專利名稱：：光學(xué)信息記錄介質(zhì)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及例如CD-ROM(只讀存儲器)、DVD-ROM、BD(藍(lán)光光盤)-ROM或HDDVD-ROM等的只讀光學(xué)信息記錄介質(zhì)，具體地，涉及T者如BD或HDDVD的《吏用藍(lán)色激光來4丸ff再生的只讀光學(xué)信息記錄介質(zhì)。
背景技術(shù)：
：光學(xué)信息記錄介質(zhì)(光盤)根據(jù)記錄和再生的原理被大致劃分為三種類型，即，只讀型、一次寫入型和可重寫型。圖1示意性示出了只讀光盤的典型結(jié)構(gòu)。只讀光盤具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中，在由透明塑料等構(gòu)成的基板1上按順序?qū)訅毫税ˋg(銀)、Al(鋁)、Au(金)等作為主要組分的反射膜2，以及透光層3。通過凸起和凹陷(即，凸部(land)和凹區(qū)(pit))的組合所構(gòu)成的信息(記錄數(shù)據(jù))被存儲在基板l上，例如，由聚碳酸酯構(gòu)成的厚度為1.1mm、直徑為12cm的基板可用作基板1。透光層3通過粘結(jié)透光片或者涂覆透光樹脂并固化透光樹脂來形成。通過檢測施加于光盤的激光的相位差或反射差來執(zhí)行記錄數(shù)據(jù)的再生。圖1的實(shí)施例示出了在基板1上包括一層反射膜2和一層透光層3的單層光盤；但是，例如，如圖2所示，也可以使用包括第一信息記錄面11和第二信息記錄面12的雙層光盤。換句話i兌，雙層光盤具有這樣的結(jié)構(gòu)，其中，在其上存儲了通過凸起和凹陷(即，3凸部和凹區(qū))的組合所構(gòu)成的信息(記錄數(shù)據(jù))的基板l上順序?qū)訅毫说谝环瓷淠?A、第一透光層3A、第二反射膜2B以及第二透光層3B。在第一透光層3A上，通過凹區(qū)和凸部的組合存儲與在基板1上所存儲的信息不同的信息。作為光盤中所使用的反射膜，迄今為止，已經(jīng)使用了Au、Cu(銅)、Ag、Al以及包括它們作為主要組分的合金。這其中，包括Au作為主要組分的反射膜具有化學(xué)穩(wěn)定性高以及記錄特性隨時間的變化小的優(yōu)點(diǎn)。這種反射膜特別昂貴，但具有對于在BD或HDDVD上記錄/再生所用的藍(lán)色激光(波長為405nm)不能獲得足夠高的反射率的問題。此外，包括Cu作為主要組分的反射膜不貴；但是，該反射膜在傳統(tǒng)的反射膜材料中具有最低化學(xué)穩(wěn)定性。此外，與Au—樣，該反射膜具有對于藍(lán)色激光的反射率低的缺點(diǎn)，因此，這種反射膜的應(yīng)用受到限制。包括Al作為主要組分的反射膜具有化學(xué)穩(wěn)定性低于Ag基或Au基反射膜的缺點(diǎn)。另一方面，包括Ag作為主要組分的反射膜在作為實(shí)際波長區(qū)的400nm~800nm范圍內(nèi)表現(xiàn)出足夠高的反射率，目前，在使用藍(lán)色激光的光盤中，根據(jù)諸如反射率和透射率的光學(xué)特性能夠被用于反射膜的金屬僅為Ag。但是，純Ag在化學(xué)穩(wěn)定性或記錄特性(晶體織構(gòu)的熱穩(wěn)定性)隨時間變化的方面遜于Au基反射膜。因此，為了提高耐用性，提出了使用各種Ag基合金(例如，參照專利文獻(xiàn)1~4)。在專利文獻(xiàn)1中，4皮露了包4舌Au、Cu、Pd(4巴)、Rh(4老)等元素的Ag基合金，而在專利文獻(xiàn)2中，披露了包括Zn(鋅)等元素的Ag基合金。在專利文獻(xiàn)3和4中，披露了與本發(fā)明相同的申請人:的用于光盤的反射膜。這當(dāng)中，在專利文獻(xiàn)3中，披露了通4過將諸如Nd(釹)的稀土元素添加至Ag來減小晶體織構(gòu)隨時間的變化的反射膜，而在專利文獻(xiàn)4中，披露了通過將Bi(鉍)添加至Ag來提高在被保持在高溫高濕環(huán)境中時的耐用性的反射膜。但是，對于光盤的反射膜的耐用性的要求已經(jīng)提高了，具體地，在使用藍(lán)色激光的i者如BD-ROM或HDDVD-ROM的光盤中，要求更高的耐用性(時間劣化的減少)。典型地，在用于光盤的反射膜中，除了高反射率之外，還要求在被保持在高溫高濕環(huán)境中用于評價(jià)時間劣化時光盤特性的改變較小(耐環(huán)境性)。