專利名稱：具有梯形形狀的磁頭滑動(dòng)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的背景本發(fā)明的領(lǐng)域本發(fā)明關(guān)于用在磁盤驅(qū)動(dòng)器上的浮動(dòng)磁頭滑動(dòng)器，特別關(guān)于擬具有低浮動(dòng)高度的負(fù)壓滑動(dòng)器。
先有技術(shù)的描述在現(xiàn)有的磁盤驅(qū)動(dòng)器的磁頭滑動(dòng)器中，為了增加磁盤的記錄密度，正設(shè)法降低浮動(dòng)高度。另外，在選取方向上為了獲得高的選取速度采用了大的加速度，故要求滑動(dòng)器具有極佳的浮動(dòng)穩(wěn)定性。另外，在近代磁盤驅(qū)動(dòng)裝置中，轉(zhuǎn)動(dòng)定位器廣泛用于減小磁盤驅(qū)動(dòng)器的尺寸和簡(jiǎn)化機(jī)構(gòu)的目的，并要求負(fù)壓滑動(dòng)器由于偏轉(zhuǎn)角度的改變而浮動(dòng)高度變化較小。
作為一個(gè)具有極佳浮動(dòng)穩(wěn)定性的負(fù)壓磁頭滑動(dòng)器，已有建議該滑動(dòng)器具有一雙軌道，該軌道寬度從空氣入口端到空氣出口湍減小，并在這對(duì)軌道之間限定一個(gè)槽，以在槽中產(chǎn)生負(fù)壓(日本專利公開(kāi)號(hào)NO.4-228157)。

圖1A是在上述公開(kāi)文件中公開(kāi)的通常的負(fù)壓磁頭滑動(dòng)器的平面圖，圖1B是圖1A所示滑動(dòng)器的透視圖。參考數(shù)字2所指的滑動(dòng)器在平面視圖中具有矩形形狀，并具有空氣入口端2a和空氣出口端2b。
用以產(chǎn)生正壓的一對(duì)軌道4和6加工在滑動(dòng)器2的磁盤相對(duì)的表面上。軌道4和6具有平坦的氣浮表面(軌道表面)4a和6a，用以在磁盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)分別產(chǎn)生浮動(dòng)力。傾斜表面4b和6b分別加工在軌道4和6的空氣入口端部。槽8用于膨脹已壓縮的空氣以產(chǎn)生負(fù)壓并限定在軌道4和6之間。電磁傳感器10加工在滑動(dòng)器2的空氣出口端軌道4所在的位置。中間軌道11加工在空氣入口端2a側(cè)的軌道4和6之間。
每個(gè)軌道4和6在空氣入口端部和出口端部寬度較大，在中部寬度較小，因此可抑制由于偏轉(zhuǎn)角度的改變引起的浮動(dòng)高度的變化。另外，通過(guò)在軌道4和6的空氣入口端部加工出傾斜表面4b和6b，由于灰塵存積引起的浮動(dòng)高度的變化可被抑制。圖1B是滑動(dòng)器2的從軌道平面的側(cè)面看過(guò)去的透視圖，其中虛線表示作用在滑動(dòng)器2上的正壓力，實(shí)線表示負(fù)壓力。在軌道表面4a和6a上產(chǎn)生正壓力，在槽8中產(chǎn)生負(fù)壓力。
當(dāng)滑動(dòng)器2的浮動(dòng)高度變成0.05μm或更少時(shí)，滑動(dòng)器的形狀對(duì)浮動(dòng)狀態(tài)影響很大。上述通常的滑動(dòng)器是矩形的，每對(duì)基本平行的軌道在空氣入口端部和出口端部具有兩個(gè)較寬的部分。因此在滑動(dòng)器浮動(dòng)時(shí)的壓力分布圖中出現(xiàn)四個(gè)峰值。亦即該滑動(dòng)器浮動(dòng)時(shí)由四個(gè)支點(diǎn)支撐。在這種情況下，滑動(dòng)器的形狀對(duì)浮動(dòng)狀態(tài)影響很大，亦即滑動(dòng)器的浮動(dòng)狀態(tài)隨著由于制造誤差而產(chǎn)生的滑動(dòng)器的隆起、翹曲、扭轉(zhuǎn)等的改變而變化很大。
本發(fā)明的概述因此本發(fā)明的目的是提供一種具有優(yōu)良浮動(dòng)特性的磁頭滑動(dòng)器，它可抑制由于加工滑動(dòng)器時(shí)軌道表面平面度誤差引起的浮動(dòng)高度的變化，以及由于傾斜面加工誤差的浮動(dòng)高度的變化。
按照本發(fā)明的一個(gè)方面，提供一種具有空氣入口端和空氣出口端的磁頭滑動(dòng)器，它包括一對(duì)加工在與磁盤相對(duì)的磁盤相對(duì)表面上的軌道，每個(gè)上述軌道具有用以在上述磁盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生浮動(dòng)力的平坦的氣浮表面；一個(gè)限定在上述一對(duì)軌道之間的、它們的空氣入口端部上的窄槽；一個(gè)限定在上述一對(duì)軌道之間的槽，它與上述窄槽相連，并比上述窄槽寬，用以膨脹壓縮的空氣以產(chǎn)生負(fù)壓；和一個(gè)加工在上述空氣出口端上述一對(duì)軌道中的一個(gè)的位置上；上述滑動(dòng)器具有梯形形狀，從而使上述空氣入口端比上述空氣出口端窄一些。
由于本發(fā)明的磁頭滑動(dòng)器具有梯形形狀，從而使空氣入口端比空氣出口端窄，一對(duì)軌道在空氣入口端比空氣出口端相互靠得近一些。因此，在滑動(dòng)器浮動(dòng)時(shí)的壓力分布呈現(xiàn)三個(gè)峰值，即滑動(dòng)器在浮動(dòng)時(shí)由三個(gè)點(diǎn)支撐。由于該滑動(dòng)器在浮動(dòng)時(shí)由三點(diǎn)支撐，雖然由于制造誤差使滑動(dòng)器產(chǎn)生隆起、翹曲、扭轉(zhuǎn)等等的變化，它仍能抑制滑動(dòng)器浮動(dòng)高度的變化。因此可使該滑動(dòng)器具有優(yōu)良的浮動(dòng)特性。
