專利名稱：老化試驗裝置及老化試驗板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及老化試驗裝置及老化試驗板，尤其涉及實現(xiàn)了測試時間縮短化的老化試驗裝置及老化試驗板。
背景技術(shù)：
作為用于使電子部件等器件的初始缺陷明顯化、并除去初始故障品的篩選(screening)試驗的一種的老化試驗(Burn-in)的裝置，已知有老化試驗裝置。在該老化試驗裝置中，將插入有多個作為被試驗器件(DeviceUnder Test)的電子部件的老化試驗板收納到恒溫槽的容器內(nèi)，通過施加規(guī)定的電壓或規(guī)定的測試信號而賦予電應(yīng)力，并加熱恒溫槽內(nèi)部的空氣而賦予規(guī)定的溫度的熱應(yīng)力，從而使初始缺陷明顯化。
在這種老化試驗裝置中，由于進(jìn)行從數(shù)小時至數(shù)十小時的長時間的老化試驗，所以為了提高試驗效率，一般將多個被試驗器件插入到一塊老化試驗板中，并且每次將多個該老化試驗板收納到老化試驗裝置中進(jìn)行老化試驗。
另外，在該老化試驗中，將被試驗器件放置于高溫氣氛或低溫氣氛中，施加測試信號，判定是否能獲得正常的輸出數(shù)據(jù)。進(jìn)行老化試驗的同時，該判定結(jié)果被按各被試驗器件依次存儲到判定結(jié)果存儲器中。因此，在老化試驗結(jié)束之后，觀察該判定結(jié)果存儲器中存儲的判定結(jié)果，從而能夠容易地區(qū)別是哪個被試驗器件輸出了錯誤的數(shù)據(jù)。
但是，在老化試驗中，由于極多的被試驗器件的試驗同時進(jìn)行，因此需要存儲到判定結(jié)果存儲器中的輸出數(shù)據(jù)的判定結(jié)果的數(shù)量也增多。以往，該輸出數(shù)據(jù)的判定結(jié)果保存到判定結(jié)果存儲器是通過軟件(固件)進(jìn)行的，因此將判定結(jié)果存儲到判定結(jié)果存儲器的速度比被試驗器件將輸出數(shù)據(jù)輸出的速度慢。所以，產(chǎn)生以下的問題出現(xiàn)必須讓施加到被試驗器件的測試信號等到將判定結(jié)果存儲到判定結(jié)果存儲器結(jié)束為止的情況，由此產(chǎn)生老化試驗所需要的時間也相應(yīng)變長。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于所述課題而實現(xiàn)，目的在于提供一種能縮短將判定結(jié)果存儲到判定結(jié)果存儲器所需要的時間，從而實現(xiàn)老化試驗時間的縮短的老化試驗裝置。
為了解決上述課題，本發(fā)明的老化試驗裝置，其中具備測試信號生成電路，其在老化試驗中，與第一基準(zhǔn)信號同步，生成測試信號并供給到多個被試驗器件；判定電路，其與第二基準(zhǔn)信號同步地判定根據(jù)所述測試信號從所述多個被試驗器件輸出的輸出數(shù)據(jù)、與其期望值數(shù)據(jù)是否一致，并將該比較結(jié)果作為判定結(jié)果依次輸出；判定結(jié)果存儲器，其中分配有按每個被試驗器件存儲判定結(jié)果的區(qū)域；和判定結(jié)果存儲電路，其與所述第二基準(zhǔn)信號同步，將從所述判定電路依次輸出的所述判定結(jié)果存儲到在所述判定結(jié)果存儲器中按每個被試驗器件分配的區(qū)域。
在該情況下，在所述判定結(jié)果存儲器中，對每個被試驗器件分配有一個地址，所述判定結(jié)果存儲電路將對應(yīng)的被試驗器件的判定結(jié)果存儲到該分配的地址中。
另外，所述判定結(jié)果存儲電路將所述輸出數(shù)據(jù)與所述期望值數(shù)據(jù)不一致的次數(shù)作為失敗次數(shù)存儲到所述判定結(jié)果存儲器。
在該情況下，所述判定結(jié)果存儲電路，與所述第二基準(zhǔn)信號同步，從所述判定結(jié)果存儲器中按每個所述被試驗器件分配的區(qū)域讀出對應(yīng)的被試驗器件的失敗次數(shù)，在該被試驗器件的所述輸出數(shù)據(jù)與所述期望值不一致的情況下，對該讀出的失敗次數(shù)加一，并再次存儲到相同的區(qū)域。
