專利名稱：一種鋁加厚金屬化電容器用薄膜的真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及金屬化電容器用薄膜的真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)，特別涉及一種鋁加厚金屬化
電容器用薄膜的真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的金屬化電容器用薄膜，是在作為介質(zhì)材料的基膜(如聚脂薄膜、聚丙烯薄 膜等絕緣材料)上用真空鍍膜機(jī)在高真空條件下采用金屬加熱蒸發(fā)技術(shù)鍍上金屬極板，金 屬級(jí)板可分單鋁鍍層和鋁加厚兩層，因其具有獨(dú)特的自愈特性，廣泛用于制造各類電力補(bǔ) 償用或馬達(dá)啟動(dòng)用交流電容器和直流濾波電容器。金屬化薄膜獨(dú)特的自愈性能，可明顯改 善和提高金屬化薄膜電容器的耐電壓能力和使用壽命。在電容器熱擊穿時(shí)揮發(fā)，自愈性更 加優(yōu)良，因此鋁鋅復(fù)合金屬化薄膜較鋁金屬化膜具有更好的耐壓特性。目前金屬化薄膜一 般是在整個(gè)薄膜先蒸鍍上一層鋁膜，然后在鋁膜上再蒸鍍上一層鋅加強(qiáng)層，該加強(qiáng)層的寬 度一般要比薄膜的寬度小很多，一般位于金屬化電容器薄膜的中間，這樣既不影響薄膜的 耐壓性能，又能提高金屬化薄膜的自愈性能。 目前，現(xiàn)有的真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)只能單獨(dú)鍍鋁膜或鋅膜或鋅鋁合金膜，如中國(guó)發(fā)明 專利授權(quán)公告號(hào)CN1191386C公開的一種鋅鋁真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)，該鋅鋁真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)的 鋅坩堝和鋁坩堝全部設(shè)置在一個(gè)鍍膜室內(nèi)，蒸發(fā)形成的鋅、鋁混合氣體鍍到薄膜上，形成鋅 鋁合金薄膜。這類真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)不能加工本發(fā)明所說(shuō)的全鋁加厚金屬化電容器用薄膜。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種鋁加厚金屬化電容器用薄膜的真空蒸
發(fā)鍍膜機(jī)，以解決真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)不能加工鋁加厚金屬化電容器用薄膜的問(wèn)題。 本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題可以通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn) —種鋁加厚金屬化電容器用薄膜的真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)，包括巻繞系統(tǒng)、真空鍍膜室、
冷凍系統(tǒng)，擴(kuò)散泵、閥門、羅茨泵、滑閥泵組成的第一抽真空系統(tǒng)和冷阱式的第二真空系統(tǒng)
以及蒸發(fā)源，其特征在于，所述蒸發(fā)源包括安裝于真空鍍膜室一側(cè)壁上的同步實(shí)施蒸鍍鋁
膜步驟的第一鋁坩堝和蒸鍍鋁加強(qiáng)層步驟所使用的第二鋁坩堝，所述第一鋁坩堝與主輥之
間的連線和第二鋁坩堝與主輥之間的連線之間的夾角為40-50度。 所述第二鋁坩堝上設(shè)置有若干條蒸鍍縫隙，每條蒸鍍縫隙的寬度為l-3mm。 為了使本發(fā)明的真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)還能用于生產(chǎn)純鋁金屬化薄膜，在所述第二鋁坩
堝的上方設(shè)置有一可翻轉(zhuǎn)的蓋板，所述可翻轉(zhuǎn)的蓋板內(nèi)設(shè)置有冷卻水道。 本發(fā)明的鋁加厚金屬化電容器用薄膜的真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)能夠在蒸鍍上鋁膜后，馬
上在蒸鍍好鋁膜的表面蒸鍍上鋁加強(qiáng)層，兩個(gè)蒸發(fā)步驟同時(shí)進(jìn)行，實(shí)現(xiàn)了鋁金屬化電容器
留邊加厚，最大優(yōu)點(diǎn)是形成以層天然氧化層，抗潮濕能力強(qiáng)，儲(chǔ)存周期長(zhǎng)，自愈性能好，自愈
