專利名稱：貯存架和貯存方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在搬運(yùn)液晶玻璃基片等的被搬運(yùn)物品的搬運(yùn)工序 中，暫時(shí)地貯存被搬運(yùn)物品的貯存架和貯存方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造、液晶制造、FA (Factory Automation)等中，將液晶玻璃基片或半導(dǎo)體晶片等的多片被處理物(被搬運(yùn)物)貯存在盒內(nèi)， 就要以盒為單位搬運(yùn)到暫時(shí)保管貯存裝置或施行各種處理的處理裝置 等中。而且，作為現(xiàn)有的貯存裝置有一種由多個(gè)貯存部構(gòu)成的貯存架， 各個(gè)貯存部由利用各個(gè)貯存部的左右側(cè)面上對(duì)向配置的一對(duì)直線狀構(gòu) 件的欞條支撐盒的左右兩底面而構(gòu)成。日本專利文獻(xiàn)1中公開了一種 將該被搬運(yùn)物經(jīng)由搬運(yùn)路徑轉(zhuǎn)載到貯存裝置和各個(gè)處理裝置等的轉(zhuǎn)載 裝置。根據(jù)這篇日本專利文獻(xiàn)l，由于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)的第一及第二杠桿，會(huì) 使裝載被搬運(yùn)物的叉狀裝置伸縮，通過(guò)轉(zhuǎn)載裝置下降，將被搬運(yùn)物裝 載到貯存裝置、各個(gè)處理裝置等內(nèi)。
日本專利文獻(xiàn)l:特開2002—370184號(hào)公報(bào)(圖l) 可是，該專利文獻(xiàn)l中，在裝載了被搬運(yùn)物的狀態(tài)下伸長(zhǎng)叉狀裝 置時(shí)，由于被搬運(yùn)物的重量使叉狀裝置彎曲。因此，對(duì)于裝載被搬運(yùn) 物的各個(gè)處理裝置的裝載部來(lái)說(shuō)，就不可能維持被搬運(yùn)物平行了。這 樣一來(lái)，裝載被搬運(yùn)物時(shí)，被搬運(yùn)物相對(duì)裝載部會(huì)傾斜下降，只有被 搬運(yùn)物的最低點(diǎn)最初與裝載部相接觸。并且，繼續(xù)照舊裝載動(dòng)作時(shí)， 其接觸部分錯(cuò)動(dòng)裝載部，其結(jié)果是，在被搬運(yùn)物與裝載部之間產(chǎn)生滑 動(dòng)磨損，并產(chǎn)生了大量的微粒(微小塵埃)。配置有上述轉(zhuǎn)載裝置和 處理裝置的空間雖然進(jìn)行了空氣凈化，但是若這些微粒等伴隨著氣流 也附著于其他的被搬運(yùn)物上的話，就會(huì)發(fā)生制品質(zhì)量下降這樣的問(wèn)題 啦。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提出一種不會(huì)產(chǎn)生微粒等而能夠貯存被搬運(yùn)物 的貯存架和貯存方法。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明為一種貯存架，該貯存架借助于具備水 平移動(dòng)被搬運(yùn)物的水平杠桿部和升降該被搬運(yùn)物的升降部的轉(zhuǎn)載裝 置，可搬出搬入地保管被搬運(yùn)物，其特征在于備有通過(guò)用所述轉(zhuǎn)載 裝置水平移動(dòng)到裝載位置的上方以后再下降，將所述被搬運(yùn)物裝載在 所述裝載位置上的裝載部；以及設(shè)置在下降到所述裝載部裝載所述被 搬運(yùn)物之際最初接觸的部分的，沿所述水平移動(dòng)方向移動(dòng)自如的移動(dòng) 部。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，水平移動(dòng)降運(yùn)載上述被搬運(yùn)物的上述轉(zhuǎn)載裝置的 上述水平杠桿部時(shí)，上述水平杠桿部由于上述被搬運(yùn)物的重量，朝向 水平移動(dòng)方向頂端彎曲。