另外，所述第二基準(zhǔn)信號可以是比所述第一基準(zhǔn)信號更短周期的基準(zhǔn)信號。
本發(fā)明所涉及的老化試驗裝置用的驅(qū)動板，其中具備
判定電路，其與第二基準(zhǔn)信號同步地判定輸出數(shù)據(jù)與其期望值數(shù)據(jù)是否一致，并將該比較結(jié)果作為判定結(jié)果依次輸出，所述輸出數(shù)據(jù)是在老化試驗中根據(jù)與第一基準(zhǔn)信號同步供給的測試信號而從多個被試驗器件輸出的；判定結(jié)果存儲器，其中分配有按每個被試驗器件存儲判定結(jié)果的區(qū)域；和判定結(jié)果存儲電路，其與所述第二基準(zhǔn)信號同步，將從所述判定電路依次輸出的所述判定結(jié)果存儲到在所述判定結(jié)果存儲器中按每個被試驗器件分配的區(qū)域。
另外，老化試驗裝置可具備多個這樣的驅(qū)動板，裝載有所述多個被試驗器件的老化試驗板與所述驅(qū)動板的每一個連接。
在該情況下，老化試驗裝置還可具備測試信號生成電路，其通過對所述多個驅(qū)動板供給所述測試信號，對所述多個被試驗器件供給所述測試信號。
本發(fā)明的老化試驗裝置的控制方法是具備分配有按每個被試驗器件存儲判定結(jié)果的區(qū)域的判定結(jié)果存儲器的老化試驗裝置的控制方法，其中包括在老化試驗中與第一基準(zhǔn)信號同步，生成測試信號并供給到多個被試驗器件的工序；與第二基準(zhǔn)信號同步地判定根據(jù)所述測試信號而從所述多個被試驗器件輸出的輸出數(shù)據(jù)與其期望值數(shù)據(jù)是否一致，并將該比較結(jié)果作為判定結(jié)果依次輸出的工序；和與所述第二基準(zhǔn)信號同步，將依次輸出的所述判定結(jié)果存儲到在所述判定結(jié)果存儲器中按每個被試驗器件分配的區(qū)域的工序。
本發(fā)明的驅(qū)動板的控制方法是具備分配有按每個被試驗器件存儲判定結(jié)果的區(qū)域的判定結(jié)果存儲器驅(qū)動板的控制方法，其中包括取得根據(jù)在老化試驗中與第一基準(zhǔn)信號同步地供給的測試信號而從多個被試驗器件輸出的輸出數(shù)據(jù)、及其期望值數(shù)據(jù)的工序；與第二基準(zhǔn)信號同步判定所述取得的輸出數(shù)據(jù)與期望值數(shù)據(jù)是否一致，并將該比較結(jié)果作為判定結(jié)果依次輸出的工序；和與所述第二基準(zhǔn)信號同步，將依次輸出的所述判定結(jié)果存儲到在所述判定結(jié)果存儲器中按每個被試驗器件分配的區(qū)域的工序。


圖1是本實施方式的老化試驗裝置的主視圖；圖2是本實施方式的老化試驗裝置的右側(cè)面圖；圖3是本實施方式的老化試驗裝置的沿插入方向的局部剖視圖；圖4是表示本實施方式的老化試驗板和驅(qū)動板的電路構(gòu)成的一個例子的圖；圖5A是表示老化試驗的第一周中的掃描1的各種信號波形的一個例子的時序圖(前一半的4周期)；圖5B是表示老化試驗的第一周中的掃描1的各種信號波形的一個例子的時序圖(后一半的4周期)；圖6A是表示老化試驗的第一周中的掃描2的各種信號波形的一個例子的時序圖(前一半的4周期)；圖6B是表示老化試驗的第一周中的掃描2的各種信號波形的一個例子的時序圖(后一半的4周期)；圖7是表示本實施方式的判定結(jié)果存儲電路和比較電路的電路構(gòu)成的一個例子的圖；圖8是表示本實施方式的判定結(jié)果存儲器的存儲器映射(memorymap)的一個例子的圖；圖9A是表示老化試驗的第二周中的掃描1的各種信號波形的一個例子的時序圖(前一半的4周期)；圖9B是表示老化試驗的第二周中的掃描1的各種信號波形的一個例子的時序圖(后一半的4周期)；圖10A是表示老化試驗的第二周中的掃描2的各種信號波形的一個例子的時序圖(前一半的4周期)；圖10B是表示老化試驗的第二周中的掃描2的各種信號波形的一個例子的時序圖(后一半的4周期)。
具體實施例方式
下面，參照附圖，對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行說明。另外，以下所說明的實施方式并非用于限定本發(fā)明的技術(shù)方案。
圖1是本發(fā)明的一實施方式的老化試驗裝置10的整體的主視圖，圖2是圖1所示的老化試驗裝置10的整體側(cè)視圖。