此外，在使用藍(lán)色激光的光盤中，除了上述特性之外，例如，還要求在通過將光盤保持在高強(qiáng)度光照射環(huán)境中/人而評1"介在施加日光或熒光燈的光時的光盤特性的劣化而進(jìn)行的試驗(yàn)(加速光照射試驗(yàn))中的特性的改變較小(耐光性)，或者對于用于評價(jià)在重復(fù)再生時的特性的改變的試一瞼的耐用性優(yōu)良(重復(fù)再生耐用性)。因?yàn)槔缭贐D-ROM中，在用于讀取的激光入射的一側(cè)的反射膜上所形成的透光層的厚度近似為100ium,比傳統(tǒng)光盤的CD或DVD中的更薄，因此，透光層對反射膜的保護(hù)效果較小。因此，在BD-ROM等中所使用的反射膜需要比以往具有更高的耐用性。專利文獻(xiàn)1:日本未審查專利申請公開第H6-208730號專利文獻(xiàn)2:曰本未審查專利申請公開第2002-117587號專利文獻(xiàn)3:曰本未審查專利申請公開第2002-15464號專利文獻(xiàn)4:日本專利第3655907號
發(fā)明內(nèi)容鑒于上文所述，本發(fā)明的一個目的在于提供一種包括下述反射膜的光學(xué)信息記錄介質(zhì)該反射膜具有高反射率，并且在被保持在高溫高濕環(huán)境中時具有較小的光盤特性的改變(優(yōu)良的耐環(huán)境性)，并且在被保持在高強(qiáng)度光照射環(huán)境中時具有優(yōu)良的耐光性以及對于重復(fù)再生試驗(yàn)的優(yōu)良的耐用性(重復(fù)再生耐用性)，特別地，適用于諸如DB-ROM或HDDVD-ROM的4吏用藍(lán)色激光的光盤并具有非常優(yōu)良的耐用性。本發(fā)明的第一光學(xué)信息記錄介質(zhì)為在基板上按順序?qū)訅褐辽僖粚臃瓷淠ず椭辽僖粚油腹鈱拥闹蛔x光學(xué)信息記錄介質(zhì)，并且反射膜為包括Ag作為主要組分的合金(Ag基合金)。Ag基合金包括0.01at%~1.0at。/o的Bi和0.1at%~13.0at。/o的Cu。本發(fā)明的第二光學(xué)信息記錄介質(zhì)為在基板上按順序?qū)訅旱谝环瓷淠?、第一透光層、第二反射膜以及第二透光層的只讀光學(xué)信息記錄介質(zhì)，并且第一反射膜和第二反射膜由包括0.01at%~1.0at%的Bi和0.1at%~3.0at。/o的Cu的Ag基合金構(gòu)成。只要滿足上述要求，第一反射膜和第二反射膜的組分可以彼此相同或者彼此不同。^尤選;t也，Ag基合金可以為包4舌0.05at%~1.0at。/o的稀土元素(例4口，Nd)的Ag基合金。此外，期望通過藍(lán)色激光來執(zhí)行信息的再生。根據(jù)本發(fā)明，能夠提供包括具有高反射率，耐環(huán)境性、耐光性以及重復(fù)再生耐用性優(yōu)良的只讀光學(xué)信息記錄介質(zhì)。圖1是示出了在只讀光盤(單層光盤)的圓周方向上的主要部分的示意性截面圖。[圖2]圖2是示出了在另一只讀光盤(雙層光盤)的圓周方向上的主要部分的示意性截面圖。具體實(shí)施例方式為了提供包括具有很高耐用性(耐環(huán)境性、耐光性、重復(fù)再生耐用性)的反射膜的只讀光學(xué)信息記錄介質(zhì)，特別是適合用作使用藍(lán)色激光來執(zhí)行再生的BD-ROM或HDDVD-ROM的光學(xué)信息記錄介質(zhì)，本發(fā)明已經(jīng)進(jìn)行了深入的試驗(yàn)。結(jié)果，得出在BD-ROM中，當(dāng)同一數(shù)據(jù)單元被重復(fù)再生接近幾千萬次時，讀取誤差增大，并能變得不能讀取。根據(jù)這個基本試驗(yàn)，考慮到"跟以往不同，通過對于光學(xué)信息記錄介質(zhì)所使用的典型的耐用性試驗(yàn)(加速環(huán)境試驗(yàn)，其中，將BD-ROM存》文于溫度為80°C并且相對濕度約為85%的高溫高濕環(huán)境中，或者加速光照射試驗(yàn)，其中，將BD-ROM保持在具有比正常環(huán)境更高的強(qiáng)度的光線的照射下)不能充分評價(jià)耐用性，而是需要提供重復(fù)再生耐用性也很優(yōu)良的反射膜"，本發(fā)明已經(jīng)進(jìn)行了更多的試驗(yàn)。