專利名稱：超聲波噴霧散熱/冷卻裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種液冷模式散熱/冷卻裝置，特別是有關(guān)于一種超聲波噴霧散熱/冷卻裝置。
背景技術(shù)：
電子、通訊、光電產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展之際，伴隨著功能上的多樣性，促使主宰各類功能運(yùn)作與性能表現(xiàn)的芯片無(wú)可避免的在有限空間中需容納更多的晶體管元件，其衍生散熱問(wèn)題將導(dǎo)致元件、系統(tǒng)可靠度的降低。以光通訊零組件為例，過(guò)量的熱不僅導(dǎo)致芯片損壞，且可能改變光波長(zhǎng)的輸出，一份由美國(guó)軍方所進(jìn)行的研究調(diào)查顯示，電子元件因熱所導(dǎo)致系統(tǒng)故障的比率高達(dá)55％，且此發(fā)熱功率增長(zhǎng)的趨勢(shì)亦如摩爾定律般亦步亦趨的緊隨著。
目前世界各相關(guān)產(chǎn)官學(xué)界無(wú)不戮力的針對(duì)元件高發(fā)熱情勢(shì)提出相應(yīng)的冷卻技術(shù)，諸如熱電、熱虹吸兩相流、微渠道單相、雙相流、低溫冷卻等主、被動(dòng)冷卻方式。而液冷模式則被視為下階段最有潛力取代氣冷模式解決高發(fā)熱問(wèn)題的散熱解決方式。新近開(kāi)發(fā)的液冷芯片模式的技術(shù)許多著重于芯片的直接接觸冷卻，包含噴射沖擊冷卻(jet impingement cooling)及噴霧冷卻(spray cooling)等模式，其目的無(wú)非想透過(guò)微機(jī)電技術(shù)制作的組件所形成的微小液滴噴灑于芯片上端，利用液滴吸收芯片所散發(fā)的熱量，以兩相流熱相變模式來(lái)將熱量帶走。噴射沖擊冷卻(jet impingement cooling)及噴霧冷卻(spray cooling)被視為未來(lái)極有潛力的液冷冷卻模式之一，然其透過(guò)微機(jī)電制作時(shí)組裝制程較為繁瑣，成本因素成為商業(yè)應(yīng)用發(fā)展瓶頸之一，此外微小液滴噴灑時(shí)一些設(shè)計(jì)需較高的壓力，以便使噴灑出的液體能在芯片上方形成均勻液膜，不致因流體內(nèi)聚力而造成液體積聚。
另，美國(guó)專利第6,247,525號(hào)揭露一種震動(dòng)誘發(fā)液化器30(Vibration InducedAtomizers)，提供一種將超聲波震蕩器與熱交換反應(yīng)室整合的機(jī)制。圖1顯示前述專利的震動(dòng)誘發(fā)液化器30截面示意圖，此震動(dòng)誘發(fā)液化器30結(jié)合一裝填氣相流體38的反應(yīng)室31，其壁面32接觸于一發(fā)熱體33，而冷卻壁面44接觸一具有多個(gè)壓電元件(piezoelectric disks)39A-39D的冷卻裝置36，前述壓電元件39A-39D貼附于冷卻壁面34的外表面35上，而冷卻壁面34的內(nèi)表面40相對(duì)壓電元件39B-39C的區(qū)域形成多個(gè)冷凝凹區(qū)46。前述壓電元件39A-39D經(jīng)由導(dǎo)線41連接至一驅(qū)動(dòng)器42。當(dāng)氣相流體38的溫度升高時(shí)，其會(huì)沿著冷卻壁面34的內(nèi)表面40開(kāi)始冷凝成液體，而積聚于冷凝凹區(qū)46。透過(guò)壓電元件39A-39D的震動(dòng)，使冷凝凹區(qū)46積聚的液體形成攜帶能量的微小液滴44，此些微小液滴44即脫離冷卻壁面34，噴灑于壁面32上，進(jìn)而吸收發(fā)熱體33傳遞給壁面32的熱，汽化成氣體，而將發(fā)熱體33的熱帶走。然此種震動(dòng)誘發(fā)霧化器30在應(yīng)用上須遷就其結(jié)構(gòu)，無(wú)法因應(yīng)不同擺設(shè)方位的發(fā)熱體33，例如芯片，而使其應(yīng)用范圍受到限制。