后金屬化膜能生成八1203，不影響電容器參數(shù)。同時(shí)本發(fā)明提高了整個(gè)鍍膜的質(zhì)量，同時(shí)也
提高了蒸鍍效率，解決了國(guó)內(nèi)外現(xiàn)有真空蒸鍍機(jī)無(wú)法制備鋁加厚金屬化電容器用薄膜的問(wèn)
3題。同時(shí)本發(fā)明的全鋁加厚金屬化電容器用薄膜的真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)還能用來(lái)生產(chǎn)純鋁的金 屬化電容器用的薄膜。


圖1為本發(fā)明鋁加厚金屬化電容器用薄膜的真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為本發(fā)明的第一鋁坩堝、第二鋁坩堝與主軸之間的布置關(guān)系圖。
圖3為圖3的A向視圖。
具體實(shí)施例方式
為了使本發(fā)明實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié) 合具體圖示，進(jìn)一步闡述本發(fā)明。 參見圖1 ， 一種鋁加厚金屬化電容器用薄膜的真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)，實(shí)行計(jì)算機(jī)控制的 整機(jī)座落在底架1上，底架1上設(shè)置有軌道，通過(guò)主機(jī)架2的滾輪可以將座落在主機(jī)架2上 的冷凍架3、與冷凍架3并接的巻繞系統(tǒng)箱體5-1和設(shè)置在巻繞系統(tǒng)箱體5-1上的主軸4、巻 繞系統(tǒng)5沿軌道運(yùn)動(dòng)。真空室6兩側(cè)開口，內(nèi)部分為巻繞室16和鍍膜室19兩部分，真空室 6固定在底架1上，真空室6的巻繞室16的開口朝向主軸4和巻繞系統(tǒng)5，鍍膜室19的開 口朝向蒸發(fā)源17，蒸發(fā)源17包括第二鋁坩堝17-1和第一鋁坩堝17-2，兩者固定在加熱控 制箱18的側(cè)壁上，加熱控制箱18和蒸發(fā)源17可以通過(guò)副機(jī)架2-1的滾輪經(jīng)軌道在底架1 上移動(dòng)，真空室6外界接第一真空系統(tǒng)，通過(guò)管道擴(kuò)散泵7接通鍍膜室19，然后加入閥門接 通羅茨泵11，閥門10和羅茨泵11間接管道連通真空室6內(nèi)，閥門10與真空室6的巻繞室 16相通，羅茨泵11接通羅茨泵9，羅茨泵9外再接滑閥泵8，滑閥泵8另一端與大氣相通；同 時(shí)，第二真空系統(tǒng)由二臺(tái)增壓泵12、 13并聯(lián)，由管道、閥門10-1連通真空室6的巻繞室16， 另一端通過(guò)管道連接羅茨泵14和滑閥泵15，滑閥泵15另一端與大氣相通；起重架5-2裝 置在巻繞系統(tǒng)箱體5-1上端，用于起吊鍍膜所需的物件。 參見圖2和圖3，第一鋁坩堝17-2與主輥4之間的連線和第二鋁坩堝17_1與主 輥4之間的連線之間的夾角為40-50度，比較好的是45度。在第二鋁坩堝17-1上設(shè)置有 若干條蒸鍍縫隙17-10，每條蒸鍍縫隙17-10的寬度為l-3mm。 為了使本發(fā)明的真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)還能用于生產(chǎn)純鋁金屬化薄膜，在第二鋁坩堝 17-2的上方設(shè)置有一可翻轉(zhuǎn)的蓋板17-3，可翻轉(zhuǎn)的蓋板17-3內(nèi)設(shè)置有冷卻水道。
參見圖l和圖2，整機(jī)實(shí)行電腦控制，起重架5-2吊起整巻塑料薄膜，裝入巻繞系統(tǒng) 5中，經(jīng)主軸4將塑料薄膜移至巻繞系統(tǒng)的收巻輥上。冷凍柜3啟動(dòng)，冷卻水通過(guò)管件進(jìn)入 主軸4作循環(huán)冷卻，使主軸冷卻至-l(TC ;設(shè)在主機(jī)架右側(cè)的機(jī)件，包括主軸4、冷凍柜3在 內(nèi)，通過(guò)滾輪在底架1的軌道上向前行進(jìn)，使巻繞系統(tǒng)5和巻繞系統(tǒng)5上的塑料薄膜分別進(jìn) 入真空室6的巻繞室16，推緊密封喉停止工作；同時(shí)，設(shè)在副機(jī)架2-1上的加熱控制箱18和 與其固定的第二鋁坩堝17-1和第一鋁坩堝17-2通過(guò)滾輪沿軌道進(jìn)入鍍膜室19，推進(jìn)至密 封位置后停止前進(jìn)。此時(shí)的第二鋁坩堝17-l溫度恒定在515t: 士10，第一鋁坩堝17-2溫 度恒定在150(TC ±10。