結(jié)果發(fā)現(xiàn)，(a)當(dāng)使用包括預(yù)定量的Bi和Cu的Ag-Bi-Cu合金時，獲得了具有高反射率并且耐環(huán)境性優(yōu)良、耐光性優(yōu)良以及重復(fù)再生耐用性非常優(yōu)良的反射膜，以及(b)當(dāng)使用在上述Ag-Bi-Cu合金中包括稀土元素的Ag-Bi-Cu-稀土合金時，進(jìn)一步提高了耐環(huán)境性，從而實(shí)現(xiàn)了本發(fā)明。另外，在本說明書中，"耐用性優(yōu)良"意p未著在凈皮保持在高溫高濕環(huán)境中時的耐環(huán)境性、在被保持在高強(qiáng)度光照射環(huán)境中時的耐光性、以及對于重復(fù)再生試一瞼的重復(fù)再生耐用性的所有方面都優(yōu)良。7更具體而言，"耐環(huán)境性優(yōu)良"指的是，當(dāng)4丸行將介質(zhì)保持在溫度為80°C和相對濕度約為85%的環(huán)境中240小時的加速環(huán)境試驗(yàn)從而測量在加速環(huán)境試驗(yàn)前后的反射率的改變時，反射率的改變量在±3%以內(nèi)。因此，能夠評《介在高溫高濕條件下長期存》文時的耐用性。此外，"耐光性優(yōu)良"指的是，當(dāng)執(zhí)行將具有為正常戶外環(huán)境20倍的強(qiáng)度的光線施加于介質(zhì)240小時的加速光照射試驗(yàn)從而測量加速光照射試-驗(yàn)前后的反射率的改變時，反射率的改變量在±3%以內(nèi)。"重復(fù)再生耐用性優(yōu)良"指的是，如將要在下述的實(shí)施例中被詳細(xì)描述的一樣，當(dāng)執(zhí)行1200萬次的單個數(shù)據(jù)單元的再生從而測量符號誤差率(SER)作為讀取信號誤差的指標(biāo)時，SER在lOxl(T4以下。下文中，將與實(shí)現(xiàn)上述結(jié)構(gòu)的方式一起來描述在本發(fā)明中所使用的Ag基合金。為了開發(fā)新的耐用性優(yōu)良的Ag基合金，本發(fā)明人針對在上述專利文獻(xiàn)4中所披露的Ag基合金中的Bi、稀土元素以及各種Z組元素，更具體地說，作為基本元素的Ag-Bi-Z組元素(在這種情況下，Z元素組指的是在專利文獻(xiàn)4中所4皮露的"Cu、Au、Rh、Pd和Pt(鉑)'，的元素組)或Ag-Bi-Z組元素稀土元素合金對耐用性(特別地，重復(fù)再生耐用性)的影響進(jìn)行了指定的試驗(yàn)。具體而言，在聚碳酸酯基板(其上通過使用具有各種組分的Ag基合金濺射靶的'減射方法形成了凹部和凸部)上形成了各種Ag合金薄膜之后，形成其中形成了由UV可固化樹脂所構(gòu)成的透光層的單層BD-ROM光盤，并且檢查了各種耐用性。結(jié)果，發(fā)現(xiàn)了下面的情況。首先，發(fā)現(xiàn)為了確保優(yōu)良的耐環(huán)境性和優(yōu)良的耐光性同時維持光學(xué)信息記錄介質(zhì)所要求的傳統(tǒng)特性(即，高反射率)，Bi的添加是絕對必要的。另外，此處還沒有考慮到重復(fù)再生耐用性。如在下述的實(shí)施例中所示，與沒有添力口Bi的組相比，在添加了Bi的組中，上述特性得到改進(jìn)。猜測因?yàn)锽i的添加防止了由于加熱所引起的Ag原子的擴(kuò)散和表面粗糙度的增大從而改進(jìn)了耐環(huán)境性，因此，在加速環(huán)境試驗(yàn)后的反射率的下降被大大降低。此外，作為耐光性試驗(yàn)的結(jié)果，在耐光性試驗(yàn)后的抖動值的改變很小(表中沒有示出)，但是卻觀察到反射率的下降。原因不是非常清楚，然而，猜測是直接層壓在Ag基合金反射膜上的紫外可固化樹脂中的未反應(yīng)組分等與在Ga基合金中所包括的稀土元素等之間的反應(yīng)導(dǎo)致了該下降。但是，發(fā)現(xiàn)僅通過添加Bi不能提高重復(fù)再生耐用性(參照下述的實(shí)施例)。當(dāng)通過掃描電子顯微鏡分析由不包括Cu的Ag-Bi基合金所構(gòu)成的反射膜從而查明重復(fù)再生劣化的原因時，在反射膜的激光入射側(cè)3見察到Ag粒子的沉積，因此，猜測激光散射和凹部形狀的改變導(dǎo)致了SER的增大。因此，為了改進(jìn)重復(fù)再生耐用性，執(zhí)行使用被添加至作為基本元素的Ag-Bi基合金的各種Z組元素的試驗(yàn)。結(jié)果，發(fā)現(xiàn)僅在Z組中所包括的元素中的Cu祐使用的情況下，重復(fù)再生耐用性得以捐:高(參照下述的實(shí)施例)。