有鑒于上述問(wèn)題，一種可適用于不同擺設(shè)方位發(fā)熱源的超聲波液化冷卻裝置于是產(chǎn)生。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于提供一種超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，透過(guò)超聲波震動(dòng)來(lái)形成微小液滴進(jìn)而霧化冷卻高溫發(fā)熱元件，以達(dá)到低成本、高效率的高溫冷卻機(jī)制。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其使用可撓性管路，能應(yīng)付各方位發(fā)熱源的擺設(shè)，來(lái)提高本發(fā)明裝置的使用彈性。
本發(fā)明的又一目的在于提供一種超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其各構(gòu)件均可以一般精密機(jī)械加工模式制作，而不涉及復(fù)雜的微機(jī)電加工，可降低制造成本。
根據(jù)以上所述的目的，本發(fā)明提供一種超聲波散熱/冷卻裝置，其包括一容器，用來(lái)盛裝工作液體，前述容器相對(duì)工作液體液面上方設(shè)有一開(kāi)口；一超聲波震蕩器，放置于前述容器的工作液體內(nèi)，用來(lái)使工作液體產(chǎn)生液滴分子；一熱交換室，具有第一壁面、第二壁面、第三壁面及第四壁面，第一壁面相對(duì)于第二壁面及第三壁面相對(duì)于第四壁面，其中第一壁面接觸于一發(fā)熱元件，第二壁面設(shè)有一液滴分子入口，第三壁面設(shè)有一蒸汽態(tài)分子出口及第四壁面設(shè)有一液滴分子出口；一液滴分子通道，具有一通道入口及一通道出口，前述通道入口連通于前述容器的開(kāi)口，前述通道出口設(shè)有一噴嘴穿經(jīng)前述熱交換室的第二壁面的前述液滴分子入口；及一蒸汽態(tài)分子通道，具有一第一入口及一第一出口，前述第一入口連通于前述熱交換室的第三壁面的前述蒸汽態(tài)分子出口，及前述第一出口連通于前述容器的一第一適位處。
本發(fā)明超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，透過(guò)前述超聲波震蕩器震動(dòng)前述容器內(nèi)的工作液體而形成微小液滴，成形后透過(guò)前述容器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使容器內(nèi)外造成壓力差異，驅(qū)動(dòng)液滴分子通過(guò)前述液滴分子通道，經(jīng)由其噴嘴噴灑于前述熱交換室的第一壁面，以與前述發(fā)熱元件進(jìn)行熱交換，相變成蒸汽態(tài)分子并通過(guò)前述蒸汽態(tài)分子通道，冷凝成液滴回流至前述容器內(nèi)。本發(fā)明藉微小液滴直接噴灑于接觸發(fā)熱元件的接觸面，透過(guò)微小液滴潛變吸熱，達(dá)到冷卻發(fā)熱元件的效果。


圖1是一習(xí)知震動(dòng)誘發(fā)霧化器的截面示意圖；圖2是顯示本發(fā)明超聲波噴霧散熱/冷卻裝置的第一具體實(shí)施例的截面示意圖；圖2A是顯示本發(fā)明超聲波噴霧散熱/冷卻裝置的第二具體實(shí)施例的部份放大截面示意圖；圖3是顯示本發(fā)明超聲波噴霧散熱/冷卻裝置的第三具體實(shí)施例的截面示意圖；圖4A至圖4C是結(jié)合有超聲波震蕩器的盛裝工作液體的容器的各種變化例的截面示意圖；
圖5A至圖5C是本發(fā)明噴嘴各種變化例的左視圖；及圖6A至圖6C是本發(fā)明噴嘴各種變化例的截面示意圖。
附圖標(biāo)號(hào)說(shuō)明1超聲波噴霧散熱/冷卻裝置10容器11，11a超聲波震蕩器12熱交換室 13液滴分子通道14蒸汽態(tài)分子通道15液滴分子回收通道 16發(fā)熱元件17印刷電路板18熱界面材料19散熱鰭片20風(fēng)扇30震動(dòng)誘發(fā)霧化器31反應(yīng)室 32壁面33發(fā)熱體34冷卻壁面35冷卻壁面外表面38氣相流體 39A-39D壓電元件 41導(dǎo)線42驅(qū)動(dòng)器44液滴46冷凝凹區(qū)100工作液體 101開(kāi)口 110壓電膜110a，110b震蕩子112，112a基板 121第一壁面122第二壁面 123第三壁面 124第四壁面132，132a，132b噴嘴 142第一入口 144第一出口152第二入口 154第二出口具體實(shí)施方式
