸輸入,必須確認(rèn)顯示畫面切換等嵌入有觸摸面板的裝置的響應(yīng)。因此,提出了如下功能(觸感反饋功能):在操作者用手指等指示體觸摸操作面時(shí),對(duì)指示體反饋振動(dòng)、電刺激等基于某種觸感的響應(yīng)。

      作為這樣的對(duì)觸摸到操作面的指尖提供觸感的裝置,已知例如在專利文獻(xiàn)2中公開(kāi)的觸感刺激產(chǎn)生裝置。在坐標(biāo)輸入裝置(觸摸屏)的前表面配置有觸感刺激產(chǎn)生片,從配置于觸感刺激產(chǎn)生片的觸感生成電極的+側(cè)電極向-側(cè)電極,經(jīng)由指尖流過(guò)電流,從而對(duì)操作者的指尖提供電氣性的刺激。

      另外,在專利文獻(xiàn)3中公開(kāi)了兼具觸摸檢測(cè)功能和觸感電壓產(chǎn)生功能的觸感觸摸面板裝置。觸感觸摸面板裝置包括配置觸摸驅(qū)動(dòng)線(激勵(lì)電極)的基板和配置觸摸傳感線(檢測(cè)電極)的基板的組合。并且,在無(wú)圖像數(shù)據(jù)供給的垂直消隱期間,在不進(jìn)行觸摸檢測(cè)的期間對(duì)觸摸驅(qū)動(dòng)線、傳感線的各個(gè)線施加觸感產(chǎn)生電壓。另外,在觸感觸摸面板的背面?zhèn)攘硇性O(shè)置屏蔽層,切斷具有觸感產(chǎn)生用電壓的觸感產(chǎn)生信號(hào)被施加到顯示面板。在顯示面板是液晶顯示面板的情況下,屏蔽層形成于相對(duì)基板(oppositesubstrate)或陣列基板。

      現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

      專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2010-61502號(hào)公報(bào)

      專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2013-58153號(hào)公報(bào)

      專利文獻(xiàn)3:日本特開(kāi)2014-56580號(hào)公報(bào)



      技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

      在專利文獻(xiàn)3中公開(kāi)的觸摸屏裝置中,在具有觸感功能的觸摸面板的背面另行設(shè)置的屏蔽層一般由透明導(dǎo)電膜形成,但由于電極電阻比較高,并且無(wú)法充分地確保gnd(接地)連接數(shù)量、連接面積等,所以相對(duì)具有高電壓的觸感產(chǎn)生用電壓的觸感產(chǎn)生信號(hào),得不到充分的屏蔽效果。這樣的傾向在觸摸屏的尺寸變大時(shí)變得顯著。

      另外,在如專利文獻(xiàn)3公開(kāi)的觸感刺激產(chǎn)生裝置那樣將觸摸屏和不同體的觸感屏進(jìn)行組合來(lái)構(gòu)成的情況下,存在觸摸屏的厚度變厚、或者由于多個(gè)屏幕之間的界面反射而使對(duì)比度降低這樣的問(wèn)題。

      另外,在如在專利文獻(xiàn)3中公開(kāi)的觸摸屏裝置那樣兼具觸摸檢測(cè)用電極和觸感產(chǎn)生用電極的情況下,相比于觸摸檢測(cè)電路電壓,觸感產(chǎn)生用電壓需要高達(dá)幾十v以上的電壓,所以存在需要高擊穿電壓(highbreakdownvoltage)的切換電路等、或者由于需要觸摸檢測(cè)電路的高擊穿電壓化而電路規(guī)模增大這樣的問(wèn)題。

      而且,在專利文獻(xiàn)3中公開(kāi)的觸摸屏裝置兼具觸摸檢測(cè)用電極和觸感產(chǎn)生用電極,所以無(wú)法設(shè)定為使觸摸檢測(cè)用電極間距與觸感產(chǎn)生用電極間距不同。因此,在與觸摸檢測(cè)和觸感產(chǎn)生中的一方匹配地設(shè)定電極間距的情況下,存在如下問(wèn)題:另一方不必要地成為精密的間距而周邊電路變得復(fù)雜,或者相反地成為粗略的間距而觸摸檢測(cè)分辨率、觸感產(chǎn)生分辨率這樣的性能降低。

      本發(fā)明是鑒于上述那樣的問(wèn)題而完成的,其目的在于得到一種能夠提高針對(duì)組合配置的顯示面板的觸感產(chǎn)生信號(hào)的屏蔽效果、并且抑制電路規(guī)模的增大的觸摸屏以及具備該觸摸屏的觸摸面板裝置。

      本發(fā)明的權(quán)利要求1記載的觸摸屏具有操作面,其特征在于,所述觸摸屏具備:多個(gè)第1觸摸檢測(cè)用電極,分別沿著第1方向設(shè)置,在檢測(cè)有無(wú)向所述操作面的觸摸操作的觸摸檢測(cè)期間被賦予激勵(lì)脈沖信號(hào);多個(gè)第2觸摸檢測(cè)用電極,分別沿著與所述第1方向交叉的第2方向設(shè)置;多個(gè)第1觸感產(chǎn)生用電極,與所述多個(gè)第1觸摸檢測(cè)用電極獨(dú)立地,分別沿著所述第1方向設(shè)置;以及多個(gè)第2觸感產(chǎn)生用電極,與所述多個(gè)第2觸摸檢測(cè)用電極獨(dú)立地,分別沿著所述第2方向設(shè)置,在觸感產(chǎn)生信號(hào)施加期間,對(duì)所述多個(gè)第1及第2觸感產(chǎn)生用電極選擇性地賦予觸感產(chǎn)生信號(hào),所述觸摸屏具有將所述多個(gè)第1觸摸檢測(cè)用電極、所述多個(gè)第2觸摸檢測(cè)用電極、所述多個(gè)第1觸感產(chǎn)生用電極以及所述多個(gè)第2觸感產(chǎn)生用電極之中的所述多個(gè)第1觸摸檢測(cè)用電極配置于離所述操作面最遠(yuǎn)的位置的電極間位置關(guān)系。

      在權(quán)利要求1記載的本申請(qǐng)發(fā)明的觸摸屏中,起到如下效果:能夠通過(guò)設(shè)置于離操作面最遠(yuǎn)的位置的多個(gè)第1觸摸檢測(cè)用電極,屏蔽在比多個(gè)第1觸摸檢測(cè)用電極更接近操作面的位置處配置的多個(gè)第2觸摸檢測(cè)用電極、多個(gè)第1觸感產(chǎn)生用電極以及多個(gè)第2觸感產(chǎn)生用電極(以下有時(shí)簡(jiǎn)記為“多個(gè)第2觸摸檢測(cè)用電極等”)。

      顯示面板一般設(shè)置于觸摸屏的與操作面相反方向的一側(cè),所以根據(jù)上述電極間位置關(guān)系,第1觸摸檢測(cè)用電極存在于第2觸摸檢測(cè)用電極等與顯示面板之間。因此,能夠抑制來(lái)自顯示面板的驅(qū)動(dòng)噪聲混入到多個(gè)第2觸摸檢測(cè)用電極,而且能夠抑制對(duì)多個(gè)第1及第2觸感產(chǎn)生用電極選擇性地賦予的觸感產(chǎn)生信號(hào)作為噪聲混入到上述顯示面板而產(chǎn)生顯示不均勻等顯示不良。

      另外,由于未兼具(第1或者第2)觸摸檢測(cè)用電極和(第1或者第2)觸感產(chǎn)生用電極,所以不需要觸感產(chǎn)生信號(hào)的導(dǎo)通/切斷所需的高擊穿電壓的開(kāi)關(guān)電路等,能夠簡(jiǎn)化包括權(quán)利要求1記載的本申請(qǐng)發(fā)明的觸摸屏而構(gòu)成的觸摸面板裝置側(cè)的電路結(jié)構(gòu)。

      而且,如上所述,由于未兼具觸摸檢測(cè)用電極和觸感產(chǎn)生用電極,所以能夠配置成使根據(jù)期望的觸摸坐標(biāo)精度設(shè)定的觸摸檢測(cè)用電極的第1或者第2方向上的觸摸檢測(cè)用的排列間距、與根據(jù)期望的觸感分辨率設(shè)定的觸感產(chǎn)生用電極的第1或者第2方向上的觸感產(chǎn)生用電極的排列間距不同。因此,關(guān)于觸摸檢測(cè)用電極以及觸感產(chǎn)生用電極中的一方的電極,能夠可靠地避免將排列間距設(shè)為所需以上的窄間距而使裝置結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜、或者相反地將排列間距設(shè)為寬間距而犧牲觸摸坐標(biāo)精度或者觸感產(chǎn)生分辨率。

      本發(fā)明的目的、特征、方案以及優(yōu)點(diǎn)通過(guò)以下的詳細(xì)的說(shuō)明和附圖會(huì)變得更加明確。

      附圖說(shuō)明

      圖1是示意性地示出作為本發(fā)明的實(shí)施方式1的觸摸屏的結(jié)構(gòu)的俯視圖。

      圖2是示出圖1所示的交叉區(qū)域ca中的觸感行電極群以及列電極群的結(jié)構(gòu)的俯視圖。

      圖3是在圖1所示的交叉區(qū)域ca中抽出檢測(cè)電極3而示出的俯視圖。

      圖4是在圖1所示的交叉區(qū)域ca中抽出觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5而示出的俯視圖。

      圖5是示意性地示出圖2的a-a剖面結(jié)構(gòu)的剖面圖。

      圖6是示出實(shí)施方式1的觸摸面板裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。

      圖7是示出實(shí)施方式1的觸摸面板裝置的概要?jiǎng)幼鞫〞r(shí)的時(shí)序圖。

      圖8是示出從實(shí)施方式2的觸摸屏的背面?zhèn)扔^察的激勵(lì)電極的構(gòu)造的俯視圖。

      圖9是示出實(shí)施方式2的激勵(lì)電極的剖面構(gòu)造的剖面圖。

      圖10是示意性地示出作為本發(fā)明的實(shí)施方式3的觸摸屏的結(jié)構(gòu)的俯視圖。

      圖11是示出實(shí)施方式4中的觸感行電極群以及列電極群的交叉區(qū)域及其附近的電極結(jié)構(gòu)的俯視圖。

      圖12是在交叉區(qū)域中僅抽出激勵(lì)電極102以及檢測(cè)電極103而示出的俯視圖。

      圖13是在交叉區(qū)域中僅抽出觸感產(chǎn)生用分段電極104以及觸感產(chǎn)生用列電極105而示出的俯視圖。

      圖14是示意性地示出圖11的c-c剖面結(jié)構(gòu)的剖面圖。

      (符號(hào)說(shuō)明)

      1、1b、1c:觸摸屏;2、2b、102:激勵(lì)電極;3、103:檢測(cè)電極;4:觸感產(chǎn)生用行電極;5、105:觸感產(chǎn)生用列電極;8~11:引出布線;12:表面?zhèn)榷俗樱?3、13l:背面?zhèn)榷俗樱?1、22:金屬網(wǎng)格傾斜直線部;30:檢測(cè)電極主要部;31:檢測(cè)電極交叉部;32:絕緣膜;35:電荷積蓄層;40:觸感產(chǎn)生用行電極主要部;41:觸感產(chǎn)生用行電極交叉部;50:觸感產(chǎn)生用列電極主要部;51:觸感產(chǎn)生用列電極交叉部;104:觸感產(chǎn)生用分段電極;116:分段電極用布線。

      具體實(shí)施方式

      <實(shí)施方式1>

      (整體結(jié)構(gòu))

      圖1是示意性地示出作為本發(fā)明的實(shí)施方式1的具有觸感產(chǎn)生功能的觸摸屏的結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖2~圖4分別是示意性地示出圖1的交叉區(qū)域ca及其周邊的俯視圖。

