專利名稱：參考電壓發(fā)生裝置及半導(dǎo)體集成電路、其檢查裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路的檢查裝置，該半導(dǎo)體集成電路這樣構(gòu)成，內(nèi)部設(shè)置有多個DA轉(zhuǎn)換器，分別通過相對應(yīng)的輸出端子輸出各DA轉(zhuǎn)換器的輸出電壓，特別是涉及具有按照輸入的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)產(chǎn)生參考電壓的參考電壓發(fā)生裝置的檢查裝置。
另外，即使在圖象顯示器中的，液晶顯示器的液晶面板中，對顯示圖象的更高精細(xì)化的要求仍增加，為了應(yīng)對該要求，在裝載于該液晶面板上的液晶驅(qū)動器LSI中，進(jìn)行多輸出處理，多灰度處理。
在液晶面板中，為了進(jìn)行灰度顯示，在液晶驅(qū)動器LSI的各輸出單元的內(nèi)部，分別設(shè)置DA轉(zhuǎn)換器，可輸出灰度電壓。下面參照圖8，對該動作進(jìn)行描述。圖8表示一般的液晶驅(qū)動器的方框圖，特別是表示輸出灰度顯示用電壓，驅(qū)動液晶面板的源信號線的源驅(qū)動部的方框圖。
下面對源驅(qū)動器LSI進(jìn)行描述，但是也可為包括源驅(qū)動器的液晶驅(qū)動器。
在源驅(qū)動器LSI中，首先，根據(jù)在轉(zhuǎn)送時鐘CK，由移位寄存器轉(zhuǎn)送的初始脈沖信號(圖中未示出)，依次將與輸出給液晶面板的各源信號線的灰度顯示用電壓相對應(yīng)的數(shù)字輸入數(shù)據(jù)(比如，在64級灰度顯示的場合，R，G，B各6比特的輸入數(shù)據(jù))取樣到取樣存儲器中，獲取1個水平同步期間的數(shù)據(jù)(同時輸出數(shù)量的數(shù)據(jù))，將其一次性地鎖存于保持(hold)存儲器中。
接著，通過水平同步信號LS，從保持(hold)存儲器，同時輸出1個水平同步期間的數(shù)據(jù)，通過電平位移電路，使其電壓上升到施加于液晶面板上的外加電壓電平，將其轉(zhuǎn)送給DA轉(zhuǎn)換器。該DA轉(zhuǎn)換器針對每個源驅(qū)動器的輸出(比如，540個輸出端子)而設(shè)置。
然后，在DA轉(zhuǎn)換器中，選擇對應(yīng)于上述的升壓的數(shù)字輸入數(shù)據(jù)的灰度顯示用電壓，通過針對每個輸出而具有的輸出運(yùn)算放大器，輸出該灰度顯示用電壓，將其輸入到液晶面板的各源信號線中。
另外，灰度顯示用電壓(比如，64級灰度顯示量)是通過參考電壓發(fā)生電路(梯形電阻器)，根據(jù)從外部輸入的參考電壓(比如，V0、V1、…、V10、…)產(chǎn)生的，將其輸出給DA轉(zhuǎn)換器。
作為上述參考電壓發(fā)生電路，一般采用梯形電阻器。下面參照圖6，對該梯形電阻器進(jìn)行描述。圖6為梯形電阻器的一般的模式圖。
在該梯形電阻器的模式圖中，具有端子V0～Vn，以便可從LSI外部，輸入?yún)⒖茧妷褐?，從輸入梯形電阻器m1～mn的相應(yīng)兩端，向DA轉(zhuǎn)換電路，輸出n+1灰度顯示用的各電壓值。在圖6中，省略DA轉(zhuǎn)換電路的箭頭。
此外，圖6表示端子V0～Vn的實(shí)例，但是，其完全是1個實(shí)例。
通過象這樣，改變參考電壓值，象后面描述的那樣，可進(jìn)行與γ特性相一致的補(bǔ)償。
在圖8所示的參考電壓發(fā)生電路中，在前述的輸入顯示數(shù)據(jù)為6比特的場合，產(chǎn)生n＝64的64種的灰度顯示用電壓，在上述輸入顯示數(shù)據(jù)為8比特的場合，產(chǎn)生n＝256的256種的灰度顯示用電壓，在上述輸入顯示數(shù)據(jù)為10比特的場合，產(chǎn)生n＝1024的1024種的灰度顯示用電壓。
還有，由于伴隨液晶驅(qū)動器用LSI的灰度的數(shù)量的增加，各灰度顯示用電壓的變化的允許值變窄，故在用于確保其品質(zhì)的液晶驅(qū)動器的檢驗(yàn)中的高精度測定是必不可少的。即，必須以更高的精度，對下述情況進(jìn)行檢驗(yàn)，該情況指從源驅(qū)動器LSI中的DA轉(zhuǎn)換器輸出的相應(yīng)的灰度顯示用電壓值是否均輸出允許值內(nèi)的正確的電壓值，另外在每個輸出端子的各DA轉(zhuǎn)換器之間，所輸出的灰度電壓值是否分別是均勻的。
如果被檢驗(yàn)器件DUT(Device Under Test)的電源電壓是相同的，則由于輸出端子的性能從64級灰度顯示，提高到256級灰度顯示，故對于測定精度，必須進(jìn)行4倍的高精度處理。
下面參照圖9，對下述方法進(jìn)行描述，在該方法中，構(gòu)成檢驗(yàn)的對象的被檢驗(yàn)器件DUT采用內(nèi)部設(shè)置有n級灰度DA轉(zhuǎn)換器的液晶驅(qū)動器用LSI(源驅(qū)動器LSI)，在該轉(zhuǎn)換器中，輸出端子數(shù)量為m，該轉(zhuǎn)換器用于選擇n個左右的電壓電平(灰度顯示用電壓)，將其輸出給各輸出端子。
圖9為通過半導(dǎo)體試驗(yàn)裝置(檢驗(yàn)器)112，試驗(yàn)作為被檢驗(yàn)器件DUT的液晶器件LSI(下面簡稱為“DUT”)111的實(shí)例。
檢驗(yàn)器112將相當(dāng)于規(guī)定的顯示數(shù)據(jù)的輸入信號輸入到DUT111中，判斷從DUT111輸出的信號是否良好。
在圖9的檢驗(yàn)系統(tǒng)中，采用檢驗(yàn)器112，以規(guī)定輸入，從RGB輸入端子，向DUT111，即，液晶驅(qū)動器LSI(僅僅對圖8中的組成中的，圖9所示的DA轉(zhuǎn)換器(DAC)進(jìn)行描述，輸出運(yùn)算放大器等省略)輸入輸入信號(規(guī)定的顯示數(shù)據(jù))，輸出與該顯示數(shù)據(jù)相對應(yīng)的灰度顯示用電壓電平。
首先，比如，從各輸出端子Y1～Ym，輸出最低的灰度顯示用電壓，依次對位于檢驗(yàn)器112的矩陣開關(guān)的開閉進(jìn)行控制，按照時間分割的方式輸入上述電壓，采用設(shè)置于該檢驗(yàn)器112的內(nèi)部的高精度模擬電壓測定器115，依次通過從端子Y1～端子Ym的輸出，測定第1灰度的灰度顯示用電壓值，依次將該測定結(jié)果，存儲于設(shè)置于該檢驗(yàn)器112的內(nèi)部的數(shù)據(jù)存儲器113中。
通過按照n級灰度的方式，反復(fù)進(jìn)行該操作，最終，在全部輸出端子處，將全部灰度顯示的數(shù)據(jù)存儲于數(shù)據(jù)存儲器113中(m×n個的數(shù)據(jù))。
采用設(shè)置于檢驗(yàn)器112的內(nèi)部的運(yùn)算器114，對存儲于上述數(shù)據(jù)存儲器113中的數(shù)據(jù)進(jìn)行規(guī)定運(yùn)算，進(jìn)行各輸出端子的各灰度電壓值，各輸出端子之間的灰度電壓值是否位于允許值內(nèi)的均勻性的試驗(yàn)。
在這樣的液晶驅(qū)動器LSI(源驅(qū)動器LSI)的檢驗(yàn)中，伴隨輸出和灰度的增加，數(shù)據(jù)的接收量增加，并且伴隨該增加，數(shù)據(jù)處理時間增加，檢驗(yàn)時間大幅度地增加。
于是，在日本專利公開文獻(xiàn)(JP特開2001-99899號文獻(xiàn)2001年4月13日公開)中，公開有針對前述的圖9的檢驗(yàn)系統(tǒng)，解決檢驗(yàn)時間增加的課題的檢驗(yàn)系統(tǒng)。
在該檢驗(yàn)系統(tǒng)方案中，作為解決上述的檢驗(yàn)時間增加的單元，采用通過下述方式，在短時間，實(shí)施與過去相同的試驗(yàn)的手法，該方式為通過對應(yīng)于各輸出端子而設(shè)置的差動放大器陣列模塊，獲取每級灰度的理想電壓值與通過液晶驅(qū)動器的各輸出端子輸出的電壓值之間的差值，采用檢驗(yàn)器內(nèi)部的比較器，對該差值電壓并行地進(jìn)行判斷。
下面參照圖10，對該檢驗(yàn)系統(tǒng)進(jìn)行描述。在圖10中，通過檢驗(yàn)器122和電壓發(fā)生器123，以及差動放大器陣列模塊124，對作為被檢驗(yàn)器件的DUT121進(jìn)行試驗(yàn)。另外，DUT121與檢驗(yàn)器122的動作與圖9中描述的DUT111，檢驗(yàn)器112相同，在這里，不反復(fù)地說明。
上述電壓發(fā)生器123發(fā)生DUT121應(yīng)輸出的期待電壓電平，即，理想輸出電壓。在差動放大器陣列模塊124中，輸入上述電壓發(fā)生器123的輸出信號與DUT121的輸出端子的輸出信號，對這些電壓差進(jìn)行放大，將其輸出。將該輸出輸入到檢驗(yàn)器122中。同樣在這里，對下述實(shí)例的檢驗(yàn)方法進(jìn)行描述，在該實(shí)例中，構(gòu)成檢驗(yàn)的對象的DUT121采用液晶驅(qū)動器用LSI(源驅(qū)動器LSI)，在其內(nèi)部，設(shè)置有輸出端子數(shù)量為m(Y1～Ym個)，用于選擇n個左右的電壓電平，將其輸出給在各輸出端子的n級灰度DA轉(zhuǎn)換器。
