本發(fā)明涉及使用一或多個(gè)設(shè)備(fixture)和效率確定匹配網(wǎng)絡(luò)模型的參數(shù)的系統(tǒng)和方法。

背景技術(shù)：

等離子體系統(tǒng)用于控制等離子體處理。等離子體系統(tǒng)包含多個(gè)射頻(rf)源、阻抗匹配電路和等離子體反應(yīng)器。工件放置在等離子體室內(nèi)，并在等離子體室中產(chǎn)生等離子體以處理工件。重要的是，不受等離子體系統(tǒng)中的一個(gè)部件用另一個(gè)更換或與另一個(gè)一起使用的限制，工件以相似或均勻的方式進(jìn)行處理。例如，當(dāng)?shù)入x子體系統(tǒng)的一部分被替換為另一部分時(shí)，工件被不同地處理。

正是在這樣的背景下，產(chǎn)生在本公開中描述的實(shí)施方式。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本公開的實(shí)施方式提供用于使用一或多個(gè)設(shè)備和效率以確定匹配網(wǎng)絡(luò)模型的參數(shù)的裝置、方法和計(jì)算機(jī)程序。應(yīng)當(dāng)理解的是，本實(shí)施方式可以以多種方式(例如，工藝、裝置、系統(tǒng)、硬件零件或計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)上的方法)來實(shí)現(xiàn)。若干實(shí)施方式在下文描述。

射頻(rf)匹配網(wǎng)絡(luò)模型是物理阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的數(shù)學(xué)表示或計(jì)算機(jī)表示，并用于根據(jù)在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸入端的rf性能的測量值預(yù)測在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸出端的rf特性，例如電流、電壓和相位等等。作為起點(diǎn)，匹配網(wǎng)絡(luò)模型具有包含多種模型的模型化的形式。在具有專利no.14/245,803的專利申請(qǐng)中提供了模型的示例。每個(gè)模型包含一個(gè)或多個(gè)電路元件。在模型中的電路元件的值是基于來自所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的示意圖的電感和電容的已知值以及某些物理量(例如，不包含在示意圖中的連接帶的電感)的近似值。匹配網(wǎng)絡(luò)模型的初始點(diǎn)通過獲得成組實(shí)驗(yàn)測量值并調(diào)整電路元件的值以提供測量值和匹配網(wǎng)絡(luò)模型預(yù)測值之間的擬合來改善。獲得實(shí)驗(yàn)測量值的一種方法是在等離子體工具中使用晶片。在工具運(yùn)行時(shí)(on-tool)的測量期間，高精度的rf電壓和電流探頭被臨時(shí)安裝于在等離子體工具中實(shí)施的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸出端，以運(yùn)行多種等離子體配方，并記錄針對(duì)每個(gè)配方的在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸出端測得的射頻電壓和電流，且改變?cè)谒銎ヅ渚W(wǎng)絡(luò)模型的模型中的電路元件的值以提供測量值和預(yù)測值之間的擬合。

然而，由于使用等離子體工具的工具時(shí)間被占用，因此工具運(yùn)行時(shí)測量是耗時(shí)的。通過使用高精度的rf電壓和電流探頭，針對(duì)每個(gè)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)產(chǎn)生匹配網(wǎng)絡(luò)模型的基準(zhǔn)值。然而，其中有特定的序列號(hào)和型號(hào)的每個(gè)單獨(dú)的匹配網(wǎng)絡(luò)與其中有另一序列號(hào)和同一型號(hào)的任何其他單獨(dú)的匹配網(wǎng)絡(luò)略有不同。在約六個(gè)單獨(dú)的匹配網(wǎng)絡(luò)上實(shí)現(xiàn)高精度射頻電壓和電流探頭的使用，這需要若干星期。

一旦基準(zhǔn)匹配模型存在，則針對(duì)單個(gè)匹配網(wǎng)絡(luò)的較精確的模型使用針對(duì)每個(gè)匹配網(wǎng)絡(luò)獲得的臺(tái)式網(wǎng)絡(luò)分析器測量值制造。通過將物理測試設(shè)備(在本發(fā)明中有時(shí)稱為負(fù)載阻抗設(shè)備)連接到待測阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸出端，并通過使用網(wǎng)絡(luò)分析器以獲得在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸入端的測量值來獲得測量值。負(fù)載阻抗設(shè)備被設(shè)計(jì)為具有與多個(gè)等離子體條件中的一個(gè)相同的阻抗，以便由網(wǎng)絡(luò)分析器進(jìn)行的測量模擬許多工具運(yùn)行時(shí)的測試之一。基于使用負(fù)載阻抗設(shè)備獲得的測量值，針對(duì)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)調(diào)節(jié)匹配網(wǎng)絡(luò)模型，以產(chǎn)生比在針對(duì)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用基準(zhǔn)模型的情況下更精確的結(jié)果。

應(yīng)當(dāng)注意，等離子體阻抗隨著各種頻率(例如，2兆赫茲(mhz)、27mhz、60mhz、400千赫茲(khz)等)的rf產(chǎn)生器的數(shù)目而改變。也就是說，在一些實(shí)施方式中，對(duì)于其中使用400khzrf產(chǎn)生器、2mhzrf產(chǎn)生器、27mhzrf產(chǎn)生器和60mhzrf產(chǎn)生器中的兩個(gè)或更多個(gè)的多頻等離子體系統(tǒng)，等離子體的阻抗在rf產(chǎn)生器的不同頻率下是不同的。

在多種實(shí)施方式中，不同的負(fù)載阻抗設(shè)備用于不同的頻率。例如，第一負(fù)載阻抗設(shè)備用于2mhz，第二負(fù)載阻抗設(shè)備用于27mhz，而第三負(fù)載阻抗設(shè)備用于60mhz。

在一些實(shí)施方式中，成組的多個(gè)臺(tái)式設(shè)備(在本文有時(shí)是指負(fù)載阻抗設(shè)備)是用來模仿工具運(yùn)行時(shí)的多種等離子體條件，以獲得多個(gè)網(wǎng)絡(luò)分析器測量值。利用多個(gè)臺(tái)式設(shè)備的多個(gè)網(wǎng)絡(luò)分析器測量值用于創(chuàng)建匹配網(wǎng)絡(luò)模型的基準(zhǔn)值，而不必在具有等離子體的等離子體工具上運(yùn)行晶片，從而節(jié)省與使用在線工具以及在線工具的資源相關(guān)聯(lián)的時(shí)間。多個(gè)臺(tái)式設(shè)備價(jià)格便宜。多個(gè)臺(tái)式設(shè)備是由電阻器、或電容器、或電感器、或電纜、或其中兩種或更多種的組合的組合構(gòu)建的。例如，所述設(shè)備中的一個(gè)包含電阻和可變長度的同軸電纜。多個(gè)臺(tái)式設(shè)備中的每一個(gè)連續(xù)地連接到所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸出端，并且得到在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的組合可變電容和rf頻率的一個(gè)或多個(gè)值下與匹配網(wǎng)絡(luò)的輸入端相關(guān)的網(wǎng)絡(luò)分析器的測量值。優(yōu)化匹配網(wǎng)絡(luò)模型的電路元件的值，以獲得在不使用等離子體的情況下從網(wǎng)絡(luò)分析器的測量值和網(wǎng)絡(luò)分析器測量值產(chǎn)生的預(yù)測值之間的一致性(agreement)。

在多種實(shí)施方式中，使用負(fù)載阻抗設(shè)備和網(wǎng)絡(luò)分析器來測量效率，和使用匹配網(wǎng)絡(luò)模型來預(yù)測效率，且在測得的效率和預(yù)測的效率之間獲得一致性，以確定匹配網(wǎng)絡(luò)模型的參數(shù)。效率的使用使得參數(shù)能精確確定。此外，如上所述，在計(jì)算效率時(shí)不使用等離子體工具，例如不使用等離子體室等。這種不使用等離子工具節(jié)省了工具時(shí)間。

在一些實(shí)施方式中，實(shí)現(xiàn)使用多個(gè)臺(tái)式裝置測得的阻抗與使用匹配網(wǎng)絡(luò)模型預(yù)測的阻抗之間的一致性，以及實(shí)現(xiàn)測得的效率和預(yù)測的效率之間的一致性，以計(jì)算參數(shù)。效率和阻抗的使用導(dǎo)致參數(shù)能精確確定。

在本發(fā)明中所描述的系統(tǒng)和方法的一些優(yōu)點(diǎn)包含建立匹配網(wǎng)絡(luò)模型并在測試臺(tái)上進(jìn)行檢測，而不必使用晶片和工具時(shí)間。在本發(fā)明中所描述的系統(tǒng)和方法的另外的優(yōu)點(diǎn)包含，與在等離子體工具中使用實(shí)際不同配方所覆蓋的等離子體條件相比，使用多個(gè)設(shè)備覆蓋范圍更廣的等離子體條件。當(dāng)使用等離子體工具創(chuàng)建匹配網(wǎng)絡(luò)模型時(shí)，針對(duì)一定范圍的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的可變電容和處理測試晶片的rf頻率，匹配網(wǎng)絡(luò)模型是準(zhǔn)確的。當(dāng)未來的新方法使用不同的可變電容或不同的rf頻率時(shí)，匹配網(wǎng)絡(luò)模型針對(duì)該不同的可變電容和不同的rf頻率將不會(huì)那么準(zhǔn)確。通過使用多個(gè)設(shè)備模擬范圍廣的等離子體條件，因此產(chǎn)生將在大范圍的等離子體條件下使用的匹配網(wǎng)絡(luò)模型。此外，制造多個(gè)設(shè)備是相對(duì)便宜的。

另外的優(yōu)點(diǎn)包含使用測得的效率和預(yù)測的效率來確定匹配網(wǎng)絡(luò)模型的參數(shù)。效率的使用導(dǎo)致參數(shù)能精確確定。

具體而言，本發(fā)明的一些方面可以闡述如下：

1.一種用于確定匹配網(wǎng)絡(luò)模型的固定參數(shù)的方法，其包括：

測量阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的效率；

當(dāng)匹配網(wǎng)絡(luò)模型被分配固定電感、固定電容和固定電阻時(shí)，在匹配網(wǎng)絡(luò)模型的輸入端處施加輸入功率以計(jì)算所述匹配網(wǎng)絡(luò)模型的輸出端處的預(yù)測輸出功率；

根據(jù)所述預(yù)測輸出功率和所述輸入功率計(jì)算所述阻抗匹配模型的預(yù)測的效率；

根據(jù)測得的效率確定所述預(yù)測的效率是否在預(yù)定限度內(nèi)；以及

在根據(jù)所述測得的效率確定所述預(yù)測的效率在預(yù)定限度內(nèi)之后，將所述固定電感、所述固定電容和所述固定電阻分配給所述匹配網(wǎng)絡(luò)模型。

2.根據(jù)條款1所述的方法，其中當(dāng)所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)連接到網(wǎng)絡(luò)分析器和負(fù)載阻抗設(shè)備時(shí)測量所述測得的效率，其中所述網(wǎng)絡(luò)分析器具有輸入端口和輸出端口，其中所述負(fù)載阻抗設(shè)備和所述網(wǎng)絡(luò)分析器的輸入端口的組合阻抗表示等離子體條件。

3.根據(jù)條款1所述的方法，其還包括在根據(jù)所述測得的效率確定所述預(yù)測的效率不在預(yù)定限度內(nèi)時(shí)，修改所述固定電感、或所述固定電容、或所述固定電阻、或其中的兩者或更多者的組合。

4.根據(jù)條款1所述的方法，其中當(dāng)網(wǎng)絡(luò)分析器的第一端口連接到所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸入端時(shí)測量所述測得的效率，所述方法還包括：

當(dāng)所述網(wǎng)絡(luò)分析器的第二端口連接到設(shè)備的輸出端并且當(dāng)所述設(shè)備連接到所述阻抗匹配電路的輸出端時(shí)，從所述網(wǎng)絡(luò)分析器接收s21參數(shù)；

計(jì)算s21參數(shù)的平方與1和s11參數(shù)的平方之間的差的比率，以確定所述測得的效率。

5.根據(jù)條款1所述的方法，其中當(dāng)所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)被控制為具有預(yù)定的組合可變電容并且網(wǎng)絡(luò)分析器在預(yù)定的射頻下操作時(shí)，計(jì)算所述測得的效率，其中所述網(wǎng)絡(luò)分析器連接到所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸入端。

6.根據(jù)條款1所述的方法，其還包括：

使所述固定電感、或所述固定電容、或所述固定電阻、或它們中的兩者或更多者的組合與所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的特性(identity)相關(guān)聯(lián)；

在存儲(chǔ)器裝置中存儲(chǔ)所述固定電感、或所述固定電容、或所述固定電阻、或它們中的兩者或更多者的組合與所述特性之間的所述關(guān)聯(lián)；

接收所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的所述特性；以及

在接收到所述特性時(shí)，初始化所述匹配網(wǎng)絡(luò)模型以具有所述固定電感、或所述固定電容、或所述固定電阻、或它們中的兩者或更多者的組合。

7.根據(jù)條款1所述的方法，其中當(dāng)網(wǎng)絡(luò)分析器連接到所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸入端并且所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸出端連接到負(fù)載設(shè)備時(shí)，測量所述測得的效率。

8.根據(jù)條款1所述的方法，其中當(dāng)所述匹配網(wǎng)絡(luò)模型被初始化為具有組合電容值和射頻(rf)時(shí)，執(zhí)行在匹配網(wǎng)絡(luò)模型的輸入處施加測得的輸出功率。

9.根據(jù)條款8所述的方法，其中，所述組合電容值與所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的組合電容值相同，并且所述rf與用于測量所述測得的效率的網(wǎng)絡(luò)分析器的rf相同。

10.根據(jù)條款1所述的方法，其中所述固定電感、所述固定電容和所述固定電阻在襯底的處理期間不改變。

11.根據(jù)條款1所述的方法，其中，根據(jù)所述預(yù)測輸出功率和所述輸入功率計(jì)算所述阻抗匹配模型的預(yù)測的效率通過計(jì)算所述預(yù)測輸出功率和所述輸入功率的比率來執(zhí)行。

12.一種用于確定匹配網(wǎng)絡(luò)模型的固定參數(shù)的系統(tǒng)，其包含：

處理器，其被配置為接收輸入功率，

其中所述處理器被配置為在匹配網(wǎng)絡(luò)模型被分配固定電感、固定電容和固定電阻時(shí)在所述匹配網(wǎng)絡(luò)模型的輸入端處施加所述輸入功率以計(jì)算在所述匹配網(wǎng)絡(luò)模型的輸出端處的預(yù)測輸出功率，

其中所述處理器被配置為根據(jù)所述預(yù)測輸出功率和所述輸入功率計(jì)算所述阻抗匹配模型的預(yù)測的效率，

其中所述處理器被配置為根據(jù)測得的效率確定所述預(yù)測的效率是否處于預(yù)定限度內(nèi)，以及

其中所述處理器被配置為在根據(jù)所述測得的效率確定所述預(yù)測的效率在所述預(yù)定限度內(nèi)之后，將所述固定電感、所述固定電容和所述固定電阻分配給所述匹配網(wǎng)絡(luò)模型；和

耦合到所述處理器的存儲(chǔ)器裝置，其中所述存儲(chǔ)器裝置被配置為存儲(chǔ)所述匹配網(wǎng)絡(luò)模型。

13.根據(jù)條款12所述的系統(tǒng)，其中當(dāng)所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)連接到網(wǎng)絡(luò)分析器和負(fù)載阻抗設(shè)備時(shí)測量所述測得的效率，其中所述網(wǎng)絡(luò)分析器具有輸入端口和輸出端口，其中所述負(fù)載阻抗設(shè)備和所述網(wǎng)絡(luò)分析器的所述輸入端口的組合阻抗表示等離子體條件。

14.根據(jù)條款12所述的系統(tǒng)，其中所述處理器被配置成在根據(jù)所述測得的效率確定所述預(yù)測的效率不在所述預(yù)定限度內(nèi)時(shí)，修改所述固定電感、或所述固定電容、或所述固定電阻、或它們中的兩者或更多者的組合。

15.根據(jù)條款12所述的系統(tǒng)，

其中當(dāng)網(wǎng)絡(luò)分析器的第一端口連接到所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的所述輸入端時(shí)測量所述測得的效率，

