專利名稱：環(huán)形接觸式感應(yīng)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型是一種環(huán)形接觸式感應(yīng)裝置，特別是一種可在接觸時感應(yīng)接觸力而發(fā)出一回饋訊號，且可感應(yīng)360度方向無死角接觸方向的感應(yīng)裝置。
如

圖1至圖3所示，在這些晶粒31在封裝過程中，將經(jīng)過切割成復(fù)數(shù)個晶粒31先置放于黏性薄膜32上，再將其置放在工作平臺2以機械手16經(jīng)機械手行進路徑161將其運送至輸送裝置15進行后續(xù)封裝制程。
在工作平臺2中X軸11與Y軸12作X軸及Y軸之平移21、22，Z軸1 3對Z軸作旋轉(zhuǎn)方向23之運動。這些經(jīng)過切割成復(fù)數(shù)個晶粒31被置放于上述工作平臺2上以一固定位置之頂針41將其往上頂，以利吸取頭14的吸取。
然而，在上述動作前機器須作一校正原點位置，亦或機器再運轉(zhuǎn)一段時間后亦須重新校正原點位置。這些動作通常是由機械人員以人工目視的方式進行，但因礙于機械結(jié)構(gòu)的限制，亦即頂針41僅能對Z軸13作上下運動且相對于一底座5的某固定位置，工作平臺2為一可移動式單元。因此，工作平臺2只允許在一限制范圍內(nèi)移動，若工作平臺2移動超出此一限制范圍，那么其平臺邊界24將撞擊到頂針41，所以機械人員必須小心調(diào)整以避免頂針41撞擊平臺邊界24。
為克服上述問題，在傳統(tǒng)技術(shù)里，以軟體來控制其邊界條件。但由于機械人員作手動校正原點位置時的疏忽將原點偏離太過，使得這時軟體誤以為是新原點位置而改變其邊界條件。但實際上真實的邊界還是在相對于機械的某一位置上，因此，在手動調(diào)整時難免產(chǎn)生撞擊頂針41，使得在校正原點位置時多出一項故障因素。
除了以軟體來控制其邊界條件外，有人想出另一方式，如圖4、圖5所示，頂針41旁加裝四個(Sensor)感應(yīng)器42藉以保護頂針41。雖然，其可作到保護頂針41之目的，但該(Sensor)感應(yīng)器42須裝設(shè)數(shù)個，有其死角未能全方位偵測，尤其當邊界具有尖銳編緣時更易造成接觸方向上的盲點，此外(Sensor)感應(yīng)器42數(shù)量的增加不僅形成成本上增加且線路上亦更復(fù)雜，因此，元件增多故障幾率也相對增加。
本實用新型是這樣實現(xiàn)的，一種環(huán)形接觸式感應(yīng)裝置包括一內(nèi)環(huán)體，該內(nèi)環(huán)體為一導(dǎo)電體，其外徑上緣呈一圓錐狀的內(nèi)環(huán)體錐度，其下有一圈內(nèi)環(huán)體逃料凹槽，內(nèi)部具有一內(nèi)環(huán)體中空部；一外環(huán)體，該外環(huán)體為一導(dǎo)電體，其內(nèi)徑上緣呈一圓錐狀之外環(huán)體錐度，內(nèi)部具有一外環(huán)體中空部，其內(nèi)孔略中央位置有一圈外環(huán)體逃料凹槽，外環(huán)體套于內(nèi)環(huán)體上，且留有一間隙供內(nèi)、外環(huán)體兩相互滑動位移； 一墊圈，該墊圈為一絕緣體，設(shè)于內(nèi)環(huán)體的內(nèi)環(huán)體逃料凹槽與外環(huán)體的外環(huán)體逃料凹槽之間；當外環(huán)體有一外力接觸時，其外環(huán)體逃料凹槽推擠墊圈，使得外環(huán)體內(nèi)徑上緣呈一錐狀的外環(huán)體錐度接觸內(nèi)環(huán)體外徑上緣呈一錐狀的內(nèi)環(huán)體錐度，此時呈電導(dǎo)通狀態(tài)，藉由內(nèi)環(huán)體與外環(huán)體的電導(dǎo)通狀態(tài)可回饋一訊號；此外，當外環(huán)體有一外力接觸時，其外環(huán)體逃料凹槽推擠墊圈，使得外環(huán)體內(nèi)徑上緣呈一錐狀的外環(huán)體錐度接觸內(nèi)環(huán)體外徑上緣呈一錐狀的內(nèi)環(huán)體錐度，兩錐度接觸，可將外環(huán)體之水平方向位移量改變成為錐度方向的位移，外環(huán)體往上移動。
為了能更清楚地描述本實用新型所提出之環(huán)形接觸式感應(yīng)裝置之作用原理，以下將配合圖示詳細說明。
圖2為圖1的工作平臺運作方向的上視圖。
圖3為圖1的3頂針頂出晶粒的放大圖。
圖4為現(xiàn)有的接觸式感應(yīng)裝置的正視圖。
圖5為現(xiàn)有的接觸式感應(yīng)裝置的上視圖。
