專利名稱：可調(diào)緊基片傳輸裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基片傳輸裝置，尤其涉及一種用于有機(jī)發(fā)光二極管生產(chǎn)線上基片 清洗工藝中，對基片要求平穩(wěn)傳輸?shù)幕瑐鬏斞b置。
背景技術(shù)：
OLED顯示屏就是數(shù)碼產(chǎn)品中的一種新產(chǎn)品，OLED即有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode)，因?yàn)榫邆漭p薄、省電等特性，因此在數(shù)碼產(chǎn)品的顯示屏上得到了 廣泛應(yīng)用，并且具有較大的市場潛力。OLED顯示器材是基于有機(jī)材料的一種電流型半導(dǎo)體 發(fā)光器件。其典型結(jié)構(gòu)是在玻璃基板等薄板上制作一層幾十納米厚的有機(jī)發(fā)光材料作為 發(fā)光層，發(fā)光層上方有一層低功函數(shù)的金屬電極，當(dāng)電極上加有電壓時，發(fā)光層就產(chǎn)生光輻 射；OLED的發(fā)光機(jī)理是從陰極(金屬電極)和陽極(玻璃基板)分別注入電子和空穴，被注 入的電子和空穴在有機(jī)層內(nèi)傳輸，并在發(fā)光層內(nèi)復(fù)合，從而激發(fā)發(fā)光層分子產(chǎn)生單態(tài)激子， 單態(tài)激子輻射衰減而發(fā)光。而OLED顯示器材的制備主要包括以下工藝基板清洗、光刻、基 片處理(包括基片再清洗和前處理)、成膜、封裝、老化測試和IC連接，其中，玻璃基板作為 陽極，其表面狀態(tài)直接影響空穴的注入和有機(jī)薄膜層間的界面電子狀態(tài)及有機(jī)材料的成膜 性，玻璃基板表面如果不清潔，其表面自由能變小，從而導(dǎo)致蒸鍍在上面的空穴傳輸材料發(fā) 生凝聚、成膜不均勻，因此，對于OLED制作過程中的基片清洗工藝就顯得尤為重要，也不可 避免的出現(xiàn)了關(guān)于基片的傳輸問題。目前，常用的基片傳輸裝置包括滾輪、與滾輪固定連接的滾輪軸以及固定滾輪與 滾輪軸的螺釘，所述螺釘沿著滾輪的徑向方向穿過滾輪，并與滾輪軸抵觸，從而將滾輪與滾 輪軸固定在一起，傳輸基片時，所述滾輪軸帶動所述滾輪旋轉(zhuǎn)，所述基片與所述滾輪直接接 觸并在滾輪的轉(zhuǎn)動下傳輸。然而，在傳輸基片時，尤其是在基片清洗工藝中傳輸基片時，現(xiàn) 有的基片傳輸裝置還存在以下問題一方面，由于在基片清洗工藝中，對基片傳輸?shù)钠椒€(wěn)度 要求較高，但是現(xiàn)有的基片傳輸裝置，滾輪與滾輪軸之間僅僅通過螺釘進(jìn)行固定，在滾輪軸 帶動滾輪轉(zhuǎn)動時，滾輪的軸線相對于滾輪軸的軸線會發(fā)生偏移，從而影響滾輪軸與滾輪的 同軸度，導(dǎo)致滾輪與滾輪軸相對運(yùn)動，這時當(dāng)基片在多個滾輪上傳輸時，基片的下表面與基 片下方的滾輪不能完全接觸，使得基片產(chǎn)生震動，又由于基片常采用玻璃基板等薄板制成， 致使基片在傳輸過程中因?yàn)檎饎佣p甚至破碎；另一方面，隨著所述滾輪傳輸裝置長時 間傳輸基片，滾輪與滾輪軸之間因?yàn)槟p產(chǎn)生松動，致使?jié)L輪的軸線相對于滾輪軸的軸線 會發(fā)生偏移而造成的基片磨損、破碎，甚至使得所述滾輪軸不能有效的帶動滾輪轉(zhuǎn)動，影響 基片傳輸?shù)陌踩院托剩辉僖环矫?，在基片清洗過程中，清洗液會對滾輪傳輸裝置的零件 產(chǎn)生腐蝕，不但影響了該滾輪傳輸裝置使用的壽命，而且影響基片傳輸?shù)姆€(wěn)定性。