專利名稱:自對(duì)準(zhǔn)的設(shè)施自動(dòng)耦接器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
在此描述的實(shí)施例大體上與用以耦接多個(gè)設(shè)施的設(shè)備及方法相關(guān)。 現(xiàn)有技術(shù)某些處理或在某些系統(tǒng)中所需求的諸如水、氣體、控制、電力之類的設(shè)施連接一般是以手動(dòng)方式個(gè)別耦接與去耦的。但是,這些步驟產(chǎn)生許多難題。例如,若操作者無法在去耦水連接之前關(guān)掉水,可能會(huì)涌現(xiàn)泄漏。對(duì)于大型工業(yè)應(yīng)用而言,一般此類泄漏的量級(jí)是巨大的。一個(gè)接一個(gè)手動(dòng)去耦及耦接設(shè)施也是耗時(shí)的處理,需要更長(zhǎng)的再裝配時(shí)間,且由于效率喪失而造成更長(zhǎng)的停工期。再者,由于操作者的失誤,此操作導(dǎo)致設(shè)施連接的未對(duì)準(zhǔn)更容易發(fā)生。未對(duì)準(zhǔn)也能導(dǎo)致連接部件不小心失配,諸如泵蓋子布置在源蓋子之上,這會(huì)對(duì)每一部件造成傷害。其它例子中,此類設(shè)施連接可在不連接的群組中自動(dòng)耦接及去耦,諸如從高電壓電力連接獨(dú)立耦接水連接。結(jié)果,當(dāng)前耦接系統(tǒng)的缺點(diǎn)依然是高電壓連接大體上維持與水和控制連接分離,因而需要獨(dú)立連接步驟以及增加停工期。因此,需要耦接及去耦設(shè)施連接的設(shè)備及方法,其一次以所有連接為對(duì)象、將泄漏物減至最少、具有更高度的未對(duì)準(zhǔn)耐受力、更易于使用、如發(fā)生非故意的誤用時(shí)避免傷害設(shè)施部件、以及產(chǎn)生更快速且更有效率的耦接。
發(fā)明內(nèi)容
在此描述的實(shí)施例大體上與用以耦接多個(gè)設(shè)施的設(shè)備及方法相關(guān)。一實(shí)施例中, 提供一用以耦接多個(gè)設(shè)施的設(shè)備,包含下層平板,由盒體支撐,該下層平板具有穿孔、至少一個(gè)預(yù)載彈簧、至少一個(gè)設(shè)施連接部件、及自該下層平板的第一表面突出的主要對(duì)準(zhǔn)銷,其中該主要對(duì)準(zhǔn)銷的直徑隨接近該第一表面而增加;及上層平板,該上層平板具有次要對(duì)準(zhǔn)銷,其比自上層平板的第一表面突出的主要對(duì)準(zhǔn)銷要短,該上層平板具有穿孔以及至少一個(gè)設(shè)施連接部件,其中上層平板可以上層和下層平板的第一表面彼此面對(duì)的方式朝下層平板移動(dòng),如此主要對(duì)準(zhǔn)銷穿過上層平板中的穿孔并且次要對(duì)準(zhǔn)銷穿過下層平板中的穿孔, 至少一個(gè)預(yù)載彈簧被壓縮,且兩平板接合,藉此耦接著上層及下層平板上的設(shè)施連接部件。一實(shí)施例中,盒體與處理腔室耦接且上層平板與處理腔室的蓋子耦接。另一實(shí)施例中,下層平板藉至少一個(gè)彈簧而被支撐于盒體上。另一實(shí)施例中,次要對(duì)準(zhǔn)銷呈階梯狀(stepped)。而另一實(shí)施例中,上層平板有一偏移的重心。另一實(shí)施例中,該設(shè)備可包含至少一個(gè)水設(shè)施連接、至少一個(gè)氣體連接、及至少一個(gè)電力設(shè)施連接。另一實(shí)施例中,至少一個(gè)設(shè)施連接是自密封的。另一實(shí)施例中,該設(shè)備可包含控制設(shè)施連接。另一實(shí)施例中,設(shè)備可包含一真空前級(jí)連接。真空前級(jí)連接可以是浮管組件。