每個(gè)軌道最好具有這樣的形狀空氣出口端部的中心位于連接空氣入口端部的中心和中間部分的中心的連接的直線的外側(cè)。每個(gè)軌道最好也具有在空氣入口端部產(chǎn)生正壓的傾斜表面，該傾斜表面的寬度從空氣入口端朝空氣出口端逐漸減小。
按照本發(fā)明的另一個(gè)方面，提供了一種具有空氣入口端和空氣出口端的磁頭滑動(dòng)器，它包括一對(duì)加工在磁盤對(duì)面的磁盤相對(duì)表面上的軌道，每個(gè)上述軌道具有一平坦的氣浮表面，在上述磁盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生浮動(dòng)力；一個(gè)限定在上述空氣入口端部上的上述一對(duì)軌道之間的窄槽；一個(gè)與上述窄槽連續(xù)并限定在上述一對(duì)軌道之間且比上述窄槽寬的槽，該槽用于膨脹壓縮的空氣以產(chǎn)生負(fù)壓；和一個(gè)傳感器，它加工在上述空氣出口端上述一個(gè)軌道所在的位置，上述滑動(dòng)器具有一對(duì)基本平行的側(cè)表面，相交于上述空氣出口端，還具有一對(duì)傾斜的側(cè)表面，它們從上述一對(duì)基本平行的側(cè)表面延伸到上述空氣入口端，從而連續(xù)地相互靠近。
在本發(fā)明的進(jìn)一步方面中，提供一種具有空氣入口端和空氣出口端的磁頭滑動(dòng)器，它包括一對(duì)加工在磁盤對(duì)面的與磁盤相對(duì)的表面上的軌道，每個(gè)上述軌道具有一平坦的氣浮表面以在上述磁盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生浮動(dòng)力；一個(gè)軌道連接部分在空氣入口端部連接到上述一對(duì)軌道上；一個(gè)限定在一對(duì)上述軌道之間的槽，用以膨脹壓縮的空氣以產(chǎn)生負(fù)壓；和一個(gè)加工在上述空氣入口端上述一個(gè)軌道所在位置的傳感器；上述滑動(dòng)器具有梯形形狀，從而使上述空氣入口端比上述空氣出口端要窄。
軌道連接部分在空氣入口部分最好具有產(chǎn)生負(fù)壓的傾斜表面，該傾斜表面的寬度從空氣入口端到空氣出口端逐漸減小。
按照本發(fā)明的又一個(gè)方面，提供了一種切割條狀薄片的方法，該條狀薄片具有給定的寬度并具有成一排的若干滑動(dòng)器，分開(kāi)上述滑動(dòng)器從而使上述每個(gè)滑動(dòng)器具有梯形形狀，該方法包括步驟提供一切割刀，在它的整個(gè)外緣上加工有切割片，上述切割片的傾斜角度等于上述梯形滑動(dòng)器傾斜的側(cè)面的角度；使上述條狀薄片朝上直立以使每個(gè)滑動(dòng)器的空氣入口端變成上側(cè)，并將上述條狀薄片放在上述轉(zhuǎn)動(dòng)切割刀的前面；以基本水平方向?qū)⑸鲜霰∑偷缴鲜鲛D(zhuǎn)動(dòng)切割刀上以切割上述條狀薄片。
另外，亦可通過(guò)向切割刀垂直移動(dòng)條狀薄片來(lái)切割條狀薄片，這樣切割位置位于通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)切割刀中心的垂線上。
通過(guò)研究下面參照本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的附圖的描述及所附的權(quán)利要求，本發(fā)明的上述及其它目的、特征及優(yōu)點(diǎn)和實(shí)施它們的方式將更加清楚，發(fā)明本身亦可得到充分的理解。
附圖概述圖1A是先有技術(shù)中磁頭滑動(dòng)器的平面視圖，圖1B是圖1A中的滑動(dòng)器在其浮動(dòng)狀態(tài)下的透視圖，圖2是磁盤驅(qū)動(dòng)裝置的透視圖，圖3為本發(fā)明的第一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的滑動(dòng)器的平面圖，圖4為圖3中的滑動(dòng)器在其浮動(dòng)狀態(tài)下的透視圖，圖5為圖3中的滑動(dòng)器的壓力分布圖，圖6為本發(fā)明第二個(gè)實(shí)施例的滑動(dòng)器的平面視圖，圖7為本發(fā)明第三個(gè)實(shí)施例的滑動(dòng)器的平面視圖，圖8為本發(fā)明第四個(gè)實(shí)施例的滑動(dòng)器的平面視圖，圖9為本發(fā)明第五個(gè)實(shí)施例的滑動(dòng)器的平面視圖，圖10為本發(fā)明第六個(gè)實(shí)施例的滑動(dòng)器的平面視圖，圖11為本發(fā)明第七個(gè)實(shí)施例的滑動(dòng)器的平面視圖，圖12為本發(fā)明第八個(gè)實(shí)施例的滑動(dòng)器的平面視圖，圖13為本發(fā)明第九個(gè)實(shí)施例的滑動(dòng)器的平面視圖，圖14為本發(fā)明第十個(gè)實(shí)施例的滑動(dòng)器的平面視圖，圖15A為本發(fā)明第十一個(gè)實(shí)施例的滑動(dòng)器的平面視圖，圖15B為沿圖15A中B-B線的剖面圖，圖16為本發(fā)明第十二個(gè)實(shí)施例的滑動(dòng)器的平面視圖，圖17為本發(fā)明第十三個(gè)實(shí)施例的滑動(dòng)器的平面視圖，圖18為本發(fā)明第十四個(gè)實(shí)施例的滑動(dòng)器的平面視圖，圖19A為本發(fā)明第十五個(gè)實(shí)施例的滑動(dòng)器的平面視圖，
