專利名稱：收納容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種收納以半導體晶片、光掩模玻璃、鋁盤為代表的基 板等的收納容器。
背景技術(shù)：
由口徑300mm的半導體晶片構(gòu)成的精密基板收納在前開口箱式收納 容器中，這種收納容器具有整齊收納多張未圖示的精密基板的前開口箱 式的容器主體、可密封地關(guān)閉該容器主體的開口的正面的拆裝自如的蓋 體、嵌合在容器主體的正面上的對蓋體進行加鎖/解鎖的加鎖機構(gòu)，根據(jù) SEMI規(guī)格的E47. 1而標準化地構(gòu)成，并通過具有標準化的機械接口的加 工裝置的蓋體開閉裝置而自動地開閉操作蓋體。加鎖機構(gòu)具有支承在蓋體上而借助加工裝置的蓋體開閉裝置被旋 轉(zhuǎn)操作的旋轉(zhuǎn)板、隨著該旋轉(zhuǎn)板的旋轉(zhuǎn)而在蓋體的周壁方向上直線地進 退動作的一對進退動作板、和設(shè)置在各進退動作板的前端部且在蓋體加 鎖時從蓋體的周壁突出而嵌合卡止在容器主體的正面內(nèi)周的凹部中并在 蓋體解鎖時從容器主體的凹部回到蓋體內(nèi)的卡止體。在上述情況下，通過蓋體關(guān)閉容器主體的開口的正面時，加工裝置 的蓋體開閉裝置向容器主體的開口的正面強力推壓嵌合蓋體，之后蓋體 開閉裝置從外部旋轉(zhuǎn)操作加鎖機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)板而使各進退動作板從蓋體內(nèi) 部向周壁方向前進，隨著各進退動作板的前進，卡止體從蓋體的周壁突 出而嵌合卡止在容器主體的凹部中，由此，容器主體的正面^L蓋體封閉 為密封狀態(tài)。但是，在加鎖機構(gòu)的進退動作板和其卡止體由一體的單一部件構(gòu)成 時，若進退動作板只是直線運動，則進退動作板或卡止體會與容器主體 的凹部摩擦而有可能產(chǎn)生顆粒(particulate )。為了排除這樣的問題， 以往，提出有在使進退動作板前進后使其前端部向蓋體的厚度方向(寬 度方向)以急角度較大傾斜的方案(參照專利文獻1)。此外，提出有由 多個部件構(gòu)成進退動作板，并在進退動作板的前端部可旋轉(zhuǎn)地支承金屬 制的分體的卡止軸的方案。(參照專利文獻2)。
專利文獻l:日本特表平04 - 505234號公報 專利文獻2:日本特開2000 - 58633號公報現(xiàn)有的收納容器，通過上述技術(shù)解決了上述由于進退動作板的筒單 的直線運動而產(chǎn)生顆粒的問題，但各方法都存在問題。首先，在進退動 作板前進后使其前端部以急角度較大地傾斜的情況下，又出現(xiàn)了為了向 進退動作板的前端部傳遞足夠的卡止力，必須設(shè)計成即便施加大的力也 不會損壞的問題。此外，又產(chǎn)生了為了使進退動作板的前端部以急角度較大地傾斜而 必須加大蓋體的空間或厚度的問題。進而，加鎖機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)板上必須形 成多級特殊形狀的凸輪面，導致結(jié)構(gòu)復雜化。另一方面，在由多個部件構(gòu)成進退動作板，并在各進退動作板的前 端部上支承分體的卡止軸時，由于金屬制的卡止軸的接觸而導致精密基 板的污染的可能也不小。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述情況而提出的，目的在于提供一種收納容器，其 可抑制和防止由于進退動作體的運動而產(chǎn)生灰塵，可減小蓋體的空間和 厚度并防止收納物品的污染。