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      可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置及操作方法

      文檔序號(hào):7183830閱讀:246來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置及操作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及一種通風(fēng)裝置,更具體地涉及一種可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置及操作
      方法。
      背景技術(shù)
      隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展,近年來(lái)薄膜半導(dǎo)體市場(chǎng)蓬勃發(fā)展,使薄膜半導(dǎo)體應(yīng)用 領(lǐng)域逐漸深入,其趨勢(shì)朝向大面積擴(kuò)展,如采用玻璃基板的薄膜太陽(yáng)能電池器件以發(fā)展為 llOOmmX 1400mm尺寸為普遍尺寸,再有有機(jī)發(fā)光顯示器件(OLED)面板也由傳統(tǒng)手機(jī)屏到 大面積的電視、便攜電腦顯示屏的應(yīng)用擴(kuò)展,其尺寸也達(dá)到了 370mmX470mm以上,諸如此 類的薄膜半導(dǎo)體產(chǎn)品都需要經(jīng)過(guò)許多不同的鍍膜制程或其集成,在許多工序中往往涉及到 利用通風(fēng)裝置對(duì)玻璃等薄膜基板進(jìn)行加熱的環(huán)節(jié),現(xiàn)有的通風(fēng)裝置利用熱風(fēng)循環(huán)對(duì)玻璃等 薄板進(jìn)行加熱,但該加熱技術(shù)只能局限在單向循環(huán)的加熱,加熱過(guò)程容易導(dǎo)致被加熱物件 出現(xiàn)溫度沿?zé)犸L(fēng)流向產(chǎn)生梯度變化,不能實(shí)現(xiàn)均勻加熱的目的。 因此,有必要提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)雙向交叉循環(huán),溫度處理均勻的可控雙向交叉循 環(huán)通風(fēng)裝置及操作方法。

      發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明的目的之一是提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)雙向交叉循環(huán),溫度處理均勻的可控雙向 交叉循環(huán)通風(fēng)裝置。 本發(fā)明的另一目的是提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)雙向交叉循環(huán),溫度處理均勻的可控雙向 交叉循環(huán)通風(fēng)裝置的操作方法。 為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明的技術(shù)方案為提供一種可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置,包 括左通風(fēng)管、右通風(fēng)管、中空密閉的腔室以及設(shè)置在所述腔室外的進(jìn)風(fēng)風(fēng)道、出風(fēng)風(fēng)道、風(fēng) 機(jī),所述左通風(fēng)管、右通風(fēng)管分別伸入所述腔室內(nèi)并位于所述腔室內(nèi)的兩側(cè),所述左通風(fēng)管 與右通風(fēng)管相對(duì)應(yīng)的側(cè)壁上分別開設(shè)有通風(fēng)孔,所述進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與所述出風(fēng)風(fēng)道并聯(lián)設(shè)置, 所述進(jìn)風(fēng)風(fēng)道包括相互連通的左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道,所述出風(fēng)風(fēng)道包括相互連通的左 出風(fēng)風(fēng)道與右出風(fēng)風(fēng)道,所述左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與所述左出風(fēng)風(fēng)道通過(guò)風(fēng)道接口同時(shí)與所述左通 風(fēng)管連通,所述右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與所述左出風(fēng)風(fēng)道通過(guò)風(fēng)道接口同時(shí)與所述右通風(fēng)管連通,所 述風(fēng)機(jī)具有出風(fēng)口與進(jìn)風(fēng)口 ,所述風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口與所述進(jìn)風(fēng)風(fēng)道連通并位于所述左進(jìn)風(fēng)風(fēng) 道與所述右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道之間,所述風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口與所述出風(fēng)風(fēng)道連通并位于所述左出風(fēng)風(fēng)道 與所述右出風(fēng)風(fēng)道之間,所述風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口與所述進(jìn)風(fēng)風(fēng)道之間設(shè)有進(jìn)風(fēng)閥門組件,所述 風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口與所述出風(fēng)風(fēng)道之間設(shè)有出風(fēng)閥門組件,所述腔室、左通風(fēng)管、左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道、 風(fēng)機(jī)、右出風(fēng)風(fēng)道、右通風(fēng)管相互連通形成順時(shí)針循環(huán)回路,所述腔室、右通風(fēng)管、右進(jìn)風(fēng)風(fēng) 道、風(fēng)機(jī)、左出風(fēng)風(fēng)道、左通風(fēng)管相互連通形成逆時(shí)針循環(huán)回路。 