圖6為本實用新型環(huán)形接觸式感應(yīng)裝置的正視圖。
圖7為本實用新型環(huán)形接觸式感應(yīng)裝置的上視圖。
附圖標號說明1工作平臺及機械手；11X軸；12Y軸；13Z軸；14吸??；15輸送裝置；16機械手；161機械手行進路徑；2工作平臺；21X軸平移方向；22Y軸平移方向；23對Z軸旋轉(zhuǎn)方向；24平臺邊界；3頂針頂出晶粒的放大圖；31晶粒；32黏性薄膜；4接觸式感應(yīng)裝置；41頂針；42(Sensor)感應(yīng)器；5底座；6環(huán)形接觸式感應(yīng)裝置；61內(nèi)環(huán)體；610導(dǎo)線；611中空部；6111上內(nèi)徑；6112下內(nèi)徑；612逃料凹槽；613凸緣；614錐度；615逃料孔；62外環(huán)體；620導(dǎo)線；621中空部；622逃料凹槽；624錐度；63墊圈。
一內(nèi)環(huán)體61，該內(nèi)環(huán)體61為一導(dǎo)電體，并至少連接一內(nèi)環(huán)體導(dǎo)線610。其特征為外徑上緣呈一圓錐狀的內(nèi)環(huán)體錐度614，其下有一圈內(nèi)環(huán)體逃料凹槽612，該內(nèi)環(huán)體逃料凹槽612下方有一凸緣613，用以承載外環(huán)體62。又，內(nèi)環(huán)體61內(nèi)部具有一內(nèi)環(huán)體中空部611，其中該內(nèi)環(huán)體中空部611內(nèi)固定于一裝置元件(例如，頂針41)。該內(nèi)環(huán)體中空部611分上內(nèi)徑6111與下內(nèi)徑6112。其中，上內(nèi)徑6111小于下內(nèi)徑6112，其功能在于限制其裝置元件于一固定位置，上內(nèi)徑6111與下內(nèi)徑6112，有至少一逃料孔615，其功能在限制其裝置元件的旋轉(zhuǎn)。
一外環(huán)體62，該外環(huán)體62為一導(dǎo)電體，并至少連接一外環(huán)體導(dǎo)線620。其特征為內(nèi)徑上緣呈一圓錐狀堵塞外環(huán)體錐度624，內(nèi)部具有一外環(huán)體中空部621，其內(nèi)孔略中央位置有一圈外環(huán)體逃料凹槽622，外環(huán)體62套于內(nèi)環(huán)體61上，且留有一間隙供內(nèi)、外環(huán)體61、62兩工件滑動位移。
一墊圈63，該墊圈63為一絕緣體。其較佳實際例可為橡膠類及內(nèi)部中空之彈性物質(zhì)。設(shè)于內(nèi)環(huán)體逃料凹槽612與外環(huán)體逃料凹槽622之間。
當外環(huán)體62有一外力接觸時，其外環(huán)體逃料凹槽622推擠墊圈63，使得外環(huán)體62內(nèi)徑上緣呈一錐狀的外環(huán)體錐度624接觸內(nèi)環(huán)體外徑上緣呈一錐狀的內(nèi)環(huán)體錐度614，此時呈電導(dǎo)通狀態(tài)，藉由內(nèi)環(huán)體61與外環(huán)體62的電導(dǎo)通狀態(tài)可回饋一訊號由內(nèi)、外環(huán)體導(dǎo)線610、620送出。
此外，當外環(huán)體62有一外力接觸時，其外環(huán)體逃料凹槽622推擠墊圈63，使得外環(huán)體62內(nèi)徑上緣呈一錐狀的外環(huán)體錐度624接觸內(nèi)環(huán)體61外徑上緣呈一錐狀之內(nèi)環(huán)體錐度614，兩錐度接觸，可將外環(huán)體62的水平方向位移量改變成為錐度方向的位移。因此，外環(huán)體62往上移動。
綜上所述，本實用新型一種環(huán)形接觸式感應(yīng)裝置，若以該裝置取代前述之接觸式感應(yīng)裝置將可感應(yīng)360度無死角的各方向接觸情況，且其外環(huán)體62內(nèi)徑上緣呈一錐狀的外環(huán)錐度624接觸內(nèi)環(huán)體61外徑上緣呈一錐狀的內(nèi)環(huán)錐度614時，即產(chǎn)生一訊號，此一訊號回饋至機器告知其停止工作平臺2的動作，又如上述之內(nèi)、外環(huán)體61、62皆有錐狀接觸面，其可吸引工作平臺2停止時的殘留沖量，進而保護其內(nèi)的裝置元件，不致撞擊而毀損(此錐以工作平臺及機械手為例，但也可實施在其他領(lǐng)域中)。
唯以上所述者，僅為本實用新型之較佳實施例，當不能以之限制本實用新型范圍。即大凡依本實用新型權(quán)利要求所做之均等變化及修飾，仍將不失本實用新型之要義所在，亦不脫離本實用新型之精神和范圍，故都應(yīng)視為本實用新型的進一步實施狀況。