本發(fā)明中，為了解決上述課題，提供一種收納容器，具有收納物品 的容器主體、開閉該容器主體的開口部的蓋體、和對覆蓋容器主體的開口部的蓋體加鎖的加鎖機構(gòu)，其特征在于，加鎖機構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)體，能夠旋轉(zhuǎn)；第1進退動作體，通過該旋轉(zhuǎn) 體的旋轉(zhuǎn)，在蓋體加鎖時從蓋體的基準位置向蓋體的周緣部方向突出， 在蓋體解鎖時回到蓋體的基準位置；第二進退動作體，可旋轉(zhuǎn)地支承在 該第1進退動作體上，在蓋體加鎖時從蓋體突出而被插入到容器主體的 開口部內(nèi)周的凹部中，在蓋體解鎖時從容器主體的凹部向蓋體方向返回； 以及引導體，使突出的第二進退動作體向蓋體的厚度方向傾斜。另外，可以設(shè)計成，蓋體由嵌合在容器主體的開口部中的框體和覆 蓋該框體的罩形成，在該框體和罩之間夾設(shè)有加鎖機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體、第一 進退動作體、以及第二進退動作體，在框體和罩的對置面的至少某一方 上形成有加鎖機構(gòu)的f 1導體。另外，可以設(shè)計成，在加鎖機構(gòu)的第二進退動作體的兩側(cè)部上，分 別形成有與引導體接觸的銷突起，引導體形成為截面大致多邊形，并且， 該引導體的與笫二進退動作體的銷突起接觸的接觸面傾斜，而使突出的第二進退動作體相對于第一進退動作體在IO。
~45°的范圍內(nèi)傾斜。進而，可以設(shè)計成，加鎖機構(gòu)的笫二進退動作體形成為大致板狀， 該第二進退動作體的前端部形成為減小與容器主體的凹部接觸的面積的 形狀。在此，在技術(shù)方案的物品中，至少包括以半導體晶片(200、 300、 450mm型等)、光掩模玻璃、液晶玻璃、鋁盤為代表的單個或多個的基板、 機械用品、電氣電子用品、建筑用品、家庭用品等。容器主體或收納容 器可為前開口箱式，也可為上開口箱式，可以為透明、不透明、半透明、 導電性、絕緣性、FOUP型、FOSB型等。容器主體的頂板或壁的一部分上 可選擇性地形成用于把握物品情況的透視窗。此外，加鎖機構(gòu)可為單個 或多個。加鎖機構(gòu)的第一進退動作體可為向上下方向移動的類型，也可為向 前后方向或左右方向移動的類型。此外，第二進退動作體可旋轉(zhuǎn)地支承 在第一進退動作體上，這里所說的旋轉(zhuǎn)包括轉(zhuǎn)動或擺動。該第二進退動 作體的前端部形成為減小與容器主體的凹部接觸的面積的形狀，具體而 言可形成為截面大致三角形、楔形、箭頭形等。進而，銷突起可以是與 虧1導體直接接觸的類型也可是經(jīng)由圓筒型的輥而間接地接觸的類型。根據(jù)本發(fā)明，若在容器主體的開口部上嵌合蓋體并旋轉(zhuǎn)操作加鎖機 構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體，則隨著旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)，第一進退動作體向蓋體的周緣部方 向突出，隨著該第一進退動作體的突出，分體的第二進退動作體一邊凈皮 引導體引導一邊從蓋體傾斜著突出，并且與容器主體的凹部傾斜地接觸， 通過該接觸而借助蓋體關(guān)閉容器主體。才艮據(jù)本發(fā)明，具有下述效果可抑制和防止由于進退動作體的運動 而產(chǎn)生塵埃的情況，可減小蓋體的空間或厚度。此外，由于可減少或省 略金屬部件，所以具有可防止所收納的物品污染的效果。此外，若在蓋體的框體和罩之間夾設(shè)加鎖機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體、第一進退 動作體、以及第二進退動作體，則可借助罩的保護作用而防止向加鎖枳i 構(gòu)施加外力時造成損傷或變形。此外，若使引導體的第二進退動作體的與銷突起接觸的接觸面傾斜 而使第二進退動作體相對于笫二進退動作體在10° ~45°的范圍內(nèi)傾 斜，則可抑制第二進退動作體的前端部相對于容器主體的凹部滑動而妨 礙第二進退動作體的動作的情況。進而，若將加鎖機構(gòu)的第二進退動作體形成為大致板形，并將該第 二進退動作體的前端部形成為減小與容器主體的凹部接觸的面積的形 狀，則可防止第二進退動作體與容器主體的凹部摩擦而產(chǎn)生顆?；驂m埃 等的情況。