較佳地,所述風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口朝下安裝在所述進(jìn)風(fēng)風(fēng)道中央處,所述風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口 側(cè)裝在出風(fēng)風(fēng)道的中央處,將所述左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道、左出風(fēng)風(fēng)道與右出風(fēng)風(fēng)道對(duì)稱分割形成,使通路勻稱氣流流通更均勻。 作為本發(fā)明的一實(shí)施例,所述進(jìn)風(fēng)閥門組件為兩開閉式閥門,所述開閉式閥門分
      別設(shè)置在所述左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口之間、右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口之間;所述出
      風(fēng)閥門組件為一導(dǎo)向閥門,所述導(dǎo)向閥門設(shè)置在所述風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口處,通過(guò)改變所述開閉
      式閥門與所述導(dǎo)向閥門的狀態(tài),選擇連通不同的風(fēng)道,實(shí)現(xiàn)通風(fēng)的雙向交叉循環(huán)。 作為本發(fā)明的另一實(shí)施例,所述進(jìn)風(fēng)閥門組件為兩開閉式閥門,所述開閉式閥門
      分別設(shè)置在所述左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口之間、右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口之間;所述
      出風(fēng)閥門組件為兩開閉式閥門,所述開閉式閥門分別設(shè)置在所述左出風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的出風(fēng)
      口之間、右出風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口之間,通過(guò)改變所述開閉式閥門的組合狀態(tài),選擇連通
      不同的風(fēng)道,實(shí)現(xiàn)通風(fēng)的雙向交叉循環(huán)。 較佳地,所述可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置還包括電路控制單元,所述進(jìn)風(fēng)風(fēng)閥組 件、出風(fēng)風(fēng)閥組件及風(fēng)機(jī)分別與所述電路控制單元電連接,通過(guò)特定的電路控制,可定時(shí)控 制通風(fēng)裝置的雙向交叉循環(huán)。 較佳地,所述通風(fēng)孔的孔徑沿通風(fēng)管的伸入方向逐漸增大,實(shí)現(xiàn)沿通風(fēng)管出風(fēng)流
      量、壓力均勻,進(jìn)一步提高用于溫度處理的氣流的均勻性,提高產(chǎn)品加工質(zhì)量。 較佳地,所述左通風(fēng)管與右通風(fēng)管位于同一平面,使左通風(fēng)管與右通風(fēng)管上的所
      述通風(fēng)孔相向且正對(duì),左通風(fēng)管與右通風(fēng)管之間形成處理區(qū)。 較佳地,所述風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口設(shè)有加熱絲或充有凍水的盤管,氣流經(jīng)過(guò)風(fēng)機(jī)的出風(fēng) 口的加熱絲的加熱或凍水盤管的冷卻,形成相應(yīng)的熱氣流或冷氣流,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)腔室內(nèi)需 處理物件的熱處理或冷處理。 相應(yīng)地,本發(fā)明還提供了如上所述的可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置的操作方法,包
      括以下步驟控制進(jìn)風(fēng)閥門組件使左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口連通,并控制出風(fēng)閥門組件
      使右出風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口連通,使得所述腔室、左通風(fēng)管、左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道、風(fēng)機(jī)、右出風(fēng)風(fēng)
      道、右通風(fēng)管相互連通形成順時(shí)針循環(huán)回路;控制進(jìn)風(fēng)閥門組件使右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的進(jìn)
      風(fēng)口連通,并控制出風(fēng)閥門組件使左出風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口連通,使得所述腔室、左通風(fēng)