      以下,參照?qǐng)D1~圖4,說(shuō)明實(shí)施方式1的觸摸屏1的結(jié)構(gòu)。此外,圖1~圖4所示的各俯視圖是從操作者利用手指等指示體進(jìn)行輸入的操作面?zhèn)扔^察的俯視圖。另外,包括后述的實(shí)施方式2~實(shí)施方式4在內(nèi),在各圖中使用的同一參照符號(hào)表示相同或者相當(dāng)?shù)臉?gòu)成要素。另外,除了圖1~圖4以外,在圖5、圖8~圖14中也示出xyz正交坐標(biāo)系。

      如圖1所示,在觸摸屏1的透明基板(在圖1~圖4中未圖示)的背面(后面,另一個(gè)主面)側(cè),分別沿著行方向(第1方向;相當(dāng)于圖中的x方向)形成多個(gè)激勵(lì)電極2(第1觸摸檢測(cè)用電極)。在列方向(第2方向;相當(dāng)于圖中的y方向)上以第1間距重復(fù)配置有多個(gè)激勵(lì)電極2。此外,在本說(shuō)明書中,間距表示相鄰的同一對(duì)象物之間(在上述情況下是激勵(lì)電極2、2之間)的共同位置(例如中心線)間的間隔(距離)。

      另一方面,在透明基板的表面(前表面,一個(gè)主面)側(cè),分別沿著列方向形成多個(gè)檢測(cè)電極3(第2觸摸檢測(cè)用電極)。在行方向上以第2間距重復(fù)配置有多個(gè)檢測(cè)電極3。此外,作為透明基板,例如考慮使用玻璃基板。

      在此,多個(gè)激勵(lì)電極2和多個(gè)檢測(cè)電極3被用于操作者的手指等指示體的觸摸檢測(cè)動(dòng)作。例如,如以下那樣進(jìn)行觸摸檢測(cè)動(dòng)作。從觸摸屏外部向各激勵(lì)電極2依次施加激勵(lì)脈沖信號(hào)(充電脈沖信號(hào))。然后,經(jīng)由檢測(cè)電極3,在觸摸屏外部對(duì)向在被施加激勵(lì)脈沖信號(hào)的激勵(lì)電極2與各檢測(cè)電極3之間形成的激勵(lì)-檢測(cè)電極間電容(互電容)充電的充電電荷進(jìn)行電荷檢測(cè)。

      如果產(chǎn)生手指等指示體的接近/接觸,則上述激勵(lì)-檢測(cè)電極間的電場(chǎng)被遮蔽,互電容降低。在本實(shí)施方式中,設(shè)為使用互電容檢測(cè)方式來(lái)進(jìn)行說(shuō)明,其中,在該互電容檢測(cè)方式中根據(jù)與各激勵(lì)-檢測(cè)電極間的互電容對(duì)應(yīng)的電荷檢測(cè)結(jié)果來(lái)檢測(cè)有沒(méi)有產(chǎn)生觸摸操作以及檢測(cè)觸摸位置。

      而且,在透明基板的表面?zhèn)?,分別沿著行方向形成多個(gè)觸感產(chǎn)生用行電極4(第1觸感產(chǎn)生用電極)。在列方向上以第3間距重復(fù)配置有多個(gè)觸感產(chǎn)生用行電極4。因此,從多個(gè)激勵(lì)電極2獨(dú)立地形成多個(gè)觸感產(chǎn)生用行電極4。在本實(shí)施方式中,構(gòu)成為與形成于透明基板的背面?zhèn)鹊?條激勵(lì)電極2對(duì)應(yīng)地形成3條觸感產(chǎn)生用行電極4,將這樣的1條激勵(lì)電極2和3條觸感產(chǎn)生用行電極4的俯視組合區(qū)域稱為觸感行電極群6。因此,激勵(lì)電極2的第1間距被設(shè)定為觸感產(chǎn)生用行電極4的第3間距的3倍。

      另外,在透明基板的表面?zhèn)龋謩e沿著列方向而與多個(gè)檢測(cè)電極3獨(dú)立地形成多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極5(第2觸感產(chǎn)生用電極)。在行方向上重復(fù)配置有多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極5。

      在本實(shí)施方式中,在1條檢測(cè)電極3的兩側(cè)配置2條觸感產(chǎn)生用列電極5。即,由1條檢測(cè)電極3和其兩側(cè)的2條觸感產(chǎn)生用列電極5共計(jì)3條電極構(gòu)成列電極群7。在行方向上重復(fù)排列多個(gè)列電極群7。此時(shí),多個(gè)檢測(cè)電極3以及多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極5之中的相互相鄰的檢測(cè)電極3、觸感產(chǎn)生用列電極5間的間距或者觸感產(chǎn)生用列電極5、5間的間距都被設(shè)定為第4間距。

      在此,多個(gè)觸感產(chǎn)生用行電極4以及多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極5作為用于產(chǎn)生向使用者的手指等指示體的觸感的第1及第2觸感產(chǎn)生用電極發(fā)揮功能。在觸感的產(chǎn)生中,例如將多個(gè)觸感產(chǎn)生用行電極4以及多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極5之中的與成為產(chǎn)生觸感的對(duì)象的行-列位置對(duì)應(yīng)的觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5設(shè)為選擇觸感產(chǎn)生用行電極4以及選擇觸感產(chǎn)生用列電極5(第1及第2選擇觸感產(chǎn)生用電極)。

      另外,有如下的第1方式:對(duì)選擇觸感產(chǎn)生用行電極4以及選擇觸感產(chǎn)生用列電極5施加第1及第2觸感產(chǎn)生信號(hào),使電流流過(guò)作為指示體的手指表面附近的皮膚(利用經(jīng)皮電流),從而使皮膚的觸覺(jué)器官(tactileorgan)感知電刺激。此外,第1及第2觸感產(chǎn)生信號(hào)具有正極性電壓以及負(fù)極性電壓而作為觸感產(chǎn)生用電壓(“h”脈沖、“l(fā)”脈沖)。

      另外,有如下的第2方式:對(duì)選擇觸感產(chǎn)生用行電極4以及選擇觸感產(chǎn)生用列電極5施加第1及第2觸感產(chǎn)生信號(hào),在另行形成在透明基板的表面上的電荷積蓄層中積蓄電荷,利用在與手指之間產(chǎn)生的微弱的靜電力,使皮膚的觸覺(jué)器官感知振動(dòng)。在該情況下,第1及第2觸感產(chǎn)生信號(hào)都具有同極性的觸感產(chǎn)生用電壓(“h”脈沖)。

      這樣,作為觸感產(chǎn)生方式有第1方式以及第2方式,可以采用第1及第2方式中的任意方式。

      形成于透明基板的背面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)激勵(lì)電極2經(jīng)由多個(gè)引出布線8電連接到同樣地形成于透明基板背面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)背面?zhèn)榷俗?3(外部連接用端子)。此外,多個(gè)引出布線8也形成于透明基板的背面?zhèn)取?/p>

      另外,形成于透明基板的表面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)檢測(cè)電極3經(jīng)由多個(gè)引出布線9電連接到同樣地形成于透明基板的表面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)表面?zhèn)榷俗?2(外部連接用端子)。

      同樣地,形成于透明基板的表面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)觸感產(chǎn)生用行電極4分別經(jīng)由多個(gè)引出布線10電連接到表面?zhèn)榷俗?2,形成于透明基板的表面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)觸感產(chǎn)生用列電極5經(jīng)由多個(gè)引出布線11電連接到多個(gè)表面?zhèn)榷俗?2。此外,多個(gè)引出布線9~11形成于透明基板的表面?zhèn)取?/p>

      這樣,在列方向上重復(fù)形成分別在行方向上延伸地形成的多個(gè)激勵(lì)電極2,在行方向上重復(fù)形成分別在列方向上延伸地形成的多個(gè)檢測(cè)電極3,從而多個(gè)激勵(lì)電極2和多個(gè)檢測(cè)電極3在俯視時(shí)重疊的交叉區(qū)域被設(shè)置為矩陣狀。

      同樣地,在列方向上重復(fù)形成分別在行方向上延伸地形成的多個(gè)觸感產(chǎn)生用行電極4,在行方向上重復(fù)形成分別在列方向上延伸地形成的多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極5,從而多個(gè)觸感產(chǎn)生用行電極4和多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極5在俯視時(shí)重疊的交叉區(qū)域被設(shè)置為矩陣狀。

      而且,在本實(shí)施方式中,以對(duì)1條激勵(lì)電極2設(shè)定由3條觸感產(chǎn)生用行電極4構(gòu)成的觸感行電極群6的形態(tài),在列方向上排列多個(gè)觸感產(chǎn)生用行電極4。

      另外,為了形成由1條檢測(cè)電極3和其兩側(cè)的觸感產(chǎn)生用列電極5共計(jì)3條電極構(gòu)成的列電極群7,在行方向上排列多個(gè)檢測(cè)電極3以及多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極5。

      此時(shí),將觸感行電極群6的列方向排列間距設(shè)定為與激勵(lì)電極2、2間的上述第1間距相同的間隔,將列電極群7的行方向排列間距設(shè)定為與檢測(cè)電極3、3間的上述第2間距大致相同的間隔。

      同樣地,將作為觸感產(chǎn)生用行電極4的列方向排列間距的上述第3間距設(shè)定為與作為檢測(cè)電極3以及觸感產(chǎn)生用列電極5的行方向排列間距的上述第4間距大致相同的間隔。

      在此,例如將第1間距(與第2間距大致相等)設(shè)為5mm左右、并將第3間距(與第4間距大致相等)設(shè)為(5/3)mm左右來(lái)排列。

      在本實(shí)施方式中,構(gòu)成為以能夠?qū)κ种傅戎甘倔w賦予更精密的觸感的方式使觸感電極間距(第3及第4間距)窄。

      (檢測(cè)電極3、觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5的構(gòu)造)

      圖2是示出圖1所示的觸感行電極群6以及列電極群7的交叉區(qū)域ca及其附近的電極結(jié)構(gòu)的俯視圖。另外,圖3是在交叉區(qū)域ca中僅抽出作為第1及第2觸摸檢測(cè)用電極的激勵(lì)電極2以及檢測(cè)電極3而示出的俯視圖。而且,圖4是僅抽出作為第1及第2觸感產(chǎn)生用電極的觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5而示出的俯視圖。在圖2~圖4中,為了使檢測(cè)電極3、觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5的形狀辨識(shí)變得容易,在圖2、圖3中簡(jiǎn)化激勵(lì)電極2的顯示,在圖4中省略激勵(lì)電極2的顯示。

      在此,設(shè)為至少各電極3~5的主要部(principalpart)包括例如ito(indiumtinoxide,氧化銦錫)等透明導(dǎo)電膜。此外,在后面敘述各電極的層疊構(gòu)造。

      如圖2~圖4所示,在本實(shí)施方式中,形成于透明基板(在圖2~圖4中未圖示)的背面?zhèn)鹊募?lì)電極2是在行方向(圖中x方向)上延伸的俯視時(shí)為矩形形狀的電極。另外,相互相鄰的激勵(lì)電極2、2之間以具有幾十μm的微細(xì)的間隙的方式在列方向(圖中y方向)上排列。另外,如圖1所示,以在俯視時(shí)與形成于透明基板的表面?zhèn)鹊母麟姌O3~5的配置區(qū)域整體重疊的方式排列有多個(gè)激勵(lì)電極2。

      另外,在觸摸檢測(cè)時(shí),形成于透明基板的背面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)激勵(lì)電極2在觸摸屏1的外部例如以幾十ω~幾百ω程度的低阻抗被驅(qū)動(dòng)。即,多個(gè)激勵(lì)電極2通過(guò)被設(shè)定為激勵(lì)脈沖用的充電電壓或者gnd電壓(接地電壓),從而被設(shè)定為導(dǎo)電狀態(tài)而并非浮置狀態(tài)。