因此，急需一種可用于基片清洗工藝中的、基片傳輸穩(wěn)定、滾輪與滾輪軸之間可調(diào) 緊的基片傳輸裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種可用于基片清洗工藝中的、基片傳輸穩(wěn)定、滾輪與滾輪 軸之間可調(diào)緊的可調(diào)緊基片傳輸裝置。為了實(shí)現(xiàn)上有目的，本發(fā)明公開了一種可調(diào)緊基片傳輸裝置，用于有機(jī)發(fā)光二極 管生產(chǎn)線上的基片清洗工藝，該可調(diào)緊基片傳輸裝置包括滾輪軸、工程塑料制成的滾輪、工 程塑料制成的夾緊套以及工程塑料制成的頂緊螺帽所述滾輪的中心貫穿開有與所述滾 輪軸相配合的內(nèi)孔，所述滾輪的右端中心向外凸出形成連接部，所述連接部外表面具有外 螺紋，所述連接部的中心貫穿開設(shè)有正對所述內(nèi)孔的錐形孔，所述錐形孔與所述內(nèi)孔相互 連通，所述錐形孔的左端孔徑小于右端孔徑；所述夾緊套的中心貫穿開有與所述滾輪軸相 配合的軸孔，所述夾緊套的外表面呈錐形，所述夾緊套的錐度與所述連接部的錐形孔錐度 相同，所述夾緊套設(shè)于所述錐形孔內(nèi)且所述夾緊套的左端直徑大于所述錐形孔的左端孔徑 (孔的直徑)，所述夾緊套的右端直徑大于所述錐形孔的右端孔徑，所述夾緊套上設(shè)有縱向 開口 ；所述頂緊螺帽包括螺母本體，所述螺母本體上貫穿開有與所述連接部的外螺紋相嚙 合的螺孔，所述螺母本體的右端沿徑向收縮形成頂緊擋板，所述頂緊擋板中間開設(shè)有與所 述滾輪軸相配合的通孔，所述通孔正對所述螺孔。較佳地，所述滾輪上設(shè)有環(huán)形的凹槽，所述凹槽內(nèi)安裝有彈性圈，所述彈性圈凸出 于所述滾輪。由于彈性圈具有良好的彈性和柔韌性，基片在傳輸時，直接與所述彈性圈柔性 接觸，一方面對基片有一定地減震作用，有效地防止了基片在傳輸時由于震動而造成的磨 損或破碎，使得基片在滾輪上傳輸平穩(wěn)；另一方面，由于基片是通過彈性圈與所述基片之間 的摩擦力來傳輸?shù)?，而彈性圈的摩擦系?shù)較大，使得彈性圈對基片的傳輸力較大，相對于基 片直接在滾輪上傳輸，基片在彈性圈上傳輸會更加方便快捷，而且還解決了由于滾輪經(jīng)過 長時間磨損，在傳輸基片時滾輪打滑的問題。其中，所述彈性圈可為氟橡膠圈、丁氰橡膠圈 或者其他具有彈性好的橡膠圈。較佳地，所述頂緊螺帽的外表面呈圓柱狀。一方面，圓柱狀的頂緊螺帽使頂緊螺帽 的外部平整，使得OLED清洗基片工藝中的清潔液不易留在頂級螺帽表面，有效地降低了在 OLED清洗基片工藝中清潔液的腐蝕對可調(diào)緊基片傳輸裝置壽命的影響。另一方面，圓柱狀的 頂緊螺帽使得本發(fā)明可調(diào)緊基片傳輸裝置的外形簡單、形狀規(guī)則，便于本發(fā)明的安裝及定位。本發(fā)明所述可調(diào)緊基片傳輸裝置包括滾輪軸、滾輪、夾緊套和頂緊螺帽，所述滾輪 軸依次穿過所述頂緊螺帽、夾緊套和滾輪，所述頂緊螺帽與所述滾輪的連接部螺紋連接，并 將所述夾緊套固定在所述滾輪與所述滾輪軸之間。當(dāng)所述頂緊螺帽旋轉(zhuǎn)鎖緊時，所述頂緊 螺帽沿滾輪軸推動所述夾緊套，在頂緊螺帽的推力下，夾緊套伸入所述滾輪的錐形孔中，夾 緊套的錐形外表面抵觸所述錐形孔，相對的錐形孔對夾緊套的外表面產(chǎn)生相對作用力，在 該壓力作用下，夾緊套的內(nèi)徑變小，以至于本發(fā)明所述夾緊套的外表面與所述錐形孔的錐 面抵觸，所述夾緊套的內(nèi)表面(軸孔)沿徑向夾緊所述滾輪軸。