其中所述處理器被配置為當(dāng)所述網(wǎng)絡(luò)分析器的第二端口連接到設(shè)備的輸出端并且當(dāng)所述設(shè)備連接到所述阻抗匹配電路的輸出端時(shí)，從所述網(wǎng)絡(luò)分析器接收s21參數(shù)；

其中所述處理器被配置為計(jì)算所述s21參數(shù)的平方與1和s11參數(shù)的平方之間的差的比率，以確定所述測得的效率。

16.根據(jù)條款12所述的系統(tǒng)，其中當(dāng)所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)被控制為具有預(yù)定的組合可變電容并且網(wǎng)絡(luò)分析器在預(yù)定的射頻下操作時(shí)，測量所述測得的效率，其中所述網(wǎng)絡(luò)分析器連接到所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的所述輸入端。

17.根據(jù)條款12所述的系統(tǒng)，

其中所述處理器被配置為使所述固定電感、或所述固定電容、或所述固定電阻、或它們中的兩者或更多者的組合與所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的特性相關(guān)聯(lián)；

其中所述處理器被配置為在存儲(chǔ)器裝置中存儲(chǔ)所述固定電感、或所述固定電容、或所述固定電阻、或它們中的兩者或更多者的組合與所述特性之間的所述關(guān)聯(lián)；

其中所述處理器被配置為接收所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的所述特性；以及

其中所述處理器被配置為在接收到所述特性時(shí)，初始化所述匹配網(wǎng)絡(luò)模型以具有所述固定電感、或所述固定電容、或所述固定電阻、或它們中的兩者或更多者的組合。

18.根據(jù)條款12所述的系統(tǒng)，其中，為了根據(jù)所述預(yù)測輸出功率和所述輸入功率計(jì)算所述阻抗匹配模型的所述預(yù)測的效率，所述處理器被配置為計(jì)算所述預(yù)測輸出功率和所述輸入功率的比率。

19.一種用于確定匹配網(wǎng)絡(luò)模型的固定參數(shù)的系統(tǒng)，其包括：

射頻(rf)產(chǎn)生器，其被配置為產(chǎn)生rf信號(hào)；

阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，其具有耦合到所述rf產(chǎn)生器的輸入端；

等離子體室，其耦合到所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的輸出端；

耦合到所述rf產(chǎn)生器的主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，其中所述主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)包括處理器和存儲(chǔ)器裝置，其中所述存儲(chǔ)器裝置耦合到所述處理器，

其中所述處理器被配置為接收輸入功率，

其中所述處理器被配置為在匹配網(wǎng)絡(luò)模型被分配固定電感、固定電容和固定電阻時(shí)在所述匹配網(wǎng)絡(luò)模型的輸入端處施加所述輸入功率以計(jì)算所述匹配網(wǎng)絡(luò)模型的輸出端處的預(yù)測輸出功率，

其中所述處理器被配置為根據(jù)所述預(yù)測輸出功率和所述輸入功率計(jì)算所述阻抗匹配模型的預(yù)測的效率，

其中所述處理器被配置為根據(jù)測得的效率確定所述預(yù)測的效率是否處于預(yù)定限度內(nèi)，以及

其中所述處理器被配置為在根據(jù)所述測得的效率確定所述預(yù)測的效率在所述預(yù)定限度內(nèi)之后，將所述固定電感、所述固定電容和所述固定電阻分配給所述匹配網(wǎng)絡(luò)模型，

其中所述存儲(chǔ)器裝置被配置為存儲(chǔ)所述匹配網(wǎng)絡(luò)模型。

20.根據(jù)條款19所述的系統(tǒng)，其中當(dāng)所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)連接到網(wǎng)絡(luò)分析器和負(fù)載阻抗設(shè)備時(shí)測量所述測得的效率，其中所述網(wǎng)絡(luò)分析器具有輸入端口和輸出端口，其中所述負(fù)載阻抗設(shè)備和所述網(wǎng)絡(luò)分析器的輸入端口的組合阻抗表示等離子體條件。

21.根據(jù)條款19所述的系統(tǒng)，其中所述處理器被配置成在根據(jù)所述測得的效率確定所述預(yù)測的效率不在所述預(yù)定限度內(nèi)時(shí)，修改所述固定電感、或所述固定電容、或所述固定電阻、或它們中的兩者或更多者的組合。

22.根據(jù)條款19所述的系統(tǒng)，

其中當(dāng)網(wǎng)絡(luò)分析器的第一端口連接到所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的所述輸入端時(shí)測量所述測得的效率，

其中所述處理器被配置為當(dāng)所述網(wǎng)絡(luò)分析器的第二端口連接到設(shè)備的輸出端并且當(dāng)所述設(shè)備連接到所述阻抗匹配電路的輸出端時(shí)，從所述網(wǎng)絡(luò)分析器接收s21參數(shù)；

其中所述處理器被配置為計(jì)算所述s21參數(shù)的平方與1和s11參數(shù)的平方之間的差的比率，以確定所述測得的效率。

23.根據(jù)條款19所述的系統(tǒng)，其中當(dāng)所述阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)被控制為具有預(yù)定的組合可變電容并且所述網(wǎng)絡(luò)分析器在預(yù)定的射頻下操作時(shí)，計(jì)算所述測得的效率。

結(jié)合附圖，其它方面將從以下的詳細(xì)描述變得顯而易見。

附圖說明

結(jié)合附圖參考下面詳細(xì)描述，本發(fā)明的實(shí)施方式將被更充分地理解，其中：

圖1a是示出確定連接至負(fù)載阻抗設(shè)備1的網(wǎng)絡(luò)分析器的一個(gè)或多個(gè)可變頻率并確定阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的一個(gè)或多個(gè)可變電容以在匹配網(wǎng)絡(luò)模型中使用所述一個(gè)或多個(gè)可變頻率和一個(gè)或多個(gè)可變電容的框圖。

圖1b是示出確定連接至負(fù)載阻抗設(shè)備n的網(wǎng)絡(luò)分析器的一個(gè)或多個(gè)可變頻率并確定阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的一個(gè)或多個(gè)可變電容以在匹配網(wǎng)絡(luò)模型中使用所述一個(gè)或多個(gè)可變頻率和一個(gè)或多個(gè)可變電容的框圖。

圖2a是示出負(fù)載阻抗設(shè)備的多種實(shí)施方式的框圖。

圖2b是曲線圖的一個(gè)實(shí)施方式，其用以示出使用負(fù)載阻抗設(shè)備1至負(fù)載阻抗設(shè)備n實(shí)現(xiàn)多種等離子體條件。

圖3是示出主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施方式的示意圖，其用以說明匹配網(wǎng)絡(luò)模型的固定參數(shù)的確定。

圖4是系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施方式的示意圖，其用以說明阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的測得的效率的確定。

圖5是主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施方式的示意圖，其用以說明基于當(dāng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)連接到負(fù)載阻抗設(shè)備1時(shí)測得的效率和預(yù)測的效率確定固定參數(shù)的值。

圖6是通過使用阻抗和效率來確定固定參數(shù)的方法的一個(gè)實(shí)施方式的流程圖。

圖7是用于說明當(dāng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)連接到負(fù)載阻抗設(shè)備n時(shí)確定阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的測得的效率的系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施方式的示意圖。

圖8是示出由主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)執(zhí)行的用以基于當(dāng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)連接到負(fù)載阻抗設(shè)備n時(shí)的測得的效率和預(yù)測的效率來確定固定參數(shù)的值的方法的示意圖。

圖9是通過使用阻抗和效率來確定固定參數(shù)的方法的一個(gè)實(shí)施方式的流程圖。

圖10是等離子體系統(tǒng)的一個(gè)實(shí)施方式的示意圖，其用以說明等離子體系統(tǒng)內(nèi)的匹配網(wǎng)絡(luò)模型的使用。

圖11是匹配網(wǎng)絡(luò)模型的一個(gè)實(shí)施方式的框圖。

具體實(shí)施方式

下面的實(shí)施方式描述了用于使用一個(gè)或多個(gè)設(shè)備和效率以確定匹配網(wǎng)絡(luò)模型的參數(shù)的系統(tǒng)和方法。明顯的是，這些實(shí)施方式可以在沒有這些具體細(xì)節(jié)的一些或全部的情況下實(shí)施。在其他情況下，公知的處理操作未被詳細(xì)描述，以免不必要地使本發(fā)明的實(shí)施方式不清楚。

在多種實(shí)施方式中，使用網(wǎng)絡(luò)分析器來測量效率，并且使用匹配網(wǎng)絡(luò)模型來預(yù)測效率。確定在測得的效率和預(yù)測的效率之間是否存在一致性。在確定存在一定程度的一致性時(shí)，將確定預(yù)測的效率所依據(jù)的參數(shù)分配給匹配網(wǎng)絡(luò)模型。否則，更改參數(shù)，直到達(dá)成一致。然后將更改的參數(shù)分配給匹配網(wǎng)絡(luò)模型。

圖1a是示出確定連接至負(fù)載阻抗設(shè)備1的網(wǎng)絡(luò)分析器102的一個(gè)或多個(gè)可變頻率和阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的一個(gè)或多個(gè)可變電容以在匹配網(wǎng)絡(luò)模型中使用所述一個(gè)或多個(gè)可變頻率和一個(gè)或多個(gè)可變電容的框圖。在一些實(shí)施方式中，網(wǎng)絡(luò)分析器102是用于測量連接到網(wǎng)絡(luò)分析器102的電氣網(wǎng)絡(luò)的s-參數(shù)的測量裝置。例如，網(wǎng)絡(luò)分析器102測量電氣網(wǎng)絡(luò)的反射參數(shù)和傳輸參數(shù)，例如，阻抗、反射系數(shù)、電壓的駐波比等。

在一些實(shí)施方式中，這里使用的網(wǎng)絡(luò)分析器102包含信號(hào)產(chǎn)生器、一個(gè)或多個(gè)傳感器和顯示屏。所述信號(hào)產(chǎn)生器產(chǎn)生射頻(rf)信號(hào)，所述一個(gè)或多個(gè)傳感器感測s-參數(shù)，所述顯示屏顯示s-參數(shù)。

網(wǎng)絡(luò)分析器102在其輸出端113經(jīng)由rf電纜104連接至負(fù)載阻抗設(shè)備1的輸入端1111。負(fù)載阻抗設(shè)備1具有表示等離子體狀態(tài)的阻抗，例如等離子體室內(nèi)的阻抗等。網(wǎng)絡(luò)分析器102產(chǎn)生具有頻率f11的rf信號(hào)，并經(jīng)由輸出端113、rf電纜104和輸入端1111提供rf信號(hào)到負(fù)載阻抗設(shè)備1。當(dāng)具有頻率f11的rf信號(hào)被提供給負(fù)載阻抗設(shè)備1時(shí)，在負(fù)載阻抗設(shè)備1的輸入端1111測量負(fù)載阻抗zo1m。

網(wǎng)絡(luò)分析器102與負(fù)載阻抗設(shè)備1斷開，然后在其輸出端113經(jīng)由射頻(rf)電纜106連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的分支電路的輸入端107。例如，在晶片的處理期間分支電路將被連接到x兆赫(mhz)rf產(chǎn)生器或ymhzrf產(chǎn)生器或zmhzrf產(chǎn)生器。如果使用多個(gè)rf產(chǎn)生器，則分支電路是多個(gè)分支電路之一。例如，當(dāng)使用xmhzrf產(chǎn)生器和ymhzrf產(chǎn)生器時(shí)，在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1中實(shí)現(xiàn)兩個(gè)分支電路。兩個(gè)分支電路中的一個(gè)的輸入端連接到xmhzrf產(chǎn)生器的輸出端，兩個(gè)分支電路中的另一個(gè)的輸入端連接到y(tǒng)mhzrf產(chǎn)生器的輸出端。兩個(gè)分支電路的輸出端相互連接，并且被連接到rf傳輸線或連接到負(fù)載阻抗設(shè)備。在一些實(shí)施方式中，xmhzrf產(chǎn)生器的實(shí)施例包含2mhzrf產(chǎn)生器，ymhzrf產(chǎn)生器的實(shí)施例包含27mhzrf產(chǎn)生器，zmhzrf產(chǎn)生器的實(shí)施例包含60mhzrf產(chǎn)生器。在多種實(shí)施方式中，xmhzrf產(chǎn)生器的實(shí)施例包含400千赫茲(khz)rf產(chǎn)生器，ymhzrf產(chǎn)生器的實(shí)施例包含27mhzrf產(chǎn)生器，zmhzrf產(chǎn)生器的實(shí)施例包含60mhzrf產(chǎn)生器。

阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的每個(gè)分支電路包含一個(gè)或多個(gè)電感器，或一個(gè)或多個(gè)電容器，或一個(gè)或多個(gè)電阻器，或它們的組合。例如，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的分支電路包含串聯(lián)電路，所述串聯(lián)電路包含與電容器串聯(lián)耦合的電感器。阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的分支電路還包含連接到所述串聯(lián)電路的并聯(lián)電路。并聯(lián)電路包含與電感器串聯(lián)連接的電容器。阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的分支電路包含一個(gè)或多個(gè)電容器，并且在晶片的處理期間，一個(gè)或多個(gè)電容器的相應(yīng)的電容是可變的，例如，使用驅(qū)動(dòng)組件進(jìn)行變化，等等。例如，主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的處理器發(fā)送信號(hào)到驅(qū)動(dòng)組件以改變阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的可變電容器的一個(gè)或兩個(gè)板之間的位置，以改變兩個(gè)板之間的區(qū)域，從而進(jìn)一步改變可變電容器的電容來實(shí)現(xiàn)電容值。阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的一個(gè)或多個(gè)可變電容器的組合可變電容被設(shè)置為值c11。例如，調(diào)整一個(gè)或多個(gè)可變電容器的相應(yīng)的相對(duì)定位的板的位置以設(shè)置可變電容值c11。為了說明，彼此并聯(lián)連接的兩個(gè)或更多個(gè)電容器的組合電容值是電容器的電容值的總和。作為另一個(gè)說明，彼此串聯(lián)連接的兩個(gè)或更多個(gè)電容器的組合電容值是電容器的電容值的倒數(shù)的總和的倒數(shù)。作為又一例解，主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的處理器控制進(jìn)一步描述如下的驅(qū)動(dòng)組件，以移動(dòng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的可變電容器的板，從而實(shí)現(xiàn)電容c11。在具有申請(qǐng)no.14/716,797的專利申請(qǐng)中提供了阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的示例。

阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1還在其輸出端109(其是分支電路的輸出端)經(jīng)由rf電纜108連接到負(fù)載阻抗設(shè)備1的輸入端1111。分支電路在輸入端107連接到輸出端113。此外，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的組合可變電容被設(shè)置為值c11。負(fù)載阻抗設(shè)備1具有表示等離子體條件的阻抗，例如，等離子體室內(nèi)的阻抗等。網(wǎng)絡(luò)分析器102產(chǎn)生具有頻率f11的rf信號(hào)，并經(jīng)由輸出端113、rf電纜106和輸入端107提供rf信號(hào)到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1。阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1使連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的負(fù)載的阻抗與連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的源的阻抗匹配，以產(chǎn)生修改的信號(hào)，其是rf信號(hào)。負(fù)載的實(shí)施例包含負(fù)載阻抗設(shè)備1和rf電纜108，而源的實(shí)施例包含網(wǎng)絡(luò)分析器102和rf電纜106。修改的信號(hào)從阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1經(jīng)由輸出端109和輸入端1111提供給負(fù)載阻抗設(shè)備1。當(dāng)rf信號(hào)由網(wǎng)絡(luò)分析器102經(jīng)由rf電纜106提供到具有組合可變電容c11的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1時(shí)，通過網(wǎng)絡(luò)分析器102測量在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸入端107的輸入阻抗zi1m。如本文所用的阻抗是復(fù)數(shù)值。例如，阻抗z是復(fù)值r+jx，其中r是電阻，x為電抗，j為復(fù)數(shù)。