      因此,能夠通過(guò)多個(gè)激勵(lì)電極2,屏蔽由于組合到觸摸屏1的背面?zhèn)葋?lái)使用的液晶顯示面板等顯示面板的驅(qū)動(dòng)而產(chǎn)生的噪聲向多個(gè)檢測(cè)電極3的傳播。

      而且,在通過(guò)多個(gè)觸感產(chǎn)生用行電極4以及多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極5產(chǎn)生觸感時(shí),多個(gè)激勵(lì)電極2在觸摸屏1的外部與具有g(shù)nd電壓設(shè)定用的低阻抗性的固定電位節(jié)點(diǎn)連接。因此,能夠通過(guò)多個(gè)激勵(lì)電極2來(lái)屏蔽向顯示面板的傳播,以防止向觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5施加的具有高電壓(幾十v~幾百v)的觸感產(chǎn)生用電壓的觸感產(chǎn)生信號(hào)成為向顯示面板的各種電極、顯示元件的信號(hào)噪聲并混入而產(chǎn)生顯示圖像的不均勻等。

      另外,如圖2以及圖4所示,關(guān)于形成于透明基板的表面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)觸感產(chǎn)生用行電極4,全部電極為同一形成高度且由透明導(dǎo)電膜形成。因此,觸感產(chǎn)生用行電極4能夠形成為同一布線層(第1布線層)。

      另外,如圖4所示,各觸感產(chǎn)生用行電極4包括多個(gè)觸感產(chǎn)生用行電極主要部40(第1觸感產(chǎn)生用主要部)和多個(gè)觸感產(chǎn)生用行電極交叉部41(第1觸感產(chǎn)生用交叉部)的組合構(gòu)造。

      觸感產(chǎn)生用行電極主要部40在俯視時(shí)呈現(xiàn)大致正方狀的菱形形狀,相對(duì)的兩組角部沿著行方向以及列方向而被配置,觸感產(chǎn)生用行電極交叉部41是以列方向(y方向)上的形成寬度比觸感產(chǎn)生用行電極主要部40的最大寬度充分窄的寬度在行方向上延伸而形成的。

      另外,呈如下構(gòu)造:在多個(gè)觸感產(chǎn)生用行電極主要部40之中的相互相鄰的觸感產(chǎn)生用行電極主要部40、40之間,作為在行方向上相互相對(duì)的角部的左右頂角之間是通過(guò)觸感產(chǎn)生用行電極交叉部41來(lái)連接的。

      此外,在圖1中,為便于說(shuō)明,激勵(lì)電極2以外的檢測(cè)電極3、觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5的電極形狀也用矩形形狀來(lái)表示。

      在本實(shí)施方式中,形成于透明基板的背面?zhèn)鹊木匦涡螤畹募?lì)電極2分別被配置為各具備3條(=k≥2)觸感產(chǎn)生用行電極4且在俯視時(shí)使它們大體上全部重疊(參照?qǐng)D1、圖2)。

      通過(guò)這個(gè)配置,能夠提高作為第1觸摸檢測(cè)用電極發(fā)揮功能的激勵(lì)電極2針對(duì)觸感產(chǎn)生用行電極4的屏蔽效果,能夠更有效地抑制在將高電壓的觸感產(chǎn)生用電壓設(shè)定為“h”電平的觸感產(chǎn)生信號(hào)被施加到觸感產(chǎn)生用行電極4時(shí)觸感產(chǎn)生信號(hào)的一部分作為噪聲混入到顯示面板而產(chǎn)生顯示不均勻等顯示不良。

      另外,通過(guò)構(gòu)成為使作為激勵(lì)電極2、2間的列方向排列間距的第1間距與作為觸感產(chǎn)生用行電極4、4間的列方向排列間距的第2間距之比成為整數(shù)比3:1,從而能夠相互有規(guī)律地排列多個(gè)激勵(lì)電極2以及多個(gè)觸感產(chǎn)生用行電極4。因此,不會(huì)產(chǎn)生由作為第1觸摸檢測(cè)用電極(觸摸檢測(cè)用行電極)的激勵(lì)電極2與作為第1觸感產(chǎn)生用電極的觸感產(chǎn)生用行電極4的重疊不均勻所引起的透射率的不均勻性。其結(jié)果,能夠抑制在存在重疊不均勻的情況下辨認(rèn)電極的情形。

      而且,在透明基板的表面?zhèn)鹊挠|感產(chǎn)生用行電極4的一部分的上部,形成檢測(cè)電極3以及觸感產(chǎn)生用列電極5各自的一部分。如圖3所示,各檢測(cè)電極3包括多個(gè)檢測(cè)電極主要部30(檢測(cè)用主要部)和多個(gè)檢測(cè)電極交叉部31(檢測(cè)用交叉部)的組合構(gòu)造。

      檢測(cè)電極主要部30在俯視時(shí)呈現(xiàn)大致正方狀的菱形形狀,相對(duì)的兩組角部沿著行方向以及列方向而被配置,檢測(cè)電極交叉部31是以行方向上的形成寬度比檢測(cè)電極主要部30的最大寬度充分窄的寬度在列方向上延伸而形成的。

      另外,在多個(gè)檢測(cè)電極主要部30之中的相互相鄰的檢測(cè)電極主要部30、30之間,在列方向上相互相對(duì)的上下頂角之間是通過(guò)檢測(cè)電極交叉部31來(lái)連接的。此外,檢測(cè)電極交叉部31由金屬膜構(gòu)成。

      如圖4所示,各觸感產(chǎn)生用列電極5包括多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極主要部50(第2觸感產(chǎn)生用主要部)和多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極交叉部51(第2觸感產(chǎn)生用交叉部)的組合構(gòu)造。

      觸感產(chǎn)生用列電極主要部50在俯視時(shí)呈現(xiàn)大致正方狀的菱形形狀,相對(duì)的兩組角部沿著行方向以及列方向而被配置,觸感產(chǎn)生用列電極交叉部51是以行方向上的形成寬度比觸感產(chǎn)生用列電極主要部50的最大寬度充分窄的寬度在列方向上延伸而形成的。

      另外,在多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極主要部50之中的相互相鄰的觸感產(chǎn)生用列電極主要部50、50之間,在列方向上相互相對(duì)的角部即上下頂角之間是通過(guò)觸感產(chǎn)生用列電極交叉部51來(lái)連接的。觸感產(chǎn)生用列電極交叉部51由金屬膜構(gòu)成。

      這樣,檢測(cè)電極3、觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5的主要部即檢測(cè)電極主要部30、觸感產(chǎn)生用行電極主要部40以及觸感產(chǎn)生用列電極主要部50在俯視時(shí)呈現(xiàn)同等的菱形形狀,如圖2所示,各主要部30、40、50以在俯視時(shí)不會(huì)重疊而具有均勻的間隙(空隙)的方式排列在面內(nèi)。

      另外,在形成于透明基板的表面?zhèn)鹊母麟姌O3~5中,在作為下部布線層即第1布線層而形成的觸感產(chǎn)生用行電極4的觸感產(chǎn)生用行電極交叉部41、與作為上部布線層即第2布線層而形成的檢測(cè)電極3及觸感產(chǎn)生用列電極5的檢測(cè)電極交叉部31及觸感產(chǎn)生用列電極交叉部51之間,存在由層間絕緣膜構(gòu)成的絕緣部。因此,檢測(cè)電極3、觸感產(chǎn)生用行電極4之間、以及觸感產(chǎn)生用列電極5、觸感產(chǎn)生用行電極4之間能夠以不會(huì)電導(dǎo)通的方式在俯視時(shí)交叉。此外,在后面敘述層構(gòu)造。

      接下來(lái),說(shuō)明各電極2~5的層疊構(gòu)造。圖5是示意性地示出圖2的a-a剖面結(jié)構(gòu)的剖面圖。此外,圖5的括號(hào)內(nèi)的符號(hào)表示圖2的b-b剖面結(jié)構(gòu)的情況。如該圖所示,在作為透明基板的玻璃基板33的背面上利用透明導(dǎo)電膜形成有激勵(lì)電極2,而且覆蓋激勵(lì)電極2而形成透明的保護(hù)膜34。

      另外,作為玻璃基板33的表面上的第1布線層,利用透明導(dǎo)電膜,形成觸感產(chǎn)生用行電極4的整體(在圖5中僅圖示觸感產(chǎn)生用行電極交叉部41)、檢測(cè)電極3的主要部30以及觸感產(chǎn)生用列電極5的主要部50。即,檢測(cè)電極主要部30、觸感產(chǎn)生用行電極交叉部41以及觸感產(chǎn)生用列電極主要部50與觸感產(chǎn)生用行電極主要部40一起形成為相同的形成高度,所以能夠作為第1布線層而同時(shí)制造。

      另外,在檢測(cè)電極主要部30以及觸感產(chǎn)生用行電極主要部40的上下頂角附近,由用氮化硅等構(gòu)成的透明的層間絕緣膜構(gòu)成的絕緣膜32形成為覆蓋觸感產(chǎn)生用行電極交叉部41。

      而且,通過(guò)以跨越絕緣膜32之上的方式形成由金屬膜構(gòu)成的檢測(cè)電極交叉部31(觸感產(chǎn)生用列電極交叉部51),從而將檢測(cè)電極主要部30、30之間(觸感產(chǎn)生用列電極主要部50、50之間)連接,使得電導(dǎo)通。

      這樣,形成在絕緣膜32上的檢測(cè)電極交叉部31以及觸感產(chǎn)生用列電極交叉部51在第1布線層之后形成,形成高度比第1布線層高,所以包含于需要在與第1布線不同的制造工序中制造的第2布線層。

      在本實(shí)施方式中,為了采用上述第2方式通過(guò)靜電力產(chǎn)生觸感,在檢測(cè)電極3、觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5的上層形成用于積蓄電荷的高電阻且透明的電荷積蓄層35,而且在其上層形成透明的保護(hù)膜36。該保護(hù)膜36的表面為手指等指示體的操作面os。

      此外,作為電荷積蓄層35,已知將氧化錫以及氧化鈦?zhàn)鳛橹鞒煞謥?lái)含有的層等。

      這樣,檢測(cè)電極3、觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5分別包括主要部30、40、50和行方向或者列方向的形成寬度比其窄的交叉部31、41、51的組合構(gòu)造。

      另外,觸感產(chǎn)生用行電極4的整體被形成為玻璃基板33的表面?zhèn)鹊牡?布線層,檢測(cè)電極3的至少主要部30以及觸感產(chǎn)生用列電極5的至少主要部50被形成為第1布線層。

      而且,在列方向上以均等間隔配置多個(gè)檢測(cè)電極主要部30以及多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極主要部50,沿著行方向以均等間隔配置觸感產(chǎn)生用行電極主要部40,從而如圖2~圖4所示,檢測(cè)電極主要部30、觸感產(chǎn)生用行電極主要部40以及觸感產(chǎn)生用列電極主要部50以在俯視時(shí)相互不會(huì)重疊而相互具有間隙的方式被配置。

      如上所述,在實(shí)施方式1的觸摸屏1中,在玻璃基板33的背面上設(shè)置分別在行方向上延伸的多個(gè)激勵(lì)電極2,在玻璃基板33的表面上設(shè)置分別在列方向上延伸的多個(gè)檢測(cè)電極3、分別在行方向上延伸的多個(gè)觸感產(chǎn)生用行電極4、分別在列方向上延伸的多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極5,將玻璃基板33的表面?zhèn)茸鳛椴僮髅鎜s。此時(shí),激勵(lì)電極2和觸感產(chǎn)生用行電極4相互獨(dú)立地形成,檢測(cè)電極3和觸感產(chǎn)生用列電極5相互獨(dú)立地形成。通過(guò)上述結(jié)構(gòu),設(shè)定激勵(lì)電極2、檢測(cè)電極3、觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5之中的激勵(lì)電極2配置于從操作面os最遠(yuǎn)的位置的電極間位置關(guān)系。

