專利名稱：止回流反應(yīng)閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
止回流反應(yīng)閥
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及管道閥門控制領(lǐng)域，尤其涉及一種止回流反應(yīng)閥。背景4支術(shù)
在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)制造過(guò)程中，有很多真空環(huán)境的管道，如圖l所示， 這是一個(gè)低壓爐管機(jī)臺(tái)的工作系統(tǒng)，爐管機(jī)臺(tái)1中放置有很多待加工硅片，
機(jī)臺(tái)有進(jìn)氣管道和出氣管道3,出氣管道3連接真空泵2，在正常工作時(shí)， 真空泵保持整個(gè)爐管機(jī)臺(tái)內(nèi)的工作環(huán)境為低壓真空狀態(tài)，只允許工作氣體通 過(guò)進(jìn)氣管道進(jìn)入爐管與硅片表面充分接觸反應(yīng)，再?gòu)某鰵夤艿?排出。
當(dāng)機(jī)臺(tái)發(fā)生非正常斷電時(shí)，真空泵2將停止工作，由于真空環(huán)境的破壞， 氣流將很容易通過(guò)出氣管道3回流倒灌進(jìn)爐管機(jī)臺(tái)1,而影響產(chǎn)品及機(jī)臺(tái)的 正常運(yùn)行，嚴(yán)重時(shí)將導(dǎo)致機(jī)臺(tái)內(nèi)硅片的報(bào)廢。
這樣就迫切需要一種止回流機(jī)構(gòu)來(lái)應(yīng)對(duì)可能發(fā)生的爐管機(jī)臺(tái)氣體倒灌 事故。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種止回流反應(yīng)閥，以解決低壓真 空環(huán)境下工作的機(jī)臺(tái)因?yàn)榉钦嚯?，真空^皮破壞而發(fā)生氣流回流倒灌的問(wèn)題。本實(shí)用新型所述的止回流反應(yīng)閥安裝在真空泵和工作機(jī)臺(tái)之間的通氣
管道上，包括閥管道、電磁閥、氣缸、活塞以及通氣擋板；其中閥管道呈管 狀，兩端連接通氣管，所述通氣擋板安裝在閥管道上，氣缸通過(guò)支架與閥管 道內(nèi)壁連接，固定安裝在閩管道內(nèi)；所述電磁閥連接氣缸，并設(shè)有一回流信 號(hào)輸入端；所述活塞包括氣缸塞、連桿、閥塞；氣缸塞設(shè)置于氣缸內(nèi)，閥塞 通過(guò)連桿與氣缸塞固定連接，并對(duì)準(zhǔn)通氣擋板的通氣孔，活塞上還設(shè)有一壓 縮彈簧，彈簧一端連接閥塞，另一端連接氣缸的缸體。
當(dāng)真空泵斷電，管道內(nèi)真空被破壞，并發(fā)生氣體回流現(xiàn)象時(shí)，電；茲閥收 管道系統(tǒng)的斷電信號(hào)，立刻開(kāi)啟氣釭，往氣釭內(nèi)充氣。此時(shí)氣釭內(nèi)與止回流 閥的閥管道內(nèi)產(chǎn)生氣壓差，由此推動(dòng)氣缸塞，從而使整個(gè)活塞外移，而此時(shí) 活塞另一端的閥塞在壓縮彈簧以及氣缸內(nèi)外的氣壓差雙重作用下，將迅速的 頂住通氣擋板的通氣孔，從而使整個(gè)閥管道封閉，實(shí)現(xiàn)止回流反應(yīng)閥的止回 流自關(guān)閉功能。
為了提高止回流反應(yīng)閥在關(guān)閉時(shí)的密封性能，可在通氣擋板的通氣孔周 圍設(shè)一橡膠密封圈。
本實(shí)用新型所述的止回流反應(yīng)閥，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、反應(yīng)靈敏，在真空設(shè)備 異常、回流現(xiàn)象可能發(fā)生時(shí)，通過(guò)氣缸內(nèi)外的氣壓差以及壓縮彈簧的雙重作 用下，可迅速關(guān)閉，從而杜絕了氣體倒灌的事故發(fā)生。

圖1為現(xiàn)有的爐管機(jī)臺(tái)管道系統(tǒng)示意圖； 圖2為本實(shí)用新型所述的一種止回流反應(yīng)閥結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合說(shuō)明書(shū)附圖對(duì)本實(shí)用新型的一個(gè)具體實(shí)施例作詳細(xì)說(shuō)明。
