專利名稱：半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低方法及地震損 害擴(kuò)散降低系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體裝置的制造中，有對(duì)作為被處理體的半導(dǎo)體晶片進(jìn)行氧 化處理，成胰處理等各種處理的工序。作為進(jìn)行這種處理的裝置，使 例如可對(duì)多個(gè)晶片以批量式進(jìn)行處理的半導(dǎo)體制造裝置(也稱為縱型 熱處理裝置)(參照特許文獻(xiàn)1)。這種半導(dǎo)體制造裝置，在下部有爐口 的縱型熱處理爐的下方，具有裝填區(qū)域(移載區(qū)域)，在該裝填區(qū)域上
迎過(guò)保溫簡(jiǎn)載置用于搭載大口徑的(例如直徑為300mm)的多個(gè)(100 150個(gè))晶片加晶舟搭載在關(guān)閉上述爐口的蓋體的上部，使蓋體升降， 將品舟搬入和搬出熱處理爐內(nèi)的升降機(jī)構(gòu)；或在容納多個(gè)晶片的載體 (容納容器)和上述晶舟之間進(jìn)行晶片的移載的移載機(jī)構(gòu)等。
作為半導(dǎo)體制造裝置提出采用使用二個(gè)上述的晶舟，將一個(gè)晶舟 搭載在蓋體上當(dāng)將該晶舟搬入熱處理爐內(nèi)進(jìn)行熱處理吋，進(jìn)行另一個(gè) 晶舟上的半導(dǎo)體晶片的替換的所謂二晶舟系統(tǒng)。
然而，上述晶舟由石英制成，價(jià)格非常高。另外，上述晶片也價(jià) 格高，與處理工序進(jìn)行相聯(lián)系，制造成本增大。因此要慎重地進(jìn)行這 些處理。
專利文獻(xiàn)l:特開(kāi)2000-150400號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
然而，上述批量式的半導(dǎo)體制造裝置，現(xiàn)狀是由于裝置的結(jié)構(gòu)上 存在硬件和軟件的方面各種制約，難以具有耐震結(jié)構(gòu)和耐震功能，不 能形成充分的耐震對(duì)策。由于這樣，當(dāng)發(fā)生地震，裝置受到大的搖動(dòng) 時(shí)，會(huì)產(chǎn)生晶舟倒塌，晶片從晶舟脫落，破損，氣體泄漏等損害情況。
另外，在發(fā)生損害的情況下，將裝置恢復(fù)至再開(kāi)始操作需要長(zhǎng)吋間。 由于這樣，在發(fā)生地震的情況下，損害甚大。
本發(fā)明是考慮上述問(wèn)題而提出的，其目的是要提供，預(yù)知地震的 發(fā)生并提前防止晶舟的倒塌，將損害抑制至最小限度，可縮短恢復(fù)吋 間的半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低方法和地震損害擴(kuò)散降低 系統(tǒng)。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的包括多層搭載被處理體的晶舟的半 導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低方法，其特征在于包括接收 基于經(jīng)通信線路發(fā)送的初期微動(dòng)的緊急地震信息，或直接檢測(cè)初期微 動(dòng)的工序；根據(jù)接收的緊急地震信息或檢測(cè)的初期微動(dòng)停止上述半導(dǎo) 體制造裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)的第一工序；和與該第一工序并行，為了防止多層 搭載上述被處理體的上述晶舟倒塌，以接觸或非接觸方式保持上述晶 舟的第二工序；
本發(fā)明ji;特征在于在與該第一工序并行進(jìn)行的第二工序中，為
了防止多層搭載上述被處理體的上述晶舟倒塌，從上下以接觸或非接 觸方式夾住并保持上述晶舟。
木發(fā)明其特征在于在上述第二工序之后還具有，利用升降機(jī)構(gòu) 使上述晶舟返回至作為從上述熱處理爐的搬出位置的原來(lái)位置的第三 工序。
本發(fā)明其特征在于在上述第二工序之后，并在地震的主震結(jié)朿 后進(jìn)行上述第三工序。
本發(fā)明的半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低系統(tǒng)，其特征在 于在具有設(shè)置有爐口的熱處理爐，開(kāi)閉上述爐口的蓋體，裝載在上 述蓋體上并多層搭載被處理體的晶舟的半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害 擴(kuò)散降低系統(tǒng)中，具有接收基于經(jīng)通信線路發(fā)送的初期微動(dòng)的緊急 地震信息的接受部，或直接檢測(cè)初期微動(dòng)的初期微動(dòng)檢測(cè)部；和控制 部，執(zhí)行如下工序，根據(jù)接收的緊急地震信息或檢測(cè)的初期微動(dòng)停止 上述半導(dǎo)體制造裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)的第一工序；和為了防止多層搭載上述被 處理體的上述晶舟倒塌，以接觸或非接觸方式保持上述晶舟的第二工 序。
本發(fā)明其特征在于上述控制部，在執(zhí)行上述第二工序時(shí)，從上
下以接觸或非接觸方式夾住并保持上述晶舟。
本發(fā)明其特征在于上述半導(dǎo)體制造裝置還具有，在上述蓋體的 上部裝載上述晶舟，并進(jìn)行搬入搬出上述熱處理爐的升降機(jī)構(gòu)，和在 上述蓋體開(kāi)放中時(shí)遮蔽上述爐口的閘門(mén)；上述控制部，在執(zhí)行上述第 二工序時(shí)，利用上述升降機(jī)構(gòu)使上述晶舟從搬出位置上升移動(dòng)，通過(guò) 使上述晶舟的上端部與上述閘門(mén)的下面部接近或接觸，在上述閘門(mén)和 上述蓋體之間，.從上下以接觸或非接觸方式夾住并保持上述晶舟。
本發(fā)明其特征在于上述地震損害擴(kuò)散降低系統(tǒng)還具有用于執(zhí)行 上述第二工序的晶舟倒塌防止機(jī)構(gòu)。該晶舟倒塌防止機(jī)構(gòu)具有被軸 支撐于軸承部上的臂，并且在位于從上述爐口搬出的搬出位置的上述 晶舟的3衛(wèi)直向上的動(dòng)作位置處，可利用加力單元從側(cè)方的退避位置擺 動(dòng)移動(dòng)；將該臂卡止在上述退避位置，利用上述控制部使卡止?fàn)顟B(tài)解 除的鎖定機(jī)構(gòu)；和當(dāng)上述臂在動(dòng)作位置上擺動(dòng)移動(dòng)吋，為了使在上述 臂和上述蓋體之間從上下以接觸或非接觸方式夾住并保持上述晶舟的 上述臂下降，而設(shè)置在上述軸承部上的導(dǎo)向槽。