圖l是表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的整體立體圖。圖2是表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的蓋體和解鎖狀態(tài)的加鎖 機構(gòu)的主視說明圖。圖3是表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的蓋體和加鎖狀態(tài)的加鎖 機構(gòu)的主視說明圖。圖4是表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的解鎖狀態(tài)的加鎖機構(gòu)的 剖視說明圖。圖5是表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的加鎖狀態(tài)的加鎖機構(gòu)的 剖視說明圖。圖6是表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的加鎖機構(gòu)的主視說明圖。圖7是表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的加鎖機構(gòu)的分解側(cè)視說 明圖。圖8是示意性地表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的加鎖狀態(tài)的加 鎖機構(gòu)的剖視說明圖。圖9是表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的加鎖機構(gòu)的第一進退動 作板的立體說明圖。圖IO是從反面?zhèn)缺硎緢D9的笫一進退動作板的立體說明圖。圖11是表示本發(fā)明的收納容器的實施方式的加鎖機構(gòu)的第二進退 動作板的立體說明圖。圖12是從反面?zhèn)缺硎緢D11的第二進退動作板的立體說明圖。附圖標記i兌明 1容器主體 <formula>formula see original document page 7</formula>
圍緣部(開口部) 卡止凹部(凹部)蓋體 框體 罩引導件 貫通孔 加鎖機構(gòu) 旋轉(zhuǎn)板(旋轉(zhuǎn)體)第一進退動作板(第一進退動作體) 銷突起第二進退動作板(第二進退動作體) 卡止突部(前端部)銷突起引導肋(引導體)具體實施方式
以下，參照

本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，本實施方式的收納容 器如圖1至圖2所示是輸送用的精密基板收納容器，包括收納作為物品 的多張精密基板的容器主體1、開閉該容器主體1的開口的正面的蓋體 10、對覆蓋容器主體1的正面的蓋體10進行加鎖/解鎖的左右一對的加 鎖機構(gòu)20，各加鎖機構(gòu)20包括旋轉(zhuǎn)板21、 一對第一進退動作板26、 一 對第二進退動作板32、以及多個引導肋37。精密基板未圖示，但由口徑300mm的薄圓板形的半導體晶片構(gòu)成， 正反兩面中的至少正面被進行了鏡面加工，借助專用的機器人相對于容 器主體1放入取出25或26張。容器主體1，如圖1所示，使用既定的樹脂而成形為正面開口的透 明的前開口箱，起到將多張精密M沿上下方向排列而整齊收納的作用。 作為成形該容器主體1的既定的樹脂，不特別限定，可舉出例如聚碳酸 酯、聚醚酰亞胺、聚醚砜、聚醚醚酮、環(huán)烯烴等。其中聚碳酸酯剛性和 透明性優(yōu)異所以優(yōu)選?？筛鶕?jù)必要而賦予這些樹脂導電性。
