專利名稱：靜電感應(yīng)快速恢復(fù)二極管的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種靜電感應(yīng)快速恢復(fù)二極管。
現(xiàn)有的二極管有高速整流、續(xù)流二極管。主要采用肖特基二極管和快速恢復(fù)二極管。其中肖特基二極管的正向壓降一般為0.4-0.5V以上，反向耐電壓也比較低一般低于100V。而快速恢復(fù)二極管雖然擊穿電壓可以做的比較高，但反向恢復(fù)時(shí)間一般為幾十至幾百納秒以上。正向壓降一般在0.6V以上。
本實(shí)用新型的目的是設(shè)計(jì)一種新的其正向壓降和反向恢復(fù)時(shí)間以及反向特性均優(yōu)于現(xiàn)有的肖特基二極管和快速恢復(fù)二極管的新的靜電感應(yīng)快速恢復(fù)二極管。
本實(shí)用新型的方案如下其結(jié)構(gòu)包括硅N+外延襯底1、N型硅材料2、金屬化區(qū)3、P型硼擴(kuò)散區(qū)4，特征為在P型硼擴(kuò)散區(qū)4中有一個(gè)以上的N型溝道6，金屬化區(qū)3覆蓋在上述留有N型溝道6的整個(gè)P型硼擴(kuò)散區(qū)4上。
本實(shí)用新型與現(xiàn)有的二極管結(jié)構(gòu)不同，是利用制造靜電感應(yīng)三極管的方式制出的二極管。在該二極管正向接通時(shí)，其N型溝道和N型區(qū)呈現(xiàn)電阻特性，因此通導(dǎo)電壓可以從零伏起始。當(dāng)由壓高到一定數(shù)值后，PN結(jié)區(qū)也開始導(dǎo)通，因此當(dāng)本二極管在中小電流時(shí)以溝道電流為主，在大電流時(shí)溝道電流和PN結(jié)電流同時(shí)起作用。故正向壓降可以做的很低，反向恢復(fù)時(shí)間很小，低于肖特基二極管的反向恢復(fù)時(shí)間。由于在反向時(shí)，PN結(jié)是反偏，展開的空間電荷區(qū)則切斷N型溝道，使二極管有很高的反向擊穿電壓，可以達(dá)到幾百甚至幾千伏的反向擊穿電壓。很小的正向壓降和很快的反向恢復(fù)時(shí)間，是本實(shí)用新型最鮮明的特點(diǎn)，因此它遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于現(xiàn)有的肖特基二極管和快速恢復(fù)二極管，廣泛應(yīng)用于開關(guān)電源、逆變電源等高速反壓整流，續(xù)流電流。
下面通過實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型予以說明。


圖1-圖3為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)圖。
圖1為剖視圖；圖2為P型硼擴(kuò)散區(qū)和N型溝道6的平面圖；圖3為本實(shí)用新型俯視圖。
實(shí)施例1(1A的靜電感應(yīng)二極管)N型溝道寬30μ，溝道區(qū)長800μ,P型硼擴(kuò)散區(qū)面積為1000μ×1000μ(J=100A/cm2)實(shí)施例2(10A靜電感應(yīng)二極管)
N型溝道寬30μ，溝道區(qū)長800μ,P型硼擴(kuò)散區(qū)面積0.2cm2(J=50A/cm2)實(shí)施例3(100A靜電感應(yīng)二極管)N型溝道寬30μ，溝道區(qū)長800μ,P型硼擴(kuò)散區(qū)面積2.5cm2(J=40A/cm2)實(shí)施例4(1000A靜電感應(yīng)二極管)N型溝道寬30μ，溝道區(qū)長800μ,P型硼擴(kuò)散區(qū)面積33cm2(J=30A/cm2)上述實(shí)施例中結(jié)構(gòu)如圖所示，其中硅N+外延襯底1、N型硅材料2、與P型硼擴(kuò)散區(qū)4相接的金屬化區(qū)3、，帶有N型溝道的P型硼擴(kuò)散區(qū)4，電極引線5,P型硼擴(kuò)散區(qū)中的N型溝道6，金屬電極7。溝道6的長寬和溝道數(shù)目如實(shí)施例1-4所示。
權(quán)利要求1．一種靜電感應(yīng)快速恢復(fù)二極管，包括硅N+外延襯底(1)、N型硅材料(2)、金屬化區(qū)(3)、P型硼擴(kuò)散區(qū)(4)，其特征在于在P型硼擴(kuò)散區(qū)(4)中留有一個(gè)以上的N型溝道(6)，上述金屬化區(qū)(3)覆蓋在留有一個(gè)以上的N型溝道(6)的整個(gè)P型硼擴(kuò)散區(qū)(4)上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種靜電感應(yīng)快速恢復(fù)二極管。包括硅N
文檔編號(hào)H01L29/66GK2456314SQ00267418
公開日2001年10月24日 申請(qǐng)日期2000年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2000年12月14日
發(fā)明者朱文有 申請(qǐng)人:朱文有