專利名稱：加熱器底座的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種底座，且特別涉及一種加熱器底座。
背景技術(shù)：
在工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中，機(jī)臺(tái)正常運(yùn)行時(shí)間的穩(wěn)定和提高對(duì)整條生產(chǎn)線的運(yùn)行 有至關(guān)重要的意義，對(duì)工程師而言就是要盡量減少停機(jī)次數(shù)和時(shí)間，以節(jié)約維 護(hù)的成本。
半導(dǎo)體工業(yè)中使硅氧化物沉積在晶片的表面的工藝一般是:反應(yīng)氣體在 400。C的高溫下通過(guò)HF/RF (高頻13. 56MHz )作用，使硅氧化物沉積在晶片的表 面，將晶片平放在燃燒室的加熱器表面，反應(yīng)氣體由噴頭噴射到晶片的表面，在 噴頭和加熱器之間形成電場(chǎng)的作用下，氣體吸附在晶片表面發(fā)生反應(yīng)，從而把 薄膜沉積在晶片的表面。
晶片表面淀積的薄膜的質(zhì)量是否達(dá)到制程要求且保持穩(wěn)定品質(zhì)與作用在燃 燒室里面的HF/RF能量的穩(wěn)定性有很大的相關(guān)性，因此就需要機(jī)臺(tái)很好的控制 作用在晶片上的HF/RF能量。在高頻發(fā)生器工作正常的情況下就要求整個(gè)HF/RF 路徑必須接地良好；如果整個(gè)路徑中金屬導(dǎo)線的連接頭接觸不好且有擊穿，就 會(huì)導(dǎo)致HF/RF反射能量升高，使得作用在晶片表面的HF/RF能量不穩(wěn)定，這可 能導(dǎo)致薄膜的厚度發(fā)生變化，從而影響制程品質(zhì)的穩(wěn)定性。
半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)中常見(jiàn)的燃燒室的加熱器，加熱器底座與機(jī)臺(tái)的外殼接觸， 加熱器的地線與加熱器的金屬底座相連。這里發(fā)生的問(wèn)題就是在地線和加熱器 的底座的連接上，請(qǐng)參考圖l和圖2，圖l是現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2是圖 l水平方向的剖面圖，從圖l中可以看到，底座主體33上分布第一插孔11、第 二插孔12和第三插孔13，所述底座33為金屬材料，所述第二插孔和所述第三 插孔的內(nèi)側(cè)壁為絕緣體，加熱器的第一火線放置于第二插孔內(nèi)12，第二火線》文 置于第三插孔13內(nèi)，所迷第一火線和第二火線均用絕緣材料22和所述底座隔開(kāi)，而加熱器的地線插在第一插孔ll內(nèi)，直接和底座33接觸。因?yàn)榧訜崞髟?設(shè)計(jì)上的缺陷，導(dǎo)致地線與金屬底座接觸不夠完好。由于整個(gè)加熱器的表面材 料是陶瓷，地線插入加熱器的金屬底座里直接與金屬底座接觸，且加熱器是通 過(guò)金屬底座固定在機(jī)臺(tái)上與機(jī)臺(tái)的外殼接觸。且加熱器是通過(guò)金屬底座固定在 機(jī)臺(tái)上與機(jī)臺(tái)的外殼接觸。如果地線與金屬底座接觸不是非常密合，那么在長(zhǎng) 時(shí)間的HF/RF的侵蝕下會(huì)不斷的產(chǎn)生局部范圍的擊穿，導(dǎo)致地線和加熱器底座 的接觸面形成導(dǎo)電性性不良的氧化膜，因此高頻電流在經(jīng)過(guò)此接觸電阻比較高 的點(diǎn)時(shí)，部分能量就消耗在此處，如果還有不定期的擊穿發(fā)生在此處，那么表 現(xiàn)在燃燒室里面的現(xiàn)象就是HF/RF反射能量不穩(wěn)定，生產(chǎn)出來(lái)的薄膜就會(huì)有問(wèn) 題，在這種情況下，只能選擇更換新的加熱器，而加熱器的價(jià)格昂貴，增加了 企業(yè)的運(yùn)行成本。

實(shí)用新型內(nèi)容
為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的加熱器地線和金屬底座接觸不良的問(wèn)題，本實(shí) 用新型提供一種能確保地線和底座緊密接觸的裝置。
為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提出一種加熱器底座，包括底座主體， 其上分布第一插孔、第二插孔和第三插孔，其特征在于在所述底座主體的側(cè)面 開(kāi)螺絲孔，所述螺絲孔和所述第一插孔導(dǎo)通，所述螺絲孔中放置螺絲。
可選的，所述底座主體為金屬材料。
可選的，所述第二插孔和所述第三插孔的內(nèi)側(cè)壁為絕^彖體。 可選的，所述螺絲為無(wú)頭的內(nèi)六角螺絲。 可選的，所述底座為圓柱體結(jié)構(gòu)或長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)。 可選的，所述第一插孔、第二插孔和第三插孔平行放置。 可選的，所述螺絲孔和所述第一插孔相互垂直。
與現(xiàn)有技術(shù)的加熱器底座相比，本實(shí)用新型通過(guò)在底座主體的側(cè)面開(kāi)螺絲 孔，通過(guò)螺絲將地線固定在底座上，確保了電線和底座的緊密接觸，避免了地 線和加熱器底座的基礎(chǔ)面形成導(dǎo)電性不良的氧化膜，從而延長(zhǎng)了加熱器的使用 壽命，為企業(yè)節(jié)約了開(kāi)支。