      (觸摸面板裝置)

      接下來(lái),說(shuō)明具備具有觸感產(chǎn)生功能的實(shí)施方式1的觸摸屏1的觸摸面板裝置的動(dòng)作。圖6是示出具有觸感產(chǎn)生功能的實(shí)施方式1的觸摸面板裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。另外,圖7是示出實(shí)施方式1的觸摸面板裝置的概要?jiǎng)幼鞫〞r(shí)的時(shí)序圖。在此,示出將觸摸屏1中的激勵(lì)電極2以及觸感行電極群6的數(shù)量設(shè)為m條、將列電極群7的數(shù)量設(shè)為n條而構(gòu)成的情況。

      n條列電極群7分別包括觸感產(chǎn)生用列電極whx1(i)、檢測(cè)電極wtx(i)以及觸感產(chǎn)生用列電極whx3(i)(i=1~n中的任意值)。

      m條觸感行電極群6分別包括觸感產(chǎn)生用行電極why1(j)、觸感產(chǎn)生用行電極why2(j)以及觸感產(chǎn)生用行電極why3(j)(j=1~m中的任意值)。

      在實(shí)施方式1的觸摸面板裝置中,作為觸摸屏1的控制電路部而具有對(duì)觸摸檢測(cè)動(dòng)作進(jìn)行控制的觸摸檢測(cè)電路部67以及對(duì)觸感產(chǎn)生信號(hào)的產(chǎn)生動(dòng)作進(jìn)行控制的觸感電壓產(chǎn)生電路部68。

      觸摸檢測(cè)電路部67包括激勵(lì)脈沖產(chǎn)生電路60、電荷檢測(cè)電路61、觸摸坐標(biāo)計(jì)算電路62以及觸摸檢測(cè)控制電路63。

      激勵(lì)脈沖產(chǎn)生電路60依次產(chǎn)生m個(gè)激勵(lì)脈沖信號(hào)s60。電荷檢測(cè)電路61根據(jù)從n條列電極群7的檢測(cè)電極3得到的信號(hào),檢測(cè)與n條列電極群7對(duì)應(yīng)的電荷而輸出電荷檢測(cè)結(jié)果d61(靜電電容導(dǎo)出數(shù)據(jù))。電荷檢測(cè)結(jié)果d61是與賦予激勵(lì)脈沖信號(hào)s60的激勵(lì)電極2和n條檢測(cè)電極3之間的互電容對(duì)應(yīng)的值。此外,電荷檢測(cè)電路61能夠根據(jù)來(lái)自觸摸檢測(cè)控制電路63的控制信號(hào),辨識(shí)多個(gè)激勵(lì)電極2之中的被施加激勵(lì)脈沖信號(hào)s60的激勵(lì)電極2。

      觸摸坐標(biāo)計(jì)算電路62根據(jù)電荷檢測(cè)結(jié)果d61計(jì)算手指等指示體所觸摸的坐標(biāo)而得到檢測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)d62,將該檢測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)d62輸出到外部以及觸感電壓產(chǎn)生電路部68。觸摸檢測(cè)控制電路63控制激勵(lì)脈沖產(chǎn)生電路60、電荷檢測(cè)電路61以及觸摸坐標(biāo)計(jì)算電路62的動(dòng)作。

      另一方面,觸感電壓產(chǎn)生電路部68包括觸感電壓產(chǎn)生電路64、觸感電壓產(chǎn)生電路65以及觸感產(chǎn)生控制電路66。

      觸感電壓產(chǎn)生電路64向n條觸感產(chǎn)生用列電極whx1(1)~whx1(n)輸出觸感產(chǎn)生信號(hào)s64(第2觸感產(chǎn)生信號(hào)),觸感電壓產(chǎn)生電路65向m條觸感產(chǎn)生用行電極why1(1)~why1(m)輸出觸感產(chǎn)生信號(hào)s65(第1觸感產(chǎn)生信號(hào))。

      觸感產(chǎn)生控制電路66根據(jù)檢測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)d62,控制觸感電壓產(chǎn)生電路64以及觸感電壓產(chǎn)生電路65的動(dòng)作。

      說(shuō)明這樣的結(jié)構(gòu)的觸摸面板裝置的動(dòng)作。

      首先,在觸摸檢測(cè)期間p1,在依照來(lái)自觸摸檢測(cè)控制電路63的觸摸檢測(cè)控制信號(hào)的變換定時(shí)ct1從激勵(lì)脈沖產(chǎn)生電路60向開(kāi)頭的激勵(lì)電極wty(1)賦予激勵(lì)脈沖信號(hào)s60(激勵(lì)脈沖信號(hào)(充電脈沖信號(hào))),對(duì)激勵(lì)電極wty(1)與在俯視時(shí)和激勵(lì)電極wty(1)交叉的各檢測(cè)電極wtx(1)、…、wtx(n)之間的電極間電容(互電容)進(jìn)行充電,經(jīng)由各檢測(cè)電極wtx(i)通過(guò)電荷檢測(cè)電路61檢測(cè)其充電電荷,在進(jìn)行a/d變換之后,將與作為激勵(lì)電極wty(1)的開(kāi)頭行的互電容對(duì)應(yīng)的電荷檢測(cè)結(jié)果d61輸出到觸摸坐標(biāo)計(jì)算電路62。

      同樣地,從激勵(lì)脈沖產(chǎn)生電路60向第2行的激勵(lì)電極(激勵(lì)電極wty(2))及其之后的激勵(lì)電極依次在變換定時(shí)ct2~ctm賦予激勵(lì)脈沖信號(hào)s60,通過(guò)電荷檢測(cè)電路61檢測(cè)該激勵(lì)電極wty(j)與和該激勵(lì)電極wty(j)交叉的各檢測(cè)電極wtx(i)之間的互電容的充電電荷,在進(jìn)行a/d變換之后,將與該行的互電容對(duì)應(yīng)的電荷檢測(cè)結(jié)果d61輸出到觸摸坐標(biāo)計(jì)算電路62。

      接下來(lái),在觸摸坐標(biāo)計(jì)算期間p2,觸摸坐標(biāo)計(jì)算電路62根據(jù)從電荷檢測(cè)電路61輸入并保持的與激勵(lì)電極2和檢測(cè)電極3之間的所有交叉部的互電容對(duì)應(yīng)的電荷檢測(cè)結(jié)果d61,判定是否有利用操作者的手指等指示體進(jìn)行的觸摸。然后,觸摸坐標(biāo)計(jì)算電路62在判定為有觸摸的情況下,根據(jù)判定為有觸摸的電荷檢測(cè)結(jié)果d61,計(jì)算觸摸坐標(biāo)而得到檢測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)d62。

      通過(guò)手指等指示體的接近/接觸,激勵(lì)電極2與檢測(cè)電極3之間的電場(chǎng)耦合被緩和,互電容中的充電電荷降低。因此,觸摸坐標(biāo)計(jì)算電路62通過(guò)根據(jù)與互電容對(duì)應(yīng)的電荷檢測(cè)結(jié)果d61的降低程度來(lái)判定互電容的降低程度,從而能夠判定有沒(méi)有產(chǎn)生觸摸。

      另外,觸摸坐標(biāo)計(jì)算電路62在觸摸產(chǎn)生的判定時(shí),使用電荷檢測(cè)結(jié)果d61的降低程度最大的交叉部(交叉柵格)和其周邊交叉柵格的檢測(cè)結(jié)果,進(jìn)行例如重心運(yùn)算(gravityoperation)等運(yùn)算處理,從而能夠計(jì)算觸摸坐標(biāo)而得到檢測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)d62。

      在此,在觸摸檢測(cè)期間p1,從觸摸檢測(cè)控制電路63向觸感電壓產(chǎn)生電路64以及觸感電壓產(chǎn)生電路65也發(fā)送觸感電壓產(chǎn)生控制信號(hào)。

      另外,觸感電壓產(chǎn)生電路64根據(jù)來(lái)自觸摸檢測(cè)控制電路63的觸感電壓產(chǎn)生控制信號(hào),在觸摸檢測(cè)期間p1切斷與所有觸感產(chǎn)生用列電極5的電連接而將所有觸感產(chǎn)生用列電極5設(shè)為浮置狀態(tài)。同樣地,觸感電壓產(chǎn)生電路65根據(jù)來(lái)自觸摸檢測(cè)控制電路63的觸感電壓產(chǎn)生控制信號(hào),在觸摸檢測(cè)期間p1切斷與所有觸感產(chǎn)生用行電極4的電連接而將所有觸感產(chǎn)生用行電極4設(shè)為浮置狀態(tài)。

      即,所有觸感產(chǎn)生用列電極whx1(1)~whx1(n)及whx3(1)~whx3(n)、以及所有觸感產(chǎn)生用行電極why1(1)~why1(m)、why2(1)~why2(m)及why3(1)~why3(m)被設(shè)定為浮置狀態(tài)。

      通過(guò)上述觸感電壓產(chǎn)生電路64以及65的動(dòng)作,防止在觸摸檢測(cè)期間p1由觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5屏蔽在激勵(lì)電極2與檢測(cè)電極3之間形成的電場(chǎng),能夠抑制由于指示體的觸摸操作而產(chǎn)生的激勵(lì)電極2-檢測(cè)電極3之間的互電容的變化程度降低、即抑制觸摸檢測(cè)靈敏度降低。

      另外,在由觸摸坐標(biāo)計(jì)算電路62判定為有利用指示體進(jìn)行的觸摸操作時(shí),計(jì)算檢測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)d62,在觸摸坐標(biāo)送出期間p3,觸摸坐標(biāo)計(jì)算電路62依照來(lái)自觸摸檢測(cè)控制電路63的觸摸坐標(biāo)數(shù)據(jù)送出定時(shí)tt,向裝置外部送出檢測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)d62。此時(shí),檢測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)d62還被輸出到觸感產(chǎn)生控制電路66。

      圖7所示的時(shí)序圖示出了判定為有觸摸的情況,但在判定為沒(méi)有觸摸的情況下,不進(jìn)行觸摸坐標(biāo)計(jì)算,返回到觸摸檢測(cè)期間p1。為了能夠進(jìn)行這個(gè)處理,觸摸坐標(biāo)計(jì)算電路62將指示有無(wú)觸摸的判定結(jié)果的信號(hào)賦予給觸摸檢測(cè)控制電路63。

      這樣,觸摸檢測(cè)電路部67執(zhí)行如下的觸摸坐標(biāo)計(jì)算的一連串的動(dòng)作:使用觸摸屏1的激勵(lì)電極2以及檢測(cè)電極3,取得電荷檢測(cè)結(jié)果d61,并且進(jìn)行有無(wú)觸摸的判定,在判定為有觸摸時(shí)輸出檢測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)d62。

      而且,在觸摸檢測(cè)電路部67中判定為有觸摸并計(jì)算出檢測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)d62的情況下的觸感施加判定期間p4,觸感產(chǎn)生控制電路66根據(jù)接收到的檢測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)d62,在多個(gè)觸感產(chǎn)生用行電極4以及多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極5中,判定觸摸位置是否處于觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5的附近。在此,設(shè)為判定為觸摸位置處于觸感產(chǎn)生列電極whx1(p)(p=1~n中的任意值)以及觸感產(chǎn)生行電極why1(q)(q=1~m中的任意值)的附近。即,觸感產(chǎn)生行電極why1(q)以及觸感產(chǎn)生列電極whx1(p)成為第1及第2選擇觸感產(chǎn)生用電極。

      此外,觸感產(chǎn)生控制電路66也可以并非使用計(jì)算出的檢測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)d62而是使用與互電容對(duì)應(yīng)的電荷檢測(cè)結(jié)果d61,判定為觸摸位置處于觸感產(chǎn)生列電極whx1(p)以及觸感產(chǎn)生行電極why1(q)的附近。

