專利名稱：：吸引裝置、吸引系統(tǒng)和包括它們的液滴噴出裝置、以及電光學(xué)裝置的制造方法及電光學(xué)裝置的制作方法吸引裝置、吸引系統(tǒng)和包括它們的液滴噴出裝置、以及電光學(xué)裝置的制造方法及電光學(xué)裝置
技術(shù)領(lǐng)域：
發(fā)明涉及一種包括對于噴墨方式的多個功能液滴噴出頭的噴嘴面可自由分離接觸地緊貼的多個噴頭帽(headcap)的吸引裝置、吸引系統(tǒng)和包括它們的液滴噴出裝置、以及電光學(xué)裝置的制造方法和電光學(xué)裝置。
背景技術(shù)：
：以往，已知對應(yīng)于搭載了12個功能液滴噴出頭的7臺滑架單元(carriageunit),包括搭載了12個噴頭帽的7臺吸引單元(吸引裝置)的吸引系統(tǒng)(參照特開2005-254798號公報)。各個吸引裝置(吸引單元)包括將12個噴頭帽搭載在帽板上的帽單元；使12個噴頭帽通過帽板對于12個功能液滴噴出頭分離接觸的分離接觸機構(gòu)；12個噴頭帽上成行排列的廢液箱；將二次側(cè)連接到廢液箱而使吸引壓力作用于廢液箱的噴出器；以及將12個噴頭帽和廢液箱連接的吸引流路。在使各個噴頭帽緊貼到各個功能液滴噴出頭中，若驅(qū)動噴射器以將壓縮空氣導(dǎo)入到一次側(cè)，則廢液箱的箱內(nèi)部及吸引流路成為負(fù)壓，通過12個噴頭帽從12個功能液滴噴出頭吸引功能液。此外，在使各個噴頭帽從各個功能液滴噴出頭稍稍分離中，通過一邊進行各個功能液滴噴出頭的廢棄噴出(沖洗)一邊驅(qū)動噴射器，可接受廢棄噴出。于是，通過兩個功能，進行12個功能液滴噴出頭的功能維持和功能恢復(fù)。在這樣的以往的吸引系統(tǒng)中，由于7臺吸引裝置(吸引單元)各自獨立，所以廢液箱和噴射器也被獨立地設(shè)置。因此，存在空間效率惡化并且結(jié)構(gòu)復(fù)雜的問題。這種情況下，如果將7臺吸引裝置的廢液箱和噴射器整合為一個設(shè)備，則這樣的問題被消除。但是，在從多個噴嘴吸引功能液的吸引壓力和吸引液滴噴出噴頭的噴出的功能液的吸引壓力中，由于前者較高而后者較低，所以在上述結(jié)構(gòu)中，在采用了進行吸引的吸引裝置和接受廢棄噴出的吸引裝置混合的運行方法的情況下，不可能同時實施兩個作業(yè)。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的課題是，提供一種可以實現(xiàn)以帽單元為單位，同時進行基于不同的吸引壓力的吸引處理，并且提高空間效率和簡化結(jié)構(gòu)的吸引裝置、吸引系統(tǒng)和包括它們的液滴噴出裝置，以及電光學(xué)裝置的制造方法和電光學(xué)裝置。本發(fā)明的吸引裝置，包括多個噴頭帽，該多個噴頭帽對于噴墨方式的多個功能液滴噴出頭的噴嘴面可自由分離接觸地緊貼，該吸引裝置包括-多個帽單元，搭載了一個以上的所述噴頭帽；分離接觸機構(gòu)，使所述各個噴頭帽以所述帽單元為單位進行分離接觸動作；多個吸引部件，各自連接到所述多個帽單元，以所述帽單元為單位從所述各個噴頭帽吸引功能液，并且吸引壓力相互不同；多組吸引流路，由將上游側(cè)連接到所述各個帽單元的主流路、和通過分路部分從所述主流路分路并且下游側(cè)連接到所述各個吸引部件的多個單獨流路組成；以及多個流路切換部件，夾設(shè)在所述各個吸引流路的所述分路部分，將所述各個吸引流路選擇性地流路切換到任意一個所述吸引部件。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過各個流路切換部件，將各個吸引流路選擇性地流路切換到任意的一個吸引部件，從而可以使多個帽單元以帽單元為單位與吸引壓力相互不同的多個吸引部件連通。即，在吸引處理中，可以通過噴頭帽對功能液滴噴出頭，以帽單元為單位，使高低的吸引壓力選擇性地作用。由此，對于多個帽單元，可以同時并行地進行利用不同的吸引壓力的吸引處理。此外，各個吸引部件是進行多個帽單元的吸引處理的結(jié)構(gòu)，所以與按帽單元為單位來設(shè)置吸引部件的情況相比，可以使吸引部件數(shù)目少，可以提高空間效率和簡化結(jié)構(gòu)。這種情況下，作為優(yōu)選，各個吸引部件具有廢液箱，連接了所述單獨流路的下游端；以及噴射器，對一次側(cè)導(dǎo)入壓縮空氣，并且將二次側(cè)連接到所述廢液箱的上部空間。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可以簡化吸引部件的結(jié)構(gòu)，同時可以成為對功能液的抗藥品性優(yōu)良的結(jié)構(gòu)。這種情況下，作為優(yōu)選，各個吸引部件還具有壓力調(diào)整部件，調(diào)整一次側(cè)壓縮空氣的壓力；以及控制部件，控制壓力調(diào)整部件。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可以根據(jù)功能液的粘性或吸引處理的形態(tài)而簡單地調(diào)整對各個廢液箱導(dǎo)入的用于吸引的負(fù)壓(吸引壓力)。當(dāng)然，在新導(dǎo)入不同種類的功能液的情況或變更吸引形態(tài)的情況等中，可以簡單地應(yīng)對。再有，作為壓力調(diào)整部件，優(yōu)選使用調(diào)節(jié)器(電動氣動調(diào)節(jié)器)。這種情況下，作為優(yōu)選，在連接了各個吸引部件的單獨流路中，分別夾設(shè)將單獨流路開閉的流路開閉部件，各個控制部件根據(jù)多個流路幵閉部件中開放的流路開閉部件的開放數(shù)目，控制壓力調(diào)整部件，以使各個帽單元中的吸引壓力恒定。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過利用流路開閉部件開閉單獨流路，可以開閉各個帽單元和各個吸引部件之間的流路連接。由此，在多個功能液滴噴出頭中，在進行吸引處理和不進行吸引處理的情況下，可以通過各個流路開閉部件的開閉來執(zhí)行吸引處理，同時根據(jù)處于開放的流路開閉部件的開放數(shù)目，通過控制壓力調(diào)整部件，可以使各個帽單元(噴頭帽)中的吸引壓力恒定。由此，可以與進行吸引處理的功能液滴噴出頭的數(shù)目無關(guān)，使各個帽單元(噴頭帽)的吸引流量為恒定量。這種情況下，作為優(yōu)選，還包括壓力檢測部件，檢測吸引時的各個廢液箱的壓力，各個控制部件控制壓力控制部件，以使廢液箱內(nèi)的壓力成為與開放數(shù)目相對應(yīng)的規(guī)定的壓力。同樣地，作為優(yōu)選，還包括流量檢測部件，檢測通過吸引而流入到各個廢液箱中的功能液流量，控制部件控制壓力控制部件，以使流入到廢液箱中功能液流量成為與開放數(shù)目相對應(yīng)的規(guī)定的流量。根據(jù)這些結(jié)構(gòu)，可以進行控制，以在任何一個帽單元(噴頭帽)中，吸引壓力都始終一定，可以一邊考慮功能液的類別，同時適當(dāng)?shù)剡M行對功能液滴噴出頭的吸引處理。這些情況下，作為優(yōu)選，多個吸引部件由兩個吸引部件構(gòu)成，一個吸引部件是用于在使各個噴頭帽緊貼各個功能液滴噴出頭的狀態(tài)下吸引的部件，另一個吸引部件是用于在使各個噴頭帽與各個功能液滴噴出頭分離的狀態(tài)下吸引的部件。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，例如可以將一個吸引部件用于從功能液滴噴出頭吸引功能液的功能恢復(fù)，將另一個吸引部件用于從噴頭帽吸引從功能液滴噴出頭廢棄噴出的功能液的功能維持。由此，可以根據(jù)各個功能液滴噴出頭的堵孔等狀態(tài)，分開使用吸引部件。這些情況下，作為優(yōu)選，多個單獨流路通過集流管進行合流，并通過合流流路連接到各個吸引部件，集流管由圓板狀的蓋體閉蓋上端而形成為套管狀(口一卜狀)，多個單獨流路的下游端在周方向上均等配置而連接到蓋體。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，多個單獨流路連接到形成為套管狀的集流管的蓋體，以使其周向上均等配置，所以在從多個單獨流路至合流流路的流路中，可以使多個單獨流路的壓力損失均勻。即，如果使多個單獨流路的流路長度和流路直徑相同，則對每個吸引部件，可以使通過它吸引的多個帽單元中的吸引壓力相同。本發(fā)明的吸引系統(tǒng)的特征在于，按功能液的不同顏色設(shè)置多組多個功能液滴噴出頭，按功能液的不同顏色具有多組上述吸引裝置。這種情況下，作為優(yōu)選，多組吸引裝置對應(yīng)于6色的功能液，由六組吸引裝置構(gòu)成。這種情況下，最好是帽單元按不同顏色搭載多組一個以上的噴頭帽。根據(jù)這些結(jié)構(gòu)，可以對于按不同顏色的多個功能液滴噴出頭，通過多個帽單元，同時并行地進行利用不同的吸引壓力的吸引處理，可以適當(dāng)?shù)剡M行各個顏色的功能液滴噴出頭的功能維持和功能恢復(fù)。本發(fā)明的液滴噴出裝置的特征在于，包括描繪部件，一邊使噴墨方式的多個功能液滴噴出頭相對工件移動，一邊從各個功能液滴噴出頭噴出功能液滴并進行描繪；以及上述吸引裝置。