      管、左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道、風(fēng)機(jī)、右出風(fēng)風(fēng)道、右通風(fēng)管相互連通形成逆時(shí)針循環(huán)回路。 與現(xiàn)有技術(shù)相比,由于本發(fā)明的可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置采用風(fēng)機(jī)作為進(jìn)出風(fēng)
      動(dòng)力源,出風(fēng)風(fēng)道與進(jìn)風(fēng)風(fēng)道并聯(lián)設(shè)置且兩端通過(guò)風(fēng)道接口連通,所述風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口與所
      述進(jìn)風(fēng)風(fēng)道之間設(shè)有進(jìn)風(fēng)閥門組件,所述風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口與所述出風(fēng)風(fēng)道之間設(shè)有出風(fēng)閥門
      組件,通過(guò)控制所述進(jìn)風(fēng)閥門組件、出風(fēng)閥門組件,使所述腔室、左通風(fēng)管、左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道、風(fēng)
      機(jī)、右出風(fēng)風(fēng)道、右通風(fēng)管相互連通形成順時(shí)針循環(huán)回路,控制所述進(jìn)風(fēng)閥門組件、出風(fēng)閥
      門組件使其處于另一狀態(tài),使所述腔室、右通風(fēng)管、右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道、風(fēng)機(jī)、左出風(fēng)風(fēng)道、左通風(fēng)
      管相互連通形成逆時(shí)針循環(huán)回路,通過(guò)選擇進(jìn)風(fēng)閥門組件與出風(fēng)閥門組件的狀態(tài)實(shí)現(xiàn)可控
      雙向交叉循環(huán),從而達(dá)到進(jìn)行均勻溫度處理的目的。相應(yīng)地,本發(fā)明的可控雙向交叉循環(huán)通
      風(fēng)裝置的操作方法能夠?qū)崿F(xiàn)氣流的雙向交叉循環(huán),進(jìn)行均勻的溫度處理。


      圖1為本發(fā)明可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
      圖2為圖1所示可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置的原理示意圖。
      圖3為圖1所示可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置另一狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖4為圖3所示可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置的原理示意圖。 圖5為圖1所示可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置的原理方框圖。 圖6為本發(fā)明可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置的操作方法的流程圖。 圖7為本發(fā)明可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置另一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖8為圖7所示可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置的原理方框圖。
      具體實(shí)施例方式
      為了詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征,以下結(jié)合實(shí)施方式并配合附圖作進(jìn) 一步說(shuō)明,其中不同圖中相同的標(biāo)號(hào)代表相同的部件。如上所述,本發(fā)明公開了一種可控雙 向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置,適用于氣流配合使用,對(duì)腔室內(nèi)的豎直置放的玻璃薄板或其他待處 理物件進(jìn)行溫度處理,采用風(fēng)機(jī)作為進(jìn)出風(fēng)動(dòng)力源,出風(fēng)風(fēng)道與進(jìn)風(fēng)風(fēng)道并聯(lián)設(shè)置,通過(guò)選 擇進(jìn)風(fēng)閥門組件與出風(fēng)閥門組件的不同狀態(tài)實(shí)現(xiàn)可控雙向交叉循環(huán),從而達(dá)到進(jìn)行均勻溫 度處理的目的。 參考圖l至圖4,本發(fā)明一實(shí)施例的可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置包括左通風(fēng)管 200a、右通風(fēng)管200b、中空密閉的腔室100以及設(shè)置在腔室100外的進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300、出風(fēng)風(fēng) 道400、風(fēng)機(jī)600。