在這種狀態(tài)下下降上述轉(zhuǎn)載裝置的上述升降 部的話，在上述被搬運(yùn)物完全地裝載到裝載位置之前，上述被搬運(yùn)物 水平移動(dòng)方向頂端與上述移動(dòng)部相接觸。之后，隨著上述被搬運(yùn)物的 下降，由于上述被搬運(yùn)物的水平移動(dòng)方向頂端和作為在水平移動(dòng)方向 移動(dòng)自如的上述移動(dòng)部向水平移動(dòng)方向移動(dòng)，所以在上述被搬運(yùn)物與 上述裝載部之間就不會(huì)產(chǎn)生滑動(dòng)磨損。因此，不會(huì)因滑動(dòng)磨損而產(chǎn)生 微粒(微小塵埃)，能夠?qū)⑸鲜霰话徇\(yùn)物裝載到上述裝載部，并貯存 上述被搬運(yùn)物。另外，本發(fā)明也可以是上述裝載部具有相對(duì)配置，在上述被搬運(yùn) 物的下面兩端部支撐上述被搬運(yùn)物的一對(duì)直線狀支撐構(gòu)件和設(shè)置在直 線狀支撐構(gòu)件上的大致長(zhǎng)方體形狀的缺口部，上述移動(dòng)部具有旋轉(zhuǎn)軸 與上述水平動(dòng)方向垂直地配置在上述缺口部的旋轉(zhuǎn)滾筒和可旋轉(zhuǎn)自 如地保持旋轉(zhuǎn)滾筒并支撐上述被搬運(yùn)物的移動(dòng)支撐部。
根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，用上述轉(zhuǎn)載裝置將上述被搬運(yùn)物裝載到上述裝載 部時(shí)，在上述被搬運(yùn)物最初接觸的部分設(shè)有在水平移動(dòng)方向旋轉(zhuǎn)的旋 轉(zhuǎn)滾筒和具有支撐上述被搬運(yùn)物的移動(dòng)支撐部的移動(dòng)部。因此，上述 被搬運(yùn)物傾斜地與上述裝載部接觸后，即使在被裝載的情形下，因?yàn)?與用上述移動(dòng)支撐構(gòu)件支撐的上述被搬運(yùn)物的同時(shí)，上述移動(dòng)部通過(guò) 上述旋轉(zhuǎn)滾筒也在水平移動(dòng)方向轉(zhuǎn)動(dòng)，所以能夠降低在上述被搬運(yùn)物 與上述直線狀支撐構(gòu)件之間產(chǎn)生摩擦等的危險(xiǎn)。另外，本發(fā)明中與上述水平移動(dòng)方向平行地伸縮的彈性體用彈性 體的各個(gè)兩端固定上述移動(dòng)體和上述裝載部也行。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，將上述被搬運(yùn)物裝載到上述裝載部?jī)?nèi)，由于上述 被搬運(yùn)物而使上述移動(dòng)部沿水平移動(dòng)方向移動(dòng)時(shí)，上述彈性體處于上 述移動(dòng)部的上述水平移動(dòng)方向時(shí)，只是縮小上述彈性體移動(dòng)的部分， 上述彈性體處于和上述水平移動(dòng)方向的相反方向時(shí)，只是伸長(zhǎng)上述彈 性體移動(dòng)的部分。之后，將上述被搬運(yùn)物從上述裝載部去掉時(shí)，隨著 伸縮力而使上述彈性體恢復(fù)到將上述被搬運(yùn)物裝載到上述裝載部之前 的狀態(tài)，所以固定在上述彈性體上的上述移動(dòng)部也回到將上述被搬運(yùn) 物裝載到上述裝載部之前的位置。因此，上述被搬運(yùn)物裝載在上述裝 載部時(shí)，能夠省去控制上述移動(dòng)體配置在上述被搬運(yùn)物與上述裝載部 的最初接觸位置。另外，本發(fā)明通過(guò)沿裝載部方向下降被搬運(yùn)物，該被搬運(yùn)物的一 部分最初與上述裝載部接觸后，該被搬運(yùn)物的一部分一邊對(duì)上述裝載 部滑動(dòng)一邊最終整個(gè)裝載該被搬運(yùn)物時(shí)，使上述裝載部的上述被搬運(yùn) 物的一部分最初接觸的部位向上述滑動(dòng)的方向移動(dòng)。根據(jù)該方法，通過(guò)使上述被搬運(yùn)物的一部分最初接觸的上述裝載 部的部位向滑動(dòng)的方向移動(dòng)，從接觸的位置移動(dòng)到最終整個(gè)裝載上述 被搬運(yùn)物位置的期間能夠避免由于上述被搬運(yùn)物的滑動(dòng)而產(chǎn)生上述被 搬運(yùn)物與上述裝載部的摩擦。


