專利名稱：有機(jī)el裝置、電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有機(jī)EL裝置、電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
作為利用電子與空穴的再結(jié)合發(fā)光現(xiàn)象的發(fā)光元件，公知有一種有機(jī)電致發(fā)光元件(以下稱為有機(jī)EL元件)。有機(jī)EL元件在提供空穴的陽(yáng)極與提供電子的陰極之間具有有機(jī)功能層，該有機(jī)功能層包含由有機(jī)EL材料構(gòu)成的有機(jī)發(fā)光層，通過(guò)使所提供的空穴和電子在有機(jī)發(fā)光層內(nèi)再結(jié)合而發(fā)光。
作為具備了有機(jī)EL元件的器件，現(xiàn)有有機(jī)電致發(fā)光裝置(以下稱為有機(jī)EL裝置)(例如專利文獻(xiàn)1、 2)。有機(jī)EL裝置具有例如把TFT陣列狀配置的TFT基板，并覆蓋TFT而設(shè)置的層間絕緣膜。層間絕緣膜在TFT的漏極上形成開(kāi)口，在開(kāi)口內(nèi)側(cè)嵌入與TFT的漏極導(dǎo)通的源極電極。并且以覆蓋源極電極和層間絕緣膜的方式設(shè)置有保護(hù)膜和平坦化層等的基礎(chǔ)層，基礎(chǔ)層在源極電極上形成開(kāi)口。在開(kāi)口內(nèi)側(cè)設(shè)置有與源極電極導(dǎo)通的導(dǎo)電膜，導(dǎo)電膜被引出到平坦化層上的規(guī)定的位置(像素開(kāi)口 )，其在像素開(kāi)口中成為線像素電極。像素電極作為有機(jī)EL元件的電極(陽(yáng)極)發(fā)揮作用，在其上面形成有有機(jī)功能層和陰極。
這樣的有機(jī)EL裝置大體上分為從陽(yáng)極側(cè)射出發(fā)光光線的底發(fā)光型、和從陰極側(cè)射出發(fā)光光線的頂發(fā)光型。在頂發(fā)光型的有機(jī)EL裝置中，設(shè)置有把從陽(yáng)極側(cè)發(fā)出的光反射到陰極側(cè)的反射膜。具體是，在與平坦化層上的像素開(kāi)口對(duì)應(yīng)的位置，形成反射膜(例如鋁膜)，把與源極電極導(dǎo)通的導(dǎo)電膜引出到反射膜上。
另外，在為可進(jìn)行全彩色顯示的頂發(fā)光型有機(jī)EL裝置的情況下，可以構(gòu)成為把陰極作成半透過(guò)反射膜，由陰極和反射膜構(gòu)成諧振器(例如專利文獻(xiàn)3)。具體是，由多個(gè)單色顯示(例如紅、綠、藍(lán))構(gòu)成全彩色顯示的最小單位，使一個(gè)單色顯示與一個(gè)有機(jī)EL元件對(duì)應(yīng)。例如，
4通過(guò)把導(dǎo)電膜的形成材料在與紅色對(duì)應(yīng)的部分成膜3次，在與綠色對(duì)應(yīng)的部分成膜2次，在與藍(lán)色對(duì)應(yīng)的部分成膜l次，按每個(gè)對(duì)應(yīng)顏色改變像素電極的厚度。由此，由于可調(diào)整陰極與反射膜之間的光學(xué)距離，即諧振波長(zhǎng)，所以可從陰極側(cè)射出與各個(gè)顏色對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)光，從而可獲得良好的顯示。
專利文獻(xiàn)l:日本特開(kāi)2002-132186號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2:日本特開(kāi)2003-76301號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)3:日本特開(kāi)2007-26849號(hào)7>才艮
但是，在采用了由多層導(dǎo)電膜構(gòu)成的像素電極的情況下，在像素電極的周邊部可能會(huì)產(chǎn)生階梯錯(cuò)位，特別是在最薄的像素電極(例如藍(lán)色)中尤為顯著。即，在形成像素電極的部分的下層設(shè)置有反射膜，反射膜的上面與反射膜周邊部的上面形成階梯差部。形成材料在階梯差部產(chǎn)生了階梯錯(cuò)位的情況下，在與綠色和紅色對(duì)應(yīng)的像素電極的第2次以后的成膜時(shí)，雖然形成材料一般會(huì)嵌入階梯錯(cuò)位的部分中，但由于藍(lán)色只成膜一次，所以階梯錯(cuò)位不能被修補(bǔ)而殘留。如果在像素電極中產(chǎn)生階梯錯(cuò)位，則不能使與該像素電極對(duì)應(yīng)的有機(jī)EL元件發(fā)光，導(dǎo)致此處形成暗點(diǎn)等而顯示不良。如果一個(gè)單色顯示(例如藍(lán)色)成為暗點(diǎn)，則即使把其與紅色和綠色組合，也不能獲得所希望的全彩色顯示，因此影響了顯示品質(zhì)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述以往技術(shù)的問(wèn)題點(diǎn)而提出的，其目的之一是提供一種高顯示品質(zhì)和圖像品質(zhì)的良好的有機(jī)EL裝置。
本發(fā)明的有機(jī)EL裝置具有發(fā)光像素，該發(fā)光像素具有透光性的第1電極；半透過(guò)反射膜；配置在上述第1電極與上述半透過(guò)反射膜之間的有機(jī)發(fā)光層;在上述第1電極上的上述半透過(guò)反射膜的相反側(cè)設(shè)置的反射膜；以及以覆蓋上述反射膜端部的階梯差部的方式設(shè)置的連接導(dǎo)電部，其特征在于，上述連接導(dǎo)電部由多層透光性的導(dǎo)電膜構(gòu)成，并且與上iOL光像素的開(kāi)關(guān)元件電連接，上述第1電極是通it^構(gòu)成上述連接導(dǎo)電部的導(dǎo)電膜中選擇單層或2層以上進(jìn)行圖案化而形成的。通常，在反射膜的周邊部設(shè)置有由多層導(dǎo)電膜構(gòu)成的連接導(dǎo)電部，這些導(dǎo)電膜的任意膜(例如1層)越過(guò)反射膜的端部的階梯差部而被引出到反射膜的中央部側(cè)。被引出到中央部側(cè)的導(dǎo)電膜中的與像素對(duì)應(yīng)的部分作為像素電極發(fā)揮作用。