左通風(fēng)管200a、右通風(fēng)管200b分別伸入腔室100內(nèi)并位于腔室100內(nèi)的 兩側(cè)且位于同一平面,左通風(fēng)管200a與右通風(fēng)管200b之間形成處理區(qū)210,玻璃薄板或其 他處理物件110豎直置放在處理區(qū)210中,左通風(fēng)管200a與右通風(fēng)管200b相對(duì)應(yīng)的側(cè)壁上 分別開設(shè)有通風(fēng)孔220,左通風(fēng)管200a與右通風(fēng)管200b上的通風(fēng)孔220相向且正對(duì),該通 風(fēng)孔220的孔徑沿通風(fēng)管的伸入方向逐漸增大,實(shí)現(xiàn)沿通風(fēng)管出風(fēng)流量、壓力均勻,進(jìn)一步 提高用于溫度處理的氣流的均勻性,提高產(chǎn)品加工質(zhì)量。進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300與出風(fēng)風(fēng)道400呈 長(zhǎng)直管狀并聯(lián)設(shè)置,風(fēng)機(jī)600具有進(jìn)風(fēng)口 610與出風(fēng)口 620,風(fēng)機(jī)600的進(jìn)風(fēng)口 610朝下安 裝在進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300中央部位的上方,風(fēng)機(jī)600的出風(fēng)口 620安裝在出風(fēng)風(fēng)道400側(cè)壁上的 中央處,進(jìn)風(fēng)口 610將進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300對(duì)稱分割成相互連通的左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300a與右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道 300b,出風(fēng)口 620將出風(fēng)風(fēng)道400分割成相互連通的左出風(fēng)風(fēng)道400a與右出風(fēng)風(fēng)道400b, 左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300a與左出風(fēng)風(fēng)道400a通過(guò)左風(fēng)道接口 500a同時(shí)與左通風(fēng)管200a連通,右 進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300b與左出風(fēng)風(fēng)道400b通過(guò)右風(fēng)道接口 500b同時(shí)與右通風(fēng)管200b連通,風(fēng)機(jī) 600的進(jìn)風(fēng)口 610與進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300連通并位于左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300a與右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300b之間, 風(fēng)機(jī)600的出風(fēng)口 620與出風(fēng)風(fēng)道400連通并位于左出風(fēng)風(fēng)道400a與右出風(fēng)風(fēng)道400b之 間。風(fēng)機(jī)600的進(jìn)風(fēng)口 610與所述進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300之間設(shè)有進(jìn)風(fēng)閥門組件,風(fēng)機(jī)600的出風(fēng) 口 620與出風(fēng)風(fēng)道400之間設(shè)有出風(fēng)閥門組件,在本實(shí)施例中,所述進(jìn)風(fēng)閥門組件包括第一 開閉式閥門700a、第二開閉式閥門700b,出風(fēng)閥門組件包括一導(dǎo)向閥門810。第一開閉式 閥門700a、第二開閉式閥門700b分別對(duì)稱設(shè)置,第一開閉式閥門700a設(shè)置在左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道 300a與風(fēng)機(jī)600的進(jìn)風(fēng)口 610之間,第二開閉式閥門700b設(shè)置在右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300b與風(fēng)機(jī) 600的進(jìn)風(fēng)口 610之間;導(dǎo)向閥門810設(shè)置在風(fēng)機(jī)600的出風(fēng)口 600處,該導(dǎo)向閥門810呈 弧形并可90°旋轉(zhuǎn),通過(guò)旋轉(zhuǎn)導(dǎo)向閥門810實(shí)現(xiàn)左出風(fēng)風(fēng)道400a與風(fēng)機(jī)600的出風(fēng)口 620 連通同時(shí)右出風(fēng)風(fēng)道400b與風(fēng)機(jī)600的出風(fēng)口 620閉合不連通,或是右出風(fēng)風(fēng)道400b與風(fēng) 機(jī)600的出風(fēng)口 620連通同時(shí)左出風(fēng)風(fēng)道400a與風(fēng)機(jī)600的出風(fēng)口 620閉合不連通,通過(guò)