圖1為表示本實(shí)施方式的貯存架中，裝載部和使被搬運(yùn)物下降并 裝載到裝載部時(shí)，沿設(shè)定為最初接觸部分的水平移動(dòng)方向移動(dòng)自如的移動(dòng)部的剖視圖，圖1 (a)表示在圖3中的A—A^面的剖視圖，圖l (b)表示在圖3中的B—B'面的剖視圖。圖2為表示本實(shí)施方式貯存架的裝載部及移動(dòng)部的立體圖。 圖3為表示本實(shí)施方式貯存架的裝載部及移動(dòng)部的頂視圖。 圖4為用于說(shuō)明轉(zhuǎn)載裝置與裝載部的結(jié)構(gòu)示意圖，圖4 (a)表示 頂視圖，圖4(b)表示側(cè)視圖。圖5為用于說(shuō)明被搬運(yùn)物裝載到裝載部上的動(dòng)作圖。 圖6為表示解決本發(fā)明問(wèn)題方面的轉(zhuǎn)載裝置側(cè)視圖。 圖7為用于說(shuō)明解決本發(fā)明問(wèn)題方面的解決方法的被搬運(yùn)物及裝 載部的側(cè)視圖，圖7 (a)表示被搬運(yùn)物的水平移動(dòng)方向頂端部與裝載 部接觸的圖。圖7 (b)表示隨著被搬運(yùn)物的下降，被搬運(yùn)物的水平移 動(dòng)方向頂端部和移動(dòng)部一起向水平移動(dòng)方向移動(dòng)的圖，而圖7(c)表示整 個(gè)被搬運(yùn)物完全裝載在裝載部的圖。圖8為表示本發(fā)明第一改變例的立體圖。圖9為表示本發(fā)明第二改變例的立體圖。符號(hào)說(shuō)明1 貯存架 la 單元架2 盒(載置部)2a支撐部(直線狀支撐構(gòu)件)2b 缺口部3 搬出搬入裝置(移載裝置) 10盒(被搬運(yùn)物) 20滑塊構(gòu)件(移動(dòng)部)22 滑板(移動(dòng)支撐部)23 滾筒(旋轉(zhuǎn)滾筒)具體實(shí)施方式
下面，說(shuō)明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。本實(shí)施方式的貯存架l是一種暫時(shí)地保管搬運(yùn)被搬運(yùn)物的所謂的"盒"。如圖4所示，它是由一 個(gè)以上貯存被搬運(yùn)物的單元架la構(gòu)成。被搬運(yùn)物用搬出搬入裝置3出 入單元架la。并且，本實(shí)施方式中，所謂被搬運(yùn)物，就是貯存例如多枚玻璃基 片或半導(dǎo)體晶片等的正方體或具有長(zhǎng)方體形狀的盒。在下面的說(shuō)明中， 將被搬運(yùn)物稱為"盒"。(機(jī)械結(jié)構(gòu)單元架la) 如圖4 (b)所示，貯存架1中沿垂直方向設(shè)有四層單元架la，單 元架la配置了以盒10的底面支撐盒10的盒2 (裝載部)。并且，借 助于下述的搬出搬入裝置3 (轉(zhuǎn)載裝置)，使盒IO水平移動(dòng)和下降， 把盒10裝載到單元架la的欞條2上。(機(jī)械結(jié)構(gòu)欞條2) 如圖4 (a)所示，欞條2由支撐盒10底面的兩端的對(duì)向配置的 一對(duì)直線狀支撐部2a (直線狀支撐構(gòu)件)構(gòu)成。進(jìn)而，如圖l(a)所示 的表示圖3中的A—A '面的剖視圖，由于支撐部2a的一部分上形成 具有大致長(zhǎng)方體底面的缺口部2b，所以支撐部2a的剖面具有大致"- " 字形狀。而且，圖l(a)和圖1 (b)中所示的表示圖3中的B—B '面的 剖視圖，缺口部2b和水平移動(dòng)方向平行，兩個(gè)滑動(dòng)構(gòu)件20 (移動(dòng)部) 分別配置在將缺口部2b的長(zhǎng)度大致三等分的位置，支撐部2a的兩個(gè)外 面?zhèn)扔脧椈?4連接起來(lái)。而且，所配置的兩個(gè)滑動(dòng)構(gòu)件20按水平方 向順序就是滑動(dòng)構(gòu)件20b、滑動(dòng)構(gòu)件20a。如圖2及圖3所示，具體地