如所述圖1及圖2所示，在老化試驗裝置10中插入多塊老化試驗板BIB。插入到老化試驗裝置10中的老化試驗板BIB的塊數(shù)是任意的，既可為一塊，也可為多塊。
本實施方式的老化試驗裝置10的內(nèi)室即容器20被隔熱壁等劃分，收納老化試驗板BIB。在本實施方式的例子中，用于支承老化試驗板BIB的插槽(slot)30配置為15段×4組，可將共計60塊老化試驗板BIB收納于該容器20內(nèi)。但是，收納于該容器20內(nèi)的老化試驗板BIB的配置可根據(jù)其塊數(shù)任意地變更。
另外，在老化試驗裝置10中設(shè)有門40，通過使門40為打開狀態(tài)，可將老化試驗板BIB從容器20取出或裝入，另一方面，通過使門40為關(guān)閉狀態(tài)，容器20構(gòu)成封閉空間。該容器20例如可為僅構(gòu)成封閉空間的箱，也可為具有使內(nèi)部空間的溫度維持在恒定的功能的恒溫槽，還可為具有除濕或冷卻內(nèi)部空間的功能的箱。
圖3是表示在圖1的老化試驗裝置10中插入了老化試驗板BIB的狀態(tài)下的、沿插入方向的老化試驗裝置10的局部的剖面的圖。這里，定義將老化試驗板BIB插入到插槽30的方向為插入方向，反之定義將老化試驗板BIB從插槽30拔出的方向為拔出方向。
如圖3所示，插入到插槽30的老化試驗板BIB，其插入方向的端部分別插入于擴(kuò)展板32，與擴(kuò)展板32電連接。該擴(kuò)展板32分別貫通構(gòu)成容器20的隔熱壁22的后壁，與驅(qū)動板DRB連接。驅(qū)動板DRB將插入于老化試驗板BIB的被試驗器件的測試所需要的電源和測試信號，經(jīng)由擴(kuò)展板32供給到老化試驗板BIB。但是，也可采用將老化試驗板BIB直接與驅(qū)動板DRB連接而不經(jīng)過擴(kuò)展板32。
圖4是用于說明本實施方式的老化試驗板BIB和驅(qū)動板DRB的構(gòu)成的要部框圖。因此，在對本實施方式的老化試驗板裝置10的動作進(jìn)行說明中無用的部分從圖4中省去。另外，還省略上述的擴(kuò)展板32。
如該圖4所示，本實施方式的驅(qū)動板DRB構(gòu)成為包括判定結(jié)果存儲電路110、判定電路120、判定結(jié)果存儲器130、控制器140和選擇譯碼器150。另外，測試信號生成電路200和CPU控制器210與該驅(qū)動板DRB連接。在本實施方式中，對30塊驅(qū)動板DRB，設(shè)置有一個測試信號生成電路和一個CPU控制器210。
測試信號生成電路200在老化試驗中，產(chǎn)生各種圖案的測試信號TSIGNAL，并經(jīng)由驅(qū)動板DRB供給到裝載于老化試驗板BIB的被試驗器件。對本實施方式的老化試驗板BIB例如安裝288個被試驗器件DUT0～DUT287。因此，由測試信號生成電路200生成的測試信號TSIGNAL被供給到這些288個被試驗器件DUT0～DUT287。
被試驗器件DUT0～DUT287根據(jù)輸入的測試信號TSIGNAL，進(jìn)行規(guī)定的運(yùn)算和動作，并分別將輸出數(shù)據(jù)輸出。其中，在本實施方式中，對老化試驗板BIB僅設(shè)置具有72根信號線的數(shù)據(jù)總線。因此，各被試驗器件DUT0～DUT287以四次不同的掃描將輸出數(shù)據(jù)輸出。具體而言，由第一次掃描將DUT0～DUT71應(yīng)該輸出的輸出數(shù)據(jù)作為DOUT0～DOUT71輸出，由第二次掃描將DUT72～DUT143應(yīng)該輸出的輸出數(shù)據(jù)作為DOUT0～DOUT71輸出，由第三次掃描將DUT144～DUT215應(yīng)該輸出的輸出數(shù)據(jù)作為DOUT0～DOUT71輸出，由第四次掃描將DUT216～DUT287應(yīng)該輸出的輸出數(shù)據(jù)作為DOUT0～DOUT71輸出。這樣，通過由多個被試驗器件共用一根信號線，抑制數(shù)據(jù)總線的信號線根數(shù)。這些輸出數(shù)據(jù)DOUT0～DOUT71經(jīng)由具有該72根信號線的數(shù)據(jù)總線而向驅(qū)動板DRB輸出。