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提 供的可調(diào)緊基片傳輸裝置具有以下有益效果(1)由于本發(fā)明可調(diào)緊基片傳輸裝置的采用錐形的夾緊套對滾輪進(jìn)行定位，使得 滾輪與滾輪軸的中心軸線重合，保證了滾輪軸與滾輪的同軸度，有效地減少了基片傳輸過 程中由于基片正下方的滾輪與基片的下表面不完全接觸而產(chǎn)生的震動，解決了現(xiàn)有技術(shù) 中，基片在傳輸過程中因?yàn)檎饎佣p、破碎的問題，因此，本發(fā)明可調(diào)緊基片傳輸裝置傳
4輸?shù)臐L輪與滾輪軸之間同軸度公差小，基片傳輸平穩(wěn)、安全性好。(2)本發(fā)明采用頂緊螺帽來進(jìn)行調(diào)節(jié)鎖緊，當(dāng)隨著滾輪傳輸裝置長時間傳輸基片， 滾輪、夾緊套與滾輪軸之間因磨損而松動時，可以通過旋轉(zhuǎn)頂緊螺帽，使得夾緊套深入錐形 孔，從而達(dá)到調(diào)緊滾輪的目的，解決了現(xiàn)有技術(shù)中由于滾輪與滾輪軸之間因?yàn)槟p產(chǎn)生松 動，致使基片在傳輸過程中因?yàn)檎饎佣p、破碎，甚至不能傳輸基片的問題；另，采用頂緊 螺帽進(jìn)行調(diào)節(jié)，結(jié)構(gòu)簡單，便于在滾輪軸上安裝操作及定位。因此本發(fā)明可調(diào)緊基片傳輸裝 置滾輪與滾輪軸之間可調(diào)緊，使用壽命長且結(jié)構(gòu)簡單。(3)本發(fā)明可調(diào)緊基片傳輸裝置的滾輪、頂緊螺帽和夾緊套的材質(zhì)均為工程塑料。 由于工程塑料不但具有優(yōu)越的機(jī)械性能和化學(xué)性能，而且具有良好的耐磨性，不但有效避 免了 OLED基片清洗工藝中，清洗液對可調(diào)緊基片傳輸裝置的腐蝕，而且具有耐磨性好，使 用壽命長 ’另，由于工程塑料還具有良好的延展性和強(qiáng)韌性，用工程塑料制作夾緊套，使得 夾緊套具有良好的彈性和漲緊度，有助于保證滾輪與滾輪軸之間的同軸度。因此，本發(fā)明可 調(diào)緊基片傳輸裝置不但可在OLED的基片清洗工藝中使用，而且耐腐蝕磨損、使用壽命長， 結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。(4)本發(fā)明所述頂緊螺帽的頂緊擋板，其通孔的孔徑與轉(zhuǎn)動軸相吻合，當(dāng)頂緊螺帽 裝配時，其一端套設(shè)在連接部外并與連接部的外螺紋嚙合，其另一端的通孔穿過滾輪軸并 將夾緊套保護(hù)在滾輪、頂緊螺帽和滾輪軸形成的封閉腔內(nèi)，有效的避免了 OLED基片清洗工 藝中清洗液對夾緊套的腐蝕，增加了本發(fā)明可調(diào)緊基片傳輸裝置的使用壽命。綜上所述，本發(fā)明可調(diào)緊基片傳輸裝置不但可用于OLED基片清洗工藝，而且結(jié)構(gòu) 簡單穩(wěn)定、基片傳輸平穩(wěn)、使用壽命長、滾輪與滾輪軸之間可調(diào)緊。