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可以適當(dāng)?shù)剡M行功能液滴噴出頭的功能維持和功能恢復(fù)，可以提高工件處理的生產(chǎn)率。本發(fā)明的其它液滴噴出裝置的特征在于，包括描繪部件，一邊使噴墨方式的多個功能液滴噴出頭相對工件移動，一邊從各個功能液滴噴出頭噴出功能液滴并進行描繪；以及上述吸引系統(tǒng)。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可以使用多色的功能液，在工件上進行描繪，同時可以適當(dāng)?shù)剡M行不同顏色的功能液滴噴出頭的功能維持和功能恢復(fù)，可以提高工件處理的生產(chǎn)率。本發(fā)明的電光學(xué)裝置的制造方法的特征在于，使用上述液滴噴出裝置，在工件上形成功能液滴的成膜部分。同樣地，本發(fā)明的電光學(xué)裝置的特征在于，使用上述液滴噴出裝置，在工件上形成功能液滴的成膜部分。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，可以高效率地制造高質(zhì)量的電光學(xué)裝置。再有，作為功能材料，有機EL裝置的發(fā)光材料(Electro-Luminescence發(fā)光層、空穴注入層)就不用說了，還有用于液晶顯示裝置的濾色器的濾色器材料(濾色器元件)、電子發(fā)射裝置(FieldEmissionDisplay;場發(fā)射顯示器，F(xiàn)ED)的熒光材料(熒光體)、PDP(plasmaDisplayPanel;等離子體顯示板)裝置的熒光材料(熒光體)、電泳顯示裝置的泳動體材料(泳動體)等，指從功能液滴噴出頭(噴頭)可噴出的液體材料。此外，作為電光學(xué)裝置(FlatPanelDisplay,FPD;平板顯示器)，具有有機EL裝置、液晶顯示裝置、電子發(fā)射裝置、PDP裝置、電泳顯示裝置等。圖1是實施方式的液滴噴出裝置的立體圖。圖2是液滴噴出裝置的平面圖。圖3是液滴噴出裝置的側(cè)面圖。圖4是構(gòu)成噴頭群的功能液滴噴出頭的圖。圖5是功能液滴噴出頭的外觀立體圖。圖6是帽單元周圍的剖面圖。圖7是帽單元的平面圖。圖8是吸引單元的配管系統(tǒng)圖。圖9是說明液滴噴出裝置的主控制系統(tǒng)的方框圖。圖IO是說明濾色器制造工序的流程圖。圖11A圖IIE是以制造工序順序表示的濾色器的示意剖面圖。圖12是表示使用了采用本發(fā)明的濾色器的液晶裝置的概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖面圖。圖13是表示使用了采用本發(fā)明的濾色器的第2例子的液晶裝置的概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖面圖。圖14是表示使用了采用本發(fā)明的濾色器的第3例子的液晶裝置的概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖面圖。圖15是有機EL裝置即顯示裝置的主要部分剖面圖。圖16是說明有機EL裝置即顯示裝置的制造工序的流程圖。圖17是說明無機物圍堰(bank)層的形成的工序圖。圖18是說明有機物圍堰層的形成的工序圖。圖19是說明形成空穴注入/輸送層的過程的工序圖。圖20是說明形成了空穴注入/輸送層的狀態(tài)的工序圖。圖21是說明形成藍(lán)色的發(fā)光層的過程的工序圖。圖22是說明形成了藍(lán)色的發(fā)光層的狀態(tài)的工序圖。圖23是說明形成了各個顏色的發(fā)光層的狀態(tài)的工序圖。圖24是說明陰極的形成的工序圖。圖25是等離子體型顯示裝置(PDP裝置)即顯示裝置的主要部分分解立體圖。圖26是電子發(fā)射裝置(FED裝置)即顯示裝置的主要部分剖面圖。圖27A是顯示裝置的電子發(fā)射部分周圍的平面圖，圖27B是表示其形成方法的平面圖。具體實施方式以下，參照附圖，說明采用了本發(fā)明的功能液供給裝置的液滴噴出裝置。該液滴噴出裝置是，被安裝在平板顯示器的制造生產(chǎn)線上，例如，使用導(dǎo)入了特殊的墨水或發(fā)光性的樹脂液即功能液的功能液滴噴出頭，形成液晶顯示裝置的濾色器和有機EL裝置的作為各個像素的發(fā)光元件等的裝如圖l、圖2和圖3所示，液滴噴出裝置l包括配置在支承在石平臺上的X軸支承基座(base)2，在作為主掃描方向的X軸方向上延長，使工件W在X軸方向(主掃描方向)上移動的X軸工作臺(table)11;配置在通過多個支柱4跨過X軸工作臺11的一對(兩個)Y軸支承基座3上，在作為副掃描方向的Y軸方向上延長的Y軸工作臺(移動工作臺)12;以及搭載了多個功能液滴噴出頭17的10個滑架單元51，10個滑架單元51移動自由地吊設(shè)在Y軸工作臺12。而且，液滴噴出裝置l包括將這些裝置容納在溫度和濕度受到管理的氣氛內(nèi)的小室(chamber)6;以及貫通小室6，從小室6的外部對內(nèi)部的功能液滴噴出頭17供給功能液的功能液供給單元7。通過與X軸工作臺11和Y軸工作臺12的驅(qū)動同步而使功能液滴噴出頭17被噴出驅(qū)動，從而使從功能液供給單元7供給的6色的功能液滴被噴出，規(guī)定的描繪圖案被描繪在工件W上。再有，技術(shù)方案所述的描繪部件由X軸工作臺11、Y軸工作臺12和10個滑架單元51構(gòu)成。此外，液滴噴出裝置1包括由沖洗單元14、吸引單元(吸引系統(tǒng))15、擦凈單元16、噴出性能檢査單元18構(gòu)成的維護裝置5，在功能液滴噴出頭17的保養(yǎng)中提供這些單元，從而實現(xiàn)功能液滴噴出頭17的功能維持和功能恢復(fù)。再有，在構(gòu)成維護裝置5的各個單元中，沖洗單元14和噴出性能檢査單元18被搭載在X軸工作臺11上，吸引單元15和擦凈單元16被設(shè)置在從X軸工作臺11直角地延長，并且通過Y軸工作臺12設(shè)置在滑架單元51可移動的位置的臺架上(嚴(yán)格地說，噴出性能檢査單元18的后述的載物臺單元77被搭載在X軸工作臺11上，照相機單元78被支承在Y軸支承基座3上)。沖洗單元14具有一對描繪前沖洗單元71、71;以及定期沖洗單元72，接受在功能液滴噴出頭17的噴出之前或工件W的重新設(shè)置時等的描繪處理停止時進行的功能液滴噴出頭17的廢棄噴出(沖洗)。吸引單元15具有10臺帽單元303，從各個功能液滴噴出頭17的噴嘴98強制地吸引功能液，同時進行壓蓋(capping)。擦凈單元16具有擦凈片75，擦干吸引后的功能液滴噴出頭17的噴嘴面97。噴出性能檢査單元18具有搭載了接受從功能液滴噴出頭17噴出的功能液滴的檢查片83的載物臺單元77;以及通過圖像識別來檢查載物臺單元77上的功能液滴的照相機單元78，噴出性能檢查單元18檢査功能液滴噴出頭17的噴出性能(有無噴出和彎曲飛行)。下面，簡單地說明液滴噴出裝置1的構(gòu)成要素。如圖2或圖3所示，X軸工作臺ll包括設(shè)置工件W的設(shè)置臺21;將設(shè)置臺21在X軸方向上自由滑動地支承的X軸第1滑塊22;將上述沖洗單元14和載物臺單元77在X軸方向上自由滑動地支承的X軸第2滑塊23;在X軸方向上延長，通過X軸第1滑塊22使設(shè)置臺21(工件W)在X軸方向上移動，同時通過X軸第2滑塊23使沖洗單元14和載物臺單元77在X軸方向上移動的左右一對的X軸線性電機(省略圖示)；以及并排設(shè)置在X軸線性電機上，引導(dǎo)X軸第1滑塊22和X軸第2滑塊23的移動的一對(兩個)X軸公用支承基座24。設(shè)置臺21具有吸附設(shè)置工件W的吸附臺31;以及支承吸附臺31，用于對吸附臺31上設(shè)置的工件W的位置在e軸方向上進行校正的e臺32等。此外，在與設(shè)置臺21的Y軸方向平行的一對邊上，分別添設(shè)了上述描繪前沖洗單元71。Y軸工作臺12包括分別吊設(shè)了10個各滑架單元51的IO個橋接板52;以雙支承方式支承10個橋接板52的10組Y軸滑塊(省略圖示)；以及設(shè)置在上述一對Y軸支承基座3上，通過10組Y軸滑塊使橋接板52在Y軸方向移動的一對Y軸線性電機(省略圖示)。此外，Y軸工作臺12除了通過各個滑架單元51在描繪時對功能液滴噴出頭17進行副掃描以外，還使功能液滴噴出頭17面向維護裝置5(吸引單元15和擦凈單元16)。(同步)驅(qū)動一對Y軸線性電機時，各個Y軸滑塊將一對Y軸支承基座3作為導(dǎo)向，同時在Y軸方向平行移動。由此，橋接板52在Y軸方向移動，與此同時滑架單元51在Y軸方向上移動。再有，這種情況下，通過控制Y軸線性電機的驅(qū)動，可以使各個滑架單元51獨立而單獨地移動，還可以使10個滑架單元51作為一體來移動。此外，在Y軸工作臺12的兩肋，與其平行地設(shè)置纜線保持體81。兩個纜線保持體81的一端被固定在Y軸支承基座3，同時另一端被固定在各個橋接板52的一個上。該纜線保持體81中，收容各個滑架單元51用的纜線類、氣管類和功能液流路等。各個滑架單元51包括噴頭單元13，該噴頭單元13由R、G、B、C、M、Y的6色的各兩個(計12個)的功能液滴噴出頭17和將12個功能液滴噴出頭17分為每組6個的兩組來支承的噴頭板53構(gòu)成(參照圖4)。