      即,觸感產(chǎn)生控制電路66根據(jù)電荷檢測(cè)結(jié)果d61以及檢測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)d62中的至少一個(gè)來(lái)判定觸感產(chǎn)生列電極whx1(p)以及觸感產(chǎn)生行電極why1(q)即可。

      觸感產(chǎn)生控制電路66為了向觸感產(chǎn)生列電極whx1(p)施加觸感產(chǎn)生信號(hào)而向觸感電壓產(chǎn)生電路64輸出觸感產(chǎn)生控制信號(hào),同樣地,為了向觸摸附近的觸感產(chǎn)生行電極why1(q)施加觸感產(chǎn)生信號(hào)而向觸感電壓產(chǎn)生電路65輸出觸感產(chǎn)生控制信號(hào)。

      另外,觸感電壓產(chǎn)生電路64以及觸感電壓產(chǎn)生電路65分別向觸感產(chǎn)生列電極whx1(p)以及觸感產(chǎn)生行電極why1(q)施加觸感產(chǎn)生信號(hào)s64以及s65。在此,觸感產(chǎn)生信號(hào)s64以及s65都成為將幾十v這樣的與激勵(lì)電極2、檢測(cè)電極3相比相當(dāng)高的峰值電壓(觸感產(chǎn)生用電壓)設(shè)為“h”脈沖的預(yù)定寬度的脈沖信號(hào)。此時(shí),與觸感產(chǎn)生列電極whx1(p)對(duì)應(yīng)地處于正上的電荷積蓄層35的區(qū)域以及與觸感產(chǎn)生行電極why1(q)對(duì)應(yīng)地處于正上的電荷積蓄層35的區(qū)域的電荷積蓄層施加電位v35對(duì)應(yīng)于觸感產(chǎn)生信號(hào)的脈沖信號(hào)為“h”電平的觸感產(chǎn)生用電壓的產(chǎn)生期間而被充電為高電壓,在觸感產(chǎn)生信號(hào)的脈沖信號(hào)為“l(fā)”電平的期間,充電電荷被放電。

      而且,如圖7所示,在觸感產(chǎn)生列電極whx1(p)以及觸感產(chǎn)生行電極why1(q)的交叉區(qū)域附近,通過(guò)各自的電容耦合,以具有電極why1(q)以及whx1(p)各自的脈沖信號(hào)的“h”電平的大致2倍的峰值電壓的脈沖電壓重復(fù)進(jìn)行充放電。此時(shí),由于帶電的電荷積蓄層35與手指之間的靜電力而產(chǎn)生觸感。

      在此,如果以使手指的觸感閾值在各電極的脈沖信號(hào)下成為觸感產(chǎn)生信號(hào)的“h”電平與其大致2倍的充電電壓之間的方式設(shè)定觸感產(chǎn)生用電壓,則能夠?qū)τ|摸到觸感產(chǎn)生列電極whx1(p)和觸感產(chǎn)生行電極why1(q)的交叉區(qū)域附近的手指賦予觸感。此外,根據(jù)想要賦予的觸感,適當(dāng)?shù)卦O(shè)定觸感產(chǎn)生信號(hào)s64以及s65中的脈沖信號(hào)的產(chǎn)生周期、施加期間。而且,也可以代替脈沖信號(hào)而使用正弦波信號(hào)作為觸感產(chǎn)生信號(hào)s64以及s65。

      另外,在觸感產(chǎn)生信號(hào)施加期間p5之后,返回到觸摸檢測(cè)期間p1的動(dòng)作。這樣,實(shí)施方式的觸摸面板裝置根據(jù)有無(wú)觸摸判定來(lái)重復(fù)一連串的動(dòng)作。

      如上所述,觸感電壓產(chǎn)生電路部68進(jìn)行如下一連串的觸感電壓產(chǎn)生動(dòng)作:判定觸摸屏1的多個(gè)觸感產(chǎn)生用行電極4以及多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極5之中的成為觸感產(chǎn)生信號(hào)的施加對(duì)象的觸感產(chǎn)生列電極whx1(p)以及觸感產(chǎn)生用行電極why1(j),向觸感產(chǎn)生列電極whx1(p)以及觸感產(chǎn)生用行電極why1(j)賦予將觸感產(chǎn)生電壓設(shè)為“h”電平的觸感產(chǎn)生信號(hào)s64以及s65。

      另外,觸感產(chǎn)生控制電路66在觸感產(chǎn)生信號(hào)施加期間p5中向電荷檢測(cè)電路61賦予控制信號(hào),將所有檢測(cè)電極wtx(1)~wtx(n)設(shè)為浮置狀態(tài),而將檢測(cè)電極wtx(1)~wtx(n)的電場(chǎng)屏蔽功能設(shè)為無(wú)效,抑制向手指等指示體賦予的觸感降低。

      在觸感產(chǎn)生信號(hào)施加期間p5,形成于作為透明電極的玻璃基板33的背面?zhèn)鹊募?lì)電極2在觸摸屏1的外部以低阻抗被固定為gnd電位,作為將高電壓的觸感產(chǎn)生用電壓設(shè)為“h”電平的觸感產(chǎn)生信號(hào)的屏蔽電極發(fā)揮作用。由此,能夠防止“h”電平被設(shè)定為高電壓的觸感產(chǎn)生用電壓的觸感產(chǎn)生信號(hào)作為噪聲混入到在觸摸面板裝置中一般組合到玻璃基板33的背面?zhèn)葋?lái)配置的顯示面板而產(chǎn)生顯示不均勻等顯示不良。

      此外,n條激勵(lì)電極2如果以低阻抗被固定,則也可以固定為gnd電位以外的電位。

      如上所述,實(shí)施方式1的觸摸面板裝置除了觸摸屏1以外,還具有觸摸檢測(cè)電路部67以及觸感電壓產(chǎn)生電路部68。

      觸摸檢測(cè)電路部67對(duì)多個(gè)激勵(lì)電極2選擇性地賦予激勵(lì)脈沖信號(hào)s60,同時(shí)根據(jù)對(duì)應(yīng)于多個(gè)激勵(lì)電極2與多個(gè)檢測(cè)電極3之間的互電容的電荷檢測(cè)結(jié)果d61來(lái)判定在操作面os上有無(wú)利用指示體進(jìn)行的觸摸,在判定為有觸摸時(shí),根據(jù)電荷檢測(cè)結(jié)果d61運(yùn)算操作面os上的觸摸坐標(biāo)而得到檢測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)d62。

      另一方面,觸感電壓產(chǎn)生電路部68根據(jù)由觸摸檢測(cè)電路部67得到的檢測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)d62,將多個(gè)觸感產(chǎn)生用行電極4以及多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極5之中的觸感產(chǎn)生信號(hào)的施加對(duì)象的觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5判定為選擇觸感產(chǎn)生用行電極4以及選擇觸感產(chǎn)生用列電極5,對(duì)選擇觸感產(chǎn)生用行電極4以及選擇觸感產(chǎn)生用列電極5施加觸感產(chǎn)生信號(hào)。

      這樣,在具有觸感電壓產(chǎn)生電路部67以及觸感電壓產(chǎn)生電路部68的實(shí)施方式1的觸摸面板裝置中,電荷檢測(cè)電路61使用觸摸屏1的激勵(lì)電極2以及檢測(cè)電極3來(lái)檢測(cè)與互電容對(duì)應(yīng)的電荷檢測(cè)結(jié)果d61(靜電電容導(dǎo)出數(shù)據(jù)),觸摸坐標(biāo)計(jì)算電路62根據(jù)電荷檢測(cè)結(jié)果d61的變化程度進(jìn)行觸摸判定。然后,在判定為有觸摸時(shí),觸摸坐標(biāo)計(jì)算電路62計(jì)算檢測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)d62。觸感電壓產(chǎn)生電路部68根據(jù)檢測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)d62,對(duì)與觸摸坐標(biāo)對(duì)應(yīng)的選擇觸感產(chǎn)生用行電極4以及選擇觸感產(chǎn)生用列電極5施加觸感產(chǎn)生信號(hào),使它們的交叉區(qū)域附近的電荷積蓄層35帶電至超過(guò)觸感閾值,對(duì)手指賦予觸感,從而進(jìn)行針對(duì)由操作者的手指進(jìn)行的輸入動(dòng)作的觸感反饋。

      如以上那樣,在本實(shí)施方式中,能夠通過(guò)被設(shè)定為低阻抗?fàn)顟B(tài)且設(shè)置在玻璃基板33的背面上的作為第1觸摸檢測(cè)用電極的激勵(lì)電極2,屏蔽設(shè)置在玻璃基板33的表面上的作為第2觸摸檢測(cè)用電極的檢測(cè)電極3、作為第1及第2觸感產(chǎn)生用電極的觸感產(chǎn)生用行電極4及觸感產(chǎn)生用列電極5。由此,能夠抑制來(lái)自一般組合到玻璃基板33的背面?zhèn)葋?lái)配置的顯示面板的驅(qū)動(dòng)噪聲混入到檢測(cè)電極3,而且能夠抑制對(duì)選擇觸感產(chǎn)生用行電極4以及選擇觸感產(chǎn)生用列電極5施加的觸感產(chǎn)生信號(hào)作為噪聲混入到顯示面板而產(chǎn)生顯示不均勻等顯示不良。

      另外,并非兼用而是完全獨(dú)立地分別設(shè)置激勵(lì)電極2和觸感產(chǎn)生用行電極4、檢測(cè)電極3和觸感產(chǎn)生用列電極5,所以可以不需要觸感產(chǎn)生信號(hào)的導(dǎo)通/切斷所需的高擊穿電壓的開(kāi)關(guān)電路等,相應(yīng)地能夠簡(jiǎn)化觸摸面板裝置的電路結(jié)構(gòu)。

      而且,能夠?qū)⒏鶕?jù)期望的觸摸坐標(biāo)精度設(shè)定的激勵(lì)電極2、2之間的列方向上的第1間距、檢測(cè)電極3、3的行方向上的第2間距分別設(shè)定為與根據(jù)所需觸感分辨率設(shè)定的觸感產(chǎn)生用行電極4、4之間的列方向上的第3間距以及觸感產(chǎn)生用列電極5、5之間等的行方向上的第4間距不同。因此,不會(huì)使第1及第2間距以及第3及第4間距中的任意的電極間間距成為窄到所需以上的間距而使裝置結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜、或者成為寬到所需以上的間距而犧牲觸摸坐標(biāo)精度或觸感產(chǎn)生分辨率。

      另外,在一張作為透明基板的玻璃基板33的表面上直接形成檢測(cè)電極3、觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5,并在背面上直接形成激勵(lì)電極2,所以例如相比于為了用于激勵(lì)電極2及檢測(cè)電極3、和觸感產(chǎn)生用行電極4及觸感產(chǎn)生用列電極5而使用2張基板來(lái)構(gòu)成的情況等,能夠使觸摸屏的高度方向(圖1~圖5的z方向)的厚度變薄。

      而且,通過(guò)以與包括觸感產(chǎn)生用行電極主要部40的觸感產(chǎn)生用行電極4相同的形成高度來(lái)形成檢測(cè)電極3的至少檢測(cè)電極主要部30以及觸感產(chǎn)生用列電極5的至少觸感產(chǎn)生用列電極主要部50,從而能夠作為相同的布線層(第1布線層)同時(shí)形成,所以能夠簡(jiǎn)化觸摸屏1的構(gòu)造。進(jìn)而,能夠簡(jiǎn)化觸摸屏1的制造工序而實(shí)現(xiàn)低成本化。

      形成在玻璃基板33的表面上的檢測(cè)電極3、觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5的檢測(cè)電極主要部30、觸感產(chǎn)生用行電極主要部40以及觸感產(chǎn)生用列電極主要部50是以在俯視時(shí)不會(huì)重疊的方式配置的,所以能夠抑制由于操作者的手指等指示體的接觸/接近而產(chǎn)生的在激勵(lì)電極2、檢測(cè)電極3之間形成的電極間電容(互電容)的變化由于觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5的存在而被阻礙。由此,能夠抑制具備觸摸屏1的觸摸面板裝置的觸摸檢測(cè)靈敏度降低。