圖19B為沿圖19A中B-B線的剖面圖，圖20為本發(fā)明第十六個(gè)實(shí)施例的滑動(dòng)器的平面視圖，圖21為圖20所示滑動(dòng)器浮動(dòng)高度的曲線圖，圖22A為薄片的透視圖，圖22B為從圖22A所示薄片的條狀薄片切片的透視圖，圖23為第一種切割方法的透視圖，圖24為切割刀片形狀的剖視圖，圖25為臺(tái)架的透視圖，圖26A為沿圖25中26A-26A線的剖視圖，圖26B為圖25中26B-26B線的剖面圖，圖27為第二種切割方法的透視圖，和圖28為宜放置切割刀片的條狀薄片的透視圖。
描述優(yōu)選實(shí)施例參見(jiàn)圖2，它是一磁盤驅(qū)動(dòng)裝置的透視圖，其中安裝了本發(fā)明的磁頭滑動(dòng)器。數(shù)字12表示一個(gè)盒(盤的外罩)，它包括基座14和蓋16。一軸套(未示出)由裝在基座14上的軸套馬達(dá)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)。若干磁盤20和墊片(未示出)以交替疊放的方式裝在軸套上。也就是說(shuō)，若干磁盤通過(guò)用螺釘將磁盤夾固定到軸套上來(lái)固定地安裝到軸套上由墊片隔開(kāi)同樣的一定的距離。
參考數(shù)字22表示一轉(zhuǎn)動(dòng)作動(dòng)器，它包括一作動(dòng)器臂組件26和磁回路28。作動(dòng)器臂組件26安裝成可繞著固定到基體14上的軸24轉(zhuǎn)動(dòng)。作動(dòng)器臂組件26包括若干從轉(zhuǎn)動(dòng)中心一個(gè)方向伸出的作動(dòng)器臂30和從轉(zhuǎn)動(dòng)中心的與作動(dòng)器臂相反方向伸出的線圈支撐構(gòu)件36。
懸架34的基礎(chǔ)端部固定到每個(gè)作動(dòng)器臂30的前端部。磁頭滑動(dòng)器32支撐在懸架34的前端部。線圈38由線圈支撐構(gòu)件36支撐。插在磁回路28的間隙內(nèi)的磁回路28和線圈38構(gòu)成一音圈馬達(dá)(VCM)40。
參考數(shù)字42表示一塊柔性印刷電路板(FPC)，用以拾取來(lái)自安裝在磁頭滑動(dòng)器32上的電磁傳感器的信號(hào)。該柔性印刷電路板的一端由固定構(gòu)件44固定，并電連到連接器(未示出)。一環(huán)形襯墊組件46安裝在基座14上。盒12由將蓋16用螺釘通過(guò)襯墊組件46固定到基座14上而得到密封。
圖3是表示本發(fā)明的第一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的磁頭滑動(dòng)器50A的平面圖，圖4表示磁頭滑動(dòng)器50A處于浮動(dòng)狀態(tài)時(shí)的透視圖。在本優(yōu)選實(shí)施例及所有下面的優(yōu)選實(shí)施例中，基本上同樣的部件用同樣的參考數(shù)字表示。磁頭滑動(dòng)器50A具有氣體進(jìn)口端52a和氣體出口端52b，從平面圖上看，它具有梯形形狀，這樣空氣進(jìn)口端52a比空氣出口端52b要窄。磁頭滑動(dòng)器50A由圖2所示的懸架34支撐。
分別具有平坦的軌道表面(氣浮軸承表面)54a和56a的一對(duì)軌道54和56加工在磁頭滑動(dòng)器50A的磁盤相對(duì)表面上。在軌道54和56的進(jìn)氣端部分分別加工有傾斜表面54b和56b。由于滑動(dòng)器50A是梯形的，所以軌道54和56布置成在它們的進(jìn)氣端部分上相互靠近，窄槽58限定在軌道54和56的進(jìn)氣端部分之間。另外，用以產(chǎn)生負(fù)壓的槽60限定在軌道54和56之間。電磁傳感器62裝在滑動(dòng)器50A的出氣口端52b上，其位置是軌道54所在的位置。
滑動(dòng)器50A由Al2O3-Tic制成，首先在一個(gè)薄片上加工若干電磁傳感器62，然后將薄片切割成桿或條狀，然后再加工每個(gè)條的側(cè)面以形成若干成對(duì)的軌道54和56，最后切割條以得到單個(gè)滑動(dòng)器50A?；瑒?dòng)器50A的尺寸為1.25mm×0.25-0.75mm(空氣入口端)×1mm(空氣出口端)，厚度為0.3mm。每個(gè)軌道54和56的最小寬度為100μm或更小一些。因此軌道54和56是由光刻技術(shù)加工的。也就是說(shuō)在要求的軌道形狀上加上一層保護(hù)層后，由離子研磨蝕刻薄片表面以形成窄槽58和槽60。斜面54b和56b是在加工軌道54和56之前或之后用機(jī)械方法加工的。
每個(gè)斜面54b和56b的斜角最好設(shè)定為0.5°～4.0°，每個(gè)斜面54b和56b的長(zhǎng)度最好設(shè)定為每個(gè)軌道54和56長(zhǎng)度的1/10到1/20。在斜面54b和56b產(chǎn)生的正壓防止灰塵沉積在軌道54和56的進(jìn)氣端位置上。
正如圖4中表示的滑動(dòng)器50A的浮動(dòng)狀態(tài)中，軌道表面(氣浮軸承)54a和56a產(chǎn)生的正壓用虛線表示，在槽60上產(chǎn)生的負(fù)壓吸力由實(shí)線表示。也就是說(shuō)，在窄槽58內(nèi)受壓縮的空氣壓槽60內(nèi)膨脹，就會(huì)在槽60內(nèi)產(chǎn)生負(fù)壓。