容器主體1，其正面的周緣部向外以截面大致L字形彎折而形成蓋 體嵌合用的圍緣部2，在該閨緣部2的內(nèi)周面的上下兩側(cè)，分別凹陷形 成加鎖機構(gòu)20用的卡止凹部3 (參照圖4、圖5、圖8)。此外，在容器 主體1的內(nèi)部后方，經(jīng)由保持槽而保持精密基板的后部周緣的左右一對 的后保持器4在上下方向上隔著間隔排列設(shè)置，在容器主體1的內(nèi)部兩 側(cè)，分別形成相互對置而將精密基板的兩側(cè)部周緣保持為大致水平的齒 5，該左右一對的齒5在上下方向上隔著間隔排列設(shè)置。各齒5具有形成為俯視大致〈字形或者大致半圓弧形而沿著精密 基板的側(cè)部周緣的平板、在該平板的前部內(nèi)側(cè)上部一體形成的平坦的前 部中等壁厚區(qū)域、在平板的前部外側(cè)上部一體形成且位于前部中等壁厚 區(qū)域的外側(cè)的平坦的前部厚壁區(qū)域、在平板的后部一體形成的后部中等 壁厚區(qū)域、在平板的后部形成且位于后部中等壁厚區(qū)域的前方并以很小 的面積位于靠容器主體l的側(cè)壁處的后部厚壁區(qū)域。在齒5的前部中等壁厚區(qū)域和前部厚壁區(qū)域之間，很小地形成與精 密基板的側(cè)部周緣接觸的垂直的階梯，前部厚壁區(qū)域起到下述作用在 取下蓋體10時，限制精密基板從容器主體l向前方掉出。此外，在前部 中等壁厚區(qū)域和后部中等壁厚區(qū)域之間，形成稍微凹陷的薄壁區(qū)域，該 薄壁區(qū)域與精密基板的側(cè)部周緣經(jīng)微小的間隙對置。這樣的齒5,在前 部中等壁厚區(qū)域和后部中等壁厚區(qū)域上維持高精度地水平支承精密基板 的側(cè)部周緣，防止由于精密基板在上下方向上傾斜而導致專用機器人進 行的放入取出變得困難。在容器主體1的底面的前部兩側(cè)和后部中央，配設(shè);故定位并搭載在 加工裝置上的定位件，在容器主體1的底面后部，從后方拆裝自如地安 裝薄板且小型的底板，通過由加工裝置識別從下方拆裝自如地嵌入在該 底板中的識別體，而掌握收納容器的類型和精密基板的張數(shù)。在容器主體1的頂板中央部，拆裝自如地安裝由被稱為OHT的自動 搬送機保持的機器人凸緣6，在容器主體1的兩側(cè)壁外表面上，分別安 裝有厚壁的圓形板或U字形的搬送手柄，通過把持該一對搬送手柄而搬 送收納容器。另外，定位件、底板、機器人凸緣6、搬送手柄由聚碳酸酯、聚醚 酰亞胺、聚醚砜、聚醚醚酮、環(huán)狀烯烴樹脂等成形。這些材料中，可根 據(jù)必要而添加碳黑、乙炔黑、碳纖維、碳微管、金屬纖維、防帶電劑等。
蓋體10，如圖2至圖5所示，具有可密封地嵌合在容器主體1的圍 緣部2上的拆裝自如的框體11、和分別覆蓋該框體11的正面兩側(cè)的左 右一對的罩12,該框體11和左右一對的罩12之間，分別夾設(shè)加鎖機構(gòu) 20。該蓋體10由含有氟的聚碳酸酯、聚碳酸酯、聚醚砜、聚醚酰亞胺、 聚醚醚酮、環(huán)烯烴樹脂等成形，為四角部進行了倒角的橫長的正面呈大 致矩形的形狀。根據(jù)必要可對該蓋體10的材料賦予導電性。在框體11和一對罩12的對置面上，分別形成多個相互對置的直線 軌道形的引導件13 (參照圖2以及圖5)，加鎖機構(gòu)20的第一、第二進 退動作板26、 32在該多個引導件13的引導面的引導下運動?？蝮wll形 成為淺底的截面大致盤形，在反面的中央部，經(jīng)由夾持槽而夾持精密基 板的前部周緣的彈性的前保持器在上下方向上排列安裝。夾在容器主體1的圍緣部2和蓋體IO之間的環(huán)形的密封墊圏14可 壓縮變形地嵌合在框體11的周壁上，在周壁的上下兩側(cè)，分別穿設(shè)有與 圍緣部2的卡止凹部3對應(yīng)的貫通孔15 (參照圖4、圖5、圖8)。