專利名稱：印刷干燥方法、電子部件的制造方法以及印刷干燥裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及印刷干燥方法、電子部件的制造方法以及印刷干燥裝置，更詳細(xì)來(lái)說(shuō)，涉及例如在制造疊層陶瓷電容器等電子部件時(shí)，能夠在支承片上少有位置偏移地重復(fù)印刷互補(bǔ)型圖案的印刷干燥方法以及印刷干燥裝置。
背景技術(shù)：
例如在制造疊層陶瓷電容器等電子部件時(shí)，如圖10所示，有時(shí)在作為支承片的載片20的表面上形成剝離層22，然后在剝離層上通過(guò)印刷形成規(guī)定圖案的電極層12a。或者，有時(shí)在載片20的表面上形成陶瓷生片，然后在其表面上通過(guò)印刷形成規(guī)定圖案的電極層12a。
之后，在規(guī)定圖案的電極層12a的間隙部分上通過(guò)再次印刷法形成作為電極層12a的互補(bǔ)型圖案的空白圖案層24。在沒(méi)有形成空白圖案層24的狀態(tài)下，如果大量層疊生片和電極層，則不存在電極層的部分與存在電極層的部分之間產(chǎn)生高低錯(cuò)位，這就導(dǎo)致薄片之間的分層或?qū)盈B體的變形等問(wèn)題。因此最近如文獻(xiàn)1～4(特開(kāi)昭56-94719號(hào)公報(bào)、特開(kāi)平3-74820號(hào)公報(bào)、特開(kāi)平9-106925號(hào)公報(bào)、特開(kāi)2001-237140號(hào)公報(bào))所示，為了層疊數(shù)的增加以及層間厚度的薄層化，提出了在沒(méi)有形成電極層的空白圖案部分形成與生片相同的由電介質(zhì)糊劑構(gòu)成的圖案層的方法。
但是，在傳統(tǒng)的印刷干燥方法中，當(dāng)在載片20的表面的生片或剝離層上印刷電極層12a，并進(jìn)行干燥時(shí)，由于干燥時(shí)的熱量，有時(shí)由聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯構(gòu)成的載片20尤其會(huì)沿著其長(zhǎng)度方向伸縮。一般認(rèn)為是由于載片20是離心成型的薄膜，會(huì)因干燥時(shí)的熱量而沿長(zhǎng)度方向收縮。
因此，在以下工序中，如果根據(jù)設(shè)計(jì)尺寸，印刷形成空白圖案層24，如圖10所示，可以知道可能錯(cuò)位地印刷空白圖案層24。尤其是由于電極層12a的圖案細(xì)微化以及薄層化，印刷時(shí)的錯(cuò)位在后續(xù)工序的層疊工序之后，會(huì)引起薄片間的分層或?qū)盈B體的變形等問(wèn)題。
另外，文獻(xiàn)5(特開(kāi)2004-144433號(hào)公報(bào))公開(kāi)了測(cè)定干燥爐入口處氣流的動(dòng)壓力變化，防止干燥不均等問(wèn)題的干燥方法。然而，該文獻(xiàn)5所示的方法不能防止由干燥室內(nèi)部熱量引起的支承片變形，也不能防止印刷時(shí)的位置偏移或尺寸不齊。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述的事實(shí)而提出，其目的在于提供一種印刷干燥方法以及印刷干燥裝置，抑制由干燥室內(nèi)的熱量引起的支承片變形，從而能夠抑制印刷時(shí)的位置偏移，而且作業(yè)效率優(yōu)異。
本發(fā)明的另一目的在于提供一種電子部件制造方法，即使進(jìn)行小型化或薄層化，也難以產(chǎn)生內(nèi)部電極層和/或空白圖案層的層疊錯(cuò)位，能夠抑制薄片間的分層或?qū)盈B體的變形等，抑制靜電容量等特性離散，提高制造成品率。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的印刷干燥方法，沿著長(zhǎng)度方向鋪設(shè)細(xì)長(zhǎng)的支承片而使其架設(shè)于印刷區(qū)域和干燥區(qū)域這兩個(gè)區(qū)域，在上述印刷區(qū)域內(nèi)，在向上述支承片施加第1張力的狀態(tài)下，在該支承片上印刷規(guī)定圖案，然后將該支承片向上述干燥區(qū)域送出，在上述干燥區(qū)域內(nèi)，在施加第2張力的狀態(tài)下，在干燥室內(nèi)使印刷有規(guī)定圖案的支承片干燥，其特征在于通過(guò)不同的張力施加機(jī)構(gòu)施加上述第1張力和第2張力，上述第2張力是沿著支承片長(zhǎng)度方向施加的、能夠防止通過(guò)干燥區(qū)域的支承片沿長(zhǎng)度方向收縮的張力。
本發(fā)明的印刷干燥裝置能夠沿著長(zhǎng)度方向鋪設(shè)細(xì)長(zhǎng)的支承片而使其架設(shè)于印刷區(qū)域和干燥區(qū)域這兩個(gè)區(qū)域，其特征在于在上述印刷區(qū)域內(nèi)具有向上述支承片施加第1張力的第1張力施加機(jī)構(gòu)、在施加該第1張力的支承片上印刷圖案的印刷機(jī)構(gòu)、在印刷后將該支承片向上述干燥區(qū)域送出的第1輸送機(jī)構(gòu)，在上述干燥區(qū)域內(nèi)具有向印刷有規(guī)定圖案的支承片施加第2張力的第2張力施加機(jī)構(gòu)、在施加該第2張力的狀態(tài)下，對(duì)上述支承片加熱至規(guī)定溫度的加熱機(jī)構(gòu)、在干燥室內(nèi)，使加熱的支承片沿著支承片的長(zhǎng)度方向移動(dòng)的第2輸送機(jī)構(gòu)，利用上述第2張力施加機(jī)構(gòu)施加的第2張力是沿著上述支承片長(zhǎng)度方向施加的、能夠防止通過(guò)上述干燥區(qū)域的支承片沿長(zhǎng)度方向收縮的張力。
在本發(fā)明的印刷干燥方法以及印刷干燥裝置中，支承片架設(shè)在印刷區(qū)域和干燥區(qū)域這兩個(gè)區(qū)域。因此，能夠在支承片上連續(xù)地進(jìn)行印刷和干燥，其作業(yè)效率優(yōu)異。
另外，在本發(fā)明中，第1張力與第2張力是通過(guò)不同的張力施加機(jī)構(gòu)進(jìn)行施加的，第2張力是沿著上述支承片長(zhǎng)度方向施加的、能夠防止通過(guò)干燥區(qū)域的支承片沿長(zhǎng)度方向收縮的張力。因此，在干燥區(qū)域內(nèi)，即使加熱了支承片，也能夠抑制支承片沿長(zhǎng)度方向收縮。結(jié)果，在支承片上印刷的印刷圖案的難以產(chǎn)生位置偏移。
因此，在支承片上，當(dāng)利用印刷法在最初印刷的初期印刷圖案上形成其它的印刷圖案的情況下，難以產(chǎn)生圖案之間的位置偏移。
因此，通過(guò)利用本發(fā)明的印刷干燥方法，在支承片的表面上形成電子部件用內(nèi)部電極圖案或空白圖案，制造疊層陶瓷電容器等電極元件，能夠容易地制造小型化或薄層化得到增進(jìn)的電子部件。
即，即使進(jìn)行小型化或薄層化，也難以產(chǎn)生內(nèi)部電極層和/或空白圖案層的層疊錯(cuò)位，能夠抑制薄片間的分層或?qū)盈B體的變形等，抑制靜電容量等特性離散。另外，本發(fā)明能夠連續(xù)地進(jìn)行印刷和干燥，能夠提高電子部件的制造成品率。
而且，在本發(fā)明中，至少在最初印刷干燥內(nèi)部電極層或空白圖案層時(shí)，可以施加第2張力，然后，在印刷干燥下一個(gè)圖案時(shí)，并不一定施加第2張力，也可以進(jìn)行通常的干燥方法。但是，即使在接下來(lái)的圖案印刷干燥之際，也更優(yōu)選采用本發(fā)明的方法。
上述第1張力優(yōu)選是沿著上述支承片的長(zhǎng)度方向施加而使得不會(huì)在上述支承片上留下皺痕的張力。印刷時(shí)，如果在支承片上留下皺痕，就不能良好地進(jìn)行印刷，因而在印刷時(shí)以不在支承片上留下皺痕的方式施加第1張力。上述支承片單位寬度上的第1張力優(yōu)選為0.28～0.83N/cm。
支承片單位寬度上的上述第2張力優(yōu)選沿著支承片的長(zhǎng)度方向?yàn)?.16～1.22N/cm。如果該第2張力過(guò)小，本發(fā)明的作用效果小。如果該第2張力過(guò)大，該第2張力導(dǎo)致支承片產(chǎn)生熱變形，還存在增大印刷圖案位置偏移的傾向。因此，上述范圍是優(yōu)選的。
優(yōu)選在干燥區(qū)域內(nèi)檢測(cè)施加在位于該干燥區(qū)域內(nèi)的支承片上的第2張力，控制上述第2張力而使其保持恒定。
在本發(fā)明的印刷干燥裝置中，優(yōu)選在上述干燥區(qū)域內(nèi)具有檢測(cè)施加在位于該干燥區(qū)域內(nèi)的支承片上的第2張力的第2張力檢測(cè)機(jī)構(gòu)、基于通過(guò)該第2張力檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢測(cè)的信號(hào)，控制上述第2張力施加機(jī)構(gòu)而使該第2張力保持恒定的控制機(jī)構(gòu)。
能夠抑制支承片熱變形的最合適的第2張力隨著支承片的組成、支承片的寬度、干燥溫度等變化。因此，通過(guò)恒定地控制第2張力，能夠有效地抑制支承片的熱變形。
優(yōu)選在上述印刷區(qū)域和干燥區(qū)域之間設(shè)置有第1緩沖區(qū)域，在該第1緩沖區(qū)域內(nèi)，使上述支承片松弛，允許上述印刷區(qū)域內(nèi)的上述支承片的分級(jí)進(jìn)給，而且允許上述干燥區(qū)域內(nèi)的上述支承片的連續(xù)進(jìn)給。通過(guò)這樣的構(gòu)成，能夠連續(xù)地進(jìn)行印刷和干燥，能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定地張力控制，抑制支承片等的熱變形，從而提高作業(yè)效率。
優(yōu)選構(gòu)成為，在從上述干燥區(qū)域入口直到干燥區(qū)域內(nèi)部的規(guī)定范圍的長(zhǎng)度范圍內(nèi)，使得導(dǎo)向機(jī)構(gòu)與上述支承片的接觸減輕或者不與導(dǎo)向機(jī)構(gòu)接觸。