      另外,檢測(cè)電極主要部30、觸感產(chǎn)生用行電極主要部40以及觸感產(chǎn)生用列電極主要部50是以在俯視時(shí)不會(huì)重疊的方式配置的,所以能夠抑制顯示光的透射率降低。

      另外,將激勵(lì)電極2的平面形狀設(shè)為矩形形狀而配置成分別與各3(=k)條觸感產(chǎn)生用行電極4在俯視時(shí)完全重疊,所以能夠提高針對(duì)觸感產(chǎn)生用行電極4的屏蔽效果,能夠更有效地抑制對(duì)觸感產(chǎn)生用行電極4施加的觸感產(chǎn)生信號(hào)作為噪聲混入到顯示面板而產(chǎn)生顯示不均勻等顯示不良。

      另外,構(gòu)成為使作為激勵(lì)電極2的列方向排列間距的第1間距與作為觸感產(chǎn)生用行電極4的列方向排列間距的第3間距成為整數(shù)比(3:1),有規(guī)律地進(jìn)行排列,所以不會(huì)產(chǎn)生由于激勵(lì)電極2和觸感產(chǎn)生用行電極4的重疊不均勻引起的透射率的不均勻性。能夠抑制由于該重疊不均勻的存在而辨認(rèn)電極2、4等的情形。

      在形成在玻璃基板33的表面上的檢測(cè)電極3、觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5之間,至少多個(gè)主要部30、40、50在俯視時(shí)不會(huì)重疊而有規(guī)律地排列,所以不會(huì)產(chǎn)生由于設(shè)置在玻璃基板33的背面上的激勵(lì)電極2與設(shè)置在表面上的檢測(cè)電極3、觸感產(chǎn)生用行電極4或觸感產(chǎn)生用列電極5的重疊不均勻引起的透射率的不均勻性。能夠抑制由于該重疊不均勻的存在而辨認(rèn)電極2~4的情形。

      而且,在觸摸檢測(cè)期間p1,觸感電壓產(chǎn)生電路部68通過(guò)將所有的觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5設(shè)定為浮置狀態(tài),能夠防止形成在激勵(lì)電極2、檢測(cè)電極3之間的電場(chǎng)由于觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5的存在而被屏蔽,抑制由于觸摸操作而產(chǎn)生的激勵(lì)電極2、檢測(cè)電極3之間的互電容的變化程度降低、即抑制觸摸檢測(cè)靈敏度降低。

      <實(shí)施方式2>

      為了提高在作為透明基板的玻璃基板33的背面?zhèn)刃纬傻募?lì)電極2針對(duì)觸感產(chǎn)生信號(hào)的屏蔽效果,優(yōu)選使激勵(lì)電極2的電極電阻低電阻化。在實(shí)施方式1中,利用透明導(dǎo)電膜構(gòu)成激勵(lì)電極2,但為了進(jìn)一步降低電極電阻,需要提高透明導(dǎo)電膜的膜厚。但是,在增加透明導(dǎo)電膜的膜厚時(shí)使顯示光的透射率降低、或者顯示光的短波長(zhǎng)側(cè)進(jìn)一步被吸收而導(dǎo)致帶黃色調(diào)的著色變得顯著。

      此處,采用由微細(xì)金屬布線的網(wǎng)格構(gòu)造構(gòu)成激勵(lì)電極2的方式的是實(shí)施方式2的觸摸屏1b。

      圖8是示出從觸摸屏1b的背面?zhèn)扔^察的激勵(lì)電極2b的構(gòu)造的俯視圖。此外,觸摸屏1b除了激勵(lì)電極2b的結(jié)構(gòu)以外,呈現(xiàn)與實(shí)施方式1的觸摸屏1同樣的結(jié)構(gòu)。

      圖9是示出圖8所示的觸摸屏1b的剖面構(gòu)造的剖面圖。圖9是示意性地示出與圖2的a-a剖面相當(dāng)?shù)慕Y(jié)構(gòu)的剖面圖。在實(shí)施方式2中,如圖9所示,在作為透明基板的玻璃基板33的背面上形成的激勵(lì)電極2b呈現(xiàn)利用由微細(xì)的金屬布線構(gòu)成的2個(gè)金屬網(wǎng)格傾斜直線部(metalmeshinclinedstraightportion)21以及22形成的金屬布線網(wǎng)格構(gòu)造。

      在此,金屬網(wǎng)格傾斜直線部21是在圖8的xy平面中在-45°的方向(左上方向)上延伸的多個(gè)金屬布線,金屬網(wǎng)格傾斜直線部22是在圖8的xy平面中在+45°的方向(左下方向)上延伸的多個(gè)金屬布線。

      金屬網(wǎng)格傾斜直線部21以及22相對(duì)行方向以及列方向具有45°左右的傾斜,并且具有相互正交的關(guān)系,所以金屬網(wǎng)格傾斜直線部21和金屬網(wǎng)格傾斜直線部22在俯視時(shí)相互交叉。

      這樣,作為金屬網(wǎng)格傾斜直線部21以及22的形成方向的第3及第4方向被設(shè)定為相對(duì)于作為激勵(lì)電極2b的形成方向的行方向(x方向)以及作為激勵(lì)電極2b的寬度方向的列方向中的任意方向都交叉的方向。

      能夠通過(guò)這樣的金屬網(wǎng)格傾斜直線部21以及22的組合,得到設(shè)置有格子狀的空間的網(wǎng)格構(gòu)造的電氣性電阻低的激勵(lì)電極2b。

      這樣,在實(shí)施方式2中,通過(guò)將激勵(lì)電極2b設(shè)為利用金屬網(wǎng)格傾斜直線部21以及22形成的微細(xì)金屬布線的網(wǎng)格構(gòu)造,能夠降低激勵(lì)電極2b的電極電阻。其原因?yàn)?,?gòu)成金屬網(wǎng)格傾斜直線部21以及22的微細(xì)的金屬布線相比于透明導(dǎo)電膜,電阻值低一個(gè)數(shù)量級(jí)以上。因此,能夠提高激勵(lì)電極2b針對(duì)檢測(cè)電極3、觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5的屏蔽效果。另外,顯示光不會(huì)通過(guò)2層的透明導(dǎo)電膜,實(shí)質(zhì)上會(huì)通過(guò)1層的透明導(dǎo)電膜(檢測(cè)電極3、觸感產(chǎn)生用行電極4或者觸感產(chǎn)生用列電極5),所以能夠減輕透明導(dǎo)電膜特有的帶黃色調(diào)的著色。

      而且,在實(shí)施方式2中,通過(guò)利用沿著第3及第4方向形成的金屬網(wǎng)格傾斜直線部21以及22的組合來(lái)設(shè)置金屬布線網(wǎng)格構(gòu)造的激勵(lì)電極2b,能夠減輕與組合到玻璃基板33的背面?zhèn)葋?lái)配置的顯示面板的像素格子的干擾所致的波紋條紋。其原因?yàn)?,在玻璃基?3的背面?zhèn)仍O(shè)置的顯示面板的像素格子一般沿著行方向以及列方向(x方向以及y方向)配置,所以能夠避免集中地產(chǎn)生由于沿著第3及第4方向設(shè)置網(wǎng)格的金屬布線網(wǎng)格構(gòu)造而切斷顯示面板的顯示光的影響。

      此外,為了使構(gòu)成金屬網(wǎng)格傾斜直線部21以及22的微細(xì)的金屬布線不被辨認(rèn),優(yōu)選設(shè)為幾μm寬度的金屬布線。另外,作為用于金屬網(wǎng)格傾斜直線部21以及22的金屬材料,能夠使用鋁、銅這樣的材料。

      另外,在實(shí)施方式2中,除了觸摸屏1被置換為觸摸屏1b的點(diǎn)以外,觸摸面板裝置的結(jié)構(gòu)以及動(dòng)作與圖6以及圖7所示的實(shí)施方式1的觸摸面板裝置相同。

      <實(shí)施方式3>

      實(shí)施方式1的觸摸屏1構(gòu)成為通過(guò)形成在作為透明基板的玻璃基板33的背面上的激勵(lì)電極2來(lái)屏蔽形成在玻璃基板33的表面?zhèn)鹊臋z測(cè)電極3、觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5。

      實(shí)施方式3是在背面?zhèn)冗€形成來(lái)自檢測(cè)電極3、觸感產(chǎn)生用行電極4及觸感產(chǎn)生用列電極5的引出布線9、10及11(第1種、第2種以及第3種引出布線)、以及針對(duì)多個(gè)表面?zhèn)榷俗?2的屏蔽電極而構(gòu)成的實(shí)施方式。

      圖10是示意性地示出作為本發(fā)明的實(shí)施方式3的具有觸感產(chǎn)生功能的觸摸屏的結(jié)構(gòu)的俯視圖。如該圖所示,以與和多個(gè)檢測(cè)電極3、多個(gè)觸感產(chǎn)生用行電極4以及多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極5電連接的多個(gè)引出布線9~11在俯視時(shí)重疊的方式,形成屏蔽電極70。在實(shí)施方式3中,進(jìn)而構(gòu)成為在屏蔽電極70處與多個(gè)表面?zhèn)榷俗?2在俯視時(shí)也重疊。此外,對(duì)于與實(shí)施方式1同樣的結(jié)構(gòu)部,附加同一符號(hào)而適當(dāng)省略說(shuō)明。

      另外,屏蔽電極70在玻璃基板33的背面上由與激勵(lì)電極2、背面?zhèn)榷俗?3相同的布線層形成,與激勵(lì)電極2用的多個(gè)背面?zhèn)榷俗?3之中的在圖中處于左端的背面?zhèn)榷俗?3l經(jīng)由引出布線71電連接。

      另外,連接有屏蔽電極70的背面?zhèn)榷俗?3l在觸摸屏1c的外部與gnd連接。由此,屏蔽電極70能夠發(fā)揮針對(duì)與檢測(cè)電極3、觸感產(chǎn)生用行電極4以及觸感產(chǎn)生用列電極5電連接的多個(gè)引出布線9~11以及多個(gè)表面?zhèn)榷俗?2(多個(gè)外部連接用端子)的屏蔽功能。

      即,能夠屏蔽來(lái)自一般組合到背面?zhèn)葋?lái)配置的顯示面板的驅(qū)動(dòng)信號(hào)成為噪聲而傳輸?shù)綑z測(cè)電極3的引出布線9以及連接有這些引出布線9的表面?zhèn)榷俗?2。而且,能夠屏蔽對(duì)觸感產(chǎn)生用行電極4的引出布線10、觸感產(chǎn)生用列電極5的引出布線11以及連接有這些引出布線10、11的表面?zhèn)榷俗?2施加的觸感產(chǎn)生信號(hào)成為向顯示面板的噪聲來(lái)傳輸。

      此外,在圖10中示出實(shí)施方式1的激勵(lì)電極2,但也可以采用實(shí)施方式2的激勵(lì)電極2b來(lái)代替激勵(lì)電極2。另外,除了觸摸屏1被置換為觸摸屏1c的點(diǎn)以外,觸摸面板裝置的結(jié)構(gòu)以及動(dòng)作與圖6以及圖7所示的實(shí)施方式1的觸摸面板裝置相同。

      <實(shí)施方式4>

      圖11是示出實(shí)施方式4中的觸感行電極群106以及列電極群107的交叉區(qū)域ca及其附近的電極結(jié)構(gòu)的俯視圖。此外,交叉區(qū)域ca相當(dāng)于圖1的公差區(qū)域ca。其中,圖1中的結(jié)構(gòu)部2~7對(duì)應(yīng)于實(shí)施方式4的后述的結(jié)構(gòu)部102~107,引出布線10對(duì)應(yīng)于分段電極用布線116。此外,圖1是示意圖,為便于說(shuō)明,用矩形形狀表示電極2~5的形狀等。