各加鎖機構(gòu)20如圖6至圖12所示，包括可轉(zhuǎn)動地支承在蓋體10 上的旋轉(zhuǎn)板21、通過該旋轉(zhuǎn)板21的旋轉(zhuǎn)而在蓋體10加鎖時從蓋體10 內(nèi)的基準位置向蓋體10的周壁方向直線地突出并在蓋體10解鎖時從突 出位置直線地回到蓋體10內(nèi)的基準位置的一對第一進退動作板26、可 轉(zhuǎn)動地連結(jié)支承在各第一進退動作板26的前端部上并在蓋體10加鎖時 從蓋體10的周壁突出而插入容器主體1的卡止凹部3中且在蓋體10解 鎖時從容器主體1的卡止凹部3退回到蓋體10內(nèi)的第二進退動作板32、 形成在蓋體10上并在蓋體IO加鎖時使突出的第二進退動作板32在蓋體 10的厚度方向上慢慢傾斜的一對引導肋37。各加鎖機構(gòu)20由聚碳酸酯、聚對苯二曱酸丁二醇酯、聚醚酰亞胺、 聚醚砜、聚醚醚酮、聚苯砜、聚縮醛樹脂等成形。這些材料中，根據(jù)必 要而添加碳黑、乙炔黑、碳纖維、碳微管、金屬纖維、防帶電劑、滑石 粉等。旋轉(zhuǎn)板21，在圓板22的中心部具有筒形的凈皮操作肋23，可旋轉(zhuǎn)地 軸支承在框體11的正面?zhèn)炔恐醒?，通過從外部在凈皮操作肋23上插入貫 通罩12的蓋體開閉裝置的操作鍵而旋轉(zhuǎn)。在該旋轉(zhuǎn)板21的圓板22上， 沿周向穿設(shè)有半圓弧形的一對槽孔24，各槽孔24的一端部朝向旋轉(zhuǎn)板21 的中心部較大地彎曲。
呈大致J字形的一對臂25分別從被操作肋23的外周面向?qū)挾确较?外側(cè)突出形成，各臂25與罩12的突部卡合而起到將旋轉(zhuǎn)板21鎖定在正 常位置的功能(參照圖6)。各第一進退動作板26如圖9或圖10所示，基本上形成為長方形的 板，在正反面上分別并列地形成用以提高強度的凹凸27，經(jīng)由多個引導 件13而可直線運動地夾在框體11和罩12之間，位于旋轉(zhuǎn)板21的上下 方向上。該第一進退動作板26，其前端部形成為頸部28,在該頸部28 上朝向?qū)挾确较虬惭b用于與第二進退動作板32連結(jié)的連結(jié)銷29，在正 面的末端部中心，立設(shè)著嵌入到旋轉(zhuǎn)板21的槽孔24中的圓柱形的銷30。第一進退動作板26的兩側(cè)部上，如圖2或圖3所示，分別突出地 形成可滑動地夾持在框體11和罩12的引導件13、 13之間的圓柱形的銷 突起31。各第二進退動作板32,如圖11或圖12所示，形成為基板上為矩形 的凸凹的板，在正反面上分別并列形成用于提高強度的凹凸33，經(jīng)由多 個引導件13和引導肋37而夾在框體11和罩12之間。該第二進退動作 板32，其前端部較細地形成為截面大致三角形的卡止突部34，該卡止突 部34貫通蓋體10的貫通孔15而傾斜地插入容器主體l的卡止凹部3中。在第二進退動作板32的末端部，凹陷地形成拆裝自如地嵌合并支 承第一進退動作板26的連結(jié)銷29的U字形的槽部35,在第二進退動作 板32的兩側(cè)部，分別突出形成可滑動地夾持在框體11和罩12的引導件 13之間的圓柱形的銷突起36。多個引導肋37在框體11的正面?zhèn)炔扛糁g隔一對對地設(shè)置，位于 第二進退動作板32的兩側(cè)部而與銷突起36接觸，并且在蓋體10的上下 方向上進行引導。各引導肋37，例如形成為隨著從蓋體10的外方朝向 內(nèi)方而慢慢變細的直角三角形，與第二進退動作板32的銷突起36接觸 的傾斜面起到下述作用使突出的第二進退動作板32相對于第一進退動 作板26或其移動方向以10° ~45° ，優(yōu)選15° ~25°的角度(6 )傾 斜(參照圖5)。第二進退動作板32的傾斜角度在10。 ~45°的范圍內(nèi)是由于，在 傾斜角度不滿10°時，第二進退動作板32的卡止突部34會相對于容器 主體1的卡止凹部3滑動，有產(chǎn)生顆粒的可能。相反，若傾斜角度超過 45° ，則第二進退動作板32的動作所要求的負荷變大，會妨礙第二進退
