專利名稱：Tft-lcd制造藥液槽及其設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及液晶顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種TFT-IXD制造藥液槽及其設(shè)備。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，薄膜晶體管液晶顯示裝置(Thin Film transistor liquid crystal display，簡(jiǎn)稱TFT IXD)產(chǎn)品發(fā)展十分迅猛，越來(lái)越多高品質(zhì)的薄膜晶體管液晶顯示器逐漸 上市，其應(yīng)用領(lǐng)域也不斷拓寬。目前TFT-IXD制造藥液槽中的液位高度一般采用安裝在與藥液槽相聯(lián)通的檢測(cè) 管道上的光感傳感器進(jìn)行檢測(cè)(光感傳感器由一發(fā)射器和一接收器組成，發(fā)射器用來(lái)發(fā)生 一定強(qiáng)度的光束，接收器用來(lái)接收發(fā)射器發(fā)出的光強(qiáng)，預(yù)先為接受器光強(qiáng)設(shè)定一閥值，當(dāng)接 受器接收到的光強(qiáng)小于設(shè)定的閥值時(shí)認(rèn)為檢出)，當(dāng)藥液液面到達(dá)光感傳感器位置時(shí)，液面 會(huì)對(duì)發(fā)生器發(fā)出的光強(qiáng)產(chǎn)生阻擋從而使接收光強(qiáng)變小，既而檢出。發(fā)明人在實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的技術(shù)方案時(shí)發(fā)現(xiàn)，現(xiàn)有技術(shù)的TFT-LCD制造藥液槽及 其設(shè)備至少存在以下缺陷由于設(shè)備的藥液槽中的藥液在高溫加熱、循環(huán)機(jī)泵、藥液槽回流 的作用下會(huì)產(chǎn)生大量氣泡，該氣泡會(huì)順著檢測(cè)管道向上運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而使藥液槽的水位檢測(cè)中 不該檢出的傳感器也為檢出狀態(tài)，導(dǎo)致設(shè)備報(bào)警，嚴(yán)重影響設(shè)備駕動(dòng)率
實(shí)用新型內(nèi)容
，本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種TFT-LCD制造藥液槽及其設(shè)備，能 夠提高檢測(cè)液位實(shí)際量的能力，并有效降低液位檢測(cè)傳感器的誤報(bào)警，提高設(shè)備駕動(dòng)率。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型TFT-LCD制造藥液槽及其設(shè)備采用如下技術(shù)方 案一種TFT-IXD制造藥液槽，所述藥液槽設(shè)置有與所述藥液槽相連通的檢測(cè)管道， 所述檢測(cè)管道內(nèi)設(shè)置有液位檢測(cè)傳感器和去氣泡裝置。所述液位檢測(cè)傳感器包括自上而下順序設(shè)置的溢出報(bào)警傳感器、供給完成傳感 器、補(bǔ)給完成傳感器、補(bǔ)給開始傳感器、泵機(jī)啟動(dòng)傳感器和泵機(jī)保護(hù)傳感器。所述液位檢測(cè)傳感器為光感傳感器。所述去氣泡裝置包括浮漂裝置，所述浮漂裝置的密度小于所述藥液槽內(nèi)盛放的 藥液的密度。所述浮漂裝置的高度大于所述檢測(cè)管道底部與所述藥液槽底部的距離。所述浮漂裝置包括浮漂頂部和浮漂底部，所述浮漂頂部為圓柱體或棱柱體；所 述浮漂底部為圓柱體、棱柱體或圓錐體。所述浮漂頂部的尺寸大于所述浮漂底部的尺寸，所述浮漂頂部的尺寸略小于所述 檢測(cè)管道的內(nèi)徑尺寸。所述去氣泡裝置還包括設(shè)置在所述檢測(cè)管道上側(cè)的空氣吹嘴。[0015]所述空氣吹嘴包括設(shè)置在與所述藥液槽連接處的吹嘴和與外部動(dòng)力空氣供給管 道相連接的供氣管道。