說(shuō)，順著水平方向觀察時(shí)，支撐部2a與滑塊20b之間、滑動(dòng)構(gòu)件20b 與滑塊20a之間、而且滑塊20a與支撐部2a之間，在支撐部2a的兩個(gè) 外面?zhèn)确謩e都用彈簧24連接起來(lái)。此時(shí)的彈簧24維持在自然長(zhǎng)度， 進(jìn)而，在缺口部2b的底面配設(shè)底板21，滑動(dòng)構(gòu)件20在該底板21上沿 著水平移動(dòng)方向往復(fù)移動(dòng)。如圖l(b)所示，該底板21的寬度比支撐部 2a (缺口部2b)的寬度稍長(zhǎng)，兩端部曲折成"L"字型，用該"L"字 型部分夾住支撐部2a的樣子與支撐部2a嵌合。上述缺口部2b及滑動(dòng)構(gòu)件20設(shè)置在將盒10裝載在欞條2上時(shí)最 初與盒10接觸的部分。后面詳細(xì)敘述，不過(guò)盒10裝載在欞條2上時(shí)， 盒IO朝水平移動(dòng)方向垂直向下方彎曲。因此，如下述的圖7 (a)所示， 為了將盒10裝載在欞條2上垂直朝下方向下降時(shí)，盒10的水平移動(dòng) 方向頂端最初與欞條2接觸。進(jìn)而，如下述的圖7(b)所示，盒10隨 著垂直往下方向下降，從水平移動(dòng)方向頂端開始慢慢地進(jìn)行和水平移 動(dòng)方向的反方向與欞條2接觸，盒IO的整個(gè)接觸平面沿著水平移動(dòng)方 向滑動(dòng)。因而，由于以盒10設(shè)置了滑動(dòng)構(gòu)件20使其與滑動(dòng)構(gòu)件20接 觸，所以能夠在水平方向使盒IO滑動(dòng)。本實(shí)施方式中，設(shè)有兩個(gè)滑動(dòng) 構(gòu)件20，不過(guò)與設(shè)置了一個(gè)滑動(dòng)構(gòu)件20的情形相比，能夠在寬闊范圍 內(nèi)擋住滑動(dòng)構(gòu)件20。而且，至于滑動(dòng)構(gòu)件20的大小及件數(shù)也可適當(dāng)改 變。(機(jī)械結(jié)構(gòu)滑動(dòng)構(gòu)件20) 如圖1 (a) 、 (b)所示，滑動(dòng)構(gòu)件20具有滑板22和滾筒23。 滑板22由支撐盒10的頂板22a和設(shè)置在該頂板22a的兩端部可旋轉(zhuǎn)自 如地支撐滾筒23的"L"字型的軸承22b構(gòu)成，可在水平移動(dòng)方向往 復(fù)移動(dòng)。軸承22b的"L"字部分要與上述底板21的彎曲成"L"字型 的部分相扣合，相關(guān)扣合部分實(shí)現(xiàn)水平移動(dòng)方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)的滑板22的 滑動(dòng)作用。另外，軸承22b設(shè)有未圖示的孔，滾筒23的旋轉(zhuǎn)軸23a慢 慢插入(緩揷)，就會(huì)使?jié)L筒23介于頂板22a與底板21之間。因此， 滑動(dòng)構(gòu)件20通過(guò)滾筒23在底板21上旋轉(zhuǎn)，就會(huì)在底板21上沿著水
平移動(dòng)方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。如上所述，缺口部2b與滑動(dòng)構(gòu)件20設(shè)置在盒10裝載在欞條2上時(shí)最初與盒IO接觸的部分。若更具體地說(shuō)明，下述搬出搬入裝置3 的第一杠桿30與第二杠桿31在水平移動(dòng)著的狀態(tài)下，如圖6的箭頭 所示，由于盒10的重量，支撐了盒10的叉狀本體32在頂端處向下方 彎曲。因此，裝載在叉狀本體32的盒IO也在頂端處變得傾斜。因而， 這種狀態(tài)下使盒10向裝載部方向下降時(shí)，相對(duì)欞條2的支撐部2a就會(huì) 傾斜地裝載盒10。此時(shí)，對(duì)支撐部2a而言，就在與盒10的頂端部分 最初接觸的部分設(shè)置缺口部2 b與滑動(dòng)構(gòu)件2 0 。還有，配設(shè)缺口部2b與滑動(dòng)構(gòu)件20的位置，根據(jù)盒體尺寸、 第一及第二杠桿30、 31的長(zhǎng)度也可適當(dāng)改變。