正如圖5中的滑動(dòng)器50A上的壓力分布圖所示，由于滑動(dòng)器50A呈梯形，所以可獲得三個(gè)壓力峰值，因此，在浮動(dòng)狀態(tài)的滑動(dòng)器50A在三個(gè)點(diǎn)被支撐住。由于滑動(dòng)器50A是三點(diǎn)上支撐的，所以即使由于誤操作而使滑動(dòng)器50A出現(xiàn)隆起、彎曲、扭轉(zhuǎn)等等，浮動(dòng)高度的變化速度是低的。另外，由于滑動(dòng)器50A是梯形的，它的質(zhì)量?jī)H為同樣厚度的普通滑動(dòng)器質(zhì)量的1/2-3/4。例如，普通滑動(dòng)器的質(zhì)量是1.757mg，而第一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的滑動(dòng)器50A的質(zhì)量是0.984-1.378mg。因此在這種滑動(dòng)器50A安裝在具有質(zhì)量為1.61mg的懸架上的情況下，其響應(yīng)頻率能增加3.8～13％。
圖6是滑動(dòng)器50B的平面視圖，它表示本發(fā)明的第二個(gè)優(yōu)選實(shí)施例。該滑動(dòng)器50B具有加工在空氣出口端52b側(cè)的一對(duì)平行的側(cè)表面64a和64b，和將側(cè)面64a和64b連到空氣進(jìn)口端52a的傾斜的側(cè)表面66a和66b。由于滑動(dòng)器的空氣出口側(cè)52b具有一對(duì)平行的側(cè)表面64a和64b，能有利于通過(guò)橫向推動(dòng)工作中的滑動(dòng)器50B來(lái)放置滑動(dòng)器50B。另外，由于滑動(dòng)器在空氣出口端52b側(cè)的每個(gè)角不是尖的，就可減少由于碰撞而引起的滑動(dòng)器50B的角部損壞。
圖7是滑動(dòng)器50c的平面示圖，它示出了本發(fā)明的第三個(gè)優(yōu)選實(shí)施例。該滑動(dòng)器50c具有一對(duì)軌道68和70。窄槽72用于壓縮引入的空氣，槽74用于膨脹已壓縮的空氣以產(chǎn)生負(fù)壓，它們均限定在軌道68和70之間。軌道68包括氣體入口端部68a、氣體出口端部68b和中間部分68c。氣體出口端部68b的中部位于連接氣體入口端部68a的中部和中間部分68c的中部的連線的外側(cè)。
與此相類似，軌道70包括空氣進(jìn)口端部70a，空氣出口端部70b和一個(gè)中間部分70c?？諝獬隹诙瞬?0b的中部位于連接空氣入口端部70a的中部和中間部分70c的中部的連線的外側(cè)。由于每個(gè)軌道68和70具有這樣的特殊的形狀，來(lái)自空氣入口端52a的氣流可很容易地被阻斷，這樣可減小浮動(dòng)高度，與軌道寬度一起保持要求的穩(wěn)定的浮動(dòng)。
圖8是滑動(dòng)器50D的平面圖，它表示本發(fā)明的第四個(gè)優(yōu)選實(shí)施例。其中每個(gè)軌道68和70的傾斜表面68d和70d的寬度從空氣入口端52a到空氣出口端52b逐步減小。因此，即使由于傾斜的加工誤差而改變了每個(gè)傾斜表面的長(zhǎng)度，也能減小滑動(dòng)器50D的浮動(dòng)高度的變化。
也就是說(shuō)，浮動(dòng)高度隨著每個(gè)傾斜表面的長(zhǎng)度的增加而增加。然而，通過(guò)從空氣入口端52a到出口端52b減小每個(gè)傾斜表面的寬度，能減小浮動(dòng)高度，因此抵銷了由于每個(gè)傾斜表面長(zhǎng)度增加而增加的浮動(dòng)高度。
圖9是表示本發(fā)明第五個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的滑動(dòng)器50E的平面圖。其中在軌道68和70之間具有中部軌道76，其它外形類似于圖8所示。
圖10是滑動(dòng)器50F表示本發(fā)明第六個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的平面圖。其中限定窄槽72的軌道68和70的相對(duì)的內(nèi)側(cè)邊緣68F和70F平行于滑動(dòng)器50F的縱向延伸的中心線。因此，象第四和第五個(gè)實(shí)施例一樣，雖然由于斜面加工誤差而引起每個(gè)傾斜表面的長(zhǎng)度改變，可以減小滑動(dòng)器50F的浮動(dòng)高度的變化。
圖11是滑動(dòng)器50G表示本發(fā)明第七個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的平面圖，其中一對(duì)軌道78和80由加工在空氣入口側(cè)52a的軌道連接部分82連在一起。也就是說(shuō)，滑動(dòng)器50G的軌道形狀是倒V字形，在軌道78和80之間沒(méi)有窄槽。因此，從空氣入口端52a引入的空氣在軌道連接部分82受到較大的壓縮，然后該壓縮空氣在槽84處膨脹，因此很易產(chǎn)生負(fù)壓。軌道連接部分82在空氣入口端52a側(cè)具有傾斜的表面82a。
如果這種倒V形或倒U形用到通常的矩形滑動(dòng)器的軌道形狀中，傾斜表面的寬度增加會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)生過(guò)量的正壓。因此，難以實(shí)現(xiàn)滑動(dòng)器的低浮動(dòng)高度。為了解決這個(gè)問(wèn)題，需要減小傾斜表面的寬度。然而在這種情況下，通常的滑動(dòng)器中傾斜表面的相對(duì)側(cè)上的無(wú)軌道部分將變得較寬，結(jié)果，在滑動(dòng)器在空氣入口端向下傾斜的情況下，滑動(dòng)器在空氣入口端的角將與磁盤接觸。
然而在本優(yōu)選實(shí)施例的滑動(dòng)器50G中，由于滑動(dòng)器50G是梯形的，它的空氣入口端52a的寬度比普通滑動(dòng)器的要小。因此為了抑制正壓，必須減小傾斜表面的寬度。結(jié)果滑動(dòng)器的角部和磁盤由于滑動(dòng)器50G的傾斜而產(chǎn)生的接觸可以避免。