以前，從干燥室入口直到出口的整個(gè)區(qū)域內(nèi)，通過(guò)導(dǎo)向用皮帶輸送機(jī)輸送干燥室內(nèi)的支承片。然而，由于形成印刷圖案用電極糊劑的組成等，容易產(chǎn)生電極圖案的干燥不均，有時(shí)出現(xiàn)印刷厚度極薄的部分。在電極層的厚度薄的情況下，由于電極層的厚度不均，可能會(huì)產(chǎn)生短路故障、未層合等問(wèn)題。
本發(fā)明者發(fā)現(xiàn)電極圖案干燥不均的原因主要是干燥室入口附近的導(dǎo)向用皮帶輸送機(jī)與支承片的接觸。因此，本發(fā)明者發(fā)現(xiàn)構(gòu)成為在從上述干燥區(qū)域入口直到干燥區(qū)域內(nèi)部的規(guī)定范圍的長(zhǎng)度范圍內(nèi)，使得導(dǎo)向機(jī)構(gòu)與上述支承片的接觸減輕或者不與導(dǎo)向機(jī)構(gòu)接觸。由此能夠解決上述問(wèn)題。
另外，通過(guò)本發(fā)明者的實(shí)驗(yàn)，發(fā)現(xiàn)從上述干燥區(qū)域入口直到干燥區(qū)域內(nèi)部的規(guī)定范圍的長(zhǎng)度，使得金屬板與上述支承片接觸時(shí)，也能夠獲得大致相同的效果。
而且，在本發(fā)明中，規(guī)定范圍的長(zhǎng)度根據(jù)干燥區(qū)域內(nèi)的支承片的輸送速度或干燥條件等確定，優(yōu)選為1.8～2.5m。
當(dāng)構(gòu)成上述支承片的合成樹(shù)脂的玻璃化轉(zhuǎn)移溫度為Tg時(shí)，在上述干燥區(qū)域內(nèi)，優(yōu)選將上述支承片暴露在{Tg-15}℃～{Tg+25}℃的溫度下。
當(dāng)溫度較低時(shí)，干燥所需時(shí)間增加，印刷圖案變得不干燥。如果干燥溫度變得過(guò)高，由支承片的熱引起的變形過(guò)大，因而不優(yōu)選。
在上述支承片由聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯構(gòu)成等情況下，在上述干燥區(qū)域內(nèi)，優(yōu)選將上述支承片暴露在70～100℃的溫度環(huán)境。
當(dāng)上述支承片是拉伸成型的合成樹(shù)脂片時(shí)，本發(fā)明效果特別明顯。即，這是由于在拉伸成形的合成樹(shù)脂片的情況下，在干燥室內(nèi)的干燥溫度下，容易熱變形。
優(yōu)選將通過(guò)上述干燥區(qū)域的支承片輸送至卷取區(qū)域，并將上述支承片卷繞在卷取輥上，在上述干燥區(qū)域和上述卷取區(qū)域之間，設(shè)置的第2緩沖區(qū)域，可以在上述卷取區(qū)域內(nèi)施加與在上述干燥區(qū)域內(nèi)施加于上述支承片的第2張力不同的第3張力。
當(dāng)在卷取區(qū)域內(nèi)施加于支承片的張力與在干燥區(qū)域內(nèi)施加的第2張力相同時(shí)，張力相對(duì)過(guò)低，當(dāng)利用卷取輥卷繞支承片時(shí)，容易產(chǎn)生散卷或滑卷等。通過(guò)在卷取區(qū)域內(nèi)施加與干燥區(qū)域內(nèi)施加于上述支承片的第2張力不同的第3張力，使得在利用卷取輥卷繞支承片時(shí)，不會(huì)發(fā)生散卷或滑卷等。
優(yōu)選在上述卷取區(qū)域內(nèi)具備除靜電裝置，除去通過(guò)卷取區(qū)域的上述支承片的靜電。通過(guò)除去靜電，能夠防止垃圾等粘附在支承片上，并且能夠防止引起垃圾等雜質(zhì)粘附引起的缺陷。
上述支承片的單位寬度上的上述第3張力沿著支承片的長(zhǎng)度方向?yàn)?.5～0.8N/cm。當(dāng)在這樣的張力范圍內(nèi)時(shí)，在利用卷取輥卷繞支承片時(shí)，能夠防止散卷或滑卷等。
優(yōu)選控制上述支承片單位寬度上的上述第3張力，使其大致保持恒定而不隨著上述卷取輥的卷繞外徑變化。通過(guò)進(jìn)行這樣的控制，能夠防止散卷或滑卷等，而不用考慮卷取輥的卷繞外徑。


以下根據(jù)附圖所示的實(shí)施方式描述本發(fā)明。
圖1是通過(guò)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式涉及的電子部件制造方法制造的疊層陶瓷電容器的剖面簡(jiǎn)圖。
圖2(A)～圖2(C)以及圖3(A)～圖3(C)表示生片與電極層的層疊工序的一個(gè)例子的主要部分剖面圖。
圖4是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式涉及的印刷干燥方法的整體結(jié)構(gòu)圖。
圖5是圖4所示干燥區(qū)域的放大簡(jiǎn)圖。
圖6是本發(fā)明的其他實(shí)施方式涉及的干燥區(qū)域的放大簡(jiǎn)圖。
圖7是本發(fā)明的另一實(shí)施方式涉及的干燥區(qū)域的放大簡(jiǎn)圖。
圖8是本發(fā)明的另一實(shí)施方式涉及的卷取區(qū)域的放大簡(jiǎn)圖。
圖9是表示圖8所示卷取輥的卷繞距離和卷繞張力的關(guān)系的圖表。
圖10是表現(xiàn)以前問(wèn)題的電極以及空白圖案的簡(jiǎn)圖。
具體實(shí)施例方式
(第1實(shí)施方式)疊層陶瓷電容器的整體構(gòu)成首先，作為本發(fā)明涉及的電子部件的一個(gè)實(shí)施方式，對(duì)疊層陶瓷電容器的整體構(gòu)成進(jìn)行描述。
如圖1所示，本實(shí)施方式涉及的疊層陶瓷電容器2具有電容器基體4、第1端子電極6和第2端子電極8。電容器基體4具有電介質(zhì)層10、內(nèi)部電極層12，在電介質(zhì)層10之間交替層疊有這些內(nèi)部電極層12。交替層疊的一方的內(nèi)部電極層12與在電容器元件4的一方端部的外側(cè)形成的第1端子電極6的內(nèi)側(cè)進(jìn)行電連接。另外，交替層疊的另一內(nèi)部電極層12與在電容器元件4的另一方端部的外側(cè)形成的第2端子電極8的內(nèi)側(cè)進(jìn)行電連接。
在本實(shí)施方式中，如后詳細(xì)所述，利用轉(zhuǎn)印法形成內(nèi)部電極層12。
電介質(zhì)層10的材料沒(méi)有特殊限定，例如由鈦酸鈣、鈦酸鍶和/或鈦酸鋇等電介質(zhì)材料構(gòu)成。各電介質(zhì)層10的厚度沒(méi)有特別限制，一般是數(shù)μm～數(shù)百μm。尤其是在本實(shí)施方式中，優(yōu)選薄層化為5μm以下，更優(yōu)選為3μm以下，特別優(yōu)選為1.5μm以下。
端子電極6以及8的材料也沒(méi)有特殊限制，一般使用銅或銅合金、鎳或鎳合金等，還可以使用銀或銀與鈀的合金等。端子電極6以及8的厚度也沒(méi)有特殊限制，通常為10～50μm左右。
疊層陶瓷電容器2的形狀或尺寸可以根據(jù)目的或用途適當(dāng)?shù)卮_定。當(dāng)疊層陶瓷電容器2為長(zhǎng)方體形狀時(shí)，通常為長(zhǎng)(0.6～5.6mm，優(yōu)選為0.6～3.2mm)×寬(0.3～5.0mm，優(yōu)選為0.3～1.6mm)×厚(0.1～1.9mm，優(yōu)選為0.3～1.6mm)左右。
疊層陶瓷電容器的制造方法下面，描述本實(shí)施方式涉及的疊層陶瓷電容器2的制造方法的一個(gè)例子。
(1)首先，為了制造構(gòu)成燒結(jié)后圖1所示電介質(zhì)層10的陶瓷生片，準(zhǔn)備電介質(zhì)糊劑(生片用糊劑)。
電介質(zhì)糊劑是通過(guò)混合電介質(zhì)原料(陶瓷粉體)和有機(jī)載體(vehicle)而制得的有機(jī)溶劑類糊劑構(gòu)成。
作為電介質(zhì)原料，可以適當(dāng)?shù)剡x自作為復(fù)合氧化物或氧化物的各種化合物，例如從碳酸鹽、硝酸鹽、氫氧化物、有機(jī)金屬化合物等中適當(dāng)選擇，混合進(jìn)行使用。電介質(zhì)原料一般可以作為平均粒徑0.4μm以下，優(yōu)選0.1～3.0μm左右的粉體使用。而且，為了形成非常薄的生片，優(yōu)選使用比生片厚度還細(xì)的粉末。
所謂有機(jī)載體，是指將粘合劑樹(shù)脂溶解在有機(jī)溶劑中而形成的物質(zhì)。作為用于有機(jī)載體的粘合劑樹(shù)脂，本實(shí)施方式使用聚乙烯醇縮丁醛樹(shù)脂。該聚乙烯醇縮丁醛樹(shù)脂的聚合度為1000以上、1700以下，優(yōu)選為1400～1700。另外，樹(shù)脂的丁縮醛化程度為大于64％且小于78％，優(yōu)選為大于64％且70％以下，其殘留乙?；啃∮?％，優(yōu)選3％以下。
聚乙烯醇縮丁醛樹(shù)脂的聚合度例如可以通過(guò)作為原料的醋酸乙烯酯樹(shù)脂的聚合度進(jìn)行測(cè)定。另外，丁縮醛化程度例如可以根據(jù)JISK6728進(jìn)行測(cè)定。此外，殘留乙?；靠梢愿鶕?jù)JISK6728進(jìn)行測(cè)定。
用于有機(jī)載體的有機(jī)溶劑沒(méi)有特殊限定，例如可以使用萜品醇、醇、丁基卡必醇、丙酮、甲苯等有機(jī)溶劑。在本實(shí)施方式中，作為有機(jī)溶劑，優(yōu)選含有醇類溶劑和芳香族類溶劑，以醇類溶劑和芳香族類溶劑的總質(zhì)量作為100質(zhì)量份，芳香族類溶劑含量為10質(zhì)量份～20質(zhì)量份。如果芳香族類溶劑的含量太少，存在薄片表面粗糙度增大的傾向，如果太多，糊劑的過(guò)濾特性降低，薄片表面粗糙度也增大而惡化。
作為醇類溶劑，可以列舉甲醇、乙醇、丙醇、丁醇等。作為芳香族類溶劑，可以列舉甲苯、二甲苯、乙酸芐酯等。
對(duì)于粘合劑樹(shù)脂，優(yōu)選預(yù)先溶解在甲醇、乙醇、丙醇、丁醇中的至少一種以上的醇類溶劑中，進(jìn)行過(guò)濾而形成溶液，向上述溶液添加電介質(zhì)粉末以及其他成分。高聚合度的粘合劑樹(shù)脂難溶于溶劑，通常的方法存在糊劑分散性變差的傾向。本實(shí)施方式的方法將高聚合度的粘合劑樹(shù)脂溶于上述良溶劑后向該溶液添加陶瓷粉末以及其他成分，因而能夠改良糊劑分散性，能夠抑制未溶解樹(shù)脂的產(chǎn)生。而且，上述溶劑以外的溶劑不能提高固體成分濃度，而且存在漆粘度隨時(shí)間增大的傾向。