(機(jī)械結(jié)構(gòu)搬出搬入裝置3) 如圖5所示，搬出搬入裝置3由對(duì)面平行配置的貯存架1之間形 成的通道6內(nèi)受到運(yùn)行軌道6a支撐導(dǎo)向并在運(yùn)行路徑上運(yùn)行的運(yùn)行體 (圖未示出)、豎立在運(yùn)行體上的一對(duì)支柱3a、被支柱3a支撐導(dǎo)向而 升降的載荷臺(tái)3b、和設(shè)置在上述載荷臺(tái)3b上而且與單元架la之間轉(zhuǎn) 載盒10的轉(zhuǎn)載裝置3c構(gòu)成。上述轉(zhuǎn)載裝置3c旋轉(zhuǎn)第一杠桿30及第二杠桿31，叉狀本體32 便在一條直線上移動(dòng)。而且，本實(shí)施方式中雖然沒(méi)有詳細(xì)敘述，但是 將第一杠桿30、第二杠桿31與叉狀本體32設(shè)置在載荷臺(tái)3a上所設(shè)置 的可旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)盤34上使其旋轉(zhuǎn)，就會(huì)面向通道6，對(duì)任何一貫單元 架la都能夠搬出搬入盒10。如圖4(a)所示，叉狀本體32支撐在盒10的底面中央處，能夠穿 過(guò)對(duì)向的支撐部2a之間。即，支撐盒10的叉狀本體32從欞條2的上 方移動(dòng)到下方時(shí)，叉狀本體32穿過(guò)一對(duì)支撐部2a之間，但盒10的底 面兩端部拉扯支撐部2a。因此，盒10就會(huì)脫離叉狀本體32，同時(shí)被裝 載到欞條2上。還有，通過(guò)第一及第二杠桿30、 31伸縮(旋轉(zhuǎn))，能 夠在退入位置和伸出位置之間以一定速度水平移動(dòng)叉狀本體32。所謂 "退入位置"就是曲折第一及第二杠桿30、 31，意味著叉狀本體32位 于單元架la之外，所謂"伸出位置"就是伸長(zhǎng)第一及第二杠桿30、 31， 意味著叉狀本體32位于單元架la之內(nèi)。
接下來(lái)，說(shuō)明如上述構(gòu)成的搬出搬入裝置3的盒IO進(jìn)行貯存時(shí)的 動(dòng)作和對(duì)盒10進(jìn)行裝載時(shí)的滑動(dòng)構(gòu)件20的動(dòng)作。
(盒10的動(dòng)作給單元架la搬入盒10) 在叉狀本體32上裝載盒10的搬出搬入裝置3，接受來(lái)自未圖示 的操縱控制器等的指令信號(hào)，在運(yùn)行軌道上運(yùn)行，移動(dòng)到目標(biāo)貯存架l 前面。之后，升降載荷臺(tái)3b，移動(dòng)至目標(biāo)單元架la處。并且，通過(guò)旋 轉(zhuǎn)第一杠桿30及第二杠桿31，叉狀本體32從退入位置水平移動(dòng)到伸 出位置。還有，處于突出位置的盒10及叉狀本體32，就會(huì)至少位于靠 近目標(biāo)單元架la的欞條2上方。
接著， 一邊保持該狀態(tài)一邊使載荷臺(tái)3a下降。隨著該載荷臺(tái)3a 的下降，叉狀本體32也下降。該叉狀本體32就會(huì)穿過(guò)對(duì)向的支撐部 2a之間，在其穿過(guò)之際，叉狀本體32上的盒IO將底面兩端部掛在支 撐部2a上，因此，盒10就裝載在欞條2上。
(貯存架的動(dòng)作滑動(dòng)構(gòu)件20)
另外，如上述一樣叉狀本體32由于盒10的重量，頂端部向重力 方向彎曲，在下降的途中，如圖7(a)所示，首先盒10的頂端部與滑 動(dòng)構(gòu)件20接觸。該接觸部分設(shè)有滑板22，則盒10由滑動(dòng)構(gòu)件20a的 滑板22支撐著。并且，隨著盒10的下降，由于滾筒23旋轉(zhuǎn)，滑動(dòng)構(gòu) 件20在底板21上開始向圖7 (b)的水平移動(dòng)方向的箭頭表示的方向 移動(dòng)。進(jìn)而，當(dāng)盒10進(jìn)行下降時(shí)，盒10的底面也與滑動(dòng)構(gòu)件20b接觸，滑動(dòng)構(gòu)件20b和滑動(dòng)構(gòu)件20a同樣，也以與盒IO接觸狀態(tài)向箭頭 方向開始移動(dòng)。