在驅(qū)動板DRB中，這些輸出數(shù)據(jù)DOUT0～DOUT71被輸入到判定電路120。判定電路120還從測試信號生成電路200輸入期望值數(shù)據(jù)ED，將該期望值數(shù)據(jù)ED與輸出數(shù)據(jù)DOUT0～DOUT71進(jìn)行比較，判定兩者是否一致。另外，在本實施方式中，輸出數(shù)據(jù)DOUT0～DOUT71的期望值數(shù)據(jù)ED設(shè)定為均相同，因此期望值數(shù)據(jù)ED是一個(1位)。但是，也可設(shè)為各輸出數(shù)據(jù)DOUT0～DOUT71分別不同，在該情況下，測試信號生成電路200需要生成與各輸出數(shù)據(jù)DOUT0～DOUT71相對的期望值數(shù)據(jù)，并供給到判定電路120。
判定電路120將輸出數(shù)據(jù)DOUT0～DOUT71與期望值數(shù)據(jù)ED進(jìn)行比較后的判定結(jié)果分別作為判定結(jié)果信號STATUS0～STATUS71，輸出到判定結(jié)果存儲電路110。
作為用于獲得同步的基準(zhǔn)信號的時鐘信號CLOCK、周期率信號CRATE、掃描增量信號SINC，從測試信號生成電路100被輸入到控制器140，控制器140與這些基準(zhǔn)信號同步，向判定結(jié)果存儲器130和選擇譯碼器150輸出必要的控制信號。選擇譯碼器150根據(jù)輸入的控制信號，對判定結(jié)果存儲電路110+輸出控制信號。這些具體的控制信號的內(nèi)容在后面敘述。
判定結(jié)果存儲電路110將判定結(jié)果信號STATUS0～STATUS71實時存儲到判定結(jié)果存儲器130中。具體而言，按各被試驗器件DUT0～DUT287累積計數(shù)失敗(fail)的次數(shù)，將該計數(shù)結(jié)果按各被試驗器件DUT0～DUT287存儲到判定結(jié)果存儲器130中。該判定結(jié)果存儲器130例如可由RAM或EEPROM等構(gòu)成。
判定結(jié)果存儲器130所保存的判定結(jié)果即失敗的次數(shù)，由CPU210可任意地讀出。即，用戶經(jīng)由該CPU210，可查找各驅(qū)動板DRB的判定結(jié)果存儲器130的數(shù)據(jù)，從而可檢測出被試驗器件的不良。
老化試驗中的大致的數(shù)據(jù)處理如上所述，下面，對老化試驗中的數(shù)據(jù)處理，進(jìn)行更詳細(xì)的說明。
圖5A及圖5B以及圖6A及圖6B是表示老化試驗中的各信號的動作波形的一個例子的圖。在圖5A及圖5B中，例示了第一周的掃描1的動作波形，尤其是，在圖5A中例示了前一半的4周期的動作波形，在圖5B中例示了繼圖5A之后的后一半的4周期的動作波形。另外，在圖6A及圖6B中，例示了第一周的掃描2的動作波形，尤其是，在圖6A中例示了繼圖5B之后的前一半的4周期的動作波形，在圖6B中例示了繼圖6A之后的后一半的4周期的動作波形。
如這些圖5A及圖5B以及圖6A及圖6B所示，在本實施方式的老化試驗裝置10中，72位輸出數(shù)據(jù)DOUT0～DOUT71從數(shù)據(jù)總線與周期率信號CRATE同步地并行輸出。即，測試信號生成電路200與周期率信號CRATE同步地將測試信號供給到被試驗器件，因此被試驗器件也與周期率信號CRATE同步地將輸出數(shù)據(jù)輸出。
本實施方式中，在一次掃描中，周期率信號CRATE包括8個周期。因此，例如在掃描1期間，被試驗器件DUT0～DUT71分別輸出8個輸出數(shù)據(jù)。
圖7是表示關(guān)于輸出數(shù)據(jù)DOUT0～DOUT7的判定電路120和判定結(jié)果存儲電路110的電路構(gòu)成的一個例子的圖。在本實施方式中，從數(shù)據(jù)總線輸出的輸出數(shù)據(jù)整個為72位，因此在一塊驅(qū)動板DRB上將設(shè)置9組如圖7所示的電路。以下，根據(jù)圖7對關(guān)于輸出數(shù)據(jù)DOUT0～DOUT7的電路構(gòu)成和處理內(nèi)容進(jìn)行說明，但對其他輸出數(shù)據(jù)DOUT8～DOUT71也是同樣的。