具體而言，在添加了Cu的情況下，即使在由Ag-Bi合金維持優(yōu)良的特性(高反射率、優(yōu)良的耐環(huán)境性以及優(yōu)良的耐光性)的同時執(zhí)行重復(fù)再生試驗(yàn)，也完全沒有觀察到SER的增大。猜測通過添加與Ag相比易于被氧化的Cu而在反射膜的紫外可固化樹脂的表面形成了Cu氧化層等，而Cu氧化層具有保護(hù)層的功能并具有防止Ag原子表面擴(kuò)散的效果。另一方面，在^f吏用除Cu之外的Z組元素的情況下，如下述的實(shí)施例中所示，完全沒有觀察到與添加Cu的情況相同的重復(fù)再生耐用性的l是高效果。原因不是非常清楚，但是猜測Pd、Au、Pt以及Rh化學(xué)穩(wěn)定，并且具有的耐氧化性等于或高于Ag的耐氧化性，因此，在表面上沒有形成氧化保護(hù)層，并且沒有有效地發(fā)揮與添加Cu的情況相同的提高重復(fù)再生耐用性的效果。另外，在下述的實(shí)施例中，沒有示出添加Rh的情況的數(shù)據(jù)，但是猜測Rh與Au或Pd一樣為貴金屬元素，從而不會有助于提高重復(fù)再生耐用性。另夕卜，對在專利文獻(xiàn)2中所4皮露的用Zn來^替Z組元素的添加的Ag合金執(zhí)行耐用性試驗(yàn)；但是，如下述的實(shí)施例所示，僅得到與使用Pd等的情況相同的結(jié)果，而重復(fù)再生耐用性下降。因此，具體得出，僅在使用包括Cu的Ag-Bi-Cu合金的情況下，獲得了滿足所有期望特性的只讀光學(xué)信息記錄介質(zhì)。此外，當(dāng)本發(fā)明人4企查稀土元素對于耐用性的影響時，得出當(dāng)進(jìn)一步將稀土元素添加至Ag-Bi-Cu合金中時，進(jìn)一步才是高了耐環(huán)境性。根據(jù)上述試驗(yàn)結(jié)果，在本發(fā)明中，指定Ag-Bi-Cu合金(優(yōu)選信息記錄介質(zhì)的反射膜。接下來，將在下文中詳細(xì)描述在本發(fā)明中所使用的構(gòu)成Ag基合金的每種元素。另外，在下面的i兌明中，表示每種元素的組分比的"％"指的是"at%，,。Bi:0.01%~1.0%Bi是當(dāng)被保持在高溫高濕環(huán)境中時對于聚集抑制作用(維持結(jié)晶織構(gòu)穩(wěn)定性和表面平滑度)等有幫助的元素，并且通過Bi的添加來沖是高耐加速環(huán)境特性或耐光性。為了有效發(fā)揮上述效果，Bi量的下限被定為0.01%。在Bi量低于0.01。/。的情況下，表面粗糙度增大，并且增大了加速環(huán)境試驗(yàn)后反射率的下降。另一方面，當(dāng)Bi量大于1.0%時，耐光性試馬全后的反射率的下降將增大，因此，Bi量的上限纟皮定為1.0%。Bi的量優(yōu)選處于大于等于0.05%并小于等于0.8%的范圍內(nèi)，更加優(yōu)選地，處于大于等于0.1%并小于等于0.6%的范圍內(nèi)。Cu:0.1%~13.0%Cu是有助于提高重復(fù)再生耐用性的元素。在Cu量小于0.1%的情況下，得不到所期望的重復(fù)再生特性，因此，Cu量的下限被定為0.1%。Cu量優(yōu)選為0.2%以上，更加優(yōu)選為0.3%以上。另一方面，當(dāng)Cu量超過13.0。/。時，初始反射率下降，并且，例如，得不到用于使用藍(lán)色激光的光盤的再生所需的信號，因此，Cu量的上限被定為13.0%。此外，在本發(fā)明的反射膜被具體應(yīng)用于雙層光盤的情況下，如隨后所描述的一樣，Cu量的上限優(yōu)選為3.0%,更力口4尤選為2.0%?，F(xiàn)在，將在下面描述Cu量的上限依賴于所要應(yīng)用的光盤類型而改變的原因。例如，在通過與本申請人相同的申請人所申請的上述專利文獻(xiàn)4的反射膜中，Cu量的上限為3%,遠(yuǎn)低于本發(fā)明的Cu量的上限(13。/。)，其原因?yàn)?，在上述專利文獻(xiàn)中，在反射膜主要被應(yīng)用于作為申請時(2002)時的主流的DVD的設(shè)想下，力圖降低反射率并降低熱導(dǎo)率。首先，關(guān)于反射率，在DVD標(biāo)準(zhǔn)中，指定在光盤的情況下，相只于于具有650nm波長的;敫光來i兌，確4呆單層光盤中的反射率為45%-65%,并且在雙層光盤中為18%~30%,尤其是，在反射膜^皮用在雙層光盤中時，處于遠(yuǎn)離激光入射側(cè)的一側(cè)的層被讀出，因此，期望高的反射率。