      6改變所述第一開閉式閥門700a、第二開閉式閥門700b與所述導(dǎo)向閥門810的狀態(tài),選擇連 通不同的風(fēng)道,實(shí)現(xiàn)通風(fēng)的方向的轉(zhuǎn)換,使所述腔室100、左通風(fēng)管200a、左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300a、 風(fēng)機(jī)600、右出風(fēng)風(fēng)道400b、右通風(fēng)管200b相互連通形成順時(shí)針循環(huán)回路,所述腔室100、右 通風(fēng)管200b、右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300b、風(fēng)機(jī)600、左出風(fēng)風(fēng)道400a、左通風(fēng)管200a相互連通形成逆 時(shí)針循環(huán)回路。 參考圖5,所述可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置還包括電路控制單元900,第一開閉式 風(fēng)閥700a、第二開閉式閥門700b、導(dǎo)向風(fēng)閥810及風(fēng)機(jī)600分別與電路控制單元900電連 接,通過(guò)特定的電路控制,可定時(shí)控制通風(fēng)裝置的雙向交叉循環(huán),實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制。
      在本發(fā)明的實(shí)施例中,可在風(fēng)機(jī)600的出風(fēng)口 620或左風(fēng)道接口 500a、右風(fēng)道接口 500b處設(shè)置加熱絲(圖未示),氣流經(jīng)過(guò)風(fēng)機(jī)600的出風(fēng)口 620或風(fēng)道接口 500a、500b時(shí), 經(jīng)加熱絲加熱,形成熱氣流,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)腔室100內(nèi)待處理物件110的熱處理。同樣地,也 可以在風(fēng)機(jī)600的出風(fēng)口 620或風(fēng)道接口 500a、500b處設(shè)置充有凍水的盤管,氣流經(jīng)過(guò)風(fēng) 機(jī)600的出風(fēng)口 620或風(fēng)道接口 500a、500b時(shí),經(jīng)凍水盤管的冷卻,形成冷氣流,從而實(shí)現(xiàn) 對(duì)腔室內(nèi)需處理物件的冷處理。 參考圖6,本發(fā)明所述的可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)系統(tǒng)的操作方法包括以下步驟
      步驟S1 :控制進(jìn)風(fēng)閥門組件使左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口連通,并控制出風(fēng)閥門 組件使右出風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口連通,使得所述腔室、左通風(fēng)管、左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道、風(fēng)機(jī)、右出 風(fēng)風(fēng)道、右通風(fēng)管相互連通形成順時(shí)針循環(huán)回路; 步驟S2 :控制進(jìn)風(fēng)閥門組件使右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口連通,并控制出風(fēng)閥門 組件使左出風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口連通,使得所述腔室、左通風(fēng)管、左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道、風(fēng)機(jī)、右出 風(fēng)風(fēng)道、右通風(fēng)管相互連通形成逆時(shí)針循環(huán)回路。 詳細(xì)地,第一實(shí)施例的可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置的工作原理如下所述參考圖 1,通過(guò)控制電路單元900打開第二開閉式閥門700b、關(guān)閉第一開閉式閥門700a,同時(shí)控制 導(dǎo)向閥門810旋轉(zhuǎn)至與左出風(fēng)風(fēng)道400a連通的位置上,此時(shí),如圖l、圖2中箭頭方向所示, 腔室100內(nèi)的氣流通過(guò)右通風(fēng)管200b上的通風(fēng)孔220進(jìn)入右通風(fēng)管200b,該氣流通過(guò)右風(fēng) 道接口 500b流入右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300b,由第二開閉式閥門700b進(jìn)入風(fēng)機(jī)600的進(jìn)風(fēng)口 610,通 過(guò)風(fēng)機(jī)600的出風(fēng)口 620處的導(dǎo)向閥門810進(jìn)入左出風(fēng)風(fēng)道400a,再經(jīng)過(guò)左風(fēng)道接口 500a 進(jìn)入左通氣管200a,經(jīng)左通氣管200a上的通氣孔220將氣流吹向腔室100內(nèi)的待處理物件 110,最后氣流流過(guò)待處理物件110后由右通氣管200b上的通氣孔220進(jìn)入右通氣管200b, 形成逆時(shí)針的循環(huán)的閉合回路。 一定時(shí)間后,參考圖3,通過(guò)控制電路單元900關(guān)閉第二 開閉式閥門700b、打開第一開閉式閥門700a,同時(shí)控制導(dǎo)向閥門810旋轉(zhuǎn)至與右出風(fēng)風(fēng)道 400b連通的位置上,此時(shí),腔室100內(nèi)的氣流通過(guò)左通風(fēng)管200a上的通風(fēng)孔220進(jìn)入左通 風(fēng)管200a,該氣流通過(guò)左風(fēng)道接口 500a流入左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300a,由第一開閉式閥門700a進(jìn) 入風(fēng)機(jī)600的進(jìn)風(fēng)口 610,通過(guò)風(fēng)機(jī)600的出風(fēng)口 620處的導(dǎo)向閥門810進(jìn)入右出風(fēng)風(fēng)道 400b,再經(jīng)過(guò)右風(fēng)道接口 500b進(jìn)入右通氣管200b,經(jīng)右通氣管200b上的通氣孔220將氣 流吹向腔室100內(nèi)的待處理物件IIO,最后氣流流過(guò)待處理物件110后由左通氣管200a上 的通氣孔220進(jìn)入左通氣管200a,形成順時(shí)針的循環(huán)的閉合回路。