網(wǎng)絡(luò)分析器102經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)電纜110連接到主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112，主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112包含處理器和存儲(chǔ)器裝置。主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的實(shí)施例包含筆記本電腦或臺(tái)式計(jì)算機(jī)、或平板電腦、或智能電話等。如本文所用的，使用中央處理單元(cpu)、控制器、專用集成電路(asic)或可編程邏輯器件(pld)來代替處理器，并且這些術(shù)語在本文中可互換使用。存儲(chǔ)器裝置的實(shí)施例包含只讀存儲(chǔ)器(rom)、隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(ram)、硬盤、易失性存儲(chǔ)器、非易失性存儲(chǔ)器、存儲(chǔ)磁盤的冗余陣列、閃存存儲(chǔ)器等。如本文中所使用的，網(wǎng)絡(luò)電纜的實(shí)施例是用于以串行方式、或者以并行的方式，或使用通用串行總線(usb)協(xié)議等傳輸數(shù)據(jù)的電纜。

主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的處理器經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)電纜110接收來自網(wǎng)絡(luò)分析器102的測得的輸入阻抗zi1m。在方法130的操作132中，處理器確定所測得的輸入阻抗zi1m是否在預(yù)定的阻抗的預(yù)定的閾值內(nèi)，例如，50歐姆，55歐姆，60歐姆，介于45和50歐姆之間的阻抗，等。在一些實(shí)施方式中，預(yù)定的閾值和預(yù)定的阻抗從用戶經(jīng)由輸入設(shè)備通過處理器接收為輸入(其進(jìn)一步如下所述)，并且通過處理器存儲(chǔ)在主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的存儲(chǔ)器裝置中。在一些實(shí)施方式中，在輸入阻抗(例如，zi1m等)由網(wǎng)絡(luò)分析器102測量的時(shí)間之前，預(yù)定的閾值和預(yù)定的阻抗通過處理器接收。在確定所測得的輸入阻抗zi1m在預(yù)定的阻抗的預(yù)定的閾值內(nèi)時(shí)，在方法130的操作134中，處理器將頻率f11和可變電容c11存儲(chǔ)在主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的存儲(chǔ)器裝置中。

另一方面，在確定所測得的輸入阻抗zi1m不在預(yù)定的阻抗的預(yù)定的閾值內(nèi)時(shí)，在方法130的操作136中，處理器確定分配預(yù)定的權(quán)數(shù)給頻率f11以及分配預(yù)定的權(quán)數(shù)給可變電容c11。例如，處理器將預(yù)定的權(quán)數(shù)分配給頻率f11以產(chǎn)生加權(quán)頻率fw11，并且處理器將預(yù)定的權(quán)數(shù)分配給可變電容c11以產(chǎn)生加權(quán)電容cw11，加權(quán)頻率fw11與另一加權(quán)頻率fww11的總和sf1以及加權(quán)電容cw11與另一加權(quán)電容cww11的總和sc1由下面的處理器產(chǎn)生和使用。相比于另一電容co11，較小量的權(quán)數(shù)被分配給電容c11，并且相比于另一頻率fo11，較小量的權(quán)數(shù)被分配給頻率f11。通過分配權(quán)數(shù)到另一電容co11，由處理器產(chǎn)生另一加權(quán)電容cww11，通過分配權(quán)數(shù)到另一頻率fo11，由處理器產(chǎn)生另一加權(quán)頻率fww11。另一頻率fo11與另一加權(quán)電容co11導(dǎo)致在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸入端107的測得的阻抗在預(yù)定的阻抗的閾值內(nèi)。舉另一示例而言，將權(quán)數(shù)0分配給可變電容c11，且將權(quán)數(shù)0分配給頻率f11。舉又一示例而言，可變電容c11和頻率f11不存儲(chǔ)在主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的存儲(chǔ)器裝置中以供以后使用。

一旦分配預(yù)定的權(quán)數(shù)給頻率f11以及分配預(yù)定的權(quán)數(shù)給可變電容c11，則執(zhí)行方法130的操作138。例如，由網(wǎng)絡(luò)分析器102產(chǎn)生的rf信號(hào)的頻率被改變(例如，從f11改變至f12，從f12改變至f13，等)，和/或阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的可變組合電容被改變(例如，從c11改變至c12，從c12改變至c13，等)，使得在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸入端107測得的輸入阻抗zi1qm在預(yù)定的阻抗的預(yù)定的閾值之內(nèi)，其中q是大于零的整數(shù)。例如，網(wǎng)絡(luò)分析器1將rf信號(hào)的頻率從f11改變?yōu)閒12，而可變電容c11不被改變。由網(wǎng)絡(luò)分析器102測得的輸入阻抗zi1qm在預(yù)定的阻抗的預(yù)定的閾值之內(nèi)。處理器將頻率f12和可變電容c11存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器裝置內(nèi)。舉另一示例而言，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的可變電容c11從c11改變?yōu)閏12。例如，驅(qū)動(dòng)組件控制阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的可變電容器的板，以改變可變電容器的可變電容，使得阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的所有的可變電容器的組合可變電容為c12。當(dāng)網(wǎng)絡(luò)分析器提供具有頻率f11的rf信號(hào)給阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1時(shí)，網(wǎng)絡(luò)分析器測量在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸入端107的阻抗zi1qm，且處理器確定阻抗zi1qm在預(yù)定的阻抗的預(yù)定的閾值之內(nèi)。頻率f11和可變電容c12被存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器裝置中。以這種方式，計(jì)算多個(gè)頻率f1n和多個(gè)電容c1n并將它們存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器裝置中，其中n是大于零的整數(shù)，使得阻抗zi1qm在預(yù)定的閾值內(nèi)。

圖1b是示出確定被連接到負(fù)載阻抗設(shè)備n的網(wǎng)絡(luò)分析器102的一個(gè)或多個(gè)可變頻率和阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的一個(gè)或多個(gè)可變電容以在匹配網(wǎng)絡(luò)模型中使用一個(gè)或多個(gè)可變頻率和一個(gè)或多個(gè)可變電容的框圖，其中n是大于1的整數(shù)。網(wǎng)絡(luò)分析器102與負(fù)載阻抗設(shè)備1斷開，并且在其輸出端113經(jīng)由rf電纜104連接到負(fù)載阻抗設(shè)備n的輸入端111n。負(fù)載阻抗設(shè)備n具有表示等離子體條件的阻抗，且所述等離子體條件與由負(fù)載阻抗設(shè)備1表示的等離子體條件不同。例如，負(fù)載阻抗設(shè)備n的阻抗不同于負(fù)載阻抗設(shè)備1的阻抗。網(wǎng)絡(luò)分析器102產(chǎn)生具有頻率fn1的rf信號(hào)，并經(jīng)由輸出端113、rf電纜104和輸入端111n提供rf信號(hào)到負(fù)載阻抗設(shè)備n。當(dāng)rf信號(hào)被提供給負(fù)載阻抗設(shè)備n時(shí)，在負(fù)載阻抗設(shè)備n的輸入端111n測量負(fù)載阻抗zonm。

應(yīng)當(dāng)注意的是，值z(mì)o1m和zonm不是恒定值。例如，值z(mì)o1m隨著負(fù)載阻抗設(shè)備1的操作的rf頻率的變化而變化，而值z(mì)onm隨著負(fù)載阻抗設(shè)備n的操作的rf頻率的變化而變化。

網(wǎng)絡(luò)分析器102與負(fù)載阻抗設(shè)備1斷開，并經(jīng)由rf電纜106連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的分支電路的輸入端107，分支電路的輸出端109經(jīng)由rf電纜108被連接到負(fù)載阻抗設(shè)備n的輸入端111n。負(fù)載阻抗設(shè)備n具有表示等離子體條件的阻抗，所述等離子體條件不同于由負(fù)載阻抗設(shè)備1表示的等離子體條件。例如，負(fù)載阻抗設(shè)備n的阻抗不同于負(fù)載阻抗設(shè)備1的阻抗。

阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的一個(gè)或多個(gè)可變電容器的組合可變電容經(jīng)由驅(qū)動(dòng)組件調(diào)節(jié)，以達(dá)到值cn1。網(wǎng)絡(luò)分析器102產(chǎn)生具有頻率fn1的rf信號(hào)，并經(jīng)由輸出端113和輸入端107將rf信號(hào)經(jīng)由rf電纜106提供至阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1。阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1使連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的負(fù)載的阻抗與連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的源的阻抗匹配，以產(chǎn)生經(jīng)修改的信號(hào)，該信號(hào)是rf信號(hào)。負(fù)載的實(shí)施例包含負(fù)載阻抗設(shè)備n和rf電纜108，源的實(shí)施例包含網(wǎng)絡(luò)分析器102和rf電纜106。經(jīng)修改的信號(hào)從阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1經(jīng)由輸出端109、rf電纜108與輸入端111n提供到負(fù)載阻抗設(shè)備n。當(dāng)具有頻率fn1的rf信號(hào)通過網(wǎng)絡(luò)分析器102經(jīng)由rf電纜106提供到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的分支電路并且阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的組合可變電容是cn1時(shí)，在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸入端107測量輸入阻抗zinm。

主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的處理器經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)電纜110接收來自網(wǎng)絡(luò)分析器102的測得的輸入阻抗zinm。在方法150的操作152中，處理器確定測得的輸入阻抗zinm是否在預(yù)定的阻抗的預(yù)定的閾值之內(nèi)。在確定所測得的輸入阻抗zinm在預(yù)定的阻抗的預(yù)定的閾值內(nèi)時(shí)，在方法150的操作154中，處理器將頻率fn1和可變電容cn1存儲(chǔ)在主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器裝置中。

另一方面，在確定所測得的輸入阻抗zinm不在預(yù)定的阻抗的預(yù)定的閾值之內(nèi)時(shí)，則在方法150的操作156中，處理器分配預(yù)定的權(quán)數(shù)給頻率fn1以及分配預(yù)定的權(quán)數(shù)給可變電容cn1。例如，處理器分配預(yù)定的權(quán)數(shù)給頻率fn1以產(chǎn)生加權(quán)頻率fwn1，且將預(yù)定的權(quán)數(shù)分配給可變電容cn1以產(chǎn)生加權(quán)電容cwn1，加權(quán)頻率fwn1與另一加權(quán)頻率fwwn1的總和sfn以及加權(quán)電容cwn1與另一加權(quán)電容cwwn1的總和scn由下面的處理器產(chǎn)生和使用。相比于另一電容con1，較小量的權(quán)數(shù)被分配給電容cn1，相比于另一頻率fon1，較小量的權(quán)數(shù)被分配給頻率fn1。由處理器通過分配權(quán)數(shù)到另一電容con1而產(chǎn)生另一加權(quán)電容cwwn1，由處理器通過分配權(quán)數(shù)到另一頻率fon1而產(chǎn)生另一加權(quán)頻率fwwn1。另一頻率fon1與另一加權(quán)電容con1導(dǎo)致在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸入端107測得的阻抗在預(yù)定的阻抗的閾值之內(nèi)。舉另一示例而言，將權(quán)數(shù)0分配給可變電容cn1，將權(quán)數(shù)0分配給頻率fn1。舉又一示例而言，可變電容cn1和頻率fn1不存儲(chǔ)在主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的存儲(chǔ)器裝置中以供以后使用。

一旦分配預(yù)定的權(quán)數(shù)給頻率fn1以及分配預(yù)定的權(quán)數(shù)給可變電容cn1，就執(zhí)行方法150的操作158。例如，由網(wǎng)絡(luò)分析器102產(chǎn)生的rf信號(hào)的頻率被改變(例如，從fn1改變到fn2，從fn2改變至fn3，等)，和/或阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的可變組合電容被改變(例如，從cn1改變至cn2，從cn2改變至cn3，等)，使得在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸入端107測得的輸入阻抗zinqm在預(yù)定的阻抗的預(yù)定的閾值之內(nèi)。例如，網(wǎng)絡(luò)分析器1將rf信號(hào)的頻率從fn1改變至fn2，而可變電容cn1不被改變。由網(wǎng)絡(luò)分析器102測得的輸入阻抗zinqm在預(yù)定的阻抗的預(yù)定閾值之內(nèi)。處理器將頻率fn2和可變電容cn1存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器裝置內(nèi)。舉另一示例而言，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的可變電容cn1從cn1改變?yōu)閏n2。例如，驅(qū)動(dòng)組件控制阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的可變電容器的板，以改變可變電容器的可變電容，使得阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的所有的可變電容器的組合可變電容為cn2。當(dāng)網(wǎng)絡(luò)分析器102提供具有頻率fn1的rf信號(hào)給阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1時(shí)，網(wǎng)絡(luò)分析器102測量在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸入端107的阻抗zinqm，且處理器確定阻抗zinqm在預(yù)定的阻抗的預(yù)定的閾值之內(nèi)。頻率fn1和可變電容cn2被存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器裝置中。以這種方式，計(jì)算多個(gè)頻率fnn和多個(gè)電容cnn并將它們存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器裝置中，使得阻抗zinqm在預(yù)定的閾值之內(nèi)。

在一些實(shí)施方式中，任何數(shù)量(例如，10，15，20，100，200，300，1000，10000，100000，1000000個(gè)等)的負(fù)載阻抗設(shè)備，例如，n等，用于確定網(wǎng)絡(luò)分析器102的頻率和阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的可變電容，使得在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的分支電路的輸入端107的阻抗在預(yù)定的阻抗的預(yù)定閾值內(nèi)。每個(gè)負(fù)載阻抗設(shè)備n模擬等離子體室中的等離子體的不同的等離子體條件。

應(yīng)該注意的是，在一些實(shí)施方式中，當(dāng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1連接到在這里所描述的網(wǎng)絡(luò)分析器102時(shí)，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1不連接到等離子體室，該等離子體室在下面進(jìn)一步描述。此外，在多種實(shí)施方式中，當(dāng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1連接到在這里所描述的網(wǎng)絡(luò)分析器102時(shí)，在等離子體處理室中不進(jìn)行晶片的處理。這節(jié)省了使用等離子體處理室的工具運(yùn)行的時(shí)間。

圖2a是示出負(fù)載阻抗設(shè)備的多種實(shí)施方式的示意圖。負(fù)載阻抗設(shè)備1包含：具有長度l1的電纜cb1、電阻器r1、電感器l1以及電容器c1。電阻器r1具有電阻r1，電容器c1具有電容c1，而電感器l1具有電感l(wèi)1。在一些實(shí)施方式中，負(fù)載阻抗設(shè)備1包含電纜cb1、電阻器r1、電感器l1和電容器c1中的至少一個(gè)。例如，負(fù)載阻抗設(shè)備1包含電纜cb1但不包含電阻器r1、電感器l1、電容器c1。舉另一示例而言，負(fù)載阻抗設(shè)備1包含電感器l1和電容器c1，但不包含電纜cb1和電阻器r1。

負(fù)載阻抗設(shè)備n包含：具有長度ln的電纜cbn、電阻器rn、電感器ln和電容器cn。電阻器rn具有電阻rn，電容器cn具有電容cn，電感器ln具有電感l(wèi)n。在一些實(shí)施方式中，負(fù)載阻抗設(shè)備n包含電纜cbn、電阻器rn、電感器ln和電容器cn中的至少一個(gè)。例如，負(fù)載阻抗設(shè)備n包含電纜cbn但不包含電阻器rn、電感器ln、電容器cn。舉另一示例而言，負(fù)載阻抗設(shè)備n包含電感器ln與電容器cn，但不包含電纜cbn和電阻器rn。舉又一示例而言，負(fù)載阻抗設(shè)備n包含電感l(wèi)n，但不包含電容器cn、電纜cbn和電阻器rn。

應(yīng)當(dāng)注意的是，負(fù)載阻抗設(shè)備n包含電纜長度ln、電阻rn、電容cn和電感l(wèi)n中的至少一個(gè)，該至少一個(gè)與負(fù)載阻抗設(shè)備1的電纜長度l1、電阻r1、電容c1和電感l(wèi)1中的相應(yīng)的一個(gè)不同。例如，電阻r1與電阻rn相同，電容c1與電容cn相同，電感l(wèi)1與電感l(wèi)n相同，而電纜長度l1與電纜長度ln不同。舉另一示例而言，電阻r1與電阻rn相同，電容c1與電容cn相同，電纜長度l1與電纜長度ln不同，且電感l(wèi)1與電感l(wèi)n不相同。舉又一示例而言，負(fù)載阻抗設(shè)備1不包含電阻器r1，而負(fù)載阻抗設(shè)備n包含電阻rn。舉又一示例而言，負(fù)載阻抗設(shè)備1不包含電纜cb1，而負(fù)載阻抗設(shè)備n包含電纜cbn。舉另一示例而言，電阻r1與電阻rn相同，電容c1與電容cn不相同，電纜長度l1與電纜長度ln相同，電感l(wèi)1與電感l(wèi)n不相同。