圖1是本發(fā)明可調(diào)緊基片傳輸裝置的立體示意圖。圖2是本發(fā)明可調(diào)緊基片傳輸裝置的立體分解圖。圖3是本發(fā)明可調(diào)緊基片傳輸裝置裝配前的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是本發(fā)明可調(diào)緊基片傳輸裝置裝配后的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式為詳細(xì)說明本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所實(shí)現(xiàn)目的及效果，以下結(jié)合實(shí)施方式 并配合附圖詳予說明。本發(fā)明可調(diào)緊基片傳輸裝置100用于有OLED制作的基片清洗工藝中，該可調(diào)緊基 片傳輸裝置100包括滾輪軸4、滾輪1、夾緊套3和頂緊螺帽2。參考圖1-圖4詳細(xì)說明本 發(fā)明可調(diào)緊基片傳輸裝置100的具體結(jié)構(gòu)。參考圖1-圖4，所述滾輪1由工程塑料制成，所述滾輪1的中心貫穿開有與所述滾 動軸4相配合的內(nèi)孔12，所述滾輪1的右端中心處向外凸出形成一個連接部11，所述連接 部11的外表面上具有外螺紋111，所述連接部11的中心貫穿開設(shè)有正對所述內(nèi)孔12的錐 形孔13，所述錐形孔13與所述內(nèi)孔12相互連通，所述錐形孔13的左端孔徑小于錐形孔13 的右端孔徑。較佳者，所述滾輪1上設(shè)有環(huán)形的凹槽15，所述凹槽15內(nèi)安裝有彈性圈14，所述彈性圈14凸出于所述滾輪1。傳輸基片時，基片位于滾輪1的正上方，基片的下表面與滾輪 1上的彈性圈14柔性接觸。參考圖2-4，所述夾緊套3由工程塑料制成，該夾緊套3的中心貫穿開有與所述滾 輪軸4相配合的軸孔31，所述夾緊套3的外表面呈錐形，所述夾緊套3的錐度與所述連接部 11的錐形孔13錐度相同，且所述夾緊套3左端的直徑大于所述錐形孔13左端的孔徑(孔 的直徑)，所述夾緊套3設(shè)于所述錐形孔13內(nèi)，且所述夾緊套3右端的直徑大于所述錐形 孔13右端的孔徑(孔的直徑)，所述夾緊套3上設(shè)有縱向開口 32，。當(dāng)夾緊套3伸入錐形 孔13時，并非完全容置于錐形孔13內(nèi)，夾緊套3的右端置于錐形孔13外。參考圖1-4，所述頂緊螺帽2由工程塑料制成，該頂緊螺帽2包括螺母本體21，所 述螺母本體21上開設(shè)有與所述連接部11的外螺紋111相嚙合的螺孔211，所述螺母本體 21的右端沿徑向收縮形成頂緊擋板22，所述頂緊擋板22的中心開設(shè)有與所述滾輪軸4相 配合的通孔221。裝配時，將頂緊螺帽2旋轉(zhuǎn)安裝于連接部11上，此時所述頂緊螺帽2的通 孔221穿過所述滾輪軸4，螺母本體21上的螺孔211與連接部11外部的外螺紋111相嚙 合，隨著頂緊螺帽2的旋轉(zhuǎn)，頂緊螺帽2的頂緊擋板22將夾緊套3逐漸推入連接部11內(nèi)的 錐形孔13中，直至將夾緊套3固定在滾輪1和滾輪軸4之間。具體地，所述頂緊螺帽2的 外表面呈圓柱狀。參考圖3-圖4，詳細(xì)說明本發(fā)明可調(diào)緊基片傳輸裝置100的裝配過程和工作原理。 本發(fā)明包括滾輪軸4(圖3中未示)、滾輪1、夾緊套3和頂緊螺帽2，其裝配過程如下(1) 使?jié)L輪1的內(nèi)孔12穿過轉(zhuǎn)動軸4，夾緊套3的軸孔31穿過所述轉(zhuǎn)動軸4，且夾緊套3的左 端與所述連接部11的錐形孔13的右端相對(見圖3) ； (2)使頂緊螺帽2的通孔221穿過 轉(zhuǎn)動軸4上(見圖3) ； (3)將頂緊螺帽2旋轉(zhuǎn)套設(shè)于連接部11的外表面，使得頂緊螺帽2 的螺孔211與連接部11的外螺紋111相嚙合，隨著頂緊螺帽2向左端逐漸旋轉(zhuǎn)，頂緊螺帽2 的頂緊擋板22抵觸所述頂緊套3的右端，并將夾緊套3的左端逐漸推入錐形孔13中，直至 夾緊套3的外表面與錐形孔13錐面抵觸，此時錐形孔13對夾緊套3的外表面產(chǎn)生擠壓力， 而在錐形孔13對夾緊套3產(chǎn)生的徑向壓力作用下，夾緊套3上的縱向開口 32逐漸收縮，夾 緊套3軸孔31的孔徑縮小，夾緊套3夾緊滾輪軸4，夾緊套3被固定在滾輪1和滾輪軸4之 間(見圖4)。