兩循環(huán)回路的交叉時(shí)間 根據(jù)具體需要設(shè)置定時(shí)轉(zhuǎn)換,如圖5所示通過(guò)電路控制單元900根據(jù)不同工藝要求進(jìn)行不 同的動(dòng)作配合控制,自動(dòng)控制實(shí)現(xiàn)雙向交叉循環(huán),使加熱或冷卻均勻一致,提高產(chǎn)品加工質(zhì)
      7
      圖7為本發(fā)明的另一實(shí)施例,與第一實(shí)施例不同的是,在本實(shí)施例中所述進(jìn)風(fēng)閥 門組件包括第一開閉式閥門700a、第二開閉式閥門700b,出風(fēng)閥門組件包括第三開閉式閥 門820a、第四開閉式閥門820b,第一開閉式閥門700a、第二開閉式閥門700b分別對(duì)稱設(shè)置, 第一開閉式閥門700a設(shè)置在左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300a與風(fēng)機(jī)600的進(jìn)風(fēng)口 610之間;第二開閉式 閥門700b設(shè)置在右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300b與風(fēng)機(jī)600的進(jìn)風(fēng)口 610之間;第三開閉式閥門820a設(shè) 置在左出風(fēng)風(fēng)道400a與風(fēng)機(jī)600的出風(fēng)口 620之間;第四開閉式閥門820b設(shè)置在右出風(fēng) 風(fēng)道400b與風(fēng)機(jī)600的出風(fēng)口 620之間,通過(guò)選擇改變開閉式閥門700a、700b、820a、820b 的組合狀態(tài),選擇連通不同的風(fēng)道,實(shí)現(xiàn)通風(fēng)的雙向交叉循環(huán)。配合參考圖8,該實(shí)施例的可 控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置的工作原理如下所述通過(guò)控制電路單元900打開第二開閉式閥 門700b、關(guān)閉第一開閉式閥門700a,同時(shí)打開第三開閉式閥門820a、關(guān)閉第四開閉式閥門 820b,使所述腔室100、左通風(fēng)管200a、左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300a、風(fēng)機(jī)600、右出風(fēng)風(fēng)道400b、右通 風(fēng)管200b相互連通形成順時(shí)針循環(huán)回路。 一定時(shí)間后,通過(guò)控制電路單元關(guān)閉第二開閉式 閥門700b、打開第一開閉式閥門700a,同時(shí)關(guān)閉第三開閉式閥門820a、打開第四開閉式閥 門820b,使所述腔室100、右通風(fēng)管200b、右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300b、風(fēng)機(jī)600、左出風(fēng)風(fēng)道400a、左 通風(fēng)管200a相互連通形成逆時(shí)針循環(huán)回路。兩循環(huán)回路的氣流的雙向流通原理與第一實(shí) 施例類似,在此不另詳細(xì)描述??梢岳斫獾兀鲞M(jìn)風(fēng)閥門組件也可以采用單個(gè)導(dǎo)向閥門, 配合由兩個(gè)開閉式閥門組成的出風(fēng)閥門組件來(lái)實(shí)現(xiàn),通過(guò)電路控制單元900根據(jù)不同工藝 要求進(jìn)行不同的動(dòng)作配合控制,定時(shí)轉(zhuǎn)換通風(fēng)方向,自動(dòng)控制實(shí)現(xiàn)雙向交叉循環(huán),使加熱或 降溫均勻一致,提高產(chǎn)品加工質(zhì)量。 與現(xiàn)有技術(shù)相比,由于本發(fā)明的可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置采用風(fēng)機(jī)600作為進(jìn) 出風(fēng)動(dòng)力源,出風(fēng)風(fēng)道400與進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300并聯(lián)設(shè)置且兩端通過(guò)風(fēng)道接口連通,所述風(fēng)機(jī) 600的進(jìn)風(fēng)口 610與所述進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300之間設(shè)有進(jìn)風(fēng)閥門組件,所述風(fēng)機(jī)600的出風(fēng)口 620 與所述出風(fēng)風(fēng)道400之間設(shè)有出風(fēng)閥門組件,通過(guò)控制所述進(jìn)風(fēng)閥門組件、出風(fēng)閥門組件, 使所述腔室100、左通風(fēng)管200a、左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300a、風(fēng)機(jī)600、右出風(fēng)風(fēng)道400b、右通風(fēng)管 200b相互連通形成順時(shí)針循環(huán)回路,控制所述進(jìn)風(fēng)閥門組件、出風(fēng)閥門組件使其處于另一 狀態(tài),使所述腔室100 、右通風(fēng)管200b 、右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道300b 、風(fēng)機(jī)600 、左出風(fēng)風(fēng)道400a、左通風(fēng) 管200a相互連通形成逆時(shí)針循環(huán)回路,通過(guò)選擇進(jìn)風(fēng)閥門組件與出風(fēng)閥門組件的狀態(tài)實(shí) 現(xiàn)可控雙向交叉循環(huán),從而達(dá)到進(jìn)行均勻溫度處理的目的。 以上所揭露的僅為本發(fā)明的較佳實(shí)例而已,當(dāng)然不能以此來(lái)限定本發(fā)明之權(quán)利范 圍,因此依本發(fā)明權(quán)利要求所作的等同變化,仍屬于本發(fā)明所涵蓋的范圍。