一般知道，如果用薄的導(dǎo)電膜覆蓋階梯差部，則在此處容易產(chǎn)生階梯錯(cuò)位。
在本發(fā)明中，由于覆蓋反射膜端部的階梯差部的連接導(dǎo)電部由多層導(dǎo)電膜構(gòu)成，所以，與用連接導(dǎo)電部的一部分(例如l層導(dǎo)電膜)覆蓋上述階梯差部相比可以使用更厚的膜覆蓋上述階梯差部。因此，可顯著改善階梯差覆蓋性，防止在此處產(chǎn)生階梯錯(cuò)位的情況。由此，能夠使第1電極與開(kāi)關(guān)元件構(gòu)成良好的連接，使有機(jī)發(fā)光層良好地發(fā)光，由此，
成為無(wú)暗點(diǎn)等的良好的有機(jī)EL裝置。
另外，優(yōu)選的是，構(gòu)成上述連接導(dǎo)電部的多層導(dǎo)電膜中的最厚的導(dǎo)電膜被配置在最靠近上述反射膜側(cè)，在這種情況下，優(yōu)選的是，構(gòu)成上述連接導(dǎo)電部的多層導(dǎo)電膜中被配置在反射膜側(cè)的導(dǎo)電膜的膜厚，大于等于被配置在比該導(dǎo)電膜更靠近半透過(guò)反射膜側(cè)的導(dǎo)電膜的膜厚。
在連接導(dǎo)電部中只要包含l層不存在階梯錯(cuò)位的導(dǎo)電膜，即能夠使第1電極與開(kāi)關(guān)元件導(dǎo)通。如本發(fā)明那樣只要把最厚的導(dǎo)電膜配置在最靠反射膜側(cè)，便可比配置了相對(duì)薄的導(dǎo)電膜的情況減少階梯錯(cuò)位的產(chǎn)生，因此，能夠?qū)崿F(xiàn)第1電極與開(kāi)關(guān)元件的良好連接。
另外，如果在未產(chǎn)生階梯錯(cuò)位的導(dǎo)電膜上疊層由例如與下層相同材料構(gòu)成的導(dǎo)電膜，則由于上層基于與下層的親和性而不容易產(chǎn)生階梯錯(cuò)位，所以，對(duì)于構(gòu)成連接導(dǎo)電部的導(dǎo)電膜的任意膜，都可減少階梯錯(cuò)位。由此，連接導(dǎo)電部可在實(shí)現(xiàn)高可靠性的同時(shí)實(shí)現(xiàn)低電阻化，從而能夠使有機(jī)發(fā)光層良好地發(fā)光。
另外，配置在反射膜側(cè)的導(dǎo)電膜的膜厚如果大于等于被配置在比該導(dǎo)電膜更靠近半透過(guò)反射膜側(cè)的導(dǎo)電膜的膜厚，則可構(gòu)成更良好的連接導(dǎo)電部。即，如果在發(fā)生了階梯錯(cuò)位的導(dǎo)電膜上疊層由與其相同材料構(gòu)成的導(dǎo)電膜，則能夠在階梯錯(cuò)位中嵌入導(dǎo)電膜材料，和基于與下層的親和性，從周圍向內(nèi)側(cè)被導(dǎo)電材料覆蓋階梯錯(cuò)位的部分或全部。由此，可進(jìn)行消除階梯錯(cuò)位或減小階梯錯(cuò)位等的修補(bǔ)。由于只要在階梯錯(cuò)位處形成厚的導(dǎo)電膜材料的膜，即可比薄的成膜更良好地修補(bǔ)階梯錯(cuò)位，所以 通過(guò)把形成在產(chǎn)生了階梯錯(cuò)位的導(dǎo)電膜上的導(dǎo)電膜中的膜厚厚的導(dǎo)電 膜配置在下層側(cè)，可防止在連接導(dǎo)電部的上層側(cè)的導(dǎo)電膜中產(chǎn)生階梯錯(cuò)
位的情況。
另外，優(yōu)選的是，上述連接導(dǎo)電部由3層以上的導(dǎo)電膜構(gòu)成，該導(dǎo) 電膜中的不構(gòu)成上述第1電極的導(dǎo)電膜按照每個(gè)導(dǎo)電膜使在上述反射膜 的周緣部上的該導(dǎo)電膜的端部位置相互不同而形成。
這樣，不構(gòu)成上述第1電極的導(dǎo)電膜的端部成為上層與下層的階梯 差部，階梯差部的位置相互不同。因此，相比不構(gòu)成上述第1電極的導(dǎo) 電膜的端部處于相同位置的情況，可減小各個(gè)階梯差部。由此，可改善 該階梯差部中的構(gòu)成第1電極的導(dǎo)電膜的階梯差覆蓋性，防止在構(gòu)成第 1電極的導(dǎo)電膜中產(chǎn)生階梯錯(cuò)位的情況。
另外，優(yōu)選的是，具有多個(gè)發(fā)光像素，并且在該發(fā)光像素之間設(shè)置 有隔壁，上述反射膜的端部被該隔壁覆蓋。在這種情況下，更優(yōu)選的是， 構(gòu)成上述連接導(dǎo)電部的多層導(dǎo)電膜中的不構(gòu)成上述第1電極的導(dǎo)電膜的 端部被上述隔壁覆蓋。
這樣，反射膜可被配置在隔壁間的全體中，即，光從有機(jī)發(fā)光層側(cè) 向反射膜側(cè)發(fā)光的區(qū)域的全體上，從而可在不發(fā)生向反射膜的基底側(cè)的 漏光的情況下，把發(fā)光光線反射到半透過(guò)反射膜側(cè)。而且，可用隔壁覆 蓋反射膜的端部的反射膜與其下層的階梯差部，從而可避免因階梯差部 的光反射造成顯示品質(zhì)下降的情況。另外，如果構(gòu)成為由上述隔壁覆蓋 不構(gòu)成上述第1電極的導(dǎo)電膜的端部，則也可避免因階梯差部的光反射 等造成顯示品質(zhì)下降的情況。
另外，優(yōu)選的是，具有不同發(fā)光波長(zhǎng)的多個(gè)發(fā)光像素，上述多個(gè)發(fā) 光像素的每個(gè)發(fā)光像素中的構(gòu)成該發(fā)光像素的第1電極的厚度，根據(jù)上 述連接導(dǎo)電部中的被選擇的導(dǎo)電膜的膜厚按上述多個(gè)發(fā)光像素的每一 發(fā)光像素而不同，該發(fā)光像素的發(fā)光波長(zhǎng)，釆用根據(jù)構(gòu)成該發(fā)光像素的 半透過(guò)反射膜與反射膜之間的光學(xué)距離決定的諧振波長(zhǎng)，對(duì)于該光學(xué)距 離，利用構(gòu)成該發(fā)光像素的第1電極的厚度進(jìn)行調(diào)整。這樣，例如通過(guò)形成具有與紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)各色 對(duì)應(yīng)的發(fā)光波長(zhǎng)的發(fā)光像素，可制造出能夠進(jìn)行全彩色顯示的有機(jī)EL 裝置。