如該圖7所示，在本實施方式的驅(qū)動板DRB中，判定結(jié)果存儲電路110構(gòu)成為具備8個AND電路112、1個OR電路114、運(yùn)算電路116，判定電路120構(gòu)成為具備8個數(shù)字比較器122。
對控制器140輸入周期率信號CRATE、時鐘信號CLOCK、選通信號STROBE、掃描增量信號SINC。這些信號均從測試信號生成電路200輸入。
從圖5A及圖5B以及圖6A及圖6B還可知，時鐘信號CLOCK是比周期率信號CRATE更短周期的基準(zhǔn)信號，例如在本實施方式中，時鐘信號CLOCK是10ns(100MHz)，為100ns(10MHz)周期的周期率信號CRATE的1/10的周期。測試信號生成電路200與周期率信號CRATE同步地向被試驗器件供給測試信號，被試驗器件也與該周期率信號CRATE同步地將輸出數(shù)據(jù)輸出，但判定結(jié)果存儲電路110和判定電路120與時鐘信號CLOCK同步地進(jìn)行判定和判定結(jié)果的存儲。選通信號STROBE是成為判定電路120輸出判定結(jié)果信號的觸發(fā)的信號。掃描增量信號SINC是使掃描依次遞增為1、2、3、4的信號。
還如圖7所示，從老化試驗板BIB輸出的輸出數(shù)據(jù)DOUT0～DOUT7與周期率信號CRATE同步，分別被輸入到數(shù)字比較器122。對這些數(shù)字比較器122，還與周期率信號CRATE同步地輸入期望值數(shù)據(jù)ED0～ED7。如上所述，在本實施方式中，由于所有的期望值數(shù)據(jù)ED0～ED7為相同的期望值，因此在圖4、圖5A及圖5B中僅表示為期望值數(shù)據(jù)ED。
數(shù)字比較器122分別判定輸出數(shù)據(jù)DOUT0～DOUT7與期望值數(shù)據(jù)ED0～ED7是否一致，并與選通信號STROBE同步地輸出判定結(jié)果信號STATUS0～STATUS7。本實施方式中，在兩者一致的情況下，判定結(jié)果信號STATUS0～STATUS7表現(xiàn)低電平，在兩者不一致的情況下，判定結(jié)果信號STATUS0～STATUS7表現(xiàn)高電平。
該判定結(jié)果信號STATUS0～STATUS7分別被輸入到判定結(jié)果存儲電路110的AND電路112中。對這些AND電路112還分別輸入選擇信號SEL0～SEL7。該選擇信號SEL0～SEL7是選擇譯碼器150根據(jù)從控制器140輸入的3位的地址信號A〔0:2〕，僅使一個為高電平的信號。因此，判定結(jié)果信號STATUS0～STATUS7與選擇信號SEL0～SEL7同步地從AND電路112依次輸出。
另外，輸入到控制器140的選通信號STROBE成為觸發(fā)，該控制器140將3位地址信號A〔0:2〕從000到111依次遞增計數(shù)，并輸出到選擇譯碼器150。另外，該地址信號A〔0:2〕的遞增計數(shù)與時鐘信號CLOCK同步。
從AND電路112輸出的判定結(jié)果信號STATUS0～STATUS7被輸入到OR電路114。因此，只要判定結(jié)果信號STATUS0～STATUS7中的任一個成為高電平，從OR電路114就輸出高電平的判定結(jié)果信號。
從OR電路114輸出的判定結(jié)果信號被輸入到運(yùn)算電路116。對該運(yùn)算電路116，還輸入從判定結(jié)果存儲器130輸出的B0～B31的32位的數(shù)據(jù)，作為讀出數(shù)據(jù)Rdt〔0∶31〕。
圖8是表示本實施方式的判定結(jié)果存儲器130的存儲器映射的一個例子的圖。如該圖8所示，在本實施方式的判定結(jié)果存儲器130中，每一個地址均確保B0～B31的32位的數(shù)據(jù)區(qū)域。另外，這里，將一個地址分配作為用于存儲一個被試驗器件的判定結(jié)果的區(qū)域。
在本實施方式中，作為地址準(zhǔn)備A0～A8的9位。即，通過9位地址A0～A8指定一個存儲區(qū)域。另外，在本實施方式中，由于設(shè)置有9組如圖7所示的電路，因此判定結(jié)果存儲器130的存儲器區(qū)域也被劃分成9個子區(qū)域0～子區(qū)域8。但是，這里，由于設(shè)想在一塊老化試驗板BIB上的被試驗器件的數(shù)量為288個的情況，因此所需要的位數(shù)為A0～A4的5位。