動作板32的動作。在上述方案中，在借助蓋體10關(guān)閉容器主體1的開口的正面時， 加工裝置的蓋體開閉裝置將蓋體10按壓嵌合在容器主體1的圍緣部2 上，之后，蓋體開閉裝置從外部對各加鎖機構(gòu)20的旋轉(zhuǎn)板21向順時針 方向旋轉(zhuǎn)操作。若旋轉(zhuǎn)板21向順時針方向旋轉(zhuǎn)，則各第一進退動作板26被引導件 13引導并且在蓋體10的上下方向上直線地突出，隨著該第一進退動作 板26的突出，各第二進退動作板32被引導件13或引導肋37引導并從 蓋體10的貫通孔15向前方傾斜著突出，并且各第二進退動作板32的卡 止突部34與容器主體1的卡止凹部3前表面傾斜地接觸，通過該傾斜的 接觸而通過蓋體10在牢固的密封狀態(tài)下關(guān)閉容器主體1的正面(參照圖 3、圖5、圖8)。此時，由于第二進退動作板32的前端部形成為面積小的截面大致 三角形的卡止突部34而不是簡單的板形，所以能減小與卡止凹部3前表 面的接觸區(qū)域，可非常有效地減小顆粒產(chǎn)生的可能。與上述動作相反，在從容器主體1的正面取下蓋體10時，蓋體開 閉裝置從外部對各加鎖機構(gòu)20的旋轉(zhuǎn)板21向逆時針方向旋轉(zhuǎn)操作。若旋轉(zhuǎn)板21向逆時針方向旋轉(zhuǎn)，則各第一進退動作板26被引導件 13引導且從突出位置直線地后退回原來的位置，并且隨著該第一進退動 作板26的后退，傾斜的第二進退動作板32從容器主體1的卡止凹部3 退回到蓋體10的貫通孔15內(nèi)，通過該后退而變?yōu)榭蓮娜萜髦黧w1的正 面取下蓋體10的狀態(tài)(參照圖2、圖4)。之后，通過蓋體開閉裝置從容 器主體1的正面吸附而取下蓋體10。根據(jù)上述方案，即便第一進退動作板26直線運動，與其分體的第 二進退動作板32也是傾斜著嵌合并卡止在容器主體1的卡止凹部3中， 所以容器主體1的卡止凹部3與第二進退動作板32不會摩擦而產(chǎn)生顆 粒。此外，由于將進退動作板分割為第一、第二進退動作板26、 32，所 以即便使第二進退動作板32以急角度向罩方向傾斜，也不會與蓋體10 的框體11及罩12發(fā)生任何干涉。此外，由于將進退動作板分割為第一、笫二進退動作板26、 32而 縮短第一、第二進退動作板26、 32的長度方向上的長度，所以可提高長 度方向的撓曲強度。特別是，對于作用有卡止力的第二進退動作板32， 可將長度方向的尺寸設(shè)定為寬度方向的尺寸的1~ 3倍，所以可顯著提高 長度方向的撓曲強度。因此，即便是例如較小的力(例如，40N以下的力)，卡止力也可充 分地傳遞到第二進退動作板32而實現(xiàn)可靠的密封，無需通過牢固的支承 構(gòu)造支承第一、第二進退動作板26、 32，而且可縮小蓋體10的空間并 減小厚度。此外，由于進退動作板為分割成第一、第二進退動作板26、 32的簡單的組裝構(gòu)造，所以可容易地只更換由于連續(xù)使用或沖擊等而磨 損的部件、損傷嚴重的部件。此外，由于進退動作板由多個部件組裝而成，所以來自蓋體10的 反力不會直接傳遞到旋轉(zhuǎn)板21上，可非常有效地防止旋轉(zhuǎn)板21自由旋 轉(zhuǎn)或損傷，還可追求可靠的自動返回。此外，由于無需在加鎖機構(gòu)20的 旋轉(zhuǎn)板21上形成多級特殊形狀的凸輪面，所以可實現(xiàn)結(jié)構(gòu)的簡化。此外，由于無需使用金屬制的卡止軸，所以不會由于金屬成分的析 出而導致容器主體1中收納的精密基板的污染。進而，由于可通過比以 往小的力使加鎖機構(gòu)20動作，所以不會導致精密基板的取出錯誤或污 染。進而，由于多個第二進退動作板32的卡止突部34分別與容器主體 1的卡止凹部3前表面傾斜接觸而牢固地密封容器主體1，所以不易發(fā)生 蓋體10的變形或傾斜，而且可使密封墊圈14均勻地接觸圍緣部2而變 形，所以可大幅提高密封性。