另外，優(yōu)選的是，在上述半透過(guò)反射膜上的反射膜的相反側(cè)設(shè)置有 彩色濾光層，該彩色濾光層可透過(guò)與具有該半透過(guò)反射膜的發(fā)光像素的 發(fā)光波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)的光。
這樣，而且由于彩色濾光層可吸收外部光，所以可實(shí)現(xiàn)外部光反射 更少的有機(jī)EL裝置。,:即,，由于未，夠徠彩色濾光層吸收的光(與彩色
所吸收，所以，對(duì)顯示幾乎不產(chǎn)生影響。即由于彩色濾光層的透過(guò)波長(zhǎng) 與諧振器的諧振波長(zhǎng)大致一致，所以諧振器對(duì)透過(guò)了彩色濾光層的光的 透過(guò)率非常高，反射率非常低。因此，透過(guò)彩色濾光層射入諧振器內(nèi)的 外光直接被吸收在諧振器內(nèi)，幾乎不會(huì)反射到外部。
另外，優(yōu)選的是，在上述彩色濾光層上設(shè)置有分別透過(guò)3種相互不 同波長(zhǎng)的光的3種色材部，上述連接導(dǎo)電部由3層導(dǎo)電膜構(gòu)成，并具有 具有由該導(dǎo)電膜中的l層構(gòu)成的第1電極的發(fā)光像素、具有由該導(dǎo)電膜 中的2層構(gòu)成的第1電極的發(fā)光像素、和具有由上述連接導(dǎo)電部構(gòu)成的 第1電極的發(fā)光像素。
這樣，在制造有機(jī)EL裝置時(shí)，可基本沿用通常使用的工藝，來(lái)構(gòu) 成本發(fā)明的有機(jī)EL裝置。即，通常是從源極電極到反射膜的周邊部形 成由3層導(dǎo)電膜構(gòu)成的連接導(dǎo)電部，如果將反射膜擴(kuò)展形成到形成該連 接導(dǎo)電部的部分，則通過(guò)對(duì)端部進(jìn)行與通常同樣的圖案形成，可連接反 射膜的周緣部和周邊部來(lái)形成連接導(dǎo)電部。這樣，可在不增加工藝成本 的情況下，制造出良好的有機(jī)EL裝置,并且通過(guò)采用成熟的工藝，可 制造出高可靠性的有機(jī)EL裝置。
本發(fā)明的電子設(shè)備的特征是，具有上述本發(fā)明的有機(jī)EL裝置。
如上所述，由于本發(fā)明的有機(jī)EL裝置具有無(wú)暗點(diǎn)等的良好品質(zhì)， 所以具備了該有機(jī)EL裝置的本發(fā)明的電子設(shè)備也成為良好的電子設(shè) 備。
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圖1是概略表示本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的剖面結(jié)構(gòu)圖。
圖2是放大表示有機(jī)EL裝置的主要部分的剖面圖。
圖3是表示本發(fā)明的電子設(shè)備的結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖中l(wèi)-有機(jī)EL裝置；22 -像素電極(第1電極)；23 -有機(jī) 功能層；24 -公共電極(半透過(guò)反射膜)；26 -反射膜；32 -彩色濾 光層；321 -紅色部(色材部)；322 -綠色部(色材部)；323 -藍(lán)色 部(色材部)。
具體實(shí)施例方式
下面，說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，但本發(fā)明的技術(shù)范圍不限于以 下的實(shí)施方式。在以下的說(shuō)明中，結(jié)合附圖舉例說(shuō)明各種構(gòu)造，為了簡(jiǎn) 明地表示構(gòu)造的特征部分，圖中所示的構(gòu)造，關(guān)于其尺寸和比例，有時(shí) 與實(shí)際構(gòu)造的不同。另外，在本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置中，發(fā)光像素 被配置成陣列狀。在一個(gè)排列方向上，周期性配置與紅色光、綠色光、 藍(lán)色光對(duì)應(yīng)的發(fā)光像素，在與上述排列方向正交的方向上，排列與紅色 光、綠色光、藍(lán)色光的任意一種對(duì)應(yīng)的發(fā)光像素。由此，通過(guò)單色光(紅、 綠、藍(lán))的組合，可進(jìn)行全彩色顯示。在這樣的顯示裝置中，有時(shí)把與 單色光對(duì)應(yīng)的發(fā)光像素稱為子像素。
圖1是概略表示本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置1的側(cè)剖面結(jié)構(gòu)圖，表 示沿著上述排列方向的剖面中的包含6個(gè)發(fā)光像素的區(qū)域。即，圖示了 包含與(紅、綠、藍(lán))對(duì)應(yīng)的發(fā)光像素(子像素)的組的2組。另外， 關(guān)于作為本發(fā)明的特征部分的第1電極22等，將在后面參照放大圖進(jìn) 行詳細(xì)說(shuō)明，在圖l中只簡(jiǎn)要表示其結(jié)構(gòu)。
如圖1所示，有機(jī)EL裝置1具有在TFT陣列基板21上順序形成 了像素電極(第1電極)22、有機(jī)功能層23、和公共電極(半透過(guò)反射 膜)24的有機(jī)EL基板2。另外，在與有機(jī)EL基板2對(duì)置的透明基板 31的有機(jī)EL基板2側(cè)，具有形成為彩色濾光層32的彩色濾光基板3。 另夕卜，把有機(jī)EL基板2和彩色濾光基板3，利用設(shè)在TFT陣列基板21的周緣部和透明基板31的周緣部之間的密封部件(未圖示)相互粘合, 并密封。