DUT121具有m個輸出端子，在各輸出端子處，分別設(shè)置有DA轉(zhuǎn)換器(DAC)，象前面已描述的那樣，對應(yīng)于顯示數(shù)據(jù)，產(chǎn)生n種的灰度顯示用電壓。另外，在圖10中，就上述DUT121來說，與前述的DUT111相同，省略輸出運(yùn)算放大器等。
首先，將相當(dāng)于顯示數(shù)據(jù)的輸入信號從檢驗(yàn)器122，供給DUT121，從m個輸出端子，使DUT121動作，以便可產(chǎn)生比如，相同的灰度顯示用電壓。
同時(并行地)將從M個的輸出端子輸出的灰度顯示用電壓，分別輸入到裝載于差動放大器陣列模塊124上的差動放大器的輸入端子。
另一方面，在從DUT121的輸出端子，輸入灰度電壓的同時，從電壓發(fā)生器123，輸出形成灰度顯示用電壓的期待值電壓的電壓值，將其輸入到裝載于差動放大器陣列模塊124上的差動放大器的其它的輸入端子中。
通過差動放大器，對DUT121所輸出的m個的灰度顯示用電壓值與電壓發(fā)生器123所產(chǎn)生的期待值電壓之間的電壓差，即，期待值電壓中的偏差量進(jìn)行放大，求出該值。上述差動放大器中的放大的目的在于高精度地進(jìn)行電壓差的比較判斷。
已放大的，相應(yīng)的m個電壓值通過差動放大器陣列模塊124的輸出端子輸出，并行地輸入到檢驗(yàn)器122的檢驗(yàn)器信道(1ch～Mch)中。
在檢驗(yàn)器122中，作為進(jìn)行電壓測定的單元，具有用于高精度地測定DC電壓電平的DC測定單元與設(shè)置于前述的檢驗(yàn)器信道中的比較器。由于該比較器主要用于進(jìn)行功能動作檢驗(yàn)，故該電壓測定精度比DC測定單元低，通常，無法進(jìn)行上述那樣的高精度的電壓測定和比較判斷，但是，由于通過前述的放大單元，對電壓差進(jìn)行放大，故可通過比較器進(jìn)行比較判斷。
象這樣，通過采用差動放大器陣列模塊124，進(jìn)行測定，按照與過去相同，或其以上的測定精度，在短時間進(jìn)行試驗(yàn)。
輸入到上述差動放大器陣列模塊124中的電壓放大器123產(chǎn)生的期待值電壓波形，與DUT121的輸出電壓波形(在下面，稱為“灰度電壓波形”)之間的關(guān)系象圖7所示的那樣。
從DUT121輸出的灰度電壓值相對期待值電壓值，產(chǎn)生電壓差ΔV1、ΔV2、ΔV3、…。在DUT121的檢驗(yàn)中，對下述情況進(jìn)行檢驗(yàn)，該情況指是否位于規(guī)定這些電壓差ΔV的電壓范圍內(nèi)，另外針對同一灰度顯示用電壓的各輸出端子之間的電壓值比較，這些電壓差ΔV是否具有均勻性。
另外，在上述文獻(xiàn)中公開的檢驗(yàn)系統(tǒng)中，從期待值電壓發(fā)生器123中，輸出每個灰度顯示用電壓的期待值電壓，但是，在另一運(yùn)算單元(設(shè)置于檢驗(yàn)器122的內(nèi)部)，根據(jù)輸入信號，在檢驗(yàn)程序的內(nèi)部對作為期待值電壓的，反映后面將要描述的γ特性規(guī)格等的形式的預(yù)定的期待值電壓進(jìn)行運(yùn)算，將其結(jié)果轉(zhuǎn)送給期待值電壓發(fā)生器123，依次輸出反映γ特性的期待值電壓。
但是，近年，伴隨灰度數(shù)的增加，相對液晶驅(qū)動器這樣的被檢驗(yàn)驅(qū)動器DUT的理想輸出電壓，即，期待值電壓，與實(shí)際的液晶驅(qū)動器的輸出電壓，即，灰度電壓之間的電壓差ΔV而規(guī)定的規(guī)格變得更加嚴(yán)格，一般，在64級灰度規(guī)格的場合，小于±20mV，在256級灰度規(guī)格的場合，小于±10mV，灰度數(shù)量進(jìn)一步增加，并且上述規(guī)格小于數(shù)mV還產(chǎn)生時間方面的問題。
另外，由于期待值電壓也根據(jù)按照γ特性等，預(yù)定的計(jì)算式，在檢驗(yàn)程序的內(nèi)部進(jìn)行運(yùn)算，將該值轉(zhuǎn)送給電壓發(fā)生器，將其作為期待值電壓而輸出，故該運(yùn)算結(jié)果數(shù)據(jù)的轉(zhuǎn)送所花費(fèi)的時間還伴隨灰度數(shù)量的增加而延長。
具體來說，與通過檢驗(yàn)器，將在檢驗(yàn)程序的內(nèi)部運(yùn)算而產(chǎn)生的γ特性相對應(yīng)的輸出電壓值，轉(zhuǎn)送給電壓發(fā)生器的單元，具有下述情況，即，由于檢驗(yàn)器的I/O信道數(shù)量的限制，不得不按照1ch，串行地轉(zhuǎn)送數(shù)據(jù)。
在此場合，比如，在256級灰度顯示用象素點(diǎn)反轉(zhuǎn)對應(yīng)的液晶驅(qū)動器LSI(源驅(qū)動器LSI)中，由于鄰接的端子針對每個液晶面板的象素點(diǎn)而進(jìn)行交流驅(qū)動，故必須要求正極性和負(fù)極性，于是，必須轉(zhuǎn)送512級灰度顯示用的數(shù)據(jù)。
如果1數(shù)據(jù)(64級灰度顯示用液晶驅(qū)動器的檢驗(yàn)所必需的數(shù)據(jù)比特數(shù)大于6比特)必須要求3ms的轉(zhuǎn)送時間，則僅僅在期待值電壓的轉(zhuǎn)送中，就必須要求1.5秒的時間。
上述轉(zhuǎn)送的數(shù)據(jù)的比特數(shù)與參考電壓發(fā)生器本身的精度造成的測定精度有關(guān)，如果例舉一個實(shí)例，則為了判斷作為64級灰度顯示用液晶驅(qū)動器(顯示數(shù)據(jù)為6比特)中的一般的輸出誤差規(guī)格的±20mV，必須要求10倍以上的測定精度。
如果要確保10倍以上的測定精度，則必須要求相對顯示數(shù)據(jù)6比特，進(jìn)一步提高3比特的精度，其結(jié)果是，必須要求6+3比特的9比特的轉(zhuǎn)送數(shù)據(jù)。
另外，按照與灰度數(shù)量的增加成比例的形式，促進(jìn)測定精度的提高，怎樣實(shí)現(xiàn)高精度的測定也為一個重要的課題，為了提高精度，轉(zhuǎn)送數(shù)據(jù)的比特數(shù)進(jìn)一步增加，其導(dǎo)致數(shù)據(jù)的轉(zhuǎn)送時間的增加。
另外，如果對實(shí)際上用于判斷電壓差的時間，與上述的期待值電壓的轉(zhuǎn)送時間進(jìn)行比較，則形成轉(zhuǎn)送時間與判斷時間1在2～3的范圍內(nèi)的比例，灰度數(shù)量增加，必須要求精度提高，伴隨該情況，其比例進(jìn)一步增加。
其結(jié)果是，在進(jìn)行檢驗(yàn)方面，本來不必要求的時間(設(shè)定時間等)延長，其導(dǎo)致檢驗(yàn)時間的增加，即，檢驗(yàn)處理能力的降低。
本發(fā)明的參考電壓發(fā)生裝置對應(yīng)于所輸入的參考數(shù)據(jù)，產(chǎn)生參考電壓，其特征在于其包括參考數(shù)據(jù)發(fā)生單元，其數(shù)量比所發(fā)生的參考電壓的數(shù)量少的參考數(shù)據(jù)輸入到該參考數(shù)據(jù)發(fā)生單元中，根據(jù)已輸入的參考數(shù)據(jù)，以內(nèi)插方式產(chǎn)生參考數(shù)據(jù)，以便形成與參考電壓的數(shù)量相同的數(shù)量。
在一般的參考電壓發(fā)生裝置中，由于可相對1個參考數(shù)據(jù)，產(chǎn)生1個參考電壓，故產(chǎn)生必要的數(shù)量的參考電壓而花費(fèi)的時間依賴于將參考數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)送給參考電壓發(fā)生裝置而花費(fèi)的時間。
因此，如果增加在參考電壓發(fā)生裝置中產(chǎn)生的參考電壓的數(shù)量，則由此，轉(zhuǎn)送給該參考電壓發(fā)生裝置的參考數(shù)據(jù)的數(shù)量也增加，參考數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)送給參考電壓的時間延長。其結(jié)果是，產(chǎn)生必要的數(shù)量的參考電壓的發(fā)生花費(fèi)時間的問題。
于是，象上述方案那樣，根據(jù)其數(shù)量少于參考電壓中的必要數(shù)量的參考數(shù)據(jù)，產(chǎn)生必要的參考電壓，由此，可使參考數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)送給參考電壓發(fā)生裝置的時間，比轉(zhuǎn)送其數(shù)量與必要數(shù)量的參考電壓相同的參考數(shù)據(jù)的場合短。這樣，可縮短參考電壓的發(fā)生的時間。