另一實(shí)施例中,提供耦接多個(gè)設(shè)施的方法,包含以下步驟以盒體支撐下層平板, 該下層平板具有穿孔、至少一個(gè)預(yù)載彈簧、至少一個(gè)設(shè)施連接部件、及自下層平板的第一表面突出的主要對(duì)準(zhǔn)銷,其中,主要對(duì)準(zhǔn)銷的直徑隨接近第一表面而增加;使上層平板朝下層平板下降且上層與下層平板的第一表面彼此相互面對(duì)著,此上層平板具有次要對(duì)準(zhǔn)銷,其比自下層平板的第一表面突出的主要對(duì)準(zhǔn)銷要短,此上層平板還具有穿孔以及至少一個(gè)設(shè)施連接部件;透過上層平板內(nèi)的穿孔插入主要對(duì)準(zhǔn)銷;透過下層平板內(nèi)的穿孔插入次要對(duì)準(zhǔn)銷;壓縮至少一個(gè)預(yù)載彈簧;使上層及下層平板上的設(shè)施連接部件耦接著;以及接合上層與下層平板。
參考繪制在附圖的實(shí)施例,以可了解本發(fā)明上述內(nèi)容的方式對(duì)本發(fā)明詳細(xì)說明。 但應(yīng)了解,本發(fā)明圖式僅繪示本發(fā)明的典型實(shí)施例,因本發(fā)明亦涵蓋其它等效實(shí)施例,故不應(yīng)將這些圖式視為限制本發(fā)明范圍。圖1為自對(duì)準(zhǔn)設(shè)施自動(dòng)耦接器的一實(shí)施例的頂部前視圖。圖2為自對(duì)準(zhǔn)設(shè)施自動(dòng)耦接器的一實(shí)施例的底部前視圖。圖3為在線(in-line)玻璃涂布系統(tǒng)的一實(shí)施例的側(cè)視圖,該系統(tǒng)的腔室附接著多個(gè)自對(duì)準(zhǔn)設(shè)施自動(dòng)耦接器。應(yīng)認(rèn)知到在一實(shí)施例中公開的組件可有利于在其它實(shí)施例中使用,而不再特別詳述。
具體實(shí)施例方式在此描述的實(shí)施例提供自對(duì)準(zhǔn)自動(dòng)耦接裝置,其容許快速且故障自動(dòng)防護(hù)的設(shè)施結(jié)合且系統(tǒng)停工期最短。雖然是結(jié)合在線玻璃涂布沉積腔室系統(tǒng)進(jìn)行討論的,但是自對(duì)準(zhǔn)自動(dòng)耦接裝置的實(shí)施例可用于任何在需要設(shè)施連接的固定底架及重移動(dòng)組件之間的連接。圖1是根據(jù)一實(shí)施例繪制的自對(duì)準(zhǔn)設(shè)施自動(dòng)耦接器100的示意部分正面與頂部視圖。自動(dòng)耦接器100包含兩個(gè)匹配的蓋子或平板,即下層平板103以及上層平板102。下層蓋子或平板103于其上具有至少一個(gè)設(shè)施連接部件。設(shè)施連接被配置成使得任何設(shè)施的管路(hosing)或線路連接至在下層平板103之下的連接部件。設(shè)施連接可非剛性地固定至下層平板103且可展現(xiàn)某些活動(dòng)或移動(dòng)以便協(xié)助自對(duì)準(zhǔn)處理。設(shè)施連接可為水、氣體、電力、高電壓或控制連接。其它實(shí)施例中,下層平板103能有兩個(gè)或三個(gè)或更多設(shè)施連接。例如,圖1顯示具有水連接106、控制連接118以及高電壓電力連接109的實(shí)施例。一實(shí)施例中,下層平板103可包括一設(shè)施連接114,例如冷卻線路。如圖1所顯示,下層蓋子或平板103由盒體101支撐。一實(shí)施例中,下層平板103 能使用例如穿過螺栓孔113的螺栓附接至盒體101。盒體101能由不銹鋼或鋁制成,或從其它材料構(gòu)造。一實(shí)施例中,盒體101能附接至腔室的側(cè)面,例如處理腔室。如圖3所顯示, 盒體301的后面312能栓至腔室側(cè)面320(腔室蓋子未圖示)。一實(shí)施例中,數(shù)個(gè)自動(dòng)耦接器可以連續(xù)排列地方式附接至處理腔室的側(cè)面,而每一自動(dòng)耦接器對(duì)應(yīng)到處理腔室內(nèi)不同的隔室。螺栓孔的例子顯示于圖1的116,該螺栓孔可用以將盒體101附接至腔室側(cè)面。另一例子中,盒體101可附接至需要設(shè)施連接的固定底架。