專利名稱：薄板支撐容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種包括定位機(jī)構(gòu)的薄板支撐容器，該定位機(jī)構(gòu)用于將容器本體定位在承載臺(tái)的設(shè)定位置上以取出裝入內(nèi)部的薄板。
背景技術(shù)：
公知有一種使用于對收納在內(nèi)部的半導(dǎo)體晶片等進(jìn)行自動(dòng)取出裝入用途的薄板支撐容器。在這種薄板支撐容器中包括定位機(jī)構(gòu)，用于調(diào)整搬送裝置的臂部位置和半導(dǎo)體晶片等的位置。作為包括這種定位機(jī)構(gòu)的薄板支撐容器的例子，已知有國際申請WO99/39994號公報(bào)所公開的技術(shù)。參照圖2至圖4對該薄板支撐容器進(jìn)行說明。
圖示中的薄板支撐容器1包括容器本體2，內(nèi)部收納多片半導(dǎo)體晶片(未圖示)；兩個(gè)薄板支撐部(未圖示)，分別設(shè)置在該容器本體2內(nèi)的相對的側(cè)壁上，從兩側(cè)支撐收納在內(nèi)部的半導(dǎo)體晶片；蓋體4，蓋住容器本體2的開口2F；頂部凸緣5，根據(jù)需要由搬送裝置(未圖示)的臂部予以保持；以及手柄6，在操作者用手搬運(yùn)薄板支撐容器1時(shí)供操作者抓持以進(jìn)行搬運(yùn)。
容器本體2的整體大致形成為立方體狀。該容器本體2包括在縱向放置的狀態(tài)(圖示的狀態(tài))下成為四周的壁部的四個(gè)側(cè)壁部2A、2B、2C、2D和底板部(未圖示)，在其上部設(shè)有開口2F。在半導(dǎo)體晶片的制造生產(chǎn)線等上，該容器本體2在與晶片搬送用機(jī)器人(未圖示)相對地安裝時(shí)為橫向放置。在該橫向放置狀態(tài)下成為底部的側(cè)壁部2A的外側(cè)設(shè)有薄板支撐容器1的定位機(jī)構(gòu)11。在橫向放置狀態(tài)下成為頂部的側(cè)壁部2B的外側(cè)可自由裝卸地安裝有頂部凸緣5。在橫向放置狀態(tài)下成為橫壁部的側(cè)壁部2C、2D的外側(cè)可自由裝卸地安裝有搬運(yùn)用手柄6。
定位機(jī)構(gòu)11設(shè)置在側(cè)壁部2A上。該定位機(jī)構(gòu)11主要包括三條嵌合槽12。各嵌合槽12包括在容器本體2的縱向上進(jìn)行調(diào)整的第一嵌合槽12A、以及相對容器本體2的縱向以同樣角度(大致為60度)傾斜的第二及第三嵌合槽12B、12C。這三條嵌合槽12是以符合規(guī)格的精密的尺寸精度制成的。各嵌合槽12A、12B、12C的內(nèi)壁由傾斜面13構(gòu)成，該傾斜面13設(shè)置成與承載臺(tái)側(cè)的嵌合凸起(未圖示)直接接觸。并且，由于各嵌合槽12A、12B、12C與承載臺(tái)側(cè)的嵌合凸起相嵌合，從而傾斜面13在與嵌合凸起接觸的狀態(tài)下進(jìn)行滑動(dòng)，使各嵌合槽12A、12B、12C的中心位置調(diào)整到嵌合凸起的中心位置上。通過調(diào)整上述各嵌合槽12A、12B、12C和嵌合凸起，從而可將薄板支撐容器1設(shè)置在正確的位置上，再利用晶片搬送用機(jī)器人手臂支撐半導(dǎo)體晶片以進(jìn)行取出裝入。
但是，在上述薄板支撐容器中，各嵌合槽12A、12B、12C的傾斜面13形成為平坦面狀。因此，傾斜面13和承載臺(tái)側(cè)的嵌合凸起的接觸面積增大。
另一方面，在薄板支撐容器的構(gòu)成材料中還具有聚碳酸酯等摩擦阻力大的材料，因此，當(dāng)傾斜面13與承載臺(tái)側(cè)的嵌合凸起的接觸面積大時(shí)，則摩擦阻力也變大。其結(jié)果是，傾斜面13和承載臺(tái)側(cè)的嵌合凸起很難相對滑動(dòng)，不能簡單地定位薄板支撐容器。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種可簡單且正確地進(jìn)行定位的薄板支撐容器。
為了解決上述問題，根據(jù)本發(fā)明第一方面的薄板支撐容器，包括內(nèi)部收納薄板的容器本體；以及定位機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述容器本體上，為了將該容器本體承載在承載臺(tái)上、取出裝入其內(nèi)部的薄板而將該容器本體定位在所述承載臺(tái)的設(shè)定位置上；其特征在于，所述定位機(jī)構(gòu)包括與設(shè)置在所述承載臺(tái)上的嵌合凸起嵌合的嵌合槽；以及在該嵌合槽和所述嵌合凸起嵌合的狀態(tài)下與該嵌合凸起接觸的傾斜面；其中，該傾斜面經(jīng)過了表面加工，以降低摩擦阻力。