在專利文獻(xiàn)4中，為了滿足上述標(biāo)準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)88%以上反射率的Ag合金薄膜單層的試驗(yàn)樣品被認(rèn)為是驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)，因此，Cu的添加量的上限祐:設(shè)定為3%。但是，在專利文獻(xiàn)4申請后所開發(fā)的藍(lán)光光盤(BD)、HDDVD等中，使用波長為405nm的藍(lán)色激光，通過標(biāo)準(zhǔn)所指定的反射率在單層光盤中近似為40%，而在雙層光盤中近似為15%。換句話{兌，與DVD相比，對于使用藍(lán)色激光的光盤的反射膜所期望的反射特性非常低(特別地，在單層光盤中)。另一方面，關(guān)于熱導(dǎo)率，在專利文獻(xiàn)4申請時的狀態(tài)是沒有建立用于熱導(dǎo)率的標(biāo)準(zhǔn)，而為了通過有機(jī)記錄膜的使用獲得到良好的記錄信號，要求反射膜具有高的熱導(dǎo)率。但是，目前的狀態(tài)是記錄層被替換為無機(jī)記錄膜，使用無機(jī)記錄膜的光盤不需要具有很高的熱導(dǎo)率，不像專利文獻(xiàn)4申請時一樣嚴(yán)才各地要求高的熱導(dǎo)率。在這種環(huán)境的改變下，當(dāng)實(shí)際形成包括不同量的Cu的Ag-Bi-Cu合金的反射膜的BD并且測量每個BD的反射率時，如下述的實(shí)施例所示，可以得到，即4吏Cu^皮添加至13%的量，也能夠充分確保用于BD所需的反射率的標(biāo)準(zhǔn)(在單層光盤中近似為40%)。因此，在一皮期待具體應(yīng)用于BD的本發(fā)明中，Cu量的上限^皮i殳定為13%。另外，優(yōu)選地，Cu量的上限嚴(yán)格意義上依賴于光盤中的記錄層數(shù)而適當(dāng)改變。例如，在Ag基合金被用作包括兩層以上的記錄層的光盤的反射膜材料的情況下，當(dāng)考慮到由更接近于激光入射側(cè)的一側(cè)上的第二反射膜的光吸收而產(chǎn)生的第一記錄表面的反射率時，期待反射膜的反射率高于單層的情況。因此，Cu量的上限優(yōu)選為3%。因此，Cu量的上限為13.0%(在包括兩層以上的光盤的情況下為3%),高于作為下述選4奪元素的上述Bi或稀土元素的含量的上限。典型地，當(dāng)添加元素被添加至Ag時，初始反射率傾向于降低，但是與Bi或稀土元素相比，通過Cu的添加，Cu具有很低的降低初始反射率的效果，因此，可以增加添加量。本發(fā)明的Ag基合金基本上包括在上述范圍內(nèi)的Bi和Cu，Ag及必然的雜質(zhì)構(gòu)成Ag基合金的其余部分。但是，為了進(jìn)一步提高特性，可以在大于等于0.05%并小于等于1.0%的范圍內(nèi)添加^希土元素，乂人而如Bi的情況一才羊，4是高耐環(huán)境性。在本發(fā)明中所使用的稀土元素指的是包括鑭系元素(包括在周期表中^v原子序凄t57的La至原子序凄t71的Lu的共15種元素)力口上Sc(鈧)和Y(釔)的元素組?？梢詢H使用從它們中所選擇的一種，或者使用兩種以上的組合。其中，優(yōu)選Nd、Sm(釤)、Tb(鋱)、Y以及Gd(禮)，最優(yōu)選Nd。稀土元素的含量優(yōu)選在大于等于0.05%至小于等于0.1%的范圍內(nèi)。在稀土元素的含量小于0.05%的情況下，不能抑制聚集，不能充分維持晶體織構(gòu)穩(wěn)定性，增大了表面粗糙度，并且增大加速環(huán)境試-驗(yàn)后反射率的降低。另一方面，當(dāng)稀土元素的含量超過1.0%時，發(fā)生了加速光照射試驗(yàn)后反射率的下降，因此，上限優(yōu)選為1.0%。稀土元素含量的下限更優(yōu)選為0.1%，稀土元素含量的上限更優(yōu)選為0.8%,進(jìn)一步更優(yōu)選為0.6%。主要考慮反射率，在元素被用于單層光盤的反射膜的情況下，一皮添加至Ag的元素(Bi和Cu，優(yōu)選為稀土元素)總量的上限優(yōu)選為20%，而在將它們用于雙層光盤的情況下為5%。如上所述，典型地，當(dāng)一種元素-皮添加至Ag乂人而將它們合金化時，初始反射率傾向于降低，但是，可以確定添加元素的總量，從而滿足在BD-ROM光盤中的反射率的指定值(在單層光盤中近似為40%并且在雙層光盤中近4以為15%)。