為提供存取盒體101的內(nèi)部,盒體 101可具有在后面112的相對(duì)側(cè)面上的穿孔。盒體101也可具有在頂面相對(duì)的底面上的穿孔,該頂面供下層平板103擱放。盒體101的底面上的這些穿孔能提供存取以及能容許設(shè)施管線穿越盒體101且透過盒體101的底伸出。如圖1所顯示,下層平板103可有主要對(duì)準(zhǔn)銷104,其垂直于由下層平板103形成的平面并且以遠(yuǎn)離盒體101的方向向上突出。一實(shí)施例中,主要對(duì)準(zhǔn)銷104的直徑將隨接近下層平板103而增加。一實(shí)施例中,主要對(duì)準(zhǔn)銷104呈階梯狀,如此在該階梯狀之上的主要對(duì)準(zhǔn)銷的直徑小于在階梯狀之下的主要對(duì)準(zhǔn)銷的直徑。其它實(shí)施例中,主要對(duì)準(zhǔn)銷104 能有一階、二階、三階或更多階。而在另一實(shí)施例,主要對(duì)準(zhǔn)銷104可呈漸縮狀(tapered), 如此其直徑隨著接近下層平板103沿著主要對(duì)準(zhǔn)銷104的長(zhǎng)度而增加。主要對(duì)準(zhǔn)銷104可于相對(duì)下層平板103的遠(yuǎn)程更進(jìn)一步漸縮。主要對(duì)準(zhǔn)銷104的直徑、長(zhǎng)度和組成將視自動(dòng)耦接器的應(yīng)用而定,但主要對(duì)準(zhǔn)銷104應(yīng)夠堅(jiān)固以抵抗施加的力量。一實(shí)施例中,主要對(duì)準(zhǔn)銷104栓在下層平板103上。下層平板103可包含至少一個(gè)穿過下層平板103的預(yù)載彈簧活塞,以便有效克服分離阻力以及匹配部件的拖曳力與摩擦力。彈簧活塞108可預(yù)載以便確定整體自動(dòng)耦接器組件在其放下前完全壓縮。其它實(shí)施例中,下層平板103能包含二或更多預(yù)載彈簧活塞,如圖1所顯示。一實(shí)施例中,下層平板103可由至少一個(gè)彈簧125(圖2中亦可見彈簧22 所支撐。彈簧125能容許下層平板103適應(yīng)上層平板102的任何少量的平行失準(zhǔn)。下層平板 103也可由二個(gè)、三個(gè)、四個(gè)或更多彈簧所支撐。一實(shí)施例中,下層平板103可只占盒體101頂面的一部分。一旦下層平板103嵌于盒體101上,間隙110可維持在盒體101的頂面上。盒體101可有一相對(duì)于間隙110的孔道,如此間隙110可容納其它穿過盒體101的設(shè)施管線的通道,例如真空前級(jí)。如圖1所顯示,上層蓋子或平板102包含至少一個(gè)設(shè)施連接,例如115,其對(duì)應(yīng)至至少一個(gè)匹配下層平板103上的設(shè)施連接,例如106。裝配設(shè)施連接,如此設(shè)施的管路與線路連接至上層平板102的頂面上的連接部件。設(shè)施連接可非剛性地固定至上層平板102且可展現(xiàn)某活動(dòng)或移動(dòng)以便協(xié)助自對(duì)準(zhǔn)處理。設(shè)施連接可為水連接、氣體連接、電力連接或控制連接。設(shè)施連接可由鋁或不銹鋼制成。水連接可由黃銅制成。高電壓電力連接可由鍍銀的黃銅制成。例如,圖1顯示含水連接115、控制連接111、及高壓電力連接107的一實(shí)施例。 某些實(shí)施例中,上層平板102能有兩個(gè)、或三個(gè)、或更多設(shè)施連接。上層平板102能有次要對(duì)準(zhǔn)銷105,其垂直于由上層平板102形成的平面且向下突出。次要對(duì)準(zhǔn)銷104長(zhǎng)度可比主要對(duì)準(zhǔn)銷104的長(zhǎng)度短。次要對(duì)準(zhǔn)銷105可于相對(duì)上層平板102的末端更進(jìn)一步漸縮。一實(shí)施例中,上層平板102能栓至處理腔室蓋子的基底,如此當(dāng)腔室蓋子降至腔室之上時(shí),上層平板同時(shí)降至下層平板103之上,其可附接至可剛性地附接至腔室側(cè)邊的盒體101(參見圖3)。