比如，如果這樣的參考電壓發(fā)生裝置用于根據(jù)參考電壓，檢查被檢查體(被檢驗(yàn)器件)的檢查裝置，則可縮短檢查時間。
一般，將參考數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)送給參考電壓發(fā)生裝置的時間大大長于在參考電壓發(fā)生裝置的內(nèi)部，以內(nèi)插方式產(chǎn)生參考時間的時間。由此，如果參考數(shù)據(jù)的容量(比特數(shù))增加，則上述時間差進(jìn)一步增加。
于是，在為了提高檢查精度，增加參考電壓的發(fā)生所必需的參考數(shù)據(jù)的容量(比特數(shù))的場合，如果象上述方案的那樣，在參考電壓發(fā)生裝置內(nèi)部，可產(chǎn)生與參考電壓的參考數(shù)據(jù)，則可在較短時間產(chǎn)生檢查精度的提高所必需的參考數(shù)據(jù)。
由此，可在極短時間，并且高精度地實(shí)施被檢驗(yàn)器件的檢驗(yàn)。
在作為參考電壓發(fā)生裝置的，采用梯形電阻器等，產(chǎn)生多電壓值的裝置中，參考數(shù)據(jù)發(fā)生部的參考電壓的內(nèi)插為直線內(nèi)插。
上述參考數(shù)據(jù)發(fā)生部的直線內(nèi)插，比如，通過下面給出的內(nèi)插部進(jìn)行。
即，上述內(nèi)插部由下述部分構(gòu)成，該下述部分包括減法運(yùn)算部，該減法運(yùn)算部計(jì)算所輸入的參考數(shù)據(jù)之間的差；除法運(yùn)算部，該除法運(yùn)算部以上述輸入的參考時間之間的分割數(shù)，除以上述減法運(yùn)算部的輸出值；乘法運(yùn)算部，該乘法運(yùn)算部將相當(dāng)于所輸出的參考電壓的比例值，與上述除法運(yùn)算部的輸出值相乘；加減法運(yùn)算部，該加減法運(yùn)算部將上述乘法運(yùn)算部的輸出值，作為上述所輸入的參考數(shù)據(jù)的內(nèi)插值而進(jìn)行加減法運(yùn)算。
在此場合，可通過上述內(nèi)插部，有效地進(jìn)行參考數(shù)據(jù)的直線內(nèi)插處理。
另外，也可在作為被檢驗(yàn)器件的液晶驅(qū)動器LSI等的半導(dǎo)體集成電路的內(nèi)部，設(shè)置有上述結(jié)構(gòu)的參考電壓發(fā)生裝置。
在此場合，可照原樣，使用過去的半導(dǎo)體集成電路的檢查裝置，即，增加參考電壓與灰度顯示用電壓之間的差，判斷其是否良好的檢查裝置。
此外，本發(fā)明的半導(dǎo)體集成電路的檢查裝置通過與另一途徑形成的參考電壓進(jìn)行比較，判斷半導(dǎo)體集成電路的輸出電壓電平是否良好，其特征在于其包括參考電壓發(fā)生裝置，該參考電壓發(fā)生電路對應(yīng)于所輸入的參考數(shù)據(jù)，產(chǎn)生上述參考電壓；其數(shù)量比所發(fā)生的參考電壓的數(shù)量少的參考數(shù)據(jù)輸入到上述參考電壓發(fā)生裝置中，根據(jù)上述已輸入的參考數(shù)據(jù)，以內(nèi)插方式產(chǎn)生參考數(shù)據(jù)，以便形成與參考電壓的數(shù)量相同的數(shù)量。
按照該方案，由于可通過縮短將參考數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)送給該參考電壓發(fā)生裝置的時間，減少用于獲得半導(dǎo)體集成電路所必需的輸出電壓的時間，故可大幅度地縮短半導(dǎo)體集成電路的檢查的時間。
由此，與在即使為了提高檢查精度，參考數(shù)據(jù)的容量(比特數(shù))增加的情況下，將與必要的數(shù)量的參考電壓相對應(yīng)的全部的參考數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)送給參考電壓發(fā)生裝置的場合相比較，可大幅度地縮短參考數(shù)據(jù)的轉(zhuǎn)送時間。
于是，在為了提高檢查精度，增加參考電壓的發(fā)生所必需的參考數(shù)據(jù)的容量(比特數(shù))的場合，象上述方案那樣，如果可在參考電壓發(fā)生裝置的內(nèi)部，產(chǎn)生與參考電壓相對應(yīng)的參考數(shù)據(jù)，則可在較短時間制作檢測精度的提高所必需的參考數(shù)據(jù)。
由此，可在極短時間，高精度地實(shí)施作為被檢驗(yàn)器件的半導(dǎo)體集成電路的檢查。
在作為參考電壓發(fā)生裝置的、采用梯形電阻器等的、產(chǎn)生多個電壓值的裝置中，參考數(shù)據(jù)發(fā)生部的參考數(shù)據(jù)的內(nèi)插為直線內(nèi)插。
上述參考電壓發(fā)生裝置的參考數(shù)據(jù)的內(nèi)插比如，通過下面給出的內(nèi)插部進(jìn)行。
即，上述內(nèi)插部由下述部分構(gòu)成，該下述部分包括減法運(yùn)算部，該減法運(yùn)算部計(jì)算所輸入的參考數(shù)據(jù)之間的差；除法運(yùn)算部，該除法運(yùn)算部以上述輸入的參考數(shù)據(jù)之間的分割數(shù)，除以上述減法運(yùn)算部的輸出值；乘法運(yùn)算部，該乘法運(yùn)算部將相當(dāng)于所輸出的參考電壓的比例值，與上述除法運(yùn)算部的輸出值相乘；加減法運(yùn)算部，該加減法運(yùn)算部將上述乘法運(yùn)算部的輸出值，作為上述所輸入的參考數(shù)據(jù)的內(nèi)插值而進(jìn)行加減法運(yùn)算。
在此場合，可通過上述內(nèi)插部，有效地進(jìn)行參考數(shù)據(jù)的直線內(nèi)插處理。
在上述半導(dǎo)體集成電路為液晶驅(qū)動用集成電路，即，液晶驅(qū)動器LSI(源驅(qū)動器LSI)的場合，還實(shí)現(xiàn)下面給出的那樣的效果。
即，如果采用上述的半導(dǎo)體集成電路的檢查裝置，則在進(jìn)行多輸出，多灰度處理的液晶驅(qū)動器LSI的檢查中，可考慮與參考電壓值的灰度數(shù)量，灰度顯示數(shù)量，液晶面板的γ特性規(guī)格有關(guān)的信息，對參考數(shù)據(jù)進(jìn)行內(nèi)插處理，產(chǎn)生參考數(shù)據(jù)。
因此，即使在針對每個器件，γ特性不同的場合的連續(xù)試驗(yàn)，灰度數(shù)量比如，增加到256級灰度，1024級灰度的情況下，仍可容易通過內(nèi)插方式產(chǎn)生與該γ特性相對應(yīng)的參考電壓，因此，即使在這樣的情況下，不必考慮參考電壓的設(shè)定時間，可僅僅在實(shí)質(zhì)的判斷時間，進(jìn)行檢驗(yàn)。
另外，雖然必須形成多個灰度，并且提高測定精度，比如，對于1024級灰度的品質(zhì)，至少必須要求1mV以下的測定精度，但是，即使在參考數(shù)據(jù)的容量(比特數(shù))增加的情況下，檢查時間不象已有技術(shù)那樣，大幅度地增加，另外，按照本發(fā)明，由于在參考電壓發(fā)生裝置內(nèi)，產(chǎn)生參考電壓，故可使該電壓值的精度提高，與在過去的檢驗(yàn)器等中，產(chǎn)生參考電壓的場合相比較，使測定精度進(jìn)一步提高。
上述方案的半導(dǎo)體集成電路的檢查裝置通過下面給出的檢查方法的處理流程進(jìn)行。
本發(fā)明的半導(dǎo)體集成電路的檢查方法涉及下述半導(dǎo)體集成電路的檢查方法，其中，通過與另一途徑形成的參考電壓進(jìn)行比較，判斷半導(dǎo)體集成電路的輸出電壓電平是否良好，其特征在于其包括下述步驟參考數(shù)據(jù)發(fā)生步驟，即，根據(jù)其數(shù)量比所產(chǎn)生的參考電壓少的參考數(shù)據(jù)，以內(nèi)插方式產(chǎn)生參考數(shù)據(jù)，以便形成與參考電壓的數(shù)量相同的數(shù)量；參考電壓發(fā)生步驟，即，對應(yīng)于在上述參考數(shù)據(jù)發(fā)生步驟所獲得的參考數(shù)據(jù)，產(chǎn)生上述參考電壓。
另外，也可通過直線內(nèi)插，對上述參考數(shù)據(jù)發(fā)生步驟的參考數(shù)據(jù)進(jìn)行內(nèi)插處理。
此外，上述參考數(shù)據(jù)發(fā)生步驟也可包括第1步驟，即，計(jì)算所輸入的參考數(shù)據(jù)之間的差；第2步驟，即，以所輸入的參考數(shù)據(jù)之間的分割數(shù)，除以在上述第1步驟中計(jì)算的值；第3步驟，即，將相當(dāng)于在上述參考電壓發(fā)生步驟產(chǎn)生的參考電壓的比例值，與在上述第2步驟進(jìn)行除法運(yùn)算得到的值相乘；第4步驟，即，將在上述第3步驟進(jìn)行乘法運(yùn)算得到的值作為內(nèi)插值，對上述已輸入的參考數(shù)據(jù)進(jìn)行加減法運(yùn)算。