      另外,圖12是在交叉區(qū)域ca中僅抽出作為第1及第2觸摸檢測(cè)用電極的激勵(lì)電極102以及檢測(cè)電極103而示出的俯視圖。而且,圖13是在交叉區(qū)域ca中僅抽出作為第1及第2觸感產(chǎn)生用電極的觸感產(chǎn)生用分段電極104以及觸感產(chǎn)生用列電極105而示出的俯視圖。

      在實(shí)施方式4中,在透明基板33的表面?zhèn)龋仃嚑畹胤蛛x配置(在x方向以及y方向上相互分離配置)有與多個(gè)激勵(lì)電極102獨(dú)立地形成的多個(gè)觸感產(chǎn)生用分段電極104。各觸感產(chǎn)生用分段電極104具有在俯視時(shí)作為整體呈梳齒狀的梳齒部104t(第1梳齒部)。多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極105與多個(gè)檢測(cè)電極103獨(dú)立地形成,分別沿著列方向,將行數(shù)個(gè)量(至少兩個(gè))的在俯視時(shí)為梳齒狀的梳齒部105t(第2梳齒部)進(jìn)行連接而使其蜿蜒并且延伸地配置。另外,針對(duì)多個(gè)觸感產(chǎn)生用列電極105,以與各梳齒部105t保持縫隙并且咬合的方式配置對(duì)應(yīng)的梳齒部104t(觸感產(chǎn)生用分段電極104)。

      即,觸感產(chǎn)生用分段電極104的整體構(gòu)造為梳齒部104t。此外,也可以設(shè)為觸感產(chǎn)生用分段電極104在一部分具有梳齒部104t的構(gòu)造。

      在此,在與觸感行電極群106以及列電極群107的交叉區(qū)域ca中,在左右配置各1條觸感產(chǎn)生用列電極105,針對(duì)左右的觸感產(chǎn)生用列電極105各自的2個(gè)梳齒部105t,沿著列方向設(shè)置上下2個(gè)共計(jì)4個(gè)觸感產(chǎn)生用分段電極104(梳齒部104t)。

      另外,作為第2梳齒部的梳齒部105t和作為第1梳齒部的梳齒部104t沿著行方向(x方向)在相互相對(duì)的方向(梳齒部104t的各梳齒沿著-x方向,梳齒部105t的各梳齒沿著+x方向)上延伸。

      另外,在沿著2條觸感產(chǎn)生用列電極105分別配置的觸感產(chǎn)生用分段電極104之間保持縫隙并且在列方向上延伸地配置作為第2觸摸檢測(cè)用電極的檢測(cè)電極103。在此,檢測(cè)電極103在俯視時(shí)為矩形形狀。

      另外,在實(shí)施方式4的觸摸屏1d中,與上述實(shí)施方式1~實(shí)施方式3的激勵(lì)電極2同樣地,在透明基板33的背面?zhèn)仍谛蟹较蛏涎由斓卦O(shè)置作為第1觸摸檢測(cè)用電極的激勵(lì)電極102。

      在假設(shè)按照α(行)×β(列)(α≥2、β≥2)的矩陣狀分離配置有多個(gè)觸感產(chǎn)生用分段電極104時(shí),各列的觸感產(chǎn)生用列電極105在存在于同一列的α個(gè)(至少兩個(gè))作為觸感產(chǎn)生用分段電極104的梳齒部104t與α個(gè)梳齒部105t之間被配置為在對(duì)應(yīng)的梳齒部104t、梳齒部105t之間在確??p隙的同時(shí)咬合。

      這樣,觸感產(chǎn)生用分段電極104以及觸感產(chǎn)生用列電極105以在俯視時(shí)相互不重疊的方式形成,而且檢測(cè)電極103與觸感產(chǎn)生用分段電極104以及觸感產(chǎn)生用列電極105分別以在俯視時(shí)不重疊的方式形成。

      在各觸感產(chǎn)生用分段電極104和觸感產(chǎn)生用列電極105、檢測(cè)電極103的縫隙區(qū)域中,設(shè)置向觸感產(chǎn)生用分段電極104的分段電極用布線116,并與端子部(未圖示)連接。此外,作為分段電極用布線116,考慮微細(xì)的金屬布線等。

      圖14是示意性地示出圖11的c-c剖面結(jié)構(gòu)的剖面圖。如該圖所示,在作為透明基板的玻璃基板33的背面上,利用透明導(dǎo)電膜形成有激勵(lì)電極102,而且覆蓋激勵(lì)電極102地形成透明的保護(hù)膜34。

      另外,在玻璃基板33的表面上的同一布線層中,利用透明導(dǎo)電膜形成觸感產(chǎn)生用分段電極104、觸感產(chǎn)生用列電極105以及檢測(cè)電極103。即,檢測(cè)電極103、觸感產(chǎn)生用分段電極104以及觸感產(chǎn)生用列電極105能夠作為在玻璃基板33的表面上以同一形成高度形成的同一布線層來(lái)同時(shí)制造。

      這樣,在同一布線層中形成透明電極33的表面?zhèn)鹊母麟姌O103~105,所以能夠簡(jiǎn)化制造工藝,能夠抑制制造成本。

      而且,在檢測(cè)電極103、觸感產(chǎn)生用分段電極104以及觸感產(chǎn)生用列電極105的上層形成用于積蓄電荷的高電阻且透明的電荷積蓄層35,進(jìn)而在其上層形成透明的保護(hù)膜36。該保護(hù)膜36的表面成為手指等指示體的操作面os。

      如上所述,在實(shí)施方式4的觸摸屏1d中,構(gòu)成各觸感產(chǎn)生用分段電極104的梳齒部104t被配置為與觸感產(chǎn)生用列電極105的對(duì)應(yīng)的梳齒部105t保持縫隙并且咬合。

      按照矩陣狀分離配置的多個(gè)觸感產(chǎn)生用分段電極104分別獨(dú)立地與對(duì)應(yīng)的分段電極用布線116連接。另外,分段電極用布線116經(jīng)由表面?zhèn)榷俗?2而與外部的fpc(flexibleprintcircuit,柔性印刷電路)連接。此時(shí),在與同一行對(duì)應(yīng)的觸感產(chǎn)生用分段電極104之間以共同地電連接的方式設(shè)置fpc的布線。即,與各行對(duì)應(yīng)的fpc的布線部起到與實(shí)施方式1中的觸感產(chǎn)生用行電極4在電氣上等效的作用。

      在實(shí)施方式4的觸摸屏1d中,也與實(shí)施方式1的觸摸屏1同樣地,能夠通過(guò)圖6所示的電路結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)觸摸面板裝置。其中,不同點(diǎn)在于,m條觸感行電極群106分別包括在上部(-y方向側(cè))沿著行方向排列的觸感產(chǎn)生用分段電極why1(j)、以及在下部(+y方向側(cè))沿著行方向排列的觸感產(chǎn)生用分段電極why2(j)(j=1~m中的任意值)。

      具體而言,在按照?qǐng)D6所示的m(行)×n(列)的矩陣狀(而且,在交叉區(qū)域ca內(nèi)排列2×2的觸感產(chǎn)生用分段電極104)分離配置有多個(gè)觸感產(chǎn)生用分段電極104的情況下,與多個(gè)觸感產(chǎn)生用分段電極104連接的(2m×2n)條分段電極用布線116分別單獨(dú)地獨(dú)立連接到表面?zhèn)榷俗?2。另外,表面?zhèn)榷俗?2和觸感電壓產(chǎn)生電路部68例如經(jīng)由fpc的布線而電連接。此時(shí),在各觸感行電極群106的上部沿著行方向排列的觸感產(chǎn)生用分段電極why1(j)通過(guò)fpc的布線而共同地連接,并且在下部沿著行方向排列的觸感產(chǎn)生用分段電極why2(j)通過(guò)fpc的布線而共同地連接。在此,在fpc中共同地連接的布線針對(duì)觸感產(chǎn)生用分段電極why1、why2分別為m條,共計(jì)2m條。另外,在施加觸感產(chǎn)生用電壓來(lái)控制觸感時(shí),該fpc的2m條布線相當(dāng)于實(shí)施方式1中的各觸感產(chǎn)生用行電極。

      另外,設(shè)為與實(shí)施方式1同樣地判定為觸摸位置處于觸感產(chǎn)生列電極whx1(p)(p=1~n中的任意值)以及觸感產(chǎn)生用分段電極why1(q)(q=1~m中的任意值)的附近。

      即,在觸感產(chǎn)生中的電極的選擇中,將在第q行的觸感行電極群106的上部在行方向上排列的觸感產(chǎn)生用分段電極why1(q)通過(guò)fpc共同地連接的布線成為虛擬的選擇觸感產(chǎn)生用行電極(第1選擇觸感產(chǎn)生用電極),第p列的觸感產(chǎn)生列電極whx1(p)成為選擇觸感產(chǎn)生用列電極105(第2選擇觸感產(chǎn)生用電極)。

      另外,來(lái)自觸感電壓產(chǎn)生電路(y)65的觸感產(chǎn)生用電壓經(jīng)由fpc的布線部、表面?zhèn)榷俗?2以及分段電極用布線116而被共同地施加到在第q行的觸感行電極群106的上部在行方向上排列的觸感產(chǎn)生用分段電極排列104。

      如以上那樣,在實(shí)施方式4的觸摸屏1d中,能夠通過(guò)被設(shè)定為低阻抗?fàn)顟B(tài)且設(shè)置在玻璃基板33的背面上的作為第1觸摸檢測(cè)用電極的激勵(lì)電極102,屏蔽設(shè)置在玻璃基板33的表面上的作為第2觸摸檢測(cè)用電極的檢測(cè)電極103、作為第1及第2觸感產(chǎn)生用電極的觸感產(chǎn)生用分段電極104以及觸感產(chǎn)生用列電極105。由此,能夠抑制來(lái)自一般組合到玻璃基板33的背面?zhèn)葋?lái)配置的顯示面板的驅(qū)動(dòng)噪聲混入到檢測(cè)電極103,而且能夠抑制對(duì)經(jīng)由fpc的布線部共同地電連接的同一行的選擇觸感產(chǎn)生用分段電極104以及選擇觸感產(chǎn)生用列電極105施加的觸感產(chǎn)生信號(hào)作為噪聲混入到顯示面板而產(chǎn)生顯示不均勻等顯示不良。

      另外,并非兼用而是完全獨(dú)立地分別設(shè)置激勵(lì)電極102和觸感產(chǎn)生用分段電極104、檢測(cè)電極103和觸感產(chǎn)生用列電極105,所以可以不需要觸感產(chǎn)生信號(hào)的導(dǎo)通/切斷所需的高擊穿電壓的開(kāi)關(guān)電路等,相應(yīng)地能夠簡(jiǎn)化觸摸面板裝置的電路結(jié)構(gòu)。

      而且,能夠?qū)⒏鶕?jù)期望的觸摸坐標(biāo)精度設(shè)定的激勵(lì)電極102、102之間的列方向上的第1間距、檢測(cè)電極103、103的行方向上的第2間距分別設(shè)定為與根據(jù)所需觸感分辨率設(shè)定的觸感產(chǎn)生用分段電極104、104之間的列方向上的第3間距以及觸感產(chǎn)生用列電極105、105之間的行方向上的第4間距不同。因此,不會(huì)使第1及第2間距以及第3及第4間距中的任意的電極間間距成為窄到所需以上的間距而使裝置結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜、或者成為寬到所需以上的間距而犧牲觸摸坐標(biāo)精度或觸感產(chǎn)生分辨率。

      此外,在實(shí)施方式4中,與實(shí)施方式1不同的點(diǎn)在于,激勵(lì)電極102的第1間距被設(shè)定為觸感產(chǎn)生用分段電極104的第3間距的2倍。