例如，掃描1的輸出數(shù)據(jù)DOUT0～DOUT7的判定結(jié)果存儲于子區(qū)域0的地址“000000000”～“000000111”。具體而言，在本實施方式中，從一個被試驗器件獲得多次的輸出數(shù)據(jù)，對一個被試驗器件失敗了幾次進(jìn)行計數(shù)，該計數(shù)次數(shù)存儲到各地址B0～B31所對應(yīng)的數(shù)據(jù)區(qū)域。
另外，在本實施方式中，B0～B31的32位中的最高位B31是溢出位，是在B0～B30的計數(shù)溢出時變?yōu)?的位。
另外，地址A0～A2這3位對應(yīng)于從控制器140輸入到選擇譯碼器150的地址信號A〔0:2〕，由該地址信號A〔0:2〕指定。此外，地址A3～A8對應(yīng)于從控制器140輸出到判定結(jié)果存儲器130的地址信號A〔3:8〕，由該地址信號A〔3:8〕指定。
另外，從控制器140向判定結(jié)果存儲器130使能輸入信號EN和使能寫入信號WE。使能輸入信號EN是在允許對判定結(jié)果存儲器130進(jìn)行寫入或讀出時變?yōu)楦唠娖降男盘?。使能寫入信號WE是僅在允許對判定結(jié)果存儲器130進(jìn)行寫入的期間與時鐘信號CLOCK同步驅(qū)動的時鐘信號。
因此，判定結(jié)果存儲器130使由地址信號A〔3:8〕所指定的地址A3～A8區(qū)域的數(shù)據(jù)與使能寫入信號WE的驅(qū)動同步，并遞增計數(shù)地址A0～A2，將由這些A0～A8所指定的地址的數(shù)據(jù)作為讀出數(shù)據(jù)Rdt〔0∶31〕，輸出到運(yùn)算電路116。
在運(yùn)算電路116中，對輸入的讀出數(shù)據(jù)Rdt〔0∶31〕加上從OR電路114輸出的值，輸出到判定結(jié)果存儲器130。即，若從OR電路114輸出的判定結(jié)果信號為高電平則對讀出數(shù)據(jù)Rdt〔0∶31〕加1，并作為寫入數(shù)據(jù)Wdt〔0∶31〕輸出到判定結(jié)果存儲器130。若從OR電路114輸出的判定結(jié)果信號為低電平，則直接將讀出數(shù)據(jù)Rdt〔0∶31〕的值作為寫入數(shù)據(jù)Wdt〔0∶31〕輸出到判定結(jié)果存儲器130。
讀出數(shù)據(jù)Rdt〔0∶31〕、寫入數(shù)據(jù)Wdt〔0∶31〕、及從OR電路114輸出的判定結(jié)果信號的同步由控制器140控制。即，從OR電路114輸出的判定結(jié)果信號的被試驗器件、與從判定結(jié)果存儲器130讀出的讀出數(shù)據(jù)Rdt〔0∶31〕的被試驗器件的對應(yīng)，由控制器140輸出的地址信號A〔0∶2〕、地址信號A〔3∶8〕、和使能寫入信號WE來確保。
在判定結(jié)果存儲器130中，將從運(yùn)算電路116輸入的寫入數(shù)據(jù)Wdt〔0∶31〕再次寫入到相同地址的數(shù)據(jù)區(qū)域。由此，對進(jìn)行了多次試驗的情況下的失敗的次數(shù)進(jìn)行累積相加的值被保存到判定結(jié)果存儲器130中。
在圖5A及圖5B以及圖6A及圖6B的例子中，由于一個掃描中包括周期率信號CRATE的8周期，因此反映了8次判定結(jié)果的失敗次數(shù)被存儲到判定結(jié)果存儲器130中。例如，地址“000000111”所對應(yīng)的被試驗器件DUT7由于8次均失敗，因此在掃描1結(jié)束的時刻，失敗次數(shù)中存儲8。
然后，如上所述，若這8周期的掃描1結(jié)束，則轉(zhuǎn)移到下面的掃描2，對被試驗器件DUT72～DUT143施加同樣的8周期份的測試信號，得到8周期份的判定結(jié)果，將該失敗次數(shù)存儲到圖8所示的判定結(jié)果存儲器130為掃描2所準(zhǔn)備的區(qū)域內(nèi)。
從該圖8還可知，在本實施方式的判定結(jié)果存儲器130中，用9位指定一個地址。因此，在本實施方式中，理論上最大可保存29×9組＝4608個被試驗器件的試驗結(jié)果。換而言之，一個老化試驗板BIB中最大可裝載4708個被試驗器件。
