專利名稱：硅片適配器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
斷逾微技術(shù)令W本實(shí)用新型涉及一禾wm薪先、甩干設(shè)備傲i州微寸設(shè)備對(duì)小尺寸^"兼容的 設(shè)備，以擴(kuò):fc^R寸盼衞先、甩干設(shè)備附OT范圍 背景獄當(dāng)前^^曰圓產(chǎn)4J^M非常ayi，晶圓nt后^i^^起，晶圓尺寸 ^^增大。^i而Mj問(wèn)題是^R寸的晶圓設(shè)備不倉(cāng)謙爭(zhēng)」、尺寸的晶風(fēng)也te說(shuō)一家8英寸的晶圓廠如果看好6英寸市場(chǎng)，另險(xiǎn)它必Mfi—皿6英寸設(shè)備，細(xì)故的赫是不言pt的。以斷清^tx藝為例,8英寸斷臓紅藝與5英寸赫6英寸斷w^X藝是^^相同的。8英寸設(shè)備:^f以不育樹5、 6英寸^t進(jìn)行清冼，題 為8英寸M^(8英寸繊形if^5、 6英寸6 ^。斷逾徵的發(fā)明實(shí)現(xiàn)了用8英 ^雜5、 6英^tim用亍離、甩干 工藝，交:5^非微子。{頓 的原通，對(duì)8英寸 比伊,&<^小，可 以帝喊"6英寸"翻徵以實(shí)現(xiàn)6英寸設(shè)備對(duì)4、 5英寸斷的兼容。 發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的繊共一禾敝逾徵細(xì)Wt翻徵后，可使8英 寸設(shè)備兼容5、 6英寸g，也可以使6英寸設(shè)備兼容4、 5英寸g， 單、) :低、樹犓便。為超'ii^明目的，本實(shí)用新M^以下技術(shù)方案硅片適酉微為一插板，HM]兩偵鵬凸條，凸條^ 向延伸，mh與凸舒行^e^^:鵬?？嵉膬蓚?cè)鵬條與鵬之間的間距為l卜40nm之間。 SIW度在4—25ran之間。絲實(shí)用新型的下端J^凹孔，可以^^M離。 ^:實(shí)用新型的中部JM1子L可以使i^^用新型與5、 6寸^^和8寸花飽司 ^儲(chǔ)便一些，^ Km*0以8英寸翻徵為例凸條與8寸: ^ ^，可以^ 111誠(chéng)8 寸^S風(fēng)^f與5、 6寸Mto條木,，可以使5、 6寸^M^^a 社面。斷題徵鵬徘鋼單娜時(shí)取一個(gè)8英寸纖4鵬湖, 在8英寸里面然蔬取5英寸離6英寸6^ ^Wt翻離上面,WI 鳩徵里面S^就可以實(shí)現(xiàn)8英寸慮先設(shè)備力肛5、 6英寸斷。同職6 英寸翻徵可以實(shí)現(xiàn)6英"t^備兼容4、 5英寸g。本實(shí)用新型WT歹,本實(shí)用新型可以實(shí)現(xiàn)^^備對(duì)僻勳to:品的兼容，使設(shè)備咖nim禍單一，最大(5艘辦i傭設(shè)備，節(jié)約赫。翻5^J^單、^*低、衞^f便。而且，^t逾徵由聚四氟乙條si車床力ni而成^T歹'脫點(diǎn)耐腐蝕性-會(huì)鵬承纖了 ^1，氟化介質(zhì)販高于300。C織化鈉"卜的所新雖(繊挪、強(qiáng)氧化劑、臓訴咯蹄鵬啲作用。纖性-不新^W6^穀向，術(shù)只鵬可達(dá)10'8,働，介廁賺小，穿電壓高。耐高低溫性-對(duì)溫度的影響變化不大，溫域范圍廣，可使用溫度一190。260。C。白繊性~~聚四氟乙烯具權(quán)腫最小的m^數(shù)，魏想6^TO^王翻料。表,占性-己知的固#^#|#^球占附^^面上，是一#^面?zhèn)}^1小的固 糊料。而伏智化性，而瓶照性會(huì)鵬氐盼繊性卡其麟于大氣中，表面及性 制鵬極。不燃性-限載鵬90以下。


(附圖僅以8英寸,驟為例，6英寸邇徵原應(yīng)相同)圖l:稱用新敏體圖 圖2:圖l的正面視圖 圖3 :圖l^Ji廊圖圖4沐實(shí)用新型附頓擾態(tài)圖(與8英寸清冼設(shè)備的^ 6英寸:ffil^配 合線圖5沐實(shí)用新型飾頓擾態(tài)圖(與8英寸清冼設(shè)備的^K 5英寸Mf己 合絲)圖1中，1為S^J兩側(cè)勉帶凸條、2為固定6寸^ ^|、 3為固定5寸 磁的Wff 、 4為繊下端的凹孔、5為繊中部^ffi孔。圖2中，1為SW]兩側(cè)脅帶凸條、2為固定6寸^^IH1I曹、3為固定5寸 的Wf、 5為 中部的^1孔。圖4中，6為6英寸磁、7為逾8為8英^m。圖5中，10為5英寸花籃、9為適配器、8為8英寸花籃。
權(quán)利要求1. 一種硅片適配器，其特征在于它為一插板，插板的兩側(cè)邊帶凸條，凸條沿長(zhǎng)度方向延伸，插板上與凸條平行位置設(shè)一長(zhǎng)凹槽。
2、 概權(quán)禾腰求i戶;f^"禾鵬適識(shí)，^we在于戶;f^MW中
3、 t^禾腰求i或2戶;^—禾鵬邇識(shí)，^tiE在于戶;M^的下端JMH] U
4、 t^禾腰求i戶;f^—禾鵬逾徵^WE在于sw鵬條與鵬之間的間距為10~40nin之間。
5、 職權(quán)禾腰求1戶;Ma^^t題識(shí)，^tE在于:JiW^S4—25nm 之間。
6、 tTOl禾腰求1戶/M6^^適徵，^iE在于戶;Mfi^為聚 四氟乙烯。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種硅片適配器，它為一插板，插板的兩側(cè)邊帶凸條，凸條沿長(zhǎng)度方向延伸，插板上與凸條平行位置設(shè)一長(zhǎng)凹槽。本適配器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、操作簡(jiǎn)便，硅片適配器由聚四氟乙烯加工而成，可以實(shí)現(xiàn)8英寸清洗設(shè)備對(duì)5英寸、6英寸硅片兼容。利用本實(shí)用新型可以將5英寸或者6英寸硅片固定在8英寸花籃里面進(jìn)行清洗、甩干等加工。實(shí)現(xiàn)高端設(shè)備對(duì)低端加工品的兼容，使設(shè)備的加工對(duì)象不再單一，最大限度的利用設(shè)備，節(jié)約成本。
文檔編號(hào)H01L21/00GK201117640SQ200720169528
公開日2008年9月17日 申請(qǐng)日期2007年7月2日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月2日
發(fā)明者萬(wàn)關(guān)良, 寧永鐸, 徐繼平, 喆 王 申請(qǐng)人:北京有色金屬研究總院;有研半導(dǎo)體材料股份有限公司