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      一種用于TiO的制作方法

      文檔序號:7099807閱讀:263來源:國知局
      專利名稱:一種用于TiO的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及一種能提高TiO2光電池光電轉(zhuǎn)換效率并降低成本的光電陰極及其制備方法。
      背景技術(shù)
      TiO2光電池具有使用壽命長,無污染,原材料豐富且價(jià)格低廉,制作工藝簡單,有利于大規(guī)模生產(chǎn)的優(yōu)越性。TiO2光電池由光電陽極(TiO2電極)、光電陰極、及電解質(zhì)組成。電極電導(dǎo)率和催化活性是影響光電池陰極工作效率的主要因素。目前,實(shí)驗(yàn)研究中常用的光電陰極是純Pt電極和純C電極。純Pt電極制作成本很高,而未處理的純C電極的電阻太大使電池?fù)p失了一部分能量轉(zhuǎn)化效率。因此,制備出一種成本低廉并能達(dá)到Pt電極工作效率的光電陰極是很有必要的。

      發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明所要解決的問題是提供一種用于TiO2光電池的光電陰極,該光電陰極用于TiO2光電池可以提高TiO2光電池的光電轉(zhuǎn)換效率,又具有低的成本,便于大規(guī)模的工業(yè)生產(chǎn)。
      本發(fā)明提供的技術(shù)方案是一種光電陰極,包括基片及附著在基片上的陰極層,陰極層為由碳和鉑通過濺射法制成的膜,膜中碳的含量為30~100wt%。
      上述膜中碳的含量為50~80wt%。
      本發(fā)明還提供了上述光電陰極的制備方法,用濺射法將碳和鉑沉積在基片上形成膜,膜中碳的含量為30~100wt%。
      本發(fā)明可將沉積在基片上的膜在20~800℃進(jìn)行射頻等離子體處理0.5~10小時(shí);處理功率20~600W。
      本發(fā)明也可將沉積在基片上的膜在100~800℃、條件下進(jìn)行熱處理0.5~5小時(shí)。
      本發(fā)明通過濺射法制備具有大比表面積的C/Pt光電陰極,將其作為TiO2光電池電極,可以提高TiO2光電池的光電轉(zhuǎn)換效率,同時(shí)可以大大節(jié)約光電池電極的成本。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是電極工作效率高,成本低,有利于大規(guī)模的工業(yè)生產(chǎn),具有很大的社會(huì)效益和經(jīng)濟(jì)效益。
      具體的實(shí)施方式實(shí)施例1用濺射法將碳和鉑沉積在玻璃基片上形成復(fù)合膜,其中C的含量為70wt%,濺射功率為240W,濺射氣壓為5×10-2Torr,濺射時(shí)間2小時(shí);將復(fù)合膜在200℃下進(jìn)行熱處理1小時(shí),制得光電陰極。由此光電陰極組裝的光電池光電轉(zhuǎn)換效率和使用純Pt電極相比提高5%以上,電極成本節(jié)約60%左右。
      實(shí)施例2用濺射法將碳和鉑沉積在基片上形成復(fù)合膜,其中C的含量為30wt%,濺射功率為50W,濺射氣壓為9×10-2Torr,濺射時(shí)間30小時(shí),制得光電陰極。由此光電陰極組裝的光電池光電轉(zhuǎn)換效率和使用純Pt電極相比提高2%以上,電極成本節(jié)約20%左右。
      實(shí)施例3用濺射法將碳和鉑沉積在石英基片上形成復(fù)合膜,其中C的含量為80wt%,濺射功率為500W,濺射氣壓為2×10-2Torr,濺射時(shí)間1小時(shí);將復(fù)合膜在600℃下進(jìn)行熱處理0.5小時(shí),制得光電陰極。由此光電陰極組裝的光電池光電轉(zhuǎn)換效率和使用純Pt電極相比提高5%以上,電極成本節(jié)約60%左右。
      實(shí)施例4用濺射法將碳沉積在基片上形成膜,濺射功率為240W,濺射氣壓為1×10-2Torr,濺射時(shí)間3小時(shí);將膜在室溫下進(jìn)行射頻等離子體處理10小時(shí);處理功率20W,制得光電陰極。由此光電陰極組裝的光電池光電轉(zhuǎn)換效率和使用純Pt電極相比提高1%以上,電極成本節(jié)約90%左右。
      實(shí)施例5用濺射法將碳和鉑沉積在導(dǎo)電玻璃基片上形成復(fù)合膜,其中C的含量為50wt%,濺射功率為300W,濺射氣壓為3×10-2Torr,濺射時(shí)間4小時(shí);將膜在600℃下進(jìn)行射頻等離子體處理1小時(shí);處理功率500W,制得光電陰極。由此光電陰極組裝的光電池光電轉(zhuǎn)換效率和使用純Pt電極相比提高5%以上,電極成本節(jié)約40%左右。
      權(quán)利要求
      1.一種光電陰極,包括基片及附著在基片上的陰極層,其特征是陰極層為由碳和鉑通過濺射法制成的膜,膜中碳的含量為30~100wt%。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電陰極,其特征是膜中碳的含量為50~80wt%。
      3.權(quán)利要求1所述光電陰極的制備方法,其特征是用濺射法將碳和鉑沉積在基片上形成膜,膜中碳的含量為30~100wt%。
      4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制備方法,其特征是將沉積在基片上的膜在20~800℃進(jìn)行射頻等離子體處理0.5~10小時(shí);處理功率20~600W。
      5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的制備方法,其特征是將沉積在基片上的膜在100~800℃、條件下進(jìn)行熱處理0.5~5小時(shí)。
      全文摘要
      本發(fā)明涉及一種光電陰極,包括基片及附著在基片上的陰極層,陰極層由碳和鉑通過濺射法制成的膜,膜中碳的含量為30~100wt%。其制備方法為將沉積在基片上的膜在20~800℃進(jìn)行射頻等離子體處理0.5~10小時(shí);處理功率20~600W。本發(fā)明得到的光電陰極作為TiO
      文檔編號H01L21/283GK1779991SQ20051001956
      公開日2006年5月31日 申請日期2005年10月10日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月10日
      發(fā)明者韓俊波, 周正國, 王取泉 申請人:武漢大學(xué)
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