因而，不會(huì)在滑動(dòng)構(gòu)件20與底板21之間因磨損而產(chǎn) 生微粒。盒10由于用滑動(dòng)構(gòu)件20的滑板22支撐，也不會(huì)在盒10與 欞條2之間因磨損而產(chǎn)生微粒。并且，照舊使叉狀本體32下降時(shí)，如 圖7(c)所示，盒10就被裝載在欞條2上?；瑒?dòng)構(gòu)件20由于配設(shè)彈簧24，當(dāng)從欞條2上去掉盒IO時(shí)，借 助于彈簧24的伸縮力而回到到彈簧24自然長(zhǎng)度的原來(lái)位置。另外， 在圖7中，在說(shuō)明情況方面，省略了支撐盒10的叉狀本體32。(盒IO的貯存方法) 接著，就如上述構(gòu)成的貯存架，說(shuō)明貯存盒10的貯存方法。 首先，使盒10向欞條方向下降。因此，盒10的頂端部最初與欞 條2接觸以后，使盒10的頂端部對(duì)欞條2活動(dòng)，最終整體裝載盒IO。 此時(shí)，使欞條2上的盒IO頂端部沿最初接觸的部位滑動(dòng)的方向移動(dòng)。 更具體地說(shuō)，當(dāng)盒10的頂端部與欞條2的滑動(dòng)構(gòu)件20接觸時(shí)，頂端 部就沿滑動(dòng)方向移動(dòng)滑動(dòng)構(gòu)件20。并且，頂端部就一邊向滑動(dòng)方向移 動(dòng)， 一邊最終地將盒10裝載在欞條2上。因此，能夠以不會(huì)產(chǎn)生微小 塵埃地將盒10裝載在欞條2上。(本實(shí)施方式的概要) 如上所述，本實(shí)施方式是在通過(guò)備有水平移動(dòng)盒10的轉(zhuǎn)載裝置 3c和升降盒10的載荷臺(tái)3a的搬出搬入裝置3，可搬出搬入地保管盒 IO的單元架la中，構(gòu)成了具備通過(guò)用搬出搬入裝置3水平移動(dòng)到裝載 位置的上方后使之下降，將盒10裝載在裝載位置的欞條2，和設(shè)置在 將盒10下降并裝載在欞條2上時(shí)最初接觸部分的、在水平移動(dòng)方向可 移動(dòng)自如的滑動(dòng)構(gòu)件20的結(jié)構(gòu)。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，使裝載盒10的搬出搬入裝置3的轉(zhuǎn)載裝置3c水 平移動(dòng)時(shí)，轉(zhuǎn)載裝置由于盒10的重量，朝向水平移動(dòng)方向的頂端彎曲。在這種狀態(tài)下降搬出搬入裝置3的載荷臺(tái)3b時(shí)，在盒10完全裝載在裝載位置之前，盒10的水平移動(dòng)方向頂端與滑動(dòng)構(gòu)件20接觸。之后， 隨著盒10的下降，由于盒10的水平移動(dòng)方向頂端和在水平移動(dòng)方向 移動(dòng)自如的滑動(dòng)構(gòu)件20同時(shí)向水平移動(dòng)方向移動(dòng)，所以在盒10與欞 條2之間不會(huì)產(chǎn)生滑動(dòng)磨損。因此，不會(huì)因滑動(dòng)磨損產(chǎn)生的微粒(微 小塵埃)，就能夠?qū)⒑?0裝載在欞條2上貯存盒10。另外，本實(shí)施方式是構(gòu)成欞條2具有對(duì)向配置，以盒10的下面兩 端部支撐盒10的一對(duì)支撐部2a和設(shè)置在支撐部2a的大致長(zhǎng)方體形狀 的缺口部2，滑動(dòng)構(gòu)件20具有旋轉(zhuǎn)軸與水平移動(dòng)方向垂直、配置在缺 口部2b的滾筒23，和旋轉(zhuǎn)自如地保持滾筒23、并支撐盒10的滑板22 的構(gòu)成。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，用搬出搬入裝置3將盒10裝載在欞條2上時(shí)，在 最初與盒10接觸的部分，設(shè)置了具有在水平移動(dòng)方向旋轉(zhuǎn)的滾筒23 和支撐盒10的滑板22的滑動(dòng)構(gòu)件20。