本發(fā)明提供一種超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其是以超聲波震蕩模式使盛裝于容器內(nèi)部的工作流體因震蕩而形成微小液滴，成形后透過(guò)容器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使容器內(nèi)外造成壓力差異，驅(qū)動(dòng)液態(tài)微顆粒液滴循著管路直接噴灑于發(fā)熱元件上方，例如芯片上方，透過(guò)微顆粒潛變吸熱達(dá)到噴霧冷卻(spray cooling)效果。
本發(fā)明的噴霧冷卻技術(shù)主要是透過(guò)轉(zhuǎn)測(cè)器(transducer)上的壓電震蕩器(pizeo-electric diaphragm)產(chǎn)生上下起伏的高頻震動(dòng)，在此過(guò)程中會(huì)有瞬間真空形成，因而使得較大顆粒液體表面分子脫離形成微粒態(tài)分子。成形后的微小液滴顆粒透過(guò)容器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使容器內(nèi)外造成壓力差異，使其循著可撓性管路透過(guò)噴嘴噴灑于發(fā)熱元件上方，經(jīng)由微顆粒潛變吸熱達(dá)到與噴霧冷卻相同的效用。再者，本發(fā)明噴嘴設(shè)計(jì)制作時(shí)不需利用微機(jī)電加工，而以一般傳統(tǒng)精密機(jī)械加工即可達(dá)成，可降低制造成本。此外，為防范噴灑出顆粒無(wú)法完全吸熱蒸發(fā)汽化，亦可在液滴、發(fā)熱元件熱交換反應(yīng)區(qū)下方另設(shè)計(jì)一回收機(jī)制來(lái)回收未完全熱交換反應(yīng)的液態(tài)分子。吸熱潛變蒸發(fā)后的蒸汽態(tài)分子經(jīng)由冷凝管路冷凝釋放熱量形成液滴，再回流至液體儲(chǔ)槽中，而完成整個(gè)循環(huán)機(jī)制。
由于本發(fā)明超聲波噴霧散熱/冷卻裝置采用可撓性管路，可因應(yīng)各種不同擺設(shè)方位的發(fā)熱元件，而調(diào)整液滴噴灑方向，故使本發(fā)明冷卻裝置的應(yīng)用彈性大為提升。
本發(fā)明的目的及諸多優(yōu)點(diǎn)藉由以下具體實(shí)施例的詳細(xì)說(shuō)明，并參照附圖，將趨于明了。
圖2顯示出本發(fā)明超聲波噴霧散熱/冷卻裝置的一第一具體實(shí)施例的截面示意圖。在第一具體實(shí)施例中，超聲波噴霧散熱/冷卻裝置1包括一容器10，用來(lái)盛裝工作液體100，前述容器10相對(duì)工作液體100液面上方設(shè)有一開(kāi)口101；一超聲波震蕩器11，放置于前述容器10的工作液體100內(nèi)，用來(lái)使工作液體100產(chǎn)生液滴分子；一熱交換室12，具有第一壁面121、第二壁面122、第三壁面123及第四壁面124，第一壁面121相對(duì)于第二壁面122及第三壁面123相對(duì)于第四壁面124，其中第一壁面121接觸于一發(fā)熱元件16，而第二壁面122設(shè)有一液滴分子入口，第三壁面123設(shè)有一蒸汽態(tài)分子出口及第四壁面124設(shè)有一液滴分子出口；一液滴分子通道13，具有一通道入口及一通道出口，前述通道入口連通于前述容器10的開(kāi)口101，前述通道出口設(shè)有一噴嘴132穿經(jīng)前述熱交換室12的第二壁面122的前述液滴分子入口；一蒸汽態(tài)分子通道14，具有一第一入口142及一第一出口144，第一入口142連通于前述熱交換室12的第三壁面123的前述蒸汽態(tài)分子出口，及第一出口44連通于前述容器10的一第一適位處；及一液滴分子回收通道15，用來(lái)收集前述熱交換室12內(nèi)未相變的液滴分子，其具有一第二入口152及一第二出口154，第二入口152連通于前述熱交換室12的第四壁面124的前述液滴分子出口，而第二出口154連通于前述容器10的一第二適位處。