優(yōu)選方式為，對所述定位機(jī)構(gòu)的嵌合槽的傾斜面進(jìn)行了褶皺加工等表面加工，以減小與所述嵌合凸起的接觸面積、降低摩擦阻力。
因?yàn)槔民薨櫦庸さ葘λ龆ㄎ粰C(jī)構(gòu)的嵌合槽的傾斜面施加了表面加工，以降低摩擦阻力，故使所述定位機(jī)構(gòu)的嵌合槽與嵌合凸起嵌合后，所述定位機(jī)構(gòu)的嵌合槽的傾斜面可相對所述嵌合凸起順利地滑動(dòng)，從而可對薄板支撐容器正確地進(jìn)行定位。


圖1是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的薄板支撐容器的主視圖；圖2是表示現(xiàn)有的薄板支撐容器的立體圖；圖3是表示現(xiàn)有的薄板支撐容器在卸下其蓋體的狀態(tài)下的立體圖；以及圖4是表示現(xiàn)有的薄板支撐容器的主視圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖對根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的薄板支撐容器進(jìn)行說明。
本發(fā)明的薄板支撐容器最好是應(yīng)用在對半導(dǎo)體晶片、存儲(chǔ)盤片、液晶玻璃基板等薄板進(jìn)行收納、保存、輸送用的容器上。在本實(shí)施例中，以收納半導(dǎo)體晶片的薄板支撐容器為例進(jìn)行說明。根據(jù)本實(shí)施例的薄板支撐容器的整體結(jié)構(gòu)與前述現(xiàn)有的薄板支撐容器基本相同。下面進(jìn)行簡要說明。
如圖1所示，根據(jù)本實(shí)施例的薄板支撐容器21主要包括容器本體22，內(nèi)部收納多片半導(dǎo)體晶片(未圖示)；兩個(gè)薄板支撐部(未圖示)，相對地設(shè)置在該容器本體22內(nèi)，用于支撐半導(dǎo)體晶片；以及蓋體(未圖示)，用于封閉容器本體22。
容器本體22的整體形狀構(gòu)成為與現(xiàn)有的薄板支撐容器1的容器本體2相同。并且，在橫向放置狀態(tài)下成為底部的側(cè)壁部22A的外側(cè)設(shè)置有薄板支撐容器21的定位機(jī)構(gòu)23。
定位機(jī)構(gòu)23設(shè)置在側(cè)壁部22A上。該定位機(jī)構(gòu)23主要包括三條嵌合槽24。各嵌合槽24包括在容器本體22的縱向上進(jìn)行調(diào)整的第一嵌合槽24A、以及相對容器本體22的縱向以同樣角度(大致為60度)傾斜的第二及第三嵌合槽24B、24C，這些嵌合槽是以符合規(guī)格的精密的尺寸精度制成的。各嵌合槽24A、24B、24C是用于與承載臺(tái)側(cè)的嵌合凸起(未圖示)相嵌合的槽，其內(nèi)壁由傾斜面25構(gòu)成。該傾斜面25設(shè)置成與承載臺(tái)的嵌合凸起直接接觸。各嵌合槽24由一體地設(shè)置在側(cè)壁部22A表面上的傾斜板26構(gòu)成。通過使兩塊傾斜板26相對地配置，從而構(gòu)成各嵌合槽24及各傾斜面25。傾斜板26具有彈性，通過與承載臺(tái)的嵌合凸起接觸而稍微撓曲。
傾斜面25的表面經(jīng)過了表面加工，以使接觸面積減小、降低摩擦阻力。具體而言，對傾斜面25的表面進(jìn)行褶皺加工，使其摩擦阻力減小。另外，可通過褶皺加工使傾斜面25的表面形成為梨皮紋樣等凹凸形態(tài)，也可形成無數(shù)細(xì)槽。在形成細(xì)槽時(shí)，是沿著傾斜面25在嵌合凸起偏移的方向上形成。另外，也可在傾斜面25的表面上規(guī)則地或不規(guī)則地形成截面呈圓弧狀、三角形或梯形的垂直于其棱線方向的微細(xì)的槽。另外，也可規(guī)則地或不規(guī)則地在表面上形成半球狀、錐體狀或截錐體狀的凸起。另外，也可對這些各種形狀的槽及凸起進(jìn)行適當(dāng)組合。
〔動(dòng)作〕采用上述構(gòu)成的薄板支撐容器21按照下述進(jìn)行使用。
在相對薄板支撐容器21自動(dòng)地取出、裝入半導(dǎo)體晶片時(shí)，將薄板支撐容器21放置在承載臺(tái)上。此時(shí)，容器本體22的定位機(jī)構(gòu)23與承載臺(tái)上的嵌合凸起相嵌合。具體而言，嵌合槽24與嵌合凸起相嵌合，其傾斜面25與嵌合凸起接觸。