圖12是滑動(dòng)器50H表示本發(fā)明第八個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的平面圖，其中傾斜表面86a在連接軌道78和80的軌道連接部分86上的寬度從空氣入口端52a到空氣出口端52b逐步減小。因此，即使傾斜表面的長(zhǎng)度由斜面加工誤差發(fā)生變化，亦可減小滑動(dòng)器50H的浮動(dòng)高度的變化。
圖13是滑動(dòng)器50I表示本發(fā)明第九個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的平面視圖，其中在軌道連接部分86中加工有一窄槽88，從空氣出口端52b側(cè)延伸到傾斜表面86a部分。因此軌道連接部分86上的正壓可受到抑制，因此易于獲得滑動(dòng)器50I的低浮動(dòng)高度。
圖14是滑動(dòng)器50J表示本發(fā)明第十個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的平面圖。象圖13中所示的滑動(dòng)器50I一樣，在軌道連接部分86上加工一個(gè)窄槽90，從空氣出口側(cè)延伸到傾斜表面86a部分。在該優(yōu)選實(shí)施例中，窄槽90的寬度從空氣出口端52b側(cè)到空氣入口端52a側(cè)逐漸減小。結(jié)果，從空氣入口端52a側(cè)到空氣出口端52b側(cè)的寬度的減小的一對(duì)軌道部分可很容易形成在軌道連接部分86上，雖然由于斜面加工誤差而使傾斜面的長(zhǎng)度發(fā)生變化仍能減小滑動(dòng)器50J的浮動(dòng)高度的變化。
圖15A是滑動(dòng)器50K表示本發(fā)明的第十一個(gè)實(shí)施例的平面圖，圖15B是沿圖15A的B-B線的剖面圖。窄槽92加工在軌道連接部分86上，從空氣入口端52b側(cè)伸到空氣入口端52a。窄槽92比槽84要淺，因此很易產(chǎn)生負(fù)壓，并且可防止在窄槽92中壓縮的空氣流在槽84中迅速膨脹，因此避免了灰塵沉積在槽84的表面。
圖16是滑動(dòng)器50L表示本發(fā)明第十二個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的平面圖，其中在軌道連接部分86上的傾斜表面86a的寬度從空氣入口端52a到空氣出口端52b逐步減小，因此，即使由于斜面加工誤差而改變了傾斜表面的長(zhǎng)度，亦可減小滑動(dòng)器50L浮動(dòng)高度的變化。
圖17是表示本發(fā)明第十三個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的滑動(dòng)器50M的平面圖。在該優(yōu)選實(shí)施例中，窄槽94加工在軌道連接部分86上，從而使它從空氣入口側(cè)伸到空氣出口側(cè)。窄槽94比槽84窄，窄槽94的寬度從空氣入口端52a到空氣出口端52b逐漸增大。另外，傾斜表面86a的寬度從空氣入口端52a到空氣出口端52b逐漸增大。因此，即使當(dāng)傾斜表面的長(zhǎng)度由于斜面加工誤差而變化，仍可減少滑動(dòng)器50M的浮動(dòng)高度的變化。
圖18是表示本發(fā)明的第十四個(gè)實(shí)施例的滑動(dòng)器50N的平面視圖。在該實(shí)施例中，窄槽96加工在軌道連接部分86上，從而從空氣出口端52b側(cè)伸向傾斜表面部分86a。窄槽96比槽84窄。按照本實(shí)施例的滑動(dòng)器50N，負(fù)壓很容易產(chǎn)生，低浮動(dòng)高度也很容易實(shí)現(xiàn)。
圖19A是表示本發(fā)明的第十五個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的滑動(dòng)器50p的平面圖，圖19B是沿圖19A中B-B線的剖面圖。在每個(gè)前面的實(shí)施例中，除了圖7所示的第三個(gè)實(shí)施例外，軌道表面在空氣入口端部?jī)A斜，這樣在這一部分產(chǎn)生正壓。本實(shí)施例與它們不同，采用在軌道68和70的空氣入口端部上加工臺(tái)階98和100。每個(gè)臺(tái)階98和100的深度約為槽74深度的1/2-1/4(例如在槽74的深度為2～4μm的情況下，它們?yōu)?.5～2μm。另外，臺(tái)階102加工在窄槽72的空氣入口端部上。
加工在軌道68和70的空氣入口端部的臺(tái)階98和100產(chǎn)生正壓。與通常的矩形滑動(dòng)器相比，本實(shí)施例的滑動(dòng)器50p上空氣入口端52a的寬度較小。因此灰塵存積量減少因而可減小滑動(dòng)器50p的浮動(dòng)高度的變化。
圖20是表示本發(fā)明第十六個(gè)優(yōu)選實(shí)施例的滑動(dòng)器50Q的平面圖。滑動(dòng)器50Q具有一對(duì)不同平均寬度的軌道104和106。也就是說(shuō)，安裝電磁傳感器62的軌道106的平均軌道寬度小于軌道104的平均軌道寬度，這樣安裝電磁傳感器62的軌道106的浮動(dòng)高度減少較多，因此這就可減少在低高度浮動(dòng)時(shí)滑動(dòng)器50Q與磁盤接觸的可能性。槽108限定在軌道104和106之間。