      另外,在一張作為透明基板的玻璃基板33的表面上直接形成檢測(cè)電極103、觸感產(chǎn)生用分段電極104以及觸感產(chǎn)生用列電極105,并在背面上直接形成激勵(lì)電極102,所以例如相比于為了用于激勵(lì)電極102及檢測(cè)電極103、和觸感產(chǎn)生用分段電極104及觸感產(chǎn)生用列電極105而使用2張基板來(lái)構(gòu)成的情況等,能夠使觸摸屏的高度方向(圖11~圖14的z方向)的厚度變薄。

      而且,通過(guò)以相同的形成高度來(lái)形成檢測(cè)電極103、觸感產(chǎn)生用分段電極104以及觸感產(chǎn)生用列電極105,能夠作為相同的布線層(第1布線層)同時(shí)形成,所以能夠簡(jiǎn)化觸摸屏1d的構(gòu)造。進(jìn)而,能夠簡(jiǎn)化觸摸屏1d的制造工序來(lái)實(shí)現(xiàn)低成本化。

      形成在玻璃基板33的表面上的檢測(cè)電極103、觸感產(chǎn)生用分段電極104以及觸感產(chǎn)生用列電極105是以在俯視時(shí)不會(huì)重疊的方式配置的,所以能夠抑制由于操作者的手指等指示體的接觸/接近而產(chǎn)生的在激勵(lì)電極102、檢測(cè)電極103之間形成的電極間電容(互電容)的變化由于觸感產(chǎn)生用分段電極104以及觸感產(chǎn)生用列電極105的存在而被阻礙。由此,能夠抑制具備觸摸屏1d的觸摸面板裝置的觸摸檢測(cè)靈敏度降低。

      另外,檢測(cè)電極103、觸感產(chǎn)生用分段電極104以及觸感產(chǎn)生用列電極105是以在俯視時(shí)不會(huì)重疊的方式配置的,所以能夠抑制顯示光的透射率降低。

      形成在玻璃基板33的表面上的檢測(cè)電極103、觸感產(chǎn)生用分段電極104以及觸感產(chǎn)生用列電極105之間在俯視時(shí)不會(huì)重疊而有規(guī)律地排列,所以不會(huì)產(chǎn)生由于設(shè)置在玻璃基板33的背面上的激勵(lì)電極102與設(shè)置在表面上的檢測(cè)電極103、觸感產(chǎn)生用分段電極104或觸感產(chǎn)生用列電極105的重疊不均勻引起的透射率的不均勻性。能夠抑制由于該重疊不均勻的存在而辨認(rèn)電極102~104的情形。

      另外,在實(shí)施方式4中也與實(shí)施方式2(參照?qǐng)D8、圖9)同樣地,通過(guò)在激勵(lì)電極102中采用微細(xì)金屬布線的網(wǎng)格構(gòu)造,能夠降低激勵(lì)電極102的電極電阻,提高激勵(lì)電極102針對(duì)檢測(cè)電極103、觸感產(chǎn)生用分段電極104以及觸感產(chǎn)生用列電極105的屏蔽效果。另外,顯示光不會(huì)通過(guò)2層的透明導(dǎo)電膜,實(shí)質(zhì)上會(huì)通過(guò)1層的透明導(dǎo)電膜(檢測(cè)電極103、觸感產(chǎn)生用分段電極104或者觸感產(chǎn)生用列電極105),所以能夠減輕透明導(dǎo)電膜特有的帶黃色調(diào)的著色。

      而且,在實(shí)施方式4中與實(shí)施方式2(參照?qǐng)D8、圖9)同樣地,通過(guò)利用沿著第3及第4方向形成的金屬網(wǎng)格傾斜直線部21以及22的組合來(lái)設(shè)置金屬布線網(wǎng)格構(gòu)造的激勵(lì)電極102,能夠減輕與組合到玻璃基板33的背面?zhèn)葋?lái)配置的顯示面板的像素格子的干擾所致的波紋條紋。

      另外,在實(shí)施方式4中也與實(shí)施方式3同樣地,通過(guò)采用圖10所示的屏蔽電極70,從而連接有屏蔽電極70的背面?zhèn)榷俗?3l在觸摸屏1d的外部與gnd連接。由此,屏蔽電極70能夠發(fā)揮針對(duì)與檢測(cè)電極103、觸感產(chǎn)生用分段電極104以及觸感產(chǎn)生用列電極105電連接的多個(gè)引出布線9、多個(gè)分段電極用布線116、以及多個(gè)引出布線11和多個(gè)表面?zhèn)榷俗?2(多個(gè)外部連接用端子)的屏蔽功能。此外,圖10中的結(jié)構(gòu)部2~7對(duì)應(yīng)于結(jié)構(gòu)部102~107,引出布線10對(duì)應(yīng)于分段電極用布線116。

      即,能夠屏蔽來(lái)自一般組合到背面?zhèn)葋?lái)配置的顯示面板的驅(qū)動(dòng)信號(hào)成為噪聲傳輸?shù)綑z測(cè)電極103的引出布線9以及連接有這些引出布線9的表面?zhèn)榷俗?2。而且,能夠屏蔽對(duì)觸感產(chǎn)生用分段電極104的分段電極用布線116、觸感產(chǎn)生用列電極105的引出布線11以及連接有這些布線116、11的表面?zhèn)榷俗?2施加的觸感產(chǎn)生信號(hào)成為向顯示面板的噪聲來(lái)傳輸。

      關(guān)于實(shí)施方式4的觸摸屏1d,在采用了圖6、圖7所示的觸感電壓產(chǎn)生電路部67以及觸感電壓產(chǎn)生電路部68的實(shí)施方式4的觸摸面板裝置中,電荷檢測(cè)電路61使用觸摸屏1的激勵(lì)電極102以及檢測(cè)電極103來(lái)檢測(cè)與互電容對(duì)應(yīng)的電荷檢測(cè)結(jié)果d61(靜電電容導(dǎo)出數(shù)據(jù)),觸摸坐標(biāo)計(jì)算電路62根據(jù)電荷檢測(cè)結(jié)果d61的變化程度進(jìn)行觸摸判定。另外,在判定為有觸摸時(shí),觸摸坐標(biāo)計(jì)算電路62計(jì)算檢測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)d62。觸感電壓產(chǎn)生電路部68根據(jù)檢測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)d62,對(duì)與觸摸坐標(biāo)對(duì)應(yīng)的虛擬的選擇觸感產(chǎn)生用分段電極104以及選擇觸感產(chǎn)生用列電極105施加觸感產(chǎn)生信號(hào),使這些交叉區(qū)域附近的電荷積蓄層35帶電至超過(guò)觸感閾值,對(duì)手指賦予觸感,從而進(jìn)行針對(duì)利用操作者的手指進(jìn)行的輸入動(dòng)作的觸感反饋。

      與實(shí)施方式1同樣地,在實(shí)施方式4中也在觸感產(chǎn)生信號(hào)施加期間p5,形成于作為透明電極的玻璃基板33的背面?zhèn)鹊募?lì)電極102在觸摸屏1的外部以低阻抗被固定為gnd電位,作為將高電壓的觸感產(chǎn)生用電壓設(shè)為“h”電平的觸感產(chǎn)生信號(hào)的屏蔽電極發(fā)揮作用。由此,能夠防止“h”電平被設(shè)定為高電壓的觸感產(chǎn)生用電壓的觸感產(chǎn)生信號(hào)作為噪聲混入到在觸摸面板裝置中一般組合到玻璃基板33的背面?zhèn)葋?lái)配置的顯示面板而產(chǎn)生顯示不均勻等顯示不良。

      而且,與實(shí)施方式1同樣地,在實(shí)施方式4中也在觸摸檢測(cè)期間p1,觸感電壓產(chǎn)生電路部68通過(guò)將所有的觸感產(chǎn)生用分段電極104以及觸感產(chǎn)生用列電極105設(shè)定為浮置狀態(tài),從而能夠防止形成在激勵(lì)電極102、檢測(cè)電極103之間的電場(chǎng)由于觸感產(chǎn)生用分段電極104以及觸感產(chǎn)生用列電極105的存在而被屏蔽,抑制由于觸摸操作而產(chǎn)生的激勵(lì)電極102、檢測(cè)電極103之間的互電容的變化程度降低、即抑制觸摸檢測(cè)靈敏度降低。

      <其它>

      此外,在上述實(shí)施方式1~實(shí)施方式4中,作為透明基板說(shuō)明了玻璃基板33,但代替玻璃基板33而在薄膜基板等中也能夠同樣地實(shí)施。

      另外,在上述實(shí)施方式中,構(gòu)成為在作為透明基板的玻璃基板33的表面上以及背面上直接形成電極2~5(102~105),但無(wú)需一定由一張基板構(gòu)成。在電極2~5之中,激勵(lì)電極2在從操作面?zhèn)扔^察時(shí)配置于最靠玻璃基板33的背面?zhèn)?-z側(cè))即可,也可以構(gòu)成為代替形成在玻璃基板33的背面上的激勵(lì)電極2,而例如在薄膜基板的表面上形成激勵(lì)電極2,并將該薄膜基板的背面粘貼到玻璃基板33的背面。

      而且,在實(shí)施方式1~實(shí)施方式3中,構(gòu)成為在作為透明基板的玻璃基板33的表面?zhèn)?,將觸感產(chǎn)生用行電極4整體、檢測(cè)電極主要部30以及觸感產(chǎn)生用行電極主要部40形成為第1布線層,將檢測(cè)電極交叉部31以及觸感產(chǎn)生用列電極交叉部51形成為在第1布線層上隔著絕緣膜32層疊的第2布線層,但不限定于這樣的布線層的結(jié)構(gòu)。例如,也可以構(gòu)成為使上述關(guān)系相反,將檢測(cè)電極3及觸感產(chǎn)生用列電極5整體以及觸感產(chǎn)生用行電極主要部40形成為第1布線層,將觸感產(chǎn)生用行電極交叉部41形成為第2布線層。

      另外,將成為觸感產(chǎn)生信號(hào)的施加對(duì)象的觸感產(chǎn)生用行電極4(同一行的觸感產(chǎn)生用分段電極104)以及觸感產(chǎn)生用列電極5(觸感產(chǎn)生用列電極105)分別設(shè)為1條進(jìn)行了說(shuō)明,但也可以根據(jù)想要賦予的觸感而施加于多條。例如,也可以對(duì)屬于共同的觸感行電極群6的3條觸感產(chǎn)生用行電極4全部施加觸感產(chǎn)生信號(hào)、或者對(duì)屬于列電極群7的2條觸感產(chǎn)生用列電極5全部施加觸感產(chǎn)生信號(hào)。

      而且,雖然以通過(guò)觸感來(lái)反饋由操作者實(shí)施的觸摸輸入的結(jié)構(gòu)為例子進(jìn)行了說(shuō)明,但例如當(dāng)然也可以與顯示圖像內(nèi)容對(duì)應(yīng)地賦予觸感。

      另外,圖7所示的觸摸檢測(cè)電路部67以及觸感電壓產(chǎn)生電路部68全部由硬件構(gòu)成,但電荷檢測(cè)電路61的一部分、觸摸坐標(biāo)計(jì)算電路62、觸摸檢測(cè)控制電路63以及觸感產(chǎn)生控制電路66例如也可以構(gòu)成為通過(guò)使用了基于軟件的cpu的程序處理來(lái)執(zhí)行。

      此外,本發(fā)明能夠在該發(fā)明的范圍內(nèi)自由地組合各實(shí)施方式、或者將各實(shí)施方式適當(dāng)?shù)刈冃?、省略?/p>

      雖然詳細(xì)說(shuō)明了本發(fā)明,但上述說(shuō)明在所有的方面僅為例示,本發(fā)明不限定于此。應(yīng)理解為不脫離本發(fā)明的范圍而能夠設(shè)想未例示的無(wú)數(shù)的變形例。

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