木發(fā)明其特征在于上述半導(dǎo)體制造裝置具有，設(shè)置在用于進(jìn)行 將上述晶舟搬入搬出上述熱處理爐的操作的移載區(qū)域內(nèi)，裝載與上述 蓋體上的上述晶舟交替使用的另一個(gè)晶舟的晶舟裝載臺(tái)；和在該晶舟 裝載臺(tái)和上述蓋體之間進(jìn)行上述晶舟的搬送的晶舟搬送機(jī)構(gòu)；上述控 制部，控制該晶舟搬送機(jī)構(gòu)，抬起上述晶舟裝載臺(tái)上的上述晶舟，使 上述晶舟的上端部與上述移載區(qū)域內(nèi)的頂部接近或接觸，從上下以接 觸或非接觸的方式夾住并保持上述晶舟而防止倒塌。
本發(fā)明其特征在于上述半導(dǎo)體制造裝置具有，設(shè)置在進(jìn)行將上 述晶舟搬入搬出上述熱處理爐的操作的移載區(qū)域內(nèi)，并裝載與上述蓋 體上的上述晶舟交替使用的另一個(gè)晶舟的晶舟裝載臺(tái)；和在上述晶舟 裝載臺(tái)上的上述晶舟和容納多個(gè)上述被處理體的容納容器之間，進(jìn)行 上述被處理體的移載的移載機(jī)構(gòu)；上述控制部，控制該移載機(jī)構(gòu)，與 上述晶舟裝載臺(tái)上的上述晶舟的上端部接近或接觸，從上下以接觸或 非接觸方式夾住并保持上述晶舟，而防止倒塌。
本發(fā)明其特征在于上述半導(dǎo)體制造裝置具有，旋轉(zhuǎn)上述蓋體上 的上述晶舟的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；設(shè)置有在用于進(jìn)行將上述晶舟搬入搬出上述
熱處理爐的操作的移載區(qū)域內(nèi)，向從上述熱處理爐搬出的上述晶舟吹 送不活潑氣體，并可相對(duì)于要進(jìn)行冷卻的上述晶舟進(jìn)退移動(dòng)的縱長(zhǎng)的 噴淋頭的晶舟噴淋機(jī)構(gòu)，上述控制部，控制該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，使上述蓋體 上的上述晶舟旋轉(zhuǎn)并朝向上述噴淋頭，同時(shí)，使上述噴淋頭相對(duì)于該 晶舟接近移動(dòng)，并限制上述被處理體從上述晶舟飛出。
本發(fā)明其特征在于上述半導(dǎo)體制造裝置具有，具有在用于進(jìn)行 將上述晶舟搬入搬出上述熱處理爐的操作的移載區(qū)域內(nèi)，裝載與上述 諧體上的上述晶舟交替使用的另一個(gè)晶舟的、可旋轉(zhuǎn)的裝載部的晶舟
裝載臺(tái)；從側(cè)方向該晶舟裝載臺(tái)上的上述晶舟噴出淸洗空氣的空氣清 洗機(jī)；為使上述晶舟朝向與上述空氣清洗機(jī)相反側(cè)而卡止上述裝載部 的卡止機(jī)構(gòu)；為在解除該卡止機(jī)構(gòu)的卡止?fàn)顟B(tài)吋，使晶舟朝向空氣清 洗機(jī)側(cè)而對(duì)裝載部旋轉(zhuǎn)加力的加力單元；上述控制部，解除上述卡止 機(jī)構(gòu)，上述加力單元對(duì)上述裝載部加力，通過(guò)上述裝載部的旋轉(zhuǎn)，使 上述晶舟與空氣清洗機(jī)相對(duì)，限制上述被處理體從上述晶舟飛出。
本發(fā)明其特征在于上述控制部，在上述第二工序后，執(zhí)行利用 升降機(jī)構(gòu)使上述晶舟返回作為從上述熱處理爐的搬出位置的原來(lái)位置 的第三工序。
木發(fā)明其特征在于在上述第二工序之后，并在地震的主震結(jié)朿 后進(jìn)行上述笫三工序。
采用本發(fā)明，利用在主震(S波)10數(shù)秒前檢測(cè)，通過(guò)通信線路 發(fā)送的初期微動(dòng)(P波)的緊急地震信息或直接檢測(cè)初期微動(dòng)，停止半 導(dǎo)體制造裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)；另一方面，與其并行以接觸或非接觸方式保持 晶舟，因此可在發(fā)生前防止地震引起的晶舟倒塌，可將損害抑制至最 小限度，縮短恢復(fù)時(shí)間。
在這種情況下，通過(guò)利用將晶舟搭載在開(kāi)閉熱處理爐的爐口的蓋 體上部，利用進(jìn)行搬入搬出熱處理爐的升降機(jī)構(gòu)使晶舟從搬出位置上 升移動(dòng)，在蓋體開(kāi)放中，使晶舟的上端部與遮蔽上述爐口的閘門(mén)的下 面部接近或接觸，可在閘門(mén)和蓋體之間以接觸式非接觸方式保持晶舟， 因此不需在移載區(qū)域內(nèi)增設(shè)新的機(jī)構(gòu)，利用現(xiàn)有的裝置結(jié)構(gòu)，可防止 晶舟倒塌。
具有被軸支撐于軸承部上的臂，并且裝載在開(kāi)閉熱處理爐的爐口的蓋體上部，在位于從上述爐口搬出的搬出位置的晶舟的垂直向上的動(dòng)作位置處，可利用加力單元從側(cè)方的退避位置擺動(dòng)移動(dòng)；將該臂 卡止在上述退避位置，利用上述控制部使卡止?fàn)顟B(tài)解除的鎖定機(jī)構(gòu)； 和當(dāng)上述臂在動(dòng)作位置上擺動(dòng)移動(dòng)時(shí)，為了使在上述臂和上述蓋體之 間從上下以接觸或非接觸方式夾住并保持上述晶舟的上述臂下降，而 設(shè)置在上述軸承部上的導(dǎo)向槽，利用上述構(gòu)成則不需升降控制升降機(jī) 構(gòu)，可防止晶舟的倒塌。具有，在移載區(qū)域內(nèi)，裝載與上述蓋體上的上述晶舟交替使用的 另一個(gè)晶舟的晶舟裝載臺(tái)；和在該晶舟裝載臺(tái)和上述蓋體之間進(jìn)行上 述品舟的搬送的晶舟搬送機(jī)構(gòu)；利用來(lái)自上述控制部的控制，使該晶 舟搬送機(jī)構(gòu)，抬起上述晶舟裝載臺(tái)上的上述晶舟，使上述晶舟的上端 部與上述移載區(qū)域內(nèi)的頂部接近或接觸，從上下以接觸或非接觸的方式夾住并保持上述晶舟而防止倒塌。根據(jù)上述構(gòu)成，可以利用移載區(qū) 域內(nèi)的現(xiàn)有的裝置構(gòu)成，來(lái)防止在所謂二晶舟系統(tǒng)中的晶舟裝載臺(tái)上 的品舟倒塌。具有，在移載區(qū)域內(nèi)，裝載與上述蓋體上的上述晶舟交替使用的 另一個(gè)晶舟的晶舟裝載臺(tái)；在該晶舟裝載臺(tái)和蓋體之間進(jìn)行晶舟搬運(yùn) 的晶舟搬送機(jī)構(gòu)；和在上述晶舟裝載臺(tái)上的上述晶舟和容納多個(gè)上述 被處理體的容納容器之間，進(jìn)行上述被處理體的移載的移載機(jī)構(gòu)；利 用來(lái)自上述控制部的控制，使移載機(jī)構(gòu)與上述晶舟裝載臺(tái)上的上述晶 舟的上端部接近或接觸，從上下以接觸或非接觸方式夾住并保持上述 晶舟，而防止倒塌。利用上述結(jié)構(gòu)，可利用移載區(qū)域內(nèi)的現(xiàn)有的裝置 結(jié)構(gòu)，防止所謂二晶舟系統(tǒng)的晶舟裝載臺(tái)上的晶舟倒塌。具有，旋轉(zhuǎn)蓋體上的晶舟的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；設(shè)置有在移載區(qū)域內(nèi)向從 上述熱處理爐搬出的上述晶舟吹送不活潑氣體，并可相對(duì)于要進(jìn)行冷 卻的上述晶舟進(jìn)退移動(dòng)的縱長(zhǎng)的噴淋頭的晶舟噴淋機(jī)構(gòu)，利用來(lái)自上 述控制部的控制，使上述蓋體上的上述晶舟旋轉(zhuǎn)并朝向上述噴淋頭， 同時(shí)，使上述噴淋頭相對(duì)于該晶舟接近移動(dòng)，并限制上述被處理體從 上述晶舟飛出，則利用現(xiàn)有的噴淋頭，可防止被處理體從晶舟飛出或 脫落造成的破損。具有，在移載區(qū)域內(nèi)裝載與上述蓋體上的上述晶舟交替使用的另