其中，滾輪1的內(nèi)孔、夾緊套3的軸孔和頂緊螺帽2的通孔均在一條直線上， 即滾輪1、夾緊套3和頂緊螺帽2同軸安裝在所述滾輪軸4上。本發(fā)明可調(diào)緊基片傳輸裝置100工作時，被傳輸?shù)幕挥跐L輪1的正上方并與 滾輪1直接接觸，所述滾輪軸4帶動滾輪1旋轉(zhuǎn)，隨著滾輪1的轉(zhuǎn)動，基片在滾輪1上傳輸。與現(xiàn)有技術(shù)不同的是，一方面，本發(fā)明的滾輪1與滾輪軸4之間設(shè)有一個錐形的夾 緊套3，該夾緊套3的外表面與滾輪1錐面接觸，夾緊套3的內(nèi)表面夾緊滾輪軸4，使得滾輪 1與滾輪軸4之間的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，滾輪1與滾輪軸4的中心軸線重合，保證了滾輪軸4與滾輪1 的同軸度，有效地減少了基片傳輸過程中由于基片正下方的滾輪1與基片的下表面不完全 接觸而產(chǎn)生的震動，解決了現(xiàn)有技術(shù)中，基片在傳輸過程中因?yàn)檎饎佣p、破碎的問題。另一方面，本發(fā)明的夾緊套3的左端外徑(直徑)大于所述錐形孔13的左端孔徑， 所述夾緊套3靠的右端外徑(直徑)大于所述錐形孔13的右端孔徑，當(dāng)夾緊套3被推入錐 形孔13中時，夾緊套3的右端位于錐形孔13外，隨著可調(diào)緊基片傳輸裝置100的長時間工 作，滾輪軸4與滾輪1之間，滾輪軸4與夾緊套3之間，夾緊套3與滾輪1之間因磨損而逐漸松動，這時，可以將頂緊螺帽2向左端旋緊，在頂緊螺帽2的頂緊擋板22的推力下，夾緊 套3的左端向錐形孔13的左端推進(jìn)，在保證滾輪1和滾輪軸4同軸度的情況下，重新恢復(fù)滾 輪軸4與夾緊套3之間、夾緊套3與滾輪1之間的相對作用力，使得滾輪軸4與滾輪之間的 連接穩(wěn)固，本發(fā)明的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，滾輪1與滾輪軸4之間的中心軸線重合，解決了現(xiàn)有技術(shù)中 由于滾輪與滾輪軸之間因?yàn)槟p產(chǎn)生松動，致使基片在傳輸過程中因?yàn)檎饎佣p、破碎， 甚至不能傳輸基片的問題。再一方面，本發(fā)明可調(diào)緊基片傳輸裝置100的滾輪1、頂緊螺帽2和夾緊套3的材 質(zhì)均為工程塑料，由于工程塑料不但具有優(yōu)越的機(jī)械性能和化學(xué)性能，而且具有良好的耐 磨性、延展性和強(qiáng)韌性，不但有效避免了 OLED基片清洗工藝中清洗液對可調(diào)緊基片傳輸裝 置100的腐蝕，而且使得夾緊套3具有良好的彈性和漲緊度，有助于保證滾輪1與滾輪軸4 之間的同軸度。另，本發(fā)明所述頂緊螺帽2的頂緊擋板22，其中心的通孔221孔徑與轉(zhuǎn)動軸4相 吻合，當(dāng)頂緊螺帽2裝配時，其左端套設(shè)在連接部11外，且其螺孔211與連接部11的外螺 紋嚙合，其右端的通孔221穿過滾輪軸4并將夾緊套3保護(hù)在滾輪1、頂緊螺帽2和滾輪軸 4形成的封閉腔內(nèi)，有效的避免了 OLED基片清洗工藝中，清洗液對夾緊套3的腐蝕，增加了 本發(fā)明可調(diào)緊基片傳輸裝置的使用壽命。