通過下面給出的描述，會充分地理解本發(fā)明的其它的目的，特征和優(yōu)點(diǎn)。另外，通過參照附圖的下面的描述，會明白本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)。


圖1為表示本發(fā)明的一個實(shí)施例的半導(dǎo)體集成電路的檢查裝置的概要的方框圖；圖2為圖1所示的半導(dǎo)體集成電路的檢查裝置內(nèi)的參考電壓發(fā)生器的概略方框圖；圖3為表示圖2所示的參考電壓發(fā)生電路的一個實(shí)例的電路圖；圖4(a)～(d)為表示適合于圖2所示的參考電壓發(fā)生電路的輸入單元的方框圖；圖5(a)～(c)為表示γ特性實(shí)例的曲線圖；圖6為表示梯形電阻器的一個實(shí)例的電路圖；圖7為表示灰度電壓波形與期待值電壓波形的曲線圖；圖8為一般的，液晶驅(qū)動器的方框圖；圖9為表示過去的半導(dǎo)體集成電路的檢查裝置的概要的方框圖；圖10為表示過去的半導(dǎo)體集成裝置的檢查裝置的概要的方框圖。
下面參照圖1，對本實(shí)施例的液晶驅(qū)動器檢查裝置進(jìn)行說明。圖1為表示液晶驅(qū)動器檢查裝置的概要的方框圖。
上述液晶驅(qū)動器檢查裝置為通過與另一途徑形成的參考電壓進(jìn)行比較，判斷半導(dǎo)體集成電路的輸出電平是否良好的裝置，其特征在于其包括參考電壓發(fā)生電路，該參考電壓發(fā)生電路對應(yīng)于所輸入的參考數(shù)據(jù)，發(fā)生上述參考電壓，其數(shù)量少于所發(fā)生的參考電壓的數(shù)量的參考數(shù)據(jù)輸入到上述參考電壓發(fā)生電路中，根據(jù)已輸入的參考數(shù)據(jù)，以內(nèi)插方式生成參考數(shù)據(jù)，以便形成于參考電壓的數(shù)量相同的數(shù)量。
即，液晶驅(qū)動器檢查裝置如圖1所示的那樣，組成如下即，其包括接收來自作為被檢查器件(DUT)的液晶驅(qū)動器LSI11的輸出電壓，用于判斷該液晶驅(qū)動器LSI11是否良好的，檢驗(yàn)器12、作為參考電壓發(fā)生器(參考電壓發(fā)生電路)的期待值電壓發(fā)生器13、差動放大器陣列模塊14。
上述液晶驅(qū)動器LSI11包括m個的DA轉(zhuǎn)換器(DAC)15，以及與各DA轉(zhuǎn)換器15連接的輸出端子16(Y1～Ym)。
與前述的DUT111和DUT121相同，省略輸出運(yùn)算放大器等。
上述DA轉(zhuǎn)換器15可輸出n級灰度的灰度電壓。
上述液晶驅(qū)動器LSI11將從各DA轉(zhuǎn)換器15輸出的灰度電壓，并行地從各輸出端子16，輸出給差動放大器陣列模塊14。
上述差動放大器陣列模塊14這樣形成，其包括從液晶驅(qū)動器LSI11輸入灰度電壓的m個輸入端子17；從期待值電壓發(fā)生器13輸入期待值電壓(參考數(shù)據(jù))的1個輸入端子18；m個差動放大器19；與各差動放大器19連接的輸出端子20。來自輸入端子17的灰度電壓，來自輸入端子18的期待值電壓可輸入到上述各差動放大器19中。
上述差動放大器陣列模塊14這樣形成，通過各差動放大器19，求出灰度電壓與期待值電壓的電壓差，然后，對其進(jìn)行放大，將其從輸出端子20，并行地輸出給檢驗(yàn)器12。
在這里，通過上述差動放大器19的動作，參照附圖，在下面進(jìn)行描述。圖7為表示輸入到差動放大器19中的灰度電壓波形與期待值電壓波形之間的關(guān)系的曲線圖。
各差動放大器19輸出放大輸出電壓，該放大輸出電壓是按照規(guī)定的倍率(比如，100倍，或其以上的倍率)，對從液晶驅(qū)動器LSI11輸出的灰度電壓，以及從期待值電壓發(fā)生器13輸出的期待值電壓進(jìn)行之間的偏差電壓(圖7所示的▲V1，▲V2，▲V3)進(jìn)行放大而形成的。通過該差動放大器19的，偏差電壓值的放大處理，對后級的檢驗(yàn)器12的比較器22的比較判斷進(jìn)行高精度處理。
上述檢驗(yàn)器12采用下述方案，其包括m個輸入信道21(1ch～Mch)，來自差動放大器陣列模塊14的電壓差輸入到該m個輸入信道21中；比較器22，該比較器22對通過各輸入信道21而輸入的電壓差是否在規(guī)定的電壓范圍進(jìn)行判斷。
構(gòu)成上述檢驗(yàn)器12的比較器22通過各輸入信道21，同時進(jìn)行下述電壓分別是否在規(guī)定的電壓范圍內(nèi)(比如，在64級灰度的場合，通過偏差電壓的值表示，在±420mV以下的范圍，在256級灰度的場合，同樣，在±10mV以下的范圍)的判斷，該下述電壓指通過各輸入信道21而輸入的各差動放大器19給出的放大輸出電壓，可輸出表示該結(jié)果的信號，即，表示全部的輸入電壓是否在規(guī)定電壓范圍內(nèi)，或哪個輸入電壓在規(guī)定電壓范圍之外的判斷結(jié)果信號。
在這里，參照圖2和圖3，在下面對上述期待值電壓發(fā)生器13進(jìn)行描述。圖2為表示期待值電壓發(fā)生器13的基本組成的方框圖，圖3為表示期待值電壓發(fā)生器13的電路實(shí)例的電路圖。
上述期待值電壓發(fā)生器13為對應(yīng)于所輸入的參考數(shù)據(jù)，發(fā)生參考電壓的裝置，其特征在于其包括參考數(shù)據(jù)發(fā)生單元，在該參考數(shù)據(jù)發(fā)生單元中，輸入其數(shù)量比所發(fā)生的參考電壓的少的參考數(shù)據(jù)，根據(jù)已輸入的參考數(shù)據(jù)，以內(nèi)插方式生成參考數(shù)據(jù)，以便形成與參考電壓的數(shù)量相同的數(shù)量。
即，上述期待值電壓發(fā)生器13象圖2所示的那樣，這樣組成，其包括輸入單元31，該輸入單元31輸入來自檢驗(yàn)器12的期待值數(shù)據(jù)(參考數(shù)據(jù))，控制圖形信號(運(yùn)算用設(shè)定值，控制信號)；期待值數(shù)據(jù)發(fā)生單元33，該期待值數(shù)據(jù)發(fā)生單元33對已輸入的期待值數(shù)據(jù)進(jìn)行內(nèi)插處理，按照形成與所輸出的參考電壓的數(shù)量相同的數(shù)量的方式，產(chǎn)生期待值數(shù)據(jù)；控制單元32，該控制單元32根據(jù)已輸入的控制圖形信號，對上述期待值數(shù)據(jù)發(fā)生單元33進(jìn)行控制；期待值電壓輸出單元36，該期待值電壓輸出單元36包括產(chǎn)生對應(yīng)于通過期待值數(shù)據(jù)發(fā)生單元33所產(chǎn)生的期待值數(shù)據(jù)的參考電壓，輸出該參考電壓。
上述期待值數(shù)據(jù)發(fā)生單元33包括運(yùn)算單元34，該運(yùn)算單元34對期待值數(shù)據(jù)，進(jìn)行規(guī)定的運(yùn)算(內(nèi)插處理)；存儲單元35，該存儲單元35存儲期待值數(shù)據(jù)，運(yùn)算結(jié)果。另外，由于在液晶驅(qū)動器LSI11的內(nèi)部，因梯形電阻器(參照圖6)，會產(chǎn)生多電壓值，故上述運(yùn)算單元34的內(nèi)插處理必須為直線內(nèi)插。
在上述期待值數(shù)據(jù)發(fā)生單元33中，所輸入的期待值數(shù)據(jù)為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)，存儲，運(yùn)算均在數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)的狀態(tài)進(jìn)行。因此，在期待值電壓輸出單元36中，在產(chǎn)生參考電壓后，對該參考電壓進(jìn)行DA轉(zhuǎn)換，形成該期待值電壓，將其輸出給差動放大器陣列模塊14。
另外，期待值電壓輸出單元36也可在產(chǎn)生與期待值數(shù)據(jù)相對應(yīng)的參考電壓后，僅僅將該參考電壓存儲于緩存單元中，由此，按照數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)的方式，將其輸出給差動放大器陣列模塊14。在此場合，可在該差動放大器陣列模塊14的輸入端子18與差動放大器19之間的內(nèi)部，設(shè)置DA轉(zhuǎn)換器。
圖3表示上述組成中的期待值電壓發(fā)生器13中的進(jìn)行直線內(nèi)插處理的場合的具體的電路組成的一個實(shí)例。在該圖3中，“進(jìn)行數(shù)字設(shè)定輸入”指與來自圖1所示的檢驗(yàn)器12的期待值數(shù)據(jù)有關(guān)的數(shù)據(jù)的輸入，“控制圖形輸入”指來自檢驗(yàn)器12的控制圖形信號的輸入。另外，控制器相當(dāng)于圖2的控制單元32。按照灰度順序，將上述期待值數(shù)據(jù)輸入到期待值電壓發(fā)生器13中。
在上述期待值電壓發(fā)生器13中，期待值數(shù)據(jù)輸入到第1存儲器中。存儲于第1存儲器中的期待值數(shù)據(jù)暫時存儲于后級的鎖存電路中，并且轉(zhuǎn)送給后級的減法運(yùn)算單元(-)中。在該鎖存電路中，進(jìn)行存儲的期間直至進(jìn)行到將下一灰度的期待值數(shù)據(jù)輸入到第1存儲器中。