一個(gè)晶舟的、'具有可旋轉(zhuǎn)的裝載部的晶舟裝載臺(tái)；從側(cè)方向該晶舟裝 載臺(tái)上的上述晶舟噴出清洗空氣的空氣清洗機(jī)；為使上述晶舟朝向與 上述空氣清洗機(jī)相反側(cè)而卡止上述裝載部的卡止機(jī)構(gòu)；為在解除該卡 止機(jī)構(gòu)的卡止?fàn)顟B(tài)吋，使晶舟朝向空氣清洗機(jī)側(cè)而對(duì)裝載部旋轉(zhuǎn)加力 的加力單元；利用來(lái)自上述控制部的控制，解除上述卡止機(jī)構(gòu)，通過(guò) 上述裝載部的旋轉(zhuǎn)，使上述晶舟與空氣清洗機(jī)相對(duì)，限制上述被處理 體從上述晶舟飛出。利用上述構(gòu)成，可防止被處理體從所謂二晶舟系 統(tǒng)的晶舟裝載臺(tái)上的晶舟飛出或脫落造成的破損。在上述第二工序之后或在第二工序后且主震結(jié)束后，利用升降機(jī)構(gòu)使上述晶舟返回至作為從上述熱處理爐的搬出位置的原來(lái)位置，可 以迅逨恢復(fù)半導(dǎo)體制造裝置。


閣1為概略地表示作為本發(fā)明的實(shí)施方式的半導(dǎo)體制造裝置中的 地震損害降低系統(tǒng)的圖；圖2為圖1的半導(dǎo)體制造裝置的橫截而圖； 圖3為說(shuō)明防止晶舟倒塌的工序的立體圖； 圖4為表示晶舟倒塌防止機(jī)構(gòu)的立體圖；圖5為在表示相同的晶舟倒塌防止機(jī)構(gòu)的圖中，(a)為非工作吋的平面圖，(b)為工作吋的平面圖；圖6為說(shuō)明防止晶舟架上的晶舟倒塌的方法的立體圖；圖7為說(shuō)明防止晶舟架上的晶舟倒塌的另一方法的立體圖；圖8為在表示晶片飛出防止機(jī)構(gòu)的圖中，(a)為非工作時(shí)間的平 面圖，(b)為將晶舟向晶片飛出防止機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)的平面圖；圖9為在表示晶片飛出防止機(jī)構(gòu)的工作的圖中，(a)為平面圖，(b) 為側(cè)面圖；圖10在表示晶片飛出防止機(jī)構(gòu)的另一例子的圖中，(a)為非工作 時(shí)的平面圖，(b)為工作時(shí)的平面圖；圖ll為在表示晶舟架上的晶片飛出防止機(jī)構(gòu)的圖中，(a)為非工 作時(shí)的平面圖，(b)為開(kāi)始工作時(shí)的平面圖，(c)為工作途中的平面 圖，(d)為工作結(jié)束時(shí)的平面圖； 圖12為概略地表示作為本發(fā)明的另一實(shí)施方式的半導(dǎo)體制造裝置 中的地震損害擴(kuò)散降低系統(tǒng)的圖。
具體實(shí)施方式
以下，根據(jù)附圖詳細(xì)說(shuō)明實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式。圖1為概 略地表示作為本發(fā)明的實(shí)施方式的半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散 降低系統(tǒng)的圖，圖2為圖1的半導(dǎo)體制造裝置的橫截面圖，圖3為說(shuō) 明防止晶舟倒塌的工序的立體圖。，在這些圖中，l為設(shè)置在凈化室內(nèi)的半導(dǎo)體制造裝置，例如，為縱 型熱處理裝置。該熱處理裝置1具有形成裝置的外部輪廓的框體2。在 該框體2內(nèi)設(shè)有進(jìn)行作為容納多個(gè)被處理體，例如半導(dǎo)體晶片W的容 納容器的載體3的搬送和保管的搬送保管區(qū)域Sa;和在以規(guī)定間距， 在上下方向以層搭載多個(gè)(例如100 150個(gè))晶片的晶舟4和上述載 休3之間進(jìn)行作為晶片的移載作業(yè)，或?qū)⒕е?搬入搬出熱處理爐5 的作業(yè)的作業(yè)區(qū)域(移載區(qū)域)的裝填區(qū)域Sb。上述搬送保管區(qū)域Sa 和裝壩區(qū)域Sb利用隔壁6分開(kāi)。上述載體3由塑料制的容器構(gòu)成，可在上下方向以規(guī)定間隔，在 水平狀態(tài)下，多層容納多個(gè)(13 25個(gè))規(guī)定口徑(例如直徑300mm) 的晶片，在其前面部上形成有開(kāi)口部的晶片取出口上，具有氣密地將 其塞住的可裝和卸的蓋(圖示省略)。在上述框體2的前面部上設(shè)有可由操作者或搬送機(jī)器人搬入搬出 載體3的搬入搬出口 7。在該搬入搬出口 7上設(shè)有可在上下滑動(dòng)開(kāi)閉的 門(mén)8。在搬送保管區(qū)域Sa，在搬入搬出口 7附近設(shè)有搭載載體3的裝 載臺(tái)9。在該裝載臺(tái)9的后部，設(shè)有打開(kāi)載體3的蓋，檢測(cè)晶片W的 位置和個(gè)數(shù)的傳感器機(jī)構(gòu)10。另外，在裝載臺(tái)9的上方和隔壁6側(cè)的 上方設(shè)有用于事先保管多個(gè)載體3的保管架11。為了進(jìn)行晶片的移載，在搬送保管區(qū)域Sa內(nèi)的上述隔壁6側(cè)設(shè)有 用于裝載載體3的移載臺(tái)12。在搬送保管區(qū)域Sa，設(shè)有在上述裝載臺(tái) 9，保管架11和移載臺(tái)12之間，進(jìn)行載體3的搬送的搬送機(jī)構(gòu)13。該 搬送機(jī)構(gòu)13,主要由利用設(shè)置在搬送保管區(qū)域Sa的一側(cè)的升降機(jī)構(gòu) 13a升降移動(dòng)的升降臂13b;和設(shè)置在該升降臂13b上，支撐載體3的 底部，并在水平方向搬送的搬送臂13c構(gòu)成。載體搬送區(qū)域Sa成為利用圖中沒(méi)有示出的空氣清洗機(jī)(風(fēng)扇過(guò)濾 器部件)成為清洗后的大氣氣氛。裝填區(qū)域Sb也利用設(shè)置在其一側(cè)上 的空氣清洗機(jī)(風(fēng)扇過(guò)濾器部件)14進(jìn)行清洗，成為正壓力的大氣氣 氛或不活緣氣體(例如.N2氣)氣氛。在上述隔壁6上，設(shè)置有從搬送 保管區(qū)域Sa使搭載在移載臺(tái)12上的載體3的前而部接觸，連通載體3 內(nèi)和裝填區(qū)域Sb內(nèi)的圖中沒(méi)有示出的開(kāi)口部，同吋可開(kāi)閉地設(shè)置從裝 填區(qū)域Sb封閉該開(kāi)口部的門(mén)15。幵口部作成與載體3的取出口大致相 同口徑，可從開(kāi)口部使晶片在載體3內(nèi)出入。在上述門(mén)15上設(shè)有開(kāi)閉載體3的蓋的圖中沒(méi)有示出的蓋開(kāi)閉機(jī)構(gòu) 和從裝填區(qū)域Sb側(cè)開(kāi)閉門(mén)15的圖中沒(méi)有示出的門(mén)開(kāi)閉機(jī)構(gòu)。