因此，盒10傾斜地與欞條2接 觸后，即使在這樣裝載的情形下，由于用滑板22支撐的盒10與滑動(dòng) 構(gòu)件20 —起通過(guò)旋轉(zhuǎn)滾筒向水平移動(dòng)方向移動(dòng)，所以能夠降低盒10 與欞條2之間產(chǎn)生摩擦之類的危險(xiǎn)。另外，本實(shí)施方式用彈簧24的各自兩端來(lái)固定與水平移動(dòng)方向平 行伸縮的彈簧24與欞條2也可以。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，將盒10裝載在欞條2上，由于盒10而使滑動(dòng)構(gòu) 件20向水平移動(dòng)方向移動(dòng)的情況下，彈簧24處于滑動(dòng)構(gòu)件20的水平 移動(dòng)方向時(shí)只縮小己移動(dòng)的部分，彈簧24處于和水平移動(dòng)方向的反方 向時(shí)只伸長(zhǎng)已移動(dòng)的部分。之后，當(dāng)將盒10從欞條2上去掉時(shí)，由于 彈簧24的伸縮力而回到將盒10裝載在欞條2上之前的位置。因此， 當(dāng)將盒10裝載在欞條2上時(shí)，能夠省去在盒10最初與欞條2接觸的 位置配置滑動(dòng)構(gòu)件20的控制。本實(shí)施方式技術(shù)，通過(guò)使盒10向欞條2方向下降，在盒10的水平移動(dòng)方向頂端最初與欞條2接觸以后，盒10的水平移動(dòng)方向頂端部 對(duì)欞條2 —邊滑動(dòng)一邊最終整個(gè)裝載盒10的時(shí)候，使欞條2上盒10 的水平移動(dòng)方向頂端最初接觸的滑動(dòng)構(gòu)件20向上述滑動(dòng)的方向移動(dòng)。根據(jù)此方法，由于使盒10的一部分最初接觸欞條2的部位向滑動(dòng) 的方向移動(dòng)，在從接觸位置移動(dòng)到最終整個(gè)裝載盒10的位置的期間， 能夠避免因盒10的滑動(dòng)而產(chǎn)生盒IO與欞條2間的摩擦。(本實(shí)施方式的變形例) 本發(fā)明記載了上述的優(yōu)選實(shí)施方式，但并非本發(fā)明只限定于此。 可以理解為，除此之外只要不脫離本發(fā)明的構(gòu)思與范圍的各種各樣實(shí) 施方式都是搞出來(lái)的。進(jìn)而，本實(shí)施方式中，雖然陳述了發(fā)明結(jié)構(gòu)的 作用與效果，不過(guò)這些作用與效果只是一個(gè)例子，并非限定本發(fā)明。例如,在上述實(shí)施方式中，將在裝載方向往復(fù)移動(dòng)的移動(dòng)部制成由 滑板22與滾筒23等構(gòu)成的滑動(dòng)構(gòu)件20，不過(guò)并不限定于此。例如， 如圖8所示，也可以制成將滾筒51直接安裝在支撐部2a上結(jié)構(gòu)(改變 例1)。具體點(diǎn)說(shuō)，在支撐部2a的盒10所裝載的平面上設(shè)置開口部。 并且，并列配置了四個(gè)滾筒51，就要將各個(gè)滾筒51的旋轉(zhuǎn)軸51a可旋 轉(zhuǎn)自如地慢慢插入到支撐部2a的側(cè)面。此時(shí)，滾筒51的上面就會(huì)從支 撐部2a稍稍伸出一些。還有，也可以制作在滾筒51的下面?zhèn)仍O(shè)置支撐 滾筒51的支撐板52。另外，如圖9所示，也可以制成滾筒61直接安裝在支撐部2a上， 設(shè)置滑板62覆蓋其上的結(jié)構(gòu)(改變例2)。具體點(diǎn)說(shuō)，在支撐部2a的 盒IO伸裝載的平面上設(shè)置開口部。并且，并列配置三個(gè)滾筒61，就要 將各個(gè)滾筒61的旋轉(zhuǎn)軸61a可旋轉(zhuǎn)自如地慢慢插入到支撐部2a的側(cè) 面。滑板62的剖面設(shè)置成大致呈字形狀，使之覆蓋三個(gè)滾筒61。此時(shí)，滑板62的上部就從支撐部2a稍稍伸出些。另外，滑板62 的兩側(cè)面在支撐部2a和內(nèi)部用彈簧63連接起來(lái)。這時(shí)，彈簧63維持 自然長(zhǎng)度狀態(tài)，即使是滑板62向任意方向移動(dòng)，也能夠借助于彈簧63 回到原來(lái)的位置。