此時(shí)，當(dāng)薄板支撐容器21以偏離設(shè)定位置的狀態(tài)放置在承載臺(tái)上時(shí)，則會(huì)導(dǎo)致嵌合凸起相對傾斜面25偏離。并且，當(dāng)以該偏離狀態(tài)直接將薄板支撐容器21放置在承載臺(tái)上時(shí)，則由于薄板支撐容器21的重量，傾斜面25會(huì)相對嵌合凸起順利地滑動(dòng)以補(bǔ)正位置偏離，使嵌合槽24移動(dòng)到正確的位置上。此時(shí)，傾斜板26彈性撓曲，可抑制在傾斜面25和嵌合凸起相接觸的部分上壓力增大到大于等于所需程度而使摩擦阻力變得過大，從而確保傾斜面25相對嵌合凸起順利地進(jìn)行滑動(dòng)。由此，傾斜面25相對嵌合凸起的滑動(dòng)是分別利用三個(gè)嵌合槽24A、24B、24C來進(jìn)行，可對薄板支撐容器21進(jìn)行正確的定位。
然后，利用晶片搬送用機(jī)器人手臂支撐半導(dǎo)體晶片，相對薄板支撐容器21進(jìn)行取出、裝入。
〔效果〕如上所述，利用褶皺加工等對定位機(jī)構(gòu)23的嵌合槽24的傾斜面25實(shí)施表面加工，以降低摩擦阻力，故在嵌合槽24的傾斜面25與承載臺(tái)的嵌合凸起相嵌合時(shí)，這些傾斜面25和嵌合凸起可順利地滑動(dòng)，從而可正確且容易地對薄板支撐容器進(jìn)行定位。
另外，因?yàn)閮A斜面25由可彈性撓曲的傾斜板26構(gòu)成，故即使在傾斜面25和嵌合凸起的接觸部分上壓力升高到所需程度以上，也可通過傾斜板26彈性撓曲來抑制摩擦阻力變得過大，可確保傾斜面25相對嵌合凸起順利地進(jìn)行滑動(dòng)。其結(jié)果是，能準(zhǔn)確地對薄板支撐容器進(jìn)行定位。
以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明。在上述實(shí)施例中，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種薄板支撐容器，包括內(nèi)部收納薄板的容器本體；以及定位機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述容器本體上，用于將所述容器本體定位在所述承載臺(tái)的設(shè)定位置上，以使所述容器本體承載在承載臺(tái)上、取出裝入其內(nèi)部的薄板；其特征在于，所述定位機(jī)構(gòu)包括嵌合槽，與設(shè)置在所述承載臺(tái)上的嵌合凸起嵌合；以及傾斜面，在所述嵌合槽與所述嵌合凸起嵌合的狀態(tài)下與所述嵌合凸起接觸；其中，所述傾斜面經(jīng)過了表面加工，以降低摩擦阻力。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄板支撐容器，其特征在于，所述定位機(jī)構(gòu)的嵌合槽的傾斜面經(jīng)過了表面加工，以減小與所述嵌合凸起的接觸面積、降低摩擦阻力。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄板支撐容器，其特征在于，所述定位機(jī)構(gòu)的嵌合槽的傾斜面利用褶皺加工進(jìn)行了表面加工，以降低摩擦阻力。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種薄板支撐容器，在將薄板支撐容器承載在承載臺(tái)上時(shí)，可對位置偏離進(jìn)行補(bǔ)正以正確地定位。本發(fā)明的薄板支撐容器(21)包括內(nèi)部收納半導(dǎo)體晶片等的容器本體(22)；以及定位機(jī)構(gòu)(23)，設(shè)置在該容器本體(22)上，為了將容器本體(22)承載在承載臺(tái)上、取出裝入其內(nèi)部的半導(dǎo)體晶片等而將容器本體(22)定位在所述承載臺(tái)的設(shè)定位置上。所述定位機(jī)構(gòu)(23)包括與所述承載臺(tái)上的嵌合凸起嵌合的嵌合槽(24)；以及在該嵌合槽(24)和所述嵌合凸起嵌合的狀態(tài)下與該嵌合凸起接觸的傾斜面(25)。對所述傾斜面(25)施加了褶皺加工，以減小與所述嵌合凸起的接觸面積、降低摩擦阻力。
文檔編號H01L21/68GK1880184SQ200610083759
公開日2006年12月20日 申請日期2006年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2005年6月13日
發(fā)明者大林忠弘, 枝村洋一 申請人:未來兒株式會(huì)社