在電介質(zhì)糊劑中，根據(jù)需要，還可以含有選自各種分散劑、增塑劑、抗靜電劑、電介質(zhì)、玻璃釉料、絕緣體等添加劑。
使用該電介質(zhì)糊劑，通過(guò)刮刀法等，例如圖3(A)所示，在作為第2支承片的載片30上，優(yōu)選以0.5～30μm，更優(yōu)選以0.5～10μm左右的厚度形成生片10a。在載片30上形成生片10a后進(jìn)行干燥。生片10a的干燥溫度優(yōu)選為50～100℃，干燥時(shí)間優(yōu)選為1～20分鐘。干燥后的生片10a的厚度與干燥前相比收縮至5～25％。干燥后的生片厚度優(yōu)選為3μm以下。
(2)與上述載片30不同，如圖2(A)所示，準(zhǔn)備作為第1支承片的載片20，在其上方形成剝離層22，在剝離層22上方形成規(guī)定圖案的電極層12a，在此前后，在沒(méi)有形成該電極層12a的剝離層22的表面上形成與電極層12a基本同樣厚度的空白圖案層24。
作為載片20以及30，例如可以使用PET(聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯)薄膜等，為了改善剝離性，優(yōu)選涂敷有硅等。這些載片20以及30的厚度沒(méi)有特別限制，優(yōu)選為5～100μm。這些載片20以及30的厚度可以相同，也可以不同。
剝離層22含有與構(gòu)成圖3(A)所示的生片10a的電介質(zhì)相同的電介質(zhì)粒子。另外，該剝離層22除了電介質(zhì)微粒以外還含有粘合劑、增塑劑和脫模劑。電介質(zhì)微粒的粒徑還可以與生片所含的電介質(zhì)微粒的粒徑相同，優(yōu)選更小一些。
作為剝離層22的涂敷方法，沒(méi)有特殊限制，但由于必需形成非常薄的剝離層，因而優(yōu)選例如使用線棒涂敷機(jī)或模涂敷器的涂敷方法。
作為用于剝離層22的粘結(jié)樹(shù)脂，例如由丙烯酸樹(shù)脂、聚乙烯醇縮丁醛、聚乙烯乙縮醛、聚乙烯醇、聚烯烴、聚氨酯、聚苯乙烯或它們的共聚物構(gòu)成的有機(jī)物質(zhì)或乳劑構(gòu)成。剝離層22中含有的粘結(jié)樹(shù)脂可以與生片10a所含的粘結(jié)樹(shù)脂相同，也可以不同，優(yōu)選相同。
作為用于剝離層22的增塑劑，沒(méi)有特別限制，例如可以列舉鄰苯二甲酸酯、鄰苯二甲酸二辛酯、己二酸、磷酸酯、乙二醇類等。剝離層22中含有的增塑劑與生片10a所含的增塑劑可以相同，也可以不同。
作為用于剝離層22的脫模劑，沒(méi)有特別限制，例如可以列舉石蠟、蠟、硅油等。剝離層22中含有的脫模劑與生片10a所含的脫模劑可以相同，也可以不同。
在剝離層22中，相對(duì)100質(zhì)量份的電介質(zhì)微粒，優(yōu)選含有2.5～200質(zhì)量份的粘合劑，進(jìn)一步優(yōu)選含5～30質(zhì)量份的粘合劑，特別優(yōu)選含8～30質(zhì)量份的粘合劑。
在剝離層22中，相對(duì)100質(zhì)量份的粘合劑，含有0～200質(zhì)量份的增塑劑，優(yōu)選含有20～200質(zhì)量份的增塑劑，進(jìn)一步優(yōu)選含有50～100質(zhì)量份的增塑劑。
在剝離層22中，相對(duì)100質(zhì)量份的粘合劑，含有0～100質(zhì)量份的剝離劑，優(yōu)選含2～50質(zhì)量份的剝離劑，進(jìn)一步優(yōu)選含5～20質(zhì)量份的剝離劑。
在載片30的表面上形成剝離層22后，如圖2(A)所示，在剝離層22的表面上，以規(guī)定的圖案形成燒結(jié)后構(gòu)成內(nèi)部電極層12的電極層12a。電極層12a的厚度優(yōu)選為0.1～2μm，更優(yōu)選為0.1～1.0μm左右。電極層12a可以由單層構(gòu)成，或者還可以由2個(gè)以上的組成的不同多層構(gòu)成。
利用使用電極糊劑的厚膜形成方法，在剝離層22的表面上形成電極層12a。按照以下過(guò)程，通過(guò)作為厚膜法之一的絲網(wǎng)印刷法或凹版印刷法，在剝離層22的表面上形成電極層12a。
首先，準(zhǔn)備電極糊劑。電極糊劑是對(duì)由各種導(dǎo)電金屬或合金構(gòu)成的導(dǎo)電材料或者燒結(jié)后成為上述導(dǎo)電材料的各種氧化物、有機(jī)化合物或樹(shù)脂酸鹽等以及有機(jī)載體而調(diào)制的。
作為制造電極糊劑時(shí)使用的導(dǎo)體材料，使用Ni或Ni合金，以及它們的混合物。這樣的導(dǎo)體材料是球狀、鱗片狀等，其形狀沒(méi)有特別限制，另外，還可以混合這些形狀的材料。另外，還可以使用導(dǎo)體材料的平均粒徑通常為0.1～2μm、優(yōu)選為0.2～1μm左右的材料。
有機(jī)載體是含有粘合劑以及溶劑的物質(zhì)。作為粘合劑，例如可以列舉乙基纖維素、丙烯酸樹(shù)脂、聚乙烯醇縮丁醛、聚乙烯乙縮醛、聚乙烯醇、聚烯烴、聚氨酯、聚苯乙烯或者它們的共聚物等，特別優(yōu)選聚乙烯醇縮丁醛等丁縮醛類。
在電極糊劑中，相對(duì)100質(zhì)量份的導(dǎo)體材料(金屬粉末)，優(yōu)選含有8～20質(zhì)量份的粘合劑。作為溶劑，例如可以使用萜品醇、丁基卡必醇、煤油等任一公知溶劑。溶劑含量相對(duì)全部糊劑優(yōu)選為20～55質(zhì)量％左右。
為了改善粘合性，優(yōu)選在電極糊劑中含有增塑劑。作為增塑劑，可以列舉鄰苯二甲酸丁芐酯(BBP)等鄰苯二甲酸酯、己二酸、磷酸酯、乙二醇類。在電極糊劑中，相對(duì)100質(zhì)量份的粘合劑，增塑劑優(yōu)選為10～300質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選為10～200質(zhì)量份。而且，如果增塑劑或粘合劑的添加量過(guò)大，存在電極層12a的強(qiáng)度顯著降低的傾向。另外，為了提高電極層12a的轉(zhuǎn)印性，優(yōu)選在電極糊劑中添加增塑劑和/或粘合劑，提高電極糊劑的粘合性和/或粘著性。
通過(guò)印刷法，在剝離層22的表面上形成規(guī)定圖案的電極糊劑層后，或者其之前，在沒(méi)有形成電極層12a的剝離層22的表面上形成與電極層12a厚度基本相同的空白圖案層24。
能夠利用使用空白圖案用糊劑的印刷法等厚膜形成方法，在剝離層22的表面上形成圖2(A)所示的空白圖案層24。當(dāng)利用作為厚膜法的之一的絲網(wǎng)印刷法，在剝離層22的表面上形成空白圖案層(圖2(A))時(shí)，按照如下過(guò)程進(jìn)行操作。
首先，準(zhǔn)備空白圖案用糊劑?？瞻讏D案用糊劑是由混合電介質(zhì)原料(陶瓷粉末)和有機(jī)載體而制得的有機(jī)溶劑類糊劑構(gòu)成的。
作為制造空白圖案用糊劑時(shí)使用的電介質(zhì)材料，使用與構(gòu)成生片10a的電解質(zhì)相同的電介質(zhì)微粒，且具有相同平均粒徑的電介質(zhì)進(jìn)行制造。在空白圖案用糊劑中，相對(duì)全部糊劑，含有30～50質(zhì)量份、進(jìn)一步優(yōu)選40～50質(zhì)量份比例的電介質(zhì)微粒(陶瓷粉末)。如果陶瓷粉末的含率過(guò)低，則糊劑粘度變小，印刷困難。另外，如果陶瓷粉末的含率過(guò)多，存在難以降低印刷厚度的傾向。
有機(jī)載體含有粘合劑以及溶劑。作為粘合劑，例如可以列舉乙基纖維素、丙烯酸樹(shù)脂、聚乙烯醇縮丁醛、聚乙烯乙縮醛、聚乙烯醇、聚烯烴或者它們的共聚物等，特別優(yōu)選聚乙烯醇縮丁醛等丁縮醛類。
該空白圖案用糊劑所含的丁縮醛類粘合劑的聚合度與形成生片10a的糊劑所含的粘合劑的聚合度相同或更高，優(yōu)選較高地設(shè)定上述丁縮醛類粘合劑的聚合度。當(dāng)例如作為生片用糊劑所含的粘合劑的聚乙烯醇縮丁醛的聚合度為1000～1700時(shí)，空白圖案用糊劑所含的粘合劑是具有1400以上，進(jìn)一步優(yōu)選1700以上，特別優(yōu)選2400以上的聚合度的聚乙烯醇縮丁醛或聚乙烯乙縮醛。其中，優(yōu)選具有2000或以上聚合度的聚乙烯乙縮醛。
當(dāng)空白圖案用糊劑的粘合劑是聚乙烯醇縮丁醛時(shí)，其丁縮醛化程度優(yōu)選范圍為64～74摩爾％。另外，當(dāng)為聚乙烯乙縮醛時(shí)，其乙縮醛化程度優(yōu)選為66～74摩爾％。
在空白圖案用糊劑中，相對(duì)100質(zhì)量份的電介質(zhì)材料，優(yōu)選含有3～10質(zhì)量份的粘合劑。進(jìn)一步優(yōu)選含有4～8質(zhì)量份。
對(duì)于溶劑，還可以使用萜品醇、丁基卡必醇、煤油等任一公知溶劑。該溶劑含量相對(duì)全部糊劑優(yōu)選為50～70質(zhì)量份。
另外，在空白圖案用糊劑中，還可以含有分散劑、增塑劑和/或粘著劑、抗靜電劑等各種添加劑。
作為分散劑，沒(méi)有特殊限制，例如可以使用酯類聚合物、羧酸等高分子材料，其含量相對(duì)100質(zhì)量份的陶瓷粉末，優(yōu)選為0.25～1.5質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選為0.5～1.0質(zhì)量份。
作為增塑劑，沒(méi)有特殊限制，例如，可以使用鄰苯二甲酸丁芐酯(BBP)等鄰苯二甲酸酯、己二酸、磷酸酯、乙二醇類等。其含量相對(duì)100質(zhì)量份的粘合劑優(yōu)選為10～200質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選為50～100質(zhì)量份。
作為抗靜電劑，沒(méi)有特殊限制，例如，可以使用咪唑啉類抗靜電劑等，其含量相對(duì)100質(zhì)量份的陶瓷粉末為0.1～0.75質(zhì)量份，進(jìn)一步優(yōu)選為0.25～0.5質(zhì)量份。