一實(shí)施例中,腔室蓋子可為需要高電壓電源的能源蓋子。另一實(shí)施例中,腔室蓋子能為有輔助冷卻線路的能源蓋子。另一實(shí)施例中,腔室蓋子能為有輔助冷卻線路及附接有真空泵的能源蓋子。另一實(shí)施例中,腔室蓋子能為附接有渦輪泵的渦輪泵蓋子。上層平板102能用起重機(jī)降至下層平板103之上。一實(shí)施例中,起重機(jī)能附接至位在上層平板102可附接的腔室蓋子上的內(nèi)部連接器,以利抬升與降低整個(gè)腔室蓋子/上層平板組件。另一實(shí)施例中,上層平板可手動(dòng)降低。無論上層平板102是否附接至另一可移動(dòng)的部件,降低上層平板102的方法是視上層平板102的尺寸與重量、該可移動(dòng)部件的重量及尺寸、以及所使用的自動(dòng)耦接器100的應(yīng)用而定。例如,諸如對(duì)于在線(inline)玻璃涂布系統(tǒng)的濺射腔室而言,處理腔室蓋子的尺寸約為3吋X3吋X13吋的并且可由鋼制成,此例中一起重機(jī)可用以抬升且降低腔室蓋子/上層平板組件??山档蜕蠈悠桨?02,如此底面面向下層平板103的頂面,該次要對(duì)準(zhǔn)銷105是自底面突出的,而主要對(duì)準(zhǔn)銷104是自下層平板103的頂面突出的。一實(shí)施中,上層平板102 能有偏移的重心,以便確保接合的控制角度。一實(shí)施例中,當(dāng)上層平板102接近接合時(shí),上層平板的偏移重心能提供一少于三度的接合角。可降低上層平板102,如此主要對(duì)準(zhǔn)銷104 穿越上層平板102的穿孔119。最初,主要對(duì)準(zhǔn)銷104可寬松地配合于穿孔119內(nèi),容許角及側(cè)向失準(zhǔn)的某角度。當(dāng)上層平板102沿主要對(duì)準(zhǔn)銷104向下移動(dòng)且朝下層平板103靠近時(shí),主要對(duì)準(zhǔn)銷104的直徑增加,如此任何主要對(duì)準(zhǔn)銷104和穿孔119之間的空隙或空間可減少,藉此造成較少的角及側(cè)向失準(zhǔn),且因而改善對(duì)準(zhǔn)。一實(shí)施例中,當(dāng)上層平板102的穿孔119沿主要對(duì)準(zhǔn)銷104向下滑動(dòng),將碰上主要對(duì)準(zhǔn)銷上的階梯,該階梯之后主要對(duì)準(zhǔn)銷 104的直徑尺寸大于主要對(duì)準(zhǔn)銷在該階梯之上的部份的直徑。如前文所解釋,主要對(duì)準(zhǔn)銷 104可有一階、二階、或更多階。另一實(shí)施例中,由于主要對(duì)準(zhǔn)銷104有漸縮狀,其直徑由頂至底增加,故當(dāng)主要對(duì)準(zhǔn)銷104和穿孔119之間的空間減小時(shí),上層平板102將更進(jìn)一步對(duì)準(zhǔn)。一旦上層平板102降低至下層平板103之上的某距離,次要對(duì)準(zhǔn)銷105定位而滑動(dòng)進(jìn)入下層平板103上的穿孔117。當(dāng)平板102更進(jìn)一步降低,插入次要對(duì)準(zhǔn)銷104進(jìn)入穿孔117可將旋轉(zhuǎn)失準(zhǔn)或相對(duì)于下層平板103的上層平板102的水平面的旋轉(zhuǎn)減到最小,因此改善上層平板102以及下層平板103之間的對(duì)準(zhǔn)。當(dāng)上層平板102更進(jìn)一步降低,且處于更靠近平板103的狀態(tài)時(shí),將引起預(yù)載彈簧活塞壓縮。當(dāng)上層平板102與下層平板103 接觸時(shí),彈簧125也可輕微壓縮。當(dāng)上層平板102更進(jìn)一步降低,對(duì)應(yīng)平板102與103上的設(shè)施連接可耦接或匹配。一實(shí)施例中,可相繼完成(made)設(shè)施連接。例如,水連接115可首先耦接至水連接106,隨后高電壓電力連接107耦接至高電壓電力連接109,隨后,更細(xì)微控制連接111耦接至控制連接118。