利用該 門(mén)開(kāi)閉機(jī)構(gòu)可將門(mén)15和蓋向裝壩區(qū)域Sb中開(kāi)放移動(dòng)，另外，還可以 向J:方或下方移動(dòng)(退避)以便毫無(wú)妨礙地移載晶片。為了使結(jié)晶方 向—'致，在上述移載臺(tái)12的下方設(shè)有缺口排列機(jī)構(gòu)16，它可以在一個(gè) 力'向.匕使設(shè)置在晶片周邊邊緣上的缺口 (切口)定位。該缺口排列機(jī) 構(gòu)16而向裝填區(qū)域Sb側(cè)開(kāi)放，可對(duì)由后述的移載機(jī)構(gòu)24從移載臺(tái)12 上的載體3移送的晶片的缺口進(jìn)行排列。另一方面，在裝填區(qū)域Sb側(cè)的內(nèi)部上方，設(shè)置有在下部具有爐口 5a的縱型的熱處理爐5。在裝填區(qū)域Sb中設(shè)有升降機(jī)構(gòu)18，可進(jìn)行將 在上下方向以規(guī)定間隔多層搭載多個(gè)(例如100 150個(gè))晶片W的 石英制的晶舟4裝載在蓋體17的上部，搬入搬出熱處理爐5，以及進(jìn) 行開(kāi)閉爐口 5a的蓋體17的升降。在蓋體17的上部裝載有在其閉塞時(shí) 抑制從爐口 5a部分放熱的保溫筒(遮熱體)19。在該保溫筒19的上 部裝載晶舟4。在上述蓋體17上設(shè)有通過(guò)保溫筒19,使晶舟4旋轉(zhuǎn)的 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)20。在爐口 5a附近可在水平方向開(kāi)閉移動(dòng)(可擺動(dòng))地設(shè)置 有在使蓋體17開(kāi)放避過(guò)那搬出熱處理后的晶舟4時(shí)，遮蔽爐口 5a的 閘門(mén)21 。該閘門(mén)21具有使其在水平方向上擺動(dòng)移動(dòng)而開(kāi)閉的圖未示的 閘門(mén)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。為了移載晶片W等，在裝填區(qū)域Sb的一側(cè)，即空氣清洗機(jī)側(cè)， 設(shè)有裝載晶舟4的晶舟裝載臺(tái)(稱為晶舟臺(tái))22。該晶舟裝載臺(tái)22也
可以為一個(gè)，但優(yōu)選如圖2所示，由沿著空氣清洗機(jī)14，在前后配置 的第一裝載臺(tái)(裝料臺(tái))22a和第二裝載臺(tái)(備用臺(tái))22b兩者個(gè)構(gòu)成。在裝填15域Sb內(nèi)的下方，在移載臺(tái)12和熱處理爐5之間，晶舟 裝載臺(tái)22和蓋體17之間，具體是晶舟裝載臺(tái)22的第一裝載臺(tái)22a或 第二裝載臺(tái)22b和降下后的蓋體17之間與第一裝載臺(tái)22a和第二裝載 臺(tái)22b之間設(shè)有進(jìn)行晶舟4的搬送的晶舟搬送機(jī)構(gòu)23。另外，在晶舟 搬送機(jī)構(gòu)23的上方，在移載臺(tái)12上的載體3和晶辨裝載臺(tái)22上的晶 舟4之間，具體地是移載臺(tái)12上的載體3和缺口排列機(jī)構(gòu)16之間， 缺口排列機(jī)構(gòu)16和晶舟裝載臺(tái)22的第一裝載臺(tái)22a上的晶舟4之間 與第一裝載臺(tái)22a上的熱處理后的晶舟4和移載臺(tái)12上的空的載體3 之間，設(shè)有進(jìn)行晶片W的替換的移載機(jī)構(gòu)24。如圖3所7;晶舟4在頂板4a和底板4b之間搭載多個(gè)，例如4 個(gè)支住4c，在底板4b的下部設(shè)有直釋比底板4b小的直徑縮小部分4d。 在上述支柱4c上，以規(guī)定的間距形^多層保持晶片的圖中沒(méi)有示出的 槽部。為了使晶片出入，'正而側(cè)的左右殳柱4c之間擴(kuò)開(kāi)。品舟搬送機(jī)構(gòu)23具有垂i支承一個(gè)晶舟4，可水平仲縮的臂。晶 舟搬送機(jī)構(gòu)23具有可水^旋轉(zhuǎn)和升降的第一臂23a;可水平轉(zhuǎn)動(dòng)地宋 承在第一臂23a的前端部，可從水平方向與晶舟4的下部的直徑縮小 部分4d卡合并進(jìn)行支撐的平而大致為C字形的第二臂23b;和驅(qū)動(dòng)第 一臂23a和第二臂23b的驅(qū)動(dòng)部分23c。該第二臂23b的卡合部的中心 通過(guò)第一臂,23a的旋轉(zhuǎn)中心，通過(guò)使第一臂23a和第二臂23b的水平 擺動(dòng)動(dòng)作同步，可進(jìn)行水平直線方向的搬送。這樣，通過(guò)使臂伸縮， 可使搬送晶舟4的區(qū)域成為必要的最小限度，可以減小裝置的寬度和 深度的尺寸。上述移載機(jī)構(gòu)24可使在可水平轉(zhuǎn)動(dòng)的基臺(tái)24a上裝載半導(dǎo)體晶片 的多個(gè)，例如5個(gè)薄板狀的移載臂24b進(jìn)退。為了避免搬送時(shí)與晶舟4 干涉，可由在圖2中假想線所示的作業(yè)位置A，通過(guò)旋轉(zhuǎn)臂25，在橫 方向退避至實(shí)線所示的退避位置B。作為上述移載臂24b，可以使5個(gè) 中的中心一個(gè)單件移載用的一個(gè)移載臂和另外4個(gè)移載臂基臺(tái)24a上 獨(dú)立地進(jìn)退，同時(shí)，優(yōu)選另外4個(gè)移載臂以中心的移載臂為基準(zhǔn)，在 上下方向可變換間距。擺動(dòng)臂25的基部側(cè)，與設(shè)置在裝填區(qū)域Sb的
另一側(cè)上的圖中沒(méi)有示出的升降機(jī)構(gòu)連接，這樣，移載機(jī)構(gòu)24可以升 降。為了在地震中保護(hù)這樣構(gòu)成的縱型熱處理裝置1，縱型熱處理裝置 1中的地震損害擴(kuò)散降低方法包括接收基于經(jīng)通信線路26發(fā)送的初 期微動(dòng)(P波)的緊急地震信息的工序；根據(jù)該緊急地震信息，停止上 述縱型熱處理裝置1的運(yùn)轉(zhuǎn)的第一工序；和與該第一工序并行，為了 防止上述晶舟4倒塌，而從上下以接觸或非接觸的方式夾住并保持晶 舟4的第二工序。另外，執(zhí)行該方法的地震損害擴(kuò)散降低系統(tǒng)27具有 接收部28,接收基于經(jīng)通信線路26發(fā)送的初期微動(dòng)(P波)的緊急地 慮信息；和控制部29，執(zhí)行如下工序，根據(jù)由該接收部28得到的緊急 地震信息，停止縱型熱處理裝置1運(yùn)行的第一工序、和為了防止多層 擠載晶片的晶舟4的倒塌，而從上下以接觸或非接觸方式夾持并保持 晶舟4的第二工序。作為上述緊急地震信息可以利用氣象局提供的緊急地震逨報(bào)或第 三方機(jī)關(guān)提供的緊急地震檢測(cè)系統(tǒng)等。地震由以縱波速度快(每秒7k 8km)的P波(Primary)構(gòu)成的小的搖動(dòng)的初期微動(dòng)，和以楨波速度 慢(每秒3k 4km)的S波(Secondary)構(gòu)成的大搖動(dòng)的主震構(gòu)成。 