如圖2(A)所示，在電極層12a之間的空白圖案部位印刷該空白圖案用糊劑。之后，根據(jù)需要，使電極層12a以及空白圖案層12a干燥。干燥溫度沒(méi)有特別限制，優(yōu)選為70～120℃，干燥時(shí)間優(yōu)選為0.5～5分鐘。
(3)與上述載片20以及30不同，如圖2(A)所示，準(zhǔn)備在作為第3支承片的載片26的表面上形成有粘接層28而得到的粘接層轉(zhuǎn)印用薄片。載片26由與載片20以及30相同的薄片構(gòu)成。
粘接層28的組成除不含脫模劑以外，與剝離層22相同。即，粘接層28含有粘合劑和增塑劑。在粘接層28中，還可以含有與構(gòu)成生片10a的電介質(zhì)相同的電介質(zhì)微粒，當(dāng)形成厚度小于電介質(zhì)微粒的粒徑的粘接層時(shí)，最好不含電介質(zhì)微粒。另外，當(dāng)在粘接層28中含有電介質(zhì)微粒時(shí)，其電介質(zhì)微粒的粒徑優(yōu)選小于生片所含的電介質(zhì)微粒的粒徑。
在粘接層28中，相對(duì)100質(zhì)量份粘合劑，優(yōu)選含有0～200質(zhì)量份的增塑劑，進(jìn)一步優(yōu)選含有20～200質(zhì)量份，更進(jìn)一步優(yōu)選含有50～100質(zhì)量份。
粘接層28進(jìn)一步含有抗靜電劑，該抗靜電劑含有咪唑啉類表面活性劑中的1種，抗靜電劑的重量基準(zhǔn)添加量?jī)?yōu)選為粘合劑(有機(jī)高分子材料)的重量基準(zhǔn)添加量以下。即，在粘接層28中，相對(duì)100質(zhì)量份的粘合劑，優(yōu)選含有0～200質(zhì)量份的抗靜電劑、進(jìn)一步優(yōu)選含有20～200質(zhì)量份、更優(yōu)選含有50～100質(zhì)量份。
粘接層28的厚度優(yōu)選為0.02～0.3μm左右，而且優(yōu)選比生片所含的電介質(zhì)微粒的平均粒徑更薄。另外，粘接層28的厚度優(yōu)選為生片10a的厚度的1/10以下。
如果粘接層28的厚度太薄，則粘合力下降，如果太厚，取決于該粘接層的厚度，燒結(jié)后的元件本身內(nèi)部容易出現(xiàn)縫隙，存在著與體積相應(yīng)的靜電容量明顯下降的傾向。
在作為第3支承片的載片26的表面上，通過(guò)例如棒涂敷法、模涂敷法、反向涂料法、浸涂法、輕觸涂敷法等方法形成粘接層28，根據(jù)需要使之干燥。干燥溫度沒(méi)有特別限制，優(yōu)選為室溫～80℃，干燥時(shí)間優(yōu)選為1～5分鐘。
(4)為了在圖2(A)所示的電極層12a以及空白圖案層24的表面上形成粘接層，本實(shí)施方式采用轉(zhuǎn)印法。即，如圖2(B)所示，在電極層12a以及空白圖案層24的表面壓合載片26的粘接層28，進(jìn)行加熱加壓，然后剝離載片26，如圖2(C)所示，將粘接層28轉(zhuǎn)印在電極層12a以及空白圖案層24的表面上。另外，粘接層28的轉(zhuǎn)印還可以針對(duì)圖3(A)所示的生片10a的表面進(jìn)行。
轉(zhuǎn)印時(shí)的加熱溫度優(yōu)選為40～100℃，另外，壓力優(yōu)選為0.2～15MPa。加壓可以是利用壓力機(jī)的加壓，也可以是利用壓軋輥的加壓，優(yōu)選利用一對(duì)輥進(jìn)行加壓。
然后，在圖3(A)所示的載片30的表面上形成的載片10a的表面上粘接電極層12a。因此，如圖3(B)所示，通過(guò)粘接層28，在載片10a的表面上，與載片20一起壓合載片20的電極層12a以及空白圖案層24，進(jìn)行加熱加壓，如圖3(C)所示，將電極層12a以及空白圖案層24轉(zhuǎn)印至生片10a的表面。但是，如果剝離載片側(cè)的載片30，從載片10a側(cè)觀察，則生載片10a是通過(guò)粘接層28被轉(zhuǎn)印至電極層12a以及空白圖案層24上。
該轉(zhuǎn)印時(shí)的加熱以及加壓可以是利用壓機(jī)的加壓·加熱，也可以是利用壓軋輥的加壓加熱，優(yōu)選利用一對(duì)輥進(jìn)行加壓加熱。加熱溫度以及加壓力與轉(zhuǎn)印粘接層28時(shí)相同。
利用圖2(A)～圖3(C)的工序，在單一的生片10a上形成單層的規(guī)定圖案的電極層12a。多次層疊形成電極層12a的生片10a，直到達(dá)到必需的層數(shù)，從而形成層疊體。
(5)然后，將層疊體切割成規(guī)定尺寸，形成生芯片。對(duì)該生芯片，進(jìn)行脫粘合劑處理、燒結(jié)處理，而且，為了再次氧化電介質(zhì)層而進(jìn)行熱處理。
可以在普通條件下進(jìn)行脫粘合劑處理，當(dāng)將Ni或Ni合金等賤金屬用于內(nèi)部電極層的導(dǎo)電材料時(shí)，特別優(yōu)選在下述條件下進(jìn)行處理。
升溫速度5～300℃/小時(shí)，保持溫度200～400℃保持時(shí)間0.5～20小時(shí)，氣氛加濕的N2與H2的混合氣體。
燒結(jié)條件優(yōu)選為下述條件。
升溫速度50～500℃/小時(shí)，保持溫度1100～1300℃，保持時(shí)間0.5～8小時(shí)，冷卻溫度50～500℃/小時(shí)，氣氛氣體加濕的N2與H2的混合氣體等。
其中，優(yōu)選在燒結(jié)時(shí)的空氣氣氛中的氧分壓為10-2Pa以下，特別為10-2～10-8Pa的條件下進(jìn)行處理。如果超過(guò)上述范圍，存在內(nèi)部電極層氧化的傾向，另外，如果氧分壓過(guò)低，內(nèi)部電極層的電極材料引起異常燒結(jié)，存在損壞的傾向。
優(yōu)選使保持溫度或最高溫度為1000℃以上，進(jìn)一步優(yōu)選為1000～1100℃而進(jìn)行燒結(jié)后的熱處理。如果熱處理時(shí)的保持溫度或最高溫度低于上述范圍，電介質(zhì)材料的氧化不充分，因而存在絕緣電阻壽命縮短的傾向，如果超過(guò)上述范圍，內(nèi)部電極的Ni氧化，不僅容量降低，而且與電介質(zhì)基材反應(yīng)，存在壽命縮短的傾向。熱處理時(shí)的氧氣分壓是高于燒結(jié)時(shí)的還原氣氛的氧氣分壓，優(yōu)選為10-8Pa～1Pa，更優(yōu)選為10-2Pa～1Pa。如果低于上述范圍，電介質(zhì)層10的二次氧化困難，如果超過(guò)上述范圍，存在內(nèi)部電極層12氧化的傾向。
例如通過(guò)滾筒研磨、噴砂清理，對(duì)這樣制得的燒結(jié)體(元件本體4)進(jìn)行端面研磨，燒結(jié)端子電極用糊劑，形成端子電極6，8。端子電極用糊劑的燒結(jié)條件優(yōu)選例如為在加濕的N2與H2的混合氣體中，在600～800℃下，處理10分鐘～1小時(shí)左右。并且，根據(jù)需要，通過(guò)在端子電極6，8上進(jìn)行鍍敷等形成緩沖層。而且，還可以按與上述電極糊劑同樣的方式制造端子電極用糊劑。
利用釬焊等，將這樣制造的本發(fā)明的疊層陶瓷電容器安裝在印刷基板上等，并用于各種電子設(shè)備等。
印刷干燥方法以及印刷干燥裝置在上述的疊層陶瓷電容器2的制造方法中，當(dāng)以規(guī)定的圖案，利用印刷法，在圖2(A)所示作為支承片的載體20的剝離層22的表面上形成電極層12a時(shí)，使用本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的圖4所示的印刷干燥裝置40。
印刷干燥裝置40具有印刷區(qū)域42和干燥區(qū)域44。在印刷區(qū)域42與干燥區(qū)域44之間形成第1緩沖區(qū)域58。作為支承片的載片20在掛在印刷區(qū)域42與干燥區(qū)域44之間的方式延伸。即，由供給輥46供給的載片20最終被卷繞在卷取輥72上。
在印刷區(qū)域42中，由供給輥46供給的薄片20通過(guò)輥47～50輸送至絲網(wǎng)印刷機(jī)(印刷機(jī)構(gòu))52。通過(guò)絲網(wǎng)印刷機(jī)52，在薄片20的表面的生片或剝離層上絲網(wǎng)印刷出電極層12a。另外，如圖2(A)所示，在薄片20的表面事先形成剝離層22。
接著，利用印刷機(jī)52絲網(wǎng)印刷有電極層12的薄片20輸送至檢查部位，然后，通過(guò)輥56，輸送至第1緩沖區(qū)域58。輥56例如是吸引輥，能夠通過(guò)抽真空而吸附薄片20的背面。輥56交替反復(fù)地控制旋轉(zhuǎn)與停止，在利用印刷機(jī)52進(jìn)行印刷過(guò)程中，輥56停止，輥49起到松緊調(diào)節(jié)輥的作用，在印刷時(shí)，沿著長(zhǎng)度方向，向薄片20施加第1張力F1。
第1張力F1是印刷期間不會(huì)使薄片20留下皺痕等的張力，具體地優(yōu)選為薄片20每單位寬度0.28～0.83N/cm。薄片20的寬度是與薄片長(zhǎng)度方向正交的方向，在圖4中是與紙面垂直的方向。
起到吸引輥?zhàn)饔玫妮?6和起到松緊調(diào)節(jié)輥?zhàn)饔玫妮?9相當(dāng)于第1張力施加機(jī)構(gòu)。另外，輥56還相當(dāng)于第1輸送機(jī)構(gòu)。
印刷結(jié)束，旋轉(zhuǎn)輥56，在分級(jí)進(jìn)給方向的Di方向上，在印刷機(jī)52的長(zhǎng)度范圍內(nèi)，分級(jí)進(jìn)給薄片20。利用輥56分級(jí)進(jìn)給的薄片20在緩沖部位58松弛，在輥56以及60之間折回下垂。
在干燥區(qū)域44內(nèi)，設(shè)置干燥室62。在干燥室62內(nèi)安裝省略圖示的干燥用加熱機(jī)構(gòu)。作為干燥用加熱機(jī)構(gòu)，沒(méi)有特別限制，可以列舉陶瓷加熱器、干燥用熱鼓風(fēng)裝置等，使干燥室的內(nèi)部保持在規(guī)定的干燥溫度。干燥室62內(nèi)部的干燥溫度優(yōu)選為70～100℃。
在本實(shí)施方式中，薄片20是由拉伸成型的PET薄膜構(gòu)成，其玻璃化轉(zhuǎn)移溫度Tg約為78℃。與該玻璃化轉(zhuǎn)移溫度Tg相關(guān)的干燥溫度優(yōu)選為{Tg-8}℃～{Tg+22}℃的溫度。