上層平板102可更進(jìn)一步向下來至下層平板103,如此將與下層平板103接合,以致所有的連接皆完成且上層平板102與下層平板103平行彼此對(duì)準(zhǔn)。圖2為根據(jù)在此描述的實(shí)施例的自對(duì)準(zhǔn)設(shè)施的部份前視與底視示意圖。圖2顯示上層平板202、下層平板203及盒體201的一實(shí)施例的下側(cè)面,此時(shí)上層平板202沿主要對(duì)準(zhǔn)銷204朝下層平板203降低。一實(shí)施例中,上層平板202包含次要對(duì)準(zhǔn)銷205、水連接 215、控制連接211、以及高電壓電力連接207。如圖2所示,盒體201的底面可包含穿孔,其容許設(shè)施線路(未圖示)進(jìn)或出盒體201以存取在下層平板203的下側(cè)面上的設(shè)施連接部件。如圖2所示,一實(shí)施例中,盒體201可包含由兩個(gè)分隔壁所分隔開的三個(gè)腔室(亦見圖 1中的盒體101)。一實(shí)施例中,一腔室223可容置水連接206,另一腔室222可容置控制及高電壓電力連接209,以及第三腔室221可容納真空線路。分隔的腔室能容許在一自動(dòng)耦接器中整合不同設(shè)施部件,如水及電力和控制。盒體201可有一個(gè)腔室、二個(gè)腔室、三個(gè)腔室或更多腔室。一實(shí)施例中,在盒體201的底面上諸如穿孔224的穿孔,形狀可為直角、圓形、 橢圓或多角形,以容納設(shè)施線路穿透盒體201。一實(shí)施例中,真空前級(jí)(未圖示)可由盒體201的最右腔室221開始。真空前級(jí)可與平板202及203分離。一實(shí)施例中,真空前級(jí)可為附有彈簧伸縮囊的浮管組件,其內(nèi)該伸縮囊能容許失準(zhǔn)以及接觸于熱泵蓋子底部的彈簧力。伸縮囊能容許具有密封0環(huán)的上層凸緣匹配至可附接上層平板202的腔室蓋子的平底。一實(shí)施例中,舉例而言,倘若水或氣體供應(yīng)或回路在去耦前無法關(guān)掉,水和氣體連接部件可包含自密封機(jī)構(gòu),以阻止不接合造成的泄漏。另一實(shí)施例中,視應(yīng)用而定,可以包含不同設(shè)施連接部件的不同平板或蓋子替換上層平板。另一實(shí)施例中,視應(yīng)用而定,可以不同平板或包含不同設(shè)施連接部件的蓋子替換該下層平板。一實(shí)施例中,每一單獨(dú)的設(shè)施連接于平板內(nèi)至少有一些自由度以確保最佳單獨(dú)對(duì)準(zhǔn)以及連接間無殘余的結(jié)合力。前述是針對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例,可不背離基本范圍,設(shè)計(jì)其它及更進(jìn)一步的本發(fā)明實(shí)施例,而其范圍由隨后的權(quán)利要求書所決定。
權(quán)利要求
1.一種用于耦接多個(gè)設(shè)施的設(shè)備,包含下層平板,由盒體支撐,該下層平板具有穿孔、至少一個(gè)預(yù)載彈簧、至少一個(gè)設(shè)施連接部件、及自該下層平板的第一表面突出的主要對(duì)準(zhǔn)銷,其中該主要對(duì)準(zhǔn)銷的直徑隨接近該第一表面而增加;以及上層平板,該上層平板具有次要對(duì)準(zhǔn)銷、穿孔以及至少一個(gè)設(shè)施連接部件,該次要對(duì)準(zhǔn)銷比自該上層平板的第一表面突出的該主要對(duì)準(zhǔn)銷要短,其中該上層平板可以該上層平板以及下層平板的第一表面彼此面對(duì)的方式朝該下層平板移動(dòng),使得該主要對(duì)準(zhǔn)銷穿過該上層平板中的穿孔并且該次要對(duì)準(zhǔn)銷穿過該下層平板中的穿孔,該至少一個(gè)預(yù)載彈簧被壓縮,且該上層平板以及下層平板接合,藉此使該上層平板及下層平板上的設(shè)施連接部件耦接。