在本發(fā)明中所使用的Ag基合金可用作光盤反射膜的材料，并且能夠被應(yīng)用于包括一層或多層記錄層的光盤。根據(jù)實(shí)際使用，反射膜的厚度優(yōu)選為5nm~50nm。在反射膜的厚度小于5nm的情況下，不能確保足夠的反射率，并且很難讀取信號。另一方面，眾所周知，當(dāng)反射膜的厚度超過50nm時，再生信號的清晰度損失(抖動值增大)；因此，上限優(yōu)選為50nm。具體而言，反射膜的優(yōu)選厚度依賴于光盤的記錄層，例如，在反射膜被用于單層光盤的情況下，厚度優(yōu)選在近似為20nm~50nm的范圍內(nèi)。另一方面，在雙層光盤的激光入射側(cè)上的第二反射膜的厚度優(yōu)選在近似為5nm~30nm的范圍內(nèi)。當(dāng)?shù)诙瓷淠さ暮穸瘸^30nm時，在第一透光層的記錄面上再生的光線不能充分通過第二反射膜。另一方面，在第二反射膜的厚度小于5nm的情況下，不能充分獲得用于在第二透光層的記錄面上再生的反射光。第一反射膜的厚度優(yōu)選為20nm~50nm。以上，描述了在本發(fā)明中所使用的Ag基合金。本發(fā)明的只讀光學(xué)信息記錄介質(zhì)的特征在于通過使用上述Ag基合金作為反射膜的材料，而應(yīng)用了Ag基合金的光盤的結(jié)構(gòu)或類型(多種透光層、基板等)沒有具體限制，可以使用任意典型使用的光盤。此外，基板的類型沒有具體限制，可以使用廣泛用于光盤基板的樹脂，例如，聚碳酸酯樹脂、丙烯酸樹脂等?？紤]到價(jià)才各和枳4成特性，優(yōu)選使用聚碳酸酯樹脂?；宓暮穸葍?yōu)選在0.4mm~1.2mm范圍內(nèi)。此外，在基板上所形成的凹區(qū)的深度優(yōu)選在50mm~100nm的范圍內(nèi)。此外，透光層的種類沒有限制，例如，可以使用紫外可固化樹脂、聚碳酸酯樹脂等。在單層光盤中，透光層的厚度優(yōu)選近似為100)am,而在雙層光盤中，第一透光層的厚度優(yōu)選近似為25)Lim，第二透光層的厚度優(yōu)選近似為75|um。例如，可以通過賊射法、氣相沉積法等來形成在本發(fā)明中所Y吏用的Ag基合金薄膜，而且，優(yōu)選濺射法。這是因?yàn)?，通過濺射法，上述合金元素能夠-故均勻擴(kuò)散進(jìn)Ag基體中，從而獲得均質(zhì)的膜，并且能夠獲得穩(wěn)定的光學(xué)特性或耐用性?？梢酝ㄟ^熔融/鑄造法、粉末燒結(jié)法、噴鍍成型法等的任意一種來制造在濺射法中所4吏用的濺射耙，特別地，優(yōu)選通過真空熔融/鑄造法來制造賊射耙。通過真空熔融/鑄造法所制造的Ag基合金濺射靶包括比通過任何其他方法所制造的濺射靶更小的諸如氮或氧的雜質(zhì)組分的含量，并且當(dāng)使用該濺射靶時，濺射速率穩(wěn)定，并且通過使用這種濺射靶所形成的第一反射膜或第二反射膜的諸如反射膜組分穩(wěn)定性的特性非常優(yōu)良，能夠提供具有高性能和高可靠性的光盤。實(shí)施例下文中，將參照實(shí)施例更加具體地描述本發(fā)明。但是，本發(fā)明不限于下述實(shí)施例，而是可以通過在遵循本發(fā)明上述和下述目的的范圍內(nèi)適當(dāng)?shù)匦薷乃鼈儊韺?shí)施本發(fā)明，并且所有修改都被包括在本發(fā)明的4支術(shù)范圍內(nèi)。實(shí)施例1在本實(shí)施例中，通過下面的步驟來形成單層BD-ROM。首先，通過使用具有凸部和凹部的Ni(鎳)壓模利用注入成型聚碳酸酯來獲得厚度為1.1mm的基板。另一方面，通過真空熔融/鑄造法，形成包含表l中所示的各種組分的Ag基合金濺射靶。通過4吏用以這種方式所獲得的每一個Ag基合金濺射靶，通過DC萬茲控賊射在上述基板上形成厚度為35nm的反射膜。賊射條件包4舌Ar氣流率為20sccm、Ar氣壓為2mTorr(0.266Pa)、月莫形成功率為DC400W、以及才及限真空度為2.0x10—6Toor(266x10—6Pa)以下。4妻下來，通過旋涂法來涂覆紫外可固化樹脂，,人而使其厚度為lOOjLim,并且通過紫外照射固化初t脂來形成透光層，乂人而獲得單層BD-ROM。評價(jià)以這種方式所獲得的單層BD-ROM的以下特性。(反射率的測量)在BD中，反射率被定義為在17PP調(diào)制信號中的8T信號的反射率的最大值(R8H)。