打開閥門10、10-1，第一真空系統(tǒng)啟動(dòng)，第二真空系統(tǒng)啟動(dòng)，抽取真 空室6的空氣成真空至-6X 10—2，關(guān)閉閥門10、 10-1保壓，主軸4轉(zhuǎn)動(dòng)，以8m/s速度轉(zhuǎn)動(dòng)， 收巻輥開始收巻，先在塑料薄膜上鍍上鋁膜，經(jīng)過(guò)主軸4冷卻后，再在鋁膜的中間鍍鋁加強(qiáng)層，鋁膜的間隔通過(guò)若干條屏蔽帶遮住塑料薄膜，使鋁不能著床來(lái)實(shí)現(xiàn)。鋁膜中間的鋁加強(qiáng) 層的寬度通過(guò)第二鋁坩堝17-2上設(shè)置的若干條蒸鍍縫隙17-20寬度來(lái)控制。打開閥門10、 10-1真空室6進(jìn)入空氣，恢復(fù)大氣壓力，主機(jī)架右側(cè)的機(jī)件，包括主軸4、冷凍柜3在內(nèi)，通 過(guò)滾輪在底架1的軌道上向后行進(jìn)，使巻繞系統(tǒng)5和巻繞系統(tǒng)5上的塑料薄膜推出真空室 6，同時(shí)冷凍柜3冷凍機(jī)停止工作，起動(dòng)冷凍柜3的加熱裝置，加熱主軸4至常溫即可。
如果只需要在塑料薄膜上鍍鋁，只需要翻轉(zhuǎn)蓋板17-3，可翻轉(zhuǎn)的蓋板17-3將第二 鋁坩堝17-1的蒸鍍縫隙17-10即可。
權(quán)利要求
一種鋁加厚金屬化電容器用薄膜的真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)，包括卷繞系統(tǒng)、真空鍍膜室、冷凍系統(tǒng)，擴(kuò)散泵、閥門、羅茨泵、滑閥泵組成的第一抽真空系統(tǒng)和冷阱式的第二真空系統(tǒng)以及蒸發(fā)源，其特征在于，其特征在于，所述蒸發(fā)源包括安裝于真空鍍膜室一側(cè)壁上的同步實(shí)施蒸鍍鋁膜步驟的第一鋁坩堝和蒸鍍鋁加強(qiáng)層步驟所使用的第二鋁坩堝，所述第一鋁坩堝與主輥之間的連線和第二鋁坩堝與主輥之間的連線之間的夾角為40-50度。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的全鋁加厚金屬化電容器用薄膜的真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)，其特征在 于，所述第二鋁坩堝上設(shè)置有若干條蒸鍍縫隙，每條蒸鍍縫隙的寬度為l-3mm。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的鋁加厚金屬化電容器用薄膜的真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)，其特征 在于，在所述第二鋁坩堝的上方設(shè)置有一可翻轉(zhuǎn)的蓋板，所述可翻轉(zhuǎn)的蓋板內(nèi)設(shè)置有冷卻 水道。
全文摘要
一種鋁加厚金屬化電容器用薄膜的真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)，其蒸發(fā)源包括安裝于真空鍍膜室一側(cè)壁上的同步實(shí)施蒸鍍鋁膜步驟的第一鋁坩堝和蒸鍍鋁加強(qiáng)層步驟所使用的第二鋁坩堝。本發(fā)明能夠在蒸鍍上鋁膜后，馬上在蒸鍍好鋁膜的表面蒸鍍上鋁加強(qiáng)層，兩個(gè)蒸發(fā)步驟同時(shí)進(jìn)行，實(shí)現(xiàn)了鋁金屬化電容器留邊加厚，最大優(yōu)點(diǎn)是形成以層天然氧化層，抗潮濕能力強(qiáng)，儲(chǔ)存周期長(zhǎng)，自愈性能好，自愈后金屬化膜能生成Al2O3，不影響電容器參數(shù)。同時(shí)本發(fā)明提高了整個(gè)鍍膜的質(zhì)量，同時(shí)也提高了蒸鍍效率，解決了國(guó)內(nèi)外現(xiàn)有真空蒸鍍機(jī)無(wú)法制備鋁加厚金屬化電容器用薄膜的問(wèn)題。同時(shí)本發(fā)明的全鋁加厚金屬化電容器用薄膜的真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)還能用來(lái)生產(chǎn)純鋁的金屬化電容器用的薄膜。
文檔編號(hào)H01G4/33GK101717916SQ200810200949
公開日2010年6月2日 申請(qǐng)日期2008年10月9日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月9日
發(fā)明者唐朝明 申請(qǐng)人:上海奧移電器有限公司