處理由設(shè)置在全國(guó)各地的多臺(tái)地震計(jì)30收集的P波的數(shù)據(jù)，計(jì)算震源， 震度和S波的到達(dá)吋間，從發(fā)送部分31，通過(guò)有線線路或衛(wèi)星線路發(fā) 送該地震信息，利用上述接收部28接收該地震信息。這樣，從大的搖 動(dòng)的本地震的數(shù)秒起的10數(shù)秒前，可以知道預(yù)想的震度，這是本震中 預(yù)先具有的。設(shè)定規(guī)定的閾值，(例如預(yù)想震度5),當(dāng)超過(guò)該閥值時(shí)， 控制部29執(zhí)行地震損害擴(kuò)散降低方法。在上述第一工序中，遮斷上述熱處理裝置1的電源(主電源)和 氣體管路。主電源也可以直到本地震(S波)之前產(chǎn)生。在第一工序(P 波)中切斷主電源的情況下，為了防止晶舟4倒塌，必需確保在從上 下夾住并保持晶舟4時(shí)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的升降機(jī)構(gòu)18和晶舟搬送機(jī)構(gòu)23或 移載機(jī)構(gòu)24中輔助電源。在本實(shí)施方式中，如圖3所示，上述第二工 序利用升降機(jī)構(gòu)18，從搬出位置(下降位置)使晶舟4上升移動(dòng)，在 蓋體17的開(kāi)放中，通過(guò)使晶舟4的上端部(頂板4a)與遮蔽上述爐口 5a的閘門(mén)21的下面部接近或接觸，可在閘門(mén)21和蓋體17之間從上下
夾住并保持晶舟4。另外，為了防恭橫向搖動(dòng)造成晶舟4的橫向偏移， 優(yōu)選在閘門(mén)21的下面部上形成卡合并保持晶舟4的上端部(頂板4a) 的凹部。優(yōu)選，上述控制部29，在上述第二工序后或第二工序后主震結(jié)束 后，執(zhí)行利用升降機(jī)構(gòu)18，使上述晶舟4返回至作為從熱處理爐5的 搬出位置的原來(lái)位置HP的第三工序。采用由以上結(jié)構(gòu)構(gòu)成的地震損害擴(kuò)散降低方法和地震損害擴(kuò)散降 低系統(tǒng)27，可使用根據(jù)從主震(S波)數(shù)秒開(kāi)始的IO數(shù)秒前檢測(cè)，通 過(guò)迎信線路發(fā)送的初期微動(dòng)(P波)的緊急地震信息，停止縱型熱處理 裝置1的運(yùn)轉(zhuǎn)；另一方而，由于與其并行，可從上下以接觸或非接觸 方式火住井保持晶舟4，因此，可以提前防止因地震引起的晶舟4的倒 塌等物品的損害和裝置恢復(fù)吋間的損失的擴(kuò)大。在這種情況下，由于 在開(kāi)閉熱處理爐5的爐口 5a的蓋體17的上部裝載晶舟4，并利用升降 機(jī)構(gòu)18搬入搬出熱處理爐5，從而，使晶舟4從裝填區(qū)域5b內(nèi)下方的 搬山位置上升移動(dòng)，迎過(guò)在蓋體17的開(kāi)放中，使晶舟4的上端部與遮 蔽上述爐口 5a的閘門(mén)21的下面部接近或接觸，從而可在閘門(mén)21和蓋 體17之間從上下以接觸或非接觸方式夾住并保持晶舟4，因此不需在 裝填區(qū)域Sb內(nèi)增設(shè)新的機(jī)構(gòu)，可利用現(xiàn)有的裝置結(jié)構(gòu)，在提前防止晶 舟4的倒塌。另外，在上下夾住并保持晶舟4的情況下，可以使接觸 方式，但優(yōu)選非接觸可以抑制顆粒(particle)的產(chǎn)生。另外，在上述 第二工序后或第二工序后且主震結(jié)朿后，由于可利用升降機(jī)構(gòu)18,使 上述晶舟4返回至作為從熱處理爐的搬出位置的原來(lái)位置HP，因此可 以迅逨恢復(fù)半導(dǎo)體制造裝置1。圖4為表示作為本發(fā)明的另一實(shí)施方式的晶舟倒塌防止機(jī)構(gòu)的立 體圖，圖5為在表示該晶舟倒塌防止機(jī)構(gòu)的圖中，(a)為非工作時(shí)的 平面圖，(b)為工作時(shí)的平面圖。在圖4 圖5的實(shí)施方式中，具有 執(zhí)行上述第二工序的晶舟倒塌防止機(jī)構(gòu)32。該晶舟倒塌防止機(jī)構(gòu)32 具有被軸支撐在軸承部33上的臂34、鎖定機(jī)構(gòu)35、和導(dǎo)向槽部36， 臂34裝載在開(kāi)閉熱處理爐5的爐口 5a的蓋體17的上部，并在位于從 爐口 5a搬出的搬出位置的晶舟4的垂直向上的動(dòng)作為出處，可利用加 力單元，例如彈簧(未圖示)從側(cè)方的退避位置擺動(dòng)移動(dòng)；鎖定機(jī)構(gòu)35將臂34卡止在退避位置，利用上述控制部29解除卡止?fàn)顟B(tài)；導(dǎo)向 槽部36,當(dāng)臂34在動(dòng)作位置擺動(dòng)移動(dòng)吋，為了使在臂34和蓋體17 之間從上下以接觸或非接觸方式夾住并保持晶舟4而使上述臂34下 降，而設(shè)置在上述軸承部33上。支軸37在臂34的基端向上突出，該支軸37可轉(zhuǎn)動(dòng)地支承在軸承 部33上。軸承部33固定在規(guī)定的位置上。在支軸37的上端部安裝有, 與軸承部33的上端面卡止并防止支軸37脫落的卡止銷37a。隨著臂 34的轉(zhuǎn)動(dòng)(即支軸37的轉(zhuǎn)動(dòng))，卡止銷37a在軸承部33的上端面上 滑動(dòng)。在軸承部33的上端而上形成有上述導(dǎo)向槽36,當(dāng)臂34從退避 位賞轉(zhuǎn)動(dòng)至動(dòng)作位置吋，上述卡止銷37a落下而使臂34下降。上述銷 緊機(jī)構(gòu)35，由與退避位置的臂34的前端卡合并將它保持在退避位置上 的平面L字形的卡止構(gòu)件35a，和使該卡止構(gòu)件35a相對(duì)于退避位置的 臂34的前端進(jìn)退的驅(qū)動(dòng)部分，例如氣缸35b構(gòu)成。上述臂34,當(dāng)從退避位置到動(dòng)作位置吋，可以利用自重下降也， 但也可以利用加力單元(例如彈資)強(qiáng)制地下降。另外，優(yōu)選在臂34 的前端側(cè)設(shè)置一對(duì)輔助構(gòu)件38，它可在臂34在退避位置吋收縮，當(dāng)?shù)?達(dá)動(dòng)作位置吋，利用彈力擴(kuò)開(kāi)壓緊晶舟4的上端部(頂板)。另外， 在臂34的前端和輔助構(gòu)件38的前端優(yōu)選設(shè)置限制晶舟4的上端部(頂 板)向半徑方向移動(dòng)的爪39。采用圖4 圖5的實(shí)施方式，由于在裝填區(qū)域內(nèi)，與升降機(jī)構(gòu)18 另外地具有上述結(jié)構(gòu)的晶舟倒塌防止機(jī)構(gòu)32,因此不需升降控制升降 機(jī)構(gòu)18，也可防止?fàn)恐?的倒塌。另外，由于上述晶舟倒塌防止機(jī)構(gòu) 32的臂34在非工作時(shí)處在側(cè)方的退避位置，因此不會(huì)妨礙將晶舟4 搬入搬出熱處理爐5的作業(yè)。圖6為說(shuō)明防止晶舟架上的晶舟倒塌的方法的立體圖。在圖6的 實(shí)施方式中，在具有二晶舟系統(tǒng)的縱型熱處理裝置中的地震損害擴(kuò)散 降低系統(tǒng)中，通過(guò)利用來(lái)自控制部29的控制，使晶舟搬送機(jī)構(gòu)23抬 起晶舟裝載臺(tái)22上的晶舟4，使晶舟的上端部與裝填區(qū)域Sb內(nèi)的頂部 40接近或接觸，可以從上下以接觸或不接觸方式夾住并保持晶舟4， 而防止倒塌。采用圖6的實(shí)施方式可以利用裝填區(qū)域內(nèi)的現(xiàn)存的裝置