因此，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明可調(diào)緊基片傳輸裝 置100具有基片傳輸平穩(wěn)、使用壽命長、滾輪1與滾輪軸4之間可調(diào)緊的優(yōu)點(diǎn)。以上所揭露的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本發(fā)明之權(quán)利 范圍，因此依本發(fā)明申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
一種可調(diào)緊基片傳輸裝置，用于有機(jī)發(fā)光二極管生產(chǎn)線上的基片清洗工藝，其特征在于，該可調(diào)緊基片傳輸裝置包括滾輪軸；工程塑料制成的滾輪，所述滾輪的中心貫穿開有與所述滾輪軸相配合的內(nèi)孔，所述滾輪的右端中心向外凸出形成連接部，所述連接部外表面具有外螺紋，所述連接部的中心貫穿開有正對所述內(nèi)孔的錐形孔，所述錐形孔與所述內(nèi)孔相互連通，所述錐形孔的左端孔徑小于右端孔徑；工程塑料制成的夾緊套，所述夾緊套的中心貫穿開有與所述滾輪軸相配合的軸孔，所述夾緊套的外表面呈錐形，所述夾緊套的錐度與所述連接部的錐形孔錐度相同，所述夾緊套設(shè)于所述錐形孔內(nèi)且所述夾緊套的左端直徑大于所述錐形孔的左端孔徑，所述夾緊套的右端直徑大于所述錐形孔的右端孔徑，所述夾緊套上設(shè)有縱向開口；工程塑料制成的頂緊螺帽，所述頂緊螺帽包括螺母本體，所述螺母本體上貫穿開有與所述連接部的外螺紋相嚙合的螺孔，所述螺母本體的右端沿徑向收縮形成頂緊擋板，所述頂緊擋板的中間開設(shè)有與所述滾輪軸相配合的通孔，所述通孔正對所述螺孔。
2.如權(quán)利要求1所述的可調(diào)緊基片傳輸裝置，其特征在于所述滾輪上設(shè)有環(huán)形的凹 槽，所述凹槽內(nèi)安裝有彈性圈，所述彈性圈凸出于所述滾輪。
3.如權(quán)利要求1所述的可調(diào)緊基片傳輸裝置，其特征在于所述頂緊螺帽的外表面呈 圓柱狀。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種可調(diào)緊基片傳輸裝置，用于OLED生產(chǎn)線上的基片清洗工藝，其包括滾輪軸、工程塑料制成的滾輪、夾緊套和頂緊螺帽滾輪上貫穿有內(nèi)孔，滾輪的右端中心向外凸出形成連接部，連接部的中心開有錐形孔；夾緊套呈錐形且其上貫穿有軸孔，夾緊套的錐度與錐形孔的相同，所述夾緊套設(shè)于所述錐形孔內(nèi)且夾緊套的左端直徑大于錐形孔的左端孔徑，夾緊套的右端直徑大于錐形孔的右端孔徑，所述夾緊套上開有縱向開口；頂緊螺帽包括螺母本體，螺母本體的左端與連接部螺紋連接，螺母本體右端沿徑向收縮形成頂緊擋板，頂緊擋板上開有通孔；其中，所述內(nèi)孔、軸孔和通孔均與滾輪軸相配合。本發(fā)明使用壽命長、傳輸基片平穩(wěn)、滾輪與滾輪軸之間可調(diào)緊。
文檔編號H01L21/677GK101958402SQ20101018795
公開日2011年1月26日 申請日期2010年5月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月25日
發(fā)明者劉惠森, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 王銀果, 范繼良 申請人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司