此外，各個滑架單元51包括將噴頭單元13可e校正。旋轉(zhuǎn))地支承的的定轉(zhuǎn)機構(gòu)61;以及通過的龍轉(zhuǎn)機構(gòu)61，使噴頭單元13被支承在Y軸工作臺12(各個橋接板52)上的吊設(shè)構(gòu)件62。另外，各個滑架單元51在其上部設(shè)置副箱121(實際上，設(shè)置在橋接板52上)，從該副箱121利用自然水壓差，并且通過減壓閥(省略圖示)對各個功能液滴噴出頭17供給功能液。如圖5所示，功能液滴噴出頭17是所謂的雙聯(lián)噴頭，包括具有雙聯(lián)的連接針92的功能液導(dǎo)入部分91;與功能液導(dǎo)入部分91連接的雙聯(lián)的噴頭基板93;以及與功能液導(dǎo)入部分91的下方連接，在內(nèi)部形成了被功能液填滿的噴頭內(nèi)流路的噴頭本體94。連接針92被連接到功能液供給單元7，向功能液導(dǎo)入部分91供給功能液。噴頭本體94由模腔(cavity)95(壓電元件)和具有開口了多個噴嘴98的噴嘴面97的噴嘴板96構(gòu)成。噴出驅(qū)動功能液滴噴出頭17時(壓電元件上被施加電壓)，通過模腔95的泵作用，功能液滴從噴嘴98被噴出。再有，在噴嘴面97中，相互平行地形成多個噴嘴98組成的兩個噴嘴排98b。而且，兩個噴嘴排98b之間，相互錯開半個噴嘴節(jié)距位置。構(gòu)成小室6，以使內(nèi)部溫度和濕度保持一定。即，液滴噴出裝置l的對工件W的描繪在溫度和濕度被管理為恒定值的氣氛中進行。并且，在小室6的側(cè)壁的一部分上，設(shè)置用于容納主箱181等的箱柜(tankcabinet)84。再有，在制造有機EL裝置等時，優(yōu)選將小室6內(nèi)部用惰性氣體(氮氣)的氣氛構(gòu)成。如圖1和圖2所示，搭載了擦凈單元16和10臺(多個)的帽單元303的吸引單元15所設(shè)置的區(qū)域成為維護區(qū)域213，在液滴噴出裝置1的運行停止時，10個滑架單元51通過Y軸工作臺12移動到吸引單元15(10臺的帽單元303)的位置，對所有功能液滴噴出頭17，進行所謂的壓蓋。另一方面，在運行開始時，對于所有功能液滴噴出頭17，進行吸引處理，接著以滑架單元51為單位進行擦凈處理，10臺滑架單元51依次移動到X軸工作臺11上的描繪區(qū)域214。此外，在運行中，例如從維護區(qū)域213側(cè)起第3滑架單元51中被檢測出噴出不良時，從第1至第3的三個滑架單元51移動到描繪區(qū)域214側(cè)的3臺帽單元303上，在對應(yīng)的一個滑架單元51中，通過帽單元303進行吸引處理，在該期間其他兩個滑架單元51中，從各個功能液滴噴出頭17對帽單元303進行廢棄噴出(沖洗)。于是，10個滑架單元51被單獨地控制，與此同時，在10個帽單元303的各個中，可以進行合適的處理。下面，參照圖6和圖7，說明吸引單元15。吸引單元15包括將與各12個功能液滴噴出頭17對應(yīng)的12個噴頭帽301配置在帽板302上的10臺帽單元303;分別支承各個帽單元303的10臺支承構(gòu)件305;通過支承構(gòu)件305使各個帽單元303升降的10臺升降機構(gòu)(分離接觸機構(gòu))306;以及在各個噴頭帽301中成行排列，同時與6色的功能液滴噴出頭17對應(yīng)的6組吸引機構(gòu)100(參照圖8)。此外，吸引單元15包括對后述的壓力控制機構(gòu)103等供給控制用壓縮空氣的壓縮空氣供給設(shè)備85;從各個部分進行排氣的排氣設(shè)備87;以及連接到后述的廢液箱101，使存留的功能液成為廢液的功能液廢液設(shè)備89。再有，技術(shù)方案所述的吸引裝置由帽單元303(與l色的功能液滴噴出頭17對應(yīng)的噴頭帽301)、支承構(gòu)件305、升降機構(gòu)306和與該1色對應(yīng)的吸引機構(gòu)100構(gòu)成。即，在本實施方式中，各個吸引裝置具有公用的支承構(gòu)件305和升降機構(gòu)306，以帽單元303為單位進行分離接觸動作。如圖6所示，升降機構(gòu)306具有通過支承構(gòu)件305使噴頭帽301直接升降的升降汽缸311;對升降汽缸311的升降進行導(dǎo)向的一對線性導(dǎo)軌314;以及支承它們的基座部分341。升降汽缸311在交換噴頭單元13時使噴頭帽301較大地下降，同時使噴頭帽301從功能液滴噴出頭17的噴嘴面97分離接觸。即，升降汽缸311使帽單元303在吸引用的緊貼位置、沖洗用的分離位置、噴頭單元13的更換或帽單元303的消耗品更換(維護)用的更換位置之間三級升降。支承構(gòu)件305具有在上端具有支承帽單元303的支承臂342的支承構(gòu)件本體343;用于將12個噴頭帽301的大氣開放閥(省略圖示)一起開放的大氣開放框架312;以及使大氣開放框架312下降的一對汽缸313、313。如圖7所示，帽單元303由12個噴頭帽301和搭載它們的帽板302構(gòu)成，12個噴頭帽301以與12個功能液滴噴出頭17相同的排列且相同傾斜姿態(tài)，被搭載在帽板302。如上所述，各個帽單元303對應(yīng)于噴頭單元13的各顏色兩個、共計12個的功能液滴噴出頭17，具有各顏色兩個、共計12個噴頭帽301。本實施方式的吸引機構(gòu)IOO對該不同顏色進行吸引處理。即，如圖8所示，在各個噴頭帽301中，對應(yīng)于6顏色的功能液滴噴出頭17，連接各自獨立的6組吸引機構(gòu)100。這里，各個吸引機構(gòu)100的結(jié)構(gòu)和功能相同，所以對于吸引機構(gòu)100，舉例說明R色的吸引機構(gòu)100。如圖8所示，R色的吸引機構(gòu)IOO包括使R色的功能液為廢液的一對廢液箱101;連接各個噴頭帽301(R色)和一對廢液箱101的功能液吸引流路102;以及連接到一對廢液箱101，并且控制各個廢液箱101的內(nèi)部壓力的一對壓力控制機構(gòu)103。通過壓力控制機構(gòu)103，廢液箱101的內(nèi)部壓力被單獨地調(diào)整，由此，通過功能液吸引流路102，各個噴頭帽301被控制為負(fù)壓(吸引)。功能液吸引流路102包括連接到10個帽單元303中的R色的各兩個噴頭帽301(共計20個)的20個帽側(cè)流路(主流路)111;將與公用的帽單元303對應(yīng)的兩個帽側(cè)流路111進行合流的10個帽側(cè)合流部分112;以及將上游側(cè)分別連接到10個帽側(cè)合流部分112，將下游側(cè)連接到一對廢液箱101、101的2組箱側(cè)流路113。此外，在各個帽側(cè)流路111中，插入夾設(shè)用于單獨地開閉對噴頭帽301的連接的單獨閥114。再有，技術(shù)方案的吸引流路由連接到一個帽單元的兩個帽側(cè)流路111、位于該流路下游側(cè)的一個帽側(cè)合流部分112、以及位于該流路的更下游側(cè)的2組箱側(cè)流路113的后述兩個單獨流路131構(gòu)成。各個箱側(cè)流路113包括將上游側(cè)連接到10個帽側(cè)合流部分112的10個單獨流路131;將10個單獨流路131進行合流的箱側(cè)合流部分(集流管)132;以及將上游側(cè)連接到箱側(cè)合流部分132，將下游側(cè)連接到廢液箱101的合流流路133。即，在各個帽側(cè)合流部分112上，連接了2組箱側(cè)流路113的兩個單獨流路131。在該兩個單獨流路131的帽側(cè)合流部分112附近(分路部分)，分別夾設(shè)切換閥134，可以將對位于它上游側(cè)的噴頭帽301的流路連接在位于各個單獨流路131的下游側(cè)的一對廢液箱101間切換。此外，在各個合流流路133中，夾設(shè)用于檢測流入到各個廢液箱101中的功能液的流量的流量計(流量檢測部件)135。再有，各個切換閥134是簡單的開閉閥，通過使一方為'開'，另一方為'閉'，構(gòu)成流路切換部件。此外，通過使兩方為'閉'，可以阻塞對噴頭帽301的流路連接。而且，合流流路133的前端被深深插入至廢液箱101的底面附近。而且，技術(shù)方案的流路開閉部件由切換閥134構(gòu)成。再有，在本實施方式中，由切換閥134構(gòu)成流路切換部件和流路開閉部件，但也可以將流路切換部件和流路開閉部件通過各自的開閉閥構(gòu)成。箱側(cè)合流部分132由通過圓板狀的蓋體阻塞上端的套管狀地形成的圓盤狀集流管構(gòu)成。10個單獨流路131的下游端連接到蓋體，以使其在圓盤狀集流管的周向上均等配置。通過這樣的結(jié)構(gòu)，多個單獨流路131連接到套管狀形成的集流管的蓋體，以使其周向均等配置，所以在從多個單獨流路131至合流流路133的流路中，可以使多個單獨流路131的壓力損失均勻。g卩，如果多個單獨流路131的流路長度和流路直徑相同地構(gòu)成，則對每個廢液箱IOI，可以使由它所吸引的iO臺帽單元303中的負(fù)壓(吸引力)相同。廢液箱101包括由所謂的密閉箱構(gòu)成的箱本體141;連接到箱本體141的上部空間，檢測內(nèi)部壓力的壓力計(壓力檢測部件)142;以及檢測對設(shè)置在箱本體141側(cè)面的貯存的功能液的液位的液位檢測部件143。