結(jié)構(gòu)(晶舟搬送機(jī)構(gòu)23和頂部40)，防止在所謂的二晶舟系統(tǒng)中，由 .預(yù)想的地震引起的晶舟裝載臺(tái)22上的晶舟的倒塌。圖7為說(shuō)明防止晶舟架上的晶舟倒塌的另一方法的立體圖。在圖7 的實(shí)施方式中，在具有二晶舟系統(tǒng)的縱型熱處理裝置中的地震損害擴(kuò) 散降低系統(tǒng)中，利用來(lái)自控制部29的控制，使移載機(jī)構(gòu)24與晶舟裝 載臺(tái)22上的晶舟4的上端部接近或接觸，對(duì)其進(jìn)行限制，可以從上下 以接觸或非接觸方式來(lái)住并保持晶舟4，防止倒塌。在這種情況下，優(yōu) 選移載機(jī)構(gòu)24使移載臂24b從基臺(tái)24a的前端突出，將晶舟4的上端 而部壓緊在移載臂24b的下面部上。掘此，采用圖7的實(shí)施方式，也 可利用裝填區(qū)域Sb內(nèi)的現(xiàn)存的裝置結(jié)構(gòu)(晶舟裝載臺(tái)22和移載機(jī)構(gòu) 24)，防止所謂二晶舟系統(tǒng)的晶舟裝i^臺(tái)22上的晶舟4的倒塌。圖8為在表示晶片飛出防止機(jī)構(gòu)的圖中，(a)為非工作時(shí)的平面 圖，(b)為使晶舟在晶片飛出防止機(jī)構(gòu)中轉(zhuǎn)動(dòng)的平面圖。圖9為在表 示晶片飛出防止機(jī)構(gòu)工作的圖中，(a)為平面圖，(b)為側(cè)面圖。 在圖8 圖9的實(shí)施方式中，具有使蓋體17上的晶舟4擺動(dòng)的旋轉(zhuǎn)機(jī) 構(gòu)20和晶舟噴淋機(jī)構(gòu)42。該晶舟噴淋機(jī)構(gòu)42具有在裝填區(qū)域.Sb內(nèi)， 從側(cè)方(與空氣清洗機(jī)14相同的一側(cè))，向從上述熱處理爐5搬出的 晶舟4吹送不活潑氣體，并可相對(duì)于晶舟4進(jìn)退移動(dòng)的縱長(zhǎng)的噴淋頭 41。利用來(lái)自上述控制部29的控制，利用上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)20可使蓋體 17上的晶舟4旋轉(zhuǎn)，并朝向噴淋頭41 (參照?qǐng)D8 (b))，同時(shí)，可使 噴淋頭41接近該晶舟4移動(dòng)(參照?qǐng)D9 (a) (b)),并限制晶片W 從晶舟4飛出。上述噴淋頭41由上下端閉塞的左右一對(duì)管子構(gòu)成。供給不活潑氣 體(例如N2氣)的供給軟管與各管子連接。在各管子的前面部上以規(guī) 定的間距形成向著晶舟噴出不活潑氣體的圖中沒(méi)有示A的吹出孔。利 用上下配置的連接構(gòu)件43連接構(gòu)成噴淋頭41的左右一對(duì)管子。晶舟 噴淋機(jī)構(gòu)42具有作為在蓋體17上的晶舟4上使噴淋頭41進(jìn)退的進(jìn)退 移動(dòng)裝置的可伸縮式的氣缸44。氣缸44的前端分別與配置在上部和下 部的連接構(gòu)件43連接。氣缸44的基端設(shè)置在清洗機(jī)(風(fēng)扇過(guò)濾器部 件)14的前面部或其附近。
在這種情況下，為了防止由地震的搖動(dòng)引起的晶舟4的傾斜和倒 塌，如上所述，從上下以接觸或非接觸方式夾住并保持晶舟為前提。 作為防止晶辟的轉(zhuǎn)倒和倒塌的方法，如圖9所示，可使移載機(jī)構(gòu)24的 基臺(tái)24a的端部與晶舟4的側(cè)面部接近或接觸，將晶舟4夾住在基臺(tái) 24a和噴淋頭41之間也可以?；蛘呤褂脠D3，圖4等的晶舟倒塌防止 機(jī)構(gòu)也可以。采用圖8 圖9的實(shí)施方式，由于利用旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)20使蓋 體17上的晶舟4旋轉(zhuǎn)，并朝向噴淋頭41，利用晶舟噴淋機(jī)構(gòu)42的氣 缸44使噴淋頭41前進(jìn)接近晶舟4，因此可以利用現(xiàn)存的噴淋頭41, 防止晶片W從晶舟4飛出和脫落，同時(shí)，可防止晶片W從晶舟4脫 落造成的破損。圖.10為在表示晶片飛出防止機(jī)構(gòu)的另一例子的圖中，(a)為非 工作吋的平面圖，(b)為工作吋的平面圖。在圖10的實(shí)施方式中， 不使用圖8 圖9的實(shí)施方式的晶舟噴淋機(jī)構(gòu)42的氣缸(進(jìn)退移動(dòng)裝 置)，并具有從不與蓋體17的升降干涉的晶舟離開(kāi)的退避位置使噴淋 頭41接近晶舟4,并在動(dòng)作位置上加力的加力單元(例如彈簧)45; 和克服該彈焚45的作用力將噴淋頭41卡止在退避位置，利用來(lái)自上 述控制部29的控制，解除卡止?fàn)顟B(tài)的鎖定機(jī)構(gòu)46。采用圖10的實(shí)施 方式，當(dāng)根據(jù)地震信息，由控制部29解除由鎖定機(jī)構(gòu)46產(chǎn)生的在噴 琳頭41的退避位置的卡止?fàn)顟B(tài)時(shí)，由于彈簧45的作用力可使噴淋頭 41自動(dòng)地接近晶舟4的正面，因此與圖8 圖9的實(shí)施方式同樣，可 防止晶片W從晶舟4飛出和脫落，同時(shí)可防止晶片W從晶舟4脫落 造成的破損。圖11為在表示防止晶舟臺(tái)上的晶片飛出的機(jī)構(gòu)的圖，(a)為非 工作時(shí)的平面圖，(b)為開(kāi)始工作時(shí)的平面圖，(c)為工作結(jié)束時(shí) 的平面圖。(d)為工作結(jié)束時(shí)的平面國(guó)。在圖11的實(shí)施方式中，具 有晶舟裝載臺(tái)22 (22a, 22b)，具有在裝填區(qū)域Sb內(nèi)裝載與蓋體17 上的晶舟交替使用的另一個(gè)晶舟4的可旋轉(zhuǎn)的裝載部47;從側(cè)方向該 晶舟裝載臺(tái)22上的晶舟4噴出清冼空氣的空氣清洗機(jī)14;卡止上述裝 載部47，以使上述晶舟4朝向與空氣清洗機(jī)14相反側(cè)的卡止機(jī)構(gòu)48; 和對(duì)裝載部47旋轉(zhuǎn)加力，以使得在解除該卡止機(jī)構(gòu)48的卡止?fàn)顟B(tài)時(shí)， 晶舟4朝