另外，在上述實施方式中，通過左右一對的罩12覆蓋框體11的正 面兩側(cè)，但不限定于此。例如，可通過單一的罩12覆蓋框體11的正面。 此外，引導件13、臂25、銷突起31、 36、連結(jié)銷29也可如圖1至圖12 所示那樣進行適當?shù)脑鰷p變更。此外，加鎖機構(gòu)20的旋轉(zhuǎn)板21、 一對 第一進退動作板26、 一對第二進退動作板32以及多個引導肋37的材料 中可添加硅酮樹脂或氟樹脂而提高滑動性。此外，第一、第二進退動作板26、 32可分別形成為桿形等形狀。 此外，第二進退動作板32的卡止突部34或引導肋37只要可得到相同的 作用效果即可，可形成為截面三角形、梯形
權(quán)利要求
1.一種收納容器，具有收納物品的容器主體、開閉該容器主體的開口部的蓋體、和對覆蓋容器主體的開口部的蓋體加鎖的加鎖機構(gòu)，其特征在于，加鎖機構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)體，能夠旋轉(zhuǎn)；第1進退動作體，通過該旋轉(zhuǎn)體的旋轉(zhuǎn)，在蓋體加鎖時從蓋體的基準位置向蓋體的周緣部方向突出，在蓋體解鎖時回到蓋體的基準位置；第二進退動作體，可旋轉(zhuǎn)地支承在該第1進退動作體上，在蓋體加鎖時從蓋體突出而被插入到容器主體的開口部內(nèi)周的凹部中，在蓋體解鎖時從容器主體的凹部向蓋體方向返回；以及引導體，使突出的第二進退動作體向蓋體的厚度方向傾斜。
2. 如權(quán)利要求1所述的收納容器，其特征在于，蓋體由嵌合在容 器主體的開口部中的框體和覆蓋該框體的罩形成，在該框體和罩之間夾設(shè)有加鎖機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)體、第一進退動作體、以及第二進退動作體，在框 體和罩的對置面的至少某一方上形成有加鎖機構(gòu)的引導體。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的收納容器，其特征在于，在加鎖機構(gòu) 的第二進退動作體的兩側(cè)部上，分別形成有與引導體接觸的銷突起，引 導體形成為截面大致多邊形，并且，該引導體的與第二進退動作體的銷 突起接觸的接觸面傾斜，而使突出的第二進退動作體相對于第 一進退動 作體在IO。
~45°的范圍內(nèi)傾斜。
4. 如權(quán)利要求1、 2或3所述的收納容器，其特征在于，加鎖機構(gòu) 的第二進退動作體形成為大致板狀，該第二進退動作體的前端部形成為 減小與容器主體的凹部接觸的面積的形狀。
全文摘要
本發(fā)明提供一種收納容器，可防止由于進退動作體的運動而產(chǎn)生灰塵，可減小蓋體的空間和厚度并防止收納物品的污染。具有收納精密基板用的容器主體(1)、開閉該容器主體(1)的正面的蓋體(10)、對覆蓋容器主體(1)的蓋體(10)進行加鎖/解鎖的加鎖機構(gòu)(20)。加鎖機構(gòu)(20)包括支承在蓋體(10)上的旋轉(zhuǎn)板(21)、通過旋轉(zhuǎn)板(21)的旋轉(zhuǎn)而在蓋體(10)加鎖時向蓋體(10)的周壁方向突出且在蓋體(10)解鎖時回到蓋體(10)的基準位置的第1進退動作板(26)、支承在第一進退動作板(26)的前端部并在蓋體(10)加鎖時從蓋體(10)的周壁突出而插入到容器主體(1)的卡止凹部(3)中且在蓋體(10)解鎖時從容器主體(1)的卡止凹部(3)向蓋體方向返回的第二進退動作板(32)、以及使突出的第二進退動作板(32)向蓋體(10)的厚度方向傾斜的引導肋(37)。
文檔編號H01L21/673GK101164154SQ20068001300
公開日2008年4月16日 申請日期2006年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月18日
發(fā)明者三村博, 長谷川晃裕 申請人:信越聚合物株式會社