在上述減法運(yùn)算單元中，輸入來自第1存儲器的期待值數(shù)據(jù)，以及存儲于鎖存電路中的期待值數(shù)據(jù)，求出它們的差，將其轉(zhuǎn)送給后級的除法運(yùn)算單元(÷)。在這里，在從鎖存電路轉(zhuǎn)送給減法運(yùn)算單元的期待值數(shù)據(jù)，與從第1存儲器，轉(zhuǎn)送給減法運(yùn)算單元的期待值數(shù)據(jù)中，灰度數(shù)是不同的。
另一方面，還將存儲于上述鎖存電路中的期待值數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)送給后級的加減法運(yùn)算單元。關(guān)于該加減法運(yùn)算單元(+/-)的加減運(yùn)算，將在后面進(jìn)行描述。
另外，在第2存儲器中，存儲與從檢驗(yàn)器12轉(zhuǎn)送的期待值數(shù)據(jù)有關(guān)的數(shù)據(jù)中的，期待值數(shù)據(jù)之間的分割數(shù)量，將該分割數(shù)轉(zhuǎn)送給上述除法運(yùn)算單元。
因此，在上述除法運(yùn)算單元中，以存儲于第2存儲器中的期待值數(shù)據(jù)之間的分割數(shù)量，除以從前級的減法運(yùn)算單元轉(zhuǎn)送的數(shù)據(jù)，將其結(jié)果轉(zhuǎn)送給乘法運(yùn)算單元(×)。
還有，在第3存儲器中，存儲與從檢驗(yàn)器12轉(zhuǎn)送的期待值數(shù)據(jù)有關(guān)的數(shù)據(jù)中的，相當(dāng)于所輸出的參考電壓的比例值(灰度顯示數(shù))，將該比例值轉(zhuǎn)送給上述乘法運(yùn)算單元。
因此，在上述乘法運(yùn)算單元中，將相當(dāng)于存儲于第3存儲器中的參考電壓的比例值，與來自前級的除法運(yùn)算單元的數(shù)據(jù)相乘，將該結(jié)果轉(zhuǎn)送給后級的加減法運(yùn)算單元中。
在上述加減運(yùn)算單元中，相對從第1存儲器，通過鎖存電路而轉(zhuǎn)送的期待值數(shù)據(jù)，進(jìn)行通過上述乘法運(yùn)算單元獲得的值，將其結(jié)果作為參考電壓，將其輸出給差動放大器陣列模塊14。
另外，在上述加減法運(yùn)算單元中，對應(yīng)于灰度顯示用電壓，進(jìn)行加法演算和減法演算中的任何一種。
通過上述減法運(yùn)算單元，除法運(yùn)算單元，乘法運(yùn)算單元，加減法運(yùn)算單元，形成對參考數(shù)據(jù)進(jìn)行內(nèi)插處理的內(nèi)插單元，上述內(nèi)插單元為適合實(shí)現(xiàn)直線內(nèi)插處理的類型。
因此，上述組成的液晶驅(qū)動器檢查裝置中的檢查方法如以下所述。
在通過與另一途徑形成的參考電壓進(jìn)行比較，判斷半導(dǎo)體集成電路的輸出電壓電平是否良好的半導(dǎo)體集成電路的檢查方法中，包括參考數(shù)據(jù)形成步驟，即，根據(jù)其數(shù)量比所發(fā)生的參考電壓的數(shù)量少的參考數(shù)據(jù)，以內(nèi)插方式產(chǎn)生參考數(shù)據(jù)，以便形成與參考電壓的數(shù)量相同的數(shù)量；參考電壓發(fā)生步驟，即，對應(yīng)于在上述參考數(shù)據(jù)發(fā)生步驟中獲得的參考數(shù)據(jù)，產(chǎn)生上述參考電壓。
下面對上述液晶驅(qū)動器檢查裝置的檢查動作進(jìn)行描述。在這里，作為被檢驗(yàn)器件的液晶驅(qū)動器LSI(源驅(qū)動器LSI)比如，具有圖5(a)的γ特性實(shí)例1那樣的特性。另外，由于測試下述場合的第5級灰度的輸出電壓，該場合指測試從圖5(a)的γ特性實(shí)例1的橫軸(第1級灰度)，到橫軸2(第16級灰度)的輸出特性，故對通過該參考電壓發(fā)生器13，產(chǎn)生第5級灰度的輸出電壓的實(shí)例進(jìn)行描述。
在上述參考電壓發(fā)生器13中，按照產(chǎn)生γ特性實(shí)例1的灰度顯示用的電壓的方式，設(shè)定參考電壓。參考電壓也可通過檢驗(yàn)器12進(jìn)行輸出，還可單獨(dú)地從電壓發(fā)生器輸出。
另外，在液晶驅(qū)動器LSI11中，從檢驗(yàn)器12中，由顯示數(shù)據(jù)的輸入端子(圖中未示出)，輸出相當(dāng)于第5級灰度的顯示數(shù)據(jù)。于是，從液晶驅(qū)動器LSI11中的液晶面板的輸出端子16Y1～Ym，輸出5個灰度顯示用電壓。
另一方面，通過控制圖形信號(運(yùn)算用設(shè)定值，控制信號)從檢驗(yàn)器12，通過期待值電壓發(fā)生器13的輸入單元31而輸入的方式，在控制單元32的控制中，進(jìn)行下述的動作。
首先，相當(dāng)于第1級灰度(圖5(a)的橫軸1)的輸出電壓6V的數(shù)字參考值數(shù)據(jù)D1從檢驗(yàn)器12，通過輸入單元31而輸入(數(shù)字設(shè)定輸入)，將其存儲于第1存儲器中，并且在鎖存電路中對其進(jìn)行鎖存處理。
接著，相當(dāng)于第17級灰度(圖5(a)的橫軸2)的輸出電壓5.5V的數(shù)字參考值數(shù)據(jù)D1從檢驗(yàn)器12，通過輸入單元31而輸入(數(shù)字設(shè)定輸入)，將其存儲于第1存儲器中。
然后，在減法運(yùn)算單元(圖3中的(-)中，計(jì)算進(jìn)行了鎖存處理的數(shù)字參考值數(shù)據(jù)D1，以及目前已輸入存儲的數(shù)字參考值數(shù)據(jù)D16的電壓差L，將該電壓差值轉(zhuǎn)送給除法運(yùn)算單元(圖3的(÷))。
另一方面，在第2存儲器中，作為控制圖形信號，通過控制器，輸入圖5(a)的橫軸1-2之間的灰度數(shù)量J1(在這里，J1＝16)。
同樣，存儲圖5(a)的橫軸2-3之間、3-4之間、4-5之間的灰度數(shù)量Ji(在這里，J2＝J3＝J4＝16)。
另外，在第3存儲器中，存儲表示目前測試的灰度顯示數(shù)H為第5級灰度的5的值。該值作為控制圖形信號，通過控制器，存儲于第3存儲器中。
在除法運(yùn)算單元(圖3(÷))中，以灰度灰度數(shù)J，除以通過上述減法運(yùn)算單元而計(jì)算的電壓差L，計(jì)算L/J。在這里，計(jì)算L/J＝(6V-5.5V)/16。
接著，將上述的L/J轉(zhuǎn)送給乘法運(yùn)算單元(圖3中的(×)，在該乘法運(yùn)算單元中，將其與作為相當(dāng)于參考電壓的比例值的灰度顯示數(shù)H相乘，計(jì)算L×H/J。
在這里，由于為第5級灰度，故計(jì)算H＝5，L×H/J＝(6V-5.5V)×5/16。
然后，將上述的L×H/J轉(zhuǎn)送到加減法運(yùn)算單元(圖3中的(-))中，在該加減法運(yùn)算單元中，從在先進(jìn)行了鎖存處理的數(shù)字參考值D1中減去該值，由此，產(chǎn)生所計(jì)算的第5級灰度的期待值電壓(數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù))，通過DA轉(zhuǎn)換器，獲得模擬期待值電壓。
另外，在這里，為了以灰度電壓較高的一側(cè)的輸出電壓(比如，6V)為基準(zhǔn)，上述加減法運(yùn)算單元用作減法運(yùn)算單元，但是反之，如果以灰度電壓較低的一側(cè)的輸出電壓(比如，1V)為基準(zhǔn)，開始進(jìn)行運(yùn)算，則可用作加法運(yùn)算單元。
將象上述那樣獲得的模擬期待值電壓值，輸出給圖1的差動放大器陣列模塊14，由此，可進(jìn)行第5級灰度的輸出電壓的檢驗(yàn)。
象這樣，依次檢驗(yàn)液晶驅(qū)動器LSI11的各輸出端子16的輸出電壓，接著，在改變顯示數(shù)據(jù)和灰度顯示數(shù)H的同時，反復(fù)進(jìn)行檢驗(yàn)，然后，使圖5(a)中的下一橫軸k-(k+1)移動，進(jìn)行同樣的檢驗(yàn)，由此，可檢驗(yàn)液晶驅(qū)動器LSI11的全部灰度顯示用電壓的各輸出端子16的輸出特性。
另外，可容易通過改變灰度數(shù)J與數(shù)字參考值數(shù)據(jù)Di，應(yīng)對液晶驅(qū)動器LSI11的不同的γ補(bǔ)償。
在本實(shí)施例中，在液晶驅(qū)動器LSI的輸出特性中，給出實(shí)例，輸入直線特性的兩端數(shù)據(jù)，之間的輸出值進(jìn)行內(nèi)插處理，但是，即使對于折線特性，可輸入3點(diǎn)數(shù)據(jù)，或多個數(shù)據(jù)，計(jì)算各直線部，對其進(jìn)行內(nèi)插處理。
