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      測束法拉第裝置的制作方法

      文檔序號:6858466閱讀:623來源:國知局
      專利名稱:測束法拉第裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實用新型涉及一種半導(dǎo)體器件制造裝置,特別涉及一種半導(dǎo)體器件制造裝置中的測束法拉第裝置。
      背景技術(shù)
      現(xiàn)有半導(dǎo)體集成電路制造技術(shù)中,隨著集成度越來越高和電路規(guī)模越來越大,要求電路中單元器件尺寸越來越小,于是對半導(dǎo)體器件制造設(shè)備提出了更高的要求。離子注入機作為半導(dǎo)體離子摻雜工藝線的關(guān)鍵設(shè)備,其離子源的優(yōu)劣直接關(guān)系到半導(dǎo)體器件的質(zhì)量好壞。因此,作為離子注入機中離子源束流指標檢測的法拉第裝置,是一個既關(guān)鍵又必不可少的部件。
      在以往的測束法拉第裝置中大都采用金屬焊件,因此在入口處要設(shè)置抑制電極,但還會產(chǎn)生未被抑制的二次電子;同時由于法拉第裝置直接收束流和特殊的高溫使用環(huán)境,使得金屬筒外部要設(shè)計水套作為冷卻;法拉第杯的底板由于采用了焊接方式的固定連接,也給維修帶來極大不便。
      實用新型內(nèi)容本實用新型克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點,提供了一種結(jié)構(gòu)簡單,維護方便,測量準確的測束法拉第裝置。
      本實用新型技術(shù)方案如下法拉第筒采用石墨制成并被設(shè)計成倒錐形;法拉第杯底板采用方便更換的活動連接方式;在氣缸體與氣缸軸接觸的部位設(shè)置絕緣并起支撐作用的氣孔環(huán)和密封圈;在氣缸軸的尾部設(shè)置保證運行平穩(wěn)的移動導(dǎo)向桿。
      采用本實用新型,無需設(shè)置抑制電極,可以有效防止金屬粒子和二次電子污染;由于采用耐高溫的石墨材料,因而無需在法拉第杯外部焊接冷卻水套;法拉第杯底板采用活動連接方式,可方便更換法拉第杯底板,操作簡單,使維護大大簡化。


      圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)圖。
      圖中1-法拉第杯底板;2-法拉第筒;3-氣缸軸;4-氣孔環(huán);5-密封圈;6-氣缸活塞;7-氣缸體;8-氣缸密封蓋;9-進出水接頭;10-移動導(dǎo)向桿;11-進出氣接頭具體實施方式
      以下結(jié)合附圖對本實用新型的結(jié)構(gòu)和工作原理做進一步說明如附圖1所示,所述的法拉第筒2和可更換的法拉第杯底板1組成法拉第杯,法拉第筒2與法拉第杯底板1可采用螺栓等活動連接方式。
      法拉第筒2連接到氣缸軸3的一端,氣缸軸3可帶動法拉第筒2移動。
      氣缸軸3穿過氣缸體7,借助于進出水接頭9可以冷卻氣缸軸3。氣缸軸3另一端連接有移動導(dǎo)向桿10,移動導(dǎo)向桿10可保證氣缸軸3平穩(wěn)移動。
      氣孔環(huán)4由高分子材料制成,支撐氣缸軸3并起絕緣作用,以保證有效的測量。
      氣缸活塞6由高分子材料制作,絕緣并壓縮氣缸體7內(nèi)氣體使氣缸軸3移動。
      本實用新型在檢測離子源束流指標時,利用氣缸體7的作用,使法拉第杯位于離子源束流通道的中心位置。該位置可通過氣缸活塞6的運動行程來調(diào)節(jié)。在進行注片時,利用氣缸體7的作用,法拉第杯移開離子源束流通道位置,使離子源束流完全通過并順利到靶。法拉第筒2設(shè)計成倒錐形,同時深度按入口尺寸的一定比例設(shè)計,可有效抑制二次電子,以保證測量的準確性。法拉第筒2為石墨材料,離子源束流不接觸金屬材料,可有效降低金屬粒子污染。
      權(quán)利要求1.一種測束法拉第裝置,其包括法拉第杯,氣缸軸,氣缸體,氣缸活塞,氣缸密封蓋,進出氣接頭,進出水接頭,其特征在于法拉第筒(2)為倒錐形,法拉第筒(2)底部帶有活動法拉第杯底板(1);法拉第筒(2)連接在氣缸軸(3)上,氣缸軸(3)穿過氣缸體(7),氣缸軸(3)的另一端連接有移動導(dǎo)向桿(10);在氣缸體(7)與氣缸軸(3)接觸部位有氣孔環(huán)(4)和密封圈(5);氣缸軸(3)尾部連接有移動導(dǎo)向桿(10)。
      專利摘要本實用新型公開了一種測束法拉第裝置,屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域。所述的測束法拉第裝置包括法拉第杯,氣缸軸,氣缸體,氣缸活塞,氣缸密封蓋,進出氣接頭,進出水接頭,其中法拉第筒(2)采用石墨制成并被設(shè)計成倒錐形,法拉第筒(2)底部帶有活動法拉第杯底板(1),法拉第筒(2)連接在氣缸軸(3)上,氣缸軸(3)穿過氣缸體(7),氣缸軸(3)的另一端連接有移動導(dǎo)向桿(10),在氣缸體(7)與氣缸軸(3)接觸部位有氣孔環(huán)(4)和密封圈(5),氣缸軸(3)尾部連接有移動導(dǎo)向桿(10)。
      文檔編號H01L21/66GK2796082SQ200520011269
      公開日2006年7月12日 申請日期2005年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月31日
      發(fā)明者郭建輝 申請人:北京中科信電子裝備有限公司
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