,制部29來(lái)的控制，解除上述卡止機(jī)構(gòu)'48 .的卡止?fàn)顟B(tài),.利用上述彈簧 49的作用力引起的上述裝載部47的轉(zhuǎn)動(dòng)而使晶舟4與空氣清洗機(jī)14 相對(duì)，而限制晶片W從晶舟4飛出。圖示例子的裝載部47由沿著空氣清洗機(jī)14接近配置的可轉(zhuǎn)動(dòng)的 一對(duì)裝載部構(gòu)成。上述卡止機(jī)構(gòu)48，由跨在兩個(gè)裝載部47上并卡止的 二叉狀卡止銷48a;從使該卡止銷48a與兩個(gè)裝載部47卡止的狀態(tài)拉 伸，而與兩個(gè)裝載部47脫離的作動(dòng)器，例如氣缸48b構(gòu)成。上述彈簧 49例如由螺旋彈簧構(gòu)成，各帶狀構(gòu)件50分別與其兩端連接，各帶狀構(gòu) 件50的前端巻繞蹈定在各裝載部47的外周上。采用圖11的實(shí)施方式，當(dāng)利用來(lái)自上述控制部29的控制解除上 述卡止機(jī)構(gòu)48的卡止?fàn)顟B(tài)吋，彈簧49的作用力使上述裝載部47轉(zhuǎn)動(dòng)， 措載在搭載部4，上的晶舟4朝向空氣清洗機(jī)14，可防止晶片W從晶 舟4飛出，可以防止晶片w從所謂的二晶舟系統(tǒng)的晶舟裝載臺(tái)加上的 晶舟4飛出或脫落造成的晶片的破損。另外，在圖ll的實(shí)施方式中， 為了防止裝載部47上的晶舟4的轉(zhuǎn)倒和倒塌,如圖7的實(shí)施方式那樣， 以利用移載機(jī)構(gòu)24或其他保持裝置保持晶舟4的前提。在圖11中， 示意性表示在各裝載臺(tái)47上裝載晶舟的狀態(tài)，以向著4根支柱4c表 示晶舟4的方向。圖12為概略地表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式的半導(dǎo)體制造裝置的地 震損害擴(kuò)散防止系統(tǒng)附圖。在圖12的實(shí)施方式中，與圖1的實(shí)施方式 相同的部分用相同的符號(hào)表示，省略說(shuō)明。本實(shí)施方式的縱型熟處理 裝置1具有直接檢測(cè)初期微動(dòng)的作為初期微動(dòng)檢測(cè)部的地震計(jì)60;根 據(jù)檢測(cè)的初期微動(dòng)停止縱型處理裝置1運(yùn)轉(zhuǎn)的第一工序；和進(jìn)行防止 晶舟4倒塌，以接觸或非接觸方式保持，或從上下以接觸或不接觸方 式保持晶舟4的第二工序的控制部29。上述地震計(jì)60優(yōu)選設(shè)置在框體 2內(nèi)，但設(shè)置在工廠的用地內(nèi)也可以。采用本實(shí)施方式，啟然而然地檢 測(cè)沒(méi)有接收緊急地展信息的初期微動(dòng)，可以預(yù)知地震的發(fā)生，在未發(fā) 生前，防止晶舟的倒塌，可以將損害抑制至最小限度。優(yōu)逸，上述控制部29執(zhí)行在上述第二工序后或第二工序后主展結(jié) 束后，利用升降機(jī)構(gòu)18使上述晶舟4返回至作為從熱處理爐5的搬出 。這樣，可以迅速地恢復(fù)半導(dǎo)體制造裝以上，利用附圖詳細(xì)說(shuō)明了本發(fā)明的實(shí)施方式，但本發(fā)明不是僅 限于上述實(shí)施方式，在不偏'離本發(fā)明的精神的范圍內(nèi)，可作各種設(shè)計(jì) 變更。例如，在上述實(shí)施方式中，不在移載區(qū)域內(nèi)增設(shè)新的機(jī)構(gòu)，利 用現(xiàn)有的裝置結(jié)構(gòu)防止晶舟的倒塌，但本發(fā)明不利用現(xiàn)有的裝置結(jié)構(gòu) (現(xiàn)有軸)，利用新的機(jī)構(gòu)(新的機(jī)軸，專用的機(jī)構(gòu))防止晶舟倒塌 也可以。另外，本發(fā)明的半導(dǎo)體制造裝置的減少地震損害擴(kuò)散系統(tǒng)同 吋-貝有根據(jù)通過(guò)通信線路發(fā)送的初期微動(dòng)接收緊急地震信息的接收部 和直接檢測(cè)初期微動(dòng)的初期微動(dòng)檢測(cè)部，有選擇地切換使用這些部分 也可以。
權(quán)利要求
1.一種包括多層搭載被處理體的晶舟的半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低方法，其特征在于包括接收基于經(jīng)通信線路發(fā)送的初期微動(dòng)的緊急地震信息，或直接檢測(cè)初期微動(dòng)的工序；根據(jù)接收的緊急地震信息或檢測(cè)的初期微動(dòng)停止所述半導(dǎo)體制造裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)的第一工序；和與該第一工序并行，為了防止多層搭載所述被處理體的所述晶舟倒塌，以接觸或非接觸方式保持所述晶舟的第二工序；
2. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低方 法，其特征在于在與該第一工序并行進(jìn)行的第二工序中，為了防止多層搭載所述 被處理體的所述晶舟倒塌，從上下以接觸或非接觸方式夾住并保持所 述晶舟。
3. 如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低方 法，其特征在于在所述第二工序之后還具有，利用升降機(jī)構(gòu)使所述晶舟返回至作 為從所述熱處理爐的搬出位置的原來(lái)位置的第三工序。
4. 如權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低方 法，其特征在于在所述第二工序之后，并在地震的主震結(jié)束后進(jìn)行所述第三工序。
5. —種半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低系統(tǒng),其特征在于 在具有設(shè)置有爐口的熱處理爐，開(kāi)閉所述爐口的蓋體，裝載在所述蓋體上并多層搭載被處理體的晶舟的半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害 擴(kuò)散降低系統(tǒng)中， 具有接收基于經(jīng)通信線路發(fā)送的初期微動(dòng)的緊急地震信息的接受部，或直接檢測(cè)初期微動(dòng)的初期微動(dòng)檢測(cè)部；和控制部，執(zhí)行如下工序，根據(jù)接收的緊急地震信息或檢測(cè)的初期 微動(dòng)停止所述半導(dǎo)體制造裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)的第一工序；和為了防止多層搭 載所述被處理體的所述晶舟倒塌，以接觸或非接觸方式保持所述晶舟 的第二工序。
6. 如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低系 統(tǒng)，其特征在于所述控制部，在執(zhí)行所述第二工序時(shí)，從上下以接觸或非接觸方 式夾住并保持所述晶舟。