此外，在圖3中，也可采用下述方式，在該方式中，在第2存儲器中，存儲灰度數(shù)J，在第3存儲器中，存儲目前強(qiáng)調(diào)的灰度顯示數(shù)H，但是，也可這樣形成，即，第3存儲器為計(jì)數(shù)器(在這里，為16計(jì)數(shù)器)，單獨(dú)地對時鐘進(jìn)行計(jì)算，輸出1、2、····、16、1、2、··的數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)。
下面參照圖4(a)～(d)，對上述參考電壓發(fā)生器13的輸入輸出與處理實(shí)例進(jìn)行描述。圖4(a)～(d)表示圖2所示的輸入單元31的4個實(shí)例，在所有的實(shí)例中，輸出方為參考電壓發(fā)生器13的控制單元32。另外，輸入單元31限于這4個實(shí)例。
圖4(a)表示輸入單元31采用并行數(shù)據(jù)輸入單元的實(shí)例。在此場合，以并行方式將期待值數(shù)據(jù)和控制圖形信號從檢驗(yàn)器12，輸入并行數(shù)據(jù)輸入單元中，在期待值電壓發(fā)生器13的內(nèi)部，以并行方式進(jìn)行信號處理。于是，可高速地進(jìn)行參考電壓發(fā)生器13中的處理。
圖4(b)給出輸入單元31采用已串聯(lián)的串行輸入單元與串行/并行轉(zhuǎn)換單元的實(shí)例。在該方案中，假定檢驗(yàn)器12的I/O僅僅采用1個信道的場合，期待值數(shù)據(jù)和控制圖形信號作為串行信號而接收，進(jìn)行串行/并行轉(zhuǎn)換處理，然后，在圖3所示的參考電壓發(fā)生器13的電路中，進(jìn)行并行處理。
圖4(c)表示輸入單元31采用已串聯(lián)的模擬數(shù)據(jù)輸入單元與AD轉(zhuǎn)換單元的實(shí)例。在該場合中，從檢驗(yàn)器12中，將期待值數(shù)據(jù)作為模擬信號而接收，對其進(jìn)行AD轉(zhuǎn)換，形成數(shù)字信號，然后，在圖3所示的參考電壓發(fā)生器13的電路中，進(jìn)行處理。
圖4(d)表示作為輸入單元31，可切換圖4(a)～(c)所示的切換單元的實(shí)例。即，在參考電壓發(fā)生器13中，可應(yīng)對上述的3種方式。
在圖4(d)中，比如，在采用信道數(shù)量CH具有富裕的檢驗(yàn)器的場合，切換到下述方式，在該方式中，應(yīng)對采用圖4(a)所示的并行數(shù)據(jù)輸入單元，照原樣進(jìn)行處理的高速處理，在用于信道數(shù)CH沒有富裕的檢驗(yàn)器的場合，切換到僅僅采用圖4(b)所示的1CH，在串行數(shù)據(jù)輸入單元的接收部內(nèi)部，進(jìn)行串行/并行轉(zhuǎn)換的方式，在檢驗(yàn)器中，產(chǎn)生模擬數(shù)據(jù)，進(jìn)行輸入的場合，切換到輸入圖4(c)所示的模擬數(shù)據(jù)，在內(nèi)部進(jìn)行AD轉(zhuǎn)換的方式。
象這樣，各方式的切換可對應(yīng)檢驗(yàn)器的特性而進(jìn)行。該切換既可采用機(jī)械式的開關(guān)，也可通過輸入單元31的輸入級，自動地判斷來自檢驗(yàn)器的信號的種類(并行數(shù)據(jù)、串行數(shù)據(jù)、模擬數(shù)據(jù))，自動地切換到與各信號的種類相對應(yīng)的方式。
本發(fā)明的要點(diǎn)不限于液晶驅(qū)動器LSI，也可為下述形式，其中，在輸出各種模擬電壓值的被檢驗(yàn)器件中，在于檢驗(yàn)器中產(chǎn)生參考電壓數(shù)據(jù)時，不進(jìn)行產(chǎn)生全部的輸出值數(shù)據(jù)，將其轉(zhuǎn)送給參考電壓發(fā)生器的動作，而以輸出值的間距，產(chǎn)生并轉(zhuǎn)送上述數(shù)據(jù)，采用該數(shù)據(jù)，在參考電壓發(fā)生器的內(nèi)部，進(jìn)行運(yùn)算，由此，對它們之間的輸出數(shù)據(jù)進(jìn)行內(nèi)插處理，產(chǎn)生所需的期待值數(shù)據(jù)。
可在不改變實(shí)質(zhì)內(nèi)容的范圍內(nèi)，進(jìn)行各種變更。
在本實(shí)施例中，著眼于圖1的系統(tǒng)組成實(shí)例中的參考電壓發(fā)生器13，但是也可將該部分設(shè)置于檢驗(yàn)器12的內(nèi)部，另外，還可采用下述方式，從而應(yīng)用范圍較廣，該方式為在液晶驅(qū)動器LSI11等的半導(dǎo)體集成電路中，設(shè)置期待值電壓發(fā)生器13，代替圖6所示的那樣的梯形電阻器，而設(shè)置控制單元，存儲單元和運(yùn)算單元與DA轉(zhuǎn)換單元，這樣，從外部，輸入期待值數(shù)據(jù)，在內(nèi)部進(jìn)行鎖存處理，由此，容易形成各種輸出特性可改變的集成電路。
但是，在上述液晶驅(qū)動器LSI11中，實(shí)現(xiàn)商品化的幾乎全部類型具有與液晶面板的規(guī)定的γ特性相對應(yīng)的灰度輸出特性，但是，為了可相對多種液晶面板，通過1種液晶驅(qū)動器進(jìn)行應(yīng)對，人們提出有下述的高性能的液晶驅(qū)動器，其可應(yīng)對能夠針對每次的鎖存處理而進(jìn)行γ特性設(shè)定變更的多種的γ特性。
然而，在這樣的高性能的液晶驅(qū)動器的試驗(yàn)中，由于還對理想電壓值的運(yùn)算時間進(jìn)行加法處理(plus)，故檢驗(yàn)時間進(jìn)一步增加。
在這里，在下面參照圖5對高性能的液晶驅(qū)動器的試驗(yàn)的檢驗(yàn)時間增加的原因進(jìn)行描述。圖5(a)～(c)為分別表示液晶面板的γ特性實(shí)例的曲線圖，相應(yīng)的縱軸表示從液晶驅(qū)動器LSI，朝向液晶面板的灰度顯示用輸出電壓值(1V～6V)，相應(yīng)的橫軸表示灰度。
在圖5(a)所示的γ特性實(shí)例1與圖5(b)所示的γ特性實(shí)例2中，在橫軸1-2之間(橫軸k-k+1)，具有16級灰度，在橫軸1-5之間，比如，為共計(jì)64級灰度顯示，在橫軸1-2之間(橫軸k-k+1)之間，呈現(xiàn)直線特性，在橫軸2，3，4，呈現(xiàn)折線特性。
在γ特性實(shí)例1與γ特性實(shí)例2中，該折線特性指液晶面板的不同等而不同。
另外，圖5(c)所示的γ特性實(shí)例3表示具有橫軸1-2之間(橫軸k-k+1)，更加平滑的折線特性的灰度顯示用輸出電壓與灰度之間的關(guān)系。
在各實(shí)例中，通過改變從外部，輸入到液晶驅(qū)動器LSI的參考電壓發(fā)生器13中的參考電壓(參照圖6的梯形電阻器)，產(chǎn)生上述的輸出電壓。
象這樣，對應(yīng)于液晶材料，液晶面板的特性，改變γ特性，以便對應(yīng)于適合的值，設(shè)定顯示質(zhì)量，由此，通過設(shè)置于液晶驅(qū)動器的內(nèi)部的梯形電阻器，確定每級灰度的輸出電壓值(在圖6中，通過改變參考電壓而應(yīng)對的實(shí)例)，在檢驗(yàn)程序的內(nèi)部，采用與γ特性類型相對應(yīng)的計(jì)算式，通過運(yùn)算求出每個灰度的輸出電壓，將該值作為參考電壓值數(shù)據(jù)，從檢查裝置輸出。
將該參考電壓值數(shù)據(jù)輸入到參考電壓發(fā)生器13中，通過該參考電壓發(fā)生器13內(nèi)部的DA轉(zhuǎn)換器，進(jìn)行數(shù)字—模擬的轉(zhuǎn)換，將其作為期待值電壓，輸出給差動放大器陣列模塊14。
在過去，一般針對每個液晶面板，確定γ特性，灰度數(shù)，設(shè)定圖6所示的LSI內(nèi)部的梯形電阻值(不改變參考電壓，而對應(yīng)于γ特性，設(shè)定梯形電阻的電阻值)，由此，產(chǎn)生的期待值電壓。
于是，象上述那樣，在最近，在γ特性變化為圖5(a)，(b)所示的γ特性1·γ特性2的場合，在象圖5(c)所示的γ特性3那樣，改變灰度數(shù)這樣的場合，人們提出通過同一的液晶驅(qū)動器LSI，與多種液晶面板相對應(yīng)的高性能的液晶驅(qū)動器。
為了保證具有這樣的功能的液晶驅(qū)動器LSI的輸出特性(允許值，均勻性)，必須檢驗(yàn)全部的輸出狀態(tài)，由此，還必須進(jìn)行改變了γ特性的輸出檢驗(yàn)。
可認(rèn)為該情況也同樣與下述場合相同，該場合指通過同一檢驗(yàn)器，連續(xù)地對進(jìn)行不同的γ補(bǔ)償?shù)牟煌囊壕姘錖SI進(jìn)行檢驗(yàn)。
在過去的半導(dǎo)體集成電路的檢查裝置中，采用下述方法，即，在檢驗(yàn)程序的內(nèi)部，對與γ特性的灰度輸出電壓進(jìn)行運(yùn)算，通過檢驗(yàn)器，輸出與該結(jié)果相對應(yīng)的參考值數(shù)據(jù)(從檢驗(yàn)器的I/O的關(guān)系，還具有1ch的場合)，通過期待值發(fā)生單元，產(chǎn)生期待值電壓，但是在該方法中，不能夠容易地輸出期待值電壓，檢驗(yàn)時間增加，并且檢驗(yàn)程序復(fù)雜，開發(fā)效率降低。