之后，在干燥室62內(nèi)部干燥的帶有電極層12a的薄片20通過(guò)EPC檢測(cè)部64以及EPC驅(qū)動(dòng)輥66，然后，經(jīng)過(guò)輥67～70卷繞至卷取輥72。當(dāng)卷繞至卷取輥72時(shí)，卷取薄片20，使電極層12a位于外側(cè)。
EPC的檢測(cè)部位64檢測(cè)薄片20的蛇行狀態(tài)，基于其檢測(cè)結(jié)果，EPC驅(qū)動(dòng)輥66修正薄片20的蛇行。輥67檢測(cè)在干燥區(qū)域44內(nèi)作用于薄片20的長(zhǎng)度方向的第2張力F2。檢測(cè)的結(jié)果傳送至省略圖示的控制機(jī)構(gòu)，基于該檢測(cè)信號(hào)，控制卷取輥72的旋轉(zhuǎn)，使作用于薄片20的第2張力的F2保持恒定。而且，輥70起到松緊調(diào)節(jié)輥的作用，具有使輥70水平移動(dòng)、使卷繞部位的接觸角維持恒定的功能。
在本實(shí)施方式中，輥60起到吸引輥的作用，從背面吸引薄片20而防止滑動(dòng)。輥60與輥72起到第2張力施加機(jī)構(gòu)的作用。另外，輥67起到第2張力檢測(cè)機(jī)構(gòu)的作用。卷取輥72與輥60同步旋轉(zhuǎn)，通過(guò)控制其旋轉(zhuǎn)，在干燥區(qū)域44內(nèi)，在施加恒定的第2張力F2的狀態(tài)下，薄片20連續(xù)地被輸送至連續(xù)輸送方向Dc而不發(fā)生停止。
將第2張力設(shè)定成能夠防止通過(guò)干燥區(qū)域，特別是通過(guò)干燥室62內(nèi)部的薄片20沿長(zhǎng)度方向的收縮。根據(jù)薄片20的組成、薄片20的寬度、干燥室62內(nèi)部的干燥溫度等，改變能夠抑制薄片20熱變形的最合適的第2張力。在本實(shí)施方式中，單位寬度的第2張力F2優(yōu)選為0.16～1.22N/cm。
如果該第2張力F2過(guò)小，則本發(fā)明的作用效果小。如果該第2張力F2過(guò)大，存在該第2張力F2導(dǎo)致薄片20發(fā)生熱變形，增大印刷圖案位置偏移的傾向。因而優(yōu)選上述范圍。
在本實(shí)施方式中，通過(guò)輥67檢測(cè)實(shí)際作用的第2張力F2，控制輥72，控制張力F2，使該張力F2在上述數(shù)值范圍內(nèi)保持恒定。因此，能夠有效地抑制薄片20的熱變形。
印刷區(qū)域42的分級(jí)進(jìn)給方向Di與干燥區(qū)域44的連續(xù)輸送方向Dc是同一方向，在印刷區(qū)域42中分級(jí)進(jìn)給，在干燥區(qū)域44中連續(xù)輸送。因此在這些區(qū)域之間具有第1緩沖區(qū)域58。通過(guò)設(shè)置第1緩沖區(qū)域58，能夠連續(xù)地進(jìn)行印刷和干燥，提高作業(yè)效率。
如圖5所示，在干燥室62內(nèi)部設(shè)置作為導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的皮帶輸送帶82。由于干燥室62的內(nèi)部沿著輸送方向較長(zhǎng)，因此，如果沒(méi)有輸送帶82，即使存在第2張力F2，薄片20也會(huì)松弛，不能夠良好地沿前進(jìn)方向輸送。
但是，本實(shí)施方式在干燥室62內(nèi)部并不是在干燥室62的輸送方向的整個(gè)長(zhǎng)度內(nèi)設(shè)置輸送帶82，而是在從干燥室62的入口62至輸送方向Dc的規(guī)定范圍的長(zhǎng)度L1內(nèi)，固定設(shè)置金屬板84，從下方支撐薄片20，從而使其在前進(jìn)方向Dc上滑動(dòng)。
作為金屬板84的材料，沒(méi)有特別限制，優(yōu)選列舉鋁、鐵、不銹鋼等。優(yōu)選研磨金屬板84的表面而使滑動(dòng)特性變好?；蛘撸€可以利用氟樹(shù)脂等添加襯里而提高滑動(dòng)特性。金屬板84的寬度沒(méi)有特別限制，優(yōu)選比薄片20的寬度更大。金屬板84的輸送方向的長(zhǎng)度與長(zhǎng)度L1相等。
規(guī)定范圍的長(zhǎng)度L1優(yōu)選為1.8～2.5m。如果該長(zhǎng)度太小，則當(dāng)電極層12a的厚度薄時(shí)，存在容易產(chǎn)生印刷圖案的干燥不均勻的傾向，如果太長(zhǎng)，在金屬板84上，與薄片20的摩擦變得過(guò)大，存在阻礙薄片20輸送的傾向。
雖然在規(guī)定范圍的長(zhǎng)度L1內(nèi)配置金屬板84，能夠防止干燥不均勻的原因還未必清楚，但是可以認(rèn)為在該范圍長(zhǎng)度L1內(nèi)，電極層12a干燥了一半，如果在該范圍內(nèi)皮帶輸送帶82與薄片20接觸，就會(huì)使干燥變得不均勻。與此相對(duì)，可以認(rèn)為通過(guò)與金屬板84的接觸，能夠抑制干燥不均勻。通過(guò)本發(fā)明者的實(shí)驗(yàn)證實(shí)了上述事實(shí)。
干燥室62的輸送方向的全長(zhǎng)沒(méi)有特別限制，一般為范圍長(zhǎng)度L1的1～5倍左右的長(zhǎng)度，具體地為4～8m。薄片20的輸送速度優(yōu)選為3～12m/分，薄片20通過(guò)干燥室62內(nèi)部的時(shí)間為0.3分～4分左右。
當(dāng)在干燥室62的輸送方向的全長(zhǎng)范圍內(nèi)設(shè)置皮帶輸送帶82時(shí)，作為簡(jiǎn)便的方法，在長(zhǎng)度L1的范圍內(nèi)，還可以在輸送帶82上插入金屬板84，將金屬板84相對(duì)干燥室62固定而使其不與輸送帶82相對(duì)移動(dòng)。在該情況下，在從入口62a至長(zhǎng)度L1的范圍內(nèi)，薄片20的背面也不會(huì)與輸送帶82接觸。
通過(guò)本實(shí)施方式的印刷干燥方法以及印刷干燥裝置40，在印刷區(qū)域42與干燥區(qū)域44的兩個(gè)區(qū)域內(nèi)架設(shè)有薄片20。因此，能夠在薄片20上連續(xù)地進(jìn)行印刷和干燥，其作業(yè)效率優(yōu)異。
另外，第1張力F1與第2張力F2是通過(guò)不同的張力施加機(jī)構(gòu)進(jìn)行施加的，第2張力F2是沿著薄片20的長(zhǎng)度方向施加的、能夠防止通過(guò)干燥室62的薄片20長(zhǎng)度方向收縮的張力。因此，在干燥室62內(nèi)，即使加熱薄片20，也能夠抑制薄片20沿長(zhǎng)度收縮。結(jié)果難以產(chǎn)生在薄片20上印刷的電極層12a的印刷圖案干燥后的位置偏移。
因此，在薄片20上，如圖2(A)所示，當(dāng)利用印刷法在最初印刷的電極層12a的印刷圖案上形成作為其他印刷圖案的空白圖案層24的情況下，難以產(chǎn)生圖案之間的位置偏移。
因此，通過(guò)利用本發(fā)明的印刷干燥方法，在薄片20的表面上形成電極層12a的圖案或空白圖案層24，制造圖1所示的疊層陶瓷電容器，從而能夠容易地制造小型化或薄層化得到增進(jìn)的疊層陶瓷電容器2。即，即使進(jìn)行小型化或薄層化，也難以產(chǎn)生內(nèi)部電極層和/或空白圖案層的層疊錯(cuò)位，能夠抑制薄片間的分層或?qū)盈B體的變形等，抑制靜電容量等特性離散。另外，在本實(shí)施方式中，能夠連續(xù)地進(jìn)行印刷和干燥，能夠提高疊層陶瓷電容器的制造成品率。
(第2實(shí)施方式)在該實(shí)施方式中，如圖6所示。在干燥室62內(nèi)部，在從入口62a至規(guī)定范圍的長(zhǎng)度L1上，配置輥輸送器80來(lái)替代金屬板84。輥輸送器80與皮帶輸送帶82相比，相對(duì)薄片20的接觸少，難以發(fā)生干燥不均勻。通過(guò)本發(fā)明者的實(shí)驗(yàn)證實(shí)了上述事實(shí)。其他結(jié)構(gòu)以及作用效果與實(shí)施方式1相同。
(第3實(shí)施方式)另外，本發(fā)明還可以按照如圖7所示那樣構(gòu)成。在該實(shí)施方式中，在干燥室62內(nèi)部，在薄片20的下方沿著長(zhǎng)度方向設(shè)置輥輸送器80來(lái)替代皮帶輸送帶82，從而引導(dǎo)薄片20沿著連續(xù)輸送方向Dc輸送。
尤其在本實(shí)施方式中，干燥室62內(nèi)部并不是所有的輥輸送器80與薄片20的背面接觸。在從干燥室62的入口62a至輸送方向Dc的規(guī)定范圍長(zhǎng)度L1上，使輥輸送器80比其他輥輸送器80低一級(jí)，從而使其不與薄片20接觸?；蛘撸€可以在該范圍長(zhǎng)度L1內(nèi)完全不存在輥輸送器80。該實(shí)施方式能夠進(jìn)一步抑制干燥不均。其他的結(jié)構(gòu)以及作用效果與第1實(shí)施方式1相同。
(第4實(shí)施方式)另外，如圖8所示，本發(fā)明在干燥區(qū)域44與卷取區(qū)域100之間設(shè)置第2緩沖區(qū)域90。通過(guò)設(shè)置該第2緩沖區(qū)域90，能夠在上述卷取區(qū)域100內(nèi)施加與干燥區(qū)域44內(nèi)施加于上述支承片20的第2張力不同的第3張力F3。
在伺服輥91與吸引輥92之間形成第2緩沖區(qū)域90，在它們之間利用吸引裝置吸引支承片20而使其懸掛在下方。伺服輥91通過(guò)弱力而空運(yùn)轉(zhuǎn)，使第2張力保持恒定，通過(guò)第2緩沖區(qū)域90的存在，在干燥區(qū)域44內(nèi)阻斷施加于支承片20的第2張力F2。
在粘附輥93以及輥94上，輸送通過(guò)吸引輥92的支承片20，除去粘附在支承片20的背面的垃圾等。另外，在粘附輥93以及輥94上方，設(shè)置除靜電裝置98，從而向支承片的表面鼓入除靜電氣體。
