專利名稱：一種半導(dǎo)體傳輸系統(tǒng)中的真空鎖的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體傳輸系統(tǒng)中的真空鎖。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體傳輸系統(tǒng)中的真空鎖是用于將硅片(wafer)從大氣環(huán)境傳輸?shù)秸婵涨皇业闹修D(zhuǎn)站，它由腔體和上蓋兩部分組成，上蓋上設(shè)有兩個平行的且剖面為矩形的凹口提手，供安裝和拆卸時兩手抓持。使用時上蓋和腔體是固定連接在一起的，對真空鎖內(nèi)部進行維護時則需要把上蓋打開。該半導(dǎo)體傳輸系統(tǒng)中的真空鎖存在下列缺點1、真空鎖的上蓋上沒有觀察窗，不能實時的觀察真空鎖中硅片的工作情況。2、當(dāng)真空鎖需要維護時，在維護人員面對兩提手的端部情況下可以方便地提起真空鎖的上蓋，而在維護人員面對兩提手的側(cè)面情況下，則將真空鎖的上蓋提起就非常費勁。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種更方便于提起上蓋的半導(dǎo)體傳輸系統(tǒng)中的真空鎖。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采取以下設(shè)計方案
一種半導(dǎo)體傳輸系統(tǒng)中的真空鎖，它包括腔體和固定連接在所述腔體上的
上蓋，其特征在于，所述上蓋的上表面凹設(shè)有一環(huán)形槽，使所述上蓋的上表面于所述環(huán)形槽內(nèi)部形成一直徑上大下小的圓盤形提手。
所述圓盤形提手位于所述上蓋的上表面中部。
所述上蓋上設(shè)有透明的觀察窗。
所述觀察窗的數(shù)量為1-3個，所述觀察窗分布于所述上蓋的拐角處。
所述觀察窗是由樹脂制成。
本發(fā)明的優(yōu)點是
1、本發(fā)明一種半導(dǎo)體傳輸系統(tǒng)中的真空鎖，它包括腔體和固定連接在所述腔體上的上蓋，其中，上蓋的上表面凹設(shè)有一環(huán)形槽，使上蓋的上表面于環(huán)形槽內(nèi)部形成一直徑上大下小的圓盤形提手。因此，當(dāng)需要提起上蓋時，操作者站在真空鎖周圍任一位置時提起上蓋都非常方便。
2、 本發(fā)明一種半導(dǎo)體傳輸系統(tǒng)中的真空鎖，其中圓盤形提手位于上蓋的上表面中部，這樣在提起上蓋時左、右手用力比較均勻，操作比較安全。
3、 本發(fā)明一種半導(dǎo)體傳輸系統(tǒng)中的真空鎖，其中上蓋上設(shè)有透明的觀察窗，可以實時觀察真空鎖內(nèi)部情況，便于及時發(fā)現(xiàn)問題和解決問題。
4、 本發(fā)明一種半導(dǎo)體傳輸系統(tǒng)中的真空鎖，其中觀察窗的數(shù)量為1或2個或3個，觀察窗分布于上蓋的拐角處以便于多角度觀察真空鎖內(nèi)部情況。
4、本發(fā)明一種半導(dǎo)體傳輸系統(tǒng)中的真空鎖，其中觀察窗是由樹脂制成，耐壓性較好。


圖1為本發(fā)明之立體示意圖
圖2為本發(fā)明中的上蓋的俯視示意圖
圖3為本發(fā)明中的上蓋的立體示意圖
具體實施例方式
為便于進一步了解本發(fā)明之目的手段，茲附以較佳實施例圖詳細說明如后
本發(fā)明一種半導(dǎo)體傳輸系統(tǒng)中的真空鎖，它包括腔體l和固定連接在腔體上的上蓋2，其特征在于，上蓋2的上表面凹設(shè)有一環(huán)形槽3，使上蓋2的上表面于環(huán)形槽3內(nèi)部形成一直徑上大下小的圓盤形提手4。
圓盤形提手4位于上蓋2的上表面中部。
上蓋2上設(shè)有透明的觀察窗5。
觀察窗5的數(shù)量為1個或2個或3個，觀察窗5分布于上蓋2的拐角處。觀察窗5是由樹脂制成。
權(quán)利要求
1、一種半導(dǎo)體傳輸系統(tǒng)中的真空鎖，它包括腔體和固定連接在所述腔體上的上蓋，其特征在于，所述上蓋的上表面凹設(shè)有一環(huán)形槽，使所述上蓋的上表面于所述環(huán)形槽內(nèi)部形成一直徑上大下小的圓盤形提手。
2、 如權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體傳輸系統(tǒng)中的真空鎖，其特征在于，所 述圓盤形提手位于所述上蓋的上表面中部。
3、 如權(quán)利要求1或2所述的一種半導(dǎo)體傳輸系統(tǒng)中的真空鎖，其特征在于，所述上蓋上設(shè)有透明的觀察窗。
4、 如權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體傳輸系統(tǒng)中的真空鎖，其特征在于，所 述觀察窗的數(shù)量為1-3個，所述觀察窗分布于所述上蓋的拐角處。
5、 如權(quán)利要求3所述的一種半導(dǎo)體傳輸系統(tǒng)中的真空鎖，其特征在于，所 述觀察窗是由樹脂制成。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體傳輸系統(tǒng)中的真空鎖，它包括腔體和固定連接在所述腔體上的上蓋，其中，上蓋的上表面凹設(shè)有一環(huán)形槽，使上蓋的上表面于環(huán)形槽內(nèi)部形成一直徑上大下小的圓盤形提手。因此，當(dāng)需要提起上蓋時，操作者站在真空鎖周圍任一位置時提起上蓋都非常方便。
文檔編號H01L21/67GK101677076SQ20081022241
公開日2010年3月24日 申請日期2008年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月16日
發(fā)明者磊 韋 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司