一種TFT-IXD制造設(shè)備，包括儲(chǔ)液箱和藥液槽，所述藥液槽設(shè)置有與所述藥液槽 相連通的檢測(cè)管道，所述檢測(cè)管道內(nèi)設(shè)置有液位檢測(cè)傳感器和去氣泡裝置。 本實(shí)用新型提供的TFT-LCD制造藥液槽及其設(shè)備通過(guò)在檢測(cè)管道內(nèi)設(shè)置去氣泡 裝置以及數(shù)個(gè)液位檢測(cè)傳感器，提高了檢測(cè)液位實(shí)際量的能力，使檢測(cè)更加安全可靠，有效 降低液位檢測(cè)中誤報(bào)警的發(fā)生，提高設(shè)備駕動(dòng)率。

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例 描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新 型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根 據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例TFT-IXD制造藥液槽的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例TFT-IXD制造設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖2中虛線部分的局部放大示意圖；圖4為本實(shí)用新型漂浮裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明1-藥液槽；11-排放管道； 12-藥液供給管道；13-溢出管道；2-檢測(cè)管道； 3-液位檢測(cè)傳感器；4-儲(chǔ)液箱； 41-供給管道； 42-回流管道；5-浮漂裝置； 51-浮漂頂部； 52-浮漂底部；6-空氣吹嘴； 61-吹嘴；62-供氣管道。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種TFT-LCD制造藥液槽及其設(shè)備，能夠提高檢測(cè)液位實(shí) 際量的能力，并有效降低液位檢測(cè)傳感器的誤報(bào)警，提高設(shè)備駕動(dòng)率。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例TFT-LCD制造藥液槽及其設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)描述。實(shí)施例一本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種TFT-IXD制造藥液槽，如圖1所示，所述藥液槽1設(shè)置 有與所述藥液槽1相連通的檢測(cè)管道2，所述檢測(cè)管道2內(nèi)設(shè)置有液位檢測(cè)傳感器3和去氣 泡裝置。由于檢測(cè)管道2與藥液槽1相連通，因此，檢測(cè)管道2與藥液槽1內(nèi)的藥液的液 位相同，設(shè)置液位檢測(cè)傳感器實(shí)現(xiàn)換藥液設(shè)置、小量補(bǔ)給設(shè)置、溢出以及泵機(jī)保護(hù)的報(bào)警指 示；去氣泡裝置能夠有效地去除檢測(cè)管道2內(nèi)產(chǎn)生的氣泡，防止液位檢測(cè)傳感器誤報(bào)警。本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種TFT-IXD制造設(shè)備，如圖2所示，該設(shè)備包括儲(chǔ)液箱 4和藥液槽1，所述藥液槽1設(shè)置有與所述藥液槽1相連通的檢測(cè)管道2，所述檢測(cè)管道2內(nèi) 設(shè)置有液位檢測(cè)傳感器3和去氣泡裝置。由于檢測(cè)管道2與藥液槽1相連通，因此，檢測(cè)管道2與藥液槽1內(nèi)的藥液的液位相同，設(shè)置液位檢測(cè)傳感器實(shí)現(xiàn)換藥液設(shè)置、小量補(bǔ)給設(shè)置、溢出以及泵機(jī)保護(hù)的報(bào)警指 示；去氣泡裝置能夠有效地去除檢測(cè)管道2內(nèi)產(chǎn)生的氣泡，防止液位檢測(cè)傳感器誤報(bào)警。