0028]步驟Sll:在恢復(fù)系統(tǒng)I中設(shè)置所述多個晶圓的至少一種處理方案；所述處理方案包括取出機臺(Track out)、取消加載(Cancel Track In)和特別處理(Follow Run card)中至少一種。舉例而言，一批晶圓中包括25片晶圓，記為#1?#25，在一次事故中，#1?#8完成加工等待出貨，#9?#17正在加工中，#18?#25尚未加工，那么在所述恢復(fù)系統(tǒng)I中，分別設(shè)定#1?#8為取出機臺，#9?#17為特別處理，#18?#25為取消加載。晶圓所處的狀態(tài)應(yīng)如何對應(yīng)處理方案，這是本領(lǐng)域技術(shù)人員所應(yīng)能夠有效判定的，本發(fā)明對此不作詳細(xì)說明。
[0029]接著，進(jìn)行步驟S12，由集成系統(tǒng)2從客戶端3獲取所述晶圓的信息，對所述處理方案進(jìn)行核實，待所述處理方案正確時，由集成系統(tǒng)2將所述處理方案傳遞至客戶端3以執(zhí)行。具體的，所述客戶端3包括制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES) 31和機臺自動化系統(tǒng)32，在上述對晶圓#1?#25的設(shè)定中，首先所述集成系統(tǒng)2從所述制造執(zhí)行系統(tǒng)獲取所述晶圓#1?#25的信息，對所述處理方案進(jìn)行核實，若所述處理方案與所述晶圓#1?#25所處的狀態(tài)應(yīng)當(dāng)采取的處理手段匹配，即所述處理方案正確，則所述集成系統(tǒng)2將所述處理方案傳遞至所述機臺自動化系統(tǒng)32以執(zhí)行。在本實施例中，#1?#8完成加工等待出貨，應(yīng)當(dāng)進(jìn)行取出機臺操作，#9?#17正在加工中，應(yīng)當(dāng)進(jìn)行特別處理操作，#18?#25尚未加工，應(yīng)當(dāng)進(jìn)行取消加載操作，因此，在恢復(fù)系統(tǒng)I中設(shè)定是正確的，故直接將處理方案傳遞至機臺自動化系統(tǒng)32進(jìn)行處理即可。
[0030]但是在實際操作中，不可避免的會出現(xiàn)例如通知錯誤、填寫錯誤等情況，使得在恢復(fù)系統(tǒng)I中所設(shè)定的處理方案并不能夠完全匹配晶圓所應(yīng)當(dāng)進(jìn)行的操作，此時通過結(jié)合制造執(zhí)行系統(tǒng)31獲取的所述晶圓的信息，會示警并提示技術(shù)人員對處理方案加以調(diào)整，直至處理方案正確，從而有效的避免信息錯誤而導(dǎo)致的損失。例如在上述晶圓#1?#25中，#1?#8完成加工等待出貨，#9?#17正在加工中，#18?#25尚未加工，正確的處理方案是設(shè)定#1?#8為取出機臺，#9?#17為特別處理，#18?#25為取消加載，若在設(shè)置處理方案時設(shè)置為#1?#8為取出機臺，#8?#17為特別處理，#19?#25為取消加載，則出現(xiàn)對#8的處理出現(xiàn)重疊，而#18的處理則被遺漏，于是恢復(fù)系統(tǒng)I會顯示錯誤，從而技術(shù)人員加以核實，確保了對晶圓處理的正確和可靠。
[0031]所述客戶端還包括至少一機臺33，所述機臺33與所述機臺自動化系統(tǒng)32相連通，當(dāng)所述處理方案正確時，所述機臺自動化系統(tǒng)32便可控制所述機臺33進(jìn)行生產(chǎn)，進(jìn)行后續(xù)的操作。
[0032]在本發(fā)明提供的產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)及方法中，包括一恢復(fù)系統(tǒng)，用于設(shè)置所述多個晶圓的至少一種處理方案，從而能夠同時對需要進(jìn)行不同操作的一批晶圓中相應(yīng)晶圓進(jìn)行不同的操作，避免了人工操作帶來的潛在威脅，提高了自動化程度，此外，還能夠保證晶圓不會被重復(fù)處理或漏處理這種情況發(fā)生，提高了生產(chǎn)效率，并保證了質(zhì)量。