另外，檢驗(yàn)器內(nèi)部的存儲器容量的增加也構(gòu)成問題。
象上述那樣，在測定精度的提高，進(jìn)行還假定可通過1個液晶驅(qū)動器，應(yīng)對各種γ特性的液晶驅(qū)動器的檢驗(yàn)的方面，在圖10所示的過去的半導(dǎo)體集成電路的檢查裝置中，為了實(shí)現(xiàn)檢驗(yàn)時間的縮短，重要的是如此高效率地發(fā)生用于獲得液晶驅(qū)動器的輸出電壓的差值的參考電壓值。
但是，在圖1所示的半導(dǎo)體集成電路的檢查裝置中，在參考電壓發(fā)生器13中，由于大幅度地縮短產(chǎn)生期待值電壓的時間，故可在高精度，并且在較短時間，完成上述這樣的高性能的液晶驅(qū)動器LSI的檢驗(yàn)。
通常，在進(jìn)行多輸出，多灰度處理的液晶驅(qū)動器LSI等的半導(dǎo)體集成電路的檢查中，可通過轉(zhuǎn)換器22的差動放大電壓的同時判斷，實(shí)現(xiàn)檢驗(yàn)時間的大幅度地縮短，但是，在檢驗(yàn)器中，產(chǎn)生與從液晶驅(qū)動器LSI11輸出的n個左右的灰度電壓相對應(yīng)的參考電壓，針對每次測定，獲取該電壓的方法中，與進(jìn)行液晶系輸出的測定的實(shí)質(zhì)的檢驗(yàn)時間相比較，要求花費(fèi)參考電壓值的設(shè)定時間(轉(zhuǎn)送時間)的數(shù)倍時間。
但是，如果采用本發(fā)明的液晶驅(qū)動器檢查裝置，由于參考電壓值這樣產(chǎn)生，即，將灰度數(shù)，灰度顯示數(shù)等，與液晶面板的γ特性類型有關(guān)的信息接收于存儲器中，根據(jù)這些信息，對參考電壓值進(jìn)行內(nèi)插處理，故相對過去的，通過檢驗(yàn)器產(chǎn)生的參考電壓值轉(zhuǎn)送給電壓發(fā)生器的場合所要求的轉(zhuǎn)送時間，可大幅度地縮短轉(zhuǎn)送時間，其結(jié)果是，可實(shí)現(xiàn)檢驗(yàn)時間的大幅度的縮短。
此外，由于在針對每個器件，γ特性不同的場合的連續(xù)檢驗(yàn)，灰度數(shù)增加到比如，256級灰度，1024級灰度的場合，均可容易對對應(yīng)于γ特性的參考電壓進(jìn)行內(nèi)插處理，產(chǎn)生該參考電壓，故即使在這樣的場合，仍不必考慮參考電壓的設(shè)定時間，可僅僅在實(shí)質(zhì)的判斷時間，進(jìn)行檢驗(yàn)，可抑制檢驗(yàn)程序的復(fù)雜化，可容易實(shí)現(xiàn)高效率的檢驗(yàn)。
另外，必須形成多個灰度，并且提高測定精度，對于比如，1024灰度質(zhì)量，必須要求至少1mV以下的測定精度，但是，即使在參考值數(shù)據(jù)的比特數(shù)增加的情況下，檢驗(yàn)時間仍不象已有技術(shù)那樣，大幅度地增加，另外，按照本發(fā)明，由于不在檢驗(yàn)器中，而在參考電壓發(fā)生器13的內(nèi)部，產(chǎn)生參考電壓，故可使該電壓值的精度提高，與過去的，在檢驗(yàn)器等中，產(chǎn)生參考電壓的場合相比較，可進(jìn)一步提高測定精度。
還有，在本實(shí)施例中，針對本發(fā)明用于作為半導(dǎo)體集成電路的，液晶驅(qū)動器LSI的檢驗(yàn)的場合進(jìn)行了說明，但是，本發(fā)明不限于此，對于采用梯形電阻器等的，能夠進(jìn)行直線內(nèi)插處理的多電壓發(fā)生裝置，及其檢查，是有效的。因此，本發(fā)明還可適合用于通過改變電壓值，進(jìn)行灰度顯示的顯示器，DA轉(zhuǎn)換器的輸出檢查。
象上述那樣，本發(fā)明的參考電壓發(fā)生裝置采用下述方案，其中，在對應(yīng)于所輸入的參考數(shù)據(jù)，發(fā)生參考電壓的參考電壓發(fā)生裝置中，具有參考數(shù)據(jù)發(fā)生單元，該參考數(shù)據(jù)發(fā)生單元根據(jù)上述已輸入的參考數(shù)據(jù)，以內(nèi)插方式產(chǎn)生參考數(shù)據(jù)，以便形成與參考電壓數(shù)量相同的數(shù)量。
于是，根據(jù)其數(shù)量比參考電壓的必要數(shù)量少的參考數(shù)據(jù)，產(chǎn)生必要數(shù)量的參考電壓，由此，將參考電壓轉(zhuǎn)送給參考電壓發(fā)生裝置的時間可比轉(zhuǎn)送其數(shù)量與必要的數(shù)量的參考電壓相同的參考數(shù)據(jù)的場合短。由此，獲得可縮短參考電壓的發(fā)生的時間的效果。
上述參考數(shù)據(jù)發(fā)生單元的參考數(shù)據(jù)的內(nèi)插最好采用直線內(nèi)插。
在此場合，由于在參考電壓發(fā)生裝置中采用梯形電阻器等，故實(shí)現(xiàn)可通過簡單的方案，進(jìn)行參考數(shù)據(jù)的內(nèi)插處理的效果。
上述參考數(shù)據(jù)發(fā)生單元的直線內(nèi)插通過比如，下面給出的內(nèi)插單元進(jìn)行。
即，上述內(nèi)插單元由下述單元構(gòu)成，該下述單元包括減法運(yùn)算單元，該減法運(yùn)算單元計(jì)算所輸入的參考數(shù)據(jù)之間的差；除法運(yùn)算單元，該除法運(yùn)算單元以上述所輸入的參考數(shù)據(jù)之間的分割數(shù)，除以上述減法運(yùn)算單元的輸出值；乘法運(yùn)算單元，該乘法運(yùn)算單元將上述相當(dāng)于所輸出的參考電壓的比例值，與上述除法運(yùn)算單元的輸出值相乘；加減法運(yùn)算單元，該加減法運(yùn)算單元將上述乘法運(yùn)算單元的輸出值，作為上述所輸入的參考數(shù)據(jù)的內(nèi)插值而進(jìn)行加減法運(yùn)算。
在此場合，獲得可通過上述內(nèi)插單元，有效地進(jìn)行參考數(shù)據(jù)的直線內(nèi)插處理的效果。
另外，也可在作為被檢驗(yàn)器件的液晶驅(qū)動器LSI等的半導(dǎo)體集成電路的內(nèi)部，設(shè)置上述方案的參考電壓發(fā)生裝置。
在此場合，過去的半導(dǎo)體集成電路的檢測裝置實(shí)現(xiàn)下述效果，即，照原樣采用下述檢測裝置，該檢查裝置對參考電壓與灰度顯示用電壓之間的差進(jìn)行放大，判斷其是否良好。
此外，本發(fā)明的半導(dǎo)體集成電路的檢測裝置如上所述，構(gòu)成如下其通過與單獨(dú)產(chǎn)生的參考電壓進(jìn)行比較，判斷半導(dǎo)體集成電路的輸出電壓電平是否良好，在該檢測裝置，設(shè)置有參考電壓發(fā)生電路，該參考電壓發(fā)生電路對應(yīng)于所輸入的參考數(shù)據(jù)，產(chǎn)生上述參考電壓，其數(shù)量比所發(fā)生的參考電壓的數(shù)量少的參考數(shù)據(jù)輸入到上述參考電壓發(fā)生電路中，根據(jù)該已輸入的參考數(shù)據(jù)，以內(nèi)插方式產(chǎn)生參考數(shù)據(jù)，以便形成與參考電壓的數(shù)量相同的數(shù)量。
于是，由于通過縮短將參考數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)送給該參考電壓發(fā)生電路的時間，可縮短獲得半導(dǎo)體集成電路所必需的輸出電壓用的時間，故可大幅度地縮短半導(dǎo)體集成電路的檢查的時間。
由此，即使在為了提高精度，參考數(shù)據(jù)的容量(比特數(shù))增加的情況下，與將和必要數(shù)量的參考電壓相對應(yīng)的全部的參考數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)送給參考電壓發(fā)生裝置的場合相比較，可大幅度地縮短參考數(shù)據(jù)的轉(zhuǎn)送時間。
于是，在為了提高檢測精度，增加參考電壓的發(fā)生所必要的參考數(shù)據(jù)的容量(比特數(shù))的場合，如果象上述那樣，可在參考電壓發(fā)生裝置內(nèi)部，產(chǎn)生與參考電壓相對應(yīng)的參考數(shù)據(jù)，則可在較短時間，制作檢測精度的提高所必需的參考數(shù)據(jù)。
根據(jù)上述情況，實(shí)現(xiàn)下述效果，即，可在極短的時間，以較高的精度實(shí)施作為被檢驗(yàn)器件的半導(dǎo)體集成電路的檢查。
上述參考電壓發(fā)生電路的參考數(shù)據(jù)的內(nèi)插最好采用直線內(nèi)插。
在此場合，由于在參考電壓發(fā)生裝置中采用梯形電阻器等，故可獲得通過簡單的方案進(jìn)行參考數(shù)據(jù)的內(nèi)插處理的效果。
上述參考電壓發(fā)生電路的參考數(shù)據(jù)的內(nèi)插比如，下面給出的內(nèi)插單元進(jìn)行。