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的TFT-IXD制造藥液槽及其設(shè)備通過(guò)在檢測(cè)管道內(nèi)設(shè)置 去氣泡裝置以及數(shù)個(gè)液位檢測(cè)傳感器，提高了檢測(cè)液位實(shí)際量的能力，使檢測(cè)更加安全可 靠，有效降低液位檢測(cè)中誤報(bào)警的發(fā)生，提高設(shè)備駕動(dòng)率。實(shí)施例二在實(shí)施例一的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步地，如圖2所示，本實(shí)施例提供的TFT-IXD制造藥液 槽及其設(shè)備的液位檢測(cè)傳感器包括自上而下順序設(shè)置的溢出報(bào)警傳感器(H)、供給完成 傳感器(M)、補(bǔ)給完成傳感器(S2)、補(bǔ)給開始傳感器(Si)、泵機(jī)啟動(dòng)傳感器(P)和泵機(jī)保護(hù) 傳感器(L)。設(shè)備藥液槽1中的藥液一般都處于高溫，循環(huán)的狀態(tài)中，藥液槽1的供給泵機(jī)不斷 地將藥液槽1中的藥液通過(guò)儲(chǔ)液箱4的供給管道41抽送到儲(chǔ)液箱4中，通過(guò)特定的噴灑器 噴射到玻璃基板表面，從而起到清洗、玻璃、刻蝕等作用，儲(chǔ)液箱4底部設(shè)置有回流管道42， 通過(guò)回流管道42噴射出的藥液能順利的回流到藥液槽1中再次使用。下面通過(guò)TFT-IXD制造藥液槽及其設(shè)備的功能和設(shè)定說(shuō)明本實(shí)施例的技術(shù)方案。換藥液設(shè)置首先，根據(jù)特定的工藝參數(shù)(例如運(yùn)行的玻璃基板的片數(shù)、藥液使用 的時(shí)間)來(lái)決定何時(shí)更換藥液。當(dāng)進(jìn)行藥液更換時(shí)，藥液會(huì)從排放管道11排空，直至泵機(jī) 保護(hù)傳感器(L)燈滅之后若干分鐘(該時(shí)間可以根據(jù)具體情況任意設(shè)定)排放管道11的 閥門關(guān)閉，排藥液完成(泵機(jī)保護(hù)傳感器(L)為藥液槽最低液位顯示)。此后。從藥液供給 管道12供給新的藥液開始注入藥液槽1，直至供給完成傳感器(M)燈亮為止(供給完成傳 感器(M)為藥液槽供給完成顯示)。小量補(bǔ)給設(shè)置當(dāng)設(shè)備運(yùn)行時(shí)，由于玻璃基板的攜帶以及儲(chǔ)液箱4的抽真空(藥液 的揮發(fā))，導(dǎo)致藥液槽1中的藥液量有一定的減少，這種情況下藥液槽1中的藥液要適時(shí)進(jìn) 行小量添加，因此設(shè)置補(bǔ)給開始傳感器(Si)位置為小量補(bǔ)給開始點(diǎn)，在設(shè)備運(yùn)行中，當(dāng)藥 液槽1中藥液的高度低于補(bǔ)給開始傳感器(Si)時(shí)，藥液供給管道12的閥門就會(huì)打開，開始 對(duì)藥液槽1添加藥液。當(dāng)藥液槽1中的藥液高度達(dá)到補(bǔ)給完成傳感器(S2)的高度時(shí)停止 補(bǔ)給(補(bǔ)給完成傳感器(S2)為小量補(bǔ)給完成點(diǎn))，小量補(bǔ)給完成。溢出報(bào)警當(dāng)藥液槽1中的藥液超出溢出報(bào)警傳感器(H)時(shí)，設(shè)備就會(huì)報(bào)藥液槽1 已滿的警報(bào)，同時(shí)過(guò)量的藥液會(huì)順著溢出管道13排走。泵機(jī)保護(hù)當(dāng)泵機(jī)運(yùn)行時(shí)，當(dāng)藥液槽1中的液面低于泵機(jī)啟動(dòng)傳感器(P)時(shí)，循環(huán) 泵機(jī)以及儲(chǔ)液箱4供給泵機(jī)都會(huì)停止運(yùn)行，等待藥液面超過(guò)泵機(jī)啟動(dòng)傳感器(P)位置時(shí)再 次啟動(dòng)，防止空轉(zhuǎn)造成的泵機(jī)損壞。