有機(jī)EL基板2具有包含了平坦膜等基礎(chǔ)層的TFT陣列基板21、 選擇性設(shè)在其上面的反射膜26、設(shè)在反射膜26上的像素電極22、設(shè)在 像素電極22之間的隔壁25、同時(shí)覆蓋像素電極22和隔壁25的有機(jī)功 能層23、和覆蓋有機(jī)功能層23的公共電極24。另外，這里，在位于隔 壁25上方部分的有機(jī)功能層23上，形成有輔助布線27,在反射膜26 與像素電極22之間形成有絕緣膜28。像素電極22和有機(jī)功能層23和 公共電極24構(gòu)成有機(jī)EL元件。公共電極24在作為電極發(fā)揮作用的同 時(shí)，還作為半透過(guò)反射膜發(fā)揮作用，在包含了公共電極24和反射膜26 的這些之間，構(gòu)成諧振器。這里，像素電極22作為陽(yáng)極發(fā)揮作用，公 共電極24作為陰極發(fā)揮作用。
這里，未圖示TFT基板21的詳細(xì)結(jié)構(gòu)，但在TFT基板21上，柵 格狀配置有從數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路延伸的多條數(shù)據(jù)線、和從掃描線驅(qū)動(dòng)電路 延伸的多條掃描線。由數(shù)據(jù)線和掃描線劃分的部分成為發(fā)光像素，這里， 設(shè)置有上述有機(jī)EL元件，并且設(shè)置有作為開(kāi)關(guān)元件和驅(qū)動(dòng)元件等發(fā)揮 作用的TFT。有機(jī)EL元件的像素電極22與上述TFT電連接。
反射膜26由鋁膜或銀膜等反光性金屬膜構(gòu)成，這里，釆用由AlNd 構(gòu)成的厚度為80nm左右的反射膜26。另外，本實(shí)施方式的反射膜26 沿著與上述發(fā)光像素的排列方向正交的方向，即與(紅、綠、藍(lán))中的 一種對(duì)應(yīng)的發(fā)光像素排列的方向，貫通多個(gè)發(fā)光像素(子像素)帶狀地 延伸設(shè)置。另外，通過(guò)在反射膜26與像素電極22之間設(shè)置絕緣膜28， 使多個(gè)像素電極22之間不導(dǎo)通。絕緣膜28例如由SiN構(gòu)成，厚度為 50nm左右。
像素電極22由具有透光性的功函數(shù)高(例如5eV以上)的導(dǎo)電材 料，具體是ITO (銦錫氧化物)等構(gòu)成，構(gòu)成為從像素電極22向有機(jī) 功能層23高效率地提供空穴(載流子)。 一個(gè)像素電極22與設(shè)在彩色 濾光基板3上的3種色材部(后述)的任意一種對(duì)應(yīng)。另外，根據(jù)透過(guò) 對(duì)應(yīng)的色材部的光的波長(zhǎng)，使每個(gè)像素電極22的厚度不同。
公共電極24由具有透光性且功函數(shù)低(例如5eV以下)的導(dǎo)電材料構(gòu)成。作為功函數(shù)低的材料，例如有鈣和錳、鈉、鋰、或這些的金 屬化合物即氟化鉤等金屬氟化物或氧化鋰等金屬氧化物、乙酰鈣等有機(jī) 金屬絡(luò)合物等。在本實(shí)施方式中，采用由錳、銀構(gòu)成的公共電極24，從 公共電極24向有機(jī)功能層23高效率地提供電子(載流子)。另外，通 過(guò)對(duì)公共電極24設(shè)置由鋁等構(gòu)成的低電阻的輔助布線27，能夠以低消 耗電力使公共電極24發(fā)揮作用。另外，公共電極24還作為半透過(guò)反射 膜發(fā)揮作用，其透過(guò)來(lái)自有機(jī)功能層23側(cè)的光的一部分，將剩余的光 的一部分或全部反射向反射膜26側(cè)。 一般，由透光性導(dǎo)電膜構(gòu)成的公 共電極具有上述的作為半透過(guò)反射膜的功能。
有機(jī)功能層23具有由有機(jī)EL材料構(gòu)成的有機(jī)發(fā)光層。公知一般的 有機(jī)功能層具有從陽(yáng)極側(cè)順序疊層空穴注入層、和有機(jī)發(fā)光層的構(gòu)造， 除此以外，也可以使用在空穴注入層與有機(jī)發(fā)光層之間設(shè)置了空穴輸送 層的構(gòu)造、取代空穴注入層而設(shè)置了空穴注入輸送層的構(gòu)造、以及在使 用低分子材料等采用蒸鍍法進(jìn)行形成的情況下等，也可以使用在有機(jī)發(fā) 光層的陰極側(cè)設(shè)置了電子注入(輸送)層的構(gòu)造等。當(dāng)在像素電極22 與公共電極24之間施加了電壓時(shí)，空穴從像素電極22被注入到空穴注 入層，并通過(guò)空穴輸送層被輸送到有機(jī)發(fā)光層。另外，電子從公共電極 24被注入電子注入層，并且，該電子通過(guò)電子注入(輸送)層，被輸送 到有機(jī)發(fā)光層。通過(guò)使被輸送到有機(jī)發(fā)光層的空穴和電子再結(jié)合，使有 機(jī)發(fā)光層發(fā)光。
作為有機(jī)功能層23的材料，可使用公知的材料，具體可例舉出以 下的材料。
作為空穴注入層的材料，可例舉出聚噻吩衍生物、聚苯胺衍生物、 聚吡咯衍生物等。
作為空穴輸送層的材料，可例舉出TAPC、 TPD、 oc-NPD、 m-MTDATA、 2-TNATA、 TCTA、 Spiro-TAD、 (DTP)DPPD、 HTM1、 TPTE1、 NTPA、 TFLTF、聚藥衍生物(PF)、聚對(duì)苯乙炔衍生物(PPV )、 聚對(duì)苯衍生物(PPP)、聚乙烯咔唑(PVK)、聚噻吩衍生物、聚甲基苯 基硅烷(PMPS )等聚硅烷有系機(jī)高分子材料等。
作為有機(jī)發(fā)光層的材料，除了上述的空穴輸送層的形成材料以外，還可例舉出艱呢萊恩系色素(X二 1/乂糸色素，penilen system pigment) 系色素、香豆素系色素、羅丹明系色素等有機(jī)高分子材料、或在這些有 機(jī)高分子材料中摻雜例如紅熒烯、紫蘇烯、9、 10-二苯基蒽、四苯基丁 二烯、尼羅紅、香豆素6、喹吖酮等低分子有機(jī)材料后的材料，還可以 例舉CBP(4， 4-二^f唑-4， 4-聯(lián)苯)衍生物、PtOEP (柏卟啉絡(luò)合物) 衍生物、Ir (ppy) 3 (銦絡(luò)合物)衍生物、Firpic (銦絡(luò)合物)衍生物 等磷光材料等。另外，在本發(fā)明中，有機(jī)發(fā)光層優(yōu)選形成為使發(fā)光色成 為白色。