通過(guò)除靜電裝置98的支承片20經(jīng)過(guò)張力拾取用輥(第3張力檢測(cè)機(jī)構(gòu))95，在此檢測(cè)在支承片20輸送方向上作用的第3張力F3，為了使第3張力F3維持在規(guī)定范圍內(nèi)，向卷取輥72的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置傳送控制信號(hào)。通過(guò)卷取輥72的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置控制卷取輥72的旋轉(zhuǎn)以使第3張力F3維持在規(guī)定范圍內(nèi)。
在輥95與卷取輥72之間，設(shè)置輥96以及66，通過(guò)那些輥，將支承片20卷繞在卷取輥72上。輥66是EPC驅(qū)動(dòng)輥，通過(guò)EPC檢測(cè)部64檢測(cè)薄片20的蛇行狀態(tài)，基于該檢測(cè)結(jié)果，輥66修正薄片20的蛇行。
當(dāng)在卷取區(qū)域100施加于支承片的第3張力F3與在干燥區(qū)域44施加的第2張力F2相同時(shí)，張力相比過(guò)低，當(dāng)利用卷取輥72卷繞支承片20時(shí)，容易產(chǎn)生散卷或滑卷等。在卷取區(qū)域100內(nèi)施加與干燥區(qū)域44內(nèi)施加于支承片20的第2張力F2不同的第3張力F3，因而在利用卷取輥72卷繞支承片20時(shí)，不會(huì)發(fā)生散卷或滑卷等。
在該實(shí)施方式中，支承片20單位寬度上的第3張力F3沿著支承片20的長(zhǎng)度方向?yàn)?.5～0.8N/cm。當(dāng)在這樣的張力范圍內(nèi)的情況下，在利用卷取輥72卷繞支承片20時(shí)，能夠防止散卷或滑卷等。
另外，在該實(shí)施方式中，如圖9的曲線G1所示，控制支承片20單位寬度的第3張力F3，使其大致保持恒定而不隨著卷取輥72的卷繞外徑(圖表中為卷繞距離)變化。通過(guò)進(jìn)行這樣的控制，能夠防止散卷或滑卷等，而不用考慮卷取輥的卷繞外徑。
本實(shí)施方式的其他結(jié)構(gòu)以及作用效果與第1實(shí)施方式相同。而且，在圖9中，曲線G2是表示不設(shè)置圖8所示的緩沖區(qū)域90，而且沒(méi)有利用張力拾取輥95以及卷取輥72控制張力維持穩(wěn)定的情況下的第3張力F3(＝F2)的變化曲線。另外，在圖9中，曲線G3是將曲線G2的初始張力設(shè)定得較高時(shí)的曲線。
而且，本發(fā)明并不限于上述實(shí)施方式，可以在本發(fā)明范圍內(nèi)進(jìn)行各種改變。例如，本發(fā)明的方法還能夠適用為其他層疊型電子部件的制造方法，而不僅限于層疊陶瓷電容器的制造方法。
(實(shí)施例)下面，根據(jù)詳細(xì)的實(shí)施例，進(jìn)一步描述本發(fā)明，但是本發(fā)明并不受這些實(shí)施例的限制。
實(shí)施例1相對(duì)100質(zhì)量份的平均粒徑0.2μm的Ni粒子，添加20重量份的BaTiO3粉末(BT-01/堺化學(xué)工業(yè)(株式))、58質(zhì)量份的有機(jī)載體(將8質(zhì)量份的聚乙烯醇縮丁醛樹(shù)脂溶解于92質(zhì)量份的萜品醇而制成)、50質(zhì)量份的作為增塑劑的鄰苯二甲酸二(2-庚基己酯)DOP、5質(zhì)量份的萜品醇、1重量份的分散劑、45重量份的丙酮，利用3根輥進(jìn)行混合，進(jìn)行漿液化后，形成內(nèi)部電極用糊劑。
用于該電極用糊劑以及圖4所示的印刷干燥裝置40的印刷機(jī)，在作為支承片的載片20的表面上，印刷電極層12a的圖案，使之干燥。
作為載片20，使用リンテツク(株式)公司制造的硅樹(shù)脂處理或者醇酸處理的拉伸成型PET薄膜。該薄片20的寬度為150mm，厚度為38μm。
干燥后，電極層12a的厚度為1μm，各圖案的平面尺寸是1.839×8.004mm長(zhǎng)方形，圖案相互的間距為0.638mm。
印刷區(qū)域42的第1張力為8N/150mm(0.53N/cm)，干燥區(qū)域44內(nèi)的第2張力(一次印刷)為5.9N/150mm(0.39N/cm)。在干燥區(qū)域44內(nèi)，薄片20，以5.9/min的速度，沿著輸送方向Dc連續(xù)輸送，干燥室62的內(nèi)部的干燥溫度為75℃，薄片20通過(guò)干燥室62的干燥時(shí)間為1.5分。
接著或預(yù)先準(zhǔn)備形成空白用圖案的空白用糊劑。作為空白用糊劑所含的陶瓷粉末以及副成分添加物，準(zhǔn)備與用于生片用糊劑的物質(zhì)相同的物質(zhì)，并使其達(dá)到相同的配合比。
作為陶瓷粉體的初始原料，使用BaTiO3粉體(BT-02/堺化學(xué)工業(yè)(株式))。準(zhǔn)備陶瓷粉體副成分添加物，并相對(duì)100質(zhì)量份的該BaTiO3粉體，使(Ba0.6Ca0.4)SiO3為1.48質(zhì)量份，Y2O3為1.01質(zhì)量份、MgCO3為0.72質(zhì)量％、Cr2O3為0.13質(zhì)量％以及V2O6為0.045質(zhì)量％。
向陶瓷粉末以及副產(chǎn)物添加物(150g)中，添加酯類聚合物分散劑(1.5g)、萜品醇(5g)、丙酮(60g)、作為增塑劑的鄰苯二甲酸二辛酯(5g)，混合4小時(shí)。接著，向該混合液添加120g積水化學(xué)社生產(chǎn)的BH6(聚合度1450，丁縮醛化度69摩爾％±3％的聚乙烯醇縮丁醛樹(shù)脂)的8％涂漆(相對(duì)涂漆總量，聚乙烯醇縮丁醛為8質(zhì)量％，萜品醇為92質(zhì)量％)并混合16小時(shí)。然后，除去剩余溶劑丙酮，添加40～100g萜品醇用于粘度調(diào)節(jié)，制成空白用糊劑。
接著，將該空白用糊劑用于圖4所示的印刷干燥裝置40的印刷機(jī)，在形成上述電極圖案層的載片20的表面上，印刷空白圖案層24，使之干燥(二次印刷)。
空白圖案層24的厚度與電極層12a的厚度相同，空白圖案層24的圖案是與電極層12a形成互補(bǔ)的圖案。
二次印刷的印刷區(qū)域42的第1張力與一次印刷相同，干燥區(qū)域44內(nèi)的第2張力(二次印刷)與一次印刷相同。除了干燥溫度為90℃以外，二次印刷的其他條件與一次印刷相同。
測(cè)定干燥后的電極層12a和干燥后的空白圖案層24的圖案錯(cuò)位(輸送方向L)，如表1所示，最大為-15.8μm，可確認(rèn)錯(cuò)位少。另外，測(cè)定干燥后的電極層12a與干燥后的空白圖案層24中的與輸送方向正交的寬度方向W上的圖案錯(cuò)位，結(jié)果為-12.0μm，可確認(rèn)錯(cuò)位少。
而且，干燥后的電極層12a與干燥后的空白圖案層24的圖案錯(cuò)位(最大重疊錯(cuò)位)表示一次印刷與二次印刷的圖案錯(cuò)位，這等于一次印刷相對(duì)于設(shè)計(jì)圖案的錯(cuò)位。
另外，測(cè)定相對(duì)于設(shè)計(jì)圖案的干燥后空白圖案層(二次印刷)24的圖案錯(cuò)位(輸送方向L)，如表1所示，最大為9.2μm，可確認(rèn)錯(cuò)位少。另外，測(cè)定相對(duì)于設(shè)計(jì)尺寸的干燥后空白圖案層24中與輸送方向正交的寬度方向W的圖案錯(cuò)位，錯(cuò)位2.7μm，可確認(rèn)錯(cuò)位少。
而且，相對(duì)于設(shè)計(jì)尺寸的干燥后空白圖案層24的圖案錯(cuò)位(最大尺寸錯(cuò)位)表示圖案精度，這意味最終的尺寸錯(cuò)位。
表1干燥溫度75℃，干燥溫度90℃

生片用糊劑接著或預(yù)先制備生片用糊劑。即，作為陶瓷粉體的初始原料，使用BaTiO3粉體(BT-02/堺化學(xué)工業(yè)(株式))。準(zhǔn)備陶瓷粉體副成分添加物，并相對(duì)100質(zhì)量份的該BaTiO3粉體，使(Ba0.6Ca0.4)SiO3為1.48質(zhì)量份，Y2O3為1.01質(zhì)量份、MgCO3為0.72質(zhì)量％、Cr2O3為0.13質(zhì)量％以及V2O5為0.045質(zhì)量％。
首先，利用球磨機(jī)，只混合副成分添加物，進(jìn)行漿液化。即，利用球磨機(jī)，對(duì)副成分添加物(總量8.8g)和乙醇/正丙醇＝1∶1的溶劑(16g)進(jìn)行20小時(shí)的預(yù)粉碎。接著，相對(duì)191.2gBaTiO3，添加副成分添加物的預(yù)粉碎漿液、38g乙醇、38g正丙醇、28g二甲苯、14g溶劑水、6g作為增塑劑成分的DOP(鄰苯二甲酸二辛酯)、1.4g作為分散劑的聚乙二醇類非離子分散劑(HLB＝5～6)，通過(guò)球磨機(jī)，混合4小時(shí)。另外，使用聚乙二醇和脂肪酸酯的嵌段聚合物作為分散劑用聚乙二醇類非離子分散劑(HLB＝5～6)。
接著，在該分散糊劑中，添加固體成分6質(zhì)量％的積水化學(xué)社生產(chǎn)的BH6(聚乙烯醇縮丁醛樹(shù)脂/PVB)的15％涂漆(以乙醇/正丙醇＝1∶1溶解積水化學(xué)公司生產(chǎn)BH6)(涂漆添加量80g)。然后，通過(guò)16小時(shí)的球磨，形成陶瓷糊劑(生片用糊劑)。
作為粘合劑樹(shù)脂的聚乙烯醇縮丁醛樹(shù)脂的聚合度為1400，其丁縮醛化度為69％±3％，殘留乙?；繛?±2％。在陶瓷糊劑中，相對(duì)于100質(zhì)量份的陶瓷粉體(包括陶瓷粉體副成分添加物)，含有6質(zhì)量份的上述粘合劑樹(shù)脂。另外，當(dāng)陶瓷糊劑中的陶瓷粉體、粘合劑樹(shù)脂、增塑劑的總體積為100體積％時(shí)，陶瓷粉末所占的體積比例是67.31體積％。另外，該糊劑整體中的陶瓷粉末的質(zhì)量比例為49質(zhì)量％。
另外，相對(duì)100質(zhì)量份的粘合劑樹(shù)脂，在陶瓷糊劑中含有50質(zhì)量份作為增塑劑的DOP。相對(duì)100質(zhì)量份的陶瓷粉末，含有2質(zhì)量份的水。相對(duì)100質(zhì)量份的陶瓷粉末，含有0.7質(zhì)量份的作為分散劑的聚乙二醇類非離子分散劑。