此外，在廢液箱101中，連接了使貯存的功能液為廢液的功能液廢液設(shè)備89。其細(xì)節(jié)后面論述，但它基于由壓力計142檢測出的內(nèi)部壓力進行廢液箱101內(nèi)部的壓力控制。液位檢測部件143檢測所貯存的功能液的液位，從而檢測箱本體141的滿液狀態(tài)和缺液狀態(tài)。在功能液的液位通過吸引處理而上升至上限液位時(滿液狀態(tài))，將夾設(shè)在功能液廢液設(shè)備89側(cè)的流路中的廢液開閉閥151開放，在功能液廢液設(shè)備89中使功能液成為廢液。再有，在本實施方式中，在檢測出滿液狀態(tài)后，在吸引單元15的非驅(qū)動時打開廢液開閉閥151。此外，在檢測下限液位時，關(guān)閉廢液開閉閥151。由此，合流流路133的前端始終維持被插入功能液的狀態(tài)。壓力控制機構(gòu)103包括將上游側(cè)連接到箱本體141的上部空間的連通流路161;連接到連通流路161、壓縮空氣供給設(shè)備85和排氣設(shè)備87的噴射器162;夾設(shè)在噴射器162和壓縮空氣供給設(shè)備85之間的流路中，調(diào)整對噴射器162供給的壓縮空氣的壓力的電動氣動調(diào)節(jié)器(壓力調(diào)整部件)163;以及與電動氣動調(diào)節(jié)器163相鄰而夾設(shè)的流量傳感器164。艮口，噴射器162從壓縮空氣供給設(shè)備85向一次側(cè)導(dǎo)入壓縮空氣，同時將二次側(cè)連接到廢液箱101的上部空間。壓力通過電動氣動調(diào)節(jié)器163被調(diào)整，通過噴射器162所供給的壓縮空氣的伴隨流，以連通流路161中的空氣被拉到排氣設(shè)備87側(cè)的方式，箱本體141的內(nèi)部被減壓。S卩，各廢液箱101通過壓力控制機構(gòu)103被分別調(diào)整壓力。再有，一對廢液箱101通過噴射器162(電動氣動調(diào)節(jié)器163)的壓力控制，構(gòu)成吸引用的第1廢液箱101a和沖洗用的第2廢液箱101b。下面，參照圖9，說明液滴噴出裝置1的主控制系統(tǒng)。如圖9所示，液滴噴出裝置1包括具有噴頭單元13(功能液滴噴出頭17)的液滴噴出部分191;具有X軸工作臺ll，使工件W向X軸方向移動的工件移動部分192;具有Y軸工作臺12，使噴頭單元13向Y軸方向移動的噴頭移動部分193;具有維護部件的各個單元的維護部分194;具有功能液供給單元7，對功能液滴噴出頭17供給功能液的功能液供給部分198;具有各種傳感器，進行各種檢測的檢測部分195;具有驅(qū)動控制各個部分的各種驅(qū)動器的驅(qū)動部分1%;以及連接到各個部分，進行液滴噴出裝置1整體的控制的控制部分(控制部件)197?？刂撇糠?97包括用于連接各個部件的接口201;具有可臨時存儲的存儲區(qū)域，作為用于控制處理的作業(yè)區(qū)域而被使用的RAM202;具有各種存儲區(qū)域，存儲控制程序或控制數(shù)據(jù)的ROM203;存儲用于在工件W上描繪規(guī)定的描繪圖案的描繪數(shù)據(jù)、來自各個部件的各種數(shù)據(jù)等，同時存儲用于處理各種數(shù)據(jù)的程序等的硬盤204;根據(jù)ROM203或硬盤204所存儲的程序等，對各種數(shù)據(jù)進行運算處理的CPU205;以及將它們相互連接的總線206。而且，控制部分197通過接口201輸入來自各個部件的各種數(shù)據(jù)，根據(jù)硬盤204所存儲的(或通過CD-ROM驅(qū)動器等依次讀出的)程序使CPU205進行運算處理，將其處理結(jié)果通過驅(qū)動部分196(各種驅(qū)動器)輸出到各個部件。由此，整個裝置受到控制，進行液滴噴出裝置l的各種處理。這里，說明由吸引單元15進行的吸引用的吸引處理和沖洗用的吸引處理的同時并行處理。在該同時并行處理中，對于各個滑架單元51(功能液滴噴出頭17)，在吸引用的吸引處理和沖洗用的吸引處理中同時進行期望的處理?；旧?，吸引用的吸引為高壓吸引(負(fù)壓大)，沖洗用的吸引為低壓吸引(負(fù)壓小)。這里，作為一個例子，在10個滑架單元51中，假設(shè)對5個滑架單元51進行沖洗，對其他5個滑架單元51進行吸引。在進行吸引用的吸引處理的滑架單元51中，通過對應(yīng)的升降機構(gòu)306將帽單元303移動到緊貼位置，同時控制切換閥134，將對該帽單元303的流路連接切換到吸引用的第1廢液箱101a(第1廢液箱101a側(cè)的箱側(cè)流路113)。在進行沖洗用的吸引處理的5個滑架單元51中，通過對應(yīng)的升降機構(gòu)306將5個帽單元303移動到分離位置，同時控制切換閥134，將對該帽單元303的流路連接切換到?jīng)_洗用的第2廢液箱101b(第2廢液箱101b側(cè)的箱側(cè)流路113)。在它們的狀態(tài)下，進行同時并行處理。在進行吸引的5個滑架單元51中，通過壓力控制機構(gòu)103，第1廢液箱101a被調(diào)整到適合吸引處理的壓力，在緊貼滑架單元51的狀態(tài)下多個(5個)帽單元303被成為負(fù)壓(吸引)。在該吸引動作中，有將功能液初始填充到功能液滴噴出頭17的情況的吸引、或用于通常的功能恢復(fù)的吸引，這些吸引動作通過由實驗求得的最佳吸引壓力來進行。特別地，還進行在上述初始填充中，為了排除流路內(nèi)的氣泡，吸引初期以較強的吸引力進行吸引，吸引終期以較弱的吸引力進行吸引等的控制(工藝控制)。另一方面，在進行沖洗的5個滑架單元51中，通過功能液滴噴出頭17進行廢棄噴出，同時通過壓力控制機構(gòu)103將第2廢液箱101b調(diào)整到適合沖洗的壓力，在對滑架單元51分離的狀態(tài)下進行多個(5個)帽單元303的吸引。這種情況下的吸引，除了通過沖洗吸引噴頭帽301中留存的功能液以外，沖洗產(chǎn)生的功能液滴的霧(mist)也與周圍空氣一起吸引到噴頭帽301中。因此，在開始吸引機構(gòu)100的吸引動作后(數(shù)秒后)，開始沖洗，在結(jié)束沖洗后(數(shù)秒后)，結(jié)束吸引動作。此外，吸引壓(負(fù)壓)設(shè)為，從噴頭帽301的功能液吸收材料可吸引功能液，并且構(gòu)成噴嘴98的彎月形(meniscus)的功能液不因周圍空氣的流動而干燥的程度。于是，通過一對切換閥134、134，將功能液吸引流路102選擇性流路切換到任意一個廢液箱101，從而可以使多個帽單元303以帽單元303為單位與吸引壓力相互不同的多個廢液箱101連通。g口，在吸引處理中，可以通過噴頭帽301對功能液滴噴出頭17以帽單元303為單位，使高低的吸引壓力選擇性地作用。由此，可以對于多個帽單元303，同時并行地進行不同吸引壓力的吸引處理。此外，各個吸引部件(廢液箱101和壓力控制機構(gòu)103)為進行多個帽單元303的吸引處理的機構(gòu)，所以與以帽單元303為單位來設(shè)置吸引部件的情況相比，可以減少該部件的數(shù)目，可以提高空間效率和簡化結(jié)構(gòu)。此外，通過將各個吸引部件由廢液箱101和噴射器162構(gòu)成，可以簡化吸引部件的結(jié)構(gòu)，同時可以成為在對于功能液的抗藥品性上良好的結(jié)構(gòu)。而且，各個吸引部件具有用于調(diào)整對噴射器162供給壓縮空氣的壓力的電動氣動調(diào)節(jié)器163，通過控制部分197控制電動氣動調(diào)節(jié)器163，可以配合功能液的粘性或吸引處理的形態(tài)而簡單地調(diào)整用于導(dǎo)入到各個廢液箱101的吸引的負(fù)壓(吸引壓力)。當(dāng)然，在重新導(dǎo)入不同種類的功能液的情況或變更吸引形態(tài)的情況等中，也可以簡單地應(yīng)對。而且，通過一個吸引部件(第l廢液箱101a和其壓力控制機構(gòu)103)在將各個噴頭帽301緊密連接到各個功能液滴噴出頭17的狀態(tài)下進行吸引，另一個吸引部件(第2廢液箱101b和其壓力控制機構(gòu)103)在將各個噴頭帽301從各個功能液滴噴出頭17分離的狀態(tài)下進行吸引，可以將一個吸引部件用于從功能液滴噴出頭17吸引功能液的功能恢復(fù)，將另一個吸引部件用于從噴頭帽301吸引由功能液滴噴出頭17廢棄噴出的功能液的功能維持。由此，可以根據(jù)各個功能液滴噴出頭17的堵孔等狀態(tài)，分開使用吸引部件。再有，作為一例，表記了對5個滑架單元51進行吸引用的吸引處理，在其他5個滑架單元51上進行沖洗用的吸引處理，但如上所述，對于各個滑架單元51的吸引處理的選擇，可以由一對切換閥134進行。各個廢液箱101的適合壓力(沖洗用的適合壓力或吸引用的適合壓力)根據(jù)流路連接的噴頭帽301的數(shù)目而不同，所以電動氣動調(diào)節(jié)器163的各個廢液箱101的壓力控制基于切換閥134的開閉(開放數(shù))和壓力計142的檢測值進行。再有，進行吸引還是進行沖洗，基于上述噴出性能檢查單元18的檢査結(jié)果來決定。首先，根據(jù)通過切換閥134流路連接到該廢液箱101的帽單元303的數(shù)目計算所流路連接的噴頭帽301的數(shù)目(進行壓力控制的廢液箱101的箱側(cè)流路113所連接的切換閥134的開放數(shù)x2)。