作為電子輸送層的材料，可例舉出噁二唑衍生物、噁唑衍生物、菲 繞啉衍生物、蒽醌二甲烷衍生物、苯醌衍生物、萘醌衍生物、蒽醌衍生 物、四氰基蒽醌二甲烷衍生物、9-芴酮衍生物、二苯基二氰基乙烯衍生 物、聯(lián)對(duì)苯醌衍生物、羥基會(huì)啉衍生物等。
從有機(jī)發(fā)光層向像素電極22側(cè)發(fā)出的光透過(guò)像素電極22，在反射 膜26被反射，能夠從公共電極24側(cè)射出。由于公共電極24作為半透 過(guò)反射膜發(fā)揮作用，所以規(guī)定范圍的波長(zhǎng)以外的光在反射膜24側(cè)被反 射，在公共電極24與反射膜26之間往返。這樣，只有與公共電極24 和反射膜26之間的光學(xué)距離對(duì)應(yīng)的諧振波長(zhǎng)的光被放大射出。即，包 含了公共電極24和反射膜26的間隔作為諧振器發(fā)揮作用，由此能夠射 出發(fā)光亮度高，而且光鐠陡的光。另外，上述光學(xué)距離可根據(jù)公共電極 24與反射膜26之間所包含的層的光學(xué)距離之和來(lái)求出，各個(gè)層的光學(xué) 距離可根據(jù)其膜厚與折射率的乘積求出。
彩色濾光基板3具有遮光部33、設(shè)在遮光部33的有機(jī)EL基板2 側(cè)的隔壁34、和i殳在隔壁34之間的彩色濾光層32,該遮光部33由選 擇性地設(shè)在由丙烯或玻璃等構(gòu)成的透明基板31的有機(jī)EL基板2側(cè)的、 由鉻等非透光性材料構(gòu)成。另外，在透明基板31的有機(jī)EL基板2的 相反側(cè)，粘貼設(shè)置了未圖示的反射防止膜。彩色濾光層32具有色材部， 該色材部由包含顏料等的透明樹(shù)脂等構(gòu)成，在本實(shí)施方式中，由周期性 配置的紅色部(色材部)321、綠色部(色材部)322、和藍(lán)色部(色材 部)323構(gòu)成。
另外，針對(duì)各個(gè)色材部，把像素電極22的厚度調(diào)整為，使從有機(jī) EL元件側(cè)向各個(gè)色材部發(fā)出的光的波長(zhǎng)成為與各個(gè)色材部對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)。即,根據(jù)像素電極22的厚度調(diào)整上述諧振器的光學(xué)距離，使諧振 器的諧振波長(zhǎng)成為與色材部對(duì)應(yīng)的規(guī)定的波長(zhǎng)。下面，對(duì)像素電極22 的構(gòu)造進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
圖2 (A) ~ (C)是放大表示有機(jī)EL裝置1的像素電極22的附近 的側(cè)剖面圖，圖2 (A)表示與藍(lán)色部323對(duì)應(yīng)的部分，圖2 (B)表示 與綠色部322對(duì)應(yīng)的部分，圖2 ( C )表示與紅色部321對(duì)應(yīng)的部分。 如圖2 (A) ~(C)所示，與任意色材部對(duì)應(yīng)的部分除了反射膜26上的 部分的構(gòu)造都相同。即，在基板211上，設(shè)置有從上述掃描線分支的柵 極電極212，覆蓋柵極電極212設(shè)置有柵極絕緣膜213。在柵極絕緣膜 213上的與柵極電極212重合的部分，設(shè)置有半導(dǎo)體層214。覆蓋柵極 絕緣膜213和半導(dǎo)體層214設(shè)置有層間絕緣膜215，在層間絕緣膜215 上，設(shè)置有貫通該層間絕緣膜且露出半導(dǎo)體層214的開(kāi)口部。在該開(kāi)口 部的內(nèi)側(cè)，以及開(kāi)口部的周邊部上的層間絕緣膜215上，設(shè)置有源極電 極216。半導(dǎo)體層214的與柵極電極212重合的部分成為溝道，夾著該 溝道的一方與源極電極216接觸，構(gòu)成導(dǎo)通。另外，半導(dǎo)體層214的另 一方與上述數(shù)據(jù)線電連接。
覆蓋層間絕緣膜215和源極電極216設(shè)置有例如由SiN構(gòu)成的絕緣 膜217，覆蓋絕緣膜217設(shè)置有例如由丙烯樹(shù)脂構(gòu)成的平坦化層218。 平坦化層218在源極電極216上形成開(kāi)口 ，并且在平坦化層218的規(guī)定 位置上形成反射膜26。覆蓋包含上述源極電極216上的開(kāi)口內(nèi)側(cè)的平坦 化層218和反射膜26，設(shè)置有例如由SiN構(gòu)成的絕緣膜28。
在絕緣膜217和絕緣膜28上，設(shè)置有貫通該膜，露出源極電極216 的開(kāi)口部。覆蓋露出在該開(kāi)口部?jī)?nèi)側(cè)的源極電極216，順序設(shè)置有導(dǎo)電 膜22A、 22B、 22C，設(shè)置由這3層導(dǎo)電膜22A、 22B、 22C構(gòu)成的連接 導(dǎo)電部。這里，導(dǎo)電膜22A、 22B、 22C都是由ITO構(gòu)成，各自的膜厚 例如導(dǎo)電膜22A為50nm左右，導(dǎo)電膜22B為50nm左右，導(dǎo)電膜22C 為30nm左右。
連接導(dǎo)電部沿著絕緣膜217的開(kāi)口部側(cè)壁和絕緣膜28的開(kāi)口部側(cè) 壁，延伸設(shè)置到反射膜26側(cè)。而且，越過(guò)反射膜26的端部，即周緣部 上與周邊部的絕緣膜28上的階梯差部，連續(xù)設(shè)置到反射膜26上的周緣 部。構(gòu)成連接導(dǎo)電部的導(dǎo)電膜22A、 22B、 22C中的任意個(gè)從反射膜26
13上的周緣部被引到中央部側(cè)。另夕卜，覆蓋連接導(dǎo)電部設(shè)置有隔壁25,隔 壁25在反射膜26的中央部上形成開(kāi)口。隔壁25的開(kāi)口側(cè)壁形成為越 遠(yuǎn)離反射膜26側(cè)，其口徑越大的錐體形狀。另外，在該開(kāi)口內(nèi)側(cè)設(shè)置 有有機(jī)功能層23。