前述容器10內(nèi)的工作液體100透過(guò)超聲波震蕩器11的震動(dòng)，形成液滴分子，而透過(guò)容器10上方風(fēng)扇、泵(未示出)的加入所造成的壓力差促使前述液滴分子循著前述液滴分子通道13，經(jīng)由其噴嘴132噴灑于前述熱交換室12的第一壁面121，與前述發(fā)熱元件16進(jìn)行熱交換，而相變成蒸汽態(tài)分子并通過(guò)前述蒸汽態(tài)分子通道14及結(jié)合有一包含多片散熱鰭片19的冷凝區(qū)域，冷凝成液滴回流至前述容器10內(nèi)。
前述液滴分子通道13、蒸汽態(tài)分子通道14及液滴分子回收通道15均以可撓性管件構(gòu)成。因此，可依發(fā)熱元件16的擺設(shè)方位，而彈性調(diào)整前述熱交換室12的位置，使前述熱交換室12的第一壁面121可以不同方位接觸發(fā)熱元件16的表面。再者，潛變汽化后的部分蒸汽態(tài)分子可能會(huì)通過(guò)液滴分子回收通道15，而直接進(jìn)入前述容器10內(nèi)，因此，前述液滴分子回收通道15內(nèi)可填裝具有多孔介質(zhì)特性材料，例如海綿、燒結(jié)粉粒等，作為栓塞，以防止蒸汽態(tài)分子通過(guò)前述液滴分子回收通道15，而直接進(jìn)入容器10內(nèi)。此外，蒸汽態(tài)分子通道14內(nèi)部可披附納米粉材，來(lái)改變其與冷凝液滴的接觸角，或者將蒸汽態(tài)分子通道14內(nèi)部制成具有毛細(xì)結(jié)構(gòu)，來(lái)輔助加快流體流動(dòng)。此外，在發(fā)熱元件16與熱交換室12的第一壁面121之間設(shè)有一熱界面材料18，以促進(jìn)發(fā)熱元件16與熱交換室12之間的熱傳導(dǎo)。
前述容器10內(nèi)裝填的工作液體100可為水、甲醇、乙醇、冷凍劑(refrigerants)、介電流體或其它類似液體，而超聲波震蕩器11可以是由壓電膜110及其具弧狀底部的基板112組成的壓電震蕩器。參圖4A至圖4C，前述容器10及超聲波震蕩器11亦可以有不同的變化例，例如前述容器10內(nèi)部形狀可為圓形或矩形等可輔助未流出的霧化液滴回流；超聲波震蕩器11亦可以是圖4A及圖4B所示的具平面基板112a的壓電震蕩器11a，及圖4C所示的具有多個(gè)懸臂式震蕩子110a、110b的壓電震蕩器。此外，超聲波震蕩器11可利用壓電膜厚薄與電路控制作成定頻或變頻，透過(guò)反應(yīng)室內(nèi)部感應(yīng)器的回饋來(lái)控制液滴分子大小。
前述液滴分子通道13通道出口的噴嘴132可以一般傳統(tǒng)精密機(jī)械加工制成，其噴嘴形狀可以是噴嘴形132、蜂巢狀圓孔形132a、鴨嘴形132b或任何需要應(yīng)用的形狀，如圖5A至圖5C及圖6A至圖6C所示。
復(fù)參照?qǐng)D2，發(fā)熱元件16可以是承載于一印刷電路板17上的芯片。
圖2A顯示本發(fā)明超聲波噴霧散熱/冷卻裝置的一第二具體實(shí)施例的部份放大截面示意圖，其對(duì)應(yīng)圖2的A部份。第二具體實(shí)施例與第一具體實(shí)施例不同處僅在于熱交換室12不具有原第一壁面121，而是發(fā)熱元件16與熱交換室12之間直接接觸。也就是說(shuō)，在本發(fā)明中，熱交換室12可直接或間接與發(fā)熱元件16接觸反應(yīng)。
圖3顯示本發(fā)明的超聲波噴霧散熱/冷卻裝置的一第三具體實(shí)施例的截面示意圖，其與第一具體實(shí)施例不同處在于蒸汽態(tài)分子通道14結(jié)合有一包含多片散熱鰭片19及一風(fēng)扇20的散熱機(jī)構(gòu)。藉由前述散熱機(jī)構(gòu)而附加一冷凝回收機(jī)制于前述蒸汽態(tài)分子通道14，更強(qiáng)化通過(guò)前述蒸汽態(tài)分子通道14的蒸汽態(tài)分子凝結(jié)成液滴。再者，前述散熱機(jī)制的散熱鰭片19及風(fēng)扇20所造成的相對(duì)低壓，亦有利于前述熱交換室12內(nèi)的蒸汽態(tài)分子被吸入蒸汽態(tài)分子通道14內(nèi)。前述冷凝回收機(jī)制結(jié)構(gòu)可為冷卻相變蒸發(fā)流體形成液態(tài)流體的任何需要的形狀。此外，在發(fā)熱元件16與熱交換室12的第一壁面121之間設(shè)有一熱界面材料18，以促進(jìn)發(fā)熱元件16與熱交換室12之間的熱傳導(dǎo)。