[0033]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進(jìn)行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)，用于對同一批產(chǎn)品的多個晶圓進(jìn)行恢復(fù)處理，包括: 恢復(fù)系統(tǒng)，用于設(shè)置所述多個晶圓的至少一種處理方案； 集成系統(tǒng)及客戶端，所述集成系統(tǒng)連通恢復(fù)系統(tǒng)與客戶端。
2.如權(quán)利要求1所述的產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)，其特征在于，所述處理方案包括取出機臺、取消加載和特別處理中至少一種。
3.如權(quán)利要求1所述的產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)，其特征在于，所述客戶端包括制造執(zhí)行系統(tǒng)和機臺自動化系統(tǒng)，所述制造執(zhí)行系統(tǒng)和機臺自動化系統(tǒng)分別通過集成系統(tǒng)實現(xiàn)與恢復(fù)系統(tǒng)的接通，且所述制造執(zhí)行系統(tǒng)和機臺自動化系統(tǒng)通過集成系統(tǒng)相互接通。
4.如權(quán)利要求3所述的產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)，其特征在于，所述機臺自動化系統(tǒng)還連通至少一機臺，控制所述機臺進(jìn)行生產(chǎn)。
5.一種產(chǎn)品混合處理方法，用于對同一批產(chǎn)品的多個晶圓進(jìn)行恢復(fù)處理，包括: 在恢復(fù)系統(tǒng)中設(shè)置所述多個晶圓的至少一種處理方案； 由集成系統(tǒng)從客戶端獲取所述晶圓的信息，對所述處理方案進(jìn)行核實，待所述處理方案正確時，由集成系統(tǒng)將所述處理方案傳遞至客戶端以執(zhí)行。
6.如權(quán)利要求5所述的產(chǎn)品混合處理方法，其特征在于，所述處理方案包括取出機臺、取消加載和特別處理中至少一種。
7.如權(quán)利要求5所述的產(chǎn)品混合處理方法，其特征在于，所述客戶端包括制造執(zhí)行系統(tǒng)和機臺自動化系統(tǒng)。
8.如權(quán)利要求7所述的產(chǎn)品混合處理方法，其特征在于，所述集成系統(tǒng)從所述制造執(zhí)行系統(tǒng)獲取所述晶圓的信息，對所述處理方案進(jìn)行核實，若所述處理方案正確，則所述集成系統(tǒng)將所述處理方案傳遞至所述機臺自動化系統(tǒng)以執(zhí)行。
9.如權(quán)利要求7所述的產(chǎn)品混合處理方法，其特征在于，所述集成系統(tǒng)從所述制造執(zhí)行系統(tǒng)獲取所述晶圓的信息，對所述處理方案進(jìn)行核實，若所述處理方案異常，則結(jié)合由所述制造執(zhí)行系統(tǒng)獲取所述晶圓的信息加以調(diào)整，直至處理方案正確。
【專利摘要】本發(fā)明揭示了一種產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)及方法，所述產(chǎn)品混合處理系統(tǒng)包括：恢復(fù)系統(tǒng)，用于設(shè)置所述多個晶圓的至少一種處理方案；集成系統(tǒng)及客戶端，所述集成系統(tǒng)連通恢復(fù)系統(tǒng)與客戶端。所述產(chǎn)品混合處理方法，包括：在恢復(fù)系統(tǒng)中設(shè)置所述多個晶圓的至少一種處理方案；由集成系統(tǒng)從客戶端獲取所述晶圓的信息，對所述處理方案進(jìn)行核實，待所述處理方案正確時，由集成系統(tǒng)將所述處理方案傳遞至客戶端以執(zhí)行。從而能夠同時對需要進(jìn)行不同操作的一批晶圓中相應(yīng)晶圓進(jìn)行不同的操作，避免了人工操作帶來的潛在威脅，提高了自動化程度，此外，還能夠保證晶圓不會被重復(fù)處理或漏處理這種情況發(fā)生，提高了生產(chǎn)效率，并保證了質(zhì)量。
【IPC分類】G06Q10-06, G06Q50-04
【公開號】CN104751258
【申請?zhí)枴緾N201310739262
【發(fā)明人】張哲 , 徐梅
【申請人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
【公開日】2015年7月1日
【申請日】2013年12月27日