另外，在糊劑中，相對(duì)100質(zhì)量份的陶瓷粉末，添加5質(zhì)量份的烴類溶劑、工業(yè)用汽油、煤油、溶劑汽油中的至少一種溶劑油。此外，在糊劑中，作為溶劑，含有醇類溶劑和芳香族類溶劑，以醇類溶劑和芳香族類溶劑的總質(zhì)量作為100質(zhì)量份，含有15質(zhì)量份的作為芳香族類溶劑的甲苯。
利用線棒涂敷機(jī)，在圖3(A)所示的支持薄膜PET膜上，涂敷1μm厚的如上制得的糊劑，進(jìn)行干燥，制作生片10a。涂敷速度為4m/min，干燥條件干燥爐內(nèi)溫度為60℃～70℃，干燥時(shí)間為2分鐘。
剝離層用糊劑除了使上述生片用糊劑中的BaTiO3為BT-01以外，與生片用糊劑同樣地制造糊劑，利用乙醇∶丙醇∶二甲苯(42.5∶42.5∶15)的混合溶劑，將該糊劑稀釋5倍，將所得稀釋糊劑作為剝離用糊劑。
粘接層用糊劑使用有機(jī)載體作為粘接層用糊劑。具體地，相對(duì)100質(zhì)量份的聚乙烯醇縮丁醛樹(shù)脂，將50質(zhì)量份的作為增塑劑的鄰苯二甲酸二(2-庚基己酯)DOP與900質(zhì)量份的MEK的混合溶液進(jìn)一步稀釋10倍，作為粘接層用糊劑。
生片的形成、粘接層以及電極層的轉(zhuǎn)印首先，使用上述電介質(zhì)生片用糊劑，并利用線棒涂敷器，在PET薄膜(第2支承片)上，形成厚1μm的生片。接著，為了在另一PET薄膜(第1支承片)上形成剝離層，利用線棒涂敷器涂敷干燥上述剝離層用糊劑，形成0.2μm的剝離層。
如上述那樣，在剝離層的表面形成電極層12a以及空白圖案層24。
另外，在另一PET薄膜(第3支承片)上，形成粘接層28。使用上述粘合劑層用糊劑，并利用線棒涂料器，形成厚度0.1μm的粘接層28。
首先，在電極層12a以及空白圖案層24的表面上，利用圖2所示方法轉(zhuǎn)印粘接層28。在轉(zhuǎn)印時(shí)，使用一對(duì)輥，其加壓力為1MPa，溫度為80℃，可確認(rèn)能良好地進(jìn)行轉(zhuǎn)印。
下面，利用圖3所示的方法，通過(guò)粘接層28，在生片10a的表面粘接(轉(zhuǎn)印)內(nèi)部電極層12a以及空白圖案層24。在轉(zhuǎn)印時(shí)，使用一對(duì)輥，其加壓力為1MPa，溫度為80℃，可確認(rèn)能良好地進(jìn)行轉(zhuǎn)印。
疊層體芯片的評(píng)價(jià)接著，依次層疊內(nèi)部電極層12a以及生片10a，最終進(jìn)行100層內(nèi)部電極層12a(空白圖案層24)的層疊。然后，按照設(shè)計(jì)尺寸，將層疊體切割成每個(gè)元件。觀察該切割的疊層體芯片的剖面，在實(shí)施例1中，如圖表1所示，在內(nèi)部電極層12a的端部，沒(méi)有發(fā)生彎曲，而且也沒(méi)有切割不良。在表1中，將沒(méi)有發(fā)生彎曲的情況記作○，將發(fā)生彎曲的情況記作×。另外，關(guān)于切割不良，將沒(méi)有切割不良的情況記作○，將切割不良的情況記作×。
而且，所謂彎曲，是內(nèi)部電極層12a的端部彎曲，并在層疊方向上與相鄰的其他內(nèi)部電極層12a連接，從而導(dǎo)致短路的現(xiàn)象。另外，所謂切割不良，是圖案的偏移導(dǎo)致繪制的界限沒(méi)有合適的切割位置，在不恰當(dāng)?shù)奈恢眠M(jìn)行了切割，原來(lái)并不暴露的電極邊緣暴露在疊層體芯片的邊緣的現(xiàn)象，這也導(dǎo)致短路。
在該實(shí)施例1中，印刷干燥內(nèi)部電極層12a作為一次印刷，然后，印刷干燥空白圖案層24，但是，可以推測(cè)即使順序顛倒，也能夠獲得相同的結(jié)果。
比較例1除了使一次印刷以及二次印刷的第2張力F2為0以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行電極層12a以及空白圖案層24的印刷以及干燥，并進(jìn)行與實(shí)施例1同樣的評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表1。
實(shí)施例2除了使一次印刷以及二次印刷的第2張力F2為10.0N/150mm(0.67N/cm)以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行電極層12a以及空白圖案層24的印刷以及干燥，并進(jìn)行與實(shí)施例1同樣的評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表1。
實(shí)施例3除了使一次印刷以及二次印刷的第2張力F2為18.3N/150mm(1.22N/cm)以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行電極層12a以及空白圖案層24的印刷以及干燥，并進(jìn)行與實(shí)施例1同樣的評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表1。
參考例1除了使一次印刷以及二次印刷的第2張力F2為26.5N/150mm(1.77N/cm)以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行電極層12a以及空白圖案層24的印刷以及干燥，并進(jìn)行與實(shí)施例1同樣的評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表1。
參考例2除了使一次印刷以及二次印刷的第2張力F2為35.0N/150mm(2.33N/cm)以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行電極層12a以及空白圖案層24的印刷以及干燥，并進(jìn)行與實(shí)施例1同樣的評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表1。
實(shí)施例5除了使作為底材的載片20的厚度為16μm，使一次印刷以及二次印刷的第2張力F2為2.5N/150mm(0.16N/cm)以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行電極層12a以及空白圖案層24的印刷以及干燥，并進(jìn)行與實(shí)施例1同樣的評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表1。
比較例2除了使作為底材的載片20的厚度為16μm，使一次印刷以及二次印刷的第2張力F2為0N/150mm(0N/cm)以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行電極層12a以及空白圖案層24的印刷以及干燥，并進(jìn)行與實(shí)施例1同樣的評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表1。
參考例3除了使作為底材的載片20的厚度為16μm，使一次印刷以及二次印刷的第2張力F2為5.9N/150mm(0.39N/cm)以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行電極層12a以及空白圖案層24的印刷以及干燥，并進(jìn)行與實(shí)施例1同樣的評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表1。
參考例4除了使作為底材的載片20的厚度為16μm，使一次印刷以及二次印刷的第2張力F2為10.0N/150mm(0.67N/cm)以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行電極層12a以及空白圖案層24的印刷以及干燥，并進(jìn)行與實(shí)施例1同樣的評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表1。
參考例5除了使作為底材的載片20的厚度為16μm，使一次印刷以及二次印刷的第2張力F2為18.3N/150mm(1.22N/cm)以外，與實(shí)施例1同樣地進(jìn)行電極層12a以及空白圖案層24的印刷以及干燥，并進(jìn)行與實(shí)施例1同樣的評(píng)價(jià)。結(jié)果示于表1。
評(píng)價(jià)1如表1所示，可以判斷最佳的一次印刷以及二次印刷的第2張力F2的值，隨著載片20的厚度(底材薄片厚度)變化，但是，與一次印刷以及二次印刷的第2張力都為0的比較例1以及2相比，在實(shí)施例1～6中，W方向以及L方向的最大重疊錯(cuò)位和圖案精度錯(cuò)位都較少。另外，在實(shí)施例中，不發(fā)生彎曲，也沒(méi)有切割不良。
而且，根據(jù)表1的結(jié)果可以證實(shí)與只在二次印刷時(shí)使第2張力為0的情況相比，在一次印刷以及二次印刷時(shí)都施加大致相同的第2張力的情況在圖案精度方面更優(yōu)異。此外，根據(jù)表1的結(jié)果可以證實(shí)作為第2張力，優(yōu)選為0.16～1.22N/cm。
權(quán)利要求
1.一種印刷干燥方法，沿著長(zhǎng)度方向鋪設(shè)細(xì)長(zhǎng)的支承片而使其架設(shè)于印刷區(qū)域和干燥區(qū)域這兩個(gè)區(qū)域，在上述印刷區(qū)域內(nèi)，在向上述支承片施加有第1張力的狀態(tài)下，在該支承片上印刷規(guī)定圖案，然后將該支承片向上述干燥區(qū)域送出，在上述干燥區(qū)域內(nèi)，在施加有第2張力的狀態(tài)下，在干燥室內(nèi)使印刷有規(guī)定圖案的支承片干燥，通過(guò)不同的張力施加機(jī)構(gòu)施加上述第1張力和第2張力，上述第2張力是沿著支承片長(zhǎng)度方向施加的、能夠防止通過(guò)干燥區(qū)域的支承片沿長(zhǎng)度方向收縮的張力。
2.權(quán)利要求1所述的印刷干燥方法，其特征在于上述第1張力是沿著上述支承片的長(zhǎng)度方向施加、且不會(huì)在上述支承片上留下皺痕的張力。