圖21是第十六個(gè)實(shí)施例的滑動(dòng)器50Q在其空氣入口端和空氣出口端的浮動(dòng)高度的曲線圖。在圖21中，垂直軸表示滑動(dòng)器50Q的浮動(dòng)高度，水平軸表示離磁盤中心的徑向距離。實(shí)線表示安裝電磁傳感器62的軌道106的浮動(dòng)高度，虛線表示無(wú)電磁傳感器的軌道104的浮動(dòng)高度。從圖21可清楚地看出，軌道106的高度在空氣入口端和出口端均比軌道104低。
現(xiàn)在將主要參照?qǐng)D22A和22B來(lái)描述滑動(dòng)器的制造方法。正如圖22A所示，若干個(gè)電磁傳感器62首先加工在薄片110上。然后將薄片110切成若干條狀A(yù)l2O3-Tic板112，每塊板具有布置成一條線的電磁傳感器62。在本說(shuō)明書(shū)中，每塊板112看成是一條狀薄片。然后在條狀薄片112上光刻圖形，再用離子研磨蝕刻條狀薄片112，從而在條狀薄片112上形成若干對(duì)軌道54和56。
參見(jiàn)圖23，它示出了條狀薄片的第一個(gè)切割方法。由于本發(fā)明的滑動(dòng)器具有梯形形狀，需要用一種專門的方法來(lái)將條狀薄片112切成單個(gè)的梯形滑動(dòng)器。第一個(gè)切割方法采用若干轉(zhuǎn)動(dòng)的切割刀114，在其外緣均具有一個(gè)切割片116。切割片或切割邊緣116具有專門的剖面形狀如圖24所示。亦即切割片116的傾斜角度等于梯形滑動(dòng)器50A的側(cè)部表面的傾斜角度。另外，切割片116的徑向長(zhǎng)度L大于梯形滑動(dòng)器50A的長(zhǎng)度，亦即條狀薄片112的寬度。
正如圖23所示，若干轉(zhuǎn)動(dòng)的切割刀114每個(gè)都具有如上所述的專用切割刀片116，它們以相等間隔并排放置。將條狀片112朝上使每個(gè)滑動(dòng)器50A的空氣入口端52a變成上側(cè)，處于這種朝上狀態(tài)的條狀薄片112按箭頭118所示的水平方向送向切割刀114，從而將條狀薄片112切成單個(gè)的滑動(dòng)器50A。
在該切割方法中，重要的是要考慮在送入條狀薄片的條狀薄片112的高度和每個(gè)切割刀114的切割片116的高度之間的關(guān)系。亦即送入條狀薄片112應(yīng)獲得如圖24所示的高度關(guān)系，即在切割刀114的正下方的位置。當(dāng)條狀薄片通過(guò)切割刀114的正下方的位置時(shí)，條狀薄片112被切成若干梯形的滑動(dòng)器50A。
為了自動(dòng)切割條狀薄片112，采用了圖25所示的臺(tái)架120。臺(tái)架120具有若干每個(gè)都正好接受條狀薄片112的槽122。臺(tái)架120還具有若干垂直于每個(gè)槽122的窄槽124，從而允許切割刀片116通過(guò)。圖26A是沿圖25中26A-26A線的剖面圖，圖26B是沿圖25中26B-26B線的剖面圖。
在使用臺(tái)架120來(lái)切割若干條狀薄片112時(shí)，條狀薄片112插入臺(tái)階120的槽122內(nèi)，使每個(gè)條狀薄片112的滑動(dòng)器50A的空氣入口端成為上側(cè)。然后將臺(tái)架用一托架水平輸送以將每個(gè)條狀薄片112切成單個(gè)的滑動(dòng)器50A。在切割每個(gè)條狀薄片時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)切割刀114的切割片116都通過(guò)臺(tái)架120的窄槽124。
參見(jiàn)圖27，它表示第二種切割條狀薄片112的方法。按照該切割方法，使條狀薄片112朝上，使每個(gè)滑動(dòng)器50A的空氣入口端52a成為上側(cè)，并將它們放在轉(zhuǎn)動(dòng)切割刀的正下方。然后，條狀薄片112垂直向上移向切割刀114，這樣切割位置基本位于通過(guò)每個(gè)切割刀114中心的垂線上，由此將條狀薄片112切成單個(gè)的滑動(dòng)器50A。每個(gè)切割刀114的切割片116的形狀類似于圖24所示。
參見(jiàn)下一個(gè)圖28，它表示宜于放置切割片116的條狀薄片112′。該條狀薄片112′具有若干棱128，它們?cè)跅l狀薄片112′的寬度(亦即每個(gè)滑動(dòng)器的長(zhǎng)度)上延伸。每個(gè)棱128位于相鄰的滑動(dòng)器之間。棱128由離子研磨法與軌道54和56的成形同時(shí)加工。由于條狀薄片112′具有若干棱，棱可用作為放置切割刀的切割片的導(dǎo)向構(gòu)件。通過(guò)用棱128作為導(dǎo)向構(gòu)件來(lái)切割條狀薄片112′，它很容易被分成單個(gè)的滑動(dòng)器。
按照本發(fā)明，能提供一種具有優(yōu)良浮動(dòng)性能的磁頭滑動(dòng)器，它能抑制由于加工滑動(dòng)器時(shí)軌道表面平面度的誤差引起的浮動(dòng)高度的變化和由傾斜面的加工誤差引起的浮動(dòng)高度的變化。
權(quán)利要求
1.一種具有空氣入口端和空氣出口端的磁頭滑動(dòng)器，包括一對(duì)加工在磁盤對(duì)面的磁盤相對(duì)表面上的軌道，每個(gè)上述軌道具有平坦的氣浮表面，用以在上述磁盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生浮動(dòng)力；一個(gè)限定在上述一對(duì)軌道之間、空氣入口端部的窄槽；一個(gè)限定在上述一對(duì)軌道之間的槽，它與上述窄槽連續(xù)并比上述窄槽要寬，用以膨脹壓縮的空氣以產(chǎn)生負(fù)壓；和一個(gè)加工在上述空氣入口端的一個(gè)上述軌道所處位置的傳感器；上述滑動(dòng)器具有梯形形狀，從而使上述空氣入口端比上述空氣出口端窄。