2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備,其中該盒體耦接于處理腔室,且其中該上層平板耦接于該處理腔室的蓋子。
3.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備,其中該下層平板是由至少一個(gè)彈簧被支撐在該盒體上。
4.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備,其中該次要對(duì)準(zhǔn)銷是階梯狀。
5.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備,其中該上層平板有偏移的重心。
6.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備,包含至少一個(gè)水設(shè)施連接、至少一個(gè)氣體連接以及至少一個(gè)電力設(shè)施連接。
7.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備,其中至少一個(gè)設(shè)施連接是自密封式的。
8.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備,包含控制設(shè)施連接。
9.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備,更進(jìn)一步包含真空前級(jí)連接。
10.如權(quán)利要求9所述的設(shè)備,其中該真空前級(jí)連接是浮管組件。
11.一種用于耦接多個(gè)設(shè)施的方法,包含以下步驟用盒體支撐下層平板,該下層平板具有穿孔、至少一個(gè)預(yù)載彈簧、至少一個(gè)設(shè)施連接部件、及自該下層平板的第一表面突出的主要對(duì)準(zhǔn)銷,其中該主要對(duì)準(zhǔn)銷的直徑隨接近該第一表面而增加;以上層平板與下層平板的第一表面彼此相互面對(duì)的方式,使上層平板朝下層平板下降,該上層平板具有次要對(duì)準(zhǔn)銷、穿孔以及至少一個(gè)設(shè)施連接部件,該次要對(duì)準(zhǔn)銷比自該上層平板的第一表面突出的主要對(duì)準(zhǔn)銷要短;將該主要對(duì)準(zhǔn)銷插入穿過該上層平板內(nèi)的穿孔;將該次要對(duì)準(zhǔn)銷插入穿過該下層平板內(nèi)的穿孔;壓縮至少一個(gè)預(yù)載彈簧;使該上層平板與下層平板上的設(shè)施連接部件耦接;以及使該上層平板與下層平板接合。
12.如權(quán)利要求11所述的方法,更進(jìn)一步包含以下步驟壓縮至少一個(gè)支撐該盒體上的下層平板的彈簧。
全文摘要
提供了設(shè)備與方法用以耦接多個(gè)設(shè)施。一實(shí)施例中,用以耦接多個(gè)設(shè)施的設(shè)備包含下層平板,由盒體支撐,此下層平板有穿孔、至少一個(gè)預(yù)載彈簧、至少一個(gè)設(shè)施連接部件、及自該下層平板的第一表面突出的主要對(duì)準(zhǔn)銷;及上層平板,該上層平板具有次要對(duì)準(zhǔn)銷,其比自該下層平板的第一表面突出的主要對(duì)準(zhǔn)銷短,該上層平板還具有穿孔以及至少一個(gè)設(shè)施連接部件。上層平板可以上層和下層平板的第一表面彼此面對(duì)的方式朝下層平板移動(dòng),如此主要對(duì)準(zhǔn)銷穿過上層平板中的穿孔并且次要對(duì)準(zhǔn)銷穿過下層平板中的穿孔,至少一個(gè)預(yù)載彈簧被壓縮,且這兩平板接合,以耦接上述設(shè)施連接部件。
文檔編號(hào)F16L55/00GK102196884SQ200980143585
公開日2011年9月21日 申請(qǐng)日期2009年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月30日
發(fā)明者H·P·T·希倫 申請(qǐng)人:應(yīng)用材料股份有限公司