圖l是現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖2是圖1水平方向的剖面圖3是本發(fā)明加熱器底座的結(jié)構(gòu)示意圖4是圖3水平方向的剖面圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合圖3和圖4以及具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型的加熱器底座作進(jìn)一 步的詳細(xì)說(shuō)明。
'首先，請(qǐng)參考圖3,圖3是本發(fā)明加熱器底座的結(jié)構(gòu)示意圖，圖4是圖3水 平方向的剖面圖， 一種加熱器底座，包括底座主體331，所述底座主體331的材 料為金屬，所述底座主體331為圓柱體或長(zhǎng)方體，用來(lái)承放其上的裝置，底座 主體331上分布有第一插孔120、第二插孔221和第三插孔231，所述第一插孔 120、第二插孔221和第三插孔231平行放置，在插孔中可以插入用作火線或者 地線的電線，其中第二插孔221和第三插孔231的內(nèi)側(cè)壁為絕緣體，因此插入 第二插孔221和第三插孔231的電線是和底座主體331不導(dǎo)通的。第一插孔120 的內(nèi)側(cè)壁沒(méi)有絕緣體，因此，第一插孔120 —般就是用來(lái)放入和底座主體331 相導(dǎo)通的電線的，在所述底座主體331的側(cè)面開(kāi)螺絲孔411，所述螺絲孔411和 所述第一插孔120導(dǎo)通，所述螺絲孔中放置螺絲431，所述螺絲431為無(wú)頭的內(nèi) 六角螺絲，所述螺絲孔411和所述第一插孔120相互垂直，朝第一插孔120的 方向擰螺絲431,使得螺絲431緊緊的將第一插孔120中的電線壓在第一插孔 120的內(nèi)壁上。
當(dāng)加熱器作為燃燒室的加熱器時(shí)，同時(shí)也是燃燒室的電場(chǎng)的陽(yáng)極，它是整 個(gè)燃燒室最為關(guān)鍵的部位之一，將本發(fā)明一種底座作為加熱器的底座，如圖所 示，首先將螺絲往遠(yuǎn)離第一插孔120的方向擰，將加熱器的第一加熱線121插 入第二插孔221,將第二加熱線131插入第三插孔231中，而將地線111插入第 一插孔120，待地線lll插好后，將螺絲孔411中的螺絲431朝第一插孔120的 方向擰螺絲431，使得螺絲431緊緊的將第一插孔120中的地線111壓在第一插 孔120的內(nèi)壁上，此時(shí)，地線111與加熱器金屬底座主體331直接接觸，避免了地線和加熱器底座的基礎(chǔ)面形成導(dǎo)電性不良的氧化膜，從而延長(zhǎng)了加熱器的 使用壽命。
雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型。 本實(shí)用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范 圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動(dòng)與潤(rùn)飾。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求 書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種加熱器底座，包括底座主體，其上分布第一插孔、第二插孔和第三插孔，其特征在于在所述底座主體的側(cè)面開(kāi)螺絲孔，所述螺絲孔和所述第一插孔導(dǎo)通，所述螺絲孔中放置螺絲。
2. 根據(jù)權(quán)矛f要求1所述一種加熱器底座，其特征在于所述底座主體為金屬 材料。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種加熱器底座，其特征在于所述第二插孔和所述 第三插孔的內(nèi)側(cè)壁為絕緣體。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述一種加熱器底座，其特征在于所述螺絲為無(wú)頭的內(nèi) 六角螺絲。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種加熱器底座，其特征在于所述底座為圓柱體結(jié) 構(gòu)或長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種加熱器底座，其特征在于所述第一插孔、第二 插孔和第三插孔平行放置。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述一種加熱器底座，其特征在于所述螺絲孔和所述第 一插孔相互垂直。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種加熱器底座，包括底座主體，其上分布第一插孔、第二插孔和第三插孔，其特征在于在所述底座主體的側(cè)面開(kāi)螺絲孔，所述螺絲孔和所述第一插孔導(dǎo)通，所述螺絲孔中放置螺絲，本實(shí)用新型加熱器底座結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，能很好的解決了加熱器接地不良的問(wèn)題，保證了整個(gè)機(jī)器的良好運(yùn)行。
文檔編號(hào)H01L21/316GK201321491SQ200820156368
公開(kāi)日2009年10月7日 申請(qǐng)日期2008年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月1日
發(fā)明者吳軍海, 吳新江 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司