進(jìn)一步地，上述溢出報(bào)警傳感器(H)、供給完成傳感器(M)、補(bǔ)給完成傳感器(S2)、 補(bǔ)給開始傳感器(Si)、泵機(jī)啟動(dòng)傳感器(P)和泵機(jī)保護(hù)傳感器(L)為光感傳感器(光感傳 感器由一發(fā)射器和一接收器組成，發(fā)射器用來(lái)發(fā)生一定強(qiáng)度的光束，接收器用來(lái)接收發(fā)射 器發(fā)出的光強(qiáng)，預(yù)先為接受器光強(qiáng)設(shè)定一閥值，當(dāng)接受器接收到的光強(qiáng)小于設(shè)定的閥值時(shí) 認(rèn)為檢出)。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的TFT-IXD制造藥液槽及其設(shè)備通過(guò)在檢測(cè)管道內(nèi)自上 而下順序設(shè)置溢出報(bào)警傳感器(H)、供給完成傳感器(M)、補(bǔ)給完成傳感器(S2)、補(bǔ)給開始傳感器(Si)、泵機(jī)啟動(dòng)傳感器(P)和泵機(jī)保護(hù)傳感器(L)，提高了檢測(cè)液位實(shí)際量的能力， 使檢測(cè)更加安全可靠，有效降低液位檢測(cè)中誤報(bào)警的發(fā)生，提高設(shè)備駕動(dòng)率。實(shí)施例三 在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上，進(jìn)一步地，如圖3所示，本實(shí)施例提供的TFT-IXD制造藥 液槽及其設(shè)備的去氣泡裝置包括浮漂裝置5，所述浮漂裝置5的密度小于所述藥液槽1內(nèi) 盛放的藥液的密度。設(shè)置浮漂裝置的密度小于藥液槽內(nèi)盛放的藥液的密度，保證浮漂裝置 能夠漂浮在藥液表面，由于浮漂裝置的阻擋作用，可以防止檢測(cè)管道底部的氣泡上竄，從而 確保液位檢測(cè)傳感器檢測(cè)到的藥液槽1內(nèi)藥液液位的精準(zhǔn)。如圖3和圖4所示，進(jìn)一步地，所述浮漂裝置5的高度大于所述檢測(cè)管道2底部與 所述藥液槽1底部的距離。進(jìn)一步地，浮漂頂部51和浮漂底部52，所述浮漂頂部51為圓柱體或棱柱體；所述 浮漂底部52為圓柱體、棱柱體或圓錐體。圖4給出了幾種可行浮漂裝置的形狀的方案，但 不局限于此，任意多變形都是可以采用的，本實(shí)施例優(yōu)選浮漂頂部51為圓柱體，浮漂底部 52為圓柱體。進(jìn)一步地，所述浮漂頂部51的尺寸大于所述浮漂底部52的尺寸，所述浮漂頂部51 的尺寸略小于所述檢測(cè)管道2的內(nèi)徑尺寸。浮漂頂部51盡量吻合檢測(cè)管道2內(nèi)徑的尺寸， 略微小于檢測(cè)管道2的內(nèi)徑尺寸，這樣浮漂裝置5才能有效防止氣泡上串引發(fā)報(bào)警更近一步地，所述去氣泡裝置還包括設(shè)置在所述檢測(cè)管道2上側(cè)的空氣吹嘴6。 當(dāng)浮漂裝置5頂部的檢測(cè)管道2內(nèi)產(chǎn)生氣泡時(shí)，空氣吹嘴6能迅速氣泡其吹破，防止誤報(bào)警 的發(fā)生?？諝獯底熳鳛閭溆醚b置在液位檢測(cè)去除氣泡中能發(fā)揮很大的作用。進(jìn)一步地，所述空氣吹嘴6包括設(shè)置在與所述藥液槽連接處的吹嘴61和與外部動(dòng) 力空氣供給管道相連接的供氣管道62。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的TFT-IXD制造藥液槽及其設(shè)備通過(guò)在檢測(cè)管道內(nèi)設(shè)置 包括浮漂裝置和空氣吹嘴的去氣泡裝置，將檢測(cè)管道內(nèi)的氣泡去除，提高了檢測(cè)液位實(shí)際 量的能力，使檢測(cè)更加安全可靠，有效降低液位檢測(cè)中誤報(bào)警的發(fā)生，提高設(shè)備駕動(dòng)率。