從算出的噴頭帽301中，根據(jù)預(yù)先由實驗獲得的系數(shù)表而求適合壓力。然后，控制(反饋控制)電動氣動調(diào)節(jié)器163，以使壓力計142檢測出的廢液箱101的壓力成為適合壓力。于是，根據(jù)切換閥134的開放數(shù)，通過控制電動氣動調(diào)節(jié)器163，可以使各個帽單元303(噴頭帽301)中的吸引壓力恒定。由此，可以使各個帽單元303(噴頭帽301)的吸引流量為一定量，而與進行吸引處理的功能液滴噴出頭17的數(shù)目沒有關(guān)系。此外，通過基于壓力計142的檢測值控制電動氣動調(diào)節(jié)器163，在任何一個帽單元303(噴頭帽301)中，都可以進行控制，以使吸引壓力始終一定，可以一邊考慮功能液的類別一邊適當(dāng)?shù)剡M行對功能液滴噴出頭17的吸引處理。再有，系數(shù)表除了噴頭帽301的數(shù)目以外，優(yōu)選是基于功能液的粘性而被設(shè)定適合壓力。再有，在上述吸引動作例子中，作為控制方法，使用了基于壓力計142的檢測值，控制電動氣動調(diào)節(jié)器163的方法，但也可以使用以下的控制方法。在該其他控制方法中，使用流量計135進行電動氣動調(diào)節(jié)器163的控制。求適合流量，調(diào)整(反饋控制)電動氣動調(diào)節(jié)器163的壓力控制，以使流入到廢液箱101的功能液流量為適合流量。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過基于流量計135進行電動氣動調(diào)節(jié)器163的控制，與使用壓力計142的情況同樣，可以進行控制，以在任何一個帽單元303(噴頭帽301)中，吸引壓力始終恒定，可以一邊考慮功能液的類別一邊適當(dāng)?shù)剡M行對功能液滴噴出頭17的吸引處理。再有，在本實施方式中，使用包括了10個滑架單元51的液滴噴出裝置1，但滑架單元51的個數(shù)和各個滑架單元51所搭載的功能液滴噴出頭17的個數(shù)是任意的。此外，在本實施方式中，使用了被供給R(紅色)、G(綠色)、B(藍(lán)色)、C(青色)、M(品紅色)、Y(黃色)的6顏色的功能液的功能液滴噴出頭17，但所供給的功能液的顏色數(shù)、顏色種類是任意的，例如，在供給RGB三色或單色、供給R、G、B、LR(淺紅色)、LG(淺綠色)、LB(淺藍(lán)色)6色的功能液的液滴噴出裝置1中也可以使用本發(fā)明。而且，在本實施方式中，使用IO組吸引裝置，但其數(shù)目是任意的，也可以使用僅包括單一的吸引裝置的吸引裝置。而且，在本實施方式中，對應(yīng)于10個滑架單元51，包括10臺帽單元303，但是也可以例如在各個帽單元303上搭載單一的噴頭帽301，對應(yīng)于10x12個功能液滴噴出頭17，使用10x12臺帽單元303。在這樣的情況下，需要有支承各個帽單元303的10x12臺支承構(gòu)件305、以及通過支承機構(gòu)305升降各個帽單元303的10x12臺升降機構(gòu)306。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在同時并行處理中，在各個功能液滴噴出頭17(各個噴頭帽301)中，可以選擇進行吸引還是進行沖洗。下面，作為使用本實施方式的液滴噴出裝置l制造的電光學(xué)裝置(平板顯示器)，以濾色器、液晶顯示裝置、有機EL裝置、等離子體顯示器(PDP裝置)、電子發(fā)射裝置(FED裝置、SED裝置)、而且在這些顯示裝置上形成的有源矩陣基板等為例，說明它們的結(jié)構(gòu)及其制造方法。再有，有源矩陣基板是指薄膜晶體管、形成了電連接到薄膜晶體管的電源線、數(shù)據(jù)線的基板。首先，說明液晶顯示裝置和有機EL裝置等中所裝入的濾色器的制造方法。圖IO是表示濾色器的制造工序的流程圖，圖11A圖IIE是以制造工序順序表示的本實施方式的濾色器500(濾色基板500A)的示意剖面圖。首先，如圖11A所示，在黑矩陣形成工序(S101)中，在基板(W)501上形成黑矩陣502。黑矩陣502通過金屬鉻、金屬鉻和氧化絡(luò)的層疊體、或樹脂黑矩陣等形成。在形成金屬薄膜組成的黑矩陣502中，可以使用濺射法或鍍敷法等。而在形成樹脂薄膜組成的黑矩陣502時，可以使用照相凹版印刷法、光刻法、熱轉(zhuǎn)印法等。接著，在圍堰形成工序(S102)中，在重疊在黑矩陣502上的狀態(tài)下形成圍堰503。g卩，如圖11B所示，形成負(fù)型的透明的感光性樹脂組成的抗蝕劑層504，以覆蓋基板501和黑矩陣502。然后，在將其上面用黑矩陣圖案形狀所形成的掩膜(maskfilm)505覆蓋的狀態(tài)下迸行曝光處理。進而，如圖11C所示，通過對抗蝕劑層504的未曝光部分進行蝕刻處理，從而對抗蝕劑層504進行構(gòu)圖，形成圍堰503。再有，在由樹脂黑矩陣形成黑矩陣時，可將黑矩陣和圍堰兼用。該圍堰503和其下面的黑矩陣502成為劃分各個像素區(qū)域507的隔壁部分507b，在后面的著色層形成工序中通過功能液滴噴出頭17在形成著色層(成膜部分)508R、508G、508B、508C、508M、508Y時規(guī)定功能液滴的射中區(qū)域。經(jīng)過以上的黑矩陣形成工序和圍堰形成工序，獲得上述濾色器基體500A。再有，在本實施方式中，作為圍堰503的材料，使用涂膜表面為疏液(疏水)性的樹脂材料。而且，由于基板(玻璃基板)501的表面有親液(親水)性，所以在后述的著色層形成工序中可以自動校正對圍堰503(隔壁部分507b)所包圍的各個像素區(qū)域507a內(nèi)部的液滴的射中位置的偏差。接著，在著色層形成工序(S103)中，如圖IID所示，通過功能液滴噴出頭17噴出功能液滴而使隔壁部分507b所包圍的各個像素區(qū)域507a內(nèi)被射中。這種情況下，使用功能液滴噴出頭17，導(dǎo)入R、G、B、C、M、Y的6色功能液(濾色材料)，進行功能液滴的噴出。再有，作為R、G、B、C、M、Y的6色排列模式(pattern),有直線排列、鑲嵌排列和三角形排列。然后，經(jīng)過干燥處理(加熱等處理)使功能液定影，形成6色的著色層508R、508G、508B、508C、508M、508Y。如果形成著色層508R、508G、508B、508C、508M、508Y，則轉(zhuǎn)移到保護膜形成工序(S104)，如圖11E所示，形成保護膜509，以覆蓋基板501、隔壁部分507b、以及著色層508R、508G、508B、508C、508M、508Y的上面。即，在形成了基板501的著色層508R、508G、508B、508C、508M、508Y的整個面上保護膜用涂敷液被噴出后，經(jīng)過干燥處理而形成保護膜509。然后，在形成了保護膜509后，濾色器500轉(zhuǎn)移到下個工序的作為透明電極的ITO(IndiumTinOxide)等的貼膜工序。圖12是表示作為使用了上述濾色器500的液晶顯示裝置一例的無源矩陣型液晶裝置(液晶裝置)的概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖面圖。在該液晶裝置520中，通過安裝液晶驅(qū)動用IC、背光、支承體等輔助元件，可獲得作為最終制品的透過型液晶顯示裝置。再有，濾色器500與圖11A圖11E所示的濾色器相同，所以在對應(yīng)的部位附加相同的標(biāo)號，并省略其說明。該液晶裝置520由濾色器500、玻璃基板等組成的對置基板521、以及被夾置在它們之間的STN(SuperTwistedNematic)液晶組成物構(gòu)成的液晶層522概略構(gòu)成，將濾色器500配置在圖12中上側(cè)(觀測者側(cè))。再有，雖然未圖示，但在對置基板521和濾色器500的外面(與液晶層522側(cè)相反側(cè)的面)上分別設(shè)置偏振板，而在位于對置基板521側(cè)的偏振板的外側(cè)，設(shè)置背光。濾色器500的保護膜509上(液晶層側(cè))，在圖12中左右方向上以規(guī)定的間隔形成多個長的狹條狀的第1電極523，并形成第1取向膜524，以覆蓋與該第1電極523的濾色器500側(cè)相反側(cè)的面。另一方面，在相對著對置基板521的濾色器500的面上，在與濾色器500的第1電極523正交的方向上以規(guī)定的間隔形成多個長的狹條狀的第2電極526，并形成第2取向膜527，以覆蓋該第2電極526的液晶層522側(cè)的面。這些第1電極523和第2電極526由ITO等透明導(dǎo)電材料形成。液晶層522內(nèi)部設(shè)置的隔板528是用于使液晶層522的厚度(單元間隙)保持一定的構(gòu)件。此外，密封材料529是用于防止液晶層522內(nèi)部的液晶組成物向外部漏出的構(gòu)件。再有，第1電極523的一端作為環(huán)繞布線523a延長至密封材料529的外側(cè)。而且，第1電極523和第2電極526交叉的部分為像素，構(gòu)成為使濾色器500的著色層508R、508G、508B、508C、508M、508Y位于作為該像素的部分。