如圖2 (A)所示，在與藍(lán)色部323對(duì)應(yīng)的部分，導(dǎo)電膜22A只覆 蓋反射膜26的周緣部，并形成在隔壁25的開(kāi)口外側(cè)。另外，導(dǎo)電膜22B 越過(guò)導(dǎo)電膜22A與絕緣膜28的階梯差部，從導(dǎo)電膜22A形成到中央部 側(cè)，并且形成在隔壁25的開(kāi)口外側(cè)。另夕卜，導(dǎo)電膜22C越過(guò)導(dǎo)電膜22A 與絕緣膜28的階梯差部，和導(dǎo)電膜22A與導(dǎo)電膜22B的階梯差部，形 成到反射膜26上的中央部側(cè)，并且形成在隔壁25的開(kāi)口內(nèi)側(cè)全體上。 即，隔壁25的開(kāi)口內(nèi)側(cè)的導(dǎo)電膜22C作為像素電極22發(fā)揮作用。與藍(lán) 色部323對(duì)應(yīng)的部分的像素電極22的厚度，成為導(dǎo)電膜22C的厚度(例 如30nm左右)。
如圖2(B)所示，在與綠色部322對(duì)應(yīng)的部分，導(dǎo)電膜22A只覆 蓋反射膜26的周緣部，并形成在隔壁25的開(kāi)口外側(cè)。另外，導(dǎo)電膜22B 和導(dǎo)電膜22C越過(guò)導(dǎo)電膜22A與絕緣膜28的階梯差部，形成到反射膜 26上的中央部側(cè)，并且形成在隔壁25的開(kāi)口內(nèi)側(cè)全體上。即，隔壁25 的開(kāi)口內(nèi)側(cè)中的包括導(dǎo)電膜22B和導(dǎo)電膜22C的2層膜，作為像素電 極22發(fā)揮作用。與綠色部322對(duì)應(yīng)的部分的像素電極22的厚度，成為 導(dǎo)電膜22B的厚度(例如50nm左右)與導(dǎo)電膜22C的厚度(例如30nm 左右)之和(例如80nm左右)。
如圖2 ( C )所示，在與紅色部321對(duì)應(yīng)的部分，導(dǎo)電膜22A、導(dǎo)電 膜22B、和導(dǎo)電膜22C，即連接導(dǎo)電層的全部的層形成到反射膜26上 的中央部側(cè)，并且i殳置在隔壁25的開(kāi)口內(nèi)側(cè)全體上。即，由隔壁25的 開(kāi)口內(nèi)側(cè)中的導(dǎo)電膜22A、導(dǎo)電膜22B和導(dǎo)電膜22C構(gòu)成的3層膜， 作為像素電極22發(fā)揮作用。與紅色部321對(duì)應(yīng)的部分的像素電極22的 厚度，成為導(dǎo)電膜22A的厚度(例如50nm)和導(dǎo)電膜22B的厚度(例 如50nm左右)以及導(dǎo)電膜22C的厚度(例如30nm左右)之和(例如 130證左右)。
具有上述結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL裝置1，能夠使設(shè)在TFT基板21上的TFT 作為開(kāi)關(guān)元件發(fā)揮作用，以規(guī)定的時(shí)序向與各個(gè)TFT導(dǎo)通的源極電極216提供電信號(hào)。被提供給源極電極216的電信號(hào)通過(guò)連接導(dǎo)電部被提 供給各個(gè)有機(jī)EL元件的像素電極22。由此，在像素電極22與公共電 極24之間被施加與電信號(hào)對(duì)應(yīng)的電壓，有機(jī)EL元件(發(fā)光元件)根 據(jù)電信號(hào)進(jìn)行發(fā)光。從有機(jī)EL元件發(fā)出的光在公共電極24與反射膜 26之間，即諧振器，形成發(fā)光亮度高、且光譜陡的光，從公共電極24 射出到彩色濾光基板3側(cè)。這些射出光通過(guò)彩色濾光層32的紅色部321 、 綠色部322、藍(lán)色部323的任意一個(gè)，成為規(guī)定顏色的光。通過(guò)各個(gè)色 材部的光，在射出了該光的有機(jī)EL元件側(cè)，利用像素電極22的厚度 調(diào)整了波長(zhǎng)(諧振波長(zhǎng))，成為良好的顏色光，輸出到顯示側(cè)。這樣， 有機(jī)EL裝置1可實(shí)現(xiàn)良好的顯示。
另外，像素電極只要由構(gòu)成連接導(dǎo)電部的導(dǎo)電膜中的任意一個(gè)構(gòu)成 即可。例如，在采用了例如相互厚度不同的3種導(dǎo)電膜的情況下等，只 要對(duì)應(yīng)(R、 G、 B)把3種的任意單層作為像素電極，即可構(gòu)成相互厚 度不同的3種像素電極。另外，在釆用了由3層以上的導(dǎo)電膜構(gòu)成的連 接導(dǎo)電部的情況下，作為構(gòu)成連接導(dǎo)電部、但不構(gòu)成第1電極的導(dǎo)電膜 的端部位置，在上述實(shí)施方式中越是下層側(cè)的導(dǎo)電膜，越遠(yuǎn)離像素開(kāi)口 ， 但也可以越是下層側(cè)，越接近像素開(kāi)口。
下面，關(guān)于上述有機(jī)EL裝置1的制造方法，說(shuō)明本發(fā)明的特征部 分的像素電極22的形成方法的一例。
在形成像素電極22之前，預(yù)先形成TFT基板21等。例如在基板 211上形成掃描線，同時(shí)把其一部分作為柵極電極212,并且覆蓋該柵 極電極形成柵極絕緣膜213。然后，在柵極絕緣膜213上形成數(shù)據(jù)線， 并且形成一端與數(shù)據(jù)線電連接的半導(dǎo)體層214。然后，覆蓋半導(dǎo)體層214 形成層間絕緣膜215，然后形成貫通層間絕緣膜215并露出半導(dǎo)體層214 的另一端側(cè)的開(kāi)口部。然后，在該開(kāi)口部的內(nèi)側(cè)，以及開(kāi)口部周邊的層 間絕緣膜215上形成源極電極216。然后，覆蓋源極電極216和層間絕 緣膜215順序形成絕緣膜217、平坦化層218。把絕緣膜217的厚度例 如i殳定為200nm左右，把平坦化層218的厚度例如i殳定為3000nm左右。 在這些的形成中，可以使用公知的形成材料和形成方法。然后，在平坦化層218上的規(guī)定位置形成反射膜26。例如，在發(fā)光 像素的大小在上述發(fā)光像素的排列方向上為220pm左右，在與排列方 向正交的方向上為70 nm左右的情況下，作為反射膜的大小，通常在 排列方向上為170jum左右，在與排列方向正交的方向上為60jLim左右。 在本發(fā)明中，形成在排列方向上寬度寬的例如寬度為185jum左右的反 射膜26。由此，可在不縮小像素開(kāi)口的情況下，如后述那樣形成良好的 像素電極22。