2.一種按照權(quán)利要求1的磁頭滑動(dòng)器，其中每個(gè)上述軌道具有一空氣入口端部，一個(gè)空氣出口端部和一個(gè)中間部分，上述空氣出口端部的中心位于連接上述空氣入口端部的中心和上述中部的中心的連線的外側(cè)。
3.一種按照權(quán)利要求1的磁頭滑動(dòng)器，其中每個(gè)上述軌道具有連續(xù)加工在上述氣浮表面的上述空氣入口端部的傾斜表面，上述傾斜表面的寬度從上述空氣入口端朝上述空氣出口端逐漸減小。
4.一種按照權(quán)利要求3的磁頭滑動(dòng)器，其中上述一對(duì)軌道的相對(duì)的內(nèi)側(cè)表面平行于在上述傾斜表面加工的上述空氣入口端部上的上述滑動(dòng)器縱向伸展的中心線。
5.一種按照權(quán)利要求1的磁頭滑動(dòng)器，其中上述窄槽比上述槽窄。
6.一種按照權(quán)利要求1的磁頭滑動(dòng)器，其中每個(gè)上述軌道具有加工在上述空氣入口端部的臺(tái)階。
7.一種按照權(quán)利要求1的磁頭滑動(dòng)器，其中一個(gè)上述軌道的平均軌道寬度小于另一個(gè)軌道的寬度。
8.一種按照權(quán)利要求5的磁頭滑動(dòng)器，其中每個(gè)上述軌道具有連續(xù)加工在上述氣浮表面的上述空氣入口端的傾斜表面，上述傾斜表面的寬度從上述空氣入口端朝上述空氣出口端逐漸減小。
9.一種按照權(quán)利要求8的磁頭滑動(dòng)器，其中上述窄槽的寬度從上述空氣入口端朝上述空氣出口端逐漸增大。
10.一種具有一個(gè)空氣入口端和一個(gè)空氣出口端的磁頭滑動(dòng)器，包括一對(duì)加工在相對(duì)磁盤的磁盤相對(duì)表面上的軌道，每個(gè)上述軌道具有平坦的氣浮表面，用以在磁盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生浮動(dòng)力；一個(gè)限定在上述一對(duì)軌道之間、它們的空氣出口端部上的窄槽；一個(gè)限定在上述一對(duì)軌道之間的槽，它與上述窄槽是連續(xù)的并比上述窄槽寬，用以將壓縮的空氣膨脹以產(chǎn)生負(fù)壓；和一個(gè)加工在上述空氣出口端上述一個(gè)軌道所處位置上的傳感器；上述滑動(dòng)器具有一對(duì)基本平行的相交于上述空氣出口端的側(cè)表面，和一對(duì)從上述一對(duì)基本平行的側(cè)表面伸展到上述空氣入口端從而相互逐漸相互接近的傾斜的側(cè)表面。
11.一種按照權(quán)利要求10的磁頭滑動(dòng)器，其中每個(gè)上述軌道具有一個(gè)空氣入口端部、一個(gè)空氣出口端部和一個(gè)中間部分，上述空氣出口端部的中心位于上述空氣入口端部的中心和上述中間部分的中心的連線的外側(cè)。
12.一種按照權(quán)利要求10的磁頭滑動(dòng)器，其中每個(gè)上述軌道具有連續(xù)加工在上述氣浮表面上述空氣入口端部上的傾斜表面，上述傾斜表面的寬度從上述空氣入口端朝上述空氣出口端逐漸減小。
13.一種按照權(quán)利要求10的磁頭滑動(dòng)器，其中上述一對(duì)軌道相對(duì)的內(nèi)側(cè)表面平行于在上述傾斜表面上加工的上述空氣入口端部上的上述滑動(dòng)器縱向伸展的中心線。
14.一種具有一空氣入口端和一空氣出口端的磁頭滑動(dòng)器，包括一對(duì)加工在相對(duì)磁盤的磁盤相對(duì)表面上的軌道，每個(gè)上述軌道具有平坦的氣浮表面，用于在上述磁盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生浮動(dòng)力；一個(gè)在空氣入口端部連接上述一對(duì)軌道的軌道連接部分；一個(gè)限定在上述軌道之間用以膨脹壓縮的空氣以產(chǎn)生負(fù)壓的槽；和一個(gè)加工在上述空氣出口端上述一個(gè)軌道所在位置上的傳感器；上述滑動(dòng)器具有梯形形狀，使上述空氣入口端比上述空氣出口端窄。
15.一種按照權(quán)利要求14的磁頭滑動(dòng)器，其中上述軌道連接器具有相交于上述空氣入口端的傾斜表面，上述傾斜表面的寬度從上述空氣入口端朝上述空氣出口端逐漸減小。
16.一種按照權(quán)利要求15的磁頭滑動(dòng)器，其中上述軌道連接部分具有一窄槽，該窄槽加工在基本橫向的中心位置，并從上述槽伸展到上述傾斜表面部分上。
17.一種按照權(quán)利要求16的磁頭滑動(dòng)器，其中上述窄槽的寬度從上述空氣入口端朝上述空氣出口端逐漸增大。
18.一種具有一空氣入口端和一空氣出口端的磁頭滑動(dòng)器，包括一對(duì)加工在磁盤對(duì)面的磁盤相對(duì)表面上的軌道，每個(gè)上述軌道具有平坦的氣浮表面，用以在上述磁盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生浮動(dòng)力，上述一對(duì)軌道間隔的距離從上述空氣入口端朝上述空氣出口端逐漸增大；和一個(gè)加工在上述空氣入口端的一個(gè)上述軌道所處位置的傳感器；上述滑動(dòng)器具有梯形形狀，從而使上述空氣入口端比上述空氣出口端窄。