在通常的制造工序中，在濾色器500中，進行第1電極523的構(gòu)圖和第1取向膜524的涂敷而形成濾色器500側(cè)的部分，同時在與其不同的對置基板521上，進行第2電極526的構(gòu)圖和第2取向膜527的涂敷而形成對置基板521側(cè)的部分。然后，在對置基板521側(cè)的部分中裝入隔板528和密封材料529，在該狀態(tài)下粘貼濾色器500側(cè)的部分。接著，從密封材料529的灌入口將構(gòu)成液晶層522的液晶灌入，并將灌入口封閉。然后，將兩個偏振板和背光進行層疊。實施方式的液滴噴出裝置1，例如在涂敷用于構(gòu)成上述單元間隙(cellgap)的隔板材料(功能液)，同時在對置基板521側(cè)的部分上粘貼濾色器500側(cè)的部分之前，在用密封材料529包圍的區(qū)域中可均勻地涂敷液晶(功能液)。此外，還可以用功能液滴噴出頭17進行上述密封材料529的印刷。而且，還可以用功能液滴噴出頭17進行第1、第2兩個取向膜524、527的涂敷。圖13是表示使用了在本實施方式中制造出的濾色器500的液晶裝置的第2例子的概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖面圖。該液晶裝置530與上述液晶裝置520較大不同的方面是，將濾色器500配置在圖13中下側(cè)(與觀測者相反側(cè))。在濾色器500和玻璃基板等組成的對置基板531之間夾置STN液晶組成的液晶層532而概略構(gòu)成該液晶裝置530。再有，雖然未圖示，但在對置基板531和濾色器500的外面分別設(shè)置偏振板等。濾色器500的保護膜509上(液晶層532側(cè))，在圖13中進深方向上以規(guī)定的間隔形成多個長的狹條狀的第1電極533，并形成第1取向膜534，以覆蓋該第1電極533的液晶層532側(cè)的面。在相對著對置基板531的濾色器500的面上，以規(guī)定的間隔形成多個在與濾色器500的第1電極533正交的方向上延長的長的狹條狀的第2電極536，并形成第2取向膜537，以覆蓋該第2電極536的液晶層532側(cè)的面。在液晶層532中，設(shè)置用于將該液晶層532的厚度保持恒定的隔板538，以及用于防止液晶層532內(nèi)部的液晶組成物向外部漏出的密封材料539。而且，與上述液晶裝置520同樣，第1電極533和第2電極536的交叉的部分為像素，構(gòu)成為使濾色器500的著色層508R、508G、508B、508C、508M、508Y位于作為該像素的部位。圖14是表示使用了適用本發(fā)明的濾色器500構(gòu)成液晶裝置的第3例子的圖，是表示透過型的TFT(ThinFilmTransistor;薄膜晶體管)型液晶裝置的概略結(jié)構(gòu)的分解立體圖。該液晶裝置550將濾色器500配置在圖14中上側(cè)(觀測者側(cè))。該液晶裝置550由濾色器500、與其對置配置的對置基板551、在它們之間夾置的未圖示的液晶層、濾色器500的上面?zhèn)?觀測者側(cè))所配置的偏振板555、以及在對置基板551的下面?zhèn)人O(shè)置的偏振板(未圖示)概略構(gòu)成。在濾色器500的保護膜509的表面(對置基板551側(cè)的面)形成有液晶驅(qū)動用的電極556。該電極556由ITO等透明導(dǎo)電材料構(gòu)成，成為將形成后述的像素電極560的整個區(qū)域覆蓋的全電極。此外，在將與該電極556的像素電極560相反側(cè)的面覆蓋的狀態(tài)下設(shè)有取向膜557。在與對置基板551的濾色器500對置的面上形成有絕緣層558，在該絕緣層558上，掃描線561和信號線562以相互正交的狀態(tài)被形成。然后，在這些掃描線561和信號線562所包圍的區(qū)域內(nèi)形成有像素電極560。再有，在實際的液晶裝置中，在像素電極560上設(shè)有取向膜，但省略了圖示。此外，在像素電極560的缺口部分、掃描線561和信號線562所包圍的部分中，裝入構(gòu)成有具備源極、漏極、半導(dǎo)體和柵極的薄膜晶體管563。而且，構(gòu)成為通過對掃描線561和信號線562施加信號而使薄膜晶體管563導(dǎo)通/截止，從而可以進行對像素電極560的導(dǎo)電控制。再有，上述各個例子的液晶裝置520、530、550形成了透過型的結(jié)構(gòu)，但也可以是設(shè)有反射層或半透過反射層，從而形成為反射型的液晶裝置或半透過反射型的液晶裝置。下面，圖15是有機EL裝置的顯示區(qū)域(以下，簡稱為顯示裝置600)的主要部分剖面圖。該顯示裝置600以在基板(W)601上層疊了電路元件部分602、發(fā)光元件部分603和陰極604的狀態(tài)下概略構(gòu)成。在該顯示裝置600中，從發(fā)光元件部分603發(fā)射到基板601側(cè)的光透過電路元件部分602和基板601而射出到觀測者側(cè)，同時從發(fā)光元件部分603發(fā)射到基板601的相反側(cè)的光通過陰極604被反射后，透過電路元件602和基板601被射出到觀測者側(cè)。在電路元件部分602和基板601之間形成由氧化硅膜組成的基底保護膜606，在該基底保護膜606上(發(fā)光元件部分603側(cè))形成有多晶硅組成的島狀的半導(dǎo)體膜607。在該半導(dǎo)體膜607的左右區(qū)域中，通過高濃度陽離子注入而分別形成有源區(qū)域607a和漏區(qū)域607b。而且，陽離子未注入的中央部分成為溝道區(qū)域607c。此外，在電路元件部分602中，形成有覆蓋基底保護膜606和半導(dǎo)體膜607的透明的絕緣柵膜608，在該絕緣柵膜608上的半導(dǎo)體膜607的溝道區(qū)域607c所對應(yīng)的位置，例如形成有A1、Mo、Ta、Ti、W等構(gòu)成的柵極609。在該柵極609和絕緣柵膜608上，形成有透明的第1層間絕緣膜611a和第2層間絕緣膜611b。此外，貫通第1、第2層間絕緣膜611a、611b，形成有分別連通到半導(dǎo)體膜607的源區(qū)域607a、漏區(qū)域607b的接觸孔(contacthole)612a、612b。然后，在第2層間絕緣膜611b上，ITO等組成的透明的像素電極613被按照規(guī)定的形狀構(gòu)圖形成，該像素電極613通過接觸孔612a連接到源區(qū)域607a。此外，在第1層間絕緣膜611a上預(yù)先設(shè)置有電源線614，該電源線614通過接觸孔612b連接到漏區(qū)域607b。于是，在電路元件部分602中，分別形成有連接到各個像素電極613的驅(qū)動用的薄膜晶體管615。上述發(fā)光元件部分603由多個像素電極613上各自層疊的功能層617、配置在各個像素電極613和功能層617之間來區(qū)分各個功能層617的圍堰部分618概略構(gòu)成。通過這些像素電極613、功能層617和功能層617上設(shè)置的陰極604而構(gòu)成發(fā)光元件。再有，像素電極613被構(gòu)圖為平面看大致矩形而形成，在各個像素電極613之間形成有圍堰部分618。圍堰部分618例如由SiO、Si02、Ti02等無機材料形成的無機物圍堰層618a(第l圍堰層)，層疊在該無機物圍堰層618a上、由丙烯酸樹脂、聚酰亞胺樹脂等耐熱性、抗溶劑性優(yōu)良的抗蝕劑形成的剖面梯形的有機物圍堰層618b(第2圍堰層)而構(gòu)成。該圍堰部分618的一部分以騎在像素電極613的邊緣部分的狀態(tài)來形成。然后，在各個圍堰部分618之間，形成有對于像素電極613向上方逐漸擴寬的開口部分619。上述功能層617由在開口部分619內(nèi)像素電極613上層疊狀態(tài)下形成的空穴注入/輸送層617a、該空穴注入/輸送層617a上形成的發(fā)光層617b構(gòu)成。再有，也可以形成有與該發(fā)光層617b相鄰而具有其他功能的其他功能層。例如，也可以形成電子輸送層?？昭ㄗ⑷?輸送層617a具有從像素電極613側(cè)輸送空穴并將其注入到發(fā)光層617b的功能。該空穴注入/輸送層617a通過將包含空穴注入/輸送層形成材料的第1組成物(功能液)噴出而形成。作為空穴注入/輸送層形成材料，采用公知的材料。發(fā)光層617b發(fā)光為紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)、青色(C)、品紅色(M)或黃色(Y)的任何一個，通過將包含發(fā)光層形成材料(發(fā)光材料)的第2組成物(功能液)噴出而形成。作為第2組成物的溶劑(非極性溶劑)，優(yōu)選使用對于空穴注入/輸送層617a不溶解的公知的材料，通過將這樣的非極性溶劑用于發(fā)光層617b的第2組成物，可以形成發(fā)光層617b而不使空穴注入/輸送層617a再溶解。而且，在發(fā)光層617b中，構(gòu)成為從空穴注入/輸送層617a注入了空穴，從陰極604所注入的電子在發(fā)光層中再結(jié)合而發(fā)光。陰極604在覆蓋發(fā)光元件部分603的整個面的狀態(tài)下被形成，與像素電極613成對而具有在功能層617中流過電流的作用。再有，在該陰極604的上部配置了未圖示的密封構(gòu)件。