另外，在圖5A及圖5B以及圖6A及圖6B的時序圖中，圖5A及圖5B表示第一周的掃描1中的各信號的波形，圖6A及圖6B表示第一周的掃描2中的各信號的波形，但是例如，第二周(掃描1～掃描4結(jié)束之后從掃描1開始的試驗)的掃描1中的各信號的時序圖如圖9A及圖9B所示，第二周的掃描2中的各信號的時序圖如圖10A及圖10B所示。
從這些圖9A及圖9B以及圖10A及圖10B可知，在第二周的試驗中，讀出第一周中的各地址的失敗次數(shù)，在發(fā)生失敗的情況下，對讀出的失敗次數(shù)進(jìn)行累積計數(shù)。對一個被試驗器件施加幾次測試信號是任意的，因此進(jìn)行幾周該掃描也是任意的。
如上所述，根據(jù)本實施方式的老化試驗裝置10，由于判定結(jié)果存儲電路110實時地將被試驗器件的試驗結(jié)果保存至判定結(jié)果存儲器130，因此可不發(fā)生讓施加到被試驗器件的測試信號等到將判定結(jié)果存儲到判定結(jié)果存儲器130結(jié)束為止的情況。即，例如，在老化試驗中，在掃描1結(jié)束之后可進(jìn)入到掃描2，而無需設(shè)定用于保存試驗結(jié)果的等待時間。因此，可縮短老化試驗所需要的時間。
另外，本發(fā)明并不限定于上述實施方式，可進(jìn)行各種變形。例如，在上述的實施方式中，將判定結(jié)果存儲電路110和判定電路12O作為獨(dú)立的電路進(jìn)行了說明，但這些判定結(jié)果存儲電路110和判定電路120也可作為一個電路而集成于一個IC中。
另外，在判定結(jié)果存儲電路110、判定電路120與判定結(jié)果存儲器130之間獲得同步的方法并不限定于上述的例子，可采用各種方法。即，以能夠正確地維持判定電路120所輸出的被試驗器件的判定結(jié)果信號、和判定結(jié)果存儲器130中的存儲有被試驗器件的失敗次數(shù)的區(qū)域的對應(yīng)關(guān)系的方式來取得同步即可。
另外，上述的時鐘信號CLOCK的周期和周期率信號CRATE的周期只不過是一個例子，可根據(jù)被試驗器件的個數(shù)或數(shù)據(jù)總線的信號線的根數(shù)等任意設(shè)定。即，以在周期率信號CRATE的一個周期期間，從數(shù)據(jù)總線輸出的輸出數(shù)據(jù)的所有判定結(jié)果能存儲到判定結(jié)果存儲器130中的方式來設(shè)定時鐘信號CLOCK即可。
權(quán)利要求
1.一種老化試驗裝置，其中具備測試信號生成電路，其在老化試驗中，與第一基準(zhǔn)信號同步，生成測試信號并供給到多個被試驗器件；判定電路，其與第二基準(zhǔn)信號同步地判定根據(jù)所述測試信號從所述多個被試驗器件輸出的輸出數(shù)據(jù)、與其期望值數(shù)據(jù)是否一致，并將該比較結(jié)果作為判定結(jié)果依次輸出；判定結(jié)果存儲器，其中分配有按每個被試驗器件存儲判定結(jié)果的區(qū)域；和判定結(jié)果存儲電路，其與所述第二基準(zhǔn)信號同步，將從所述判定電路依次輸出的所述判定結(jié)果存儲到在所述判定結(jié)果存儲器中按每個被試驗器件分配的區(qū)域。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的老化試驗裝置，其特征在于，在所述判定結(jié)果存儲器中，對每個被試驗器件分配有一個地址，所述判定結(jié)果存儲電路將對應(yīng)的被試驗器件的判定結(jié)果存儲到該分配的地址中。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的老化試驗裝置，其特征在于，所述判定結(jié)果存儲電路將所述輸出數(shù)據(jù)與所述期望值數(shù)據(jù)不一致的次數(shù)作為失敗次數(shù)存儲到所述判定結(jié)果存儲器。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的老化試驗裝置，其特征在于，所述判定結(jié)果存儲電路，與所述第二基準(zhǔn)信號同步，從所述判定結(jié)果存儲器中按每個所述被試驗器件分配的區(qū)域讀出對應(yīng)的被試驗器件的失敗次數(shù)，在該被試驗器件的所述輸出數(shù)據(jù)與所述期望值不一致的情況下，對該讀出的失敗次數(shù)加一，并再次存儲到相同的區(qū)域。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的老化試驗裝置，其特征在于，所述第二基準(zhǔn)信號是比所述第一基準(zhǔn)信號更短周期的基準(zhǔn)信號。