在該實(shí)施例中，通過具有〖敫光波長為405nm的激光拾取器和數(shù)值孔徑(NA)為0.85的物鏡從透光層側(cè)再生信息信號，并且通過使用預(yù)先知道反射率的光盤信號來轉(zhuǎn)換再生的信號，從而通過計(jì)算確定單層BD-ROM的反射率(才丸4亍下面試-驗(yàn)前的初始反射率)。具有35%以上的反射率的單層BD-ROM被認(rèn)為是合格的。(耐環(huán)境性)沖丸行BD一皮存》丈在溫度為80。C、相對濕度近似為85%的空氣氣氛中240小時的高溫高濕試驗(yàn)，從而測量試驗(yàn)前后的反射率的改變量。在本實(shí)施例中，加速環(huán)境試驗(yàn)前后的反射率的改變量在±3%內(nèi)的單層BD-ROM被認(rèn)為是合格的。(耐光性)通過照射強(qiáng)度為室內(nèi)照明燈所照射的波長為300nm~400nm的紫外線的20倍的光線240小時來執(zhí)行用于評價(jià)耐光性的加速光照射試-驗(yàn)，從而才艮據(jù)試-險(xiǎn)前后反射率的改變量來評價(jià)耐光性。具體而言，通過4吏用東芝照明及4支術(shù)有限^>司(ToshibaLighting&TechnologyCorporation)的燈FHF32EX并將以上述方式獲得的每個BD-ROM的透光層》文置在3巨離燈30cm的4立置并^f吏其面對燈來進(jìn)行試驗(yàn)，從而測量反射率的改變量。在本實(shí)施例中，加速光照射i式-驗(yàn)前后反射率改變量在±3%內(nèi)的BD-ROM#^人為是合才各的。(重復(fù)再生耐用性)在以9.8m/s的線速度用0.35mW的再生激光功率沖丸行1200萬次單個^:據(jù)單元的再生之后，測量符號誤差率(SER)來作為讀取信號誤差的指標(biāo)。具有10xl0^以下SER的BD-ROM被認(rèn)為是合才各的。另夕卜，確^人在1"壬意的BD-ROM中，初始SER為1><10一5以下。在上述情況下獲得的初始反射率、耐環(huán)境性、耐光性、以及重復(fù)再生耐用性的所有結(jié)果在表1中示出。表1具有示出綜合評價(jià)的欄，所有特性合格的BD-ROM被表示為〇，而某些特性不合格的BD-ROM^皮表示為x。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage18</column></row><table>通過表1能夠得到下面的結(jié)果。第5號為Ag-Bi-Cu合金，滿足本發(fā)明的需要，第610和12及13號為Ag-Bi-Cu-稀土元素合金，滿足本發(fā)明的優(yōu)選需要，并且它們都具有高反射率，并且所有的耐用性都優(yōu)良。另一方面，不滿足本發(fā)明某些需要的以下實(shí)施例具有下面的缺陷。(第1號和第2號)第1號和第2號為沒有添加Bi的實(shí)施例。在這兩個實(shí)施例中，第1號為添加Pd作為Z組元素的實(shí)施例，但是，第1號在耐光性方面4艮差。第2號為添加Nd來替Z組元素的實(shí)施例。通過添加Nd來代替Bi,提高了耐環(huán)境性，但是，第2號在耐光性方面很差。通過這些結(jié)果可以得到，為了提高耐光性，Bi的添加絕對必要。(第3、4、11以及14~17號)第3、4、11以及14~17號為沒有添加Cu(第3、4以及14~17號)或Cu的添加量大(第11號)的實(shí)施例。如表1所示，沒有添加Cu的上述實(shí)施例在重復(fù)再生耐用性方面4艮差。此外，在第4號中，作為稀土元素的Nd的添加量4艮大，因此，耐光性也下降。此外，當(dāng)Cu的添加量與第11號的情況一樣大時，合金元素的總量增大，從而反射率下降。第15~17號為除Cu之外的元素纟皮用作Z組元素的實(shí)施例，在所有實(shí)施例中，沒有觀察到重復(fù)再生耐用性的提高。此外，第14號為使用Zn來代替Z組元素的實(shí)施例，并且沒有觀察到重復(fù)再生耐用性的提高。另外，在第14-17號中，僅評定了重復(fù)再生耐用性，沒有纟丸行對耐環(huán)境性和耐光性的試驗(yàn)。通過上述試驗(yàn)結(jié)果發(fā)現(xiàn)，為了提高重復(fù)再生耐用性，Cu的添加是絕對必要的，并且當(dāng)在本發(fā)明所指定的范圍內(nèi)添加Cu時，獲得了高的反射率和優(yōu)良的耐用性。此外，確定包括Ag-Bi-Cu合金和Ag-Bi-Cu-稀土元素合金的反射膜的光學(xué)信息記錄介質(zhì)具有高的反射率，并且在耐環(huán)境性、耐光性以及重復(fù)再生耐用性的所有方面都是優(yōu)良的。