在一些實(shí)施方式中，等離子體條件使用伽馬(γ)或功率反射比表示，而不使用阻抗表示。γ是電壓反射系數(shù)，其是反射電壓與供給電壓的比率。反射電壓具有與供給電壓相關(guān)的幅值和相位，因此γ是復(fù)數(shù)。當(dāng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1經(jīng)由rf電纜連接到rf產(chǎn)生器并經(jīng)由rf傳輸線連接到等離子體室時(shí)，反射電壓是從等離子體室朝向rf產(chǎn)生器反射的電壓，而供給電壓是從rf產(chǎn)生器供給到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的電壓。功率反射比是γ的平方。應(yīng)當(dāng)注意，對(duì)于連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸入的50歐姆rf電纜，在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸入處的γ與在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸入處的阻抗之間存在一一對(duì)應(yīng)的關(guān)系，所以在給定情況下，無論使用阻抗還是使用γ都是方便的事情。

在一些實(shí)施方式中，在多個(gè)負(fù)載阻抗設(shè)備1-n內(nèi)使用的電阻器的值在介于0.4歐姆和2歐姆之間的范圍內(nèi)。應(yīng)該注意，0.4和2歐姆之間的范圍是用于60mhz的頻率的。當(dāng)使用2mhz或27mhz頻率時(shí)，范圍改變。在多種實(shí)施方式中，在負(fù)載阻抗設(shè)備1或負(fù)載阻抗設(shè)備n中所使用的同軸電纜是50歐姆電纜。

圖2b是曲線圖250的一個(gè)實(shí)施方式，其用以示出使用負(fù)載阻抗設(shè)備1至負(fù)載阻抗設(shè)備n實(shí)現(xiàn)多種等離子體條件。曲線圖250描繪了反射系數(shù)(由γ表示)在x軸上的實(shí)部，以及在y軸上的虛部。圖250中的頂線252被擬合到當(dāng)網(wǎng)絡(luò)分析器102耦合到具有可變長度的同軸電纜的負(fù)載阻抗設(shè)備1至n和具有第一值的電阻器時(shí)針對(duì)可變電容c1和由網(wǎng)絡(luò)分析器102產(chǎn)生的rf信號(hào)的不同頻率由網(wǎng)絡(luò)分析器102測量的點(diǎn)。此外，在圖250中的底線254被擬合到當(dāng)網(wǎng)絡(luò)分析器102耦合到具有可變長度的同軸電纜的負(fù)載阻抗設(shè)備1至n和具有第二值的電阻器時(shí)針對(duì)可變電容cn和由網(wǎng)絡(luò)分析器102產(chǎn)生的rf信號(hào)的不同頻率由網(wǎng)絡(luò)分析器102測量的點(diǎn)。當(dāng)網(wǎng)絡(luò)分析器102耦合到負(fù)載阻抗設(shè)備1至n時(shí)針對(duì)可變電容c1和可變電容cn之間的可變電容以及針對(duì)通過網(wǎng)絡(luò)分析器102產(chǎn)生的rf信號(hào)的不同頻率，頂線252和底線254之間的所有點(diǎn)都通過網(wǎng)絡(luò)分析器102測量。

圖3是示出主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的一個(gè)實(shí)施方式的示意圖，其用以說明匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的參數(shù)的確定。匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的實(shí)施例在下面參照?qǐng)D5說明。匹配網(wǎng)絡(luò)模型302包含多個(gè)模型1至p，其中p是大于零的整數(shù)。模型1包含固定的串聯(lián)電阻器r1s、固定的串聯(lián)電感器l1s和固定的串聯(lián)電容器c1s。模型1還包含固定的并聯(lián)電阻器r1p、固定的并聯(lián)電感器l1p和固定的并聯(lián)電容器c1p。此外，模型2包含固定的串聯(lián)電阻器r2s、固定的串聯(lián)電感器l2s和固定的串聯(lián)電容器c2s。模型2還包含固定的并聯(lián)電阻器r2p、固定的并聯(lián)電感器l2p和固定的并聯(lián)電容器c2p。此外，模型3包含固定的串聯(lián)電阻器r3s、固定的串聯(lián)電感器l3s和固定的串聯(lián)電容器c3s。模型3還包含固定的并聯(lián)電阻器r3p、固定的并聯(lián)電感器l3p和固定的并聯(lián)電容器c3p。匹配網(wǎng)絡(luò)模型302是阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的一部分的計(jì)算機(jī)產(chǎn)生模型。例如，匹配網(wǎng)絡(luò)模型302是連接至xmhzrf產(chǎn)生器，或連接至ymhzrf產(chǎn)生器，或連接至zmhzrf產(chǎn)生器的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的分支電路的計(jì)算機(jī)產(chǎn)生模型。匹配網(wǎng)絡(luò)模型302由主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的處理器產(chǎn)生。

匹配網(wǎng)絡(luò)模型302從作為阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的一部分的分支電路導(dǎo)出(例如，代表該分支電路等)。例如，當(dāng)xmhzrf產(chǎn)生器被連接到作為阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的一部分的分支電路時(shí)，匹配網(wǎng)絡(luò)模型302表示，例如，屬于阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的電路的計(jì)算機(jī)產(chǎn)生模型等。舉另一示例而言，匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的電路元件的數(shù)量不同于阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的電路元件的數(shù)量。與阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的分支電路的電路元件的數(shù)量相比，匹配網(wǎng)絡(luò)模型302具有較小數(shù)量的電路元件。

在一些實(shí)施方式中，匹配網(wǎng)絡(luò)模型302是阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的部分的簡化形式。例如，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的分支電路的多個(gè)可變電容器的可變電容被組合成由阻抗匹配模型的一個(gè)或多個(gè)可變電容元件表示的組合可變電容，和/或阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的分支電路的多個(gè)固定電感器的固定電感被組合成由阻抗匹配模型的一個(gè)或多個(gè)固定電感元件表示的組合固定電感，和/或阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的分支電路的多個(gè)固定電阻器的固定電阻被組合成由匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的一個(gè)或多個(gè)固定電阻元件表示的組合固定電阻。為了說明，串聯(lián)的電容器的電容通過下列方式組合：求每個(gè)電容的倒數(shù)以產(chǎn)生多個(gè)電容的倒數(shù)，將這些電容的倒數(shù)求和，以產(chǎn)生組合電容的倒數(shù)，并通過求所述組合電容的倒數(shù)的倒數(shù)，以產(chǎn)生組合電容。作為另一個(gè)例證，將多個(gè)被串聯(lián)連接的電感器的電感相加，以產(chǎn)生組合電感，將多個(gè)串聯(lián)的電阻器的電阻組合以產(chǎn)生組合電阻。阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的一部分的所有固定電容器的所有固定電容被組合成匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的一個(gè)或多個(gè)固定的電容元件的組合的固定電容。匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的其他示例在申請(qǐng)?zhí)枮?4/716,797的專利申請(qǐng)和申請(qǐng)?zhí)枮?4/245,803的專利申請(qǐng)中提供。此外，在申請(qǐng)?zhí)枮?4/245,803的專利申請(qǐng)中描述了一種從阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)產(chǎn)生匹配網(wǎng)絡(luò)模型的方式。

應(yīng)當(dāng)指出的是，在一些實(shí)施方式中，固定的參數(shù)(例如，電阻、電容、電感等)是不變量。例如，在處理晶片時(shí)固定參數(shù)不能使用驅(qū)動(dòng)組件進(jìn)行改變。相比之下，可變參數(shù)的值在晶片的處理期間被修改。

在多種實(shí)施方式中，匹配網(wǎng)絡(luò)模型302具有與阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的一部分相同的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)(例如，電路元件之間的連接、電路元件的數(shù)量等)。例如，如果阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的分支電路包含與電感器串聯(lián)耦合的電容器，則匹配網(wǎng)絡(luò)模型302包含與電感器串聯(lián)耦合的電容器。在本實(shí)施例中，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的分支電路的電感器與匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的電感器具有相同的值，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的分支電路的電容器與匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的電容器具有相同的值。舉另一示例而言，如果阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的一部分包含與電感器并聯(lián)耦合的電容器，則匹配網(wǎng)絡(luò)模型302包含與電感器并聯(lián)耦合的電容器。在本實(shí)施例中，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的分支電路的電感器與匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的電感器具有相同的值，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的分支電路的電容器與匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的電容器具有相同的值。舉另一示例而言，匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的電路元件與阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的電路元件具有相同的數(shù)量和相同的類型，并且在電路元件之間的連接與阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的電路元件之間的連接具有相同的類型。電路元件的類型的例子包含電阻器、電感器、電容器，連接的類型包含串聯(lián)、并聯(lián)等。

方法303由主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的處理器來執(zhí)行。處理器經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)電纜從網(wǎng)絡(luò)分析器112接收測得的負(fù)載阻抗zo1m和測得的負(fù)載阻抗zonm。處理器初始化匹配網(wǎng)絡(luò)模型302以使其具有參數(shù)，該參數(shù)包含頻率f11、組合可變電容c11、固定電感l(wèi)1s、l1p、l2s、l2p、固定電阻r1s、r1p、r2s、r2p和固定電容c1s、c1p、c2s、c2p。為了說明圖3，使用具有模型1和2而不具有任何其余模型3至p的匹配網(wǎng)絡(luò)模型302。在一些實(shí)施方式中，匹配網(wǎng)絡(luò)模型302被初始化為具有總和sc1，而不是具有組合可變電容c11，匹配網(wǎng)絡(luò)模型302被初始化為具有總和sf1，而不是具有頻率f11。

舉例而言，在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1具有以下情況時(shí)，應(yīng)用到匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的參數(shù)c11和f11模擬阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1：阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1在網(wǎng)絡(luò)分析器102被連接到負(fù)載阻抗設(shè)備1之后通過網(wǎng)絡(luò)分析器102供給具有頻率f11的rf信號(hào)，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1有具有c11的組合可變電容的一個(gè)或多個(gè)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的電容器、有具有c1s的組合固定電容的一個(gè)或多個(gè)固定電容器、有具有c2s的組合固定電容的一個(gè)或多個(gè)電容器、有具有c1p的組合固定電容的一個(gè)或多個(gè)電容器、有具有c2p的組合固定電容的一個(gè)或多個(gè)固定電容器、有具有r1s的組合固定電阻的一個(gè)或多個(gè)固定電阻器、有具有r2s的組合固定電阻的一個(gè)或多個(gè)固定電阻器、有具有r1p的組合固定電阻的一個(gè)或多個(gè)固定電阻器、有具有r2p的組合固定電阻的一個(gè)或多個(gè)固定電阻器、有具有l(wèi)1s的組合固定電感的一個(gè)或多個(gè)固定的電感器、有具有l(wèi)2s的組合固定電感的一個(gè)或多個(gè)固定電感器、有具有l(wèi)1p的組合固定電感的一個(gè)或多個(gè)固定電感器、以及有具有l(wèi)2p的組合固定電感的一個(gè)或多個(gè)固定的電感器。

在一些實(shí)施方式中，匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的許多元件的固定參數(shù)值是零或者匹配網(wǎng)絡(luò)模型302對(duì)元件的固定的參數(shù)值不敏感。例如，匹配網(wǎng)絡(luò)模型302對(duì)其不敏感的固定元件的值中的大的變化在匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的阻抗中不產(chǎn)生大的變化。

在一些實(shí)施方式中，固定元件(例如電感器、電阻器、電容器等)具有不改變的固定的參數(shù)值(例如使用馬達(dá)等)。

通過經(jīng)由匹配網(wǎng)絡(luò)模型302往回傳導(dǎo)測得的負(fù)載阻抗zo1m，根據(jù)測得的負(fù)載阻抗zo1m和參數(shù)f11、c11、l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p，處理器計(jì)算預(yù)測的輸入阻抗zi1p，該輸入阻抗zi1p是在匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的輸入端的阻抗。例如，處理器根據(jù)頻率f11和根據(jù)電容c11計(jì)算具有可變電容c11的一個(gè)或多個(gè)電容元件的阻抗zc11，根據(jù)頻率f11和根據(jù)電感l(wèi)1s計(jì)算電感器l1s的阻抗zl11s，根據(jù)頻率f11和根據(jù)電感l(wèi)2s計(jì)算電感器l2s的阻抗zl21s，根據(jù)頻率f11和根據(jù)電感l(wèi)1p計(jì)算電感器l1p的阻抗zl11p，根據(jù)頻率f11和根據(jù)電感l(wèi)2p計(jì)算電感器l2p的阻抗zl21p，根據(jù)頻率f11和根據(jù)電容c1s計(jì)算電容器c1s的阻抗zc11s，根據(jù)頻率f11和根據(jù)電容c2s計(jì)算電容器c2s的阻抗zc21s，根據(jù)頻率f11和根據(jù)電容c1p計(jì)算電容器c1p的阻抗zc11p，根據(jù)頻率f11和根據(jù)電容c2p計(jì)算電容器c2p的阻抗zc21p，計(jì)算阻抗zr1s作為電阻器r1s的電阻r1s，計(jì)算阻抗zr2s作為電阻器r2s的電阻r2s，計(jì)算阻抗zr1p作為電阻器r1p的電阻r1p，計(jì)算阻抗zr2p作為電阻器r2p的電阻r2p。為了說明，處理器計(jì)算電容器的阻抗作為(1/jωc)，并且計(jì)算電感器的阻抗作為jωl，其中ω等于2πf11。處理器通過將阻抗zc11、zc11s、zc21s、zc11p、zc21p、zl11s、zl21s、zl11p、zl21p、zr1s、zr2s、zr1p和zr2p與所測量的負(fù)載阻抗zo1m組合(例如求和、減、產(chǎn)生定向和等)，計(jì)算所預(yù)測的輸入阻抗zi1p。例如，當(dāng)匹配網(wǎng)絡(luò)模型302包含模型1而不包含模型2至p時(shí)，阻抗zc11p、zl11p和zr1p的定向和是阻抗zc11p、zl11p和zr1p的和。在這個(gè)例子中，阻抗的和被加到阻抗zr1s、zl11s和zc11s的和以產(chǎn)生阻抗zc11p、zl11p、zr1p、zr1s、zl11s和zc11s的定向和。

類似地，根據(jù)應(yīng)用在輸出端304的所測得的負(fù)載阻抗zonm和匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的參數(shù)，通過經(jīng)由匹配網(wǎng)絡(luò)模型302往回傳導(dǎo)所測得的負(fù)載阻抗zonm，處理器計(jì)算在匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的輸入端306的預(yù)測的輸入阻抗zinp。例如，處理器將匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的參數(shù)從f11改變?yōu)閒n1、從c11改變?yōu)閏n1，但保留固定的參數(shù)不改變，所述固定的參數(shù)例如l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p。在使用加權(quán)電容和加權(quán)頻率的實(shí)施方式中，處理器將匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的參數(shù)從sf1改變?yōu)閟fn以及從sc1改變?yōu)閟cn。