7. 如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低系 統(tǒng)，其特征在于所述半導(dǎo)體制造裝置還具有，在所述蓋體的上部裝載所述晶舟， 并進(jìn)行搬入搬出所述熱處理爐的升降機(jī)構(gòu)，和在所述蓋體開(kāi)放中時(shí)遮 蔽所述爐口的閘門(mén)；所述控制部，在執(zhí)行所述第二工序時(shí)，利用所述升降機(jī)構(gòu)使所述 晶舟從搬出位置上升移動(dòng)，通過(guò)使所述晶舟的上端部與所述閘門(mén)的下 面部接近或接觸，在所述閘門(mén)和所述蓋體之間，從上下以接觸或非接 觸方式夾住并保持所述晶舟。
8. 如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低系 統(tǒng)，其特征在于所述地震損害擴(kuò)散降低系統(tǒng)還具有用于執(zhí)行所述第二工序的晶舟 倒塌防止機(jī)構(gòu)，該晶舟倒塌防止機(jī)構(gòu)具有被軸支撐于軸承部上的臂，并且在位于從所述爐口搬出的搬出位 置的所述晶舟的垂直向上的動(dòng)作位置處，可利用加力單元從側(cè)方的退 避位置擺動(dòng)移動(dòng)；將該臂卡止在所述退避位置，利用所述控制部使卡止?fàn)顟B(tài)解除的鎖定機(jī)構(gòu)；和當(dāng)所述臂在動(dòng)作位置上擺動(dòng)移動(dòng)時(shí)，為了使在所述臂和所述蓋體 之間從上下以接觸或非接觸方式夾住并保持所述晶舟的所述臂下降， 而設(shè)置在所述軸承部上的導(dǎo)向槽。
9. 如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低系 統(tǒng)，其特征在于所述半導(dǎo)體制造裝置具有，設(shè)置在用于進(jìn)行將所述晶舟搬入搬出所述熱處理爐的操作的移載 區(qū)域內(nèi)，裝載與所述蓋體上的所述晶舟交替使用的另一個(gè)晶舟的晶舟 裝載臺(tái)；和在該晶舟裝載臺(tái)和所述蓋體之間進(jìn)行所述晶舟的搬送的晶舟搬送 機(jī)構(gòu)；所述控制部，控制該晶舟搬送機(jī)構(gòu)，抬起所述晶舟裝載臺(tái)上的所 述晶舟，使所述晶舟的上端部與所述移載區(qū)域內(nèi)的頂部接近或接觸， 從上下以接觸或非接觸的方式夾住并保持所述晶舟而防止倒塌。
10. 如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低 系統(tǒng)，其特征在于所述半導(dǎo)體制造裝置具有，設(shè)置在進(jìn)行將所述晶舟搬入搬出所述熱處理爐的操作的移載區(qū)域 內(nèi)，并裝載與所述蓋體上的所述晶舟交替使用的另一個(gè)晶舟的晶舟裝 載臺(tái)；和在所述晶舟裝載臺(tái)上的所述晶舟和容納多個(gè)所述被處理體的容納 容器之間，進(jìn)行所述被處理體的移載的移載機(jī)構(gòu)；所述控制部，控制該移載機(jī)構(gòu)，與所述晶舟裝載臺(tái)上的所述晶舟 的上端部接近或接觸，從上下以接觸或非接觸方式夾住并保持所述晶 舟，而防止倒塌。
11. 如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低系統(tǒng)，其特征在于所述半導(dǎo)體制造裝置具有，旋轉(zhuǎn)所述蓋體上的所述晶舟的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；設(shè)置有在用于進(jìn)行將所述晶舟搬入搬出所述熱處理爐的操作的移 載區(qū)域內(nèi)，向從所述熱處理爐搬出的所述晶舟吹送不活潑氣體，并可 相對(duì)于要進(jìn)行冷卻的所述晶舟進(jìn)退移動(dòng)的縱長(zhǎng)的噴淋頭的晶舟噴淋機(jī) 構(gòu)，所述控制部，控制該旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，使所述蓋體上的所述晶舟旋轉(zhuǎn)并 朝向所述噴淋頭，同時(shí)，使所述噴淋頭相對(duì)于該晶舟接近移動(dòng)，并限 制所述被處理體從所述晶舟飛出。
12. 如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低 系統(tǒng)，其特征在于所述半導(dǎo)體制造裝置具有，在用于進(jìn)行將所述晶舟搬入搬出所述熱處理爐的操作的移載區(qū)域 內(nèi)，裝載與所述蓋體上的所述晶舟交替使用的另一個(gè)晶舟的、具有可 旋轉(zhuǎn)的裝載部的晶舟裝載臺(tái)；從側(cè)方向該晶舟裝載臺(tái)上的所述晶舟噴出清洗空氣的空氣清洗機(jī)；為使所述晶舟朝向與所述空氣清洗機(jī)相反側(cè)而卡止所述裝載部的 卡止機(jī)構(gòu)；為在解除該卡止機(jī)構(gòu)的卡止?fàn)顟B(tài)時(shí)，使晶舟朝向空氣清洗機(jī)側(cè)而 對(duì)裝載部旋轉(zhuǎn)加力的加力單元；所述控制部，解除所述卡止機(jī)構(gòu)，所述加力單元對(duì)所述裝載部加 力，通過(guò)所述裝載部的旋轉(zhuǎn)，使所述晶舟與空氣清洗機(jī)相對(duì)，限制所 述被處理體從所述晶舟飛出。
13. 如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低 系統(tǒng)，其特征在于所述控制部，在所述第二工序后，執(zhí)行利用升降機(jī)構(gòu)使所述晶舟 返回至作為從所述熱處理爐的搬出位置的原來(lái)位置的第三工序。
14.如權(quán)利要求13所述的半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低 系統(tǒng)，其特征在于在所述第二工序之后，并在地震的主震結(jié)束后進(jìn)行所述第三工序。
全文摘要
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造裝置中的地震損害擴(kuò)散降低方法及系統(tǒng)，可預(yù)知地震的發(fā)生，防止晶舟倒塌，將損害抑制至最小限度。其中，地震損害擴(kuò)散降低系統(tǒng)(27)具有，接收基于經(jīng)通信線路(26)發(fā)送的初期微動(dòng)的緊急地震信息的接收部(28)，或直接檢測(cè)初期微動(dòng)的初期微動(dòng)檢測(cè)部(60)；控制部(29)根據(jù)接收的緊急地震信息或檢測(cè)的初期微動(dòng)停止半導(dǎo)體制造裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)的第一工序；和為了防止多層搭載被處理體的晶舟倒塌，以接觸或非接觸方式保持晶舟的第二工序。
文檔編號(hào)H01L21/00GK101150045SQ20071014948
公開(kāi)日2008年3月26日 申請(qǐng)日期2007年9月13日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月13日
發(fā)明者菅原佑道, 菊池 浩 申請(qǐng)人:東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社