      權(quán)利要求
      一種可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置,其特征在于,包括左通風(fēng)管、右通風(fēng)管、中空密閉的腔室以及設(shè)置在所述腔室外的進(jìn)風(fēng)風(fēng)道、出風(fēng)風(fēng)道、風(fēng)機(jī),所述左通風(fēng)管、右通風(fēng)管分別伸入所述腔室內(nèi)并位于所述腔室內(nèi)的兩側(cè),所述左通風(fēng)管與右通風(fēng)管相對(duì)應(yīng)的側(cè)壁上分別開設(shè)有通風(fēng)孔,所述進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與所述出風(fēng)風(fēng)道并聯(lián)設(shè)置,所述進(jìn)風(fēng)風(fēng)道包括相互連通的左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道,所述出風(fēng)風(fēng)道包括相互連通的左出風(fēng)風(fēng)道與右出風(fēng)風(fēng)道,所述左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與所述左出風(fēng)風(fēng)道通過(guò)風(fēng)道接口同時(shí)與所述左通風(fēng)管連通,所述右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與所述左出風(fēng)風(fēng)道通過(guò)風(fēng)道接口同時(shí)與所述右通風(fēng)管連通,所述風(fēng)機(jī)具有出風(fēng)口與進(jìn)風(fēng)口,所述風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口與所述進(jìn)風(fēng)風(fēng)道連通并位于所述左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與所述右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道之間,所述風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口與所述出風(fēng)風(fēng)道連通并位于所述左出風(fēng)風(fēng)道與所述右出風(fēng)風(fēng)道之間,所述風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口與所述進(jìn)風(fēng)風(fēng)道之間設(shè)有進(jìn)風(fēng)閥門組件,所述風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口與所述出風(fēng)風(fēng)道之間設(shè)有出風(fēng)閥門組件,所述腔室、左通風(fēng)管、左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道、風(fēng)機(jī)、右出風(fēng)風(fēng)道、右通風(fēng)管相互連通形成順時(shí)針循環(huán)回路,所述腔室、右通風(fēng)管、右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道、風(fēng)機(jī)、左出風(fēng)風(fēng)道、左通風(fēng)管相互連通形成逆時(shí)針循環(huán)回路。
      2. 如權(quán)利要求1所述的可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置,其特征在于,所述風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口 朝下安裝在所述進(jìn)風(fēng)風(fēng)道中央處,所述風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口側(cè)裝在出風(fēng)風(fēng)道的中央處。
      3. 如權(quán)利要求1所述的可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置,其特征在于,所述進(jìn)風(fēng)閥門組件 為兩開閉式閥門,所述開閉式閥門分別設(shè)置在所述左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口之間、右進(jìn) 風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口之間。
      4. 如權(quán)利要求3所述的可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置,其特征在于,所述出風(fēng)閥門組件 為一導(dǎo)向閥門,所述導(dǎo)向閥門設(shè)置在所述風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口處。