當(dāng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1有以下情況時(shí)，應(yīng)用到匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的參數(shù)cn1和fn1模擬阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1：阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1在網(wǎng)絡(luò)分析器102被連接到負(fù)載阻抗設(shè)備n之后由網(wǎng)絡(luò)分析器102供給具有頻率fn1的rf信號(hào)，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1有具有cn1的組合可變電容的一個(gè)或多個(gè)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的電容器、有具有c1s的組合固定電容的一個(gè)或多個(gè)固定電容器、有具有c2s的組合固定電容的一個(gè)或多個(gè)固定電容器、有具有c1p的組合固定電容的一個(gè)或多個(gè)固定電容器、有具有c2p的組合固定電容的一個(gè)或多個(gè)固定電容器、有具有r1s的組合固定電阻的一個(gè)或多個(gè)固定電阻器、有具有r2s的組合固定電阻的一個(gè)或多個(gè)固定電阻器、有具有r1p的組合固定電阻的一個(gè)或多個(gè)固定電阻器、有具有r2p的組合固定電阻的一個(gè)或多個(gè)固定電阻器、有具有l(wèi)1s的組合固定電感的一個(gè)或多個(gè)固定電感器、有具有l(wèi)2s的組合固定電感的一個(gè)或多個(gè)固定電感器、有具有l(wèi)1p的組合固定電感的一個(gè)或多個(gè)固定電感器、以及有具有l(wèi)2p的組合固定電感的一個(gè)或多個(gè)固定電感器。處理器根據(jù)頻率fn1和根據(jù)電容cn1計(jì)算具有可變電容cn1的一個(gè)或多個(gè)電容元件的阻抗zcn1，根據(jù)頻率fn1和根據(jù)電感l(wèi)1s計(jì)算電感器l1s的阻抗zl1ns，根據(jù)頻率fn1和根據(jù)電感l(wèi)2s計(jì)算電感器l2s的阻抗zl2ns，根據(jù)頻率fn1和根據(jù)電感l(wèi)1p計(jì)算電感器l1p的阻抗zl1np，根據(jù)頻率fn1和根據(jù)電感l(wèi)2p計(jì)算電感器l2p的阻抗zl2np，根據(jù)頻率fn1和根據(jù)電容c1s計(jì)算電容器c1s的阻抗zc1ns，根據(jù)頻率fn1和根據(jù)電容c2s計(jì)算電容器c2s的阻抗zc2ns，根據(jù)頻率fn1和根據(jù)電容c1p計(jì)算電容器c1p的阻抗zc1np，根據(jù)頻率fn1和根據(jù)電容c2p計(jì)算電容器c2p的阻抗zc2np，并且計(jì)算阻抗zr1s、zr2s、zr1p和阻抗zr2p。為了說明，處理器計(jì)算電容器的阻抗作為(1/jωc)，并且計(jì)算電感器的阻抗作為jωl，其中ω等于2πfn1。所述處理器根據(jù)輸出端測得的負(fù)載zonm通過組合(例如求和、減、等)阻抗zcn1、zc1ns、zc2ns、zc1np、zc2np、zl1ns、zl2ns、zl1np、zl2np、zr1s、zr2s、zr1p和zr2p，計(jì)算預(yù)測的輸入阻抗zinp，以類似于上述用于通過將阻抗zc11、zc11s、zc21s、zc11p、zc21p、zl11s、zl21s、zl11p、zl21p、zr1s、zr2s、zr1p和zr2p與輸出測量的負(fù)載zo1m組合來計(jì)算預(yù)測的輸入阻抗zi1p所描述的方式確定預(yù)測的輸入阻抗zinp。

在方法303的操作308中，主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的處理器根據(jù)所測得的輸入阻抗zi1m確定預(yù)測的輸入阻抗zi1p是否在預(yù)定的范圍內(nèi)，以及根據(jù)所測得的輸入阻抗zinm確定所述預(yù)測的輸入阻抗zinp是否在預(yù)定的范圍內(nèi)。例如，由該處理器同時(shí)(例如，在同一時(shí)間、在同一時(shí)鐘周期期間等)執(zhí)行根據(jù)所測得的輸入阻抗zi1m確定預(yù)測的輸入阻抗zi1p是否在預(yù)定的范圍內(nèi)以及根據(jù)所測得的輸入阻抗zinm確定預(yù)測的輸入阻抗zinp是否在預(yù)定的范圍內(nèi)。應(yīng)當(dāng)指出的是，針對(duì)所有負(fù)載阻抗設(shè)備執(zhí)行操作308。例如，如果三個(gè)負(fù)載阻抗設(shè)備1、2和3以上述使用負(fù)載阻抗設(shè)備1和2的方式使用，則處理器根據(jù)所測得的輸入阻抗zi1m確定預(yù)測的輸入阻抗zi1p是否在預(yù)定的范圍內(nèi)，根據(jù)所測得的輸入阻抗zi2m確定預(yù)測的輸入阻抗zi2p是否在預(yù)定的范圍內(nèi)，以及根據(jù)所測得的輸入阻抗zinm確定預(yù)測的輸入阻抗zinp是否在預(yù)定的范圍內(nèi)。在負(fù)載阻抗設(shè)備2經(jīng)由rf電纜108(圖1b)連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1，且阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1經(jīng)由rf電纜106(圖1b)進(jìn)一步連接到網(wǎng)絡(luò)分析器102時(shí)，測得的輸入阻抗zi2m由網(wǎng)絡(luò)分析器102進(jìn)行測量。此外，預(yù)測的輸入阻抗zi2p由處理器以類似于由處理器計(jì)算預(yù)測的輸入阻抗zi1p和zinp的方式來計(jì)算。

當(dāng)根據(jù)所測得的輸入阻抗zi1m確定所預(yù)測的輸入阻抗zi1p在預(yù)定的范圍內(nèi)并且根據(jù)所測得的輸入阻抗zinm確定所預(yù)測的輸入阻抗zinp在預(yù)定的范圍內(nèi)時(shí)，則在方法300的操作310中，處理器分配固定參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p到匹配網(wǎng)絡(luò)模型302以與阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1一起使用。例如，處理器映射固定參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的識(shí)別號(hào)，例如，id1等，并將所述映射、所述參數(shù)和所述識(shí)別號(hào)存儲(chǔ)到主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的存儲(chǔ)器裝置中。另一方面，在根據(jù)測得的輸入阻抗zi1m確定預(yù)測的輸入阻抗zi1p不在預(yù)定的范圍內(nèi)或在根據(jù)測得的輸入阻抗zinm確定預(yù)測的輸入阻抗zinp不在預(yù)定的范圍內(nèi)時(shí)，則在方法303的操作312中，處理器改變固定參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p中的一個(gè)或多個(gè)以產(chǎn)生一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)。

在多種實(shí)施方式中，由用戶經(jīng)由連接到處理器的輸入裝置提供參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p中的一個(gè)或多個(gè)的值的預(yù)定的范圍給處理器，并且所述參數(shù)中的一個(gè)或多個(gè)被改變?yōu)樵陬A(yù)定的范圍內(nèi)。例如，用戶指示處理器，參數(shù)l1s要改變值的5％，該值也由用戶經(jīng)由輸入裝置提供給處理器。在操作312期間，處理器將參數(shù)l1s的值改變5％。舉另一示例而言，用戶指示處理器，將參數(shù)c1s的值改變2％，該值也由用戶通過輸入裝置提供給處理器。在操作312期間，處理器將參數(shù)c1s的值改變2％。舉另一示例而言，用戶指示處理器，將參數(shù)c1s的值改變0％，該值也由用戶經(jīng)由輸入設(shè)備提供給處理器。在操作312期間，處理器將參數(shù)c1s的值改變0％。

在一些實(shí)施方式中，在操作312中，代替或除了改變固定參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p中的一個(gè)或多個(gè)以外，處理器還改變電容c11。例如，電容c11是匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的模型中的一個(gè)的可變電容，且可變電容表示阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的電容器。在這個(gè)實(shí)施例中，電容c11由常數(shù)項(xiàng)、線性項(xiàng)和二次項(xiàng)的總和的式表示。線性項(xiàng)是第一系數(shù)與變量(例如，馬達(dá)軸旋轉(zhuǎn)的位置等)的乘積。二次項(xiàng)是第二系數(shù)與變量的平方的乘積。在操作312中，處理器改變常數(shù)的值、和/或第一系數(shù)的值、和/或第二系數(shù)的值以改變可變電容c11。

處理器使用一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)重復(fù)操作308，以根據(jù)所測得的輸入阻抗zi1m確定針對(duì)改變的參數(shù)的預(yù)測的輸入阻抗zi1p是否在預(yù)定的范圍內(nèi)以及根據(jù)所測得的輸入阻抗zinm確定針對(duì)改變的參數(shù)的預(yù)測的輸入阻抗zinp是否在預(yù)定的范圍內(nèi)。以這種方式，處理器重復(fù)操作308，直到根據(jù)所測得的輸入阻抗zi1m，預(yù)測的輸入阻抗zi1p在預(yù)定的范圍內(nèi)，以及根據(jù)所測得的輸入阻抗zinm，預(yù)測的輸入阻抗zinp在預(yù)定的范圍內(nèi)，以找出用于匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的一個(gè)或多個(gè)對(duì)應(yīng)的改變的參數(shù)的一個(gè)或多個(gè)值。然后將一個(gè)或多個(gè)對(duì)應(yīng)的改變的參數(shù)的一個(gè)或多個(gè)值分配給匹配網(wǎng)絡(luò)模型302。例如，處理器將改變的參數(shù)映射到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的標(biāo)識(shí)號(hào)，并將該映射、該改變的參數(shù)和標(biāo)識(shí)號(hào)存儲(chǔ)在主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的存儲(chǔ)裝置中。

應(yīng)當(dāng)注意，在一些實(shí)施例中，參數(shù)的值與參數(shù)相同。例如，參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p中的每一個(gè)是值。因此，當(dāng)值改變時(shí)，參數(shù)改變。

在如圖1a的操作132所確定的所測得的輸入阻抗zi1m不在預(yù)定的阻抗的預(yù)定閾值之內(nèi)以及如圖1b的操作152所確定的所測得的輸入阻抗zinm不在預(yù)定的阻抗的預(yù)定的閾值之內(nèi)的實(shí)施方式中，針對(duì)測得的輸入阻抗zi1qm和zinqm(見圖1a和1b)執(zhí)行操作308。例如，在操作308中，確定針對(duì)測得的輸入阻抗zi1qm獲得的預(yù)測的輸入阻抗zi1p是否在所測得的輸入阻抗zi1qm的預(yù)定的范圍內(nèi)，以及針對(duì)測得的輸入阻抗zinqm獲得的預(yù)測的輸入阻抗zinp是否在所測得的輸入阻抗zinqm的預(yù)定的范圍內(nèi)。在確定預(yù)測的輸入阻抗zi1p在測得的輸入阻抗zi1qm的預(yù)定的范圍內(nèi)時(shí)，并且預(yù)測的輸入阻抗zinp在測得的輸入阻抗zinqm的預(yù)定的范圍內(nèi)時(shí)，執(zhí)行操作310。另一方面，在確定所預(yù)測的輸入阻抗zi1p不在測得的輸入阻抗zi1qm的預(yù)定的范圍內(nèi)，并且，預(yù)測的輸入阻抗zinp不在測得的輸入阻抗zinqm的預(yù)定的范圍內(nèi)時(shí)，執(zhí)行操作312。

圖4是等離子體系統(tǒng)400的一個(gè)實(shí)施方式的示意圖，其用以說明阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的效率的確定。系統(tǒng)400包括網(wǎng)絡(luò)分析器402、阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1、負(fù)載阻抗設(shè)備1和主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112。主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)電纜404連接到網(wǎng)絡(luò)分析器402。

網(wǎng)絡(luò)分析器402具有端口s1和另一個(gè)端口s2。在一些實(shí)施方式中，端口s2是輸入端口，而端口s1是輸出端口。端口s1經(jīng)由rf電纜106連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸入端107，而端口s2經(jīng)由rf電纜408連接到負(fù)載阻抗設(shè)備1的輸出端406。應(yīng)當(dāng)注意，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸出端109連接到組合負(fù)載設(shè)備410，組合負(fù)載設(shè)備410包括負(fù)載阻抗設(shè)備1的電感和/或電容以及端口s2的電阻，例如50歐姆、在49和51歐姆之間等。在一些實(shí)施方式中，組合負(fù)載設(shè)備410的阻抗模擬等離子體條件a，例如等離子體的一個(gè)阻抗、等離子體的預(yù)定阻抗范圍等。

當(dāng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的一個(gè)或多個(gè)可變電容器的組合可變電容設(shè)置為值c11時(shí)，網(wǎng)絡(luò)分析器402以頻率f11操作。例如，網(wǎng)絡(luò)分析器402產(chǎn)生具有頻率f11的rf信號(hào)，并將rf信號(hào)從端口s1經(jīng)由rf電纜106發(fā)送到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸入端107。在一些實(shí)施方式中，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的一個(gè)或多個(gè)可變電容器的組合可變電容被設(shè)置為不同于值c11的值，并且網(wǎng)絡(luò)分析器402在不同于頻率f11的頻率下操作。阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1接收rf信號(hào)并使負(fù)載(例如，rf電纜108和組合負(fù)載設(shè)備410等)的阻抗與源(例如，rf電纜106和端口s1等)的阻抗匹配，以產(chǎn)生經(jīng)修改的rf信號(hào)。將經(jīng)修改的rf信號(hào)提供給組合的負(fù)載設(shè)備410。例如，經(jīng)修改的rf信號(hào)經(jīng)由負(fù)載阻抗設(shè)備1傳遞到網(wǎng)絡(luò)分析器402的端口s2。

當(dāng)經(jīng)修改的rf信號(hào)被提供給組合負(fù)載設(shè)備410時(shí)，網(wǎng)絡(luò)分析器402測量s21參數(shù)、s11參數(shù)以及在s1端口處通過rf信號(hào)輸出的功率po1m的量。例如，網(wǎng)絡(luò)分析器402在端口s1處測量通過經(jīng)由rf電纜106發(fā)送到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的rf信號(hào)提供的功率po1m。參數(shù)s11和s12是散射參數(shù)。散射參數(shù)s11和s21是電壓參數(shù)，而相關(guān)功率是散射參數(shù)的平方。例如，輸入到端口s1的功率與從端口s1輸出的功率的比率是s11²，并且輸入到端口s2的功率與從端口s1輸出的功率的比率是s21²。網(wǎng)絡(luò)分析器402經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)電纜404將功率po1m的量、s11參數(shù)和s21參數(shù)發(fā)送到主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的處理器。當(dāng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的一個(gè)或多個(gè)可變電容器的組合可變電容被設(shè)置為值c11，并且網(wǎng)絡(luò)分析器402以頻率f11操作時(shí)，處理器計(jì)算阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的效率ε1m作為s21參數(shù)的平方與1和s11參數(shù)的平方之間的差的比率。該比率表示為

應(yīng)當(dāng)注意，在一些實(shí)施方式中，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的測得效率不是單個(gè)數(shù)字，而是取決于連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的負(fù)載的阻抗。

在一些實(shí)施方式中，當(dāng)負(fù)載阻抗設(shè)備1被設(shè)計(jì)為無損耗的或具有最小功率損耗時(shí)，例如，在負(fù)載阻抗設(shè)備1中的功率損耗顯著小于阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的功率損耗等的情況下，使用等式(1)測量效率ε1m。效率ε1m是組合負(fù)載設(shè)備410的效率。在一些實(shí)施方式中，在負(fù)載阻抗設(shè)備1具有小量的功率損耗的情況下修改該比率。雖然在一些實(shí)施方式中，效率ε1m在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的組合可變電容和網(wǎng)絡(luò)分析器402的rf頻率的任何值下確定，但是效率ε1m對(duì)于s11²的小值是精確的，并且隨著s11²變大而變得不準(zhǔn)確。在多種實(shí)施方式中，當(dāng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1被調(diào)諧或幾乎調(diào)諧時(shí)，例如當(dāng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的組合可變電容和網(wǎng)絡(luò)分析器402的rf頻率使得s11²接近0時(shí)，確定效率ε1m。效率ε1m在本文中有時(shí)被稱為測得的效率。

在一些實(shí)施方式中，不是負(fù)載阻抗設(shè)備1，而是另一負(fù)載阻抗設(shè)備a連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1和網(wǎng)絡(luò)分析器402的端口s2。負(fù)載阻抗設(shè)備a具有與負(fù)載阻抗設(shè)備1的結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)，不同的是負(fù)載阻抗設(shè)備a包括一個(gè)或多個(gè)無損電容器和/或一個(gè)或多個(gè)無損電感器，并且不包括任何電阻器。例如，負(fù)載阻抗設(shè)備a包括與一個(gè)或多個(gè)無損電感器串聯(lián)耦合的一個(gè)或多個(gè)無損電容器。該一個(gè)或多個(gè)無損電容器連接到輸入端1111，并且該一個(gè)或多個(gè)無損電感器耦合到輸出端406。舉另一示例而言，負(fù)載阻抗設(shè)備a包括與一個(gè)或多個(gè)無損電感器串聯(lián)耦合的一個(gè)或多個(gè)無損電容器。一個(gè)或多個(gè)無損電感器連接到輸入端1111，并且一個(gè)或多個(gè)無損電容器耦合到輸出端406。

在一些實(shí)施方式中，無損電路元件(例如電感器、電容器、電阻器等)是這樣的電路元件：當(dāng)電流通過該電路元件時(shí)沒有功率損耗或功率損耗小于預(yù)定量的功率損耗。