6.一種驅(qū)動板，用于老化試驗裝置，其中具備判定電路，其與第二基準(zhǔn)信號同步地判定輸出數(shù)據(jù)與其期望值數(shù)據(jù)是否一致，并將該比較結(jié)果作為判定結(jié)果依次輸出，所述輸出數(shù)據(jù)是在老化試驗中根據(jù)與第一基準(zhǔn)信號同步供給的測試信號而從多個被試驗器件輸出的；判定結(jié)果存儲器，其中分配有按每個被試驗器件存儲判定結(jié)果的區(qū)域；和判定結(jié)果存儲電路，其與所述第二基準(zhǔn)信號同步，將從所述判定電路依次輸出的所述判定結(jié)果存儲到在所述判定結(jié)果存儲器中按每個被試驗器件分配的區(qū)域。
7.一種老化試驗裝置，其中具備多個權(quán)利要求6所述的驅(qū)動板，裝載有所述多個被試驗器件的老化試驗板與所述驅(qū)動板的每一個連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的老化試驗裝置，其特征在于，還具備測試信號生成電路，其通過對所述多個驅(qū)動板供給所述測試信號，對所述多個被試驗器件供給所述測試信號。
9.一種老化試驗裝置的控制方法，所述老化試驗裝置具備分配有按每個被試驗器件存儲判定結(jié)果的區(qū)域的判定結(jié)果存儲器，該控制方法包括在老化試驗中與第一基準(zhǔn)信號同步，生成測試信號并供給到多個被試驗器件的工序；與第二基準(zhǔn)信號同步地判定根據(jù)所述測試信號而從所述多個被試驗器件輸出的輸出數(shù)據(jù)與其期望值數(shù)據(jù)是否一致，并將該比較結(jié)果作為判定結(jié)果依次輸出的工序；和與所述第二基準(zhǔn)信號同步，將依次輸出的所述判定結(jié)果存儲到在所述判定結(jié)果存儲器中按每個被試驗器件分配的區(qū)域的工序。
10.一種驅(qū)動板的控制方法，所述驅(qū)動板具備分配有按每個被試驗器件存儲判定結(jié)果的區(qū)域的判定結(jié)果存儲器，該控制方法包括取得根據(jù)在老化試驗中與第一基準(zhǔn)信號同步地供給的測試信號而從多個被試驗器件輸出的輸出數(shù)據(jù)、及其期望值數(shù)據(jù)的工序；與第二基準(zhǔn)信號同步判定所述取得的輸出數(shù)據(jù)與期望值數(shù)據(jù)是否一致，并將該比較結(jié)果作為判定結(jié)果依次輸出的工序；和與所述第二基準(zhǔn)信號同步，將依次輸出的所述判定結(jié)果存儲到在所述判定結(jié)果存儲器中按每個被試驗器件分配的區(qū)域的工序。
全文摘要
一種老化試驗裝置，其中具備測試信號生成電路，其在老化試驗中與第一基準(zhǔn)信號同步，生成測試信號并供給到多個被試驗器件；判定電路，其與第二基準(zhǔn)信號同步地判定根據(jù)所述測試信號從所述多個被試驗器件輸出的輸出數(shù)據(jù)與其期望值數(shù)據(jù)是否一致，并將該比較結(jié)果作為判定結(jié)果依次輸出；判定結(jié)果存儲器，其中分配有按每個被試驗器件存儲判定結(jié)果的區(qū)域；和判定結(jié)果存儲電路，其與所述第二基準(zhǔn)信號同步，將從所述判定電路依次輸出的所述判定結(jié)果存儲到在所述判定結(jié)果存儲器中按每個被試驗器件分配的區(qū)域。
文檔編號H01L21/66GK1979193SQ20061016354
公開日2007年6月13日 申請日期2006年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月8日
發(fā)明者進(jìn)藤篤, 牧田大輔, 北一三 申請人:日商日本工程技術(shù)股份有限公司