下面，參照圖16圖24說明上述顯示裝置600的制造工序。如圖16所示，該顯示裝置600經(jīng)過圍堰部分形成工序(Slll)、表面處理工序(S112)、空穴注入/輸送層形成工序(S113)、發(fā)光層形成工序(S114)、以及對置電極形成工序(S115)來制造。再有，制造工序不限于例示的工序，根據(jù)需要，有時除去其他工序，或有時追加其他工序。首先，在圍堰部分形成工序(Sill)中，如圖17所示，在第2層間絕緣膜611b上形成無機物圍堰層618a。該無機物圍堰層618a在形成位置形成了無機物膜后，通過將該無機物膜利用光刻技術(shù)等進行構(gòu)圖而形成。此時，形成無機物圍堰層618a的一部分，以使其與像素電極613的邊緣部分重疊。如果形成了無機物圍堰層618a，則如圖18所示，在無機物圍堰層618a上形成有機物圍堰層618b。該有機物圍堰層618b也與無機物圍堰層618a同樣地利用光刻技術(shù)等進行構(gòu)圖而形成。由此，形成了圍堰部分618。伴隨該形成，在各個圍堰部分618間，形成對于像素電極613在上方開口的開口部分619。該開口部分619規(guī)定像素區(qū)域。在表面處理工序(S112)中，進行親液化處理和疏液化處理。進行親液化處理的區(qū)域是無機物圍堰層618a的第1層疊部分618aa和像素電極613的電極面613a，這些區(qū)域例如通過將氧作為處理氣體的等離子體處理而被親液性地表面處理。該等離子體處理還兼用作像素電極613的ITO的清洗等。此外，疏液化處理對有機物圍堰層618b的壁面618s和有機物圍堰層618b的上面618t實施，通過例如將四氟化甲烷作為處理氣體的等離子體處理而進行表面氟化處理(疏液性地處理)。通過進行該表面處理工序，在使用功能液滴噴出頭17形成功能層617時，可以使功能液滴更可靠地射中像素區(qū)域。此外，可防止已射中像素區(qū)域的功能液滴從開口部分619溢出。然后，通過經(jīng)過以上工序，獲得顯示裝置基體600A。該顯示裝置基體600A被搭載在圖1所示的液滴噴出裝置1的設(shè)置臺21上，進行以下的空穴注入/輸送層形成工序(S113)和發(fā)光層形成工序(S114)。如圖19所示，在空穴注入/輸送層形成工序(S113)中，將包含空穴注入/輸送層形成材料的第1組成物從功能液滴噴出頭17噴出到像素區(qū)域即各個開口部分619內(nèi)。然后，如圖20所示，進行干燥處理和熱處理，使第1組成物所包含的極性溶劑蒸發(fā)，在像素電極(電極面613a)613上形成空穴注入/輸送層617a。下面說明發(fā)光層形成工序(S114)。在該發(fā)光層形成工序中，如上所述，為了防止空穴注入/輸送層617a的再溶解，作為發(fā)光層形成時使用的第2組成物的溶劑，使用對于空穴注入/輸送層617a不溶解的非極性溶劑。但是，在另一方面，空穴注入/輸送層617a對于非極性溶劑的親和性較低，所以即使將包含非極性溶劑的第2組成物噴出到空穴注入/輸送層617a上，也擔(dān)心不能使空穴注入/輸送層617a和發(fā)光層617b緊貼，或者不能均勻地涂敷發(fā)光層617b。因此，為了提高空穴注入/輸送層617a對于非極性溶劑以及發(fā)光層形成材料的表面親和性，優(yōu)選是在發(fā)光層形成之前進行表面處理(表面改良處理)。該表面處理通過將發(fā)光層形成時使用的與第2組成物的非極性溶劑相同的溶劑或與其類似的溶劑即表面改良材料涂敷在空穴注入/輸送層617a上，并使其干燥來進行。通過實施這樣的處理，空穴注入/輸送層617a的表面不容易溶合在非極性溶劑中，在其后的工序中，可以將包含發(fā)光層形成材料的第2組成物均勻地涂敷在空穴注入/輸送層617a上。接著，如圖21所示，將含有與各種顏色中任何一個(在圖21的例子中為藍(lán)色(B))對應(yīng)的發(fā)光層形成材料的第2組成物作為功能液滴在像素區(qū)域(開口部分619)內(nèi)灌入規(guī)定量。像素區(qū)域內(nèi)所灌入的第2組成物在空穴注入/輸送層617a上擴大而填滿開口部分619內(nèi)部。再有，即使在第2組成物萬一從像素區(qū)域漏到外部而射中了圍堰部分618的上表面618t的情況下，該上表面618t如上所述進行了疏液處理，所以第2組成物也容易滾入到開口部分619內(nèi)部。然后，通過進行干燥工序等，將噴出后的第2組成物進行干燥處理，使第2組成物所包含的非極性溶劑蒸發(fā)，如圖22所示，在空穴注入/輸送層617a上形成發(fā)光層617b。圖22的情況下，形成有與藍(lán)色(B)對應(yīng)的發(fā)光層617b。同樣地，使用功能液滴噴出頭17，如圖23所示，依次進行與上述藍(lán)色(B)對應(yīng)的發(fā)光層617b的情況同樣的工序，形成與其他顏色(紅色(R)、綠色(G)、青色(C)、品紅色(M)和黃色(Y))對應(yīng)的發(fā)光層617b。再有，發(fā)光層617b的形成順序不限于例示的順序，也可以按任何的順序形成。例如，也可以按照發(fā)光層形成材料決定形成的順序。如上所述，在像素電極613上形成功能層617，即空穴注入/輸送層617a和發(fā)光層617b。然后，轉(zhuǎn)移到對置電極形成工序(S115)。在對置電極形成工序(S115)中，如圖24所示，在發(fā)光層617b和有機物圍堰層618b的整個面上，例如通過鍍敷法、濺射法、CVD法等形成陰極604(對置電極)。在本實施方式中，該陰極604例如層疊了鈣層和鋁層而構(gòu)成。在該陰極604的上部，適當(dāng)設(shè)有作為電極的A1膜、Ag膜或用于防止其氧化的Si02、SiN等的保護層。由此形成了陰極604后，通過進行將該陰極604的上部利用密封構(gòu)件進行密封的密封處理和布線處理等的其他處理，獲得顯示裝置600。下面，圖25是等離子體型顯示裝置(PDP裝置；以下，簡稱為顯示裝置700)的主要部分分解立體圖。再有，在圖25中以切除其一部分的狀態(tài)表示了顯示裝置700。該顯示裝置700包含相互對置配置的第1基板701、第2基板702，以及在它們之間形成的放電顯示部分703而概略構(gòu)成。放電顯示部分703由多個放電室705構(gòu)成。在這些多個放電室705中，紅色放電室705R、綠色放電室705G、藍(lán)色放電室705B、青色放電室705C、品紅色放電室705M、黃色放電室705Y的六個放電室705作為組而配置為構(gòu)成一個像素。在第1基板701的上面以規(guī)定的間隔網(wǎng)狀地形成地址電極706，并形成有電介質(zhì)層707，以覆蓋該地址電極706和第1基板701的上面。在電介質(zhì)層707上，位于各個地址電極706之間，并且沿各個地址電極706直立設(shè)置隔壁708。該隔壁708如圖所示，包括在地址電極706的寬度方向兩側(cè)延長的部分和在與地址電極706正交的方向延長設(shè)置的未圖示的部分。而且，通過該隔壁708隔開的區(qū)域成為放電室705。放電室705內(nèi)部配置有熒光體709。熒光體709是發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)、青色(C)、品紅色(M)、黃色(Y)的任何一個顏色的熒光的熒光體，所以在紅色放電室705R的底部配置有紅色熒光體709R，在綠色放電室705G的底部配置有綠色熒光體709G，在藍(lán)色放電室705B的底部配置有藍(lán)色熒光體709B，在青色放電室705C的底部配置有青色熒光體709C，在品紅色放電室705M的底部配置有品紅色熒光體709M，在黃色放電室705Y的底部配置有黃色熒光體709Y。在第2基板702的圖25中下側(cè)的面上，在與上述地址電極706正交的方向上以規(guī)定的間隔網(wǎng)狀地形成有多個顯示電極711。而且，形成有電介質(zhì)層712和MgO等構(gòu)成的保護膜713，以覆蓋它們。第1基板701和第2基板702在地址電極706和顯示電極711枏互正交的狀態(tài)下被對置粘結(jié)。再有，上述地址電極706和顯示電極711被連接到未圖示的交流電源。然后，通過對各個電極706、711通電，在放電顯示部分703中熒光體709激勵發(fā)光，可進行彩色顯示。在本實施方式中，可以使用圖1所示的液滴噴出裝置1形成上述地址電極706、顯示電極711、以及熒光體709。以下，例示在第1基板701中的地址電極706的形成工序。這種情況下，在將第1基板701搭載在液滴噴出裝置1的設(shè)置臺21上的狀態(tài)下進行以下工序。首先，通過功能液滴噴出頭17，使含有導(dǎo)電膜布線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴射中地址電極形成區(qū)域。作為導(dǎo)電膜布線形成用材料，該液體材料是將金屬等的導(dǎo)電性微粒分散在分散劑中的液體材料。作為該導(dǎo)電性微粒，使用包含金、銀、銅、鈀、或鎳等的金屬微粒，或?qū)щ娦跃酆衔锏?。如果對于作為補充對象的所有地址電極形成區(qū)域的液體材料的補充結(jié)束，則通過對噴出后的液體材料進行干燥處理，并使液體材料中所包含的分散劑蒸發(fā)而形成地址電極706。