以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并非用以限定本發(fā)明的申請(qǐng)專利范圍，凡其它未脫離本發(fā)明所揭示的精神下所完成的等效改變或修飾，均應(yīng)包含在申請(qǐng)專利范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其包括一容器，用以盛裝工作液體，該容器相對(duì)該工作液體液面上方設(shè)有一開(kāi)口；一超聲波震蕩器，放置于前述容器的工作液體內(nèi)，用來(lái)使該工作液體產(chǎn)生液滴分子；一熱交換室，該熱交換室包含有第一壁面、第二壁面、第三壁面及第四壁面，該第一壁面相對(duì)于該第二壁面及該第三壁面相對(duì)于該第四壁面；其中該第一壁面接觸于一發(fā)熱元件，該第二壁面設(shè)有一液滴分子入口，該第三壁面設(shè)有一蒸汽態(tài)分子出口；一液滴分子通道，具有一通道入口及一通道出口，該通道入口連通于前述容器的該開(kāi)口，該通道出口設(shè)有一噴嘴穿經(jīng)前述熱交換室的該第二壁面的該液滴分子入口；一蒸汽態(tài)分子通道，具有一第一入口及一第一出口，該第一入口連通于前述熱交換室的該第三壁面的該蒸汽態(tài)分子出口，及該第一出口連通于該容器的一第一適位處；及一散熱機(jī)構(gòu)，結(jié)合于前述蒸汽態(tài)分子通道；其中前述容器內(nèi)產(chǎn)生的液滴分子通過(guò)前述液滴分子通道，經(jīng)由其前述噴嘴噴灑于前述熱交換室的該第一壁面，與前述發(fā)熱元件進(jìn)行熱交換，而相變成蒸汽態(tài)分子并通過(guò)前述蒸汽態(tài)分子通道，冷凝成液滴回流至前述容器內(nèi)。
2.一種超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其包括一容器，用來(lái)盛裝工作液體，該容器相對(duì)該工作液體液面上方設(shè)有一開(kāi)口；一超聲波震蕩器，放置于前述容器的工作液體內(nèi)，用來(lái)使該工作液體產(chǎn)生液滴分子；一熱交換室，該熱交換室包含有第二壁面、第三壁面及第四壁面，該第三壁面相對(duì)于該第四壁面；其中該熱交換室相對(duì)該第二壁面的一側(cè)直接接觸于一發(fā)熱元件，該第二壁面設(shè)有一液滴分子入口，該第三壁面設(shè)有一蒸汽態(tài)分子出口；一液滴分子通道，具有一通道入口及一通道出口，該通道入口連通于前述容器的該開(kāi)口，該通道出口設(shè)有一噴嘴穿經(jīng)前述熱交換室的談第二壁面的該液滴分子入口；一蒸汽態(tài)分子通道，具有一第一入口及一第一出口，該第一入口連通于前述熱交換室的該第三壁面的該蒸汽態(tài)分子出口，及該第一出口連通于該容器的一第一適位處；及一散熱機(jī)構(gòu)，結(jié)合于前述蒸汽態(tài)分子通道；其中前述容器內(nèi)產(chǎn)生的液滴分子通過(guò)前述液滴分子通道，經(jīng)由其前述噴嘴噴灑于前述發(fā)熱元件上，與前述發(fā)熱元件進(jìn)行熱交換，而相變成蒸汽態(tài)分子并通過(guò)前述蒸汽態(tài)分子通道，冷凝成液滴回流至前述容器內(nèi)。
3.如權(quán)利要求1所述的超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其特征是，更包含一液滴分子回收通道，用來(lái)收集前述熱交換室內(nèi)未相變的液滴分子，其具有一第二入口及一第二出口，該第二入口連通于前述熱交換室的該第四壁面的該液滴分子出口，該第二出口連通于前述容器的一第二適位處。
4.如權(quán)利要求1所述的超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其特征是，上述的散熱機(jī)構(gòu)包含一風(fēng)扇及多片散熱鰭片，其中前述風(fēng)扇設(shè)于前述蒸汽態(tài)分子通道一側(cè)及前述散熱鰭片結(jié)合于前述蒸汽態(tài)分子通道外部。
5.如權(quán)利要求1所述的超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其特征是，更包含一熱界面材料，設(shè)于前述熱交換室的該第一壁面與該發(fā)熱元件之間。