實(shí)施例2在該實(shí)施例中，通過下面的步驟形成雙層BD-ROM。在這種情況下，表2中所示的Ag合金膜被用于形成第一反射膜和第二反射膜。首先，通過^f吏用具有凸部和凹部的Ni壓才莫利用注射成型聚石灰酸酯來得到厚度為1.1mm的基板。另一方面，通過真空熔融/鑄造法，形成包括表2中所示的組分的Ag基合金賊射耙。通過使用以這種方式所獲得的每一個Ag基合金濺射靶，通過DC》茲控賊射在上述基板上形成厚度為40nm的第一反射膜。濺射條件與上述實(shí)施例l相同。接下來，通過旋涂法來涂覆紫外可固化樹脂，使其厚度為25iam，并通過紫外照射固化樹脂來形成第一透光層(厚度為25jum)。此外，通過DC磁控濺射形成厚度為20nm的第二反射膜。濺射條件與上述實(shí)施例l相同，只是膜形成功率變?yōu)镈C100W。接下來，通過旋涂法涂覆紫外可固化樹脂，使其厚度為75)am,并通過紫外照射固化樹脂來形成第二透光層(厚度為75)am)，從而獲得雙層BD-ROM。與上述實(shí)施例1的情況一樣，測量以這種方式所獲得的每個雙層BD-ROM的SER。在本實(shí)施例中，在第一信息記錄面和第二信息記錄面上的SER都為10x10—4以下的雙層BD-ROM被認(rèn)為是合格的。表2中示出了這些結(jié)果。<table>tableseeoriginaldocumentpage21</column></row><table>在表2中，表2中不包括Cu的第2號在第一信息記錄面的重復(fù)再生耐用性方面4艮差，而表2中包括在本發(fā)明范圍內(nèi)的Cu的第1號在重復(fù)再生耐用性方面優(yōu)良。通過試-驗(yàn)結(jié)果，與單層BD-ROM的情況一樣，在雙層BD-ROM中也證實(shí)了通過Cu的添加對重復(fù)再生耐用性的提高效果。另外，盡管沒有在表2中示出，但是可以確認(rèn)表2的第1號具有高的反射率，并且在耐環(huán)境性和耐光性的方面都伊乙良。權(quán)利要求1.一種光學(xué)信息記錄介質(zhì)，為在基板上按順序?qū)訅褐辽僖粚臃瓷淠ず椭辽僖粚油腹鈱拥闹蛔x光學(xué)信息記錄介質(zhì)，其中，所述反射膜由包括0.01at％～1.0at％的Bi和0.1at％～13.0at％的Cu的Ag基合金構(gòu)成。2.—種光學(xué)信息記錄介質(zhì)，為在基板上按順序?qū)訅旱谝环瓷淠ぁ⒌谝煌腹鈱?、第二反射膜和第二透光層的只讀光學(xué)信息記錄介質(zhì)，其中，所述第一反射膜和所述第二反射膜彼此相同或不同，并由包4舌0.01at%~1.0at。/。的Bi和0.1at%~3.0at。/o的Cu的Ag基合金構(gòu)成。3.^f艮據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光學(xué)信息記錄介質(zhì)，其中，所述Ag基合金包括0.05at%~1.0at。/o的稀土元素。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)信息記錄介質(zhì)，其中，所述Ag基合金包括作為所述稀土元素的Nd。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)信息記錄介質(zhì)，其中，信息的再生通過藍(lán)色激光來執(zhí)行。全文摘要本發(fā)明公開了一種包括反射膜的只讀光學(xué)信息記錄介質(zhì)，該反射膜具有高反射率，并且在被保持在高溫高濕環(huán)境中時的耐環(huán)境性以及在被保持在高強(qiáng)度光照射環(huán)境中時的耐光性和對于重復(fù)再生試驗(yàn)的重復(fù)再生耐用性方面都很優(yōu)良。在基板上順序?qū)訅毫酥辽僖粚臃瓷淠ず椭辽僖粚油腹鈱拥闹蛔x光學(xué)信息記錄介質(zhì)中，所述反射膜由包括0.01at％～1.0at％的Bi和0.1at％～13.0at％的Cu的Ag基合金構(gòu)成。文檔編號G11B7/258GK101548324SQ20088000092公開日2009年9月30日申請日期2008年4月10日優(yōu)先權(quán)日2007年4月13日發(fā)明者中井淳一,大川直樹,田內(nèi)?；暾埲?索尼碟片數(shù)位解決方案股份有限公司;株式會社神戶制鋼所;克貝魯可科研股份有限公司