可是，雖然上述中例示了地址電極706的形成，但對于上述顯示電極711和熒光體709，也可以經(jīng)過上述各個工序而形成。在形成顯示電極711時，與地址電極706的情況同樣，使含有導(dǎo)電膜布線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴射中顯示電極形成區(qū)域。此外，在形成熒光體709時，將包含了與各個顏色(R、G、B、C、M、Y)對應(yīng)的熒光材料的液體材料(功能液)從功能液滴噴出頭17作為液滴噴出，射中對應(yīng)的顏色的放電室705內(nèi)部。下面，圖26是電子發(fā)射裝置(也稱為FED裝置或SED裝置；以下簡稱為顯示裝置800)的主要部分剖面圖。再有，在圖26中將其一部分作為剖面來表示顯示裝置800。該顯示裝置800包括相互對置配置的第1基板801、第2基板802、以及在它們之間形成的電場發(fā)射顯示部分803而概略構(gòu)成。電場發(fā)射顯示部分803由矩陣狀配置的多個電子發(fā)射部分805構(gòu)成。在第1基板801的上面，構(gòu)成陰極電極806的第1元件電極806a和第2元件電極806b以相互正交的方式而形成。此外，在由第1元件電極806a和第2元件電極806b隔開的部分中，形成有形成了間隙808的導(dǎo)電膜807。即，由第l元件電極806a、第2元件電極806b和導(dǎo)電膜807構(gòu)成多個電子發(fā)射部分805。導(dǎo)電膜807例如由氧化鈀(PdO)等構(gòu)成，而間隙808在將導(dǎo)電膜807進行成膜后，以發(fā)泡等方式形成。在第2基板802的下表面上，形成有與陰極電極806相對的陽極電極809。在陽極電極809的下面，形成方格狀的圍堰部分811，在由該圍堰部分811包圍的向下的各個開口部分812中，配置有熒光體813，以使其與電子發(fā)射部分805對應(yīng)。熒光體813發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)、青色(C)、品紅色(M)、黃色(Y)的任何一個顏色的熒光的熒光體，在各個開口部分812中，紅色熒光體813R、綠色熒光體813G和藍(lán)色熒光體813B、以及青色熒光體、品紅色熒光體和黃色熒光體按部位規(guī)定的圖形配置(對于青色、品紅色、黃色省略圖示)。然后，這樣構(gòu)成的第1基板801和第2基板802存有微小的間隙而被粘結(jié)。在該顯示裝置800中，通過導(dǎo)電膜(間隙808)807，將從陰極即第1元件電極806a或第2元件電極806b飛出的電子對準(zhǔn)在陽極即陽極電極809上形成的熒光體813而激勵發(fā)光，可進行彩色顯示。這種情況下，也與其他實施方式同樣，可以使用液滴噴出裝置l形成第1元件電極806a、第2元件電極806b、導(dǎo)電膜807和陽極電極809，同時可以使用液滴噴出裝置1形成各個顏色(R、G、B、C、M、Y)的熒光體813。第1元件電極806a、第2元件電極806b和導(dǎo)電膜807具有圖27A所示的平面形狀，在對它們進行成膜時，如圖27B所示，將預(yù)先形成了第l元件電極806a、第2元件電極806b和導(dǎo)電膜807的部分保留，從而形成圍堰部分BB(光刻法)。接著，在由圍堰部分BB構(gòu)成的溝部分中，形成第1元件電極806a和第2元件電極806b(液滴噴出裝置1的噴墨法)，并使該溶劑干燥而進行了成膜后，形成導(dǎo)電膜807(液滴噴出裝置l的噴墨法)。然后，在將導(dǎo)電膜807成膜后，取除圍堰部分BB(研磨剝離處理)，轉(zhuǎn)移到上述成形處理。再有，與上述有機EL裝置的情況同樣，優(yōu)選進行對于第1基板801和第2基板802的親液化處理，或?qū)τ趪卟糠?11、BB的疏液化處理。此外，作為其他電光學(xué)裝置，可考慮金屬布線形成、透鏡形成、抗蝕劑形成和光擴散體形成等的裝置。通過將上述液滴噴出裝置1用于各種電光學(xué)裝置(器件)的制造，可以高效率地制造各種電光學(xué)裝置。權(quán)利要求1.一種吸引裝置，包括多個噴頭帽，該多個噴頭帽對于噴墨方式的多個功能液滴噴出頭的噴嘴面可自由分離接觸地緊貼，該吸引裝置包括多個帽單元，搭載了一個以上的所述噴頭帽；分離接觸機構(gòu)，使所述各個噴頭帽以所述帽單元為單位進行分離接觸動作；多個吸引部件，各自連接到所述多個帽單元，以所述帽單元為單位從所述各個噴頭帽吸引功能液，并且吸引壓力相互不同；多組吸引流路，由將上游側(cè)連接到所述各個帽單元的主流路、和通過分路部分從所述主流路分路并且下游側(cè)連接到所述各個吸引部件的多個單獨流路組成；以及多個流路切換部件，夾設(shè)在所述各個吸引流路的所述分路部分，將所述各個吸引流路選擇性地流路切換到任意一個所述吸引部件。2.如權(quán)利要求1所述的吸引裝置，其特征在于，所述各個吸引部件具有廢液箱，連接了所述單獨流路的下游端；以及噴射器，對一次側(cè)導(dǎo)入壓縮空氣，并且將二次側(cè)連接到所述廢液箱的上部空間。3.如權(quán)利要求2所述的吸引裝置，其特征在于，所述各個吸引部件還具有壓力調(diào)整部件，調(diào)整所述一次側(cè)壓縮空氣的壓力；以及控制部件，控制所述壓力調(diào)整部件。4.如權(quán)利要求3所述的吸引裝置，其特征在于，在連接了所述各個吸引部件的所述單獨流路中，分別夾設(shè)將所述單獨流路開閉的流路開閉部件，所述各個控制部件根據(jù)所述多個流路開閉部件中開放的所述流路開閉部件的開放數(shù)，控制所述壓力調(diào)整部件，以使所述各個帽單元中的吸引壓力恒定。5.如權(quán)利要求4所述的吸引裝置，其特征在于，還包括壓力檢測部件，檢測吸引時的所述各個廢液箱的壓力，所述各個控制部件控制所述壓力控制部件，以使所述廢液箱內(nèi)的壓力成為與所述開放數(shù)對應(yīng)的規(guī)定的壓力。6.如權(quán)利要求4所述的吸引裝置，其特征在于，還包括流量檢測部件，檢測通過吸引而流入到所述各個廢液箱中的功能液流量，所述控制部件控制所述壓力控制部件，以使流入到所述廢液箱中的功能液流量成為與所述開放數(shù)對應(yīng)的規(guī)定的流量。7.如權(quán)利要求1至6中任一項所述的吸引裝置，其特征在于，所述多個吸引部件由兩個吸引部件構(gòu)成，一個所述吸引部件是用于在使所述各個噴頭帽緊貼所述各個功能液滴噴出頭的狀態(tài)下吸引的部件，另一個所述吸弓I部件是用于在使所述各個噴頭帽與所述各個功能液滴噴出頭分離的狀態(tài)下吸引的部件。8.如權(quán)利要求1至7中任一項所述的吸引裝置，其特征在于，所述多個單獨流路通過集流管進行合流，并通過合流流路連接到所述各個吸引部件，所述集流管由圓板狀的蓋體閉蓋上端而形成為套管狀，所述多個單獨流路的下游端在周方向上均等配置而連接到所述蓋體。9.一種吸引系統(tǒng)，其中按功能液的不同顏色設(shè)置有多組所述多個功能液滴噴出頭，按功能液的不同顏色具有多組如權(quán)利要求1至8中任一項所述的吸引裝置。10.如權(quán)利要求9所述的吸引系統(tǒng)，其特征在于，所述多組吸引裝置對應(yīng)于6色的功能液，由六組吸引裝置構(gòu)成。11.如權(quán)利要求9或10所述的吸引系統(tǒng)，其特征在于，所述帽單元按不同顏色搭載多組一個以上的所述噴頭帽。12.—種液滴噴出裝置，包括描繪部件，一邊使噴墨方式的多個功能液滴噴出頭相對工件移動，一邊從所述各個功能液滴噴出頭噴出功能液滴并進行描繪；以及如權(quán)利要求1至8中任一項所述的吸引裝置。13.—種液滴噴出裝置，包括描繪部件，一邊使噴墨方式的多個功能液滴噴出頭相對工件移動，一邊從所述各個功能液滴噴出頭噴出功能液滴并進行描繪；以及如權(quán)利要求9至11中任一項所述的吸引系統(tǒng)。14.一種電光學(xué)裝置的制造方法，其特征在于，使用如權(quán)利要求12或13所述的液滴噴出裝置，在所述工件上形成功能液滴的成膜部分。15.—種電光學(xué)裝置，其特征在于，使用如權(quán)利要求12或13所述的液滴噴出裝置，在所述工件上形成功能液滴的成膜部分。全文摘要一種吸引裝置，包括多個噴頭帽，該多個噴頭帽對于噴墨方式的多個功能液滴噴出頭的噴嘴面可自由分離接觸地緊貼，該吸引裝置包括多個帽單元，搭載了一個以上的所述噴頭帽；分離接觸機構(gòu)，使所述各個噴頭帽以所述帽單元為單位進行分離接觸動作；多個吸引部件，各自連接到所述多個帽單元，以所述帽單元為單位從所述各個噴頭帽吸引功能液，并且吸引壓力相互不同；多組吸引流路，由將上游側(cè)連接到所述各個帽單元的主流路、和通過分路部分從所述主流路分路并且下游側(cè)連接到所述各個吸引部件的多個單獨流路組成；以及多個流路切換部件，夾設(shè)在所述各個吸引流路的所述分路部分，將所述各個吸引流路選擇性地流路切換到任意一個所述吸引部件。文檔編號H01L51/50GK101396918SQ20081017850公開日2009年4月1日申請日期2008年8月26日優(yōu)先權(quán)日2007年8月27日發(fā)明者井內(nèi)千惠子,林千良申請人:精工愛普生株式會社