圖5是主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的實(shí)施方式的示意圖，其用以說明確定固定參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p的值。匹配網(wǎng)絡(luò)模型302被初始化為具有射頻f11、電容c11和固定參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p。例如，用戶經(jīng)由輸入裝置向主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的處理器提供固定值f11、c11、l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p以用于初始化匹配網(wǎng)絡(luò)模型302。在一些實(shí)施例中，匹配網(wǎng)絡(luò)模型302被初始化為具有和sc1，而不是組合可變電容c11，并且匹配網(wǎng)絡(luò)模型302被初始化為具有和sf1，而不是頻率f11。

處理器經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)電纜404從網(wǎng)絡(luò)分析器402接收測得的輸出功率po1m。在匹配網(wǎng)絡(luò)模型302被初始化為具有射頻f11，電容c11和參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p的時(shí)間期間，處理器在匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的輸入端306處應(yīng)用輸入功率pi1p，并且經(jīng)由匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的電路元件正向傳送輸入功率pi1p以計(jì)算匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的輸出端304處的預(yù)測輸出功率po1p。例如，當(dāng)匹配網(wǎng)絡(luò)模型302包括電路元件r1s、c1s、l1s和c11的串聯(lián)組合時(shí)，電流量通過該串聯(lián)組合傳送，以確定由電阻器r1s消耗的功率prs、由電容器c1s消耗的功率pcs、由電感器l1s消耗的功率pls以及由電容器c11消耗的功率pc1s。處理器計(jì)算輸入功率pi1p、功率prs、功率pcs、功率pls和功率pc1s的定向和，以計(jì)算預(yù)測的輸出功率po1p。

在一些實(shí)施方式中，輸入功率pi1p與功率po1m相同。在多種實(shí)施方式中，輸入功率pi1p由主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的處理器隨機(jī)選擇。在多種實(shí)施方式中，經(jīng)由連接到處理器的輸入設(shè)備從用戶接收輸入功率pi1p。

處理器計(jì)算匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的預(yù)測的效率ε1p作為預(yù)測的輸出功率po1p和輸入功率pi1p的比率。處理器應(yīng)用方法500，以確定是否改變匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的相應(yīng)的固定參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p中的一個(gè)或多個(gè)的一個(gè)或多個(gè)固定值。例如，在操作502中，處理器確定預(yù)測的效率ε1p是否在測得的效率ε1m的預(yù)定限度內(nèi)。預(yù)定限度被作為輸入經(jīng)由輸入設(shè)備提供到處理器。例如，在執(zhí)行操作502之前或執(zhí)行方法500之前將預(yù)定限度提供給處理器。在確定預(yù)測的效率ε1p在測得的效率ε1m的預(yù)定限度內(nèi)時(shí)，處理器在操作310中分配參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p的固定值到匹配網(wǎng)絡(luò)模型302以與阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1一起使用。另一方面，在確定預(yù)測的效率ε1p不在測得的效率ε1m的預(yù)定限度內(nèi)時(shí)，處理器在操作312中改變參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p中的一個(gè)或多個(gè)的一個(gè)或多個(gè)值以生成一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)。為了說明，處理器將電感器l1s的值從v1改變?yōu)関2，以產(chǎn)生一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)。作為另一說明，處理器將電感器l1s的值從v1改變?yōu)関2，并將電容器c1s的值從w1改變?yōu)閣2，以產(chǎn)生一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)。

處理器使用一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)重復(fù)操作502，以根據(jù)測得的效率ε1m確定針對(duì)改變的參數(shù)的預(yù)測的效率ε1p是否在預(yù)定限度內(nèi)。以這種方式，處理器重復(fù)操作502，直到根據(jù)測得的效率ε1m，預(yù)測的效率ε1p處于預(yù)定限度內(nèi)，以找到匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的一個(gè)或多個(gè)對(duì)應(yīng)的改變參數(shù)的一個(gè)或多個(gè)值。然后將該一個(gè)或多個(gè)對(duì)應(yīng)的改變的參數(shù)的一個(gè)或多個(gè)值分配給匹配網(wǎng)絡(luò)模型302。例如，處理器將一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)映射到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的標(biāo)識(shí)號(hào)，并且將該映射、一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)和匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的標(biāo)識(shí)號(hào)存儲(chǔ)到主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的存儲(chǔ)器裝置中。

在一些實(shí)施方式中，替代或者附加于改變固定參數(shù)l1、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p中的一個(gè)或多個(gè)，在方法500的操作312中，以與上述相同的方式改變可變電容c11。

圖6是使用阻抗zi1p、zi1m、zinp、zinm、以及效率ε1m和ε1p來確定固定參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p的方法600的實(shí)施方式的流程圖。方法600由主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的處理器執(zhí)行。在方法600的操作602中，由處理器確定預(yù)測輸入阻抗zi1p是否在輸入阻抗zi1m的預(yù)定范圍內(nèi)，預(yù)測輸入阻抗zinp是否在輸入阻抗zinm的預(yù)定范圍內(nèi)，以及根據(jù)測得的效率ε1m，預(yù)測的效率ε1p是否在預(yù)定限度內(nèi)。

在確定預(yù)測輸入阻抗zi1p在輸入阻抗zi1m的預(yù)定范圍內(nèi)，預(yù)測輸入阻抗zinp在輸入阻抗zinm的預(yù)定范圍內(nèi)，并且根據(jù)測得的效率ε1m，預(yù)測的效率ε1p在預(yù)定限度內(nèi)時(shí)，由處理器執(zhí)行操作310。另一方面，在確定所述預(yù)測輸入阻抗zi1p不在輸入阻抗zi1m的預(yù)定范圍內(nèi)，或者所述預(yù)測輸入阻抗zinp不在輸入阻抗zinm的預(yù)定范圍內(nèi)，或者根據(jù)測得的效率ε1m，所述預(yù)測的效率ε1p不在預(yù)定限度內(nèi)時(shí)，處理器執(zhí)行操作312。

在一些實(shí)施方式中，處理器在確定所述預(yù)測輸入阻抗zi1p不在輸入阻抗zi1m的預(yù)定范圍內(nèi)，或者預(yù)測輸入阻抗zinp不在輸入阻抗zinm的預(yù)定范圍內(nèi)，或者根據(jù)測得的效率ε1m，預(yù)測的效率ε1p不在預(yù)定限度內(nèi)，或者其中的兩者或更多者的組合時(shí)，執(zhí)行操作312。例如，在確定預(yù)測輸入阻抗zi1p不在輸入阻抗zi1m的預(yù)定范圍內(nèi)，并且預(yù)測輸入阻抗zinp不在輸入阻抗zinm的預(yù)定范圍內(nèi)，并且根據(jù)測得的效率ε1m，預(yù)測的效率ε1p不在預(yù)定限度內(nèi)時(shí)，處理器執(zhí)行操作312。

處理器使用一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)重復(fù)操作602，以確定預(yù)測輸入阻抗zi1p是否在輸入阻抗zi1m的預(yù)定范圍內(nèi)、預(yù)測輸入阻抗zinp是否在輸入阻抗zinm的預(yù)定范圍內(nèi)、以及根據(jù)測得的效率ε1m，預(yù)測的效率ε1p是否處于預(yù)定限度內(nèi)。以這種方式，處理器重復(fù)操作602，直到預(yù)測輸入阻抗zi1p在輸入阻抗zi1m的預(yù)定范圍內(nèi)、預(yù)測輸入阻抗zinp在輸入阻抗zinm的預(yù)定范圍內(nèi)、并且根據(jù)測得的效率ε1m，預(yù)測的效率ε1p在預(yù)定限度內(nèi)，以找到用于匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的一個(gè)或多個(gè)相應(yīng)改變的參數(shù)的一個(gè)或多個(gè)值。然后將一個(gè)或多個(gè)相應(yīng)改變的參數(shù)的一個(gè)或多個(gè)值分配給匹配網(wǎng)絡(luò)模型302。例如，處理器將改變的參數(shù)映射到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的標(biāo)識(shí)號(hào)，并將該映射、標(biāo)識(shí)號(hào)和一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)存儲(chǔ)在主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的存儲(chǔ)器裝置中。

在一些實(shí)施方式中，代替或附加于改變固定參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p中的一個(gè)或多個(gè)，處理器在方法600的操作312中以與上述相同的方式改變可變電容c11。

圖7是系統(tǒng)700的實(shí)施方式的示意圖，其示出了當(dāng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1連接到負(fù)載阻抗設(shè)備n時(shí)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的效率的確定。系統(tǒng)700包括網(wǎng)絡(luò)分析器402、阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1、負(fù)載阻抗設(shè)備n和主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112。

端口s2經(jīng)由rf電纜408連接到負(fù)載阻抗設(shè)備n的輸出端702。應(yīng)當(dāng)注意，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸出端109經(jīng)由rf電纜108連接到組合負(fù)載設(shè)備704，組合負(fù)載設(shè)備704包括負(fù)載阻抗設(shè)備n的電感和/或電容以及端口s2的電阻。在一些實(shí)施方式中，組合負(fù)載設(shè)備704的阻抗模擬等離子體條件b，例如等離子體的一個(gè)阻抗、等離子體的阻抗的預(yù)定范圍等，并且等離子體條件b不同于等離子體條件a。例如，由組合負(fù)載設(shè)備704所呈現(xiàn)的阻抗不同于由組合負(fù)載設(shè)備410(圖4)所呈現(xiàn)的阻抗。舉另一示例而言，由組合負(fù)載設(shè)備704所呈現(xiàn)的阻抗的預(yù)定范圍不包括由組合負(fù)載設(shè)備410所呈現(xiàn)的阻抗的預(yù)定范圍。

當(dāng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的一個(gè)或多個(gè)可變電容器的組合可變電容設(shè)置為值cn1時(shí)，網(wǎng)絡(luò)分析器402以頻率fn1操作。例如，網(wǎng)絡(luò)分析器402產(chǎn)生具有頻率fn1的rf信號(hào)，并將rf信號(hào)從端口s1經(jīng)由rf電纜106發(fā)送到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸入端107。在一些實(shí)施方式中，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的一個(gè)或多個(gè)可變電容器的組合可變電容被設(shè)置為不同于值cn1的值，并且網(wǎng)絡(luò)分析器402在與頻率fn1不同的頻率下操作。阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1接收rf信號(hào)并且使連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸出端109的負(fù)載(例如，rf電纜108、負(fù)載阻抗設(shè)備n和端口s2等)的阻抗與連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸入端107的源(例如，rf電纜106和端口s1等)的阻抗匹配，以產(chǎn)生修改的rf信號(hào)。將修改的rf信號(hào)提供給組合負(fù)載設(shè)備704。例如，修改的rf信號(hào)經(jīng)由負(fù)載阻抗設(shè)備n傳送到網(wǎng)絡(luò)分析器402的端口s2。

當(dāng)修改的rf信號(hào)被提供給組合負(fù)載設(shè)備704時(shí)，網(wǎng)絡(luò)分析器402測量s21參數(shù)、s11參數(shù)和在s1端口輸出的rf信號(hào)的功率量ponm。例如，網(wǎng)絡(luò)分析器402在端口s1測量通過經(jīng)由rf電纜106發(fā)送到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的rf信號(hào)提供的功率ponm。網(wǎng)絡(luò)分析器402經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)電纜404發(fā)送s11參數(shù)、s21參數(shù)和功率ponm到主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的處理器。處理器計(jì)算阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的效率εnm作為s21參數(shù)的平方與1和s11參數(shù)的平方之間的差的比率。

該比率表示為

效率εnm是組合負(fù)載設(shè)備704的效率。在一些實(shí)施方式中，當(dāng)負(fù)載阻抗設(shè)備n被設(shè)計(jì)為無損耗或具有最小功率損耗時(shí)，例如，在負(fù)載阻抗設(shè)備n中的功率損耗顯著小于在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1中的功率損耗等時(shí)，使用等式(2)來測量效率εnm。在一些實(shí)施方式中，在負(fù)載阻抗設(shè)備n具有小量功率損耗的情況下修改該比率。雖然在一些實(shí)施方式中，效率εnm以阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的組合可變電容和網(wǎng)絡(luò)分析器402的rf頻率的任何值確定，但是對(duì)于s11²的小值，效率εnm是精確的，并且隨著s11²變大，效率εnm變得不精確。在多種實(shí)施方式中，在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1被調(diào)諧或幾乎被調(diào)諧時(shí)，例如當(dāng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的組合可變電容和網(wǎng)絡(luò)分析器402的rf頻率使得s11²接近0時(shí)，確定效率εnm。

在一些實(shí)施方式中，不是負(fù)載阻抗設(shè)備n，而是另一個(gè)負(fù)載阻抗設(shè)備b連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1和網(wǎng)絡(luò)分析器402的端口s2。負(fù)載阻抗設(shè)備b具有與負(fù)載阻抗設(shè)備n的結(jié)構(gòu)相同的結(jié)構(gòu)，不同的是，負(fù)載阻抗設(shè)備b包括一個(gè)或多個(gè)無損電容器和/或一個(gè)或多個(gè)無損電感器，并且不包括任何電阻器。例如，負(fù)載阻抗設(shè)備b包括與一個(gè)或多個(gè)無損電感器串聯(lián)耦合的一個(gè)或多個(gè)無損電容器。一個(gè)或多個(gè)無損電容器連接到輸入端111n，并且一個(gè)或多個(gè)無損電感器耦合到輸出端702。舉另一示例而言，負(fù)載阻抗設(shè)備b包括與一個(gè)或多個(gè)無損電感器串聯(lián)耦合的一個(gè)或多個(gè)無損電容器。一個(gè)或多個(gè)無損電感器連接到輸入端111n，并且一個(gè)或多個(gè)無損電容器連接到輸出端702。

圖8是示出由主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112執(zhí)行以確定固定參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p的值的方法800的示意圖。使用如上參照?qǐng)D5所述的匹配網(wǎng)絡(luò)模型302確定預(yù)測的效率ε1p。此外，匹配網(wǎng)絡(luò)模型302被初始化為具有射頻fn1、電容cn1和固定參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p。例如，用戶經(jīng)由輸入裝置向主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的處理器提供值fn1、cn1、l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p以初始化匹配網(wǎng)絡(luò)模型302。在使用加權(quán)電容和加權(quán)頻率的實(shí)施方式中，處理器將匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的參數(shù)從sf1改變?yōu)閟fn以及從sc1改變?yōu)閟cn。例如，使用值scn而不是電容cn1，并且使用值sfn而不是值fn1。

處理器經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)電纜404從網(wǎng)絡(luò)分析器402接收測得的輸出功率ponm。在匹配網(wǎng)絡(luò)模型302被初始化為具有射頻fn1、電容cn1和固定參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p的時(shí)間期間，處理器在匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的輸入端306處施加輸入功率pinp，并且通過匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的電路元件正向傳導(dǎo)輸入功率pinp以計(jì)算匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的輸出端304處的預(yù)測輸出功率ponp。例如，當(dāng)匹配網(wǎng)絡(luò)模型302包括電路元件r1s、c1s、l1s和c11的串聯(lián)組合時(shí)，一定量的電流通過串聯(lián)組合傳送以確定由電阻器r1s消耗的功率prs、由電容器c1s消耗的功率pcs、由電感器l1s消耗的功率pls、以及由電容器c11消耗的功率pc1s。處理器計(jì)算輸入功率pinp、功率prs、功率pcs，功率pls和功率pc1s的定向和，以計(jì)算預(yù)測輸出功率ponp。在一些實(shí)施方式中，輸入功率pinp與功率ponm相同。在多種實(shí)施方式中，輸入功率pinp由主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的處理器隨機(jī)選擇。在一些實(shí)施方式中，使用值pi1p而不是功率pinp。在多種實(shí)施方式中，經(jīng)由連接到處理器的輸入設(shè)備從用戶接收輸入功率pinp。