還有，也可以制成在滾筒61的下面?zhèn)仍O(shè)置支撐滾筒 61的支撐板64。另外，上述本實(shí)施方式中，盒10最初與欞條2接觸的位置雖限定 于盒10的頂端，但也可以是盒10被裝到欞條2上的整個(gè)平面。具體 點(diǎn)說(shuō)，相對(duì)欞條2從斜上方裝載盒10這樣的情況下，盒10的整個(gè)裝 載面就相對(duì)欞條2滑動(dòng)。因此，為了使盒10的整個(gè)裝載面滑動(dòng)就要設(shè) 置滑動(dòng)構(gòu)件20等，能夠獲得與上述實(shí)施方式相同的效果。另外，就盒10裝到欞條2上的方法來(lái)說(shuō)，也可以從上方夾住盒 10，以懸掛狀態(tài)裝到欞條2上，此時(shí)，也可以制作使盒IO的頂端部或 整個(gè)裝載面滑動(dòng)這樣的結(jié)構(gòu)D進(jìn)而，上述本實(shí)施方式中，被搬運(yùn)物雖然設(shè)定盒IO，裝載部為欞 條2,但是并非限定于這些，上述實(shí)施方式說(shuō)明過(guò)的結(jié)構(gòu)也可適當(dāng)改變。
權(quán)利要求
1.一種貯存架，該貯存架借助于具備水平移動(dòng)被搬運(yùn)物的水平杠桿部和升降該被搬運(yùn)物的升降部的轉(zhuǎn)載裝置，可搬出搬入地保管被搬運(yùn)物，其特征在于備有通過(guò)用所述轉(zhuǎn)載裝置水平移動(dòng)到裝載位置的上方以后再下降，將所述被搬運(yùn)物裝載在所述裝載位置上的裝載部；以及設(shè)置在下降到所述裝載部裝載所述被搬運(yùn)物之際最初接觸的部分的，沿所述水平移動(dòng)方向移動(dòng)自如的移動(dòng)部。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所記載的貯存架，其特征在于， 所述裝載部具有對(duì)向配置，并以所述被搬運(yùn)物的下面兩端部支撐所述被搬運(yùn)物的 一對(duì)直線狀支撐構(gòu)件和設(shè)置在所述直線狀支撐構(gòu)件上的大致長(zhǎng)方體形 狀的缺口部，所述移動(dòng)部具有；旋轉(zhuǎn)軸和所述水平移動(dòng)方向相垂直配置在所述缺口部的旋轉(zhuǎn)滾筒 和旋轉(zhuǎn)自如地保持所述旋轉(zhuǎn)滾筒并支撐所述被搬運(yùn)物的移動(dòng)支撐部。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所記載的貯存架,其特征在于， 和所述水平移動(dòng)方向平行地伸縮的彈性體,用彈性體的兩端分別固定所述移動(dòng)體與所述裝載部。
4. 一種貯存方法，其特征在于，通過(guò)被搬運(yùn)物向裝載部方向下降，該被搬運(yùn)物的一部分最初與所 述裝載部接觸后，該被搬運(yùn)物的一部分一邊相對(duì)所述裝載部滑動(dòng)一邊 最終整個(gè)地裝載該被搬運(yùn)物的時(shí)候，使在所述裝載部上的所述被搬運(yùn) 物的一部分最初接觸的部位向所述滑動(dòng)的方向移動(dòng)。
全文摘要
提供一種不會(huì)產(chǎn)生微粒等，并將被搬運(yùn)物存入貯存裝置的貯存裝置。在用具有水平移動(dòng)盒10的轉(zhuǎn)載裝置3c和升降盒10的載荷臺(tái)3b的搬出搬入裝置3，可搬出搬入地保管盒10的單元架1a中，具備有通過(guò)用搬出搬入裝置3水平移動(dòng)到裝載位置的上方以后再使之下降，在裝載位置裝載盒10的欞條2和設(shè)置在使盒10下降并裝載到欞條2上時(shí)最初接觸的部分的，可沿水平移動(dòng)方向移動(dòng)自如的滑塊構(gòu)件20。
文檔編號(hào)H01L21/67GK101108692SQ200710137778
公開日2008年1月23日 申請(qǐng)日期2007年7月3日 優(yōu)先權(quán)日2006年7月3日
發(fā)明者前滝進(jìn) 申請(qǐng)人:亞仕帝科技股份有限公司