6.如權(quán)利要求1所述的超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其特征是，上述的液滴分子通道及蒸汽態(tài)分子通道為可撓性管件。
7.如權(quán)利要求3所述的超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其特征是，上述的液滴分子回收通道為可撓性管件。
8.如權(quán)利要求1所述的超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其特征是，上述的超聲波震蕩器包含一壓電震蕩器。
9.如權(quán)利要求8所述的超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其特征是，上述的超聲波震蕩器包含多個(gè)懸臂式震蕩子。
10.如權(quán)利要求1所述的超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其特征是，上述的超聲波震蕩器更包含一壓電震蕩器溫度回饋裝置以控制液滴分子大小。
11.如權(quán)利要求1所述的超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其特征是，上述的液滴分子通道入口區(qū)域更包含一泵。
12.如權(quán)利要求1所述的超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其特征是，上述的容器內(nèi)部形狀選自圓形及矩形等可輔助未流出的霧化液滴回流的任一者。
13.如權(quán)利要求1所述的超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其特征是，上述的噴嘴嘴型選自下列任一者噴嘴形、蜂巢狀圓孔形、鴨嘴形或任何需要應(yīng)用的形狀。
14.如權(quán)利要求3所述的超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其特征是，上述的液滴分子回收通道內(nèi)部填裝有多孔性材料。
15.如權(quán)利要求1所述的超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其特征是，上述的蒸汽態(tài)分子通道結(jié)合散熱機(jī)構(gòu)后的內(nèi)壁披附有納米粉材。
16.如權(quán)利要求1所述的超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其特征是，上述的蒸汽態(tài)分子通道結(jié)合散熱機(jī)構(gòu)后端的內(nèi)壁具有毛細(xì)結(jié)構(gòu)。
17.如權(quán)利要求1所述的超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，其特征是，上述的工作流體選自下列任一者水、甲醇、乙醇、冷凍劑及介電流體等可以利用的流體。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種超聲波噴霧散熱/冷卻裝置，包括盛裝工作液體的容器、超聲波震蕩器、熱交換室、可撓性管件構(gòu)成的液滴分子通道及蒸汽態(tài)分子通道；其是以超聲波震蕩模式使容器內(nèi)部的工作液體因震蕩而形成微小液滴，透過(guò)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使容器內(nèi)外造成壓力差異，驅(qū)動(dòng)前述微小液滴循著液滴分子通道噴灑于熱交換室內(nèi)與發(fā)熱元件接觸反應(yīng)，霧化冷卻發(fā)熱元件。前述可撓性管件可因應(yīng)發(fā)熱元件的方位而調(diào)整噴灑方向，可增加本發(fā)明裝置使用彈性。
文檔編號(hào)H01L23/473GK1797755SQ20041010416
公開(kāi)日2006年7月5日 申請(qǐng)日期2004年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月30日
發(fā)明者譚瑞敏, 楊書(shū)榮 申請(qǐng)人:財(cái)團(tuán)法人工業(yè)技術(shù)研究院