處理器計(jì)算匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的預(yù)測的效率εnp作為預(yù)測輸出功率ponp和輸入功率pinp的比率。處理器應(yīng)用方法800以確定是否改變匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p中的一個(gè)或多個(gè)。例如，在操作802中，處理器確定預(yù)測的效率ε1p是否在測得的效率ε1m的預(yù)定限度內(nèi)，以及預(yù)測的效率εnp是否在測得的效率εnm的預(yù)定限度內(nèi)。在確定預(yù)測的效率ε1p在測得的效率ε1m的預(yù)定限度內(nèi)并且預(yù)測的效率εnp在測得的效率εnm的預(yù)定限度內(nèi)時(shí)，處理器在操作310中分配參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p給匹配網(wǎng)絡(luò)模型302以與阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1一起使用。另一方面，在確定預(yù)測的效率ε1p不在測得的效率ε1m的預(yù)定限度內(nèi)或者預(yù)測的效率εnp不在測得的效率εnm的預(yù)定限度內(nèi)時(shí)，處理器在操作312中改變參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p中的一個(gè)或多個(gè)，以產(chǎn)生一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)。

處理器使用一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)重復(fù)操作802以根據(jù)測得的效率ε1m確定針對(duì)改變的參數(shù)的預(yù)測的效率ε1p是否在預(yù)定限度內(nèi)，以及根據(jù)測得的效率εnm確定針對(duì)改變的參數(shù)的預(yù)測的效率εnp是否在預(yù)定限度內(nèi)。以這種方式，處理器重復(fù)操作802，直到根據(jù)測得的效率ε1m，預(yù)測的效率ε1p處于預(yù)定限度內(nèi)，并且根據(jù)測得的效率εnm，針對(duì)改變的參數(shù)的預(yù)測的效率εnp處于預(yù)定限度內(nèi)，以找到用于匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的一個(gè)或多個(gè)相應(yīng)的改變的參數(shù)的一個(gè)或多個(gè)值。然后將一個(gè)或多個(gè)相應(yīng)的改變的參數(shù)的一個(gè)或多個(gè)值分配給匹配網(wǎng)絡(luò)模型302。例如，處理器將一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)映射到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的標(biāo)識(shí)號(hào)，并將該映射、標(biāo)識(shí)號(hào)和一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)存儲(chǔ)在主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的存儲(chǔ)器裝置中。

在一些實(shí)施方式中，代替或者附加于改變固定參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p中的一個(gè)或多個(gè)，處理器在方法800的操作312中以與上述相同的方式改變電容c11。

在多種實(shí)施方式中，在確定預(yù)測的效率ε1p不在測得的效率ε1m的預(yù)定限度內(nèi)，并且預(yù)測的效率εnp不在測得的效率εnm的預(yù)定限度內(nèi)時(shí)，處理器在操作312中改變固定參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p中的一個(gè)或多個(gè)，以產(chǎn)生一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)。

圖9是使用阻抗zi1p、zi1m、zinp、zinm、效率ε1m和ε1p、以及效率εnm和εnp確定參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p的方法900的實(shí)施方式的流程圖。方法900由主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的處理器執(zhí)行。在方法900的操作902中，由處理器確定預(yù)測的輸入阻抗zi1p是否在輸入阻抗zi1m的預(yù)定范圍內(nèi)、預(yù)測的輸入阻抗zinp是否在輸入阻抗zinm的預(yù)定范圍內(nèi)、根據(jù)測得的效率ε1m，預(yù)測的效率ε1p是否在預(yù)定限度內(nèi)、以及根據(jù)測得的效率εnm，預(yù)測的效率εnp是否在預(yù)定限度內(nèi)。

在確定預(yù)測的輸入阻抗zi1p在輸入阻抗zi1m的預(yù)定范圍內(nèi)、預(yù)測的輸入阻抗zinp在輸入阻抗zinm的預(yù)定范圍內(nèi)，根據(jù)測得的效率ε1m，預(yù)測的效率ε1p在預(yù)定限度內(nèi)、以及根據(jù)測得的效率εnm，預(yù)測的效率εnp處于預(yù)定限度內(nèi)時(shí)，由處理器執(zhí)行操作310。另一方面，在確定預(yù)測的輸入阻抗zi1p不在輸入阻抗zi1m的預(yù)定范圍內(nèi)，或者預(yù)測的輸入阻抗zinp不在輸入阻抗zinm的預(yù)定范圍內(nèi)，或者根據(jù)測得的效率ε1m，預(yù)測的效率ε1p不在預(yù)定限度內(nèi)，或者根據(jù)測得的效率εnm，預(yù)測的效率εnp不在預(yù)定限度內(nèi)時(shí)，處理器執(zhí)行操作312。

在一些實(shí)施方式中，在確定預(yù)測的輸入阻抗zi1p不在輸入阻抗zi1m的預(yù)定范圍內(nèi)，或預(yù)測的輸入阻抗zinp不在輸入阻抗zinm的預(yù)定范圍內(nèi)，或者根據(jù)測得的效率ε1m，預(yù)測的效率ε1p不在預(yù)定限度內(nèi)，或者根據(jù)測得的效率εnm，預(yù)測的效率εnp不在預(yù)定限度內(nèi)，或者其中的兩者或更多者的組合時(shí)，處理器執(zhí)行操作312。例如，在確定預(yù)測輸入阻抗zi1p不在輸入阻抗zi1m的預(yù)定范圍內(nèi)、預(yù)測的輸入阻抗zinp不在輸入阻抗zinm的預(yù)定范圍內(nèi)、根據(jù)測得的效率ε1m，預(yù)測的效率ε1p不在預(yù)定限度內(nèi)、以及根據(jù)測得的效率εnm，預(yù)測的效率εnp不在預(yù)定限度內(nèi)時(shí)，處理器執(zhí)行操作312。舉另一示例而言，在確定預(yù)測輸入阻抗zinp不在輸入阻抗zinm的預(yù)定范圍內(nèi)，并且根據(jù)測得的效率εnm，預(yù)測的效率εnp不在預(yù)定限度內(nèi)時(shí)，處理器執(zhí)行操作312。

處理器使用一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)重復(fù)操作902，以確定預(yù)測的輸入阻抗zi1p是否在輸入阻抗zi1m的預(yù)定范圍內(nèi)、預(yù)測的輸入阻抗zinp是否在輸入阻抗zinm的預(yù)定范圍內(nèi)、根據(jù)測得的效率ε1m，預(yù)測的效率ε1p是否在預(yù)定限度內(nèi)、以及根據(jù)測得的效率εnm，預(yù)測的效率εnp是否在預(yù)定限度內(nèi)。以這種方式，處理器重復(fù)操作902，直到所述預(yù)測的輸入阻抗zi1p在輸入阻抗zi1m的預(yù)定范圍內(nèi)、預(yù)測的輸入阻抗zinp在輸入阻抗zinm的預(yù)定范圍內(nèi)、根據(jù)測得的效率ε1m，預(yù)測的效率ε1p在預(yù)定限度內(nèi)、并且根據(jù)測得的效率εnm，預(yù)測的效率εnp在預(yù)定限度內(nèi)，以找到匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的相應(yīng)的一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)的一個(gè)或多個(gè)值。然后將一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)的值分配給匹配網(wǎng)絡(luò)模型302。例如，處理器將一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)映射到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的標(biāo)識(shí)號(hào)，并且存儲(chǔ)該映射、該一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)以及該標(biāo)識(shí)號(hào)到主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的存儲(chǔ)器裝置中。

在一些實(shí)施方式中，代替或附加于改變固定參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p中的一個(gè)或多個(gè)，處理器在方法900的操作312中以與上述相同的方式改變電容c11。

圖10是等離子體系統(tǒng)1000的實(shí)施方式的示意圖，其用以說明匹配網(wǎng)絡(luò)模型302在等離子體系統(tǒng)1000內(nèi)的使用。等離子體系統(tǒng)1000包括rf產(chǎn)生器1002、阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1、等離子體室1004和主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112。rf產(chǎn)生器1002是xmhzrf產(chǎn)生器、或ymhzrf產(chǎn)生器、或zmhzrf產(chǎn)生器。rf產(chǎn)生器1002以頻率frf1操作。等離子體室1004經(jīng)由rf傳輸線1006連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸出端109，并且阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的分支電路的輸入端107經(jīng)由rf電纜1008連接到rf產(chǎn)生器1002。

rf產(chǎn)生器1002包含rf功率源1010和傳感器1012，傳感器1012例如，復(fù)電壓和電流傳感器、復(fù)阻抗傳感器、復(fù)電壓傳感器、復(fù)電流傳感器等。傳感器1012經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)電纜1014被連接到主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112，網(wǎng)絡(luò)電纜1014例如，串行傳輸電纜、并行傳輸電纜、usb電纜等。傳感器1012的示例包括電壓傳感器、電流傳感器、阻抗傳感器、復(fù)電壓和電流傳感器、功率傳感器等。主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112包含處理器1016和存儲(chǔ)設(shè)備1018，存儲(chǔ)設(shè)備1018存儲(chǔ)匹配網(wǎng)絡(luò)模型302以供處理器1016訪問。

等離子體室1004包含上電極1020、卡盤1022和晶片w。上電極1020朝向卡盤1022并接地，例如，耦合到參考電壓、耦合到零電壓、耦合到負(fù)電壓等。卡盤1022的示例包含靜電卡盤(esc)和磁性卡盤?？ūP1022的下電極由金屬(例如，陽極氧化鋁、鋁合金，等)制成。此外，上電極1020由金屬(例如，鋁、鋁合金，等)制成。上電極1020位于卡盤1022的下電極相對(duì)側(cè)并朝向卡盤1022的下電極。

在一些實(shí)施方式中，等離子體室1004使用附加的部件形成，附加的部件例如，圍繞上電極1020的上電極延伸部、圍繞卡盤1022的下電極的下電極延伸部、在上電極1020和上電極延伸部之間的介電環(huán)、在下電極和下電極延伸部之間的介電環(huán)、位于上電極1020和卡盤1022的邊緣以包圍等離子體室1004內(nèi)的其中形成等離子體的區(qū)域的約束環(huán)，等。

晶片w被放置在卡盤1022的頂表面1024上進(jìn)行處理，例如，在晶片w上沉積材料，或清洗晶片w，或蝕刻沉積在晶片w上的層，或給晶片w摻雜，或在晶片w上注入離子，或在晶片w上產(chǎn)生光刻圖案，或蝕刻晶片w，或?yàn)R射晶片w，或以上的組合。

主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的處理器1016從主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的存儲(chǔ)器裝置1018訪問配方(例如，待由rf產(chǎn)生器1002產(chǎn)生的rf信號(hào)的頻率frf1，待由rf產(chǎn)生器1002產(chǎn)生的rf信號(hào)的功率量，等)，并經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)電纜1026提供該配方到rf產(chǎn)生器1002。

該配方還包含阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1要實(shí)現(xiàn)的組合可變電容。處理器被連接到驅(qū)動(dòng)組件1040，驅(qū)動(dòng)組件1040經(jīng)由連接機(jī)構(gòu)1042連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的一個(gè)或多個(gè)可變電容器。驅(qū)動(dòng)器組件1040的例子包含連接到相應(yīng)的一個(gè)或多個(gè)馬達(dá)的一個(gè)或多個(gè)驅(qū)動(dòng)器，例如，一個(gè)或多個(gè)晶體管等。所述一個(gè)或多個(gè)馬達(dá)被連接到連接機(jī)構(gòu)1042的相應(yīng)的一個(gè)或多個(gè)桿。處理器1016控制驅(qū)動(dòng)組件1040以經(jīng)由連接機(jī)構(gòu)1042來控制阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1中的一個(gè)或多個(gè)可變電容器，從而實(shí)現(xiàn)相應(yīng)的一個(gè)或多個(gè)電容值，以進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)組合可變電容。例如，處理器1016將信號(hào)發(fā)送到被連接到所述一個(gè)或多個(gè)馬達(dá)中的一個(gè)的一個(gè)或多個(gè)驅(qū)動(dòng)器中的一個(gè)。在接收到信號(hào)時(shí)，驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)生被提供給馬達(dá)的定子的電流信號(hào)。與定子連通的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)以使連接到轉(zhuǎn)子的連接機(jī)構(gòu)1042的一個(gè)或多個(gè)桿旋轉(zhuǎn)。該一個(gè)或多個(gè)桿的旋轉(zhuǎn)改變阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1中的一個(gè)或多個(gè)可變電容器中的一個(gè)的板的位置，以改變阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的組合可變電容。類似地，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的一個(gè)或多個(gè)可變電容器中的其他可變電容器由處理器1016控制以實(shí)現(xiàn)組合的可變電容。阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的所有的可變電容器的待實(shí)現(xiàn)的組合電容被表示為組合可變電容c11。

rf產(chǎn)生器1002接收配方并產(chǎn)生具有在配方內(nèi)的頻率frf1和功率的rf信號(hào)。具有組合可變電容c11的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的分支電路經(jīng)由阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸出端1030、rf電纜1008和輸入端107從rf產(chǎn)生器1002接收具有頻率frf1的rf信號(hào)并使連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸出端109的負(fù)載的阻抗與連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸入端107的源的阻抗相匹配，以產(chǎn)生修改的rf信號(hào)。源的實(shí)施例包含rf產(chǎn)生器1002和將rf產(chǎn)生器1002耦合到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的rf電纜1008。負(fù)載的例子包含rf傳輸線1006和等離子體室1004。rf傳輸線1006將卡盤1022的下電極連接到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1。修改的rf信號(hào)經(jīng)由輸出端109和rf傳輸線1006由阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1提供給卡盤1022。

卡盤1022接收修改的rf信號(hào)并在工藝氣體進(jìn)入等離子體室1004時(shí)，在等離子體室1004中激勵(lì)等離子體或維持等離子體。工藝氣體的實(shí)施例包含含氧氣體或含氟氣體等，在上電極1020和卡盤1022之間的間隙內(nèi)提供工藝氣體。等離子體用于處理晶片w。

匹配網(wǎng)絡(luò)模型302被存儲(chǔ)在主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的存儲(chǔ)裝置1018中。此外，存儲(chǔ)裝置1018存儲(chǔ)數(shù)據(jù)庫1028，數(shù)據(jù)庫1028包含阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的標(biāo)識(shí)、匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的參數(shù)值、由rf產(chǎn)生器1002產(chǎn)生的rf信號(hào)的頻率frf1和阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的組合可變電容c11之間的關(guān)聯(lián)。例如，數(shù)據(jù)庫1028存儲(chǔ)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的標(biāo)識(shí)號(hào)(例如，id1等)，以及id1與使用方法303(圖3)、或方法500(圖5)、或方法600(圖6)、或方法800(圖8)、或方法900(圖9)確定的固定參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p或一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)之間的映射。阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的標(biāo)識(shí)的實(shí)施例包含阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的序列號(hào)。此外，在本實(shí)施例中，存儲(chǔ)裝置1018存儲(chǔ)另一阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)2的id2，以及id2與阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)2的參數(shù)之間的映射。阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)2的參數(shù)以與上述的使用圖3、圖5、圖6、圖8、或圖9確定阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的參數(shù)的方式類似的方式來確定。

在一些實(shí)施例中，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)2的固定參數(shù)與阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的固定參數(shù)相同。例如，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)2的固定參數(shù)是l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p或者一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)。

在多種實(shí)施方式中，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)2的參數(shù)與阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的參數(shù)相同。例如，阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)2的參數(shù)為l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s、c2p和c11，或一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)。

阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1被分配與分配給阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)2的序列號(hào)不同的序列號(hào)，兩個(gè)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1和2具有相同的型號(hào)。在一些實(shí)施方式中，序列號(hào)在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)的外殼上，并且型號(hào)也如此。在多種實(shí)施方式中，標(biāo)識(shí)號(hào)包含字母、數(shù)字、符號(hào)、或者兩種或更多字母、數(shù)字和符號(hào)的組合。

主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的處理器1016經(jīng)由被連接到主計(jì)算機(jī)系統(tǒng)112的輸入裝置接收來自用戶的指示，其中rf產(chǎn)生器1002連接至具有id1的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1，所述輸入裝置例如，觸筆、觸摸板、觸摸屏、按鈕、鼠標(biāo)等。處理器1016從存儲(chǔ)裝置1018識(shí)別阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的id1與匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p或者一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)相關(guān)聯(lián)。處理器1016從存儲(chǔ)裝置1018訪問(例如，讀取等)參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p，并且調(diào)整匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的參數(shù)，以具有與阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1相關(guān)聯(lián)的值l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p或者以具有一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)。