權(quán)利要求1.一種環(huán)形接觸式感應(yīng)裝置，其特征在于包括一內(nèi)環(huán)體，該內(nèi)環(huán)體為一導(dǎo)電體，其外徑上緣呈一圓錐狀的內(nèi)環(huán)體錐度，其下有一圈內(nèi)環(huán)體逃料凹槽，內(nèi)部具有一內(nèi)環(huán)體中空部；一外環(huán)體，該外環(huán)體為一導(dǎo)電體，其內(nèi)徑上緣呈一圓錐狀之外環(huán)體錐度，內(nèi)部具有一外環(huán)體中空部，其內(nèi)孔略中央位置有一圈外環(huán)體逃料凹槽，外環(huán)體套于內(nèi)環(huán)體上，且留有一間隙供內(nèi)、外環(huán)體兩相互滑動位移；一墊圈，該墊圈為一絕緣體，設(shè)于內(nèi)環(huán)體的內(nèi)環(huán)體逃料凹槽與外環(huán)體的外環(huán)體逃料凹槽之間；當外環(huán)體有一外力接觸時，其外環(huán)體逃料凹槽推擠墊圈，使得外環(huán)體內(nèi)徑上緣呈一錐狀的外環(huán)體錐度接觸內(nèi)環(huán)體外徑上緣呈一錐狀的內(nèi)環(huán)體錐度，此時呈電導(dǎo)通狀態(tài)，藉由內(nèi)環(huán)體與外環(huán)體的電導(dǎo)通狀態(tài)可回饋一訊號；此外，當外環(huán)體有一外力接觸時，其外環(huán)體逃料凹槽推擠墊圈，使得外環(huán)體內(nèi)徑上緣呈一錐狀的外環(huán)體錐度接觸內(nèi)環(huán)體外徑上緣呈一錐狀的內(nèi)環(huán)體錐度，兩錐度接觸，可將外環(huán)體之水平方向位移量改變成為錐度方向的位移，外環(huán)體往上移動。
2.如權(quán)利要求第1所述的環(huán)形接觸式感應(yīng)裝置，其特征在于內(nèi)、外環(huán)體均為圓形環(huán)狀，可感應(yīng)360度無死角的各方向接觸情況。
3.如權(quán)利要求第1所述的環(huán)形接觸式感應(yīng)裝置，其特征在于外環(huán)體與內(nèi)環(huán)體分別各連接至少一導(dǎo)線。
4.如權(quán)利要求第1所述的環(huán)形接觸式感應(yīng)裝置，其特征在于內(nèi)環(huán)體逃料凹槽下方有一凸緣。
5.如權(quán)利要求第1所述的環(huán)形接觸式感應(yīng)裝置，其特征在于墊圈內(nèi)部為一中空狀。
6.如權(quán)利要求第1所述的環(huán)形接觸式感應(yīng)裝置，其特征在于內(nèi)環(huán)體的中空部，固定于一種裝置元件。
7.如權(quán)利要求第6所述的環(huán)形接觸式感應(yīng)裝置，其特征在于裝置元件是一頂針，用于頂出晶粒。
8.如權(quán)利要求第6所述的環(huán)形接觸式感應(yīng)裝置，其特征在于內(nèi)環(huán)體的中空部，分兩不同內(nèi)徑，上方內(nèi)徑小于下方內(nèi)徑，用于限制其裝置元件于一固定位置。
9.如權(quán)利要求第8所述的環(huán)形接觸式感應(yīng)裝置，其特征在于上內(nèi)徑與下內(nèi)徑，有至少一逃料孔，用于限制其裝置元件的旋轉(zhuǎn)。
專利摘要本實用新型是一環(huán)形接觸式感應(yīng)裝置,包括:內(nèi)環(huán)體、外環(huán)體及墊圈。其中,該內(nèi)環(huán)體為一導(dǎo)電體,其外徑上緣呈一錐狀。外環(huán)體為一導(dǎo)電體,其內(nèi)徑上緣呈一錐狀。一墊圈,該墊圈為一絕緣體,其系設(shè)于內(nèi)環(huán)體與外環(huán)體之間。當外環(huán)體有一外力接觸時,其推擠墊圈,使得外環(huán)體內(nèi)徑上緣呈一錐狀的斜度接觸外環(huán)體外徑上緣呈一錐狀的斜度,此時呈導(dǎo)通狀態(tài),藉由外環(huán)體與外環(huán)體之導(dǎo)通狀態(tài)可回饋一訊號,使機械緊急停止。兩斜度接觸,外環(huán)體往上移動可吸收機械緊急停止時而未完全停止之殘余沖量,不致于因撞擊而毀損。
文檔編號H01L21/00GK2488173SQ01229480
公開日2002年4月24日 申請日期2001年7月24日 優(yōu)先權(quán)日2001年7月24日
發(fā)明者石敦智, 楊天德 申請人:華東半導(dǎo)體工業(yè)股份有限公司