      5. 如權(quán)利要求3所述的可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置,其特征在于,所述出風(fēng)閥門組件 為兩開閉式閥門,所述開閉式閥門分別設(shè)置在所述左出風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口之間、右出 風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口之間。
      6. 如權(quán)利要求1所述的可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置,其特征在于,所述可控雙向交叉 循環(huán)通風(fēng)裝置還包括電路控制單元,所述進(jìn)風(fēng)風(fēng)閥組件、出風(fēng)風(fēng)閥組件及風(fēng)機(jī)分別與所述 電路控制單元電連接。
      7. 如權(quán)利要求1所述的可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置,其特征在于,所述通風(fēng)孔的孔徑 沿通風(fēng)管的伸入方向逐漸增大。
      8. 如權(quán)利要求1所述的可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置,其特征在于,所述左通風(fēng)管與右 通風(fēng)管位于同一平面。
      9. 如權(quán)利要求1所述的可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置,其特征在于,所述風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口 設(shè)有加熱絲或充有凍水的盤管。
      10. 如權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置的操作方法,其特征 在于,包括以下步驟控制進(jìn)風(fēng)閥門組件使左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口連通,并控制出風(fēng)閥門組件使右出風(fēng) 風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口連通,使得所述腔室、左通風(fēng)管、左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道、風(fēng)機(jī)、右出風(fēng)風(fēng)道、右通 風(fēng)管相互連通形成順時(shí)針循環(huán)回路;控制進(jìn)風(fēng)閥門組件使右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口連通,并控制出風(fēng)閥門組件使左出風(fēng) 風(fēng)道與風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口連通,使得所述腔室、左通風(fēng)管、左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道、風(fēng)機(jī)、右出風(fēng)風(fēng)道、右通風(fēng)管相互連通形成逆時(shí)針循環(huán)回路c
      全文摘要
      本發(fā)明公開了一種可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置,包括左通風(fēng)管、右通風(fēng)管、腔室、風(fēng)機(jī)以及并聯(lián)設(shè)置的進(jìn)風(fēng)風(fēng)道、出風(fēng)風(fēng)道,左通風(fēng)管、右通風(fēng)管分別伸入腔室內(nèi)并位于腔室內(nèi)的兩側(cè),左通風(fēng)管與右通風(fēng)管相對(duì)應(yīng)的側(cè)壁上分別開設(shè)有通風(fēng)孔,風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)口與進(jìn)風(fēng)風(fēng)道連通并位于左進(jìn)風(fēng)風(fēng)道與右進(jìn)風(fēng)風(fēng)道之間,風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口與出風(fēng)風(fēng)道連通并位于的左出風(fēng)風(fēng)道與右出風(fēng)風(fēng)道之間,進(jìn)風(fēng)口與進(jìn)風(fēng)風(fēng)道之間設(shè)有進(jìn)風(fēng)閥門組件,出風(fēng)口與出風(fēng)風(fēng)道之間設(shè)有出風(fēng)閥門組件,通過(guò)控制進(jìn)風(fēng)閥門組件與出風(fēng)閥門組件實(shí)現(xiàn)不同循環(huán)回路的轉(zhuǎn)換,從而實(shí)現(xiàn)氣流的可控雙向交叉循環(huán),達(dá)到進(jìn)行均勻溫度處理的目的。本發(fā)明還公開了所述可控雙向交叉循環(huán)通風(fēng)裝置的操作方法。
      文檔編號(hào)H01L21/00GK101789360SQ20091026673
      公開日2010年7月28日 申請(qǐng)日期2009年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月30日
      發(fā)明者楊明生, 范振華 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司
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