傳感器1012連接到輸出端1030以測量在輸出端1030處的變量。例如，傳感器1012測量輸出端1030處的阻抗的量、或者由rf發(fā)生器1002提供的rf信號(hào)的復(fù)電壓和電流、或者由rf發(fā)生器1002輸送的rf信號(hào)的復(fù)電壓和電流。在一些實(shí)施方式中，由rf發(fā)生器1002輸送的rf信號(hào)是經(jīng)由rf電纜1008由rf發(fā)生器1002提供到阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的rf信號(hào)和經(jīng)由阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1從等離子體室1004朝向rf發(fā)生器1002反射回來的rf信號(hào)之間的差。

當(dāng)測得的變量(例如，復(fù)電壓、復(fù)電流、復(fù)阻抗、復(fù)功率、復(fù)電壓和電流等)由處理器1016經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)電纜1014從傳感器1012接收時(shí)，處理器1016施用所測得的變量到匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的輸入端306處，其被初始化為具有與id1相關(guān)聯(lián)的一個(gè)或多個(gè)參數(shù)或者與id1相關(guān)聯(lián)的一個(gè)或多個(gè)改變的參數(shù)，以產(chǎn)生在匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的輸出端304的預(yù)測的變量。測得的變量由處理器1016經(jīng)由匹配網(wǎng)絡(luò)模型302從輸入端306正向傳導(dǎo)到輸出端304，以在匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的輸出端304產(chǎn)生輸出變量。例如，處理器416計(jì)算下述的復(fù)電壓的定向和：在匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的輸入端306接收的復(fù)電壓、跨越在匹配網(wǎng)絡(luò)模型302內(nèi)的具有電阻r1s的電阻元件的復(fù)電壓、跨越在匹配網(wǎng)絡(luò)模型302內(nèi)的具有電感l(wèi)1s的電感元件的復(fù)電壓、跨越具有固定電容c1s的電容元件的復(fù)電壓、跨越匹配網(wǎng)絡(luò)模型302內(nèi)的具有電阻r2s的電阻元件的復(fù)電壓、跨越匹配網(wǎng)絡(luò)模型302內(nèi)的具有電感l(wèi)2s的電感元件的復(fù)電壓、跨越具有固定電容c2s的電容元件的復(fù)電壓以及跨越匹配網(wǎng)絡(luò)模型302內(nèi)的具有可變電容c11的電容元件的復(fù)電壓。

應(yīng)當(dāng)注意的是，在匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的輸入端接收的復(fù)電壓、跨越在匹配網(wǎng)絡(luò)模型302內(nèi)的具有電阻r1s的電阻元件的復(fù)電壓、跨越在匹配網(wǎng)絡(luò)模型302內(nèi)的具有電感l(wèi)1s的電感元件的復(fù)電壓、跨越具有固定電容c1s的電容元件的復(fù)電壓、跨越匹配網(wǎng)絡(luò)模型302內(nèi)的具有電阻r2s的電阻元件的復(fù)電壓、跨越匹配網(wǎng)絡(luò)模型302內(nèi)的具有電感l(wèi)2s的電感元件的復(fù)電壓、跨越具有固定電容c2s的電容元件的復(fù)電壓以及跨越匹配網(wǎng)絡(luò)模型302內(nèi)的具有可變電容c11的電容元件的復(fù)電壓，具有頻率frf1以在匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的輸出端304產(chǎn)生復(fù)數(shù)值。在該實(shí)施例中，匹配網(wǎng)絡(luò)模型302不包括除了電阻器r1s、電感器l1s、電容器c1s、電阻器r2s、電感器l2s、電容器c2s和電容器c11之外的任何其他電路元件，電阻器r1s、電感器l1s、電容器c1s、電阻器r2s、電感器l2s、電容器c2s和電容器c11彼此串聯(lián)連接。在匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的輸入端306接收的復(fù)電壓由連接到rf產(chǎn)生器1002的輸出端1030的傳感器1012測量，并由處理器1016從傳感器1012接收。因此，在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1和等離子體室1004之間沒有必要使用傳感器(例如，電壓傳感器，電流傳感器，復(fù)阻抗傳感器，復(fù)電壓和電流傳感器等)來確定在阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1的輸出端109的變量的值。使用這些傳感器非常昂貴。相比較而言，傳感器1012已經(jīng)是rf產(chǎn)生器1002的一部分，并且已經(jīng)可以使用。

在一些實(shí)施方式中，固定值l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p適用于同一模型的所有阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)。例如，當(dāng)具有不同的序列號(hào)但具有相同的型號(hào)的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1012連續(xù)地連接到rf產(chǎn)生器1002的輸出端1030時(shí)，固定值l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p由處理器1016應(yīng)用以根據(jù)從傳感器1012獲得的參數(shù)的值計(jì)算在匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的輸出端304的變量。舉另一示例而言，參數(shù)(例如固定參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p等)適用于阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1和2兩者。這在用阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)2替換阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1或用阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)1替換阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)2時(shí)節(jié)省初始化匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的時(shí)間。

應(yīng)當(dāng)注意，在一些實(shí)施方式中，參數(shù)l1s、l1p、l2s、l2p、r1s、r1p、r2s、r2p、c1s、c1p、c2s和c2p在晶片w的處理期間是固定的，例如不使用驅(qū)動(dòng)組件1040和連接機(jī)構(gòu)1042等來改變。

圖11是匹配網(wǎng)絡(luò)模型302的一個(gè)實(shí)施方式的框圖。包含電阻器r1s、電感器l1s、電容器c1s的串聯(lián)電路被連接到包含電阻器r1p、電感器l1p、電容器c1p的并聯(lián)電路。此外，包含電阻器r2s、電感器l2s、電容器c2s的串聯(lián)電路被連接到包含電阻器r2p、電感器l2p、電容器c2p的并聯(lián)電路。另外，包含電阻器r3s、電感器l3s、電容器c3s的串聯(lián)電路被連接到包含電阻器r3p、電感l(wèi)3p、電容器c3p的并聯(lián)電路。

應(yīng)該注意的是，在一些上述實(shí)施方式中，rf信號(hào)被供給到卡盤1022的下電極，并且上電極1020接地。在多種實(shí)施方式中，rf信號(hào)1012被供給到上電極1020，卡盤1022的下電極接地。

本發(fā)明描述的實(shí)施方式可以用包含手持式硬件單元、微處理器系統(tǒng)、基于微處理器的或可編程的消費(fèi)電子產(chǎn)品、小型計(jì)算機(jī)、大型計(jì)算機(jī)等的各種計(jì)算機(jī)系統(tǒng)配置來實(shí)施。本發(fā)明所描述的實(shí)施方式也可以在其中由通過計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)鏈接的遠(yuǎn)程處理硬件單元執(zhí)行任務(wù)的分布式計(jì)算環(huán)境中實(shí)施。

在一些實(shí)施方式中，控制器是系統(tǒng)的一部分，該系統(tǒng)可以是上述實(shí)施例的一部分。這種系統(tǒng)包含半導(dǎo)體處理設(shè)備，該半導(dǎo)體處理設(shè)備包含一個(gè)或多個(gè)處理工具、一個(gè)或多個(gè)處理室、用于處理的一個(gè)或多個(gè)平臺(tái)和/或具體的處理組件(晶片基座、氣流系統(tǒng)等)。該系統(tǒng)可以與用于控制它們?cè)谔幚戆雽?dǎo)體晶片或襯底之前、期間和之后的操作的電子器件一體化。電子器件被稱為“控制器”，該控制器可以控制系統(tǒng)的各種元件或子部件。根據(jù)處理要求和/或系統(tǒng)的類型，控制器被編程以控制本發(fā)明公開的任何工藝，包含控制工藝氣體輸送、溫度設(shè)置(例如，加熱和/或冷卻)、壓強(qiáng)設(shè)置、真空設(shè)置、功率設(shè)置、rf產(chǎn)生器設(shè)置、rf匹配電路設(shè)置、頻率設(shè)置、流速設(shè)置、流體輸送設(shè)置、位置及操作設(shè)置、晶片轉(zhuǎn)移進(jìn)出工具和其他轉(zhuǎn)移工具和/或與具體系統(tǒng)連接或通過接口連接的裝載鎖。

寬泛地講，在多種實(shí)施方式中，控制器定義為接收指令、發(fā)布指令、控制操作、啟用清潔操作、啟用端點(diǎn)測量等等的具有各種集成電路、邏輯、存儲(chǔ)器和/或軟件的電子器件。集成電路包含存儲(chǔ)程序指令的固件形式的芯片、數(shù)字信號(hào)處理器(dsp)、定義為專用集成電路(asic)的芯片、一個(gè)或多個(gè)微處理器或執(zhí)行程序指令(例如，軟件)的微控制器。程序指令是以各種單獨(dú)設(shè)置(或程序文件)的形式發(fā)送到控制器的指令，該設(shè)置(或程序文件)定義用于在半導(dǎo)體晶片上或針對(duì)半導(dǎo)體晶片執(zhí)行特定過程的操作參數(shù)。在一些實(shí)施方式中，操作參數(shù)是由工藝工程師定義的用于在制備晶片的一個(gè)或多個(gè)(種)層、材料、金屬、氧化物、硅、二氧化硅、表面、電路和/或管芯期間完成一個(gè)或多個(gè)處理步驟的配方的一部分。

在一些實(shí)施方式中，控制器是與系統(tǒng)集成、耦合或者說是通過網(wǎng)絡(luò)連接系統(tǒng)或它們的組合的計(jì)算機(jī)的一部分或者與該計(jì)算機(jī)耦合。例如，控制器在“云”中或者是晶片廠(fab)主機(jī)系統(tǒng)的全部或一部分，從而可以允許遠(yuǎn)程訪問晶片處理。控制器啟用對(duì)系統(tǒng)的遠(yuǎn)程訪問以監(jiān)測制造操作的當(dāng)前進(jìn)程，檢查過去的制造操作的歷史，檢查多個(gè)制造操作的趨勢或性能標(biāo)準(zhǔn)，以改變當(dāng)前處理的參數(shù)，以設(shè)置處理步驟來跟隨當(dāng)前的處理或者開始新的工藝。

在一些實(shí)施方式中，遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)(例如，服務(wù)器)通過計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)給系統(tǒng)提供工藝配方，計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)包含本地網(wǎng)絡(luò)或互聯(lián)網(wǎng)。遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)包含允許輸入或編程參數(shù)和/或設(shè)置的用戶界面，該參數(shù)和/或設(shè)置然后從遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)傳輸?shù)较到y(tǒng)。在一些實(shí)施例中，控制器接收設(shè)置形式的用于處理晶片的指令。應(yīng)當(dāng)理解，設(shè)置針對(duì)將要在晶片上執(zhí)行的工藝類型以及工具類型，控制器連接或控制該工具類型。因此，如上所述，控制器例如通過包含一個(gè)或多個(gè)分立的控制器而分布，這些分立的控制器通過網(wǎng)絡(luò)連接在一起并且朝著共同的目標(biāo)(例如，本文所述的實(shí)現(xiàn)工藝)工作。用于這些目的的分布式控制器的實(shí)施例包含與一個(gè)或多個(gè)遠(yuǎn)程集成電路(例如，在平臺(tái)水平或作為遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)的一部分)通信的室上的一個(gè)或多個(gè)集成電路，它們結(jié)合以控制室內(nèi)工藝。

在多種實(shí)施方式中，系統(tǒng)包含但不限于，等離子體蝕刻室、沉積室、旋轉(zhuǎn)清洗室、金屬電鍍室、清潔室、倒角邊緣蝕刻室、物理氣相沉積(pvd)室、化學(xué)氣相沉積(cvd)室、原子層沉積(ald)室、原子層蝕刻(ale)室、離子注入室、軌道室、以及在半導(dǎo)體晶片的制備和/或制造中關(guān)聯(lián)或使用的任何其他的半導(dǎo)體處理系統(tǒng)。

應(yīng)進(jìn)一步指出的是，雖然上述的操作參照平行板等離子體室(例如，電容耦合等離子室等)進(jìn)行描述，但在一些實(shí)施方式中，上述操作適用于其他類型的等離子體室，例如，包含感應(yīng)耦合等離子體(icp)反應(yīng)器的等離子體室、變壓器耦合等離子體(tcp)反應(yīng)器、導(dǎo)體工具、電介質(zhì)工具、包含電子回旋共振(ecr)反應(yīng)器的等離子體室，等。例如，xmhzrf產(chǎn)生器、ymhzrf產(chǎn)生器和zmhzrf產(chǎn)生器被耦合到icp等離子體室內(nèi)的電感器。電感器的形狀的示例包括螺線管、圓頂形線圈、扁平線圈等。

如上所述，根據(jù)工具將要執(zhí)行的一個(gè)或多個(gè)工藝操作，控制器與一個(gè)或多個(gè)其他的工具電路或模型、其他工具組件、組合工具、其他工具界面、相鄰的工具、鄰接工具、位于整個(gè)工廠中的工具、主機(jī)、另一個(gè)控制器、或者在將晶片的容器往來于半導(dǎo)體制造工廠中的工具位置和/或裝載口搬運(yùn)的材料搬運(yùn)中使用的工具通信。

考慮到上述實(shí)施方式，應(yīng)該理解的是，一些實(shí)施方式采用涉及存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中的數(shù)據(jù)的各種計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的操作。這些計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的操作是那些操縱物理量的操作。

一些實(shí)施方式還涉及用于執(zhí)行這些操作的硬件單元或裝置。該裝置針對(duì)專用計(jì)算機(jī)構(gòu)成。當(dāng)被定義為專用計(jì)算機(jī)時(shí)，該計(jì)算機(jī)執(zhí)行其他的處理，同時(shí)，不屬于專用部分的程序執(zhí)行或例程仍能夠操作以供專用。

在一些實(shí)施方式中，本發(fā)明描述的操作通過選擇性地激活的計(jì)算機(jī)執(zhí)行，由存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器中的一個(gè)或多個(gè)計(jì)算機(jī)程序配置，或者通過計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)獲得。當(dāng)通過計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)得到數(shù)據(jù)，該數(shù)據(jù)可以由計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)(例如，云計(jì)算資源)上的其他計(jì)算機(jī)處理。

本發(fā)明所描述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施方式也可以制造為在非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)上的計(jì)算機(jī)可讀代碼。非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)是存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的任何數(shù)據(jù)硬件設(shè)備(例如，存儲(chǔ)器裝置等)，這些數(shù)據(jù)之后由計(jì)算機(jī)系統(tǒng)讀取。計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)的示例包含硬盤驅(qū)動(dòng)器、網(wǎng)絡(luò)附加存儲(chǔ)器(nas)、rom、ram、光盤只讀存儲(chǔ)器(cd-rom)、可錄光盤(cd-r)、可重寫cd(cd-rw)、磁帶和其他光學(xué)以及非光學(xué)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)硬件設(shè)備。在一些實(shí)施方式中，非暫時(shí)性計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)包含分布在與網(wǎng)絡(luò)耦合的計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中的計(jì)算機(jī)可讀有形介質(zhì)，使得計(jì)算機(jī)可讀代碼以分布的方式存儲(chǔ)和執(zhí)行。

盡管如上所述的一些方法操作以特定的順序呈現(xiàn)，應(yīng)當(dāng)理解的是，在不同的實(shí)施方式中，其他日常操作在方法操作之間執(zhí)行，或者方法操作被調(diào)整以使它們發(fā)生在稍微不同的時(shí)間，或分布在允許在不同的時(shí)間間隔的方法操作發(fā)生的系統(tǒng)內(nèi)，或以與上述不同的順序執(zhí)行。

還應(yīng)該注意的是，在一個(gè)實(shí)施方式中，在不脫離本公開內(nèi)容所描述的各種實(shí)施方式中描述的范圍的情況下，來自上述的任何實(shí)施方式的一個(gè)或多個(gè)特征與任何其他實(shí)施方式的一個(gè)或多個(gè)特征組合。

雖然為了清晰理解的目的，已經(jīng)在一定程度上詳細(xì)描述了上述實(shí)施方式，但顯而易見，可以在所附權(quán)利要求的范圍內(nèi)實(shí)踐某些變化和改變方案。因此，本發(fā)明的實(shí)施方式應(yīng)被視為說明性的，而不是限制性的，并且這些實(shí)施方式并不限于本文給出的細(xì)節(jié)，而是可以在所附權(quán)利要求的范圍和等同方案內(nèi)進(jìn)行修改。