然后，貫通平坦化層218形成露出源極電極216上的絕緣膜217的 開(kāi)口部。然后，覆蓋包含開(kāi)口部?jī)?nèi)側(cè)的平坦化層218和反射膜26而形 成例如50nm左右厚度的絕緣膜28。然后，貫通絕緣膜217和絕緣膜 28形成露出源極電極216的開(kāi)口部。
然后，形成覆蓋露出的源極電極216上面和反射膜26上面的周緣 部的連接導(dǎo)電部。這里，通過(guò)按照從膜厚由厚到薄的導(dǎo)電膜順序，順序 形成構(gòu)成連接導(dǎo)電部的3層導(dǎo)電膜22A、 22B、 22C，來(lái)形成連接導(dǎo)電 部。
導(dǎo)電膜22A在與藍(lán)色部323對(duì)應(yīng)的部分的反射膜26上、和與綠色 部322對(duì)應(yīng)的部分的反射膜26上，只覆蓋反射膜26的周緣部。例如可 以采用如下的方法形成，即，在利用掩模圖案覆蓋了導(dǎo)電膜22A的非形 成區(qū)域的狀態(tài)下，使用蒸鍍法等將導(dǎo)電膜22A的形成材料成膜，或覆蓋 源極電極216上面以及絕緣膜28上面的全體面，使用濺射法等將導(dǎo)電 膜22A的形成材料成膜，然后使用光刻法以及蝕刻技術(shù)等，形成圖案。 如果從最厚的導(dǎo)電膜22A開(kāi)始形成，則相比從薄的導(dǎo)電膜開(kāi)始形成的情 況，在反射膜26的周邊部與周緣部的階梯差部，可減少階梯錯(cuò)位的產(chǎn) 生。
然后，形成覆蓋導(dǎo)電膜22A并形成與導(dǎo)電膜22A相比覆蓋反射膜 26的中央部側(cè)的導(dǎo)電膜22B。導(dǎo)電膜22B覆蓋與綠色部322對(duì)應(yīng)的部 分的反射膜26上面的全體面，并且在與藍(lán)色部323對(duì)應(yīng)的部分的反射 膜26上面，只覆蓋其周緣部。另外，作為導(dǎo)電膜22B的形成方法，可 以使用與形成導(dǎo)電膜22A的方法相同的方法。在上述階梯差部，在導(dǎo)電 膜22A中發(fā)生了階梯錯(cuò)位的情況下，導(dǎo)電膜22B的形成材料可嵌入到 該階梯錯(cuò)位部分中，以及基于與導(dǎo)電膜22A的親和性，可利用上述形成材料從階梯錯(cuò)位部分的周邊覆蓋內(nèi)側(cè)。由此，可修補(bǔ)階梯錯(cuò)位部分，可
顯著減少在導(dǎo)電膜22B中產(chǎn)生階梯錯(cuò)位的情況。
然后，形成覆蓋導(dǎo)電膜22B并覆蓋與藍(lán)色部323對(duì)應(yīng)的部分的反射 膜26上面全體面的導(dǎo)電膜22C。由于導(dǎo)電膜22C以階梯錯(cuò)位非常少的 導(dǎo)電膜22B為基礎(chǔ)而形成，所以，基于與導(dǎo)電膜22B和導(dǎo)電膜22C的 形成材料的親和性，可防止在導(dǎo)電膜22C中產(chǎn)生階梯錯(cuò)位。另外，導(dǎo)電 膜22B形成到超過(guò)導(dǎo)電膜22A的反射膜26上的中央部側(cè)，導(dǎo)電膜22B 與絕緣膜28的階梯差部被分割成導(dǎo)電膜22B與導(dǎo)電膜22A的階梯差部、 和導(dǎo)電膜22A與絕緣膜28的階梯差部。因此，由導(dǎo)電膜22C覆蓋的各 個(gè)階梯差部比由導(dǎo)電膜22B與絕緣膜28形成一個(gè)階梯差部時(shí)的小。由 此，可減少在導(dǎo)電膜22C中產(chǎn)生階梯錯(cuò)位的情況。
如上述那樣，可以在形成連接導(dǎo)電部的同時(shí)，在與藍(lán)色部323對(duì)應(yīng) 的部分形成由導(dǎo)電膜22C構(gòu)成的像素電極22、在與綠色部322對(duì)應(yīng)的 部分形成由導(dǎo)電膜22B和導(dǎo)電膜22C構(gòu)成的像素電極22、在與紅色部 321對(duì)應(yīng)的部分形成由導(dǎo)電膜22A、導(dǎo)電膜22B、和導(dǎo)電膜22C構(gòu)成的 像素電極22。
本發(fā)明的有機(jī)EL裝置，如在[制造例中所說(shuō)明的那樣，可防止在 反射膜26的周邊部與周緣部的階梯差部處，產(chǎn)生連接導(dǎo)電部的階梯錯(cuò) 位的情況。因此，能夠從TFT基板21的TFT向與連接導(dǎo)電部的一部 分一體形成的像素電極22良好地提供電信號(hào)，能夠使有機(jī)EL元件良 好地發(fā)光。由此，可防止暗點(diǎn)等顯示不良，構(gòu)成可實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)顯示的有 機(jī)EL裝置。
[電子設(shè)備
下面，對(duì)具備了本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的電子設(shè)備的一例進(jìn)行說(shuō)明。
圖3是表示移動(dòng)電話的一例的立體圖。如圖3所示，移動(dòng)電話機(jī)1300 具有多個(gè)操作鍵1302、受話口 1303、送話口 1304、以及由本發(fā)明的有 機(jī)EL裝置構(gòu)成的顯示部1301。根據(jù)該移動(dòng)電話機(jī)1300，由于具備了 本發(fā)明的有機(jī)EL裝置，所以可實(shí)現(xiàn)具備了顯示品質(zhì)優(yōu)良，明亮的畫面 的有機(jī)EL顯示部的電子設(shè)備。
17另外，作為具備了本發(fā)明的有機(jī)EL裝置的電子設(shè)備，除了上述移 動(dòng)電話機(jī)以外，還可以例舉出例如數(shù)碼相機(jī)、個(gè)人計(jì)算機(jī)、電視機(jī)、便 攜式電視機(jī)、取景型/監(jiān)視器直視型錄像機(jī)、PDA、便攜式游戲機(jī)、尋 呼機(jī)、電子記事本、計(jì)算器、時(shí)鐘、文字處理器、工作站、可視電話、 POS終端、具備觸摸屏的設(shè)備等、車載音響設(shè)備和汽車用儀表、汽車導(dǎo) 航裝置等的車載顯示器等。
權(quán)利要求