以上所述，僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限 于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化 或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)所述以權(quán) 利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種TFT-LCD制造藥液槽，所述藥液槽設(shè)置有與所述藥液槽相連通的檢測(cè)管道，其特征在于，所述檢測(cè)管道內(nèi)設(shè)置有液位檢測(cè)傳感器和去氣泡裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藥液槽，其特征在于，所述液位檢測(cè)傳感器包括自上而下順 序設(shè)置的溢出報(bào)警傳感器、供給完成傳感器、補(bǔ)給完成傳感器、補(bǔ)給開始傳感器、泵機(jī)啟動(dòng) 傳感器和泵機(jī)保護(hù)傳感器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的藥液槽，其特征在于，所述液位檢測(cè)傳感器為光感傳感器
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藥液槽，其特征在于，所述去氣泡裝置包括浮漂裝置，所述 浮漂裝置的密度小于所述藥液槽內(nèi)盛放的藥液的密度。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的藥液槽，其特征在于，所述浮漂裝置的高度大于所述檢測(cè)管 道底部與所述藥液槽底部的距離。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的藥液槽，其特征在于，所述浮漂裝置包括浮漂頂部和浮漂底 部，所述浮漂頂部為圓柱體或棱柱體；所述浮漂底部為圓柱體、棱柱體或圓錐體。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的藥液槽，其特征在于，所述浮漂頂部的尺寸大于所述浮漂底 部的尺寸，所述浮漂頂部的尺寸略小于所述檢測(cè)管道的內(nèi)徑尺寸。
8.根據(jù)權(quán)利要求4-7任一權(quán)利要求所述的藥液槽，其特征在于，所述去氣泡裝置還包 括設(shè)置在所述檢測(cè)管道上側(cè)的空氣吹嘴。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的藥液槽，其特征在于，所述空氣吹嘴包括設(shè)置在與所述藥液 槽連接處的吹嘴和與外部動(dòng)力空氣供給管道相連接的供氣管道。
10.一種TFT-IXD制造設(shè)備，包括儲(chǔ)液箱和藥液槽，所述藥液槽設(shè)置有與所述藥液槽 相連通的檢測(cè)管道，其特征在于，所述檢測(cè)管道內(nèi)設(shè)置有液位檢測(cè)傳感器和去氣泡裝置。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種TFT-LCD制造藥液槽及其設(shè)備，涉及液晶顯示技術(shù)領(lǐng)域，能夠提高檢測(cè)液位實(shí)際量的能力，并有效降低液位檢測(cè)傳感器的誤報(bào)警，提高設(shè)備駕動(dòng)率。TFT-LCD制造藥液槽，所述藥液槽設(shè)置有與所述藥液槽相連通的檢測(cè)管道，所述檢測(cè)管道內(nèi)設(shè)置有液位檢測(cè)傳感器和去氣泡裝置。設(shè)備包括儲(chǔ)液箱和藥液槽，所述藥液槽設(shè)置有與所述藥液槽相連通的檢測(cè)管道，所述檢測(cè)管道內(nèi)設(shè)置有液位檢測(cè)傳感器和去氣泡裝置。本實(shí)用新型應(yīng)用于液晶顯示裝置的生產(chǎn)制造。
文檔編號(hào)H01L21/00GK201589921SQ20092022316
公開日2010年9月22日 申請(qǐng)日期2009年10月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月19日
發(fā)明者吳健, 張宇昊, 章志興 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司