19.一種具有空氣入口端和空氣出口端的磁頭滑動(dòng)器，包括一對(duì)加工在磁盤對(duì)面的磁盤相對(duì)表面上的軌道，每個(gè)上述軌道具有平坦的氣浮表面，用以在磁盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生浮動(dòng)力，在上述一對(duì)軌道之間限定一個(gè)槽，用以膨脹壓縮的氣體以產(chǎn)生負(fù)壓；和加工在上述空氣出口端上一個(gè)上述軌道所處位置的傳感器，上述滑動(dòng)器具有梯形形狀，從而使上述空氣入口端比上述空氣出口端窄，每個(gè)上述軌道基本平行于上述滑動(dòng)器一個(gè)相應(yīng)的側(cè)邊緣。
20.一種磁盤驅(qū)動(dòng)裝置包括一個(gè)罩；一個(gè)可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在上述罩上的磁盤；一個(gè)具有一傳感器以從/向上述磁盤閱讀/記錄數(shù)據(jù)的磁頭滑動(dòng)器；一個(gè)橫過(guò)上述磁盤軌跡移動(dòng)上述磁頭滑動(dòng)器的作動(dòng)器；上述磁頭滑動(dòng)器包括一對(duì)加工在磁盤對(duì)面的磁盤相對(duì)表面上的軌道，上述每個(gè)軌道具有平坦的氣浮表面，用以在上述磁盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生浮動(dòng)力；一個(gè)限定在上述一對(duì)軌道之間、空氣入口端部的窄槽；和一個(gè)限定在上述一對(duì)軌道之間的槽，它與上述窄槽連續(xù)并比上述窄槽要寬，用以膨脹壓縮的空氣以產(chǎn)生負(fù)壓；上述傳感器加工在上述滑動(dòng)器的空氣出口端一個(gè)上述軌道所處的位置；上述滑動(dòng)器具有梯形形狀，從而使上述空氣入口端比上述空氣出口端窄。
21.一種將具有一定寬度和若干加工成一排的滑動(dòng)器的條狀薄片切割成單個(gè)的上述滑動(dòng)器使之具有梯形形狀的方法，包括步驟提供一個(gè)具有切割片的轉(zhuǎn)動(dòng)切割刀，切割片加工在切割刀的外邊緣上，上述切割片具有的傾斜角等于上述梯形滑動(dòng)器傾斜側(cè)表面的角；使上述條狀薄片向上直立，從而使上述每個(gè)滑動(dòng)器的空氣入口端變成上側(cè)，并將上述條狀薄片放在上述轉(zhuǎn)動(dòng)切割刀前；和以基本水平方向?qū)⑸鲜鰲l狀薄片送到上述轉(zhuǎn)動(dòng)切割刀上以切割上述條狀薄片。
22.一種按照權(quán)利要求21的切割條狀薄片的方法，其中上述切割片具有的徑向長(zhǎng)度大于上述條狀薄片的寬度。
23.一種按照權(quán)利要求21的切割條狀薄片的方法，其中上述條狀薄片具有放置上述切割片的棱，上述棱加工在相鄰的上述滑動(dòng)器之間，并伸展到上述條狀薄片的整個(gè)寬度上。
24.一種將具有一定寬度和若干加工成一排的滑動(dòng)器的條狀薄片切割成單個(gè)具有梯形形狀的上述滑動(dòng)器的方法，包括步驟提供一具有切割片的轉(zhuǎn)動(dòng)切割刀，切割片加工在切割刀的外緣上，上述切割片具有的傾斜角等于上述梯形滑動(dòng)器的傾斜側(cè)表面的角；使上述條狀薄片向上直立，從而使每個(gè)滑動(dòng)器的空氣入口端變成上側(cè)，并將上述條狀薄片放置在上述轉(zhuǎn)動(dòng)切割刀的正下方；和將上述條狀薄片垂直向上移動(dòng)到上述轉(zhuǎn)動(dòng)切割刀上，從而使切割的位置位于穿過(guò)上述轉(zhuǎn)動(dòng)切割刀中心的垂線上。
25.一種按照權(quán)利要求24的切割條狀薄片的方法，其中上述切割片具有的徑向長(zhǎng)度大于上述條狀薄片的寬度。
26.一種按照權(quán)利要求24的切割條狀薄片的方法，其中上述條狀薄片具有放置上述切割片的棱，上述棱加工在相鄰的上述滑動(dòng)器之間，并伸展到整個(gè)條狀薄片的寬度上。
27.一種將具有一定寬度和若干加工成一排的滑動(dòng)器的條狀薄片切割成單個(gè)的上述滑動(dòng)器使每個(gè)滑動(dòng)器具有梯形形狀的方法，包括步驟提供若干等間隔放置的轉(zhuǎn)動(dòng)切割刀，每個(gè)上述轉(zhuǎn)動(dòng)切割刀在其外緣上具有切割片，上述切割片具有的傾斜角度等于上述梯形滑動(dòng)器的傾斜側(cè)表面的角度；提供一個(gè)具有槽的臺(tái)架，用以接納上述條狀薄片；若干按上述等間隔放置并垂直于上述槽伸展的窄槽；將上述條狀滑動(dòng)器插入上述槽中，從而使每個(gè)滑動(dòng)器的空氣入口端變成上側(cè)；和將上述臺(tái)架以基本水平的方向送到上述轉(zhuǎn)動(dòng)切割刀上，使上述切割片通過(guò)上述窄槽，因而切割上述條狀薄片。
全文摘要
一種磁頭滑動(dòng)器包括一對(duì)加工在磁盤對(duì)面的磁盤相對(duì)表面上的軌道,每個(gè)軌道具有平坦的氣浮表面,用以在磁盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生浮動(dòng)力,一個(gè)加工在上述軌道之間、空氣入口端部的窄槽,和一個(gè)限定在一對(duì)軌道之間與窄槽連續(xù)并比窄槽寬的槽;它用于膨脹壓縮的空氣以產(chǎn)生負(fù)壓。該磁頭滑動(dòng)器還包括加工在空氣出口端一個(gè)軌道所處位置的電磁傳感器。該滑動(dòng)器具有梯形形狀使它的空氣入口端比空氣出口端窄。
文檔編號(hào)G11B21/21GK1195854SQ9810542
公開(kāi)日1998年10月14日 申請(qǐng)日期1998年3月3日 優(yōu)先權(quán)日1997年3月17日
發(fā)明者古石亮介, 米岡誠(chéng)二 申請(qǐng)人:富士通株式會(huì)社