3.權(quán)利要求1或2所述的印刷干燥方法，其特征在于上述支承片的單位寬度上的上述第2張力沿著支承片的長(zhǎng)度方向?yàn)?.16～1.22N/cm。
4.權(quán)利要求1或2所述的印刷干燥方法，其特征在于在干燥區(qū)域內(nèi)，檢測(cè)對(duì)位于該干燥區(qū)域內(nèi)的支承片施加的第2張力，控制上述第2張力而使其保持恒定。
5.權(quán)利要求1或2所述的印刷干燥方法，其特征在于在上述印刷區(qū)域和干燥區(qū)域之間設(shè)置有第1緩沖區(qū)域，在該第1緩沖區(qū)域內(nèi)，使上述支承片松弛，允許上述印刷區(qū)域內(nèi)的上述支承片的分級(jí)進(jìn)給，而且允許上述干燥區(qū)域內(nèi)的上述支承片的連續(xù)進(jìn)給。
6.權(quán)利要求1或2所述的印刷干燥方法，其特征在于在從上述干燥區(qū)域入口直到干燥區(qū)域內(nèi)部的規(guī)定范圍的長(zhǎng)度范圍內(nèi)，使得導(dǎo)向機(jī)構(gòu)與上述支承片的接觸減輕或者不與導(dǎo)向機(jī)構(gòu)接觸。
7.權(quán)利要求1或2所述的印刷干燥方法，其特征在于在從上述干燥區(qū)域入口直到干燥區(qū)域內(nèi)部的規(guī)定范圍的長(zhǎng)度范圍內(nèi)，使金屬板與上述支承片接觸。
8.權(quán)利要求1或2所述的印刷干燥方法，其特征在于當(dāng)構(gòu)成上述支承片的合成樹(shù)脂的玻璃化轉(zhuǎn)移溫度為Tg時(shí)，在上述干燥區(qū)域內(nèi)，將上述支承片暴露在{Tg-15}℃～{Tg+25}℃的溫度下。
9.權(quán)利要求8所述的印刷干燥方法，其特征在于在上述干燥區(qū)域內(nèi)，將上述支承片暴露在70～100℃的溫度環(huán)境下。
10.權(quán)利要求1或2所述的印刷干燥方法，其特征在于上述支承片是拉伸成型的合成樹(shù)脂薄片。
11.權(quán)利要求10所述的印刷干燥方法，其特征在于上述支承片是由聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯構(gòu)成的。
12.權(quán)利要求1或2所述的印刷干燥方法，其特征在于將通過(guò)上述干燥區(qū)域的支承片輸送至卷取區(qū)域，并將上述支承片卷繞在卷取輥上，在上述干燥區(qū)域和上述卷取區(qū)域之間設(shè)置有第2緩沖區(qū)域，可以在上述卷取區(qū)域內(nèi)施加與在上述干燥區(qū)域內(nèi)施加于上述支承片的第2張力不同的第3張力。
13.權(quán)利要求12所述的印刷方法，其特征在于在上述卷取區(qū)域內(nèi)具備除靜電裝置，除去通過(guò)卷取區(qū)域的上述支承片的靜電。
14.權(quán)利要求12所述的印刷干燥方法，其特征在于上述支承片的單位寬度上的上述第3張力沿著支承片的長(zhǎng)度方向?yàn)?.3～1.0N/cm。
15.權(quán)利要求14所述的印刷干燥方法，其特征在于控制上述支承片的單位寬度上的上述第3張力，使其大致保持恒定而不隨著上述卷取輥的卷繞外徑變化。
16.一種電子部件的制造方法，具有如下工序，沿著長(zhǎng)度方向鋪設(shè)細(xì)長(zhǎng)的支承片而使其架設(shè)于印刷區(qū)域和干燥區(qū)域這兩個(gè)區(qū)域，在上述印刷區(qū)域內(nèi)，在向上述支承片施加有第1張力的狀態(tài)下，在該支承片上印刷規(guī)定圖案的內(nèi)部電極圖案和/或空白圖案，然后將該支承片向上述干燥區(qū)域送出，在上述干燥區(qū)域內(nèi)，在施加有第2張力的狀態(tài)下，在干燥室內(nèi)使印刷有上述內(nèi)部電極圖案和/或空白圖案的上述支承片干燥，其中，通過(guò)不同的張力施加機(jī)構(gòu)施加上述第1張力和第2張力，上述第2張力是沿著支承片長(zhǎng)度方向施加的、能夠防止通過(guò)干燥區(qū)域的支承片沿長(zhǎng)度方向收縮的張力。
17.一種印刷干燥裝置，沿著長(zhǎng)度方向鋪設(shè)細(xì)長(zhǎng)的支承片而使其架設(shè)于印刷區(qū)域和干燥區(qū)域這兩個(gè)區(qū)域，其特征在于在上述印刷區(qū)域內(nèi)具有向上述支承片施加第1張力的第1張力施加機(jī)構(gòu)、在施加有該第1張力的支承片上印刷圖案的印刷機(jī)構(gòu)、印刷后將該支承片向上述干燥區(qū)域送出的第1輸送機(jī)構(gòu)，在上述干燥區(qū)域內(nèi)具有向印刷有規(guī)定圖案的支承片施加第2張力的第2張力施加機(jī)構(gòu)、在施加該第2張力的狀態(tài)下對(duì)上述支承片加熱至規(guī)定溫度的加熱機(jī)構(gòu)、在干燥室內(nèi)使加熱后的支承片沿著支承片的長(zhǎng)度方向移動(dòng)的第2輸送機(jī)構(gòu)，利用上述第2張力施加機(jī)構(gòu)施加的第2張力是沿著上述支承片長(zhǎng)度方向施加的、能夠防止通過(guò)干燥區(qū)域的支承片沿長(zhǎng)度方向收縮的張力。
18.權(quán)利要求17所述的印刷干燥裝置，其特征在于上述第1張力是沿著上述支承片的長(zhǎng)度方向施加、且不會(huì)在上述支承片上留下皺痕的張力。
19.權(quán)利要求17或18所述的印刷干燥裝置，其特征在于上述支承片的的單位寬度上的上述第2張力沿著支承片的長(zhǎng)度方向?yàn)?.16～1.22N/cm。
20.權(quán)利要求17或18所述的印刷干燥裝置，其特征在于在上述干燥區(qū)域內(nèi)具有檢測(cè)對(duì)位于該干燥區(qū)域內(nèi)的支承片施加的第2張力的第2張力檢測(cè)機(jī)構(gòu)；基于由該第2張力檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢測(cè)出的信號(hào)，控制上述第2張力施加機(jī)構(gòu)而使該第2張力保持恒定的控制機(jī)構(gòu)。
21.權(quán)利要求17或18所述的印刷干燥裝置，其特征在于在上述印刷區(qū)域和干燥區(qū)域之間設(shè)置有第1緩沖區(qū)域，在該第1緩沖區(qū)域內(nèi)，使上述支承片松弛，允許上述印刷區(qū)域內(nèi)的上述支承片的分級(jí)進(jìn)給，而且允許上述干燥區(qū)域內(nèi)的上述支承片的連續(xù)進(jìn)給。
22.權(quán)利要求17或18所述的印刷干燥裝置，其特征在于在從上述干燥區(qū)域入口直到干燥區(qū)域內(nèi)部的規(guī)定范圍的長(zhǎng)度范圍內(nèi)，使得導(dǎo)向機(jī)構(gòu)與上述支承片的接觸減輕或者不與導(dǎo)向機(jī)構(gòu)接觸。
23.權(quán)利要求17或18所述的印刷干燥裝置，其特征在于在從上述干燥區(qū)域入口直到干燥區(qū)域內(nèi)部的規(guī)定范圍的長(zhǎng)度范圍內(nèi)，使金屬板與上述支承片接觸。
24.權(quán)利要求17或18所述的印刷干燥裝置，其特征在于當(dāng)構(gòu)成上述支承片的合成樹(shù)脂的玻璃化轉(zhuǎn)移溫度為Tg時(shí)，在上述干燥區(qū)域內(nèi)，將上述支承片暴露在{Tg-15}℃～{Tg+25}℃的溫度下。
25.權(quán)利要求24所述的印刷干燥裝置，其特征在于在上述干燥區(qū)域內(nèi)，將上述支承片暴露在70～100℃的溫度環(huán)境。
26.權(quán)利要求17或18所述的印刷干燥裝置，其特征在于上述支承片是拉伸成型的合成樹(shù)脂薄片。
27.權(quán)利要求26所述的印刷干燥裝置，其特征在于上述支承片是由對(duì)苯二甲酸乙二酯構(gòu)成的。
28.權(quán)利要求17或18所述的印刷干燥裝置，將通過(guò)上述干燥區(qū)域的支承片輸送至卷取區(qū)域，并將上述支承片卷繞在卷取輥上，在上述干燥區(qū)域和上述卷取區(qū)域之間設(shè)置有第2緩沖區(qū)域，可以在上述卷取區(qū)域內(nèi)施加與在上述干燥區(qū)域內(nèi)施加于上述支承片的第2張力不同的第3張力。
29.權(quán)利要求28所述的印刷干燥裝置，其中，在上述卷取區(qū)域內(nèi)具備除靜電裝置，除去通過(guò)卷取區(qū)域的上述支承片的靜電。
30.權(quán)利要求28所述的印刷干燥裝置，其特征在于上述支承片的單位寬度上的上述第3張力沿著支承片的長(zhǎng)度方向?yàn)?.3～1.0N/cm。
31.權(quán)利要求30所述的印刷干燥裝置，其特征在于控制上述支承片單位寬度上的上述第3張力，使其大致保持恒定而不隨著上述卷取輥的卷繞外徑變化。
全文摘要
一種印刷干燥方法，沿著長(zhǎng)度方向鋪設(shè)細(xì)長(zhǎng)的支承片(20)而使其架設(shè)在印刷區(qū)域(42)和干燥區(qū)域(44)上，在印刷區(qū)域(42)內(nèi)，在向支承片(20)施加第1張力F1的狀態(tài)下，在該支承片(20)上印刷規(guī)定圖案，然后使該支承片(20)向上述干燥區(qū)域(44)送入，在干燥區(qū)域(44)內(nèi)，在施加第2張力F2的狀態(tài)下，在干燥室(62)內(nèi)使印刷有規(guī)定圖案的支承片(20)干燥。通過(guò)不同的張力施加機(jī)構(gòu)施加上述第1張力F1和第2張力F2，上述第2張力F2是沿著支承片(20)長(zhǎng)度方向施加的、能夠防止通過(guò)干燥區(qū)域(44)的支承片(20)沿長(zhǎng)度方向收縮的張力。
文檔編號(hào)H01G13/04GK1848319SQ200610082040
公開(kāi)日2006年10月18日 申請(qǐng)日期2006年3月28日 優(yōu)先權(quán)日2005年3月28日
發(fā)明者金杉將明, 石山保, 佐藤茂樹(shù), 唐津真弘, 鈴木常雄 申請(qǐng)人:Tdk株式會(huì)社