如圖2所示，本實(shí)用新型所述的止回流反應(yīng)閥門，包4舌閥管道4、電》茲 閥5、氣缸6、活塞以及通氣擋板8，通氣擋板8安裝在閥管道4上，氣缸6 通過(guò)支架9與閥管道的內(nèi)壁連接，固定安裝在閥管道內(nèi)；電磁閥5連接氣缸 6，設(shè)有一回流信號(hào)輸入端；所述活塞包括氣釭塞7-1、連桿7-2、閥塞7-3; 氣缸塞7-1設(shè)置于氣缸6內(nèi)，閥塞7-3通過(guò)連桿7-2與氣缸塞7-1固定連接， 并對(duì)準(zhǔn)通氣擋板8的通氣孔1Q,活塞上還設(shè)有一壓縮彈簧7-4，彈簧7-4 — 端連4妻閥塞7-3，另一端連4妻氣缸6的缸體。
當(dāng)真空泵斷電時(shí)，管道內(nèi)真空^皮破壞，閥管道4內(nèi)的氣體可能發(fā)生回流 現(xiàn)象，氣體將通過(guò)通氣擋板8上的通氣孔10回溯。因?yàn)檎婵毡脭嚯姡B接 氣缸6的電-茲閥5可以收到斷電信號(hào)，此時(shí)電;茲閥5使氣缸6迅速充氣。此 時(shí)氣缸6與閥管道4將產(chǎn)生氣壓差，氣壓會(huì)推動(dòng)氣缸塞7-1，從而推動(dòng)整個(gè) 活塞，而此時(shí)活塞另一端的閥塞7-3向通氣孔10移動(dòng)，另一方面壓縮彈簧 7-4的自恢復(fù)彈力也會(huì)促進(jìn)閥塞7-3的運(yùn)動(dòng)，在氣壓差以及壓縮彈簧的雙重 作用下，閥塞7-3將迅速的頂住通氣擋板8，堵塞通氣孔IO,從而使整個(gè)閥 管道封閉，實(shí)現(xiàn)止回流反應(yīng)閥的止回流自關(guān)閉功能，為了提高密封性能，還 可以在通氣孔10周圍設(shè)置一個(gè)橡膠密封圏11,這樣閥塞7-3堵塞通氣孔10 時(shí)，杜絕因?yàn)榻佑|面的不平整而發(fā)生氣體泄漏的情況。
以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明而非限制本實(shí)用新型的技術(shù)方案。不脫離本實(shí)用 新型精神和范圍的任何修改或局部替換，均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的權(quán)利要求 范圍當(dāng)中。
權(quán)利要求1、一種止回流反應(yīng)閥，包括閥管道、電磁閥、氣缸、活塞以及通氣擋板；其特征在于所述閥管道呈管狀，兩端連接通氣管，所述通氣擋板安裝在閥管道上，電磁閥連接氣缸，活塞一端設(shè)置于氣缸內(nèi)，另一端對(duì)準(zhǔn)通氣擋板的通氣孔。
2、 如權(quán)利要求1所述的止回流反應(yīng)閥，其特征在于所述活塞包括氣缸塞、 連桿、閥塞；氣缸塞設(shè)置于氣缸內(nèi)，閥塞通過(guò)連桿與氣缸塞固定連接， 并對(duì)準(zhǔn)通氣擋板的通氣孔。
3、 如權(quán)利要求2所述的止回流反應(yīng)閥，其特征在于所述活塞包括壓縮彈 簧，彈簧一端連接閥塞，另一端連接氣缸的缸體。
4、 如權(quán)利要求1所述的止回流反應(yīng)閥，其特征在于所述電^茲閥設(shè)有回流 信號(hào)輸入端。
5、 如權(quán)利要求1所述的止回流反應(yīng)閥，其特征在于所述氣缸安裝在間管 道內(nèi)，通過(guò)支架與閥管道內(nèi)壁固定連接。
6、 如權(quán)利要求1所述的止回流反應(yīng)閥，其特征在于所述通氣擋板在通氣 孔周圍還設(shè)有橡膠密封圈。
7、 如權(quán)利要求4所述的止回流反應(yīng)閥，其特征在于所述回流信號(hào)輸入端 接收到的信號(hào)為管道系統(tǒng)的斷電信號(hào)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種止回流反應(yīng)閥，包括閥管道、電磁閥、氣缸、活塞以及通氣擋板；其特征在于所述通氣擋板安裝在閥管道上，所述電磁閥連接氣缸，活塞一端設(shè)置于氣缸內(nèi)，另一端對(duì)準(zhǔn)通氣擋板的通氣孔。當(dāng)真空設(shè)備異常，管道內(nèi)可能發(fā)生氣體回流時(shí)，電磁閥接收回流信號(hào)，然后往氣缸充氣，從而推動(dòng)活塞迅速頂住通氣擋板，堵塞通氣孔，實(shí)現(xiàn)止回流反應(yīng)閥的關(guān)閉。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，反應(yīng)靈敏迅速，杜絕管道內(nèi)的氣體回流造成事故。
文檔編號(hào)H01L21/00GK201236994SQ20082015199
公開(kāi)日2009年5月13日 申請(qǐng)日期2008年8月15日 優(yōu)先權(quán)日2008年8月15日
發(fā)明者崔安平, 狄寶山, 剛 王, 高文良 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司