即，上述內(nèi)插單元由下述單元構(gòu)成，該下述單元包括減法運(yùn)算單元，該減法運(yùn)算單元計(jì)算所輸入的參考數(shù)據(jù)之間的差；除法運(yùn)算單元，該除法運(yùn)算單元以上述所輸入的參考數(shù)據(jù)之間的分割數(shù)，除以上述減法運(yùn)算單元的輸出值；乘法運(yùn)算單元，該乘法運(yùn)算單元將相當(dāng)于所輸出的參考電壓的比例值，與上述除法運(yùn)算單元的輸出值相乘；加減法運(yùn)算單元，該加減法運(yùn)算單元將上述乘法運(yùn)算單元的輸出值，作為上述所輸入的參考數(shù)據(jù)的內(nèi)插值進(jìn)行加減法運(yùn)算。
在此場合，實(shí)現(xiàn)可通過上述內(nèi)插單元，有效地進(jìn)行參考數(shù)據(jù)的直線內(nèi)插的效果。
本發(fā)明的具體描述部分給出的具體的實(shí)施形式，或?qū)嵤├耆抢斫獗景l(fā)明的技術(shù)內(nèi)容用的，其不應(yīng)為僅僅限于這樣的具體實(shí)例而狹義地解釋的內(nèi)容，在本發(fā)明的實(shí)質(zhì)和在下面給出的權(quán)利要求書的范圍內(nèi)，可按照各種變換方式來實(shí)施。
權(quán)利要求
1.一種參考電壓發(fā)生裝置(13)，該參考電壓發(fā)生裝置(13)對應(yīng)于所輸入的參考數(shù)據(jù)，產(chǎn)生參考電壓，其特征在于其包括參考數(shù)據(jù)發(fā)生單元(33)，其數(shù)量比所發(fā)生的參考電壓的數(shù)量少的參考數(shù)據(jù)輸入到該參考數(shù)據(jù)發(fā)生單元(33)中，根據(jù)已輸入的參考數(shù)據(jù)，以內(nèi)插方式產(chǎn)生參考數(shù)據(jù)，以便形成與參考電壓的數(shù)量相同的數(shù)量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的參考電壓發(fā)生裝置，其特征在于上述參考數(shù)據(jù)發(fā)生單元(33)的參考數(shù)據(jù)的內(nèi)插為直線內(nèi)插。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的參考電壓發(fā)生裝置，其特征在于上述參考數(shù)據(jù)發(fā)生單元(33)包括內(nèi)插單元(34)，該內(nèi)插單元由下述單元組成，該下述單元包括減法運(yùn)算單元，該減法運(yùn)算單元計(jì)算所輸入的參考數(shù)據(jù)之間的差；除法運(yùn)算單元，該除法運(yùn)算單元以上述所輸入的參考數(shù)據(jù)之間的分割數(shù)，除以上述減法運(yùn)算單元的輸出值；乘法運(yùn)算單元，該乘法運(yùn)算單元將相當(dāng)于所輸出的參考電壓的比例值，與上述除法運(yùn)算單元的輸出值相乘；加減法運(yùn)算單元，該加減法運(yùn)算單元將上述乘法運(yùn)算單元的輸出值，作為內(nèi)插值，對上述所輸入的參考數(shù)據(jù)進(jìn)行加減法運(yùn)算。
4.一種半導(dǎo)體集成電路，其特征在于其內(nèi)部設(shè)置有權(quán)利要求1～3中的任何一項(xiàng)所述的參考電壓發(fā)生裝置。
5.一種半導(dǎo)體集成電路的檢查裝置，該半導(dǎo)體集成電路的檢查裝置通過與另一途徑形成的參考電壓進(jìn)行比較，判斷半導(dǎo)體集成電路的輸出電壓電平是否良好，其特征在于其包括參考電壓發(fā)生電路(13)，該參考電壓發(fā)生電路(13)對應(yīng)于所輸入的參考數(shù)據(jù)，產(chǎn)生上述參考電壓；其數(shù)量比所發(fā)生的參考電壓的數(shù)量少的參考數(shù)據(jù)輸入到上述參考電壓發(fā)生電路(13)中，根據(jù)上述已輸入的參考數(shù)據(jù)，以內(nèi)插方式產(chǎn)生參考數(shù)據(jù)，以便形成與參考電壓的數(shù)量相同的數(shù)量。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體集成電路的檢查裝置，其特征在于上述參考電壓發(fā)生電路(13)的參考數(shù)據(jù)的內(nèi)插為直線內(nèi)插。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體集成電路的檢查裝置，其特征在于上述參考電壓發(fā)生電路(13)包括內(nèi)插單元(34)，該內(nèi)插單元由下述單元組成，該下述單元包括減法運(yùn)算單元，該減法運(yùn)算單元計(jì)算所輸入的參考數(shù)據(jù)之間的差；除法運(yùn)算單元，該除法運(yùn)算單元以上述所輸入的參考數(shù)據(jù)之間的分割數(shù)，除以上述減法運(yùn)算單元的輸出值；乘法運(yùn)算單元，該乘法運(yùn)算單元將相當(dāng)于所輸出的參考電壓的比例值，與上述除法運(yùn)算單元的輸出值相乘；加減法運(yùn)算單元，該加減法運(yùn)算單元將上述乘法運(yùn)算單元的輸出值，作為內(nèi)插值，對上述所輸入的參考數(shù)據(jù)進(jìn)行加減法運(yùn)算。
8.根據(jù)權(quán)利要求5～7中的任何一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體集成電路的檢查裝置，其特征在于上述半導(dǎo)體集成電路為液晶驅(qū)動用集成電路(11)。
9.一種半導(dǎo)體集成電路的檢查方法，在該半導(dǎo)體集成電路的檢查方法中，通過與另一途徑形成的參考電壓進(jìn)行比較，判斷半導(dǎo)體集成電路的輸出電壓電平是否良好，其特征在于包括下述步驟參考數(shù)據(jù)發(fā)生步驟，即，根據(jù)其數(shù)量比所產(chǎn)生的參考電壓少的參考數(shù)據(jù)，以內(nèi)插方式產(chǎn)生參考數(shù)據(jù)，以便形成與參考電壓的數(shù)量相同的數(shù)量；參考電壓發(fā)生步驟，即，對應(yīng)于在上述參考數(shù)據(jù)發(fā)生步驟所獲得的參考數(shù)據(jù)，產(chǎn)生上述參考電壓。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體集成電路的檢查方法，其特征在于上述參考數(shù)據(jù)發(fā)生步驟的參考數(shù)據(jù)的內(nèi)插為直線內(nèi)插。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的半導(dǎo)體集成電路的檢查方法，其特征在于上述參考數(shù)據(jù)發(fā)生步驟包括第1步驟，即，計(jì)算所輸入的參考數(shù)據(jù)之間的差；第2步驟，即，以所輸入的參考數(shù)據(jù)之間的分割數(shù)，除以在上述第1步驟中計(jì)算的值；第3步驟，即，將相當(dāng)于在上述參考電壓發(fā)生步驟產(chǎn)生的參考電壓的比例值，與在上述第2步驟進(jìn)行除法運(yùn)算得到的值相乘；第4步驟，即，將在上述第3步驟進(jìn)行乘法運(yùn)算得到的值作為內(nèi)插值，對上述已輸入的參考數(shù)據(jù)進(jìn)行加減法運(yùn)算。
12.根據(jù)權(quán)利要求9～11中的任何一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體集成電路的檢查方法，其特征在于上述半導(dǎo)體集成電路為液晶驅(qū)動用集成電路。
全文摘要
本發(fā)明提供一種參考電壓發(fā)生裝置和具有它的半導(dǎo)體集成電路、半導(dǎo)體集成電路的檢查裝置及其檢查方法。本發(fā)明的半導(dǎo)體集成電路的檢查裝置包括對液晶驅(qū)動器(LSI)的輸出電壓電平是否良好進(jìn)行判斷的差動放大器陣列模塊和檢驗(yàn)器；期待值電壓發(fā)生器，該期待值電壓發(fā)生器對應(yīng)于期待值數(shù)據(jù)，產(chǎn)生期待值電壓，將其輸出給上述差動放大器陣列模塊。其數(shù)量比所發(fā)生的期待值電壓的數(shù)量少的期待值數(shù)據(jù)輸入到上述期待值電壓發(fā)生器中，根據(jù)已輸入的期待值數(shù)據(jù)，以內(nèi)插方式產(chǎn)生期待值數(shù)據(jù)，以便形成與期待值電壓的數(shù)量相同的數(shù)量。由此，可在極短的時間，以較高精度，實(shí)施被檢驗(yàn)器件(液晶驅(qū)動器LSI)的輸出電壓的檢驗(yàn)。
文檔編號H01L27/04GK1455264SQ03123078
公開日2003年11月12日 申請日期2003年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2002年4月30日
發(fā)明者坂口英明, 森雅美 申請人:夏普株式會社