1. 一種有機(jī)EL裝置，具有發(fā)光像素，該發(fā)光像素具有透光性的第1電極；半透過(guò)反射膜；配置在上述第1電極與上述半透過(guò)反射膜之間的有機(jī)發(fā)光層；在上述第1電極上的上述半透過(guò)反射膜的相反側(cè)設(shè)置的反射膜；以及以覆蓋上述反射膜端部的階梯差部的方式設(shè)置的連接導(dǎo)電部，其特征在于，上述連接導(dǎo)電部由多層透光性的導(dǎo)電膜構(gòu)成，并且與上述發(fā)光像素的開(kāi)關(guān)元件電連接，上述第1電極是通過(guò)從構(gòu)成上述連接導(dǎo)電部的導(dǎo)電膜中選擇單層或2層以上進(jìn)行圖案化而形成的。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于，構(gòu)成上述連 接導(dǎo)電部的多層導(dǎo)電膜中的最厚的導(dǎo)電膜被配置在最靠近上述反射膜 側(cè)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于，構(gòu)成上述連 接導(dǎo)電部的多層導(dǎo)電膜中的被配置在反射膜側(cè)的導(dǎo)電膜的膜厚，大于等 于被配置在比該導(dǎo)電膜更靠近半透過(guò)反射膜側(cè)的導(dǎo)電膜的膜厚。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于， 上述連接導(dǎo)電部由3層以上的導(dǎo)電膜構(gòu)成，該導(dǎo)電膜中的不構(gòu)成上述第 1電極的導(dǎo)電膜是按照每個(gè)導(dǎo)電膜使在上述反射膜的周緣部上的該導(dǎo)電 膜的端部位置不同而形成的。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l-4中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于， 具有多個(gè)發(fā)光像素，并且在該發(fā)光像素之間設(shè)置有隔壁，上述反射膜的 端部被該隔壁覆蓋。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于，構(gòu)成上述連 接導(dǎo)電部的多層導(dǎo)電膜中的不構(gòu)成上述第1電極的導(dǎo)電膜的端部，被上 述隔壁覆蓋。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1~6中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于， 具有發(fā)光波長(zhǎng)不同的多個(gè)發(fā)光像素，對(duì)于上述多個(gè)發(fā)光像素的每一個(gè)，構(gòu)成該發(fā)光像素的第1電極的厚 度，按照上述多個(gè)發(fā)光像素的每一個(gè)根據(jù)上述連接導(dǎo)電部中的被選擇的 導(dǎo)電膜的膜厚而不同，該發(fā)光像素的發(fā)光波長(zhǎng)為構(gòu)成該發(fā)光像素的半透 過(guò)反射膜與反射膜之間的光學(xué)距離所決定的諧振波長(zhǎng)，該光學(xué)距離根據(jù)構(gòu)成該發(fā)光像素的第1電極的厚度進(jìn)行調(diào)整。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1 7中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于， 在上述半透過(guò)反射膜上的反射膜的相反側(cè)設(shè)置有彩色濾光層，該彩色濾 光層透過(guò)與具有該半透過(guò)反射膜的發(fā)光像素的發(fā)光波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)的 光。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的有機(jī)EL裝置，其特征在于，在上述彩色 濾光層上設(shè)置有分別透過(guò)3種相互不同波長(zhǎng)的光的3種色材部，且上述 連接導(dǎo)電部由3層導(dǎo)電膜構(gòu)成，具備具有由該導(dǎo)電膜中的l層構(gòu)成的 第1電極的發(fā)光像素、具有由該導(dǎo)電膜中的2層構(gòu)成的第1電極的發(fā)光 像素、和具有由上述連接導(dǎo)電部構(gòu)成的第1電極的發(fā)光像素。
10. —種電子設(shè)備，其特征在于，具有權(quán)利要求1~9中任意一項(xiàng)所 述的有機(jī)EL裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可防止像素電極的階梯錯(cuò)位的有機(jī)EL裝置及電子設(shè)備。本發(fā)明的有機(jī)EL裝置具有發(fā)光像素，該發(fā)光像素具有透光性第1電極(22)；半透過(guò)反射膜；配置在第1電極(22)與半透過(guò)反射膜之間的有機(jī)發(fā)光層(23)；設(shè)在第1電極(22)上的半透過(guò)反射膜相反側(cè)的反射膜(26)；以覆蓋反射膜(26)端部的階梯差部的方式設(shè)置的連接導(dǎo)電部。連接導(dǎo)電部由多層透光性導(dǎo)電膜(22A、22B、22C)構(gòu)成，并且與發(fā)光像素的開(kāi)關(guān)元件電連接，第1電極(22)是通過(guò)選擇構(gòu)成連接導(dǎo)電部的導(dǎo)電膜(22A、22B、22C)中的單層或2層以上，進(jìn)行圖案化制作而形成的。
文檔編號(hào)H01L27/32GK101459192SQ200810172770
公開(kāi)日2009年6月17日 申請(qǐng)日期2008年12月12日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月14日
發(fā)明者權(quán)田朗 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社